JP3226894B2 - 超音波モータ及び超音波モータ付き電子機器 - Google Patents

超音波モータ及び超音波モータ付き電子機器

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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は圧電素子を有する振
動体の超音波モータで移動体を摩擦駆動させる超音波モ
ータ及び超音波モータを用いた電子機器に係わり、特に
超音波モータを振動子として利用し、自励発振で駆動さ
せる超音波モータに関する。
【０００２】
【従来の技術】各種電子機器における新原理アクチュエ
ータとして超音波モータが注目されカメラのオートフォ
ーカス駆動を初め様々な分野での応用が試みられてい
る。超音波モータの駆動方式としては外部の発振回路に
より作られた周波信号を圧電素子に印加し圧電素子を有
する振動体に所定の振動モードを励振する他励振駆動方
式が一般的に採られている。最近では回路構成が複雑な
ことが欠点である。この他励振駆動方式に代わり、超音
波モータを振動子として利用し、振動子の共振で発振さ
せる自励振駆動方式が試みられ実用化がされ始めた。こ
のような回路を利用することで回路の小型・簡素化が図
れ、強いては駆動回路を搭載する機器の小型化、低価格
化が図れる。例えば特公平８−１０７６８６にこのよう
な超音波モータの自励発振駆動の提案がされている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、自励発
振駆動は構成要素が少なく回路の小型・簡素化が図れる
という特徴を有する反面、時に発振が不安定になるとい
う不安を抱えている。自励発振回路は振動体の共振をメ
カニカルフィルターとして利用し特定の周波数だけを増
幅し発振を持続する構成となるが振動体には複数の固有
振動が存在する為、目的の振動モードとは異なる振動モ
ードで発振してしまう異常発振となる恐れがある。特に
目的の振動モードの近くに他の固有モードが存在する場
合には起こりやすい。また、超音波モータの回転数、ト
ルク等の性能は駆動周波数に大きく依存するが、自励発
振駆動の場合、周波数は振動体と回路素子からなる回路
自体による発振の為、周波数が変動する可能性を秘めて
おりモータ性能の変化を巻き起こす可能性がある。特
に、複数の異なる振動モードを利用して自励発振駆動さ
せる場合、異なる振動モードの共振周波数並びに共振特
性が異なる為、その重ねあわせとなる全体の共振特性は
複雑になり発振周波数の変動並びに異常発振の発生を起
こしやすい。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は超音波モータを
自励発振駆動させるものであり、発振の安定性の確保を
するにあたり、複数の共振の中で何れか一つの共振だけ
が働く周波数範囲を使って自励発振させるようにする。
例えば目的の共振点の付近に不要な共振点が存在する場
合には不要な振動モードの共振点を動作に用いる振動モ
ードの共振点よりも高くし、不要な振動モードの影響を
極力抑えるとともに目的の共振のみで位相が変化する領
域を使って自励発振させるようにする。特に第1の共振
の共振点と反共振点の間に第2の共振点が存在する場合
に第1の共振点と第2の共振点の間で発振させるようにす
る。また、特に複数の異なる共振を用いてモータを駆動
させる場合には複数の共振点の何れよりも高い周波数で
自励発振駆動させるようにする。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、図１から図９を参照して本
発明を適用した実施の形態を詳細に説明する。 ｛実施の形態1｝図１は、本発明を適用した超音波モー
タの発振周波数を説明する為の周波数―アドミッタンス
特性を示す。
【０００６】図２は本発明の実施の形態における超音波
モータ３の構造を、図３は超音波モータ３の動作原理を
示したものである。まず本発明に係わる超音波モータの
動作原理について説明する。図２において円板状の振動
体６はその中心を支持板９に固定された中心軸１０によ
って支持されている。振動体６の第1の面には圧電素子
