JP2000015198A - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
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- JP2000015198A JP2000015198A JP10185226A JP18522698A JP2000015198A JP 2000015198 A JP2000015198 A JP 2000015198A JP 10185226 A JP10185226 A JP 10185226A JP 18522698 A JP18522698 A JP 18522698A JP 2000015198 A JP2000015198 A JP 2000015198A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 薬液蒸気の流出防止及び洗浄処理室の清浄度
維持を図ることができる洗浄装置を提供する。 【解決手段】 薬液を用いて被処理物を洗浄するための
洗浄処理室１と、洗浄処理室１を形成する壁面５に形成
され、ロボット搬送室（クリーンゾーン）２に連通する
吸気口１７と、吸気口１７に取り付けられた吸気窓装置
１８と、洗浄処理室１を形成する壁面２２に形成された
排気口２３と、排気口２３に取り付けられたダンパー装
置２４と、ダンパー装置２４に接続された排気用ダクト
２６と、を備える。吸気窓装置１８は、洗浄処理室１内
の圧力が低下した場合に、洗浄処理室１の内側に向かっ
て揺動して吸気口１７を開放する揺動窓部材２１を有す
る。ダンパー装置２４は、洗浄処理室１内の圧力が上昇
した場合に洗浄処理室１の外側に向かって開放する羽根
部材２５を有する。
維持を図ることができる洗浄装置を提供する。 【解決手段】 薬液を用いて被処理物を洗浄するための
洗浄処理室１と、洗浄処理室１を形成する壁面５に形成
され、ロボット搬送室（クリーンゾーン）２に連通する
吸気口１７と、吸気口１７に取り付けられた吸気窓装置
１８と、洗浄処理室１を形成する壁面２２に形成された
排気口２３と、排気口２３に取り付けられたダンパー装
置２４と、ダンパー装置２４に接続された排気用ダクト
２６と、を備える。吸気窓装置１８は、洗浄処理室１内
の圧力が低下した場合に、洗浄処理室１の内側に向かっ
て揺動して吸気口１７を開放する揺動窓部材２１を有す
る。ダンパー装置２４は、洗浄処理室１内の圧力が上昇
した場合に洗浄処理室１の外側に向かって開放する羽根
部材２５を有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、洗浄装置に係わ
り、特に、液晶表示基板（ＬＣＤ基板）や半導体製造用
ウエハ等（以下「被処理物」と言う。）を薬液洗浄する
ための洗浄装置に関する。
り、特に、液晶表示基板（ＬＣＤ基板）や半導体製造用
ウエハ等（以下「被処理物」と言う。）を薬液洗浄する
ための洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＬＣＤ基板の製造工程、或いは半導体の
製造工程の一つに、薬液によって被処理物を洗浄する工
程があり、この洗浄工程においては、被処理物を処理す
るための洗浄処理室を備えた洗浄装置が使用される。
製造工程の一つに、薬液によって被処理物を洗浄する工
程があり、この洗浄工程においては、被処理物を処理す
るための洗浄処理室を備えた洗浄装置が使用される。
【０００３】洗浄処理室の内部には、ファン・フィルタ
ー・ユニット（以下「ＦＦＵ」と言う。）によって清浄
化された空気（外気）が供給されており、さらに、工場
の排気口を利用して洗浄処理室内が排気されている。
ー・ユニット（以下「ＦＦＵ」と言う。）によって清浄
化された空気（外気）が供給されており、さらに、工場
の排気口を利用して洗浄処理室内が排気されている。
【０００４】そして、ＦＦＵからの流入空気量と排気口
からの排気量とを調節することによって、洗浄処理室の
内部を、大気圧に限りなく近い圧力であって且つ大気圧
