JP3217964U - 半導体ウェーハ収納容器の梱包用緩衝体 - Google Patents

Abstract

【課題】半導体ウェーハの収納容器を包装する袋の破損を防止できる梱包用緩衝体を提供する。
【解決手段】柔軟性のあるラミネート袋で包装された、半導体ウェーハを収納する箱形の収納容器を２つ並べて、梱包箱に梱包する際に、ラミネート袋で包装された状態の収納容器の上面と、梱包箱の上板の内面と、梱包箱の側板の内面とのそれぞれに接触してこれらの間に介装される第１緩衝体１Ａであって、梱包箱の上板の内面に接触する平坦な第１面１１と、第１面の裏側であって袋で包装された状態の収納容器の上面に接触する第２面１２と、梱包箱の側板の内面に接触する第３面１３と、を有し、第２面に、袋を含んだ状態で収納容器の矩形状の上面部に嵌め合わされる第１凹部１２１が形成され、第１凹部の外側の四隅に、外側に向かう窪み部１２２が形成されている。
【選択図】図３

Description

本考案は、半導体ウェーハ収納容器の梱包用緩衝体に関するものである。

半導体ウェーハの生産工場にて生産された半導体ウェーハをデバイス生産工場などに輸送する場合、複数枚のウェーハをウェーハ容器に入れ、このウェーハ容器をさらに段ボール箱などに入れて輸送することが行われている。この場合、輸送中の衝撃により半導体ウェーハが悪影響を受けないように、ウェーハの収納容器と段ボール箱との間に梱包用緩衝体が設けられる。

この種の緩衝体として、複数枚の半導体ウェーハを収納したウェーハ容器を外装箱内に収容する際に、外装箱とウェーハ容器との間の上下に配置される１組の発泡樹脂製の緩衝体であって、これら１組の発泡樹脂製緩衝体のベース部に外装箱内で外装箱の底および天井に当接する緩衝突起を突出状に設け、この緩衝突起を閉じた環状に形成するとともに、１組の発泡樹脂製緩衝体のベース部にウェーハ容器を支持する突起部を設け、緩衝突起をその中心線が突起部の中心線上に位置するように配置したウェーハ容器の緩衝体が知られている（特許文献１）。

特許第４１９３４７２号公報

ところで、上記従来技術に示されたウェーハ容器を外装箱に収納する場合、ウェーハ容器の帯電防止やウェーハの清浄性を維持するために、ウェーハ容器を、アルミ箔と樹脂フィルムを積層したラミネート袋で包装し、この状態で外装箱に収納することがある。この種のラミネート袋は、ウェーハ容器に対して密着している訳ではなく、ある程度の余裕をもって包装している。そのため、緩衝体の嵌め込み凹部の寸法は、ラミネート袋の厚さ分を考慮した寸法に設定されている。

しかしながら、ウェーハ容器が箱形であることから、緩衝体を無理に嵌め込もうとすると、ラミネート袋の四隅の余剰部分に応力が集中し、ラミネート袋が傷付いたり破れたりするという問題がある。逆に、ラミネート袋の余剰部分の傷付きや破れを防止するために、緩衝体の嵌め込み凹部全体の寸法をラミネート袋の厚さ分と余剰部分とを考慮した広めの寸法にすると、ウェーハ容器が堅固に保持されないという別の問題が生じる。

本考案が解決しようとする課題は、半導体ウェーハの収納容器を包装する袋の破損を防止できる梱包用緩衝体を提供することである。

第１の考案は、柔軟性のある袋で包装された、半導体ウェーハを収納する箱形の収納容器を２つ並べて、梱包箱に梱包する際に、前記袋で包装された状態の２つの収納容器と前記梱包箱との間に配置される緩衝体であって、
前記袋で包装された状態の２つの収納容器のそれぞれの上面と、前記梱包箱の上板の内面と、前記梱包箱の側板の内面とのそれぞれに接触してこれらの間に介装される第１緩衝体と、
前記袋で包装された状態の２つの収納容器のそれぞれの底面と、前記梱包箱の底板の内面と、前記梱包箱の側板の内面とのそれぞれに接触してこれらの間に介装される第２緩衝体と、を備え、
前記第１緩衝体は、
前記梱包箱の上板の内面に接触する平坦な第１面と、前記第１面の裏側であって前記袋で包装された状態の２つの収納容器の上面のそれぞれに接触する第２面と、前記梱包箱の側板の内面に接触する平坦な第３面と、を有し、
前記第２面に、前記袋を含んだ状態で前記２つの収納容器の矩形状の上面部に嵌め合わされる１つの第１凹部が形成され、
前記第１凹部の四隅のそれぞれに、外側に向かう窪み部が形成され、
前記第２緩衝体は、
前記梱包箱の底板の内面に接触する平坦な第１面と、前記第１面の裏側であって前記袋で包装された状態の２つの収納容器の底面のそれぞれに接触する第２面と、前記梱包箱の側板の内面に接触する平坦な第３面と、を有し、
前記第２面に、前記袋を含んだ状態で前記２つの収納容器の矩形状の底面部のそれぞれに嵌め合わされる２つの第２凹部が形成され、
前記第２凹部のそれぞれの外側の隅部に、外側に向かう窪み部が形成されている半導体ウェーハ収納容器の梱包用緩衝体によって、上記課題を解決する。

