JP3227997U

JP3227997U - ロードポート装置

Info

Publication number: JP3227997U
Application number: JP2020002493U
Authority: JP
Inventors: 育民朱; 卓君鍾; 嘉修 ▲黄▼
Original assignee: ▲たい▼昇科技股▲分▼有限公司
Priority date: 2020-05-07
Filing date: 2020-06-24
Publication date: 2020-10-01
Anticipated expiration: 2030-06-24
Also published as: TWM600933U; US20210351052A1; US11367638B2

Abstract

【課題】サイズの異なるフープに対応可能で、且つフープ内のウェハの保管状態を検出できる、ロードポート装置を提供する。【解決手段】ロードポート装置は、デバイス１０、位置決め機構２０、感知機構３０、検出機構４０を備え、デバイスはフープを載せる載置台１１を含み、位置決め機構はデバイス上に設置されて載置台上に載せられたフープを位置決めすると共に、位置決めユニット２１、係止ユニット２２及び制限ユニット２３を含み、感知機構はデバイスの載置台上に設置され、検出機構は、サイズの異なるフープに対応してフープ内のウェハの保管状態を検出する第１検出アセンブリ及び第２検出アセンブリを含む。【選択図】図６

Description

本考案は、半導体製造装置用ロードポート装置に関し、特に、サイズの異なるフープに対応できるロードポート装置に関するものである。

半導体製造工程中に、ウェハを保護や搬送するために、フープ（ＦＯＵＰ：ＦｒｏｎｔＯｐｅｎｉｎｇＵｎｉｆｙＰｏｄ）と呼ばれる密閉型のウェハカセット運搬用ケースがよく利用される。そのうち、ウェハは様々なサイズがあって、フープに収納される時に、ウェハのサイズに合ったフープしか利用することができず、さらに、サイズの異なるフープに対して、専用機器でしか扱うことができないことから、サイズの異なるフープごとに専用機器が必要とされ、つまり、一台の機器では、色んなサイズのフープに適用することができないので、従来技術では、フープを扱う機器における汎用性に劣り、産業界のニーズに十分に応えることができない問題があった。

本考案は、前記従来技術の欠点に鑑みてなされたものであり、サイズの異なるフープに対応可能で、且つ当該フープ内のウェハの保管状態を検出できる、ロードポート装置を提供することを目的としている。

上記目的を達成するために、本考案は、サイズの異なるフープを載せることが可能で、且つ当該フープ内のウェハの保管状態を検出できるロードポート装置であって、デバイスと、位置決め機構と、感知機構と、検出機構とを備え、前記デバイスは、該フープを載せるための載置台を含み、該載置台上に摺動溝が設置され、前記位置決め機構は、前記デバイス上に設置されて、前記載置台上に載せられた該フープを位置決めするために用いられると共に、位置決めユニット、係止ユニット及び制限ユニットを含み、該位置決めユニットは、該載置台上に設置されると共に、該載置台の頂面から突出する三つの位置決め突起を有し、該係止ユニットは、該デバイス上に設置されると共に、該デバイス上に設置される駆動組立体と、該駆動組立体上に設置される係止具を有し、該係止具が該駆動組立体の駆動により該摺動溝を介して外に導出され、該制限ユニットが該載置台の頂面に設置され、前記感知機構は、前記デバイスの該載置台上に設置され、前記検出機構は、該フープ内のウェハの保管状態を検出するために用いられ、前記載置台の一側に配置されるように、前記デバイス上に設置されると共に、第１検出アセンブリ及び第２検出アセンブリを含み、該第１検出アセンブリは、該デバイス上に設置されると共に、第１駆動部材と、第１Ｌ字アームと、第１伝動部材と、第１検出ユニットとを有し、該第１駆動部材が該デバイス上に設置され、該第１Ｌ字アームが該デバイス上に回動可能に設置され、該第１伝動部材が、該デバイス上に設置されると共に、該第１駆動部及び該第１Ｌ字アームと連結され、該第１検出ユニットが該第１Ｌ字アーム上に設置されると共に、間隔を置いて設置される二つの第１検出部を有し、該第２検出アセンブリは、該第１検出アセンブリと相対するように、該デバイス上に設置されると共に、第２駆動部材と、第２Ｌ字アームと、第２伝動部材と、第２検出ユニットとを有し、該第２駆動部材が該デバイス上に設置され、該第２Ｌ字アームが該デバイス上に回動可能に設置され、該第２伝動部材が、該デバイス上に設置されると共に、該第２駆動部材及び該第２Ｌ字アームと連結され、該第２検出ユニットが該第２Ｌ字アーム上に設置されると共に、間隔を置いて設置される二つの第２検出部を有し、該二つの第１検出部の間の間隔が該二つの第２検出部の間の間隔より小さいことを特徴とする。