に対して負圧に維持するようにしている。このように洗
浄処理室内を略大気圧に維持することによって、洗浄処
理室の外側に存在するダストを含んだ空気（外気）が洗
浄処理室内に流入することを防止すると共に、洗浄処理
室内の薬液蒸気が外気側に流出することを防止してい
る。
からの排気量とを調節することによって、洗浄処理室の
内部を、大気圧に限りなく近い圧力であって且つ大気圧
に対して負圧に維持するようにしている。このように洗
浄処理室内を略大気圧に維持することによって、洗浄処
理室の外側に存在するダストを含んだ空気（外気）が洗
浄処理室内に流入することを防止すると共に、洗浄処理
室内の薬液蒸気が外気側に流出することを防止してい
る。
【０００５】また、洗浄処理室の内部には被処理物を保
持して回転させる回転保持装置（スピナー装置）が設け
られており、この回転保持装置によって被処理物を回転
させながら被処理物の表面に薬液が供給される。
持して回転させる回転保持装置（スピナー装置）が設け
られており、この回転保持装置によって被処理物を回転
させながら被処理物の表面に薬液が供給される。
【０００６】このように被処理物を回転させながら薬液
洗浄を行うことによって、被処理物の表面全体を満遍な
く且つ効果的に洗浄することができる。また、洗浄処理
室内で発生した薬液蒸気は工場の排気口を介して排気処
理される。
洗浄を行うことによって、被処理物の表面全体を満遍な
く且つ効果的に洗浄することができる。また、洗浄処理
室内で発生した薬液蒸気は工場の排気口を介して排気処
理される。
【０００７】また、回転保持装置は１００〜３０００ｒ
ｐｍで被処理物を回転させるが、このスピナー回転に伴
って洗浄処理室内に外気との差圧（負圧）が生じるた
め、ＦＦＵの出力を調節して流入空気量を調節すること
によって洗浄処理室内の圧力を略大気圧に維持するよう
にしている。
ｐｍで被処理物を回転させるが、このスピナー回転に伴
って洗浄処理室内に外気との差圧（負圧）が生じるた
め、ＦＦＵの出力を調節して流入空気量を調節すること
によって洗浄処理室内の圧力を略大気圧に維持するよう
にしている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の洗浄
装置においては、工場の排気口を利用して洗浄処理室内
を排気するようにしているので、工場の排気口からの排
気量が不安定である場合には、洗浄処理室内の圧力と外
気の圧力（大気圧）との間に差圧が発生する。
装置においては、工場の排気口を利用して洗浄処理室内
を排気するようにしているので、工場の排気口からの排
気量が不安定である場合には、洗浄処理室内の圧力と外
気の圧力（大気圧）との間に差圧が発生する。
【０００９】このように差圧が発生すると、洗浄処理室
内の薬液蒸気が外気側に流出してしまったり、或いは、
ダストを含んだ外気が洗浄処理室内に流入して清浄度を
悪化させてしまうという問題があった。
内の薬液蒸気が外気側に流出してしまったり、或いは、
ダストを含んだ外気が洗浄処理室内に流入して清浄度を
悪化させてしまうという問題があった。
【００１０】そこで、本発明は、薬液蒸気の流出防止及
び洗浄処理室の清浄度維持を図ることができる洗浄装置
を提供することを目的とする。
び洗浄処理室の清浄度維持を図ることができる洗浄装置
を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明による洗浄装置
は、薬液を用いて被処理物を洗浄するための洗浄処理室
と、前記洗浄処理室を形成する壁面に形成され、クリー
ンゾーンに連通する吸気口と、前記吸気口に取り付けら
れた吸気窓装置と、前記洗浄処理室を形成する壁面に形
成された排気口と、前記排気口に取り付けられたダンパ
ー装置と、前記ダンパー装置に接続された排気用ダクト
と、を備え、前記吸気窓装置は、前記洗浄処理室内の圧
力が低下した場合に、前記洗浄処理室の内側に向かって
揺動して前記吸気口を開放する揺動窓部材を有し、前記
ダンパー装置は、前記洗浄処理室内の圧力が上昇した場
