JP3221284B2 - 金属−酸化物セラミックス複合焼結体の製造方法 - Google Patents

金属−酸化物セラミックス複合焼結体の製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はアルミナ等の酸化物セラ
ミックスに金属粒子が複合された金属−酸化物セラミッ
クス複合焼結体の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】雑誌『日経マテリアル&テクノロジー』
(1993,10,No.134,P18〜P19)に
は、イットリア含有の部分安定化ジルコニア(Y−PS
Z)のセラミックスマトリックスにnmオーダの極微小
のモリブデン粒子を分散させた複合焼結体からなるナノ
複合材料が開示されている。
【0003】このものによれば、nmオーダの極微小の
モリブデン粒子をジルコニアに複合化しているので、複
合焼結体の曲げ強さや靭性を大幅に改善できると報告さ
れている。この複合材料を製造するには、ジルコニア粉
末とnmオーダの極微小のモリブデン粉末とを原料粉末
として用い、アセトン溶媒中で24時間ボールミルで機
械的に混合し混合粉末を得る。その後、その混合粉末を
真空雰囲気において1400〜1600℃、圧力30M
Paにて1時間HP(Hot Press)法で焼結
し、複合焼結体を得ることにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記した
方法によれば、原料粉末をボ−ルミルで混合している関
係上、モリブデン粉末の混合分散性は必ずしも充分では
ない。また粉末の段階ではセラミックス粒子の粒界にモ
リブデンが存在し易い。この場合にはセラミックス粒子
同士の焼結性が損なわれる。
【0005】また上記した方法によれば、セラミックス
粒子の粒内にモリブデン粒子が内在することがあるとし
ても、焼結に伴いセラミックス粒子が成長して大きくな
り、元々セラミックス粒子の粒界に存在していたモリブ
デン粒子が取り込まれたためである。更に大粒なモリブ
デンが生成されがちのため、ナノ複合材料の恩恵を充分
に受けているとは言いがたい。
【0006】この様な上記した方法によれば、焼結性を
確保するには、前記したHP法、或いは、等方加圧しつ
つ焼結加熱するHIP(Hot Iosostatic
Press)法を採用するしかない。よって成形体形
状に制約を受け易い。本発明は上記した実情に鑑みなさ
れたものであり、その課題は、複合粉末における酸化物
セラミックスと金属との混合分散性が向上し、ひいては
焼結性が向上し、HP法やHIP法を必須とせず、更
に、複合焼結体の高強度及び高靭性化に有利な複合焼結
体の製造方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る金属−酸
化物セラミックス複合焼結体の製造方法は、酸化物セラ
ミックスとなるセラミックス構成成分と酸化物セラミッ
クスに複合される金属成分とを含む溶液の加水分解、縮
重合を経てゾルを形成し、ゾルを経てゲルを形成し、
ルに対して水素雰囲気で熱処理して選択的に還元するこ
とにより、金属成分からなる金属粒子を形成し、金属成
分からなる金属粒子を10〜50vol%含む金属−酸
化物セラミックスの複合粉末を得る工程と、複合粉末を
所定形状に成形すると共に非酸化性雰囲気中で焼結して
複合焼結体を得る工程とを順に実施することを特徴とす
るものである。
【0008】請求項2に係る金属−酸化物セラミックス
複合焼結体の製造方法は、請求項1において、金属粒子
はチタン、酸化物セラミックスはアルミナまたはムライ
であることを特徴とするものである。
【0009】
【作用】請求項1に係る方法によれば、ゾル−ゲル法に
より金属−酸化物セラミックスの複合粉末を調整する。
ゾル−ゲル法は、金属の化合物の溶液を出発原料とし
て、溶液中での加水分解と加水分解後に生じる縮重合と
によって、溶液を、金属酸化物や金属水酸化物等の極微
粒子であるコロイド粒子が分散したゾルとし、更にコロ
イド粒子が集合してゲル化する方法である。
【0010】この様にゾル−ゲル法で複合粉末を調整す
れば、粒径が微小や極微小(例えば0.1μm以下=1
00nm以下)の金属粒子が得られ易い。更に、粉末の
段階で酸化物セラミックスの内に金属粒子を内在させる
のに有利となる。原子レベルや分子レベルでの混合が可
能と考えられるからである。請求項1に係る方法で用い
る金属としてはチタン、モリブデン、タンタル等の遷移