上述したように、本考案に係るロードポート装置は、位置決め機構を利用することで、サイズの異なるフープに対応して位置決めすることができ、例えば、単に位置決めユニットを介したり、或は位置決めユニットと係止ユニットと連携して介したり、又は制限ユニットを介したりして、フープの位置決め作業を行うことができるので、フープに対する汎用性が高い。また、フープ内のウェハの保管状態の検出作業を行う際に、検出機構が第１検出アセンブリと第２検出アセンブリ、この二つの検出アセンブリを含むことで、載置台上に載せられるフープ内のウェハのサイズに応じて、適切な検出アセンブリを選択して、検出作業を行うことができ、例えば、８インチのウェハの保管状態を検出する場合、検出機構は第１検出アセンブリを選択して利用することとなり、すると、第１駆動部材が、第１伝動部材の駆動により、第１Ｌ字アームを回動させ、第１Ｌ字アーム上に設置される二つの第１検出部を、フープ内のウェハの両側を通過させる走査動作で検出作業を行い、また、１２インチのウェハの保管状態を検出する場合、第２検出アセンブリを選択して利用し、第２駆動部材が、第２伝動部材の駆動により、第２Ｌ字アームを回動させて検出作業を行う。このように、本考案の検出機構によれば、フープ内のウェハの保管状態に対する検出作業の利便性が向上することとなる。

本考案に係るロードポート装置上に、タイプ１のフープを載せた状態を示す外観模式図である。図１の他の角度から見た外観模式図である。図２の局部拡大分解斜視図である。図１のカバーが開放された状態の局部外観模式図である。図２における、タイプ１のフープの扉が開放された状態を示す局部外観模式図である。本考案に係るロードポート装置のカバーを外した状態を示す局部外観模式図である。図６の平面図である。図６における、載置台上にアダプタプレートが載せられた状態を示す外観模式図である。図８の分解斜視図である。図８の平面図である。図１０のＡ−Ａ線断面模式図である。本考案に係るロードポート装置の係止ユニットを示す外観模式図である。本考案に係るロードポート装置の変位調整組立体を示す外観模式図である。図６における、タイプ１のフープを載せた状態を示す外観模式図である。図１４の分解斜視図である。本考案に係るロードポート装置上に、タイプ２のフープを載せた状態を示す外観模式図である。図１６における、カバーを外した状態を示す局部外観模式図である。図１７の分解斜視図である。本考案に係るロードポート装置において、カバーを外した状態で、タイプ３のフープを載せた様子を示す局部外観模式図である。図１９の分解斜視図である。本考案に係るロードポート装置において、カバーを外した状態で、タイプ４のフープを載せた様子を示す局部外観模式図である。図２１の分解斜視図である。本考案に係るロードポート装置において、カバーを外した状態で、タイプ５のフープを載せた様子を示す局部外観模式図である。図２３の分解斜視図である。本考案に係るロードポート装置において、カバーを外した状態で、タイプ６のフープを載せた様子を示す局部外観模式図である。図２５の分解斜視図である。本考案に係るロードポート装置において、カバーを外した状態で、タイプ７のフープを載せた様子を示す局部外観模式図である。図２７の分解斜視図である。

図１、図２、図１４〜図２８に示すように、本考案に係るロードポート装置は、サイズの異なるフープに対応可能で、且つ当該フープ内のウェハの保管状態を検出できるものである。図５〜図７に示すように、本考案に係るロードポート装置は、デバイス１０、位置決め機構２０、感知機構３０、及び検出機構４０を備える。

前記デバイス１０は、フープを載せるための載置台１１を含み、該載置台１１上に、摺動溝１２が設けられる。

前記位置決め機構２０は、前記デバイス１０上に設置されて、前記載置台１１上に載せられたフープを位置決めするために用いられると共に、位置決めユニット２１、係止ユニット２２及び制限ユニット２３を含み、該位置決めユニット２１は、該載置台１１上に設置されると共に、該載置台１１の頂面から突出する三つの位置決め突起２４を有し、該係止ユニット２２は、該デバイス１０上に設置されると共に、該デバイス１０上に設置される駆動組立体２５と、該駆動組立体２５上に設置される係止具２６を有し、該係止具２６が該駆動組立体２５の駆動により該摺動溝１２を介して外に導出され、該制限ユニット２３が、該載置台１１の頂面に設置される。

