JP3226414B2 - 超音波モータの駆動回路 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超音波モータの駆動回
路、詳しくは、超音波モータに交流信号を印加して駆動
制御する超音波モータの駆動回路に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、超音波モータの駆動回路は種々の
ものが提案されているが、特開昭６３−２３４８８１号
公報には、超音波モータの電気−機械エネルギー変換素
子に印加する交流信号の周波数制御を、ＶＣＯ（電圧制
御発振器）で基本信号発生入力電圧を変化させて行う技
術手段が提案されている。この技術手段によると、アナ
ログ的な時定数により該交流信号の周波数が決まり、ま
た、連続的に変化可能であり、その分解能も高いという
特徴を有している。

【０００３】また、特開平３−２８９３７６号公報に
は、高周波クロックをディジタル的に分周して基本信号
を発生し、分周数を変化させることにより、超音波モー
タに印加する交流信号の周波数制御を行う技術手段が開
示されている。この技術手段においては、高精度で、温
度変化による影響も小さいクロック発振子が採用されて
いるので、常時正確な駆動周波数を得ることができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開昭６３−２３４８８１号公報に開示された技術手段で
は、上述した利点を有しながらも一方では電気的素子の
作成ばらつきを除くため可変抵抗による調整が必要な
上、温度による特性変化が大きく正確な周波数制御が困
難である。

【０００５】また、上記特開平３−２８９３７６号公報
に開示された技術手段では、採用されている発振子は高
精度で温度依存性も小さく常時正確な周波数が得られる
が、周波数設定分解能を上げようとすると高周波クロッ
クが必要なため、消費電流が大きくなり、また、ノイズ
も増大するという問題点を有している。

【０００６】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであり、正確な周波数制御が可能であり、消費電流が
少ない超音波モータの駆動回路を提供することを目的と
する。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明による第１の超音波モータの駆動回路は、電
気ー機械エネルギー変換素子に交流信号を印加すること
により振動波を発生させ、該振動波により被駆動体を駆
動する超音波モータの、駆動回路において、上記交流信
号の基本周波数信号を、アナログ的な時定数に基づいて
発生して出力する発振手段と、上記交流信号の基本周波
数信号よりも高い周波数を有するクロック信号を発生す
るクロック信号発生手段と、上記超音波モータの下限駆
動周波数もしくは上限駆動周波数に対するタイミング信
号を、上記クロック信号を分周することによりディジタ
ル的に発生し、かつ、その分周数の設定値によって上記
下限駆動周波数もしくは上限駆動周波数を変更可能な分
周手段と、上記基本周波数信号と上記タイミング信号と
の各々の周波数を比較する周波数比較手段と、この周波
数比較手段からの出力に応じて、上記基本周波数信号が
下限駆動周波数よりも高いかもしくは上限駆動周波数よ
りも低い範囲に保たれるように、上記発振手段を制御す
る制御手段とを具備することを特徴とする。また、本発
明による第２の超音波モータの駆動回路は、電気ー機械
エネルギー変換素子に交流信号を印加することにより振
動波を発生させ、該振動波により被駆動体を駆動する超
音波モータの、駆動回路において、入力する電圧値に応
じて、上記交流信号の周波数信号をアナログ的な時定数
に基づいて発生して出力する発振手段と、上記交流信号
の周波数信号よりも高い周波数を有するクロック信号を
発生するクロック信号発生手段と、上記クロック信号を
分周し、所定の基準周波数を有する基準周波数信号をデ
ィジタル的に発生させるディジタル分周手段と、上記発
振手段から出力された周波数信号と上記ディジタル分周
手段から出力された基準周波数信号とを比較する比較手
段と、上記超音波モータの駆動に先立ち、上記比較手段
の出力に応じて上記発振手段の入力電圧を変更してゆ
き、上記２つの周波数信号の周波数が略等しくなった際
の上記発振手段からの出力周波数信号を初期周波数とす
る初期化手段とを具備することを特徴とする。

【０００８】更に、本発明による第３の超音波モータの
駆動回路は、電気ー機械エネルギー変換素子に交流信号
を印加することにより振動波を発生させ、該振動波によ
り被駆動体を駆動する超音波モータの、駆動回路におい
て、上記交流信号の基本周波数信号を、アナログ的な時
定数に基づいて発生して出力する発振手段と、上記交流
信号の基本周波数信号よりも高い周波数を有するクロッ
ク信号を発生するクロック信号発生手段と、上記超音波
モータの下限駆動周波数もしくは上限駆動周波数に対応
するタイミング信号を、上記クロック信号を分周するこ
とによりディジタル的に発生する分周手段と、上記基本
周波数信号と上記タイミング信号との各々の周波数を比
較する周波数比較手段と、この周波数比較手段からの出
力に応じて、上記基本周波数信号が下限駆動周波数より
も高いかもしくは上限駆動周波数よりも低い範囲に保た
れるように、上記発振手段を制御する制御手段と、周囲
温度を検出する温度センサとを具備しており、上記分周
手段は、上記温度センサの出力に基づいて上記下限駆動
周波数もしくは上限駆動周波数を変更するようにしたこ
とを特徴とする。さらにまた、本発明による第４の超音
波モータの駆動回路は、電気ー機械エネルギー変換素子
に交流信号を印加することにより振動波を発生させ、該
振動波により被駆動体を駆動する超音波モータの、駆動
回路において、上記交流信号の周波数を決定する基本周
波数信号を発生させると共に、入力される電圧値に基づ
いて該基本周波数信号の周波数を変更する電圧制御発振
回路と、上記交流信号の周波数信号よりも高い周波数を
有するクロック信号を発生させるクロック信号発生手段
と、上記クロック信号を分周し、所定の基準周波数を有
する基準周波数信号をディジタル的に発生させる基準周
波数信号発生手段と、上記基本周波数信号と基準周波数
信号の周波数を比較する周波数比較手段と、上記超音波
モータの駆動に先立ち、まず上記周波数比較手段の出力
に基づいて上記電圧制御発振回路に入力する電圧値を変
更してゆき、上記２つの周波数信号の周波数が略等しく
なった際に上記電圧値を基準電圧値として記憶し、この
記憶値との相対値によって上記電圧制御発振回路を制御
する制御手段とを具備することを特徴とする。 そして、
本発明による第５の超音波モータの駆動回路は、電気ー
機械エネルギ ー変換素子に交流信号を印加することによ
り振動波を発生させ、該振動波により被駆動体を駆動す
る超音波モータの、駆動回路において、上記交流信号の
周波数を決定する基本周波数信号を発生させると共に、
入力されるパラメータ値に基づいて該基本周波数信号の
周波数を変更する発振手段と、上記交流信号の周波数よ
りも高い周波数を有するクロック信号を発生させるクロ
ック信号発生手段と、上記クロック信号を分周し、所定
の基準周波数を有する基準周波数信号をディジタル的に
発生させる基準周波数信号発生手段と、上記基本周波数
信号と基準周波数信号の周波数を比較する周波数比較手
段と、上記超音波モータの駆動に先立ち、まず上記周波
数比較手段の出力に基づいて上記発振手段に入力するパ
ラメータ値を変更してゆき、上記２つの周波数信号の周
波数が略等しくなった際に上記パラメータ値を基準パラ
メータ値として記憶し、この記憶値との相対値によって
上記発振手段を制御する制御手段とを具備することを特
徴とする。