７が接合されており、第2の面には振動体６の振動変位
を拡大し、移動体８に回転力を与える突起６ａが設けら
れている。移動体８の中心には軸受け５が設けられ、そ
の中心を中心軸１０で案内している。また軸受け５の内
輪をばね部材４によって加圧することにより振動体６の
突起６ａと移動体８の摩擦部材８ａの間に接触圧を与え
る。圧電素子７の圧電効果によって振動体６に励振され
た振動波は摩擦力を介して移動体８の回転力に変換され
る。
【０００７】図３に詳細な動作原理を示す。振動体６に
接合される圧電素子７は円周方向に４分の1波長毎に分
割され、一つおきに方向が逆になるように厚み方向に分
極処理されている。各電極パターンを一つおきに電気的
に短絡し、斜線部１２ａと非斜線部１２ｂの二つの電極
パターン群を構成する。そして、振動体６の突起６ａが
ちょうど電極パターンの境界に位置するように振動体６
と圧電素子７が接合される。接合面は全体に渡って電極
１２ｃが設けられている。
【０００８】斜線部のパターン群１２ａに所定の周波数
の信号が印加されると振動体６には（ｃ）に示したよう
な定在波が発生する。この時上昇した突起６ａは右に傾
くためこれと接する移動体８は右に移動する。非斜線部
のパターン群１２ｂに信号を印加すると振動体６には
（ｄ）のような定在波が発生し、移動体８は今度は左方
向に移動する。
【０００９】本実施の形態の圧電素子７を用いれば周方
向に３つの波数を有する定在波が励振でき、また周波数
によって径方向の節の数が異なるため、励振する振動モ
ードの径方向に対する振幅最大部に突起６ａを設けるこ
とが好ましい。図４はコルピッツ型の自励発振回路を用
いた超音波モータの駆動回路１３を示したものである。
コルピッツ型の発振回路は共振点と反共振点の間で圧電
素子７が誘導性となることを利用して発振回路を構成し
たものである。
【００１０】二つのバッファ１６ａ，１６ｂは圧電素子
７の二つの電極パターン群（斜線部１２ａ及び非斜線部
１２ｂ）にそれぞれ独立に接続される。圧電素子７が接
合された振動体６と二つのコンデンサ１８，１９により
共振回路が構成され、インバータ１５ａおよび抵抗１４
ａにより構成された反転増幅回路は共振回路からの信号
を反転増幅し、共振回路に戻すことで発振を持続する。
【００１１】ここでインバータ１５ａおよび二つのバッ
ファ１６ａ，１６ｂはトライステート構成のものであり
制御端子に入力される信号次第で出力端子を高インピー
ダンスの状態、すなわち出力信号をＯＦＦにできる。例
えば、いづれか一方のバッファ１６ａもしくは１６ｂの
出力信号をＯＦＦとすることで正転、あるいは逆転の切
換えが可能となる。また、インバータ１５ａもしくは二
つのバッファ１６ａ，１６ｂの出力信号をＯＦＦ（出力
端子を高インピーダンス）とすることで停止する。
【００１２】ところで、以上示したように本発明に関す
る超音波モータは１つの定在波によって駆動されるもの
である。しかしながら駆動に寄与する共振モードの付近
には、励振力の大小に係わらず駆動に寄与しない他の振
動モードが励振されることがしばしば在る。それは目的
の振動モード、すなわち駆動に寄与する振動モードと同
形状の振動モードで周方向に対して節の位置が異なる振
動モードであることが多い。
【００１３】例えば電極パターン群１２ａに駆動信号を
印加し、図３（C）の振動モードを励振すると、その共
振点の近辺にこの振動モードと直交する(位置的に９０
度位相がずれた)（ｄ）の様な振動モードが励振される
ことがある。この不要モードの励振力の大きさ、共振周
波数は使用する振動モード、圧電素子７の電極パター
ン、振動体形状等によって変化する。特に本実施の形態
のような振動体形状の場合、不要振動の大きさおよび共
振周波数は振動体円板部と突起６ａの形状に大きく左右
され、そして突起６ａの曲げモードの固有周波数が振動
体円板部の目的の振動の固有周波数に近くなると不要振
動が大きくなる為、これらに注意して突起の高さ、幅を
設定する。従って、これら設計パラメータの最適化によ
り、目的の振動モードの共振点よりも、不要振動の共振
点が高くなるようにする。そして、例えば図３に示す様
に圧電素子７の電極パターンを最適化し不要振動の励振
力、すなわちアドミッタンスや電気機械結合係数を目的