前記感知機構３０は、前記デバイス１０の載置台１１上に設置されると共に、該載置台１１の頂面から突出する第１感知部材３１、第２感知部材３２、第３感知部材３３、第４感知部材３４、第５感知部材３５、第６感知部材３６、第７感知部材３７及び第８感知部材３８を含み、該第１感知部材３１と第２感知部材３２によって、８インチベアウェハ感知ユニットを形成し、該第３感知部材３３、第４感知部材３４、第５感知部材３５及び第６感知部材３６によって、１２インチフレーム付きウェハ感知ユニットを形成し、該第３感知部材３３、第４感知部材３４、第５感知部材３５、第６感知部材３６、第７感知部材３７及び第８感知部材３８によって、１２インチベアウェハ感知ユニットを形成する。

前記検出機構４０は、フープ内のウェハの保管状態を検出するために用いられ、前記載置台１１の一側に配置されるように、前記デバイス１０上に設置されると共に、第１検出アセンブリ４１及び第２検出アセンブリ４２を含み、該第１検出アセンブリ４１は、該デバイス１０上に設置されると共に、第１駆動部材４１１、第１Ｌ字アーム４１２、第１伝動部材４１３、第１検出ユニット４１４を有し、該第１駆動部材４１１が該デバイス１０上に設置され、該第１Ｌ字アーム４１２が該デバイス１０上に回動可能に設置され、該第１伝動部材４１３が、該デバイス１０上に設置されると共に、該第１駆動部材４１１及び第１Ｌ字アーム４１２と連結され、該第１検出ユニット４１４が該第１Ｌ字アーム４１２上に設置されると共に、間隔を置いて設置される二つの第１検出部４１５を有し、該第２検出アセンブリ４２は、前記該第１検出アセンブリ４１と相対するように、該デバイス１０上に設置されると共に、第２駆動部材４２１、第２Ｌ字アーム４２２、第２伝動部材４２３、第２検出ユニット４２４とを有し、該第２駆動部材４２１が該デバイス１０上に設置され、該第２Ｌ字アーム４２２が該デバイス１０上に回動可能に設置され、該第２伝動部材４２３が、該デバイス１０上に設置されると共に、該第２駆動部材４２１及び第２Ｌ字アーム４２２と連結され、該第２検出ユニット４２４が第２Ｌ字アーム４２２上に設置されると共に、間隔を置いて設置される二つの第２検出部４２５を有し、該二つの第１検出部４１５の間の間隔が該二つの第２検出部４２５の間の間隔より小さい。尚、前記検出機構４０の第１検出アセンブリ４１及び第２検出アセンブリ４２は、フープ内のウェハの欠落状態や、積み重ね状態、斜め状態、歪み状態、位置状態などの保管状態を検出することができる。

前記第１伝動部材４１３及び第２伝動部材４２３は全てベルト式伝動部材であり、前記第１駆動部材４１１及び第２駆動部材４２１は全て、空気圧シリンダ４３及び挟持アーム４４を有し、該空気圧シリンダ４３が前記デバイス１０上に設置され、該挟持アーム４４が該空気圧シリンダ４３上に設置されると共に、該空気圧シリンダ４３に制御され、該挟持アーム４４が、対応するベルト式伝動部材を挟持するために用いられる。

尚、本考案に係るロードポート装置は、アダプタプレート５０を備え、該アダプタプレート５０が前記載置台１１上に置かれ、その底面に三つの第１取付溝５２及び第２取付溝５３が設けられ、前記位置決めユニット２１の位置決め突起２４が該アダプタプレート５０の第１取付溝５２に挿入し、前記係止ユニット２２の係止具２６が、該アダプタプレート５０の第２取付溝５３に挿入するように、該アダプタプレート５０と係止される。前記アダプタプレート５０は、間隔を置いて設置される二つの押し当て板５１を含み、該二つの押し当て板５１は、該アダプタプレート５０上に枢設されると共に、それぞれが前記第５感知部材３５と第６感知部材３６に当接する。前記第５感知部材３５と第６感知部材３６によって、８インチフレーム付きウェハ感知ユニットを形成する。尚、前記感知機構３０は、前記載置台１１の頂面から突出する第９感知部材３９及び第１０感知部材３９１をさらに含み、前記第７感知部材３７、第８感知部材３８、第９感知部材３９、及び第１０感知部材３９１によって、アダプタプレート感知ユニットを形成し、また、前記アダプタプレート５０の頂面に、複数の位置基準ブロック５４が間隔を置いて設置される。