上記第１の考案において、第１緩衝体の中央部分に、指が挿入可能な一対の貫通孔が形成されていることがより好ましい。

第２の考案は、柔軟性のある袋で包装された、半導体ウェーハを収納する箱形の収納容器を２つ並べて、梱包箱に梱包する際に、前記袋で包装された状態の２つの収納容器と前記梱包箱との間に配置される緩衝体であって、
前記袋で包装された状態の２つの収納容器のそれぞれの上面と、前記梱包箱の上板の内面と、前記梱包箱の側板の内面とのそれぞれに接触してこれらの間に介装される第１緩衝体と、
前記第１緩衝体と同じ形状であって、前記袋で包装された状態の２つの収納容器のそれぞれの底面と、前記梱包箱の底板の内面と、前記梱包箱の側板の内面とのそれぞれに接触してこれらの間に介装される第２緩衝体と、を備え、
前記第１緩衝体は、
前記梱包箱の上板の内面に接触する第１面と、前記第１面の裏側であって前記袋で包装された状態の２つの収納容器の上面のそれぞれに接触する第２面と、前記梱包箱の側板の内面に接触する第３面と、を有し、
前記第２面に、前記袋を含んだ状態で前記２つの収納容器の矩形状の上面部のそれぞれに嵌め合わされる２つの第１凹部が形成され、
前記第１凹部の四隅のそれぞれに、外側に向かう窪み部が形成され、
前記前記第２緩衝体は、
前記梱包箱の底板の内面に接触する第１面と、前記第１面の裏側であって前記袋で包装された状態の２つの収納容器の底面のそれぞれに接触する第２面と、前記梱包箱の側板の内面に接触する第３面と、を有し、
前記第２面に、前記袋を含んだ状態で前記２つの収納容器の矩形状の底面部のそれぞれに嵌め合わされる２つの第２凹部が形成され、
前記第２凹部の四隅のそれぞれに、外側に向かう窪み部が形成されている半導体ウェーハ収納容器の梱包用緩衝体によって、上記課題を解決する。

第３の考案は、柔軟性のある袋で包装された、半導体ウェーハを収納する箱形の収納容器を２つ並べて、梱包箱に梱包する際に、前記袋で包装された状態の２つの収納容器と前記梱包箱との間に配置される緩衝体であって、
前記袋で包装された状態の２つの収納容器のそれぞれの上面と、前記梱包箱の上板の内面と、前記梱包箱の側板の内面とのそれぞれに接触してこれらの間に介装される第１緩衝体と、
前記第１緩衝体と同じ形状であって、前記袋で包装された状態の２つの収納容器のそれぞれの底面と、前記梱包箱の底板の内面と、前記梱包箱の側板の内面とのそれぞれに接触してこれらの間に介装される第２緩衝体と、を備え、
前記第１緩衝体は、
前記梱包箱の上板の内面に接触する第１面と、前記第１面の裏側であって前記袋で包装された状態の２つの収納容器の上面のそれぞれに接触する第２面と、前記梱包箱の側板の内面に接触する第３面と、を有し、
前記第２面に、前記袋を含んだ状態で前記２つの収納容器の矩形状の上面部のそれぞれに嵌め合わされる２つの第１凹部が形成され、
前記第１凹部の四隅のそれぞれが湾曲形状に形成され、
前記前記第２緩衝体は、
前記梱包箱の底板の内面に接触する第１面と、前記第１面の裏側であって前記袋で包装された状態の２つの収納容器の底面のそれぞれに接触する第２面と、前記梱包箱の側板の内面に接触する第３面と、を有し、
前記第２面に、前記袋を含んだ状態で前記２つの収納容器の矩形状の底面部のそれぞれに嵌め合わされる２つの第２凹部が形成され、
前記第２凹部の四隅のそれぞれが湾曲形状に形成されている半導体ウェーハ収納容器の梱包用緩衝体によって、上記課題を解決する。

上記第２及び第３の考案において、前記第１緩衝体の第１凹部及び前記第２緩衝体の第２凹部のそれぞれの中央部分に、前記第１凹部の底面積又は前記第２凹部の底面積の１０％〜４０％の面積の貫通孔が形成されていることがより好ましい。

柔軟性のある袋で包装された、半導体ウェーハを収納する箱形の収納容器の上面部に第１緩衝体の第１凹部を嵌め合わせようとすると、収納容器の上面部の四隅の少なくとも何れかに袋の余剰部分が集約される傾向がある。しかしながら、本考案に係る緩衝体によれば、第１緩衝体の第１凹部の四隅のそれぞれには外側に向かう窪み部が形成され、又は湾曲形状に形成されているので、袋の余剰部分は窪み部に収納され、応力集中が緩和される。これにより、袋が傷付いたり破れたりすることが防止される。

本考案の第1実施形態に係る緩衝体を適用した梱包仕様を示す斜視図である。 図１の梱包状態を示す断面図である。 （ａ）は、図1の緩衝体のうち収納容器の上部に配置される第１緩衝体を示す正面図、（ｂ）は、図３（ａ）のIIIb−IIIb線に沿う断面図である。 （ａ）は、図1の緩衝体のうち収納容器の下部に配置される第２緩衝体を示す正面図、（ｂ）は、図４（ａ）のIVb−IVb線に沿う断面図である。 本考案の第２実施形態に係る緩衝体を適用した梱包仕様を示す斜視図である。 図５の梱包状態を示す断面図である。 （ａ）は、図５の緩衝体を示す背面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図である。 本考案の第３実施形態に係る緩衝体を適用した梱包仕様を示す斜視図である。 図８の梱包状態を示す断面図である。 （ａ）は、図８の緩衝体を示す正面図、（ｂ）は背面図、（ｃ）は側面図、（ｄ）は図１０（ａ）のXd−Xd線に沿う断面図である。 本考案に係る緩衝体が適用される半導体ウェーハの収納容器の一例を示す斜視図である。

