JP3225227B2

JP3225227B2 - Ｉｃテストハンドラ

Info

Publication number: JP3225227B2
Application number: JP20070698A
Authority: JP
Inventors: 佳司鶴見
Original assignee: 株式会社しなのエレクトロニクス
Priority date: 1998-07-15
Filing date: 1998-07-15
Publication date: 2001-11-05
Anticipated expiration: 2018-07-15
Also published as: JP2000028681A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣテストハンド
ラに関し、特に、ＩＣテストハンドラにおけるコンタク
トトランスファのＩＣ吸着気路機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】製造されたパッケージ済みＩＣ（半導体
集積回路装置）はその回路信頼性及び電気的特性を判定
するために複数種の電気的試験にかけられる。図１６は
トップカバーを取り外した状態のＩＣテストハンドラの
一例を示す外観斜視図、図１７はその機構部分の構造を
示す概略平面図である。なお、図１７中の実線矢印はＩ
Ｃの移動過程を示し、点線矢印はトランスファ又はシャ
トルのタクト過程を示す。

【０００３】このＩＣテストハンドラにおいて、多数の
試験予定に係るＩＣ３０ａを２次元配列で載置したトレ
イ１ａが搬入用トレイエレベータ１で上昇されて停止す
ると、搬入用トランスファ２によってトレイ１ａ上の２
次元配列位置のＩＣ３０ａが１個ずつ取り上げられてＩ
Ｃ恒温室７の入口にまで移載された後、搬入用シャトル
３によってＩＣ恒温室７内のＩＣホルダ環状列機構４の
真下のＩＣ着脱位置に差し出されてＩＣホルダ環状列機
構４の空きＩＣ保持部にて保持される。このＩＣ恒温室
７はＩＣ３０ａの温度特性試験を行うため所定時間だけ
ＩＣを冷却又は加温するものであり、ＩＣホルダ環状列
機構４がＩＣ３０ａを保持しながら間歇回転し、所定時
間だけそのＩＣをプリヒートするようになっている。な
お、８は温風ブローユニットである。

【０００４】ＩＣ恒温室７内でＩＣホルダ環状列機構４
から取り外されたプリヒート済みＩＣ３０ｂは搬入位置
Ｐ₁で一方のコンタクトトランスファ５によって取り上
げられてテスト位置Ｐ₂に差し置かれた後、降下されて
ＩＣソケット８に押し付けられ、所定時間、ＩＣテスタ
による所要の電気的試験が行われ、しかる後、ＩＣソケ
ット８から試験済みＩＣ３０ｃが取り上げられて搬出位
置Ｐ₃に差し置かれる。この後、試験済みＩＣ３０ｃは
搬出用シャトル９によってＩＣ恒温室７の出口にまで移
動され、その出口から更にＩＣ恒温室７の外部待機位置
へクーリングトランスファ１０によって移動される。そ
の後、クーリングシャトル１１によって移載された後、
搬出用トランスファ１２によって搬出用トレイ１ｂ〜１
ｄ上に仕分け載置される。なお、１３は空きトレイエレ
ベータ、１４〜１６は搬出用トレイエレベータ、１７は
搬入用トレイエレベータ１の空きトレイ１ａを搬出用ト
レイエレベータ１４〜１６に受け渡すためのトレイトラ
ンスファ、１８はＩＣのリードの曲がり度合いを画像処
理で検査するための外観検査部である。

【０００５】通常、テスト位置Ｐ₂に供される後続のＩ
Ｃ３０ｂが早くテストにあずかり、高速処理を実現する
ため、コンタクトトランスファ５の外、それと同様のコ
ンタクトトランスファ６が対として設けられている。一
対のコンタクトトランスファ５，６は、図１８に示す如
く、Ｙ軸駆動用ボールねじ５ａ，５ａによりリニアガイ
ド（図示せず）に沿ってＹ軸方向に往復動する直動主体
５ｂ，６ｂと、Ｚ軸駆動用のピニオン及びラック（図示
せず）により直動主体５ｂ，６ｂの真下でそれに対して
昇降するコンタクトアーム（昇降アーム）５ｃ，６ｃと
を有している。

【０００６】図１８（ａ）に示す如く、一方のコンタク
トアーム６ｃがテスト位置Ｐ₂でＩＣ３０ｂをＩＣソケ
ット８に押圧し続けているテスト期間内においては、他
方のコンタクトアーム５ｃは後続のＩＣ３０ｂを取り上
げて搬入位置Ｐ₁又はテスト位置Ｐ₂の直前位置で待機
している。そのアーム６ｃが押圧するＩＣ３０ｂのテス
トが終了すると、図１８（ｂ）に示す如く、コンタクト
アーム６ｃが上昇して試験済のＩＣ３０ｃをＩＣソケッ
ト８から取り上げ、搬出位置Ｐ₃まで移動させて差し置
く。この一方のコンタクトアーム６ｃが運動する間、他
方のコンタクトアーム５ｃは後続のＩＣ３０ｂをテスト
位置Ｐ₂まで移動させた後、ＩＣソケット８に押し付け
る。そして、後続のＩＣ３０ｂのテスト中に、一方のコ
ンタクトアーム６ｃは搬入位置Ｐ₁にまで戻り、次のＩ
Ｃ３０ｂを取り上げて待機する。

【０００７】このようなコンクトトランスファ５（６）
は、種類の異なるＩＣでも取り扱う必要があることか
ら、ＩＣテストハンドラには、特定範疇のＩＣを吸着保
持し、コンタクトアーム５ｃ（６ｃ）の下端部に交換装
着可能なコンタクター（又はプッシャー）が複数種を準
備されている。

【０００８】図１９は、１つのコンタクトアーム５ｃに
２個の同型コンタクター２５，２５を横並びで取り付け
た状態を示す斜視図であり、図２０はその分解斜視図で
ある。このコンタクター２５は、下面に露出しＩＣを吸
着保持するためのＩＣ吸着パッド（図示せず）と、側面
から下方に突出しＩＣソケット８にＩＣの端子を整合す
るための位置決めスタッド２５ａを有しており、その上
面には、ＩＣ吸着パッドに連通する吸気取り出し口（真
空引き口）２５ｂと、２本の装着ロックピン２５ｃと、
装着位置決めピン２５ｄとが突設されている。

【０００９】このような２個のコンタクター２５，２５
は、１枚の共用取付板２２と２個のコンタクトアタッチ
メント（アダプター）２３を用いてコンタクトアーム５
ｃの下端部に取り付けられる。各アタッチメント２３
は、位置決めブロック２３ａと、この位置決めブロック
２３ａに装着されたコンタクター２５を係止ロックする
ためのフック板２３ｂと、コンタクトアーム５ｃ側から
引き込んだ負圧管２１ａと装着されたコンタクター２５
の吸気取り出し口２５ｂに接続した負圧管２１ｂとを相
互に連通するための気路ブロック２３ｃとを有してい
る。１つのコンタクトアーム５ｃに横並びで装着される
２個の同型コンタクター２５，２５の中心距離はテスト
位置での２個のソケットの中心距離に合致しており、通
常、その中心距離は40mm，60mm，80mm，100mm ，120mm
である。コンタクトアーム５ｃに２個のコンタクター２
５，２５が装着されている場合でも、意図的に一方のコ
ンタクター２５にＩＣを吸着させない運転方法もあり、
またＩＣの搬入欠けによる吸着不能も発生する。かかる
場合でも、他方のコンタクター２５ではＩＣを確実に吸
着しなければならないので、各コンタクター２５には相
互独立の負圧管２１ａ，２１ａが引き込み接続されてい
る。