の振動よりも小さくすることで不要振動の振幅を抑える
とともに目的の振動モードでの自励発振を容易にし、ま
た目的の振動の共振点と不要振動の共振点の間で発振す
るようにコンデンサ１８，１９や抵抗１７ａ等、フィル
タを構成する要素の値を調整することで位相調整を行い
目的の振動モードの共振で安定に発振する様に発振周波
数を設定する。
【００１４】振動体６の機械的振幅は共振点を境にそれ
よりも高い周波数では徐々に減少するが、共振点よりも
低くなると急激に減少し共振モードの影響が極めて小さ
くなる。特に圧電体特有のヒステリシス特性からも共振
点より低い周波数での機械的振幅の減少は急激である。
そこで以上示したように超音波モータ３の構造上の設計
パラメータの最適化により、図１に示すように不要振動
の共振点２を目的の振動の共振点１よりも高くすると共
に、回路定数の最適化により目的の振動の共振点１と不
要振動の共振点２の間、特に位相が大きく反転する領域
１００で自励発振させることにより安定な発振が確保で
き、かつ不要振動の影響が極めて小さく動作が安定で効
率の良い超音波モータが実現できる。
【００１５】ここでは自励発振回路としてコルピッツ型
の発振回路を利用した例について説明したが、図５に示
すように駆動電極１２ａまたは１２ｂとは別に設けた検
出用電極１２ｄでの検出信号を増幅回路１４ｂ、１５ｂ
および１４ｃ、１５ｃを通して駆動用電極１２ａまたは
１２ｂに帰還することにより発振を持続する振動帰還型
の発振回路を用いても構わない。また、超音波モータ３
の構造、駆動原理もここで示したものに限らなく超音波
モータ３の駆動に寄与する共振の近傍に駆動に寄与しな
い共振が存在する場合に本発明は適用できる。
【００１６】共振においてアドミッタンス、電気機械結
合係数ともに高い方が自励発振させやすいが、特にアド
ミッタンスが高い場合には図５に示す様な振動帰還型の
自励発振回路において検出用電極から大きな検出信号が
得られ発振が容易に出来、また電気機械結合係数が高い
場合には圧電素子７が誘導性となる周波数範囲１００が
広く取れる為、図４に示したようなコルピッツ型の自励
発振回路での発振が容易でしかも広い周波数範囲での発
振が可能となる。
【００１７】｛実施の形態２｝図６は本発明に係わる別
の実施の形態における超音波モータの駆動原理を示す。
超音波モータの基本的な構造は実施の形態１に示したも
のと基本的に同じである。ここで例えば１/２波長毎に
分極方向が異なる分極領域を有する2枚の圧電素子７
ｃ、７ｄを図 （ａ）の様に接合する。ここで同一素子
内において斜線部と非斜線部とでは厚み方向に対して分
極方向が逆になっている。すなわち一方の圧電素子７ｃ
は突起６ａが分極領域の中央部に、他方の圧電素子７ｄ
は隣り合う分極領域の境界線上に突起６ａがくる様に接
合される。ここで圧電素子７ｃに所定の周波数の電圧信
号を印加すると突起６ａが上下に振れる振動モード４０
０が励振される。圧電素子７ｄに所定の周波数の電圧信
号を印加すると突起が左右に振れる振動モード５００が
励振される。従って、圧電素子７ｃ、７ｄに夫々電圧信
号を印加すれば二つの振動成分４００，５００が合成さ
れ移動体８は図（ｂ）の矢印の様に右に移動する。今度
は圧電素子７ｃと７ｄに例えば位相が180度異なる電圧
信号を印加すると二つの振動成分４００，６００の合成
により図（ｃ）の矢印の様に移動体は 左方向に移動す
る。
【００１８】このように二つの振動モードを利用してモ
ータを構成する場合には少なからず二つの振動の共振周
波数に差異が生じる。この共振周波数は振動体６の形
状、圧電素子７の電極パターン等によって変化するがこ
のように超音波モータを自励発振駆動させる場合、図７
に示したように二つの共振点２２，２３がなるべく近く
なるようにこれら設計パラメータを最適化するととも
に、二つの共振点２２，２３よりも高い周波数で自励発
振するように自励発振回路の回路定数を調整する。
【００１９】本実施の形態で示した超音波モータは二つ
の振動成分を利用したものであるが、実施の形態1で示
したように共振点よりも低い周波数では急激に変位が低
下する。また共振点の付近ではヒステリシスが生じる。
従って、二つの共振点２２，２３よりも高い周波数で自