最初に、本考案に係る緩衝体が適用される半導体ウェーハの収納容器の一例を説明する。図１１は、半導体ウェーハの収納容器３の一例を示す斜視図である。本考案に係る緩衝体が適用される半導体ウェーハの収納容器３の構成については、特に限定されない。図１１に示す収納容器３は、上面３３が開口し、底面３４と、４つの側面３５とを有する箱形の本体３１と、上面３３の開口を塞ぐ蓋体３２とを有する。なお、図１１に示す収納容器３の姿勢は、梱包箱５に梱包する際の姿勢である。本願の明細書、実用新案登録請求の範囲及び図面においては、図１〜１１に示す梱包時の姿勢を基準に、上面、底面及び側面と称するものとする。

以下、本考案に係る半導体ウェーハ収納容器の梱包用緩衝体の３つの実施形態を図面に基づいて説明する。図１〜図４が第１実施形態に係る緩衝体１Ａ，２Ａ、図５〜図７が第２実施形態に係る緩衝体１Ｂ，２Ｂ、図８〜図１０が第３実施形態に係る緩衝体１Ｃ，２Ｃである。

《第１実施形態》
図１は、本考案の第１実施形態に係る緩衝体を適用した梱包仕様の一実施の形態を示す斜視図、図２は、図１の梱包状態を示す断面図である。また、図３（ａ）は、図1の緩衝体のうち収納容器３の上部に配置される第１緩衝体１Ａを示す正面図、図３（ｂ）は、図３（ａ）のIIIb−IIIb線に沿う断面図、図４（ａ）は、図1の緩衝体のうち収納容器３の下部に配置される第２緩衝体２Ａを示す正面図、図４（ｂ）は、図４（ａ）のIVb−IVb線に沿う断面図である。

本実施形態の緩衝体は、図１及び図２に示すように、第１緩衝体１Ａと第２緩衝体２Ａとを含み、柔軟性のあるラミネート袋４で包装された、半導体ウェーハＷを収納する箱形の収納容器３（図１１参照）を２つ並べ、梱包箱５に梱包する際に、ラミネート袋４で包装された状態の２つの収納容器３と梱包箱５との間に配置される。そして、図２の梱包状態に示すように、第１緩衝体１Ａは、ラミネート袋４で包装された状態の２つの収納容器３のそれぞれの上面３３と、梱包箱５の上板５１との間に配置され、第２緩衝体２Ａは、ラミネート袋４で包装された状態の２つの収納容器３のそれぞれの底面３４と、梱包箱５の底板５３との間に配置される。これにより、輸送中に梱包箱５に加わる振動や衝撃は、第１緩衝体１Ａ及び第２緩衝体２Ａによって吸収され、２つの収納容器３に収納された半導体ウェーハＷへの悪影響を防止することができる。

図１に示す収納容器３を包装するラミネート袋４は、たとえばアルミニウム箔の両面又は片面にポリエチレンやポリプロピレンなどの樹脂フィルムを積層した柔軟性を有する袋体であり、収納容器３を入れたのち、図１に示すように開口を折り畳むことで収納容器３を包装する。真空パックのように収納容器３に密着して封止するものではなく、収納容器３との間にある程度の余裕をもって包装し、収納容器３の帯電防止や半導体ウェーハＷの清浄性を維持するために使用される。このラミネート袋４は、後述する第２実施形態及び第３実施形態のラミネート袋４と同一であるから、後述する第２実施形態及び第３実施形態においては、当該ラミネート袋４の説明を援用して省略する。

梱包箱５は、紙製段ボール箱又はプラスチック製箱であり、上板５１、４つの側板５２及び底板５３を有する。上板５１及び底板５３のそれぞれには、一方の対向する稜辺からそれぞれ延出する一対の外フラップ５１１，５１１及び５３１，５３１と、他方の対向する稜辺から延出する一対の内フラップ５１２，５１２及び５３２，５３２が設けられている。図１において底板の外フラップ及び内フラップの図示は省略するが、図２に示すように底板５３の外フラップ５３１，５３１及び内フラップ５３２，５３２は予め固定されている。これに対して、上板５１の一対の外フラップ５１１，５１１と、一対の内フラップ５１２，５１２は、第２緩衝体２Ａ、ラミネート袋４で包装された状態の収納容器３及び第１緩衝体１Ａをこの順序で入れたのち、互いに内側に折り畳んで固定される。また、上板５１の一対の外フラップ５１１，５１１は、折り畳むとその先端が互いに接触又はほぼ接触するが、一対の内フラップ５１２，５１２は、折り畳んでも、その先端は接触しないように短く形成されている。なお、図１に示す外フラップ５１１は、一対の外フラップ５１１，５１１で構成したが、いずれか一方の稜辺から対向する稜辺に至るフラップ長を有する一つの外フラップとしてもよい。この梱包箱５は、後述する第２実施形態及び第３実施形態の梱包箱５と同一であるから、後述する第２実施形態及び第３実施形態においては、当該梱包箱５の説明を援用して省略する。