【０００９】

【作 用】上記第１の超音波モータの駆動回路は、発振
手段で上記電気ー機械エネルギー変換素子に印加する交
流信号の基本周波数信号を、アナログ的な時定数に基づ
いて発生させ、また、クロック信号発生手段で該交流信
号の基本周波数信号よりも高い周波数を有するクロック
信号を発生させる。さらに、分周数の設定値によって下
限駆動周波数もしくは上限駆動周波数が変更可能である
分周手段で、上記超音波モータの下限駆動周波数もしく
は上限駆動周波数に対応するタイミング信号を、上記ク
ロック信号を分周することによりディジタル的に発生さ
せ、周波数比較手段で上記基本周波数信号と上記タイミ
ング信号との各々の周波数を比較し、そして、この周波
数比較手段の出力に応じて、上記基本周波数信号が下限
駆動周波数よりも高いかもしくは上限駆動周波数よりも
低い範囲に保たれるように、制御手段で上記発振手段を
制御する。上記第２の超音波モータの駆動回路は、発振
手段で上記電気ー機械エネルギー変換素子に印加する交
流信号の周波数信号を、入力電圧値に応じてアナログ的
な時定数に基づいて発生させ、また、クロック信号発生
手段で上記交流信号の周波数信号よりも高い周波数を有
するクロック信号を発生させる。さらに、ディジタル分
周手段で上記クロック信号を分周し、所定の基準周波数
を有する基準周波数信号をディジタル的に発生させる。
そして、比較手段で上記発振手段から出力された周波数
信号と上記ディジタル分周手段から出力された基準周波
数信号とを比較し、上記超音波モータの駆動に先立ち、
初期化手段で上記比較手段の出力に応じて上記発振手段
の入力電圧を変更してゆき、上記２つの周波数信号の周
波数が略等しくなった際の上記発振手段の出力周波数信
号を初期周波数とする。

【００１０】上記第３の超音波モータの駆動回路は、発
振手段で上記電気ー機械エネルギー変換素子に印加する
交流信号の基本周波数信号を、アナログ的な時定数に基
づいて発生させ、また、クロック信号発生手段で該交流
信号の基本周波数信号よりも高い周波数を有するクロッ
ク信号を発生させる。そして、周囲温度を検出する温度
センサの出力に基づいて下限駆動周波数もしくは上限駆
動周波数を変更し得る分周手段で、上記超音波モータの
下限駆動周波数もしくは上限駆動周波数に対応するタイ
ミング信号を、上記クロック信号を分周することにより
ディジタル的に発生させ、周波数比較手段で上記基本周
波数信号と上記タイミング信号との各々の周波数を比較
し、この周波数比較手段の出力に応じて、上記基本周波
数信号が下限駆動周波数よりも高いかもしくは上限駆動
周波数よりも低い範囲に保たれるように、制御手段で上
記発振手段を制御する。上記第４の超音波モータの駆動
回路は、電圧制御発振回路で上記電気ー機械エネルギー
変換素子に印加する交流信号の周波数を決定する基本周
波数信号を発生させると共に、入力される電圧値に基づ
いて該基本周波数信号の周波数を変更する。また、クロ
ック信号発生手段で上記交流信号の周波数信号よりも高
い周波数を有するクロック信号を発生させ、基準周波数
信号発生手段で上記クロック信号を分周し、所定の基準
周波数を有する基準周波数信号をディジタル的に発生さ
せ、周波数比較手段で上記基本周波数信号と基準周波数
信号の周波数を比較する。そして、上記超音波モータの
駆動に先立ち、制御手段で上記周波数比較手段の出力に
基づいて上記電圧制御発振回路に入力する電圧値を変更
してゆき、上記２つの周波数信号の周波数が略等しくな
った際に上記電圧値を基準電圧値として記憶し、この記
憶値との相対値によって上記電圧制御発振回路を制御す
る。 上記第５の超音波モータの駆動回路は、発振手段で
上記電気ー機械エネルギー変換素子に印加する交流信号
の周波数を決定する基本周波数信号を発生させると共
に、入力されるパラメータ値に基づいて該基本周波数信
号の周波数を変更する。また、クロック信号発生手段で
上記交流信号の周波数よりも高い周波数を有するクロッ
ク信号を発生させ、基準周波数信号発生手段で上記クロ
ック信号を分周し、所定の基準周波数を有する基準周波
数信号をディジタル的に発生させ、周波 数比較手段で上
記基本周波数信号と基準周波数信号の周波数を比較す
る。そして、上記超音波モータの駆動に先立ち、制御手
段で上記周波数比較手段の出力に基づいて上記発振手段
に入力するパラメータ値を変更してゆき、上記２つの周
波数信号の周波数が略等しくなった際に上記パラメータ
値を基準パラメータ値として記憶し、この記憶値との相
対値によって上記発振手段を制御する。

【００１１】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。

【００１２】図１は、本発明の第１実施例である超音波
モータの駆動回路の構成を示したブロック回路図であ
る。

【００１３】図に示すように、この超音波モータの駆動
回路は、発振回路１で生成された高周波のディジタルク
ロックφＯＳＣを受けて回路系全体の駆動制御を行うＣ
ＰＵ２を具備している。このＣＰＵ２には各種データの
記憶されたメモリ３が接続されており、該ＣＰＵ２は所
定のタイミングで該メモリ３からのデータを読み出すよ
うになっている。また、該ＣＰＵ２には、超音波モータ
１４の周囲温度を検出する温度センサ４が接続されてい
て、該温度センサ４において検出した超音波モータの周
囲温度の情報を入力するようになっている。なお、上記
発振回路１は、固有の出力周波数を有する発振子、たと
えば、水晶発振子，セラミック発振子を備えている。