図１２に示すように、前記駆動組立体２５は、横向きアクチュエータ２７と縦向きアクチュエータ２８を含み、該横向きアクチュエータ２７が、前記デバイス１０上に設置され、該縦向きアクチュエータ２８が、該横向きアクチュエータ２７上に設置されると共に、該横向きアクチュエータ２７の制御により、横方向に移動することが可能であり、前記係止具２６が、該縦向きアクチュエータ２８上に設置されると共に、該縦向きアクチュエータ２８の制御により、上下方向に移動することが可能である。尚、ここでの前記縦向きアクチュエータ２８は、空気圧シリンダであってもよい。

図１、図４に示すように、前記デバイス１０上に、前記載置台１１を覆うためのカバー６０が設置される。

図２、図３及び図５に示すように、前記デバイス１０上に、開口部１３が形成されると共に、取付基部１４が設置され、該デバイス１０の内に、開閉アクチュエータ１５が設置され、該開閉アクチュエータ１５が、前記連動アーム１６と連結され、さらに、該連動アーム１６の端部が該取付基部１４と連結されることで、該開閉アクチュエータ１５が、該連動アーム１６を介して、該取付基部１４を駆動して、該開口部１３の開閉を制御する。前記検出機構４０が前記取付基部１４上に設置され、そのうち、該検出機構４０の第１Ｌ字アーム４１２及び第２Ｌ字アーム４２２がそれぞれ、該取付基部１４の両側に配置される。尚、前記第１Ｌ字アーム４１２及び第２Ｌ字アーム４２２はそれぞれ、対応している空気圧シリンダ４３を介して前進／後退動作を行い、具体的に述べると、前記検出機構４０を検出作業させずに待機させる場合において、該空気圧シリンダ４３を介して当該Ｌ字アームを後退させ、一方、該検出機構４０を走査させるように検出作業を行う場合において、該空気圧シリンダ４３を介して当該Ｌ字アームを前進させる。本考案に係るロードポート装置は扉開放装置７０を備え、該扉開放装置７０は、前記取付基部１４上に設置されると共に、二つの吸着ユニット７１と解錠ユニット７２を含み、該二つの吸着ユニット７１が該取付基部１４上に設置され、該解錠ユニット７２が該取付基部１４上に設置されると共に、連動アクチュエータ７３、連結ロッド７４及び二つのノブ７５を有し、該連動アクチュエータ７３が該取付基部１４上に設置され、該連結ロッド７４が該連動アクチュエータ７３と連結され、該二つのノブ７５が該取付基部１４上に設置されると共に、該連結ロッド７４と連結される。尚、ここでの前記連動アクチュエータ７３は、空気圧シリンダであってもよい。

図１３に示すように、前記デバイス１０上に変位調整組立体８０が設置され、該変位調整組立体８０が前記載置台１１と連結されると共に、該載置台１１を駆動して移動させるために用いられる。前記変位調整組立体８０は、前記デバイス１０上に設置されるモータ８１と、該モータ８１に設置されると共に、該モータ８１に制御されるリードスクリュー８２と、該リードスクリュー８２と螺合されるように前記載置台１１の底面に固設される可動ブロック８３とを含む。具体的に述べると、前記モータ８１の駆動によって前記リードスクリュー８２を回転させると、前記可動ブロック８３が該リードスクリュー８２の軸心方向に沿って移動し、前記載置台１１が該可動ブロック８３の移動に連動して移動する。このように、前記変位調整組立体８０によれば、前記載置台１１の位置は、フープのサイズに応じて調整することができるようになる。