【００１０】図２１は、１つのコンタクトアーム５ｃに
１個のコンタクター２５を取り付けた状態を示す斜視図
である。ＩＣの種類やＩＣソケットの取付位置によっ
て、唯一のコンタクター２５がアームの下端部内側面２
１の中央装着部に取り付けられている。かかる場合は、
アーム側の負圧管２１ａを中継管２１ｃを以てコンタク
ター２５の中央気路孔の上面吸気取り出し口２３ｃａ
（図２０参照）に接続すると共に、装着されたコンタク
ター２５の吸気取り出し口２５ｂに接続した負圧管２１
ｂをその中央気路孔の正面吸気取り入れ口２３ｃｂ（図
２０参照）に接続する。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ＩＣテストハンドラにあっては、次のような問題点があ
った。

【００１２】ＩＣテストハンドラを運転する前の準
備段階においては、コンタクトアーム５ｃにコンタクタ
ー２５を１個付けする際、アームの下端部内側面２１の
中央装着部にコンタクター２５を取り付ける場合に限ら
ず、装着位置を替えて片側に隅寄せして取り付けねばな
らぬ場合もある。かかる場合、共用取付板２２及びアタ
ッチメント２３の取り付けのやり直しや、中継管２１ｃ
を含めた負圧管２１ａ，２１ｂの引回しとその接続作業
に手間取り、相当の段取り時間を要する現状となってい
る。

【００１３】また、コンタクトアーム５ｃにコンタ
クター２５を２個付けする場合、共用取付板２２の交換
及びアタッチメント２３の取り付けのやり直しや、負圧
管２１ａ，２１ｂの引回しと接続作業に手間取り、やは
り相当の段取り時間を要する。

【００１４】そこで、上記問題点に鑑み、本発明の第１
の課題は、コンタクトアタッチメントの取付や負圧管の
配管の煩瑣なやり直し作業を伴わずに、コンタクターの
コンタクトアタッチメントへの装着操作のみで簡単に装
着位置替えを実現でき、段取り作業の大幅軽減を可能と
するコンタクトトランスファを備えたＩＣテストハンド
ラを提供することにある。

【００１５】また、本発明の第２の課題は、共用取付板
の交換及びコンタクトアタッチメントの取付や負圧管の
配管のやり直し作業を伴わずに、コンタクターのコンタ
クトアタッチメントへの装着操作のみで簡単に複数個装
着を実現でき、段取り作業の大幅軽減を可能とするコン
タクトトランスファをＩＣテストハンドラを提供するこ
とにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記第１の課題を解決す
るため、本発明の講じた第１の手段は、コンタクトアタ
ッチメント側の装着部へのコンタクター装着接触に連動
してそのコンタクターのＩＣ吸着パッドのための真空気
路を当該装着部を介して自動的に開成する連動式真空気
路選択連通手段を設けたところにある。

【００１７】即ち、本発明に係るＩＣテストハンドラ
は、搬入位置のＩＣを吸着保持してテスト位置まで移動
した後、下降させてＩＣソケットにＩＣの端子を所定時
間押圧し続け、しかる後、ＩＣを上昇させて搬出位置に
差し置くコンタクトトランスファを備えており、このコ
ンタクトトランスファは、少なくとも、ＩＣを吸着保持
するためのＩＣ吸着パッドを持つコンタクターと、コン
タクターの１個又は複数個をコンタクター装着ロック手
段にてコンタクター装着部に着脱可能のコンタクトアタ
ッチメントと、コンタクトアタッチメントを下端部に取
り付けた昇降アームとを有して成る。

【００１８】そして、連動式真空気路選択連通手段は、
いずれものコンタクター装着部でのコンタクターの着脱
動に連動して、当該コンタクター側のＩＣ吸着パッドに
連通した末梢気路とアタッチメント側の真空源に連通し
た基幹真空気路との連通を継断するものである。

【００１９】このようなＩＣテストハンドラにおいて、
アタッチメントの装着部のいずれかにコンタクターを装
着すると、その装着動に連動して真空気路選択連通手段
が当該コンタクター側のＩＣ吸着パッドに連通した末梢
気路とアタッチメント側の真空源に連通した基幹真空気
路を相互連通するため、基幹真空気路からコンタクター
を担持したコンタクター装着部を介してコンタクター側
のＩＣ吸着パッドに真空気路が選択形成される。この結
果、その装着済みコンタクターによるＩＣ吸着動作が即
可能となる。また、装着したコンタクターをアタッチメ
ントから離脱すると、末梢気路と基幹真空気路との連通
が遮断される。

【００２０】このように、アタッチメントの取付や負圧
管の配管のやり直し作業を伴わずに、コンタクターを装
着する操作だけでそのコンタクターの吸着動作が可能と
なるので、装着位置替えが容易となり、段取り作業の大
幅軽減に寄与する。

【００２１】上記第２の課題を解決するため、本発明の
講じた第２の手段は、上記構成に加えて、次の構成を採
用したところにある。即ち、アタッチメント側には、少
なくとも、相互に独立した真空源に連通する第１と第２
の基幹真空気路が装備されている。そして、真空気路選
択連通手段としては、少なくとも、第１の基幹真空気路
に対応した１又は２以上のコンタクター装着部での気路
連通を継断する第１の真空気路選択連通手段と、第２の
基幹真空気路に対応した１又は２以上のコンタクター装
着部での気路連通を継断する第２の真空気路選択連通手
段を有している。

【００２２】第１の基幹真空気路側のコンタクター装着
部に第１のコンタクターを装着すると、前述したよう
に、第１の真空気路選択連通手段によりその第１のコン
タクターの吸着動作を能動化することができると共に、
第２の基幹真空気路側のコンタクター装着部に第２のコ
ンタクターを装着すると、第２の真空気路選択手段によ
りその第２のコンタクターの吸着動作を能動化すること
ができる。第１のコンタクターと第２のコンタクターと
は相互独立した第１と第２の基幹真空気路により真空引
きされるため、一方のコンタクターにＩＣが吸着されな
い場合でも、他方のコンタクターの吸着動作を支障なく
行うことができる。

【００２３】このように、共用取付板の交換及びアタッ
チメントの取付や負圧管の配管のやり直し作業を伴わず
に、コンタクターを装着する操作だけで、コンタクター
の複数個装着を簡単に実現でき、段取り作業の大幅軽減
に寄与する。