合に前記洗浄処理室の外側に向かって開放する羽根部材
を有する。
は、薬液を用いて被処理物を洗浄するための洗浄処理室
と、前記洗浄処理室を形成する壁面に形成され、クリー
ンゾーンに連通する吸気口と、前記吸気口に取り付けら
れた吸気窓装置と、前記洗浄処理室を形成する壁面に形
成された排気口と、前記排気口に取り付けられたダンパ
ー装置と、前記ダンパー装置に接続された排気用ダクト
と、を備え、前記吸気窓装置は、前記洗浄処理室内の圧
力が低下した場合に、前記洗浄処理室の内側に向かって
揺動して前記吸気口を開放する揺動窓部材を有し、前記
ダンパー装置は、前記洗浄処理室内の圧力が上昇した場
合に前記洗浄処理室の外側に向かって開放する羽根部材
を有する。
【００１２】また、好ましくは、前記洗浄処理室に隣接
して設けられ、内部がクリーンゾーンであるロボット搬
送室と、被処理物を前記洗浄処理室内に搬入するために
前記ロボット搬送室の内部に設置された搬送用ロボット
と、をさらに備え、前記吸気口及び前記吸気窓装置は、
前記洗浄処理室と前記ロボット搬送室とを隔離する隔壁
に設けられている。
して設けられ、内部がクリーンゾーンであるロボット搬
送室と、被処理物を前記洗浄処理室内に搬入するために
前記ロボット搬送室の内部に設置された搬送用ロボット
と、をさらに備え、前記吸気口及び前記吸気窓装置は、
前記洗浄処理室と前記ロボット搬送室とを隔離する隔壁
に設けられている。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態による
洗浄装置について図１乃至図３を参照して説明する。
洗浄装置について図１乃至図３を参照して説明する。
【００１４】図１は、本実施形態による洗浄装置の概略
構成を示した透視斜視図である。図１に示したようにこ
の洗浄装置は、被処理物の表面に薬液を供給して洗浄す
るための洗浄処理室１と、この洗浄処理室１に隣接して
設けられたロボット搬送室２と、このロボット搬送室２
に隣接して設けられたロード室３及びアンロード室４と
を備えている。
構成を示した透視斜視図である。図１に示したようにこ
の洗浄装置は、被処理物の表面に薬液を供給して洗浄す
るための洗浄処理室１と、この洗浄処理室１に隣接して
設けられたロボット搬送室２と、このロボット搬送室２
に隣接して設けられたロード室３及びアンロード室４と
を備えている。
【００１５】洗浄処理室１とロボット搬送室２との間は
隔壁５によって隔離されており、つまり、隔壁５は洗浄
処理室１を形成する壁面の一部を構成している。隔壁５
には、被処理物Ｓを洗浄処理室１に搬入し又は搬出する
際に開放するシャッター６が設けられている。
隔壁５によって隔離されており、つまり、隔壁５は洗浄
処理室１を形成する壁面の一部を構成している。隔壁５
には、被処理物Ｓを洗浄処理室１に搬入し又は搬出する
際に開放するシャッター６が設けられている。
【００１６】ロボット搬送室２とロード室３及びアンロ
ード室４との間は隔壁７によって隔離されており、この
隔壁７には、被処理物Ｓを搬出入する際に開放するシャ
ッター８、９が設けられている。
ード室４との間は隔壁７によって隔離されており、この
隔壁７には、被処理物Ｓを搬出入する際に開放するシャ
ッター８、９が設けられている。
【００１７】洗浄処理室１、ロボット搬送室２、ロード
室３、及びアンロード室４には、外気を清浄化して各室
内に供給するためのＦＦＵ１０、１１、１２、１３がそ
れぞれ設けられている。
室３、及びアンロード室４には、外気を清浄化して各室
内に供給するためのＦＦＵ１０、１１、１２、１３がそ
れぞれ設けられている。
【００１８】さらに、洗浄処理室１の底部には、工場の
排気口につながる排気配管１４が接続されており、この
排気配管１４を介して洗浄処理室１内の薬液蒸気が排気
される。そして、ＦＦＵ１０からの流入量と排気配管１
４からの排気量とをバランスさせることによって、洗浄
処理室１の内部を、大気圧に限りなく近い圧力であって
且つ大気圧に対して負圧に維持するようにしている。