金属を採用できる。ゾル−ゲル法では一般的に出発原料
として金属アルコキシドを用いるので、酸化物セラミッ
クスに複合される金属は金属アルコキシドとなり得るも
のが好ましい。また複合焼結体の軽量化を図る意味で
は、比重が軽い金属が好ましい。セラミックスは酸化物
セラミックスとする。ゾル−ゲル法を採用するには酸化
物系が好ましいからである。酸化物セラミックスとして
はアルミナ(以下Al2 3 ともいう)、ムライト、ジ
ルコニア、マグネシアを採用できる。
【0011】請求項1に係る方法によれば、複合粉末を
所定形状に成形すると共に非酸化性雰囲気中で焼結して
複合焼結体を得る。非酸化性雰囲気としては真空雰囲
気、アルゴンや窒素等の不活性雰囲気を採用できる。焼
結温度は酸化物セラミックスの種類に応じて適宜選択
し、酸化物セラミックスがアルミナの場合には1450
〜1600℃程度を採用できる。
【0012】請求項1に係る方法によれば、前述の様に
粉末の段階で酸化物セラミックスの内に金属粒子が内在
し易いので、焼結の際に酸化物セラミックス同士の粒界
における焼結特性を金属粒子が阻害することは、抑制さ
れる。よって酸化物セラミックスの焼結は良好に進行す
る。更にゾル−ゲル法で形成した複合粉末は粒径が微小
になり易い。この意味でも酸化物セラミックスの焼結は
良好に進行する。
【0013】故に大気圧下における焼結をしても、複合
焼結体の機械的強度は確保される。勿論、更なる焼結性
を期待する場合には、加圧しつつ焼結するHP法やHI
P法を採用することもできる。従って請求項1の方法に
よればHP法やHIP法は必須ではない。請求項1の方
法によれば、金属粒子が10vol%未満であれば金属
粒子が少なすぎ、複合焼結体の破壊靱性が低下し易くな
り、金属粒子が50vol%を越えると金属が過剰とな
り、酸化物セラミックスの特性が失われ、複合焼結体の
強度が低下する。
【0014】請求項2に係る方法によれば、粉末の段階
でアルミナセラミックスの粒内にチタン(以下Tiとも
いう)粒子が内在し易いので、焼結の際にアルミナセラ
ミックス粒子同士の粒界における焼結特性をチタン粒子
が阻害することは、抑制される。よってアルミナセラミ
ックスの焼結は良好に進行する。
【0015】
【実施例】本発明方法をアルミナセラミックスに適用し
た実施例1を説明する。 (1)複合粉末の調整 まず、目的とする酸化物セラミックスや金属粒子に対応
する金属アルコキシドを選択する。即ち、出発原料とし
て金属アルコキシドとしてAl(Oi Pr)3及びTi
(Oi Pr)4 を選択する。
【0016】上記した出発原料の金属アルコキシドのモ
ル比を適宜変えることにより、得られる複合粉末におけ
るTiのvol%を調整した。これを表1のNO.1〜
NO.5に示す。複合粉末におけるTi%は、NO.1
では7.6vol%、NO.2では17.2vol%、
NO.3では29.4vol%、NO.4では45.4
vol%、NO.5では55.5vol%である。
【0017】
【表1】 得られた複合粉末では、平均粒径0.5μmの複合粉末
粒子に平均粒径0.02μmのTi粒子が分散してい
た。この様に複合粉末の粒径は微小のため焼結性は良好
と考えられる。
【0018】以下、NO.3に係る複合粉末を例にとっ
て、複合粉末の調整方法を説明する。図1はこの調整方
法のフローチャートを示す。図1から理解できる様にA
l(Oi Pr)3 2モルを有機溶媒としてのEE20モ
ルに溶解する。EEはエチレングリコールモノエチルエ
ーテル(構造式;C2 5 O−C−C−OH)である。
【0019】更に触媒として機能する塩酸(0.02モ
ル)を加え、塩酸酸性下にて、上記液を室温にて1時間
攪拌する。このとき、加水分解に必要な純水2モルをE
E20モルにて希釈した希釈液を滴下し、部分加水分解
を行う。これを溶液Aとする。溶液Aと同様の手順にて
溶液Bを調整する。即ち、Ti(Oi Pr)4 1モルを
有機溶媒としてのEE10モルに溶解する。更に塩酸
(0.01モル)を加え、塩酸酸性下にて室温にて攪拌
する。このとき純水2モルをEE20モルにて希釈した
希釈液を滴下し、部分加水分解を行う。これを溶液Bと
する。
【0020】溶液Aと溶液Bとを混ぜ合わせ、室温で1
時間攪拌混合する。更に触媒として機能するアンモニア
水溶液を添加し、液がpH=11になる様にする。この
液に、純水6モルをEE60モルに希釈した希釈液を加
え、加水分解を行なう。更に室温で攪拌し脱水縮重合反
応を促す。これによりコロイド粒子が分散したゾルが得