【００２４】上記の真空気路選択連通手段としては、コ
ンタクターの装着に連動して作動する方向切換弁などを
採用することができるが、装置構成の簡略化・コンパク
ト化のためには、末梢気路側の吸気取り出し口近傍部の
押動により開成する弁をいずれものコンタクター装着部
の基幹真空気路側の吸気取り入れ口に設けることが好ま
しい。つまり、各コンタクター装着部に１対１で独立の
弁を設けるものである。

【００２５】この弁としては、吸気取り入れ口の口周り
に設けられた弾性弁座環と、その弾性弁座環の環口から
突出方向へ発条付勢された弁針とを有するニードル弁を
採用することができる。装置構成の簡略化・コンパクト
化に資する。

【００２６】ところで、例えばコンタクター１個付けの
場合は、そのコンタクターの種類やソケット位置によっ
て特定部位の装着部にのみコンタクターを装着する必要
があり、また、コンタクター複数個付けの場合は、コン
タクター同士の中心距離（ピッチ）が定められているも
のである。ここに、アタッチメントとコンタクターとに
コンタクター自身の誤装着防止用非係合部材を具備する
場合、コンタクター装着の際、その装着部位や装着向き
に間違いがあるときには、誤装着防止用非係合部材の干
渉により装着が阻止されるため、正規の装着部位や装着
向きにコンタクターを正しく装着でき、装着確認が不要
になり、段取り作業の容易化に寄与する。

【００２７】昇降アームは１個のアタッチメントを取り
付ける場合に限らず、アタッチメントの複数個を取り付
け可能な下端部を具備することが好ましい。コンタクタ
ーの多数個付けが可能となり、総テスト時間を短縮化で
きる。

【００２８】また、アタッチメントは、複数のコンタク
ター装着部の中心点がスウクェアを成す組みを含むこと
が好ましい。コンタクターの多数個装着の際、複数のコ
ンタクターを所定ピッチでインライン配置（直線上配
置）する場合に限らず、４個のコンタクターをスクウェ
ア配置（四隅配置）することができ、ソケット配置がラ
イン上に長くならず、ソケットに多数のＩＣを同時押圧
する際の押圧力を均等化できる。

【００２９】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態に係るＩ
Ｃテストハンドラを説明する。本例のＩＣテストハンド
ラは、図１６に示した従来のＩＣテストハンドラと同様
に、コントローラ等を搭載した基台上に、搬入用トレイ
エレベータ１、搬入用トランスファ２、搬入用シャトル
３、ＩＣ恒温室７、コンタクトトランスファ５，６、搬
出用シャトル９、クーリングトランスファ１０、クーリ
ングシャトル１１、搬出用トランスファ１２、空きトレ
イエレベータ１３、搬出用トレイエレベータ１４〜１
６、トレイトランスファ１７、外観検査部１８などが装
備されており、これらはトップカバーで覆われている。

【００３０】コンタクトトランスファ５，６は、図１８
に示したように、搬入位置Ｐ₁のＩＣ３０ｂを吸着保持
してテスト位置Ｐ₂まで移動した後、下降させてＩＣソ
ケット８にＩＣ３０ｂの端子を所定時間押圧し続け、し
かる後、そのＩＣ３０ｂを上昇させて搬出位置Ｐ₃に差
し置くものであるが、本例のコンタクトトランスファ５
（６）も、また、Ｙ軸駆動用ボールねじ５ａ（５ａ），
直動主体５ｂ（６ｂ），リニアガイド（図示せず）、Ｚ
軸駆動用のピニオン及びラック（図示せず）、コンタク
トアーム５ｃ（６ｃ）を有している。コンタクトアーム
５ｃ（６ｃ）は両腕のように相互左右対称形状を成して
いるため、以下では、一方のコンタクトトランスファ５
（フロント・コンタクトトランスファ）のみについて説
明し、他方のコンタクトトランスファ６（リア・コンタ
クトトランスファ）についてはその説明を省略する。

【００３１】図１及び図２に示す如く、コンタクトトラ
ンスファ５は、コンタクトアーム５ｃの下端部内側面２
１にねじ留めで取り付けたコンタクトアタッチメント
（アダプター）５０と、そのアタッチメント５０の下面
に横並びで着脱可能の同型のコンタクター７０，７０と
を有している。

【００３２】アタッチメント５０は、図３及び図４に示
す如く、コンタクトアーム５ｃの下端部内側面２１に片
持ち支持で吊設される矩形枠状のベースブロック５２
と、このベースブロック５２の窓部５３に収まりねじ留
めされるアタッチメント主体６０と、コンタクトアーム
５ｃ側のそれぞれ独立の真空源に連通した２本の負圧管
２１ａ，２１ａをアタッチメント主体６０にそれぞれ連
通接続するための中継管２１ｂ，２１ｂ（図１及び図２
参照）とを有している。

【００３３】ベースブロック５２は、コンタクトアーム
５ｃの下端部内側面２１に衝合されてねじ留めされる厚
肉の取付基部５２ａと、この取付基部５２ａの両端から
内側へ一体的に平行に突設された一対の主体支持部５２
ｂ，５２ｂと、主体支持部５２ｂ，５２ｂの先端部同士
を一体的に連結する連結部５２ｃとを有している。取付
基部５２ａの窓部５３側には、中継管２１ｂ，２１ｂの
接続作業を容易ならしめるために余裕スペースを確保す
る切欠き５２ｄ，５２ｄが形成されている。各主体支持
部５２ｂは、アタッチメント主体６０を固定するための
通しねじＳ₁，Ｓ₁が挟み込み板５２ｅを介して挿通す
るねじ挿通孔Ｈ₁，Ｈ₁を有している。

【００３４】アタッチメント主体６０は、コンタクター
７０を横並び５箇所の装着部のいずれでも位置決め装着
できる矩形板状の位置決めブロック６１の上に、この位
置決めブロック６１に装着されるコンタクター２５を係
止ロックするためのスライド可能なフック板６２と、真
空気路選択連通手段を構成するためのシーリング板６３
及び気路ブロック６４とを積み重ねてねじ固定したもの
である。

【００３５】矩形板状の位置決めブロック６１はその短
辺部から張り出てベースブロック５２の主体支持部５２
ｂ，５２ｂの下面に衝合する薄肉鍔部６１ａ，６１ａを
有しており、各薄肉鍔部６１ａには通しねじＳ₁，Ｓ₁
の先端と螺着するためのねじ孔Ｈ₂，Ｈ₂が形成されて
いる。位置決めブロック６１は、その中央長手方向に沿
って形成された長孔であって、横並び５箇所のコンタク
ター装着部のいずれでもコンタクター７０の上面に突出
した後述の吸気取り出し口７１ｂが嵌入するための受け
開口６１ｂと、受け開口６１ｂを隔てた長辺部の平行２
線上に同ピッチ（10mm）で形成された丸孔であって、コ
ンタクター７０の上面対角位置に突設した後述の装着ロ
ックピン７１ｃａ，７１ｃｂが嵌入するためのロックピ
ン挿入孔ｈ（ｈ₁〜ｈ₅）と、短辺部の端縁で一体的に
突設されて、上面に重なるフック板６２のスライド余裕
隙を画成するための側縁突条部６１ｃ，６１ｃと、長辺
部の３箇所のねじ孔Ｈ₃に螺着して、フック板６２のス
ライド動を案内規制するための埋め込みナットＮと、正
面３箇所に形成されて、フック板６２を押し出し付勢す
るコイルスプリング６５の不動端６５ａを収めるための
ばね座穴Ｈ₄と、側縁突条部６１ｃ，６１ｃの対角位置
に形成されて、気路ブロック６４をねじ留めするための
ねじ孔Ｈ₅とを有している。