図１〜図３、図１４及び図１５に示すように、本考案に係るロードポート装置上に、タイプ１のフープ９０Ａを載せる場合において、該タイプ１のフープ９０Ａの底面に、三つの位置決め孔９１及び係止孔９２が形成されており、該タイプ１のフープ９０Ａの背面に、扉９３が設置されており、このような構造により、該タイプ１のフープ９０Ａを、前記デバイス１０の載置台１１上に載せると、該位置決めユニット２１の三つの位置決め突起２４がそれぞれ、該タイプ１のフープ９０Ａの三つの位置決め孔９１に挿入するように、該タイプ１のフープ９０Ａを該載置台１１上に仮位置決めし、該タイプ１のフープ９０Ａを、該載置台１１上により強固に位置決めするために、前記駆動組立体２５は、前記横向きアクチュエータ２７と縦向きアクチュエータ２８を介して、前記係止具２６を横方向或は縦方向に移動変位して、該載置台１１の摺動溝１２から外へ導出させて、該タイプ１のフープ９０Ａの係止孔９２に挿入させて係止し、このように、該タイプ１のフープ９０Ａが、該載置台１１上に係止されることで、位置決め安定性が高められる。その後、前記検出機構４０による検出作業を行うために、前記扉開放装置７０は、前記タイプ１のフープ９０Ａの扉９３を取り外す動作を実行する。扉開放動作を具体的に述べると、前記扉開放装置７０は、前記開閉アクチュエータ１５を介して、前記取付基部１４を駆動し、前記二つの吸着ユニット７１を前記扉９３に向けて移動させて扉９３に吸着させ、一方、前記解錠ユニット７２のノブ７５を該扉９３のラッチ穴９４に挿入させ、さらに前記連動アクチュエータ７３が、前記連結ロッド７４を介して、該二つのノブ７５を回動させることで、扉９３を開放させる目的を達成する。

図５に示すように、前記扉９３が開放された後、前記検出機構４０によるフープ内のウェハの保管状態の検出作業が行われ、該検出機構４０が第１検出アセンブリ４１と第２検出アセンブリ４２、この二つの検出アセンブリを含むことで、前記載置台１１上に載せられているフープ内のウェハのサイズに応じて、適切な検出アセンブリを選択して、検出操作を行うことができ、例えば、前記タイプ１のフープ９０Ａの内に収納される８インチのウェハの保管状態を検出する場合、該第１検出アセンブリ４１を選択して利用することとなり、１２インチのウェハの場合、該第２検出アセンブリ４２を選択して利用することとなる。ここでは、前記第１検出アセンブリ４１を利用することとなる場合を例として、詳しく説明する。まず、前記第１駆動部材４１１の空気圧シリンダ４３が、前記挟持アーム４４を駆動して上下方向に移動させ、該挟持アーム４４が前記第１伝動部材４１３を挟持しているため、該第１伝動部材４１３を連れて一緒に上下方向に移動し、さらに、該第１伝動部材４１３が前記第１Ｌ字アーム４１２を回動駆動することで、該第１Ｌ字アーム４１２上の第１検出ユニット４１４が、前記二つの第１検出部４１５を介して、ウェハの保管状態を検出する。前記第２検出アセンブリ４２を利用することとなる場合においては、上述したような前記第１検出アセンブリ４１と同じ動作を行う。尚、前記タイプ１のフープ９０Ａを前記載置台１１に載せる際に、前記感知機構３０の第３感知部材３３、第４感知部材３４、第５感知部材３５、第６感知部材３６、第７感知部材３７及び第８感知部材３８を介して、該タイプ１のフープ９０Ａの実装状態を感知する。

図１６〜図１８に示すように、本考案に係るロードポート装置上に、タイプ２のフープ９０Ｂを載せる場合において、該タイプ２のフープ９０Ｂの底面に、三つの位置決め孔９１が形成されているため、該タイプ２のフープ９０Ｂを、前記デバイス１０の載置台１１上に載せると、該位置決めユニット２１の三つの位置決め突起２４がそれぞれ、該タイプ２のフープ９０Ｂの三つの位置決め孔９１に挿入して、該タイプ２のフープ９０Ｂを、該載置台１１上に位置決めし、さらに、該タイプ２のフープ９０Ｂを衝突による損傷から防止するため、前記カバー６０を閉じ、これにより、該タイプ２のフープ９０Ｂを保護する目的を達成する。尚、前記タイプ２のフープ９０Ｂを前記載置台１１に載せる際に、前記感知機構３０の第３感知部材３３、第４感知部材３４、第５感知部材３５及び第６感知部材３６を介して、該タイプ２のフープ９０Ｂの実装状態を感知する。