排気口につながる排気配管１４が接続されており、この
排気配管１４を介して洗浄処理室１内の薬液蒸気が排気
される。そして、ＦＦＵ１０からの流入量と排気配管１
４からの排気量とをバランスさせることによって、洗浄
処理室１の内部を、大気圧に限りなく近い圧力であって
且つ大気圧に対して負圧に維持するようにしている。
【００１９】洗浄処理室１の内部には被処理物Ｓを保持
して回転させるための回転保持装置１５が設けられてお
り、この回転保持装置１５によって被処理物Ｓを１００
〜３０００ｒｐｍで回転させることができる。
して回転させるための回転保持装置１５が設けられてお
り、この回転保持装置１５によって被処理物Ｓを１００
〜３０００ｒｐｍで回転させることができる。
【００２０】回転保持装置１５の上方には、被処理物Ｓ
の表面に所定の薬液を供給するための洗浄液放出配管１
６が設けられており、この洗浄液放出配管１６から高速
回転中の被処理物Ｓの表面に薬液が供給される。
の表面に所定の薬液を供給するための洗浄液放出配管１
６が設けられており、この洗浄液放出配管１６から高速
回転中の被処理物Ｓの表面に薬液が供給される。
【００２１】また、ロボット搬送室２の内部には、シャ
ッター６、８、９を介して洗浄処理室１とロード室３及
びアンロード室４との間で被処理物Ｓを移送するための
搬送用ロボット２８が設けられており、この搬送用ロボ
ット２８は被処理物Ｓを保持して移送するアーム２９を
備えている。
ッター６、８、９を介して洗浄処理室１とロード室３及
びアンロード室４との間で被処理物Ｓを移送するための
搬送用ロボット２８が設けられており、この搬送用ロボ
ット２８は被処理物Ｓを保持して移送するアーム２９を
備えている。
【００２２】さらに、本実施形態による洗浄装置におい
ては、洗浄処理室１とロボット搬送室２とを隔離する隔
壁５に吸気口１７が形成されており、この吸気口１７に
は、洗浄処理室１側から吸気窓装置１８が取り付けられ
ている。
ては、洗浄処理室１とロボット搬送室２とを隔離する隔
壁５に吸気口１７が形成されており、この吸気口１７に
は、洗浄処理室１側から吸気窓装置１８が取り付けられ
ている。
【００２３】図２（ａ）及び図２（ｂ）は、それぞれ、
吸気窓装置１８の正面図及び側断面図である。図２
（ａ）、（ｂ）に示したように吸気窓装置１８は、隔壁
５の洗浄処理室１側の面に取り付けられたスペーサ部材
１９と、このスペーサ部材１９に蝶番２０を介して揺動
自在に取り付けられた揺動窓部材２１と、を備えてい
る。
吸気窓装置１８の正面図及び側断面図である。図２
（ａ）、（ｂ）に示したように吸気窓装置１８は、隔壁
５の洗浄処理室１側の面に取り付けられたスペーサ部材
１９と、このスペーサ部材１９に蝶番２０を介して揺動
自在に取り付けられた揺動窓部材２１と、を備えてい
る。
【００２４】揺動窓部材２１は、洗浄処理室１内の圧力
が低下してロボット搬送室２よりも低圧になった場合
に、両室間の差圧によって洗浄処理室１の内側に向かっ
て揺動し、吸気口１７を開放する。
が低下してロボット搬送室２よりも低圧になった場合
に、両室間の差圧によって洗浄処理室１の内側に向かっ
て揺動し、吸気口１７を開放する。
【００２５】また、図１に示したように洗浄処理室１を
形成する壁面２２には排気口２３が形成されており、こ
の排気口２３にはダンパー装置２４が取り付けられてい
る。
形成する壁面２２には排気口２３が形成されており、こ
の排気口２３にはダンパー装置２４が取り付けられてい
る。
【００２６】図３は、ダンパー装置２４の部分を示した
縦断面図であり、図３に示したようにダンパー装置２４
は、洗浄処理室１内の圧力が上昇した場合に洗浄処理室
１の外側に向かって開放する羽根部材２５を備えてい
る。
縦断面図であり、図３に示したようにダンパー装置２４
は、洗浄処理室１内の圧力が上昇した場合に洗浄処理室
１の外側に向かって開放する羽根部材２５を備えてい
る。
【００２７】また、ダンパー装置２４には排気用ダクト
２６が接続されており、この排気用ダクト２６は、薬液
蒸気を処理し得るフィルター装置（図示せず）に接続さ