【００３６】フック板６２は、位置決めブロック６１上
でのスライド動でも受け開口口６１ｂの一部をも遮蔽し
ないような充分広い干渉防止窓６２ａを有している。干
渉防止窓６２ａを隔てた板部には、位置決めブロック６
１の各ロックピン挿入孔ｈにそれぞれ対応してコンタク
ター７０の後述する装着ロックピン７１ｃａ，７１ｃｂ
の掛止円周溝７１ｄと係合離脱するためのフック孔Ｆ
（Ｆ₁〜Ｆ₅）が形成されている。また、干渉防止窓６
２ａの窓縁２箇所には、位置決めブロック６１上の埋め
込みナットＮに係合し、フック板６２のスライド動を案
内規制するための案内切欠きＧ₁が、また板部の１箇所
には案内孔Ｇ₂がそれぞれ形成されている。フック板６
２の正面は折り曲げ形成された指押し部６２ｂとなって
おり、その指押し部６２ｂの３箇所にはコイルスプリン
グ６５の可動端６５ｂに挟まれたばね留め鋲６６が鋲着
するための鋲孔Ｈ₆が形成されている。そして、フック
板６２の折り曲げ背面は、位置決めブロック６１の背面
に度当たりしてフック板６２自身のスライド動を押し出
し制限するためのストッパ−部６２ｃとなっている。

【００３７】気路ブロック６４は略矩形板状で、長手方
向に配向した厚肉中高の気路内蔵部６４ａと正面側鍔部
６４ｂと背面側鍔部６４ｃとから成る一体切削品であ
る。正面側鍔部６４ｂと背面側鍔部６４ｃとの対角隅部
には、位置決めブロック６１のねじ孔Ｈ₅，Ｈ₅に通し
ねじ（図示せず）を螺着するためのねじ挿通孔Ｈ₇，Ｈ
₇が形成されている。また、正面側鍔部６４ｂと背面側
鍔部６４ｃには、位置決めブロック６１の埋め込みナッ
トＮに通しねじＳ₂を螺着するためのねじ挿通孔Ｈ₈が
形成されている。気路内蔵部６４ａの底面にはそれに衝
合するシーリング板６３の底面が面一になるような嵌合
溝６４ｄが形成されている。気路内蔵部６４ａには横並
び同ピッチ（10mm）で縦方向の５つの弁収納孔Ａ（Ａ₁
〜Ａ₅）が穿孔されており、図４に示す如く、最左端の
弁収納孔Ａ₁を除き、右側４つの弁収納孔Ａ₂〜Ａ₅は
串刺し状に横孔マニホールドＭで貫通されて、それぞれ
互いに連通している。最左端の弁収納孔Ａ₁は一方の中
継管２１ｂに連通する気路孔Ｔ₁と連通しており、最右
端の弁収納孔Ａ₅は他方の中継管２１ｂに連通する気路
孔Ｔ₂と連通している。横孔マニホールドＭの右端開口
部は盲栓６４ｅで栓塞されている。なお、背面側鍔部６
４ｃには、中継管２１ｂ，２１ｂの接続作業を容易なら
しめるために余裕スペースを確保する切欠き６４ｃａ，
６４ｃａが形成されている。

【００３８】シーリング板６３は、気路ブロック６４の
５つの弁収納孔Ａ₁〜Ａ₅に対応する位置に形成された
弁針出没孔Ｗ（Ｗ₁〜Ｗ₅）と、皿ねじＳ₃で気路ブロ
ック６４の嵌合溝６４ｄに螺着するための千鳥配置のね
じ埋め込み穴Ｈ₉を有している。弁針出没孔Ｗは段付き
孔となっている。

【００３９】各弁収納孔Ａには小形ニードル弁が内蔵さ
れている。この小形ニードル弁は、シーリング板６３の
弁針出没孔Ｗの拡径穴面に収まる弾性弁座環たるＯリン
グ６４ｆと、弁先がＯリング６４ｆの環口から下方に突
出し、閉塞テーパ部ａがＯリング６４ｆに圧接するため
の弁針Ｊ（Ｊ₁〜Ｊ₅）と、弁針６４ｇの後尾ステムの
周りに巻装され、弁針Ｊを押し出し方向（下方）に付勢
するコイルスプリング６４ｈと、弁針Ｊの後尾ステムを
スライド自在に受容し、コイルスプリング６４ｈを抜け
止めするために弁収納孔Ａに螺入したばね押さえプラグ
６４ｉとを有している。

【００４０】コンタクター７０は略立方体状で、図５乃
至図７に示す如く、アタッチメント５０の受け開口６１
ｂに嵌入するための中央突部７１ａを一体的に持つ矩形
板状のドッキングブロック７１と、環状突部７２ｂを一
体的に持ち、ドッキングブロック７１の下面と位置決め
ピンＱ₁以て位置決めされると共にねじＳ₄を以て固定
される矩形板状のジョイントブロック７２と、中央突部
７１ａの吸気取り出し口７１ｂの多孔面に吸着するため
の上部吸着パッド７３ａを持ち、環状突部７２ｂ及び中
央突部７１ａ内に下側から挿入されて埋め込みねじＳ₈
で固定される吸着パッドユニット７３と、下方に向く位
置決めスタッド７４ａが張り出し片７４ｂにて埋め込み
ねじＳ₅で固定されており、ジョイントブロック７２の
四隅にねじＳ₇で固定されたピン７２ｄの下端部に係合
する滑性樹脂（商品名テフロン）ワッシャ７２ｃを滑り
子とし、スタッド７４ｃで吊り下げ支持されてジョイン
トブロック７２の衝合面方向に僅少変移自在の遊動板７
４と、遊動板７４の下面と位置決めピン７５ａを以て位
置決めされると共にねじＳ₆を以て固定される矩形板状
のチップブロック７５と、吸着パッドユニット７３の下
端部に接続するパッドジョイント７６と、このパッドジ
ョイント７６に嵌め込んだＩＣ吸着パッド７７と、この
ＩＣ吸着パッド７７の吸着域を限定する仕切片７８ａを
具備し、チップブロック７５の下面にねじ留めされる樹
脂製チップ７８とを有している。

【００４１】吸着パッドユニット７３は、図６に示す如
く、上部吸着パッド７３ａと、この上部吸着パッド７３
ａの下端部とホルダーガイド７３ｃ内のスリーブ７３ｅ
の上端部とを接続するパッド継手７３ｂと、スリーブ７
３ｅの円周溝に嵌まるＥリング７３ｇを一方のばね留め
端とすると共に、ホルダーガイド７３ｃの上端部内面を
他方のばね留め端とし、スリーブ７３ｅを下方に押し出
し付勢するコイルスプリング７３ｄと、スリーブ７３ｅ
とホルダーガイド７３ｃとの間に挿入され、スルーブ７
４ｅを保持するスリーブホルダー７３ｆと、スリーブホ
ルダー７３ｆの押し出し域を限定するためのストッパー
ピン７３ｈとを有している。