【００１４】また、上記ＣＰＵ２からは、上記ディジタ
ルクロックφＯＳＣに基づいてＤＡコンバータ（ディジ
タル−アナログコンバータ）５、上限周波数設定用カウ
ンタ７、下限周波数設定用８に対して後述する所定信号
が出力されるようになっている。上記ＤＡコンバータ５
は、ＣＰＵ２からのディジタル信号をアナログ信号であ
る出力電圧ＶDACに変換し、ＶＣＯ６に対して出力する
ようになっている。このＶＣＯ（電圧制御発振器）６
は、上記出力電圧ＶDACを受けて超音波モータ１４の駆
動周波数の約４倍の周波数をもつ、基本周波信号である
パルス信号φＵＳＲを出力するようになっている。

【００１５】一方、該超音波モータの駆動回路は、上限
周波数に対応するタイミング信号を上記ディジタルクロ
ックφＯＳＣを分周して決定し、ＣＯ端子からクロック
信号を出力する、上限周波数設定用カウンタ７と、下限
周波数に対応するタイミング信号を同じく上記ディジタ
ルクロックφＯＳＣを分周して決定し、ＣＯ端子からク
ロック信号を出力する下限周波数設定用カウンタ８とを
具備している。なお、上記カウンタ７，８におけるそれ
ぞれの分周数は、上記ＣＰＵ２から出力されるディジタ
ルコードで決定されるようになっている。

【００１６】上記ＶＣＯ６から出力されたパルス信号φ
ＵＳＲは、パルス変換回路１２に入力するとともに、分
周カウンタ９に入力するようになっている。該分周カウ
ンタ９は、上記信号φＵＳＲを分周して信号φＵＳＲ
１，φＵＳＲ２として出力するようになっている。該パ
ルス信号φＵＳＲ２は上記カウンタ７，８のＳＰＥ（バ
ー）端子に入力され、上記ディジタルクロック信号φＯ
ＳＣに同期してカウンタ７およびカウンタ８をリセット
し、ＣＰＵ２からのデータをプリセットするために用い
られる。

【００１７】上記パルス信号φＵＳＲ１は、Ｄ−フリッ
プフロップ（図中、ＤＦＦと示す）１０，１１に入力
し、該Ｄ−フリップフロップ１０，１１では、信号φＵ
ＳＲ１の立ち上がりエッヂのときのＤ入力をラッチする
ようになっている。

【００１８】上記パルス変換回路１２では、上記パルス
信号φＵＳＲを４相のディジタルパルス信号φ１〜φ４
に変換し、電力増幅回路１３に出力するようになってい
る。該電力増幅回路１３では、上記４相のディジタルパ
ルス信号φ１〜φ４に基づいて交流信号φＡ，φＢを発
生し、超音波モータ（ＵＳＭ）１４の電極に印加するよ
うになっている。なお、上記パルス変換回路１２からの
出力パルス信号φ１〜φ４と電力増幅回路１３からの出
力交流信号φＡ，φＢとの関係は、図５に示すタイミン
グチャートのようになっている。

【００１９】また、該超音波モータ１４の近傍には、パ
ルスエンコーダ１５が配設されており、該超音波モータ
１４の回転に応じたパルス信号を生成し、上記ＣＰＵ２
に対して送出するようになっている。

【００２０】図２は、本実施例における上記ＶＣＯ６の
構成を詳しく示した電気回路図である。

【００２１】図中、符号Ｉref1，Ｉref1′は共に定電流
源であり、定電流ｉ0をそれぞれ図に示す方向に流すよ
うに構成されている。該定電流源Ｉref1，Ｉref1′に
は、それぞれ直列にアナログスイッチＡＮ1，ＡＮ2が接
続されている。該アナログスイッチＡＮ1，ＡＮ2は、後
述するＲＳフリップフロップＲＳ１からのコントロール
入力信号が“Ｈ”レベルのとき、ＡＮ1がオフ、ＡＮ2は
オンするようになっており、また、該コントロール入力
信号が“Ｌ”レベルのときは、ＡＮ1がオン，ＡＮ2はオ
フするようになっている。

【００２２】上記アナログスイッチＡＮ1，ＡＮ2の出力
端は、コンデンサＣ１を介してともに接地されていると
ともに、コンパレータＣＯＭＰ１，ＣＯＭＰ２の−端子
に接続されている。上記コンパレータＣＯＭＰ１，ＣＯ
ＭＰ２は、オープンコレクタ出力のコンパレータで、上
記−端子は上述したようにコンデンサＣ１の一端に接続
されていて、上記定電流源Ｉref1，Ｉref1′とコンデン
サＣ１とで生成される電圧ＶCの信号が入力している。

【００２３】一方、上記コンパレータＣＯＭＰ２の＋端
子には、図示しない外部電源からの電源電圧Ｖccを抵抗
Ｒ１，Ｒ２により分圧して生成された基準電圧Ｖrefが
入力している。また、上記コンパレータＣＯＭＰ１の＋
端子には、外部電源からの電圧ＶDACが入力されてい
る。さらに、上記コンパレータＣＯＭＰ１，ＣＯＰＭ２
のそれぞれの出力は抵抗素子Ｒup1，Ｒup2により、電圧
Ｖccにプルアップされている。

【００２４】上記コンパレータＣＯＭＰ１の出力信号
は、インバータＩV1で反転され、ＲＳフリップフロップ
ＲＳ１のＳ端子に入力される。一方、コンパレータＣＯ
ＭＰ２の出力信号は、直接上記ＲＳフリップフロップＲ
Ｓ１のＲ端子に入力される。また、該ＲＳフリップフロ
ップＲＳ１の出力端子Ｑは上記アナログスイッチＡＮ
1，ＡＮ2の制御入力端子に接続されるとともに、該出力
端子Ｑからは上述したパルス信号φＵＳＲが出力される
ようになっている。

【００２５】図３（ａ），（ｂ）は、上記ＶＣＯ６の動
作を示すタイミングチャートであり、（ａ）は、上記コ
ンパレータＣＯＭＰ１に入力する電圧ＶDACの電圧値が
ＶDAC１である場合、また、（ｂ）は、該電圧ＶDACが、
上記電圧ＶDAC1より大きい電圧ＶDAC2である場合をそれ
ぞれ示している。