図１９〜図２４に示すように、本考案に係るロードポート装置上に、タイプ３のフープ９０Ｃや、タイプ４のフープ９０Ｄ、タイプ５のフープ９０Ｅを載せる場合において、前記位置決め機構２０の制限ユニット２３の規制ブロック２９を利用することにより、それぞれの実装位置に位置決めさせることができる。ここでは、前記タイプ３のフープ９０Ｃを載せる場合を例として、詳しく説明する。まず、前記タイプ３のフープ９０Ｃをロードポート装置の載置台１１上に載せると、該タイプ３のフープ９０Ｃの両側の底縁及び前縁はそれぞれ、対応する規制ブロック２９に当接することで、該タイプ３のフープ９０Ｃが該載置台１１上に安定して位置決めされる。前記タイプ４のフープ９０Ｄ及びタイプ５のフープ９０Ｅは同じように、前記規制ブロック２９を介して、前記載置台１１上に位置決めされる。上述したタイプ３のフープ９０Ｃ、タイプ４のフープ９０Ｄ及びタイプ５のフープ９０Ｅが、８インチウェハを収納するために用いられる。尚、前記タイプ３のフープ９０Ｃ、タイプ４のフープ９０Ｄ及びタイプ５のフープ９０Ｅを前記載置台１１に載せる際に、前記感知機構３０の第１感知部材３１及び第２感知部材３２を介して、該タイプ３のフープ９０Ｃ、タイプ４のフープ９０Ｄ及びタイプ５のフープ９０Ｅそれぞれの実装状態を感知する。

図２５〜図２８に示すように、前記アダプタプレート５０を利用することにより、タイプ６のフープ９０Ｆ及びタイプ７のフープ９０Ｇを、本考案に係るロードポート装置に載せることが可能となる。詳しく述べると、図８〜図１１に示すように、まず、前記アダプタプレート５０を前記載置台１１上の所定の位置に載せると、前記位置決めユニット２１の位置決め突起２４が該アダプタプレート５０の第１取付溝５２に挿入すると同時に、前記係止ユニット２２の駆動組立体２５は、前記係止具２６を駆動して、前記摺動溝１２から外へ導出させて、該アダプタプレート５０の第２取付溝５３に挿入させ、このように、該アダプタプレート５０が、該位置決め機構２０の位置決めユニット２１及び係止ユニット２２により、該載置台１１上に強固に固定される。ここでは、前記タイプ６のフープ９０Ｆを載せる場合を例として、詳しく説明する。図２５、図２６を示すように、まず、前記タイプ６のフープ９０Ｆを直接に前記アダプタプレート５０上に載せ、該タイプ６のフープ９０Ｆの両側の底縁は、該アダプタプレート５０上の位置基準ブロック５４に当接するように、該タイプ６のフープ９０Ｆが該アダプタプレート５０上に安定して位置決めされ、さらに、該アダプタプレート５０を介して、該タイプ６のフープ９０Ｆが、前記載置台１１上に間接的に位置決めされる。図２７、図２８を示すように、前記タイプ７のフープ９０Ｇは上述内容と同じように、前記位置基準ブロック５４との当接関係で、前記アダプタプレート５０上に位置決めされ、さらに、該アダプタプレート５０を介して、前記載置台１１上に間接的に位置決めされる。また、図９〜図１１、図２５、図２６を示すように、前記タイプ６のフープ９０Ｆを前記アダプタプレート５０上に載せる場合、タイプ６のフープ９０Ｆが、該アダプタプレート５０上の二つの押し当て板５１を押圧して、下方へ移動変位させることで、該二つの押し当て板５１が、下方にある前記第５感知部材３５及び第６感知部材３６に当接し、このように、該アダプタプレート５０上における、該タイプ６のフープ９０Ｆの実装状態を感知することが可能となる。また、前記アダプタプレート５０を前記載置台１１に載せる際に、該アダプタプレート５０が、前記感知機構３０の第７感知部材３７、第８感知部材３８、第９感知部材３９及び第１０感知部材３９１を当接することで、該載置台１１上における該アダプタプレート５０の実装状態を感知する。