【００４２】ドッキングブロック７１の上面の中央突部
７１ａの吸気取り出し口７１ｂの凹陥部にはＯリング７
１ｅが収納されている。中央突部７１ａを中心にした対
角位置には装着ロックピン７１ｃａ，７１ｃｂが突設さ
れている。この各装着ロックピン７１ｃの先端部には掛
止円周溝７１ｄが形成されている。

【００４３】ところで、図１，図２及び図５に示すコン
タクター７０は中心距離（ピッチ）が40mm又は120mm の
コンタクターであり、下面側から透視して上面を現した
図９（ａ）に示す如く、ドッキングブロック７１の上面
には装着位置決めピンＱ₁，Ｑ₂が突設されている。一
方の装着位置決めピンは誤挿入防止ピンとしても機能す
る。図９（ｂ）に示すドッキングブロック７１は横並び
５箇所のコンタクター装着部のいずれでも装着可能のユ
ニバーサル用コンタクターに用いられ、装着位置決めピ
ンＱ₁とはピン位置が異なる装着位置決めピンＱ₃が突
設されている。

【００４４】また、図１０（ａ）に示すドッキングブロ
ック７１は中心距離が60mmのコンタクターに用いられ、
装着位置決めピンＱ₂，Ｑ₄の外、Ｑ₃の位置に誤挿入
（逆セット）防止ピンＲ₁が突設されている。図１０
（ｂ）に示すドッキングブロック７１は中心距離が80mm
のコンタクターに用いられ、装着位置決めピンＱ₂，Ｑ
₃の外、誤挿入（逆セット）防止ピンＲ₂が突設されて
いる。図１０（ｃ）に示すドッキングブロック７１は中
心距離が100mm のコンタクターに用いられ、装着位置決
めピンＱ₃，Ｑ₅の外、Ｑ₂の位置に誤挿入（逆セッ
ト）防止ピンＲ₃が突設されている。

【００４５】これら各種ドッキングブロック７１に対し
て、図８に示す如く、アタッチメント５０側の位置決め
ブロック６１の底面には、受け開口６１ｂ及びロックピ
ン挿入孔ｈ₁〜ｈ₅の外、横並び５箇所のコンタクター
装着部（弁針Ｊ₁〜Ｊ₅の位置）の正規位置において装
着位置決めピンＱ₁〜Ｑ₅及び誤挿入（逆セット）防止
ピンＲ₁〜Ｒ₃と嵌合するピン孔Ｉ₁〜Ｉ₁₁が形成され
ている。

【００４６】まず、図９（ｂ）に示すユニバーサル用コ
ンタクター７０をアタッチメント５０の第３装着部（セ
ンター装着部、弁針Ｊ₃位置）に装着する場合について
説明する。指押し部６２ｂを指頭で押し込みながら、図
１１（ａ）に示すように、装着ロックピン７１ｃａ，７
１ｃｂを第３装着部のロックピン挿入孔ｈ₃，ｈ₃の奥
まで挿入して、指押し部６２ｂの押し込みを解除する
と、コンタクター７０の装着ロックピン７１ｃａ，７１
ｃｂの掛係円周溝７１ｄがフック板６２のフック孔Ｆ₃
の孔縁に掛止されるため、コンタクター７０はアタッチ
メント５０に吊り下げ支持されて装着される。コンタク
ター７０のドッキングブロック７２を逆向きで挿入しよ
うとしても位置決めピンＱ₂，Ｑ₃と嵌合すべきピン孔
が位置決めブロックに形成されていないために、挿入で
きず、逆セットが防止されている。

【００４７】このような整合装着の際、ドッキングブロ
ック７２の中央突部７１の吸気取り出し口７１ｂがシー
リング板６３から下方に突出した弁針Ｊ₃の弁先をその
コイルスプリング６４ｈの押し出し付勢力に抗して押し
込むため、弁針Ｊ₃の閉塞テーパ部ａがＯリング６４ｆ
から離れると共に、弁針出没孔Ｗ₃の周りに吸気取り出
し口７１ｂに収まるＯリング７１ｅが密着する。この結
果、コンタクター７０側のＩＣ吸着パッド７７に連通し
た末梢気路とアタッチメント５０側の気路孔Ｔ₂に連通
した横孔マニホールドＭとが弁収納孔Ａ₃を介して相互
連通されるため、装着済みコンタクター７０によるＩＣ
吸着動作が即可能となる。そして、指押し部６２ｂを指
頭で押し込みながら、コンタクター７０をアタッチメン
ト５０から外すと、コイルスプリング６４ｈの付勢力に
より弁針Ｊ₃が突出し、閉塞テーパ部ａがＯリング６４
ｆに圧接して弁収納孔Ａ₃を閉塞するため、気路連通が
遮断される。

【００４８】このユニバーサル用コンタクター７０は第
３装着部（弁針Ｊ₃位置）の外、その余の装着部（弁針
Ｊ₁，Ｊ₂，Ｊ₃，Ｊ₅の位置）に装着可能となってい
る。

【００４９】本例のアタッチメント５０では、横孔マニ
ホールドＭが弁収納孔Ａ₂〜Ａ₅を貫通しているため、
第２〜第５の装着部（弁針Ｊ₂〜Ｊ₅の位置）にユニバ
ーサル用コンタクター７０を装着すると、どこでも気路
孔Ｔ₂より真空引きされる。他方、気路孔Ｔ₁は弁収納
孔Ａ₁にのみ連通しているため、第１の装着部（弁針Ｊ
₁位置）にユニバーサル用コンタクター７０すると、気
路孔Ｔ₁より真空引きされる。

【００５０】図１１（ｂ）は中心距離40mm用コンタクタ
ー７０，７０をアタッチメント５０に横並び装着した状
態を示す。第１装着部（弁針Ｊ₁位置）と第５装着部
（弁針Ｊ₅位置）にのみコンタクター７０，７０を装着
できる。位置決めピンＱ₁とＱ₂とが第２〜第４装着部
での誤挿入・逆セットの防止に役立っている。かかる装
着の場合は、第１装着部に装着した一方のコンタクター
７０は気路孔Ｔ₁，弁収納孔Ａ₁を介して真空源と連通
し、第５装着部に装着した他方のコンタクター７０は気
路孔Ｔ₂，弁収納孔Ａ₅を介して別の真空源と連通す
る。

【００５１】このように、アタッチメント５０の取付や
負圧管２１ａの配管のやり直し作業を伴わずに、コンタ
クター７０を装着する操作だけでそのコンタクター７０
の吸着動作が可能となるので、装着位置替えが容易とな
り、段取り作業の大幅軽減に寄与する。また、従来の共
用取付板は不要になり、しかも、アタッチメント５０の
取付や負圧管２１ａの配管のやり直し作業を伴わずに、
コンタクター７０を装着する操作だけで、コンタクター
７０の２個装着を簡単に実現でき、段取り作業の大幅軽
減に寄与する。