【００２６】図３（ａ）に示すように、上記コンパレー
タＣＯＭＰ１の＋端子に入力する電圧ＶDACの電圧値が
ＶDAC１であり、該電圧ＶDAC１と電圧Ｖrefとの差がΔ
Ｖである場合、上記コンパレータＣＯＭＰ２の出力信号
（Ｒ信号）が“Ｈ”レベルとなると、上記ＲＳフリップ
フロップＲＳ１の出力端子（Ｑ端子）からの出力信号、
すなわちパルス信号φＵＳＲは“Ｌ”レベルとなる。こ
れにより、アナログスイッチＡＮ1がオン，ＡＮ2がオフ
し、定電流源Ｉref1からの定電流ｉ0がコンデンサＣ１
にチャージされるため、上記電圧Ｖcは図示の如くリニ
アに上昇する。

【００２７】上記電圧Ｖcが上昇し、上記電圧ＶDAC1を
越えると、コンパレータＣＯＭＰ１の出力が反転し、Ｒ
ＳフリップフロップＲＳ１のＳ端子には、“Ｈ”レベル
のＳ信号が入力される。これにより、該ＲＳフリップフ
ロップＲＳ１の出力端子（Ｑ端子）からの出力信号、す
なわちφＵＳＲは“Ｌ”から“Ｈ”レベルに反転し、ア
ナログスイッチＡＮ1はオフし、ＡＮ2はオンする。する
と、定電流源Ｉref1′の定電流ｉ0によってコンデンサ
Ｃ１から電荷がディスチャージされ、上記電圧Ｖcは図
示の如くリニアに低下する。

【００２８】この後、電圧Ｖcが電圧Ｖrefよりも低くな
ると、コンパレータＣＯＭＰ２からのＲ信号出力が反転
し、ＲＳフリップフロップＲＳ１のＲ端子には、“Ｈ”
レベルの信号が入力される。これにより、該ＲＳフリッ
プフロップＲＳ１の出力端子からの出力信号は“Ｈ”か
ら“Ｌ”レベルに反転し、再びコンデンサＣ１へ電荷の
チャージが開始される。

【００２９】図３（ｂ）は、上述したように、上記コン
パレータＣＯＭＰ１に入力する電圧ＶDACが、上記電圧
ＶDAC1より大きい電圧ＶDAC2である場合を示している。

【００３０】この図に示すように、上記コンパレータＣ
ＯＭＰ１に入力する電圧ＶDACが大きくなると、すなわ
ち、図中、ΔＶの大きさが大きくなるとＲＳフリップフ
ロップＲＳ１に入力するＳ信号とＲ信号との間隔が長く
なり、これにともないパルス信号φＵＳＲの周波数が低
下する。したがって該パルス信号φＵＳＲの周波数は、
上記ΔＶの大きさにより決まることになる。

【００３１】図４は、上記電圧ＶDACとパルス信号φＵ
ＳＲの周波数との関係を示した線図である。

【００３２】定電流源Ｉref1，Ｉref1′の定電流ｉ0は
何れも温度により変動し、本実施例においては高温の方
が電流値ｉ0が大きくなる。したがって高温の方が同一
のＶDAC出力でもチャージが早くなるため周波数は上が
る。

【００３３】次に、上記カウンタ７，８，９およびＤ−
フリップフロップ１０，１１等で構成された周波数コン
パレータの原理を図６，図７，図８に示すタイミングチ
ャートを参照して説明する。

【００３４】上記ＶＣＯ６（図１参照）から出力された
パルス信号φＵＳＲは、分周カウンタ９において、図６
ないし図８に示すように、該パルス信号φＵＳＲの４周
期分が“Ｌ”、次の４周期分が“Ｈ”となるようなパル
ス信号φＵＳＲ１と、同様に該パルス信号φＵＳＲの７
周期分が“Ｈ”、次の１周期分が“Ｌ”となるようなパ
ルス信号φＵＳＲ２との２系統の信号に変換される。

【００３５】これらのパルス信号φＵＳＲ１，φＵＳＲ
２は、上述したようにそれぞれＤ−フリップフロップ１
０，１１のＤ端子，カウンタ７，８のＳＰＥ（バー）端
子に入力するようになっている。

【００３６】一方、上記カウンタ７，８のデータ入力端
子には、それぞれＣＰＵ２がメモリ３から読み出した所
定のデータ値が入力されるようになっている。これによ
り、該カウンタ７，８は、上記パルス信号φＵＳＲ２が
“Ｌ”レベルである期間にデータがロードされ、かつリ
セットされ、“Ｈ”レベルになるとカウントを開始する
ようになっている。

【００３７】この後、上記ＣＰＵ２が出力した数だけク
ロックφＯＳＣをカウントすると、上記カウンタ７，８
はそのＣＯ端子からタイミングパルス信号を出力する。
該タイミングパルス信号は、上限周波数をｆHLMT、下限
周波数をｆLLMTとすると、カウントをスタートしてか
ら、それぞれ１/ｆHLMT，１/ｆLLMT経過の後、パルスが
出力される。このとき上記パルス信号φＵＳＲ１が
“Ｌ”であるとＤ−フリップフロップＦ１０，１１のＱ
端子からの出力信号Ｓｉｇ１，Ｓｉｇ２は“Ｌ”、ま
た、該パルス信号φＵＳＲ１が“Ｈ”であると該出力信
号Ｓｉｇ１，Ｓｉｇ２は“Ｈ”となる。

【００３８】図６は、通常の上限周波数と下限周波数と
の間に駆動周波数が設定されている場合を示したタイミ
ングチャートである。このときＤ−フリップフロップ１
０の出力信号Ｓｉｇ１は“Ｌ”，Ｄ−フリップフロップ
１１の出力信号Ｓｉｇ２は“Ｈ”であるので、ＣＰＵ２
はこの状態を使用可能周波数と認識する。

【００３９】図７は、該駆動周波数が下限周波数を下回
った場合を示したタイミングチャートである。このとき
Ｄ−フリップフロップ１０，Ｄ−フリップフロップ１１
共に出力信号は“Ｌ”となるため、ＣＰＵ２は下限周波
数以下であることを認知し、ＤＡコンバータ５（図１参
照）の出力電圧を下げさせてＶＣＯ６の出力の周波数を
上げさせるよう働く。

【００４０】図８は、該駆動周波数が上限周波数を上回
った場合を示したタイミングチャートである。このとき
Ｄ−フリップフロップ１０，Ｄ−フリップフロップ１１
共に出力信号は“Ｈ”となるため、ＣＰＵ２は上限周波
数以上であることを認知し、ＤＡコンバータ５の出力電
圧を上げさせてＶＣＯ６の出力の周波数を下げさせるよ
う働く。