次に第１緩衝体１Ａ及び第２緩衝体２Ａについて説明する。第１実施形態に係る第１緩衝体１Ａと第２緩衝体２Ａは、形状および構造が異なる緩衝体である。第１緩衝体１Ａは、発泡スチロールなどの発泡性樹脂からなり、梱包箱５の上板５１の内面に接触する第１面１１と、第１面１１の裏側であってラミネート袋４で包装された状態の収納容器３の上面に接触する第２面１２と、梱包箱５の側板５２の内面に接触する第３面１３と、を有する。第１面１１は、図１及び図３（ｂ）に示すように平坦面からなり、図２に示すように、梱包箱５の内フラップ５１２，５１２の内面のほぼ全面に当接する。

図３（ａ）に示す第２面１２は、ほぼ全体にわたって１つの第１凹部１２１が形成され、この第１凹部１２１に、それぞれラミネート袋４に包装された２つの収納容器３の矩形状の上面部が嵌め合わされる。また、第１凹部１２１の四隅のそれぞれには、外側に向かって凹んだ窪み部１２２が形成され、さらに窪み部１２２が形成された四隅から二辺のそれぞれに向かって所定範囲に面取り部１２３が形成されている。

ラミネート袋４に包装された収納容器３の矩形状の上面部に、第１緩衝体１Ａの第１凹部１２１を嵌め合わせようとすると、ラミネート袋４の余剰部分４１（図１参照）は四隅に集約される傾向がある。このため、本実施形態の第１緩衝体１Ａの第１凹部１２１の四隅に窪み部１２２を設けることで、余剰部分４１を窪み部１２２に逃がしてここに収容することができる。また、第１凹部１２１の四隅を含む所定範囲に面取り部１２３を形成することで、四隅に集約したラミネート袋４の余剰部分４１が第１凹部１２１のエッジに引っ掛かって損傷するのを防止できる。なお、ラミネート袋４による包装は、上述したように収納容器３に対して余裕をもって包装するため、その余剰部分４１が四隅のいずれに発生するのか特定できない。そのため、窪み部１２２及び面取り部１２３は、第１凹部１２１の四隅のそれぞれに形成するのが好ましい。

また、図３（ａ）に示す第２面１２には、ほぼ全体にわたって１つの第１凹部１２１が形成されているが、同図に示す左側の凹部と右側の凹部のそれぞれの中央には、短辺方向（図示する上下方向）に延在する薄肉部１２４，１２４が形成され、その中央部に厚肉部１２５，１２５がそれぞれ形成されている。そして、厚肉部１２５，１２５のそれぞれに、作業者の指が挿入可能な径を有する貫通孔１２６，１２６が形成されている。なお、薄肉部１２４，１２４の上面及び厚肉部１２５の上面は、第１凹部１２１の一般面の上面より低い位置とされ、薄肉部１２４の上面は厚肉部１２５の上面より低い位置とされている。

すなわち、ラミネート袋４に包装された２つの収納容器３の矩形状の上面部は、第１凹部１２１の一般面に接するが、当該２つの収納容器３の矩形状の上面部は、薄肉部１２４及び厚肉部１２５には接しない。これにより、梱包箱５を開けて第１緩衝体１Ａを取り外す際に、作業者は２つの貫通孔１２６，１２６に２本の指を挿入して第１緩衝体１Ａを容易に把持することができ、また、厚肉部１２５により貫通孔１２６の廻りの強度が確保されているので、第１緩衝体１Ａの破損を防止することもできる。

図1、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示す第３面１３は、第１緩衝体１Ａの４つの側面であり、４つの第３面１３のうちの２つの長辺は平坦状に形成され、これら2つの長辺側の第3面１３の殆んどが、梱包箱５の側板５２の内面に当接する。これに対して、4つの第３面１３のうちの２つの短辺には、それぞれの両端部に一対の第１突起部１３１，１３１と、中央部に第２突起部１３２が形成されている。第１突起部１３１，１３１と、第２突起部１３２は、いずれも第３面１３から先端に向かって先細り形状とされ，それぞれの先端が梱包箱５の側板５２の内面に当接する。これら第１突起部１３１，１３１と、第２突起部１３２とにより、梱包箱５の短辺側の側板５２，５２に作用した横方向の外力が吸収され、収納容器３の横方向の振動や衝撃が緩和される。

次に第２緩衝体２Ａについて説明する。図４（ａ）は、本考案に係る緩衝体のうち収納容器３の下部に配置される第２緩衝体２Ａを示す平面図、図４（ｂ）は、図４（ａ）のIVb-IVb線に沿う断面図である。第２緩衝体２Ａも、第１緩衝体１Ａと同様に、発泡スチロールなどの発泡性樹脂からなり、梱包箱５の底板５３の内面に接触する第１面２１と、第１面２１の裏側であってラミネート袋４で包装された状態の収納容器３の底面に接触する第２面２２と、梱包箱５の側板５２の内面に接触する第３面２３と、を有する。第２緩衝体２Ａの背面図は省略するが、図４（ｂ）の断面図に示すように平坦面からなり、図２に示すように、梱包箱５の内フラップ５３２，５３２の内面のほぼ全面に当接する。

図１及び図４（ａ）に示す第２面２２は、ほぼ全体にわたって２つの第２凹部２２１，２２１が形成され、それぞれの第２凹部２２１，２２１に、ラミネート袋４に包装された２つの収納容器３の底面部のそれぞれが嵌め合わされる。図４（ａ）に示す２つの第２凹部２２１，２２１は、その境界部分が繋がらずに２つの対向する突起リブ２２２，２２２により形成されている。ただし、２つの突起リブ２２２，２２２の先端を繋げて、２つの第２凹部２２１，２２１を完全に区画してもよい。