【００５２】図１２はコンタクトトランスファ（フロン
ト・コンタクトトランスファ）５としてアーム５ｃの下
端部に図８に示すアタッチメント５０と同様な右用アタ
ッチメント５０_Rと左用アタッチメント５０_Lを横並び
で取り付けた状態を示す底面図である。なお、その下端
部は２個のアタッチメントを取り付け得るように幅広に
形成されている。図１２において、左用アタッチメント
５０_Lは、右用アタッチメント５０_Rのピン孔Ｉ₁〜Ｉ
₁₁のうち、ピン孔Ｉ₂を除いてすべて同一位置にピン孔
Ｉ₁，Ｉ₃〜Ｉ₁₁を有しており、その外、ピン孔Ｉ₀，
Ｉ₁₂も有している。なお、図１２に示す数値は右用アタ
ッチメント５０_Rに装着されるコンタクターと左用アタ
ッチメント５０_Lに装着されるコンタクターとの中心距
離（mm）を表す。

【００５３】このような右用アタッチメント５０_Rと左
用アタッチメント５０_Lとの横並び取り付けでは、図１
３（ａ）に示す如く、各アタッチメント５０の最右側と
最左側のコンタクター装着部にのみ図９（ａ）に示した
40mmピッチ用コンタクター７０を装着できる。横並び４
個のコンタクター７０の中心距離は40mmとなっている。
位置決めブロック６１は位置決めピンＱ₁が第２〜第３
装着部において嵌合すべきピン孔を具備していないた
め、コンタクター７０は第２〜第３装着部においては装
着不可能である。位置決めピンＱ₁は誤挿入防止ピンと
して機能している。また、いずれの装着部においてコン
タクター７０を逆向きでセットする場合、位置決めピン
Ｑ₁又はＱ₂は逆セット防止ピンとして機能する。な
お、中心距離120mm コンタクター７０を２個装着する場
合は、図９（ａ）に示す内側２個のコンタクター７０，
７０を取り外した状態に相当している。

【００５４】図１３（ｂ）は、右用アタッチメント５０
_Rと左用アタッチメント５０_Lのコンタクター装着部
に、図９（ｂ）に示したユニバーサル用コンタクター７
０を２個装着した状態を示す。ユニバーサル用コンタク
ター７０は各アタッチメント５０の５箇所のコンタクタ
ー装着部のいずれでも装着可能であり、ピンＱ₂はピン
孔Ｉ₆，Ｉ₇，Ｉ₉，Ｉ₁₀，Ｉ₁₁のいずれにも嵌合でき
ると共に、ピンＱ₃はピン孔Ｉ₅，Ｉ₆，Ｉ₇，Ｉ₉，
Ｉ₁₀のいずれにも嵌合できる。また、いずれの装着部に
おいてコンタクター７０を逆向きでセットしようとする
場合、アタッチメント５０は位置決めピンＱ₂及びＱ₃
と同時に嵌合するピン孔を具備してない。

【００５５】このように２個のユニバーサル用コンタク
ター７０を用いる場合、中心距離を40mm，60mm，80mm，
100mm, 120mmにセットできる。

【００５６】図１４（ａ）は、右用アタッチメント５０
_Rと左用アタッチメント５０_Lのコンタクター装着部
に、図１０（ａ）に示した60mmピッチ用コンタクター７
０を２個装着した状態を示す。右用アタッチメント５０
_Rでは第２の装着部（弁針Ｊ₂位置）のみに60mmピッチ
用コンタクター７０が装着可能であり、左用アタッチメ
ント５０_Lでは第４の装着部（弁針Ｊ₄位置）のみに60
mmピッチ用コンタクター７０が装着可能である。位置決
めピンＱ₄は左用アタッチメント５０_Lではピン孔Ｉ₁₂
のみに嵌合し、右用アタッチメント５０_Rではピン孔Ｉ
₂のみに嵌合するため、誤挿入防止ピンとしても機能し
ている。ピンＱ₂とＱ₄は１８０°回転対称位置にある
ため、ピンＲ₁は左用アタッチメント５０_Lではピン孔
Ｉ₄に、右用アタッチメント５０_Rではピン孔Ｉ₇にそ
れぞれ嵌合し、逆セット防止ピンとなっている。

【００５７】図１４（ｂ）は、右用アタッチメント５０
_Rと左用アタッチメント５０_Lのコンタクター装着部
に、図１０（ｂ）に示した80mmピッチ用コンタクター７
０を２個装着した状態を示す。右用アタッチメント５０
_Rでは第３の装着部（弁針Ｊ₃位置）のみに100mm ピッ
チ用コンタクター７０が装着可能であり、左用アタッチ
メント５０_Lでは第３の装着部（弁針Ｊ₃位置）のみに
80mmピッチ用コンタクター７０が装着可能である。誤挿
入防止ピンＲ₂はピン孔Ｉ₈にのみ嵌合でき、逆セット
防止ピンともなっている。

【００５８】図１４（ｃ）は、右用アタッチメント５０
_Rと左用アタッチメント５０_Lのコンタクター装着部
に、図１０（ｃ）に示した100mm ピッチ用コンタクター
７０を２個装着した状態を示す。右用アタッチメント５
０_Rでは第４の装着部（弁針Ｊ₄位置）のみに120mm ピ
ッチ用コンタクター７０が装着可能であり、左用アタッ
チメント５０_Lでは第２の装着部（弁針Ｊ₂位置）のみ
に100mm ピッチ用コンタクター７０が装着可能である。
位置決めピンＱ₅は右用アタッチメント５０_Rではピン
孔Ｉ₂のみに嵌合でき、左用アタッチメント５０_Lでは
ピン孔Ｉ₀のみに嵌合できるため、誤挿入防止ピンとし
ても機能している。ピンＱ₃とＱ₅は１８０°回転対称
位置にあるため、ピンＲ₃は左用アタッチメント５０_L
ではピン孔Ｉ₁₀に、右用アタッチメント５０_Rではピン
孔Ｉ₇にそれぞれ嵌合し、逆セット防止ピンとなってい
る。

【００５９】アタッチメント５０側に配設する５つのニ
ードル弁は、Ｏリング６４ｆ，弁針Ｊ，コイルスプリン
グ６４ｈ及びプラグ６４ｉだけでコンパクトに構成でき
るため、ニードル弁同士の間隔は10mmとなっている。