【００４１】次に、上記カウンタ７および８に出力する
データについて説明する。

【００４２】図９は、超音波モータの周波数−回転数特
性（Ｆ−Ｎ特性）の一例を示した線図である。

【００４３】図９に示すように、一般に超音波モータ
は、それぞれの周囲温度において最も回転数が高い共振
点よりも低周波側は動作が急激に回転数が低下して動作
が不安定となりやすい。また、該共振点より高周波側に
おいても所定周波数以上となると効率が極端に悪化す
る。なお、図中、符号ｆH1，ｆH2，ｆH3，ｆH1，ｆL1，
ｆL2，ｆL3は、本実施例においてそれぞれ低温時，中温
時，高温時における、超音波モータの駆動最大周波数と
最小周波数と示している。すなわち、本実施例において
は、低，中，高温の各温度において、それぞれ周波数ｆ
H1〜ｆL1，ｆH2〜ｆL2，ｆH3〜ｆL3の範囲で駆動するよ
うにしている。その際、ＤＡコンバータが出力する電圧
ＶDACはそれぞれＶH1〜ＶL1，ＶH2〜ＶL2，ＶH3〜ＶL3
になる。

【００４４】この駆動周波数ｆH1〜ｆL1，ｆH2〜ｆL2，
ｆH3〜ｆL3に対応するクロックφＯＳＣの設定カウント
数をそれぞれｎH1とｎL1，ｎH2とｎL2，ｎH3とｎL3とす
ると、温度と設定カウント数との関係は図１０に示すよ
うになる。なお、この図１０においては、高温＝＋４０
℃〜＋８０℃，中温＝０℃〜＋４０℃，低温＝−４０℃
〜０℃としている。

【００４５】次に、本実施例の超音波モータの駆動回路
における上記ＣＰＵ２の動作を図１１のフローチャート
および図１を参照して説明する。

【００４６】不図示のスイッチが操作されると、ＣＰＵ
２はモータ駆動モードにはいったと認識し、駆動ルーチ
ンに入る（ステップＳ１０１）。このとき、不図示の駆
動パルス数セット手段により、駆動すべきパルス数が、
ＣＰＵ２内のレジスタにセットされている。次に、上記
ＤＡコンバータ５に、条件によって変化しない固定のデ
ィジタル値を出力して固定された電圧ＶSTARTの電圧ＶD
ACを設定・出力させる。このとき、ＶＣＯ６が発生する
周波数ｆSTARTのパルス信号φＵＳＲは、全温度範囲に
おいて上限・下限の周波数をこえない値が選択されてい
る。

【００４７】次に、上記温度センサ４により温度を検出
し（ステップＳ１０３）、その温度に対応した値をメモ
リ３から読み出し、カウンタ７にカウンタ数ｎLxを出力
し（ステップＳ１０４）、カウンタ８にカウンタ数ｎHx
を出力する（ステップＳ１０５）。なお、温度と設定カ
ウンタ数ｎLx，ｎHxとの対応は、上述したように図１０
に示すとおりである。次に、駆動回路全体を起動させ、
超音波モータ１４を回転させる（ステップＳ１０６）。

【００４８】該超音波モータ１４を起動させた後は、パ
ルスエンコーダ１５からの出力パルスをモニタし（ステ
ップＳ１０７）、パルスが発生すればそれをカウント用
のレジスタでカウントアップする（ステップＳ１０
８）。そして、該パルスが駆動すべきパルス数に達して
いるかを判断する（ステップＳ１０９）。駆動すべきパ
ルス数に達していれば、モータをオフし（ステップＳ１
１９）、ルーチンを終了する（ステップＳ１２０）。

【００４９】一方、駆動すべきパルス数に達していなけ
れば、前パルスと今回のパルスとのパルス間隔から速度
を検出し（ステップＳ１１０）、それが所定の目標速度
に略等しければステップＳ１０７へもどり、等しくなけ
ればステップＳ１１２へ進む（ステップＳ１１１）。

【００５０】ステップＳ１１２では目標速度より大か小
かを判断し、大であれば駆動周波数をアップさせるべく
ＶDACの値を低下させ（ステップＳ１１４）、小であれ
ば駆動周波数をダウンさせるべく（ステップＳ１１３）
ＶDACを上昇させるように、ＤＡコンバータ５を制御す
る。

【００５１】その後、上述したようにカウンタ７，カウ
ンタ８からの出力とＶＣＯ６からの出力パルス信号φＵ
ＳＲの周波数をＤ−フリップフロップ１０，Ｄ−フリッ
プフロップ１１からの出力信号Ｓｉｇ１，Ｓｉｇ２によ
り比較し、上限周波数より大きい場合は（ステップＳ１
１５）、上記電圧ＶDACを上昇させて駆動周波数を低下
させ（ステップＳ１１６）、下限周波数より小さい場合
は（ステップＳ１１７）、上記電圧ＶDACを低下させて
駆動周波数を上昇させる（ステップＳ１１８）。

【００５２】以上のように、本第１実施例においては、
各温度に適した上限周波数，下限周波数を、発振回路１
からのディジタルクロックをディジタル的に分周するこ
とにより設定しているため、作成上のばらつきや温度に
よる周波数ずれを小さくでき、かつ、その範囲内で、基
本周波信号φＵＳＲはＶＣＯで発生しているため、駆動
周波数付近での周波数設定分解能を、さほど消費電流を
増加させることなく細かくでき、安定な動作範囲を確実
に保ちつつ周波数変化による異音のない滑らかな駆動が
可能である。

【００５３】また、初期における電圧ＶDAC出力が、条
件によらず上限・下限の範囲内であるため、確実に起動
できる。

【００５４】次に、本発明の第２実施例について説明す
る。

【００５５】本第２実施例の超音波モータの駆動回路
は、その回路構成は上記第１実施例と同一であり、上記
ＣＰＵ２におけるソフトウェアのみが異なっている。し
たがって、ここでは回路構成の説明は省略し、該ソフト
ウェアのみを説明する。

【００５６】図１２は、本第２実施例の超音波モータの
駆動回路におけるＣＰＵ２の動作を示すフローチャート
である。

【００５７】図に示すステップＳ２０１〜ステップＳ２
２０の各ステップは、上記第１実施例におけるＣＰＵ２
の動作と同様であり、それぞれ図１１におけるステップ
Ｓ１０１〜ステップＳ１２０に対応するため、ここでの
説明は省略する。