上記の説明のように、本考案に係るロードポート装置は、位置決め機構２０の位置決めユニット２１、係止ユニット２２及び制限ユニット２３を利用することにより、異なるサイズや仕様のフープを前記載置台１１上に位置決めすることが可能となる。
また、前記位置決めユニット２１及び係止ユニット２２によって該載置台１１上に位置決めされることが可能なアダプタプレート５０をさらに備えることで、他の仕様の異なるフープが、該アダプタプレート５０の位置基準ブロック５４を介して、該アダプタプレート５０上に位置決めされることができることにより、フープを該載置台１１上に間接的に載せることが可能となる。このように、本考案に係るロードポート装置によれば、多種類のフープに対して、各別に対応することができるので、汎用性に優れる。
さらに、前記第１検出アセンブリ４１と第２検出アセンブリ４２を含む検出機構４０を備え、そのうち、前記二つの第１検出部４１５の間の間隔が前記二つの第２検出部４２５の間の間隔より小さいので、該第１検出アセンブリ４１と第２検出アセンブリ４２は、検出対象のウェハのサイズに応じて適切な検出手段を選択することができるので、検出作業の利便性が向上することとなる。

１０デバイス
１１載置台
１２摺動溝
１３開口部
１４取付基部
１５開閉アクチュエータ
１６連動アーム
２０位置決め機構
２１位置決めユニット
２２係止ユニット
２３制限ユニット
２４位置決め突起
２５駆動組立体
２６係止具
２７横向きアクチュエータ
２８縦向きアクチュエータ
２９規制ブロック
３０感知機構
３１第１感知部材
３２第２感知部材
３３第３感知部材
３４第４感知部材
３５第５感知部材
３６第６感知部材
３７第７感知部材
３８第８感知部材
３９第９感知部材
３９１第１０感知部材
４０検出機構
４１第１検出アセンブリ
４１１第１駆動部材
４１２第１Ｌ字アーム
４１３第１伝動部材
４１４第１検出ユニット
４１５第１検出部
４２第２検出アセンブリ
４２１第２駆動部材
４２２第２Ｌ字アーム
４２３第２伝動部材
４２４第２検出ユニット
４２５第２検出部
４３空気圧シリンダ
４４挟持アーム
５０アダプタプレート
５１押し当て板
５２第１取付溝
５３第２取付溝
５４位置基準ブロック
６０カバー
７０扉開放装置
７１吸着ユニット
７２解錠ユニット
７３連動アクチュエータ
７４連結ロッド
７５ノブ
８０変位調整組立体
８１モータ
８２リードスクリュー
８３可動ブロック
９０Ａタイプ１のフープ
９０Ｂタイプ２のフープ
９０Ｃタイプ３のフープ
９０Ｄタイプ４のフープ
９０Ｅタイプ５のフープ
９０Ｆタイプ６のフープ
９０Ｇタイプ７のフープ
９１位置決め孔
９２係止孔
９３扉
９４ラッチ穴