また、２つの第２凹部２２１，２２１の四隅のうちの外側に位置する隅部には、それぞれ外側に向かって凹んだ窪み部２２３が形成され、さらに窪み部２２３が形成された四隅から二辺のそれぞれに向かって所定範囲、及び突起リブ２２２が形成された長辺の所定範囲に面取り部２２４が形成され、図１１に示す収納容器３の側面３５の下部の突出部分を受容する。

ラミネート袋４に包装された収納容器３の矩形状の底面部に、第２緩衝体２Ａの第２凹部２２１，２２１を嵌め合わせようとすると、ラミネート袋４の余剰部分４１（図１参照）は四隅に集約される傾向がある。このため、本実施形態の第２緩衝体２Ａの第２凹部２２１，２２１の外側の四隅に窪み部２２３を設けることで、余剰部分４１を窪み部２２３に逃がしてここに収容することができる。また、第２緩衝体２Ａの第２面２２に２つの第２凹部２２１，２２１、換言すれば２つの突起リブ２２２，２２２を設けることで、ラミネート袋４に包装された２つの収納容器３のそれぞれの位置を定めることができる。さらに、２つの第２凹部２２１，２２１の四隅を含む所定範囲に面取り部２２４を形成することで、四隅に集約したラミネート袋４の余剰部分４１が第２凹部２２１のエッジに引っ掛かって損傷するのを防止できる。

なお、ラミネート袋４による包装は、上述したように収納容器３に対して余裕をもって包装するため、その余剰部分４１が四隅のいずれに発生するのか特定できない。そのため、窪み部２２３及び面取り部２２４は、第２凹部２２１の四隅のそれぞれに形成するのが好ましい。ただし、本実施形態のように、２つの第２凹部２２１，２２１を２つの突起リブ２２２，２２２で繋げないで構成した場合には、第２凹部２２１，２２１の内側の隅部に窪み部を形成しなくても、この突起リブ２２２，２２２の間の隙間にラミネート袋４の余剰部分４１を逃がすことができる。

また、図４（ａ）に示す第２面２２には、ほぼ全体にわたって２つの第２凹部２２１，２２１が形成されているが、それぞれの第２凹部２２１，２２１中央には、短辺方向（図示する上下方向）に延在する薄肉部２２５，２２５が形成され、その中央部に貫通孔２２６，２２６が形成されている。なお、薄肉部１２４，１２４の上面は、第２凹部２２１の一般面の上面より低い位置とされている。すなわち、ラミネート袋４に包装された２つの収納容器３の矩形状の底面部は、第２凹部２２１の一般面に接するが、薄肉部２２５には接しない。

図1、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示す第３面２３は、第２緩衝体２Ａの４つの側面であり、４つの第３面２３のうちの２つの長辺は平坦状に形成され、これら2つの長辺側の第３面２３の殆んどが、梱包箱５の側板５２の内面に当接する。これに対して、4つの第３面２３のうちの２つの短辺には、それぞれの両端部に一対の第１突起部２３１，２３１と、中央部に第２突起部２３２が形成されている。第１突起部２３１，２３１と、第２突起部２３２は、いずれも第３面２３から先端に向かって先細り形状とされ，それぞれの先端が梱包箱５の側板５２の内面に当接する。これら第１突起部２３１，２３１と、第２突起部２３２とにより、梱包箱５の短辺側の側板５２，５２に作用した横方向の外力が吸収され、収納容器３の横方向の振動や衝撃が緩和される。

以上のとおり、本実施形態の緩衝体によれば、図１に示すように、ラミネート袋４に包装された収納容器３の矩形状の上面部に、第１緩衝体１Ａの第１凹部１２１を嵌め合わせようとすると、ラミネート袋４の余剰部分４１が四隅に集約される傾向があるが、本実施形態の第１緩衝体１Ａの第１凹部１２１の四隅には窪み部１２２が設けられているので、余剰部分４１を窪み部１２２に逃がしてここに収容することができる。これにより、第１凹部１２１の寸法を多少狭めに設定しても一般辺は堅固に嵌まるのでガタつきが防止されると同時に、四隅については応力集中によるラミネート袋４の傷付きや破れが防止される。

また本実施形態の緩衝体によれば、図１に示すように、ラミネート袋４に包装された収納容器３の矩形状の底面部に、第２緩衝体２Ａの第２凹部２２１を嵌め合わせようとすると、ラミネート袋４の余剰部分４１が四隅に集約される傾向があるが、本実施形態の第２緩衝体２Ａの第２凹部２２１の外側の四隅には窪み部２２３が設けられているので、余剰部分４１を窪み部２２３に逃がしてここに収容することができる。これにより、第２凹部２２１の寸法を多少狭めに設定しても一般辺は堅固に嵌まるのでガタつきが防止されると同時に、四隅については応力集中によるラミネート袋４の傷付きや破れが防止される。また本実施形態の第２緩衝体２Ａの第２面２２には、２つの第２凹部２２１，２２１、換言すれば２つの突起リブ２２２，２２２が設けられているので、ラミネート袋４に包装された２つの収納容器３を梱包箱５に収納する際に、ラミネート袋４に包装された２つの収納容器３のそれぞれの位置を正確に定めることができる。