励発振させれば二つの振動モードを有効に利用すること
が出来、効率の良く、発振が安定で信頼性の高い超音波
モータが実現できる。自励発振回路が成り立つ為には回
路のループゲインが大きく位相の回転が360度の倍数と
なることが必要であるが、図７に示す様に、特に二つの
振動の共振点２２，２３の周波数差を周波数が高い方の
共振点２３とその反共振点との周波数差よりも小さくす
ることにより位相が大きく変化(約180度)する領域２０
０が大きくなり安定な自励発振が可能であるとともに、
発振周波数の可変範囲が広く出来、回転数等のモータ特
性を調整あるいは変化させやすくなる。特に図４に示し
たようなコルピッツ型の発振回路を利用する場合には発
振周波数は圧電素子７の電気的特性が誘導性になり位相
が180度変化する共振点と反共振点の間２００となる
為、特に有効となる。図８は逆に二つの共振点が離れた
場合のアドミッタンス特性を示す。この様に、二つの共
振が分離し、位相が反転する領域が完全に二つに分かれ
る為、特にコルピッツ型の発振回路を利用した場合に
は、周波数が低い方の共振で発振させると何れか一方の
振動モードしか利用できず、超音波モータ３の効率は悪
くなる。
【００２０】ここでは二つの振動モードを使用する場合
について図６の様な圧電素子の構成を使用した例につい
て示したが特にこれに限ることではなく、またモータの
構成もこれに限るものではない。例えば図９に示すよう
に矩形板の伸び振動７００と曲げ振動８００の合成振動
９００を利用したもの等が挙げられる。ここでは全面が
同一の厚み方向Ｐに分極処理され、全面に電極１２ｈを
有する圧電素子７ｅに駆動信号を印加することで伸び振
動７００を、少なくとも片面に４分割された電極１２
ｉ，１２ｊ、１２ｋ、１２ｌを有し、全面が同一の厚み
方向に分極処理された圧電素子７ｆに対し、対角の電極
１２ｉ、１２ｌもしくは１２ｊ、１２ｋにのみ信号を印
加することで主に曲げ振動８００を励振するような構成
となっている。
【００２１】更には以上二つの例に示したように移動体
８と振動体６の接触圧方向に変位する振動４００，７０
０を利用する場合、図７の二つの共振点２２，２３のう
ち周波数が高い共振点２３にこの振動の共振点がくる様
にすることで、移動体８の加圧力に対抗して大きな反力
を産み出す事が出来、大きなトルクを発生することが出
来る。
【００２２】｛実施の形態３｝図１０は、本発明に係わ
る超音波モータを電子機器に適用した実施の形態３のブ
ロック図を示す。本電子機器は、前述の振動体６と振動
体６により駆動される移動体８と、移動体８と振動体６
に接触圧を与える加圧手段４と、移動体８と連動して可
動する伝達機構２６と、伝達機構２６の動作に基づいて
運動する出力機構２７を備えることを特徴とする。
【００２３】ここで、伝達機構２６には、例えば、歯
車、摩擦車等の伝達車を用いる。伝達機構２６を省略
し、直接出力機構を設けても構わない。出力機構２７に
は、例えば、指示装置や電子時計においては指針あるい
は指針駆動機構やカレンダ等の表示板、あるいは表示板
駆動機構を、コピー機やプリンタにおいてはレーザーの
方向を変えるミラーを、カメラやビデオカメラにおいて
はシャッタ駆動機構、絞り駆動機構、レンズ駆動機構、
フィルム巻き上げ機構等を、レーザーや光を利用した計
測器や製造装置、センサーにおいては光の遮断・透過や
特定波長の光のみを透過するスリット板やフィルター
を、音響機器のボリュウム等には抵抗値や容量値を可変
する接点機構やギャップ板を、ハードディスクや光ディ
スクにおいてはピックアップ駆動機構を用いる。
【００２４】また、移動体８に出力軸を取り付け、出力
軸からトルクを伝達する動力伝達機構を有する構成とす
れば、超音波モータ自身で駆動機構が実現できる。
【００２５】
【発明の効果】以上のように、電子機器の駆動源に超音
波モータを用いることにより機器の小型化、消費電力の
低減、応答性並びに位置決め分解能の向上、磁界や真空
中での使用を可能にする。更には本発明のように自励発
振駆動を用いれば駆動回路の小型化、強いては装置全体
の小型化、コストの低減が図れる。特に請求項1から５
記載の発明によれば異常発振を発生せず、安定な自励発