【００６０】図１５は上記の如きニードル弁を用いた別
のアタッチメント１００の概略構成を示す底辺図であ
る。図１２では右用アタッチメント５０_Rと左用アタッ
チメント５０_Lの２個が用いられているが、図１５にお
けるアタッチメント１００は、ピッチを替えてコンタク
ターをインラインで横並び配置でき、且つピッチを替え
てコンタクターをスクウェア配置できるものである。×
印は、唯一のコンタクターを装着する場合、インライン
でのセンター装着用コンタクターの中心位置（弁針位
置）である。□印は、インラインでの40mmピッチ用コン
タクターの中心位置（弁針位置）であり、都合４個イン
ラインで横並び配置できる。最右側と最左側にコンタク
ターを２個装着する場合は120mm ピッチとなる。△印
は、インラインでの60mmピッチ用コンタクターの中心位
置（弁針位置）であり、都合４個インラインで横並び配
置できる。最右側と最左側にコンタクターを２個装着す
る場合は180mm ピッチとなる。▲印は、インラインでの
80mmピッチ用コンタクターの中心位置（弁針位置）であ
り、都合２個インラインで横並び配置できる。○印は、
スクウェア配置で60mmピッチ用コンタクターの中心位置
（弁針位置）であり、都合４個のコンタクターをスクウ
ェア配置できる。●印は、スクウェア配置で80mmピッチ
用コンタクターの中心位置（弁針位置）であり、都合４
個のコンタクターをスクウェア配置できる。図中の破線
は気路を示し、Ｖ１〜Ｖ４は相互独立の真空源を示す。

【００６１】複数のコンタクターを所定ピッチでインラ
イン配置（直線上配置）する場合に限らず、４個のコン
タクターをスクウェア配置（四隅配置）することができ
るので、ソケット配置がライン上に長くならず、ソケッ
トに多数のＩＣを同時押圧する際の押圧力を均等化でき
る。

【００６２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るＩＣ
テストハンドラは、コンタクトトランスファのコンタク
トアタッチメント側において、コンタクターの装着部へ
の装着接触に連動してそのコンタクターに対してＩＣ吸
着パッドのための真空気路を自動的に開成する連動式真
空気路選択連通手段を有することを特徴とするものであ
るから、次のような効果を奏する。

【００６３】アタッチメントの取付や負圧管の配管
のやり直し作業を伴わずに、コンタクターを装着する操
作だけでそのコンタクターの吸着動作が可能となるの
で、装着位置替えが頗る容易となり、段取り作業の大幅
軽減に寄与する。

【００６４】真空気路選択連通手段が独立した少な
くとも第１と第２の真空気路選択連通手段である場合に
は、共用取付板の交換及びアタッチメントの取付や負圧
管の配管のやり直し作業を伴わずに、コンタクターを装
着する操作だけで、コンタクターの複数個装着を簡単に
実現でき、段取り作業の大幅軽減に寄与する。

【００６５】真空気路選択連通手段が末梢気路側の
吸気取り出し口近傍部の押動により開成する弁である場
合、装置構成の簡略化・コンパクト化を図ることができ
る。

【００６６】特に、その弁がニードル弁である場
合、装置構成の簡略化・コンパクト化が顕著となる。

【００６７】アタッチメントとコンタクターとにコ
ンタクター自身の誤装着防止用非係合部材を具備する場
合、正規の装着部位や装着向きにコンタクターを正しく
装着でき、装着確認が不要になり、段取り作業の容易化
に寄与する。

【００６８】昇降アームがアタッチメントの複数個
を取り付け可能な下端部を具備する場合、コンタクター
の多数個付けが可能となり、総テスト時間を短縮化でき
る。

【００６９】コンタクトアタッチメントが、複数の
コンタクター装着部の中心点がスクウェアを成す組みを
含む場合、４個のコンタクターをスクウェア配置で２次
元的に装着でき、ソケット配置がライン上に長くなら
ず、ソケットに多数のＩＣを同時押圧する際の押圧力を
均等化できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係るＩＣテストハンドラに
おいて、コンタクトトランスファのコンタクトアームの
下端部に取り付けられたコンタクトアタッチメントに横
並びで２個のコンタクターを装着した状態を示す斜視図
である。

【図２】同コンタクトアタッチメントに一方のコンタク
ターが装着され、他のコンタクターは未装着である状態
を示す斜視図である。

【図３】同コンタクトアタッチメントの分解斜視図であ
る。

【図４】同コンタクトアタッチメントの縦断面図であ
る。

【図５】同コンタクターの分解斜視図である。

【図６】同コンタクターに用いる吸着パッドユニットの
分解斜視図である。

【図７】同コンタクトアタッチメントに同コンタクター
を装着した状態を示す縦断面図である。

【図８】同コンタクターの位置決めブロックを示す底面
図である。

【図９】（ａ）は40mmピッチ又は120mm ピッチ用コンタ
クターのドッキングブロックの上面を下面側から透視し
て表した底面図、（ｂ）はユニバーサルピッチ用コンタ
クターのドッキングブロックの上面を下面側から透視し
て表した底面図である。

【図１０】（ａ）は60mmピッチ用コンタクターのドッキ
ングブロックの上面を下面側から透視して表した底面
図、（ｂ）は80mmピッチ用コンタクターのドッキングブ
ロックの上面を下面側から透視して表した底面図、
（ｃ）は100mm ピッチ用コンタクターのドッキングブロ
ックの上面を下面側から透視して表した底面図である。

【図１１】（ａ）は同コンタクトアタッチメントの第３
装着部にユニバーサル用コンタクターを装着した状態を
示す底面図、（ｂ）は２個の中心距離40mm用コンタクタ
ーを同コンタクトアタッチメントに横並び装着した状態
を示す底面図である。

【図１２】コンタクトアームの下端部に右用アタッチメ
ントと左用アタッチメントを横並びで取り付けた状態を
示す底面図である。

【図１３】（ａ）は右用アタッチメントと左用アタッチ
メントとの横並び取り付けにおいて40mmピッチ用コンタ
クターを４個装着した状態を示す底面図、（ｂ）は右用
アタッチメントと左用アタッチメントとの横並び取り付
けにおいてユニバーサル用コンタクターを２個装着した
状態を示す底面図である。

【図１４】（ａ）は右用アタッチメントと左用アタッチ
メントとの横並び取り付けにおいて60mmピッチ用コンタ
クターを２個装着した状態を示す底面図、（ｂ）は右用
アタッチメントと左用アタッチメントとの横並び取り付
けにおいて80mmピッチ用コンタクターを２個装着した状
態を示す底面図、（ｃ）は右用アタッチメントと左用ア
タッチメントとの横並び取り付けにおいて100mm ピッチ
用コンタクターを２個装着した状態を示す底面図であ
る。

【図１５】本発明に係る別のコンタクトアタッチメント
の概略構成を示す底面図である。

【図１６】ＩＣテストハンドラのトップカバーを取り外
した状態を示す外観斜視図である。

【図１７】ＩＣテストハンドラの機構部分の構造を示す
概略平面図である。

【図１８】（ａ），（ｂ）は、ＩＣテストハンドラのコ
ンタクトトランスファのタクト動作を説明するめの概略
図である。

【図１９】ＩＣテストハンドラの従来のコンタクトトラ
ンスファにおいて、コンタクトアームのコンタクトアタ
ッチメントに横並びで２個のコンタクターを装着した状
態を示す斜視図である。

【図２０】図１９に示すコンタクトアタッチメントとコ
ンタクターとを取り外した状態を示す斜視図である。

【図２１】ＩＣテストハンドラの従来のコンタクトトラ
ンスファにおいて、コンタクトアームのコンタクトアタ
ッチメントに１個のコンタクターを装着した状態を示す
斜視図である。