られる。更に縮重合反応が進み、アルミナ及びチタニヤ
(以下TiO2 ともいう)を複合化したゲルの沈澱が得
られる。
【0021】このゲルを吸引濾過にて選別し、濾過物を
200℃×1hr(大気中)乾燥する。その後、濾過物
を1000℃×3hr水素流にて熱処理し、TiO2
みを選択的に還元し、チタン及びアルミナが複合化した
複合粉末を得る。この複合粉末は微小粉末粒子である。
図1に示す〜の反応は以下の通りと考えられる。 :Al(Oi Pr)3 →Al(OR)3 ここでR:−(CH2 2 −(OC2 5 ) ’:Ti(Oi Pr)4 →Ti(OR)4 :Al(OR)3 →(RO)2 AlOH ’:Ti(OR)4 →(RO)2 Ti(OH)2 (2)焼結 得られた表1に示す組成の複合粉末を用い、それぞれの
複合粉末を200kg/cm2 の圧力で一軸プレスによ
り成形した。更にこの成形体を薄肉ゴム袋に詰め、袋内
を真空にした後にCIP法(Cold Isostat
ic Press)法にて3000kg/cm2 の圧力
で常温域において加圧した。
【0022】次にこの成形体を大気圧の非酸化性雰囲気
中(Ar)の炉内に装入し、昇温速度1℃/minで昇
温し、1500℃において1時間焼結し、これによりチ
タンとアルミナとを複合化した複合焼結体を得た。得ら
れた複合焼結体をJIS1601に準じて加工し、室温
において4点曲げ強度を測定した。さらにJIS160
7に準じて複合焼結体の破壊靱性を測定し、表2に示す
結果を得た。
【0023】
【表2】 表2に示す様にTiが7.6vol%含まれる比較例1
では室温強度は810MPa、破壊靭性値は3.3MP
a√mである。Tiが17.2vol%含まれる試験例
1では室温強度は830MPa、破壊靭性値は7.2M
Pa√mである。Tiが29.4vol%含まれる試験
例2では室温強度は850MPa、破壊靭性値は10.
2MPa√mである。Ti45.4vol%含まれる試
験例3では室温強度は730MPa、破壊靭性値は1
2.5MPa√mである。Tiが55.5vol%含ま
れる比較例2では室温強度は580MPa、破壊靭性値
は12.3MPa√mである。ちなみにTiを含有しな
いアルミナ焼結体では破壊靭性値は2〜3MPa√m程
度である。
【0024】この様にTiが10vol%未満である比
較例1によれば、室温強度を確保できるものの、破壊靭
性値は低い。表2から理解できる様にTiのvol%が
増加すれば、破壊靭性値は確保できる。しかしTivo
l%が過剰に増加すれば、即ち比較例2の様にTiが5
0vol%を越えれば室温強度が低下する傾向となる。
従って室温強度及び破壊靭性値の双方の確保を考慮する
と、Tiは10〜50vol%が好ましいことがわか
る。 (3)実施例2 実施例2は、酸化物セラミックスであるムライト(3A
2 3 ・2SiO2)とチタンとを複合したチタン−
ムライト複合粉末を用いる例である。
【0025】フローチャートを示す図2に基づいて説明
する。まず、アルミニウムのアルコキシドAl(Oi
r)3 1モルを、溶媒としてのEE20モルに溶解す
る。更にその液にテトラエトキシシランSi(OC2
5 4 を1モル添加し、室温で1時間攪拌する。更に触
媒として機能する塩酸(0.02モル)を加え、塩酸酸
性下にて、上記液を室温にて攪拌する。このとき、加水
分解に必要な純水4モルをEE20モルにて希釈した希
釈液を滴下し、部分加水分解を行う。更に125℃で3
時間還流する。これを溶液Cとする。
【0026】溶液Dは次の様に調整する。即ち、Ti
(Oi Pr)4 1モルを溶媒としてのEE10モルに溶
解し、室温にて1時間攪拌する。更に触媒として機能す
る塩酸(0.01モル)を加え、室温にて攪拌する。こ
のとき純水2モルをEE20モルにて希釈した希釈液を
滴下し、部分加水分解を行う。これを溶液Dとする。そ
して溶液Cと溶液Dとを混ぜ合わせ、室温で1時間攪拌
混合する。ここに触媒として機能するアンモニア水溶液
を添加し、液がpH=11になる様にする。
【0027】この液に、純水7モルをEE70モルにて
希釈した液を加え、加水分解を行なう。更に室温で攪拌
し脱水縮重合反応を促す。これによりコロイド粒子が分
散したゾルが得られる。更に縮重合反応が進行して3A
2 3 ・2SiO2 及びTiO2 を複合化した粒子か
らなるゲルの沈澱が得られる。このゲルを吸引濾過にて
選別し、200℃で1hr大気中で乾燥する。その後、
1000℃×3hr水素流にて熱処理し、TiO2 のみ