振が可能となり超音波モータ、更には超音波モータを搭
載する機器の信頼性を向上させるとともに特性変化の少
ない超音波モータを実現できる。請求項６記載の発明に
よれば高トルクの超音波モータが実現できる。請求項７
に記載の発明によれば、本発明を適用した超音波モータ
により駆動される電子機器が実現される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の超音波モータの振動体の周波数−アド
ミッタンス特性を示す図である。
【図２】本発明の超音波モータの構造を示す断面図であ
る。
【図３】本発明の超音波モータの駆動原理を示す図であ
る。
【図４】本発明の超音波モータの駆動回路の例を示す図
である。
【図５】本発明の超音波モータの駆動回路の別の例を示
す図である。
【図６】本発明の超音波モータの別の駆動原理を示す図
である。
【図７】本発明の超音波モータの振動体の周波数−アド
ミッタンス特性の別の例を示す図である。
【図８】本発明の超音波モータの効果を説明する為の振
動体の周波数−アドミッタンス特性を示す図である。
【図９】本発明の超音波モータの中で矩形板振動体を利
用した場合の駆動原理を示す図である。
【図１０】本発明に係わる超音波モータを電子機器に適
用した例を示すブロック図である。
【符号の説明】
１ 第１の共振点 ２ 第２の共振点 ３ 超音波モータ ４ 加圧機構 ５ 軸受け ６ 振動体 ７ 圧電素子 ８ 移動体 ９ 支持板 １０ 中心軸 １２ 電極
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−285112（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−30168（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−181372（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H02N 2/00

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 圧電素子を有する振動体の振動により移
    動体を摩擦駆動する超音波モータにおいて、前記振動体は、第１の共振点と、 第１の共振点と同形で節の位置が異なる振動モードを有
    し、第１の共振点よりも高い周波数で共振する第２の共
    振点と、を有し、 前記第１の共振点の振動モードで駆動される ことを特徴
    とする超音波モータ。
  2. 【請求項２】 圧電素子を有する振動体と増幅回路から
    なる自励発振回路により、前記振動体の第１の共振の共
    振点と、第２の共振の共振点の間で自励発振駆動するこ
    とを特徴とする請求項１記載の超音波モータ。
  3. 【請求項３】 第１の共振の共振点のアドミッタンスは
    第２の共振の共振点のアドミッタンスよりも高いことを
    特徴とする請求項１記載の超音波モータ。
  4. 【請求項４】 第１の共振の電気機械結合係数は第２の
    共振の電気機械結合係数よりも大きいことを特徴とする
    請求項１記載の超音波モータ。
  5. 【請求項５】 圧電素子を有する振動体の超音波振動に
    より移動体を摩擦駆動する超音波モータにおいて、 前記超音波振動は振動体に発生する二つの振動の合成で
    あり、前記二つの振動の何れの共振点よりも高い周波数
    で自励発振駆動したことを特徴とする超音波モータ。
  6. 【請求項６】 前記二つの振動の共振点の内、周波数が
    高い共振点の振動モードは、前記移動体と前記振動体と
    の接触圧方向へ変位する振動モードであることを特徴と
    する請求項５記載の超音波モータ。
  7. 【請求項７】 前記第１の共振の共振点と前記第２の共
    振の共振点の周波数差は第２の共振の共振点と第２の振
    動の反共振点の周波数差よりも小さいことを特徴とする
    請求項５または６記載の超音波モータ。
  8. 【請求項８】 請求項１から７記載の何れかに記載の超
    音波モータを備えたことを特徴とする超音波モータ付き