れている。排気用ダクト２６にはその排気量を調節する
ための排気量調節穴２７が形成されている。この排気量
調節穴２７はその開口面積を調節して外気の取り込み量
を調節することができる。
２６が接続されており、この排気用ダクト２６は、薬液
蒸気を処理し得るフィルター装置（図示せず）に接続さ
れている。排気用ダクト２６にはその排気量を調節する
ための排気量調節穴２７が形成されている。この排気量
調節穴２７はその開口面積を調節して外気の取り込み量
を調節することができる。
【００２８】次に、本実施形態による洗浄装置の作用に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００２９】工場の排気口からの排気量が変動して洗浄
処理室１の内部の圧力が低下し、ロボット搬送室２より
も低圧になった場合、両室間の差圧によって揺動窓部材
２１が洗浄処理室１の内側に向かって揺動し、吸気口１
７が開放される。
処理室１の内部の圧力が低下し、ロボット搬送室２より
も低圧になった場合、両室間の差圧によって揺動窓部材
２１が洗浄処理室１の内側に向かって揺動し、吸気口１
７が開放される。
【００３０】ここで、揺動窓部材２１は、０〜１０ｍｍ
Ａｑ程度の差圧で開放するように構成することが好まし
い。
Ａｑ程度の差圧で開放するように構成することが好まし
い。
【００３１】吸気口１７が開放されるとロボット搬送室
２内の空気が洗浄処理室１内に流入するが、ロボット搬
送室２内の空気はＦＦＵ１１によって清浄化された空気
であるので、ロボット搬送室２内はクリーンゾーンであ
り、ロボット搬送室２から流入した空気によって洗浄処
理室１内が汚染されることはなく、洗浄処理室１内の清
浄度を維持することができる。
２内の空気が洗浄処理室１内に流入するが、ロボット搬
送室２内の空気はＦＦＵ１１によって清浄化された空気
であるので、ロボット搬送室２内はクリーンゾーンであ
り、ロボット搬送室２から流入した空気によって洗浄処
理室１内が汚染されることはなく、洗浄処理室１内の清
浄度を維持することができる。
【００３２】ここで、「クリーンゾーン」とは、洗浄処
理室１に要求される清浄度と同等、若しくはそれ以上の
清浄度を保持している空間領域を言い、例えば、パーテ
ィクル粒径０．１μｍ以上のパーティクル濃度が０ヶ／
ｃｆの清浄度が好ましい。
理室１に要求される清浄度と同等、若しくはそれ以上の
清浄度を保持している空間領域を言い、例えば、パーテ
ィクル粒径０．１μｍ以上のパーティクル濃度が０ヶ／
ｃｆの清浄度が好ましい。
【００３３】また、工場の排気口からの排気量が変動し
て洗浄処理室１の内部の圧力が上昇し、大気圧よりも高
圧になった場合、洗浄処理室１内の圧力と大気圧との差
圧によってダンパー装置２４の羽根部材２５が洗浄処理
室１の外側に向かって開放する。羽根部材２５が開放す
ると洗浄処理室１内の薬液蒸気が排気用ダクト２６を介
して排気されるので、薬液蒸気が外気側に漏洩すること
はない。
て洗浄処理室１の内部の圧力が上昇し、大気圧よりも高
圧になった場合、洗浄処理室１内の圧力と大気圧との差
圧によってダンパー装置２４の羽根部材２５が洗浄処理
室１の外側に向かって開放する。羽根部材２５が開放す
ると洗浄処理室１内の薬液蒸気が排気用ダクト２６を介
して排気されるので、薬液蒸気が外気側に漏洩すること
はない。
【００３４】ここで、羽根部材２５は、０〜１０ｍｍＡ
ｑ程度の差圧で開放するように構成することが好まし
い。
ｑ程度の差圧で開放するように構成することが好まし
い。
【００３５】一方、洗浄処理室１内が大気圧に維持され
ている場合、或いは大気圧よりも負圧の状態にある場合
には、排気量調節穴２７から流入した外気が排気用ダク
ト２６から排気される。
ている場合、或いは大気圧よりも負圧の状態にある場合
には、排気量調節穴２７から流入した外気が排気用ダク
ト２６から排気される。
【００３６】以上述べたように本実施形態による洗浄装
置によれば、洗浄処理室１内の圧力が低下した場合には
吸気窓装置１８が作動してロボット搬送室２からの清浄