を選択的に還元し、Ti、Al2 3 を複合化した微細
な複合粉末を得る。
【0028】上記した様にムライト系の複合粉末を得る
場合にはAl(Oi Pr)3 とTi(Oi Pr)4 とを
混合する前に、Si(OC2 5 4 を加え還流を施す
ことにより、AlとSiとを複合化する。この様にして
調整した複合粉末では、平均粒径0.6μmのAl2
3 粒子に平均粒径0.03μmTi粒子が分散してい
た。この複合粉末ではAl2 3 粒子の内部にTi粒子
が内在していると考えられる。
【0029】得られた複合粉末を用い、実施例1の場合
と同様に成形し、大気圧下の非酸化性雰囲気(Ar)中
で焼結し、複合焼結体を得た。この複合焼結体は、実施
例1の場合と同様に室温強度及び破壊靭性が共に良好で
あった。 (他)なお上記したゾル−ゲル法では、原料として用い
る金属アルコキシドの種類に応じてpH調整を調整する
ことが好ましい。
【0030】本発明方法に係る複合粉末は、金属粒子を
10〜50vol%含むものであるが、酸化物セラミッ
クスの種類、金属粒子の種類、複合焼結体の用途等に応
じて金属粒子の割合は適宜変更できるものであり、また
表2に示す特性から理解できる様に金属粒子の割合が多
くなると破壊靭性値は確保できるものの、強度が低下す
る傾向がある。また酸化物セラミックスよりも比重が大
きな金属粒子の場合には、金属粒子の割合が増すと複合
焼結体の比重が増加し易い。これらの事情を考慮して金
属粒子の割合を選択することが好ましく、従って金属粒
子は例えば上限値が40vol%、35vol%、30
vol%にでき、下限値が15vol%、20vol
%、25vol%にすることもできる。
【0031】(付記)上記した実施例から次の技術的思
想も把握できる。 ○酸化物セラミックスの粉末粒子の粒内にnmオーダの
超微粒子状の金属が内在するナノ複合粉末及びその製造
方法。 ○複合粉末の平均粒径は0.1〜1μm、金属粒子は
0.005〜0.1μmである請求項1に記載の方法。 ○室温強度が700MPa以上で、破壊靭性値が5MP
a√m以上であるアルミナセラミックス。
【0032】
【発明の効果】請求項1に係る方法によれば、高強度、
高靭性の金属−酸化物セラミックスの複合焼結体が得ら
れる。請求項1に係る方法によれば、粉末の段階で酸化
物セラミックスの内に金属粒子が内在し易いので、複合
粉末の焼結の際に酸化物セラミックス粒子同士の焼結特
性を金属粒子が阻害することは、抑制され、酸化物セラ
ミックスの焼結性は良好に確保される。故に焼結の際に
加圧するHP法やHIP法が必須ではなく、大気圧下で
の焼結も可能となる利点が得られる。
【0033】請求項2に係る方法によれば、高強度、高
靭性のチタン−アルミナの複合焼結体が得られる。チタ
ンは比重が比較的軽いので、複合焼結体の軽量化にも有
利である。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1に係る複合粉末を製造する過程を示す
フローチャートである。
【図2】実施例2に係る複合粉末を製造する過程を示す
フローチャートである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C04B 35/00,35/10 C04B 35/622 - 35/64 C22C 1/05

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】酸化物セラミックスとなるセラミックス構
    成成分と該酸化物セラミックスに複合される金属成分と
    を含む溶液の加水分解、縮重合を経てゾルを形成し、該
    ゾルを経てゲルを形成し、該ゲルに対して水素雰囲気で
    熱処理して選択的に還元することにより、金属成分から
    なる金属粒子を形成し、該金属成分からなる金属粒子を
    10〜50vol%含む金属−酸化物セラミックスの複
    合粉末を得る工程と、 該複合粉末を所定形状に成形すると共に非酸化性雰囲気
    中で焼結して複合焼結体を得る工程とを順に実施するこ
    とを特徴とする金属−酸化物セラミックス複合焼結体の
    製造方法。
  2. 【請求項2】金属はチタン、酸化物セラミックスはアル
    ミナまたはムライトであることを特徴とする請求項1に
    記載の金属−酸化物セラミックス複合焼結体の製造方
    法。
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