【００５８】本第２実施例では、ステップＳ２０５の
後、ＣＰＵ２はＶＣＯ６のイニシャライズと、スタート
周波数の設定を行うようになっている。すなわち、ま
ず、ステップＳ２５１では、ＤＡコンバータ５からの出
力をスイープしながらＤ−フリップフロップ１１のＱ端
子からの出力信号Ｓｉｇ２をモニタし、該信号が変化す
るときのＤＡコンバータ５へ出力したディジタル値ｎ0
を記憶する。この値が、周波数ｆLx（ｘ＝１，２，３）
に対応する値である。また、図４に示すように、ＤＡコ
ンバータ５の出力電圧とＶＣＯ６の発生する周波数とは
ほぼリニアであるので、初期周波数をｆSx（図１０参
照）、電圧ＶDACへのディジタル値変化に対する周波数
変化をΔｆとすると、該初期周波数ｆSxに対応するディ
ジタル値ｎSxは、 ｎSx ＝（（ｆSx−ｆLx）／Δｆ）＋ｎ0 となり、ＤＡコンバータ５にディジタル値ｎSxをセット
するとこにより、初期周波数ｆSxがＶＣＯ６の温度特性
に関係なく正確にセットできる。このようにしてＶＣＯ
６からの出力を４×ｆSxに設定する（ステップＳ２５
２）。

【００５９】上記初期周波数ｆSxは、図１０に示すとお
り、温度によらずほぼ同一の回転数が得られるように決
定され、メモリ３内に記憶される。

【００６０】以上述べたように、本第２実施例では、ま
ずＶＣＯ６をディジタル出力でイニシャライズし、そこ
からの相対値で制御しているため、発生する周波数がＶ
ＣＯであるにもかかわらず正確に発生できる。またクロ
ックφＯＳＣのカウント数が多くなる下限周波数でＶＣ
Ｏ６をイニシャライズするため、同一の発振回路でもイ
ニシャライズ精度を高くできる。

【００６１】なお、本第２実施例においては、イニシャ
ライズの周波数をｆLxとしたが、他の周波数で行っても
よい。また、初期周波数に限らず、駆動中の周波数設定
や範囲の制限に、上記イニシャライズしたＶＣＯ出力を
用いてもよい。

【００６２】また、上記第１，第２実施例において、定
電流源Ｉref1，Ｉref1′を、図１３に示すようにＲ10，
Ｒ11の抵抗におきかえた変形例も可能である。この変形
例の駆動回路の各部波形は図１４に示すようになる。こ
の変形例によれば、駆動回路をより簡単に構成すること
ができ、コストの低減を図ることができる。

【００６３】また、上記電圧ＶDACと出力周波数との関
係はリニア（図４参照）でなくともよく、この場合は関
数式やテーブル表におきかえることもできる。

【００６４】さらに、上述したように温度範囲の分割は
３つでなくともよく、多いほど正確な制御ができること
はいうまでもない。

【００６５】また、上記カウンタ７とカウンタ８とを１
個の部材に構成し、上限・下限両方の周波数出力を出力
できるようにしてもよい。

【００６６】さらに、上記ＶＣＯ，パルス変換回路，電
力増幅回路等は他の構成でもよく、制御も速度以外のパ
ラメータを用いることが可能である。

【００６７】[付記]以上詳述した如き本発明の実施態様
によれば、以下の如き構成を得ることができる。即ち、 （１）電気−機械エネルギー変換素子に交流信号を印加
することにより振動波を発生させ、該振動波により被駆
動体を駆動する超音波モータの、駆動回路において、上
記交流信号の周波数を決定する基本周波数信号を発生さ
せる電圧制御発振回路と、上記交流信号の周波数信号よ
りも充分に高い周波数を有するクロック信号を発生させ
るクロック信号発生手段と、上記超音波モータの下限駆
動周波数もしくは上限駆動周波数に対応するタイミング
信号を、上記クロック信号を分周することによりディジ
タル的に発生させる分周手段と、上記基本周波数信号と
上記タイミング信号のそれぞれの周波数を比較する周波
数比較手段と、この周波数比較手段の出力に応じて、上
記基本周波数信号が下限駆動周波数よりも高いかもしく
は上限駆動周波数よりも低い範囲に保たれるように、上
記発振手段を制御する制御手段と、を具備する超音波モ
ータの駆動回路。

【００６８】（２）上記（１）において、周波数比較手
段は、上記交流電圧の２周期毎に１回、周波数を比較す
る。

【００６９】（３）上記（１）において、周波数比較手
段は、上記電圧制御発振回路の出力と上記タイミング信
号とをエッヂで比較する。

【００７０】（４）電気−機械エネルギー変換素子に交
流信号を印加することにより振動波を発生させ、該振動
波により被駆動体を駆動する超音波モータの、駆動回路
において、上記交流信号の基本周波数信号を、アナログ
的な時定数に基づいて発生させる発振手段と、上記交流
信号の周波数信号よりも充分に高い周波数のクロック信
号を発生させるクロック信号発生手段と、上記超音波モ
ータの下限駆動周波数もしくは上限駆動周波数に対応す
るタイミング信号を、上記クロック信号を分周すること
によりディジタル的に発生させる分周手段と、上記基本
周波数信号と上記タイミング信号のそれぞれの周波数を
比較する周波数比較手段と、この周波数比較手段の出力
に応じて、上記基本周波数信号が下限駆動周波数よりも
高いかもしくは上限駆動周波数よりも低い範囲に保たれ
るように、上記発振手段を制御する制御手段と、を具備
する超音波モータの駆動回路。

【００７１】（５）上記（４）において、発振手段はア
ナログ発振回路からなる。

【００７２】（６）上記（１）もしくは（４）の内の少
なくとも一つにおいて、分周手段はディジタル分周器で
ある。

【００７３】（７）上記（６）において、ディジタル分
周器はカウンタである。

【００７４】（８）電気−機械エネルギー変換素子に交
流信号を印加することにより振動波を発生させ、該振動
波により被駆動体を駆動する超音波モータの、駆動回路
において、上記交流信号の周波数を決定する基本周波数
信号を、該周波数が連続的に変化可能に発振する周波信
号発生手段と、上記超音波モータの下限駆動周波数もし
くは上限駆動周波数に対応するタイミング信号を、離散
的な値として出力するタイミング信号発生手段と、この
タイミング信号発生手段の出力に基づき、上記周波信号
発生手段の出力周波数が、上記下限駆動周波数以上もし
くは上限駆動周波数以下となるように制御する制御手段
と、を具備する超音波モータの駆動回路。