また本実施形態の緩衝体によれば、第１緩衝体１Ａの第１凹部１２１の四隅を含む所定範囲に面取り部１２３が形成されているので、四隅に集約したラミネート袋４の余剰部分４１が第１凹部１２１のエッジに引っ掛かって損傷するのを防止できる。さらに、本実施形態の第２緩衝体２Ａについても、２つの第２凹部２２１，２２１の四隅を含む所定範囲に面取り部２２４が形成されているので、四隅に集約したラミネート袋４の余剰部分４１が第２凹部２２１のエッジに引っ掛かって損傷するのを防止できる。

《第２実施形態》
図５は、本考案の第２実施形態に係る緩衝体を適用した梱包仕様の一実施の形態を示す斜視図、図６は、図５の梱包状態を示す断面図である。また、図７（ａ）は、図５の緩衝体のうち収納容器３の上部及び下部に配置される第１緩衝体１Ｂを示す背面図、図７（ｂ）は、同じく正面図、図７（ｃ）は、同じく側面図である。

本実施形態の緩衝体は、図５及び図６に示すように、第１緩衝体１Ｂと第２緩衝体２Ｂとを含み、柔軟性のあるラミネート袋４で包装された、半導体ウェーハＷを収納する箱形の収納容器３（図１１参照）を２つ並べ、梱包箱５に梱包する際に、ラミネート袋４で包装された状態の２つの収納容器３と梱包箱５との間に配置される。そして、図６の梱包状態に示すように、第１緩衝体１Ｂは、ラミネート袋４で包装された状態の２つの収納容器３のそれぞれの上面３３と、梱包箱５の上板５１との間に配置され、第２緩衝体２Ｂは、ラミネート袋４で包装された状態の２つの収納容器３のそれぞれの底面３４と、梱包箱５の底板５３との間に配置される。これにより、輸送中に梱包箱５に加わる振動や衝撃は、第１緩衝体１Ｂ及び第２緩衝体２Ｂによって吸収され、２つの収納容器３に収納された半導体ウェーハＷへの悪影響を防止することができる。なお、既述したとおり、ラミネート袋４及び梱包箱５は、図１〜図４に示す第１実施形態のものと同一であるため、その説明をここに援用し、詳細な説明を省略する。

第２実施形態に係る第１緩衝体１Ｂと第２緩衝体２Ｂは、形状および構造が同一の緩衝体である。そのため、以下の説明においては第１緩衝体１Ｂについて行い、図５〜図７に示す第２緩衝体２Ｂに対応する部材の符号はカッコ書きで示すものとする。第１緩衝体１Ｂ（第２緩衝体２Ｂ）は、発泡スチロールなどの発泡性樹脂からなり、梱包箱５の上板５１（底板５３）の内面に接触する第１面１１（２１）と、第１面１１の裏側であってラミネート袋４で包装された状態の収納容器３の上面（底面）に接触する第２面１２（２２）と、梱包箱５の側板５２の内面に接触する第３面１３（２３）と、を有する。

図５、図７（ａ）に示す第１面１１（２１）は、一般面を構成するベース部１１１（２１１）と、その中央に形成された貫通孔１１３（２１３）を跨いでＹ軸方向に延在する凸部１１２（２１２）と、を有する。この凸部１１２（２１２）は、ベース部１１１（２１１）から＋Ｚ軸方向（−Ｚ軸方向）に突出して形成され、凸部１１２（２１２）が内フラップ５１２，５１２（５３２，５３２）の内面に当接する。

図７（ｂ）に示す第２面１２（２２）は、ほぼ全体にわたって２つの第１凹部１２１，１２１（第２凹部２２１，２２１）が形成され、それぞれの第１凹部１２１，１２１（第２凹部２２１，２２１）に、ラミネート袋４に包装された２つの収納容器３の上面部（底面部）のそれぞれが嵌め合わされる。また、２つの第１凹部１２１，１２１（第２凹部２２１，２２１）のそれぞれの四隅には、それぞれ外側に向かって凹んだ窪み部１２２（２２３）が形成され、さらに窪み部１２２（２２３）が形成された四隅から二辺のそれぞれに向かって所定範囲に面取り部１２３（２２４）が形成され、図１１に示す収納容器３の上面（側面３５の下部の突出部分）を受容する。

ラミネート袋４に包装された収納容器３の矩形状の上面部（底面部）に、第１緩衝体１Ｂ（第２緩衝体２Ｂ）の第１凹部１２１（第２凹部２２１）を嵌め合わせようとすると、ラミネート袋４の余剰部分４１（図５参照）は四隅に集約される傾向がある。このため、本実施形態の第１緩衝体１Ｂ（第２緩衝体２Ｂ）の第１凹部１２１（第２凹部２２１）の四隅に窪み部１２２（２２３）を設けることで、余剰部分４１を窪み部１２２（２２３）に逃がしてここに収容することができる。また、第１凹部１２１（第２凹部２２１）の四隅を含む所定範囲に面取り部１２３（２２４）を形成することで、四隅に集約したラミネート袋４の余剰部分４１が第１凹部１２１（第２凹部２２１）のエッジに引っ掛かって損傷するのを防止できる。なお、ラミネート袋４による包装は、上述したように収納容器３に対して余裕をもって包装するため、その余剰部分４１が四隅のいずれに発生するのか特定できない。そのため、窪み部１２２（２２３）及び面取り部１２３（２２４）は、第１凹部１２１（第２凹部２２１）の四隅のそれぞれに形成するのが好ましい。