な空気を洗浄処理室１内に導入することができるので、
洗浄処理室１内の清浄度を維持することができる。ま
た、洗浄処理室１内の圧力が上昇した場合には、ダンパ
ー装置２４が作動して薬液蒸気を排気用ダクト２６に排
気することができるので、薬液蒸気が外気側に漏洩する
ことを防止することができる。
置によれば、洗浄処理室１内の圧力が低下した場合には
吸気窓装置１８が作動してロボット搬送室２からの清浄
な空気を洗浄処理室１内に導入することができるので、
洗浄処理室１内の清浄度を維持することができる。ま
た、洗浄処理室１内の圧力が上昇した場合には、ダンパ
ー装置２４が作動して薬液蒸気を排気用ダクト２６に排
気することができるので、薬液蒸気が外気側に漏洩する
ことを防止することができる。
【００３７】なお、本実施形態においては洗浄処理室１
とロボット搬送室２との間の隔壁５に吸気窓装置１８を
設けるようにしたが、例えば、洗浄処理室１の周囲にロ
ボット搬送室２以外のクリーンゾーンがある場合には、
そのクリーンゾーンと洗浄処理室１との間の壁面に吸気
口１７を形成して吸気窓装置１８を取り付けることもで
きる。
とロボット搬送室２との間の隔壁５に吸気窓装置１８を
設けるようにしたが、例えば、洗浄処理室１の周囲にロ
ボット搬送室２以外のクリーンゾーンがある場合には、
そのクリーンゾーンと洗浄処理室１との間の壁面に吸気
口１７を形成して吸気窓装置１８を取り付けることもで
きる。
【００３８】
【発明の効果】以上述べたように本発明による洗浄装置
によれば、洗浄処理室内の圧力が低下した場合には吸気
窓装置が作動してクリーンゾーンから清浄な空気を洗浄
処理室内に導入することができるので、洗浄処理室内の
清浄度を維持することができる。また、洗浄処理室内の
圧力が上昇した場合には、ダンパー装置が作動して薬液
蒸気を排気用ダクトに排気することができるので、薬液
蒸気が外気側に漏洩することを防止することができる。
によれば、洗浄処理室内の圧力が低下した場合には吸気
窓装置が作動してクリーンゾーンから清浄な空気を洗浄
処理室内に導入することができるので、洗浄処理室内の
清浄度を維持することができる。また、洗浄処理室内の
圧力が上昇した場合には、ダンパー装置が作動して薬液
蒸気を排気用ダクトに排気することができるので、薬液
蒸気が外気側に漏洩することを防止することができる。
【図１】本発明の一実施形態による洗浄装置の概略構成
を示した透視斜視図。
を示した透視斜視図。
【図２】本発明の一実施形態による洗浄装置の吸気窓装
置を示した図であり、（ａ）は吸気窓装置の正面図、
（ｂ）は同側断面図。
置を示した図であり、（ａ）は吸気窓装置の正面図、
（ｂ）は同側断面図。
【図３】本発明の一実施形態による洗浄装置のダンパー
装置の部分を示した縦断面図。
装置の部分を示した縦断面図。
１ 洗浄処理室 ２ ロボット搬送室 ３ ロード室 ４ アンロード室 ５ 隔壁（洗浄処理室を形成する壁面） １０、１１、１２、１３ ファン・フィルター・ユニッ
ト（ＦＦＵ） １４ 排気配管 １５ 回転保持装置 １６ 洗浄液放出配管 １７ 吸気口 １８ 吸気窓装置 １９ スペーサ部材 ２０ 蝶番 ２１ 揺動窓部材 ２２ 洗浄処理室を形成する壁面 ２３ 排気口 ２４ ダンパー装置 ２５ 羽根部材 ２６ 排気用ダクト ２８ 搬送用ロボット
ト（ＦＦＵ） １４ 排気配管 １５ 回転保持装置 １６ 洗浄液放出配管 １７ 吸気口 １８ 吸気窓装置 １９ スペーサ部材 ２０ 蝶番 ２１ 揺動窓部材 ２２ 洗浄処理室を形成する壁面 ２３ 排気口 ２４ ダンパー装置 ２５ 羽根部材 ２６ 排気用ダクト ２８ 搬送用ロボット
Claims (2)
- 【請求項１】薬液を用いて被処理物を洗浄するための洗
浄処理室と、前記洗浄処理室を形成する壁面に形成さ
れ、クリーンゾーンに連通する吸気口と、前記吸気口に
取り付けられた吸気窓装置と、前記洗浄処理室を形成す
る壁面に形成された排気口と、前記排気口に取り付けら
れたダンパー装置と、前記ダンパー装置に接続された排