    電子機器。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6930436B2 (en) 2001-01-22 2005-08-16 Canon Kabushiki Kaisha Vibration element and vibration wave driving apparatus
JP3805242B2 (ja) 2001-12-07 2006-08-02 キヤノン株式会社 振動波駆動装置
JP4714405B2 (ja) * 2003-02-19 2011-06-29 セイコーインスツル株式会社 超音波モータ及び超音波モータ付き電子機器
KR100691270B1 (ko) * 2005-08-05 2007-03-12 삼성전기주식회사 압전 스테이터의 노달 지점을 자동으로 찾아 지지하는 구조
EP1998433B1 (en) * 2006-03-13 2014-06-25 Nikon Corporation Vibration actuator, lens barrel, camera system and vibrating element
JP5354097B2 (ja) 2011-05-13 2013-11-27 株式会社村田製作所 電力送電装置、電力受電装置および電力伝送システム
JP5486036B2 (ja) 2012-04-11 2014-05-07 ファナック株式会社 温度変化に伴う歪みによる不具合を防止するロータ構造を有する電動機及びその製造方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4882500A (en) * 1986-06-04 1989-11-21 Nippon Seimitsu Kogyo Kabushiki Kaisha Method for converting standing wave vibrations into motion and standing wave motor therefor
JP2764123B2 (ja) 1989-04-28 1998-06-11 セイコーインスツルメンツ株式会社 超音波モータ及び超音波モータを有するアナログ式電子時計
JP3369259B2 (ja) * 1993-07-12 2003-01-20 富士通株式会社 圧電トランス
JPH07241090A (ja) * 1994-02-28 1995-09-12 Nikon Corp 超音波モータ
EP0674350B1 (en) * 1994-03-23 2000-05-31 Nikon Corporation Ultrasonic motor
JP3551420B2 (ja) * 1995-04-14 2004-08-04 耕司 戸田 超音波アクチュエータ
JPH0965674A (ja) * 1995-06-15 1997-03-07 Nikon Corp 振動アクチュエータ
JPH09181372A (ja) * 1995-12-25 1997-07-11 Toto Ltd 圧電トランス及びその製造方法
JP3184117B2 (ja) * 1997-05-23 2001-07-09 セイコーインスツルメンツ株式会社 超音波モータ及び超音波モータ付き電子機器
JP3124514B2 (ja) * 1997-08-01 2001-01-15 セイコーインスツルメンツ株式会社 超音波モータ、電子機器、及びアナログ式時計
JP2000060163A (ja) * 1998-02-10 2000-02-25 Nikon Corp 振動アクチュエ―タ
US6252333B1 (en) * 1998-02-20 2001-06-26 Seiko Instruments Inc. Stage utilizing ultrasonic motor and electronic equipment and printer utilizing the stage
JP4510179B2 (ja) * 1998-08-07 2010-07-21 セイコーインスツル株式会社 超音波モータおよび超音波モータ付電子機器

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