図５及び図７に示す第３面１３（２３）は、第１緩衝体１Ｂ（第２緩衝体２Ｂ）の４つの側面であり、４つの第３面１３（２３）のうちの２つの長辺のそれぞれには、いずれも第３面１３（２３）から先端に向かって先細り形状とされた一対の第１突起部１３１，１３１（２３１，２３１）が形成され、これら一対の第１突起部１３１，１３１（２３１，２３１）の先端が、梱包箱５の側板５２の内面に当接する。同様に、4つの第３面１３（２３）のうちの２つの短辺には、いずれも第３面１３（２３）から先端に向かって先細り形状とされた一対の第２突起部１３２，１３２（２３２，２３２）が形成され、これら一対の第２突起部１３２，１３２（２３２，２３２）の先端が梱包箱５の側板５２の内面に当接する。これら第１突起部１３１，１３１（２３１，２３１）により、梱包箱５の長辺側の側板５２，５２に作用した横方向の外力が吸収され、第２突起部１３２により、梱包箱５の短辺側の側板５２，５２に作用した横方向の外力が吸収され、収納容器３の縦横方向（ＸＹ方向）の振動や衝撃が緩和される。

以上のとおり、本実施形態の緩衝体によれば、図５に示すように、ラミネート袋４に包装された収納容器３の矩形状の上面部に、第１緩衝体１Ｂの第１凹部１２１を嵌め合わせようとすると、ラミネート袋４の余剰部分４１が四隅に集約される傾向があるが、本実施形態の第１緩衝体１Ｂのそれぞれの第１凹部１２１の四隅には窪み部１２２が設けられているので、余剰部分４１を窪み部１２２に逃がしてここに収容することができる。これにより、第１凹部１２１の寸法を多少狭めに設定しても一般辺は堅固に嵌まるのでガタつきが防止されると同時に、四隅については応力集中によるラミネート袋４の傷付きや破れが防止される。

また本実施形態の緩衝体によれば、図５に示すように、ラミネート袋４に包装された収納容器３の矩形状の底面部に、第２緩衝体２Ｂの第２凹部２２１を嵌め合わせようとすると、ラミネート袋４の余剰部分４１が四隅に集約される傾向があるが、本実施形態の第２緩衝体２Ｂの第２凹部２２１のそれぞれの四隅には窪み部２２３が設けられているので、余剰部分４１を窪み部２２３に逃がしてここに収容することができる。これにより、第２凹部２２１の寸法を多少狭めに設定しても一般辺は堅固に嵌まるのでガタつきが防止されると同時に、四隅については応力集中によるラミネート袋４の傷付きや破れが防止される。また本実施形態の第２緩衝体２Ｂの第２面２２には、２つの第２凹部２２１，２２１が設けられているので、ラミネート袋４に包装された２つの収納容器３を梱包箱５に収納する際に、それぞれの位置を正確に定めることができる。

また本実施形態の緩衝体によれば、第１緩衝体１Ｂの第１凹部１２１の四隅を含む所定範囲に面取り部１２３が形成されているので、四隅に集約したラミネート袋４の余剰部分４１が第１凹部１２１のエッジに引っ掛かって損傷するのを防止できる。さらに、本実施形態の第２緩衝体２Ｂについても、２つの第２凹部２２１，２２１の四隅を含む所定範囲に面取り部２２４が形成されているので、四隅に集約したラミネート袋４の余剰部分４１が第２凹部２２１のエッジに引っ掛かって損傷するのを防止できる。

《第３実施形態》
図８は、本考案の第３実施形態に係る緩衝体を適用した梱包仕様の一実施の形態を示す斜視図、図９は、図８の梱包状態を示す断面図である。また、図１０（ａ）は、図８の緩衝体のうち収納容器３の上部及び下部に配置される第１緩衝体１Ｃを示す正面図、図１０（ｂ）は、同じく背面図、図１０（ｃ）は、同じく側面図、図１０（ｄ）は、図１０（ａ）のXd−Xd線に沿う断面図である。

本実施形態の緩衝体は、図８及び図９に示すように、第１緩衝体１Ｃと第２緩衝体２Ｃとを含み、柔軟性のあるラミネート袋４で包装された、半導体ウェーハＷを収納する箱形の収納容器３（図１１参照）を２つ並べ、梱包箱５に梱包する際に、ラミネート袋４で包装された状態の２つの収納容器３と梱包箱５との間に配置される。そして、図９の梱包状態に示すように、第１緩衝体１Ｃは、ラミネート袋４で包装された状態の２つの収納容器３のそれぞれの上面３３と、梱包箱５の上板５１との間に配置され、第２緩衝体２Ｃは、ラミネート袋４で包装された状態の２つの収納容器３のそれぞれの底面３４と、梱包箱５の底板５３との間に配置される。これにより、輸送中に梱包箱５に加わる振動や衝撃は、第１緩衝体１Ｃ及び第２緩衝体２Ｃによって吸収され、２つの収納容器３に収納された半導体ウェーハＷへの悪影響を防止することができる。なお、既述したとおり、ラミネート袋４及び梱包箱５は、図１〜図４に示す第１実施形態のものと同一であるため、その説明をここに援用し、詳細な説明を省略する。