気用ダクトと、を備え、 前記吸気窓装置は、前記洗浄処理室内の圧力が低下した
場合に、前記洗浄処理室の内側に向かって揺動して前記
吸気口を開放する揺動窓部材を有し、 前記ダンパー装置は、前記洗浄処理室内の圧力が上昇し
た場合に前記洗浄処理室の外側に向かって開放する羽根
部材を有する、ことを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項２】前記洗浄処理室に隣接して設けられ、内部
がクリーンゾーンであるロボット搬送室と、被処理物を
前記洗浄処理室内に搬入するために前記ロボット搬送室
の内部に設置された搬送用ロボットと、をさらに備え、 前記吸気口及び前記吸気窓装置は、前記洗浄処理室と前
記ロボット搬送室とを隔離する隔壁に設けられているこ
とを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10185226A JP2000015198A (ja) | 1998-06-30 | 1998-06-30 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10185226A JP2000015198A (ja) | 1998-06-30 | 1998-06-30 | 洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000015198A true JP2000015198A (ja) | 2000-01-18 |
Family
ID=16167090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10185226A Withdrawn JP2000015198A (ja) | 1998-06-30 | 1998-06-30 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000015198A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012146835A (ja) * | 2011-01-13 | 2012-08-02 | Sumco Corp | 枚葉式ウェーハ洗浄装置 |
| JP2015204322A (ja) * | 2014-04-11 | 2015-11-16 | 株式会社ディスコ | 洗浄装置 |
| CN107080509A (zh) * | 2016-02-15 | 2017-08-22 | E.G.O.电气设备制造股份有限公司 | 清洗工艺和清洗装置 |
| US10170348B2 (en) | 2013-12-26 | 2019-01-01 | Konica Minolta, Inc. | Production system for printing electronic devices |
-
1998
- 1998-06-30 JP JP10185226A patent/JP2000015198A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012146835A (ja) * | 2011-01-13 | 2012-08-02 | Sumco Corp | 枚葉式ウェーハ洗浄装置 |
| US10170348B2 (en) | 2013-12-26 | 2019-01-01 | Konica Minolta, Inc. | Production system for printing electronic devices |
| JP2015204322A (ja) * | 2014-04-11 | 2015-11-16 | 株式会社ディスコ | 洗浄装置 |
| CN107080509A (zh) * | 2016-02-15 | 2017-08-22 | E.G.O.电气设备制造股份有限公司 | 清洗工艺和清洗装置 |
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