【符号の説明】

１…搬入用トレイエレベータ２…搬入用トランスファ３…搬入用シャトル５，６…コンタクトトランスファ５ａ，５ａ…Ｙ軸駆動用ボールねじ５ｂ，６ｂ…直動主体５ｃ，６ｃ…コンタクトアーム７…ＩＣ恒温室９…搬出用シャトル１０…クーリングトランスファ１１…クーリングシャトル１２…搬出用トランスファ１３…空きトレイエレベータ１４〜１６…搬出用トレイエレベータ１７…トレイトランスファ１８…外観検査部２１…下端部内側面２１ａ…負圧管２１ｂ…中継管５０，１００…コンタクトアタッチメント（アダプタ
ー）５０_R…右用アタッチメント５０_L…左用アタッチメント５２…ベースブロック５２ａ…取付基部５２ｂ…主体支持部５２ｃ…連結部５２ｄ…切欠き５２ｅ…挟み込み板５３…窓部６０…アタッチメント主体６１…位置決めブロック６１ａ…薄肉鍔部６１ｂ…受け開口６１ｃ…側縁突条部６２…フック板６２ａ…干渉防止窓６２ｂ…指押し部６２ｃ…ストッパー部６３…シーリング板６４…気路ブロック６４ａ…気路内蔵部６４ｂ…正面側鍔部６４ｃ…背面側鍔部６４ｃａ…切欠き６４ｄ…嵌合溝６４ｅ…盲栓６４ｆ…Ｏリング６４ｈ…コイルスプリング６４ｉ…ばね押さえプラグ６５…コイルスプリング６５ａ…不動端６５ｂ…可動端６６…ばね留め鋲７０…コンタクター７１…ドッキングブロック７１ａ…中央突部７１ｃａ，７１ｃｂ…装着ロックピン７１ｂ…吸気取り出し口７１ｄ…掛止円周溝７１ｅ…Ｏリング７２…ジョイントブロック７２ｂ…環状突部７２ｃ…滑性樹脂ワッシャ７２ｄ…ピン７３…吸着パッドユニット７３ａ…上部吸着パッド７３ｂ…パッド継手７３ｃ…ホルダーガイド７３ｄ…コイルスプリング７３ｅ…スリーブ７３ｆ…スリーブホルダー７３ｇ…Ｅリング７３ｈ…ストッパピン７４…遊動板７４ａ…位置決めスタッド７４ｂ…張り出し片７４ｃ…スタッド７５…チップブロック７５ａ…位置決めピン７６…パッドジョイント７７…ＩＣ吸着パッド７８…樹脂製チップ７８ａ…仕切片ａ…閉塞テーバ部Ａ₁〜Ａ₅…弁収納孔Ｆ₁〜Ｆ₅…フック孔Ｇ₁…案内切欠きＧ₂…案内孔ｈ₁〜ｈ₅…ロックピン挿入孔Ｉ₀〜Ｉ₁₂…ピン孔Ｊ₁〜Ｊ₅…弁針Ｈ₁，Ｈ₇，Ｈ₈…ねじ挿通孔Ｈ₂，Ｈ₃，Ｈ₅…ねじ孔Ｈ₄…ばね座穴Ｈ₆…鋲孔Ｈ₉…ねじ埋め込み穴Ｍ…横孔マニホールドＮ…埋め込みナットＰ₁…搬入位置Ｐ₂…テスト位置Ｐ₃…搬出位置Ｑ₁〜Ｑ₅…位置決めピンＲ₁〜Ｒ₃…誤挿入（逆セット）防止ピンＳ₁，Ｓ₂…通しねじＳ₃…皿ねじＳ₄，Ｓ₆，Ｓ₇…ねじＳ₅，Ｓ₈…埋め込みねじＴ₁，Ｔ₂…気路孔Ｖ１〜Ｖ４…真空源Ｗ₁〜Ｗ₅…弁針出没孔。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】搬入位置のＩＣを吸着保持してテスト位
置まで移動した後、下降させてＩＣソケットに前記ＩＣ
の端子を所定時間押圧し続け、しかる後、前記ＩＣを上
昇させて搬出位置に差し置くコンタクトトランスファを
備え、前記コンタクトトランスファは、少なくとも、前
記ＩＣを吸着保持するためのＩＣ吸着パッドを持つコン
タクターと、前記コンタクターの１個又は複数個をコン
タクター装着ロック手段にてコンタクター装着部に着脱
可能のコンタクトアタッチメントと、前記コンタクトア
タッチメントを下端部に取り付けた昇降アームとを有し
て成るＩＣテストハンドラにおいて、いずれもの前記コンタクター装着部での前記コンタクタ
ーの着脱動に連動して、そのコンタクター側の前記ＩＣ
吸着パッドに連通した末梢気路と前記コンタクトアタッ
チメント側の真空源に連通した基幹真空気路との連通を
継断する真空気路選択連通手段を有して成ることを特徴
とするＩＣテストハンドラ。
【請求項２】請求項１に記載のＩＣテストハンドラに
おいて、前記コンタクトアタッチメントは、少なくと
も、相互に独立した真空源に連通する第１と第２の前記
基幹真空気路を備えており、前記真空気路選択連通手段
は、第１の前記基幹真空気路に対応した１又は２以上の
前記コンタクター装着部での気路連通を継断する第１の
真空気路選択連通手段と、第２の前記基幹真空気路に対
応した１又は２以上の前記コンタクター装着部での気路
連通を継断する第２の真空気路選択連通手段とを有して
成ることを特徴とするＩＣテストハンドラ。
【請求項３】請求項１又は請求項２に記載のＩＣテス
トハンドラにおいて、前記真空気路選択連通手段は、前
記いずれものコンタクター装着部の前記基幹真空気路側
の吸気取り入れ口に設けられ、前記末梢気路側の吸気取
り出し口近傍部の押動により開成する弁であることを特
徴とするＩＣテストハンドラ。
【請求項４】請求項３に記載のＩＣテストハンドラに
おいて、前記弁は、前記吸気取り入れ口の口周りに設け
られた弾性弁座環と、前記弾性弁座環の環口から突出方
向へ発条付勢された弁針とを有して成るニードル弁であ
ることを特徴とするＩＣテストハンドラ。
【請求項５】請求項１乃至請求項４のいずれか一項に
記載のＩＣテストハンドラにおいて、前記コンタクトア
タッチメントと前記コンタクターとには前記コンタクタ
ー自身の誤装着防止用非係合部材を具備することを特徴
とするＩＣテストハンドラ。
【請求項６】請求項１乃至請求項５のいずれか一項に
記載のＩＣテストハンドラにおいて、前記昇降アーム
は、前記コンタクトアタッチメントの複数個を取り付け
可能な前記下端部を有することを特徴とするＩＣテスト
ハンドラ。
【請求項７】請求項１乃至請求項６のいずれか一項に
記載のＩＣテストハンドラにおいて、前記コンタクトア
タッチメントは、複数の前記コンタクター装着部の中心
点がスクウェアを成す組みを含むことを特徴とするＩＣ
テストハンドラ。