Claims

サイズの異なるフープを載せることが可能で、且つ当該フープ内のウェハの保管状態を検出できるロードポート装置であって、デバイスと、位置決め機構と、感知機構と、検出機構とを備え、
前記デバイスは、該フープを載せるための載置台を含み、該載置台上に摺動溝が設置され、
前記位置決め機構は、前記デバイス上に設置されて、前記載置台上に載せられた該フープを位置決めするために用いられると共に、位置決めユニット、係止ユニット及び制限ユニットを含み、該位置決めユニットは、該載置台上に設置されると共に、該載置台の頂面から突出する三つの位置決め突起を有し、該係止ユニットは、該デバイス上に設置されると共に、該デバイス上に設置される駆動組立体と、該駆動組立体上に設置される係止具を有し、該係止具が該駆動組立体の駆動により前記摺動溝を介して外に導出され、該制限ユニットが該載置台の頂面に設置され、
前記感知機構は、前記デバイスの該載置台上に設置され、
前記検出機構は、該フープ内のウェハの保管状態を検出するために用いられ、前記載置台の一側に配置されるように、前記デバイス上に設置されると共に、第１検出アセンブリ及び第２検出アセンブリを含み、該第１検出アセンブリは、該デバイス上に設置されると共に、第１駆動部材と、第１Ｌ字アームと、第１伝動部材と、第１検出ユニットとを有し、該第１駆動部材が該デバイス上に設置され、該第１Ｌ字アームが該デバイス上に回動可能に設置され、該第１伝動部材が該デバイス上に設置されると共に該第１駆動部材及び該第１Ｌ字アームと連結され、該第１検出ユニットが該第１Ｌ字アーム上に設置されると共に間隔を置いて設置される二つの第１検出部を有し、該第２検出アセンブリは、該第１検出アセンブリと相対するように該デバイス上に設置されると共に、第２駆動部材と、第２Ｌ字アームと、第２伝動部材と、第２検出ユニットとを有し、該第２駆動部材が該デバイス上に設置され、該第２Ｌ字アームが該デバイス上に回動可能に設置され、該第２伝動部材が該デバイス上に設置されると共に該第２駆動部材及び該第２Ｌ字アームと連結され、該第２検出ユニットが該第２Ｌ字アーム上に設置されると共に間隔を置いて設置される二つの第２検出部を有し、該二つの第１検出部の間の間隔が該二つの第２検出部の間の間隔より小さいことを特徴とするロードポート装置。
前記感知機構は、前記載置台の頂面から突出する第１感知部材、第２感知部材、第３感知部材、第４感知部材、第５感知部材、第６感知部材、第７感知部材及び第８感知部材を含み、該第１感知部材と該第２感知部材によって、８インチベアウェハ感知ユニットを形成し、該第３感知部材、該第４感知部材、該第５感知部材及び該第６感知部材によって、１２インチフレーム付きウェハ感知ユニットを形成し、該第３感知部材、該第４感知部材、該第５感知部材、該第６感知部材、該第７感知部材及び該第８感知部材によって、１２インチベアウェハ感知ユニットを形成することを特徴とする請求項１に記載のロードポート装置。
前記ロードポート装置は、前記載置台上に載せられるアダプタプレートを備え、前記位置決めユニットの該位置決め突起が該アダプタプレートの内に挿入し、該アダプタプレートが前記係止ユニットと係止されると共に、間隔を置いて設置される二つの押し当て板を含み、該二つの押し当て板は、該アダプタプレート上に枢設されると共に、それぞれが、前記第５感知部材と該第６感知部材に当接し、該第５感知部材と該第６感知部材によって、８インチフレーム付きウェハ感知ユニットを形成することを特徴とする請求項２に記載のロードポート装置。
前記感知機構は、前記載置台の頂面から突出する第９感知部材及び第１０感知部材を含み、前記第７感知部材、該第８感知部材、該第９感知部材及び該第１０感知部材によって、アダプタプレート感知ユニットを形成することを特徴とする請求項３に記載のロードポート装置。
前記アダプタプレートの頂面に、複数の位置基準ブロックが間隔を置いて設置されることを特徴とする請求項３に記載のロードポート装置。
前記駆動組立体は、横向きアクチュエータと縦向きアクチュエータを含み、該横向きアクチュエータが前記デバイス上に設置され、該縦向きアクチュエータが該横向きアクチュエータ上に設置されると共に、該横向きアクチュエータの制御により、横方向に移動することが可能であり、前記係止具が、該縦向きアクチュエータ上に設置されると共に、該縦向きアクチュエータの制御により、上下方向に移動することが可能であることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のロードポート装置。
前記デバイス上に、前記載置台を覆うためのカバーが設置されることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のロードポート装置。
前記デバイス上に、開口部が形成されると共に取付基部が設置され、該デバイスの内に、開閉アクチュエータが設置され、該開閉アクチュエータが該取付基部と接続されると共に、該取付基部を駆動して該開口部を開閉することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のロードポート装置。
前記検出機構が前記取付基部上に設置されることを特徴とする請求項８に記載のロードポート装置。
前記デバイス上に変位調整組立体が設置され、該変位調整組立体が前記載置台と連結されると共に、該載置台を駆動して移動させることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のロードポート装置。
前記変位調整組立体は、前記デバイス上に設置されるモータと、該モータに設置されると共に該モータに制御されるリードスクリューと、該リードスクリューと螺合されるように前記載置台の底面に固設される可動ブロックとを含むことを特徴とする請求項１０に記載のロードポート装置。
前記第１伝動部材及び第２伝動部材は全てベルト式伝動部材であり、前記第１駆動部材及び第２駆動部材は全て、空気圧シリンダ及び挟持アームを有し、該空気圧シリンダが前記デバイス上に設置され、該挟持アームが該空気圧シリンダ上に設置されると共に該空気圧シリンダに制御され、また、該挟持アームが、対応するベルト式伝動部材を挟持することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のロードポート装置。