【００７５】（９）上記（８）において、タイミング信
号発生手段はディジタル分周器である。

【００７６】（１０）上記（９）において、ディジタル
分周器はカウンタである。

【００７７】（１１）電気−機械エネルギー変換素子に
交流信号を印加することにより振動波を発生させ、該振
動波により被駆動体を駆動する超音波モータの、駆動回
路において、上記交流信号の周波数を決定する基本周波
数信号を発生させると共に、入力される電圧値に基づい
て該基本周波数信号の周波数を変更する電圧制御発振回
路と、上記交流信号の周波数信号よりも充分に高い周波
数を有するクロック信号を発生させるクロック信号発生
手段と、上記クロック信号を分周し、所定の基準周波数
を有する基準周波数信号をディジタル的に発生させる基
準周波数信号発生手段と、上記基本周波数信号と基準周
波数信号との周波数を比較する周波数比較手段と、上記
超音波モータの駆動に先立ち、まず上記周波数比較手段
の出力に基づいて上記電圧制御発振回路に入力する電圧
値を変更してゆき、上記２つの周波信号の周波数が略等
しくなった際に上記電圧値を基準電圧値として記憶し、
この記憶値との相対値によって上記電圧制御発振回路を
制御する制御手段と、を具備する超音波モータの駆動回
路。

【００７８】（１２）電気−機械エネルギー変換素子に
交流信号を印加することにより振動波を発生させ、該駆
動波により被駆動体を駆動する超音波モータの、駆動回
路において、上記交流信号の周波数を決定する基本周波
数信号を発生させると共に、入力されるパラメータ値に
基づいて該基本周波数信号の周波数を変更する発振手段
と、上記交流信号の周波数よりも充分に高い周波数を有
するクロック信号を発生させるクロック信号発生手段
と、上記クロック信号を分周し、所定の基準周波数を有
する基準周波数信号をディジタル的に発生させる基準周
波数信号発生手段と、上記基本周波数信号と基準周波数
信号との周波数を比較する周波数比較手段と、上記超音
波モータの駆動に先立ち、まず上記周波数比較手段の出
力に基づいて上記電圧制御発振回路に入力するパラメー
タ値を変更してゆき、上記２つの周波数信号の周波数が
略等しくなった際に上記パラメータ値を基準パラメータ
値として記憶し、この記憶値との相対値によって上記電
圧制御発振回路を制御する制御手段と、を具備する超音
波モータの駆動回路。

【００７９】（１３）上記（１１）もしくは（１２）の
内の少なくとも一つにおいて、基準周波数信号発生手段
はディジタル分周器である。

【００８０】（１４）上記（１３）において、ディジタ
ル分周器はカウンタである。

【００８１】（１５）電気−機械エネルギー変換素子に
交流信号を印加することにより振動波を発生させ、該振
動波により被駆動体を駆動する超音波モータの、駆動回
路において、上記交流信号の基本周波数信号を、アナロ
グ的な特定数に基づいて発生させる発振手段と、上記交
流信号の基本周波数信号よりも充分に高い周波数を有す
るクロック信号を発生させるクロック信号発生手段と、
上記クロック信号を分周し、所定の基準周波数を有する
基準周波数信号をディジタル的に発生させるディジタル
分周手段と、上記超音波モータの駆動に先立ち、上記デ
ィジタル分周手段の出力により上記発振手段の出力周波
数を初期化する初期化手段と、を具備する超音波モータ
の駆動回路。

【００８２】（１６）上記（１５）において、発振手段
はアナログ発振回路からなる。

【００８３】（１７）上記（１５）において、初期化に
用いる周波数は、設定可能な周波数範囲の内、下限周波
数の近傍である。

【００８４】（１８）上記（１５）において、ディジタ
ル分周手段はカウンタである。

【００８５】（１９）上記（１），（４），（１１），
（１２）そして（１５）の内の少なくとも一つにおい
て、クロック信号発生手段はディジタルクロック信号を
出力するものである。

【００８６】（２０）上記（１９）において、クロック
信号発生手段は、固有の出力周波数を有する発振子から
なる。

【００８７】（２１）上記（２０）において、発振子は
水晶発振子からなる。

【００８８】（２２）上記（２０）において、発振子は
セラミック発振子からなる。

【００８９】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、正
確な周波数制御が可能であり、消費電流が少ない超音波
モータの駆動回路を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例である超音波モータの駆動
回路の構成を示したブロック回路図である。

【図２】上記第１実施例におけるＶＣＯの構成を詳しく
示した電気回路図である。

【図３】上記第１実施例における上記ＶＣＯの動作を示
した、（ａ）は、該第１実施例におけるコンパレータＣ
ＯＭＰ１に入力する電圧ＶDACの電圧値がＶDAC１である
場合、また、（ｂ）は、該電圧ＶDACが、上記電圧ＶDAC
1より大きい電圧ＶDAC2である場合をそれぞれ示したタ
イミングチャートである。

【図４】上記第１実施例における、上記電圧ＶDACとパ
ルス信号φＵＳＲの周波数との関係を示した線図であ
る。

【図５】上記第１実施例における、パルス変換回路から
の出力パルス信号φ１〜φ４と電力増幅回路からの出力
交流信号φＡ，φＢとの関係を示したタイミングチャー
トである。

【図６】上記第１実施例における、カウンタおよびＤ−
フリップフロップ等で構成された周波数コンパレータに
おいて、通常の上限周波数と下限周波数との間に駆動周
波数が設定されている場合を示したタイミングチャート
である。

【図７】上記第１実施例における、カウンタおよびＤ−
フリップフロップ等で構成された周波数コンパレータに
おいて、上記駆動周波数が下限周波数を下回った場合を
示したタイミングチャートである。

【図８】上記第１実施例における、カウンタおよびＤ−
フリップフロップ等で構成された周波数コンパレータに
おいて、上記駆動周波数が上限周波数を上回った場合を
示したタイミングチャートである。

【図９】超音波モータの周波数−回転数特性（Ｆ−Ｎ特
性）の一例を示した線図である。

【図１０】上記第１実施例における、超音波モータの周
囲温度と設定カウント数との関係を示した線図である。

【図１１】上記第１実施例の超音波モータの駆動回路に
おけるＣＰＵの動作を示すフローチャートである。

【図１２】本発明の第２実施例の超音波モータの駆動回
路におけるＣＰＵの動作を示すフローチャートである。

【図１３】上記第１，第２実施例におけるＶＣＯの変形
例を示した電気回路図である。

【図１４】図１３に示す変形例の各部波形を示した線図
である。

【符号の説明】

１…発振回路 ２…ＣＰＵ ３…メモリ ４…温度センサ ５…ＤＡコンバータ ６…ＶＣＯ ７…上限周波数設定用カウンタ ８…下限周波数設定用カウンタ ９…分周カウンタ １０，１１…Ｄ−フリップフロップ １２…パルス変換回路 １３…電力増幅回路 １４…超音波モータ １５…パルスエンコーダ

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電気ー機械エネルギー変換素子に交流信
   号を印加することにより振動波を発生させ、該振動波に
   より被駆動体を駆動する超音波モータの、駆動回路にお
   いて、 上記交流信号の基本周波数信号を、アナログ的な時定数
   に基づいて発生して出力する発振手段と、 上記交流信号の基本周波数信号よりも高い周波数を有す
   るクロック信号を発生するクロック信号発生手段と、 上記超音波モータの下限駆動周波数もしくは上限駆動周
   波数に対するタイミング信号を、上記クロック信号を分
   周することによりディジタル的に発生し、かつ、その分
   周数の設定値によって上記下限駆動周波数もしくは上限
   駆動周波数を変更可能な分周手段と、 上記基本周波数信号と上記タイミング信号との各々の周
   波数を比較する周波数比較手段と、 この周波数比較手段からの出力に応じて、上記基本周波
   数信号が下限駆動周波数よりも高いかもしくは上限駆動
   周波数よりも低い範囲に保たれるように、上記発振手段
   を制御する制御手段と、 を具備することを特徴とする超音波モータの駆動回路。
2. 【請求項２】 電気ー機械エネルギー変換素子に交流信
   号を印加することにより振動波を発生させ、該振動波に
   より被駆動体を駆動する超音波モータの、駆動回路にお
   いて、入力する電圧値に応じて 、上記交流信号の周波数信号を
   アナログ的な時定数に基づいて発生して出力する発振手
   段と、 上記交流信号の周波数信号よりも高い周波数を有するク
   ロック信号を発生するクロック信号発生手段と、 上記クロック信号を分周し、所定の基準周波数を有する
   基準周波数信号をディジタル的に発生させるディジタル
   分周手段と、上記発振手段から出力された周波数信号と上記ディジタ
   ル分周手段から出力された基準周波数信号とを比較する
   比較手段と 、 上記超音波モータの駆動に先立ち、上記比較手段の出力
   に応じて上記発振手段の入力電圧を変更してゆき、上記
   ２つの周波数信号の周波数が略等しくなった際の上記発
   振手段からの出力周波数信号を初期周波数とする初期化
   手段と、 を具備することを特徴とする超音波モータの駆動回路。
3. 【請求項３】 電気ー機械エネルギー変換素子に交流信
   号を印加することにより振動波を発生させ、該振動波に
   より被駆動体を駆動する超音波モータの、駆動回路にお
   いて、 上記交流信号の基本周波数信号を、アナログ的な時定数
   に基づいて発生して出力する発振手段と、 上記交流信号の基本周波数信号よりも高い周波数を有す
   るクロック信号を発生するクロック信号発生手段と、上記超音波モータの下限駆動周波数もしくは上限駆動周
   波数に対応するタイミング信号を、上記クロック信号を
   分周することによりディジタル的に発生する分周手段
   と 、上記基本周波数信号と上記タイミング信号との各々の周
   波数を比較する周波数比較手段と 、この周波数比較手段からの出力に応じて、上記基本周波
   数信号が下限駆動周波数よりも高いかもしくは上限駆動
   周波数よりも低い範囲に保たれるように、 上記発振手段
   を制御する制御手段と、周囲温度を検出する温度センサと 、 を具備しており、上記分周手段は、上記温度センサの出
   力に基づいて上記下限駆動周波数もしくは上限駆動周波
   数を変更するようにしたことを特徴とする超音波モータ
   の駆動回路。
4. 【請求項４】 電気ー機械エネルギー変換素子に交流信
   号を印加することにより振動波を発生させ、該振動波に
   より被駆動体を駆動する超音波モータの、駆動回路にお
   いて、上記交流信号の周波数を決定する基本周波数信号を発生
   させると共に、入力される電圧値に基づいて該基本周波
   数信号の周波数を変更する電圧制御発振回路と 、上記交流信号の周波数信号よりも高い周波数を有するク
   ロック信号を発生させるクロック信号発生手段と 、上記クロック信号を分周し、所定の基準周波数を有する
   基準周波数信号をディジタル的に発生させる基準周波数
   信号発生手段と 、上記基本周波数信号と基準周波数信号の周波数を比較す
   る周波数比較手段と 、上記超音波モータの駆動に先立ち、まず上記周波数比較
   手段の出力に基づいて上記電圧制御発振回路に入力する
   電圧値を変更してゆき、上記２つの周波数信号の周波数
   が略等しくなった際に上記電圧値を基準電圧値として記
   憶し、この記憶値との相対値によって上記電圧制御発振
   回路を制御する制御手段と 、を具備することを特徴とする超音波モータの駆動回路 。
5. 【請求項５】 電気ー機械エネルギー変換素子に交流信
   号を印加することにより振動波を発生させ、該振動波に
   より被駆動体を駆動する超音波モータの、駆動回路にお
   いて、上記交流信号の周波数を決定する基本周波数信号を発生
   させると共に、入力されるパラメータ値に基づいて該基
   本周波数信号の周波数を変更する発振手段と 、上記交流信号の周波数よりも高い周波数を有するクロッ
   ク信号を発生させるクロック信号発生手段と 、上記クロック信号を分周し、所定の基準周波数を有する
   基準周波数信号をディジタル的に発生させる基準周波数
   信号発生手段と 、上記基本周波数信号と基準周波数信号の周波数を比較す
   る周波数比較手段と 、上記超音波モータの駆動に先立ち、まず上記周波数比較
   手段の出力に基づいて上記発振手段に入力するパラメー
   タ値を変更してゆき、上記２つの周波数信号の周波数が
   略等しくなった際に上記パラメータ値を基準パラメータ
   値として記憶し、この記憶値との相対値によって上記発
   振手段を制御する制御手段と 、を具備することを特徴とする超音波モータの駆動回路 。