第３実施形態に係る第１緩衝体１Ｃと第２緩衝体２Ｃは、形状および構造が同一の緩衝体である。そのため、以下の説明においては第１緩衝体１Ｃについて行い、図８〜図１０に示す第２緩衝体２Ｃに対応する部材の符号はカッコ書きで示すものとする。第１緩衝体１Ｃ（第２緩衝体２Ｃ）は、発泡スチロールなどの発泡性樹脂からなり、梱包箱５の上板５１（底板５３）の内面に接触する第１面１１（２１）と、第１面１１の裏側であってラミネート袋４で包装された状態の収納容器３の上面（底面）に接触する第２面１２（２２）と、梱包箱５の側板５２の内面に接触する第３面１３（２３）と、を有する。

図８、図１０（ｂ）に示す第１面１１（２１）は、一般面を構成するベース部１１１（２１１）と、その中央に形成された貫通孔１１３（２１３）を跨いでＸ軸方向に延在する凸部１１２（２１２）と、を有する。この凸部１１２（２１２）は、ベース部１１１（２１１）から＋Ｚ軸方向（−Ｚ軸方向）に突出して形成され、凸部１１２（２１２）が内フラップ５１２，５１２（５３２，５３２）の内面に当接する。なお、本実施形態の凸部１１２（２１２）は、両端部の隆起寸法が大きく、その間の隆起寸法が相対的に小さく形成されているが、同じ隆起寸法としてもよい。

図１０（ａ）に示す第２面１２（２２）は、ほぼ全体にわたって２つの第１凹部１２１，１２１（第２凹部２２１，２２１）が形成され、それぞれの第１凹部１２１，１２１（第２凹部２２１，２２１）に、ラミネート袋４に包装された２つの収納容器３の上面部（底面部）のそれぞれが嵌め合わされる。また、２つの第１凹部１２１，１２１（第２凹部２２１，２２１）のそれぞれの四隅は、それぞれ湾曲形状に形成され（当該湾曲形状に形成された隅部を符号１２７（２２７）で示す。）、さらに湾曲形状とされた四隅から二辺のそれぞれに向かって所定範囲に面取り部１２３（２２４）が形成され、図１１に示す収納容器３の上面（側面３５の下部の突出部分）を受容する。本実施形態の面取り部１２３（２２４）は、第１凹部１２１，１２１（第２凹部２２１，２２１）の全周に形成されているが、一部を破断してもよい。

ラミネート袋４に包装された収納容器３の矩形状の上面部（底面部）に、第１緩衝体１Ｃ（第２緩衝体２Ｃ）の第１凹部１２１（第２凹部２２１）を嵌め合わせようとすると、ラミネート袋４の余剰部分４１（図８参照）は四隅に集約される傾向がある。このため、本実施形態の第１緩衝体１Ｃ（第２緩衝体２Ｃ）の第１凹部１２１（第２凹部２２１）の四隅を湾曲形状に形成することで、余剰部分４１を隅部１２７（２２７）に逃がしてここに収容することができる。また、第１凹部１２１（第２凹部２２１）の四隅を含む所定範囲に面取り部１２３（２２４）を形成することで、四隅に集約したラミネート袋４の余剰部分４１が第１凹部１２１（第２凹部２２１）のエッジに引っ掛かって損傷するのを防止できる。なお、ラミネート袋４による包装は、上述したように収納容器３に対して余裕をもって包装するため、その余剰部分４１が四隅のいずれに発生するのか特定できない。そのため、湾曲形状に形成する隅部１２７（２２７）及び面取り部１２３（２２４）は、第１凹部１２１（第２凹部２２１）の四隅のそれぞれに形成するのが好ましい。

図８及び図１０に示す第３面１３（２３）は、第１緩衝体１Ｃ（第２緩衝体２Ｃ）の４つの側面であり、４つの第３面１３（２３）のうちの２つの長辺のそれぞれには、いずれも第３面１３（２３）から先端に向かって先細り形状とされた一対の第１突起部１３１，１３１（２３１，２３１）が形成され、これら一対の第１突起部１３１，１３１（２３１，２３１）の先端が、梱包箱５の側板５２の内面に当接する。同様に、4つの第３面１３（２３）のうちの２つの短辺には、いずれも第３面１３（２３）から先端に向かって先細り形状とされた一対の第２突起部１３２，１３２（２３２，２３２）が形成され、これら一対の第２突起部１３２，１３２（２３２，２３２）の先端が梱包箱５の側板５２の内面に当接する。これら第１突起部１３１，１３１（２３１，２３１）により、梱包箱５の長辺側の側板５２，５２に作用した横方向の外力が吸収され、第２突起部１３２により、梱包箱５の短辺側の側板５２，５２に作用した横方向の外力が吸収され、収納容器３の縦横方向（ＸＹ方向）の振動や衝撃が緩和される。

以上のとおり、本実施形態の緩衝体によれば、図８に示すように、ラミネート袋４に包装された収納容器３の矩形状の上面部に、第１緩衝体１Ｃの第１凹部１２１を嵌め合わせようとすると、ラミネート袋４の余剰部分４１が四隅に集約される傾向があるが、本実施形態の第１緩衝体１Ｃのそれぞれの第１凹部１２１の四隅は湾曲形状に形成されているので、余剰部分４１を隅部１２７に逃がしてここに収容することができる。これにより、第１凹部１２１の寸法を多少狭めに設定しても一般辺は堅固に嵌まるのでガタつきが防止されると同時に、四隅については応力集中によるラミネート袋４の傷付きや破れが防止される。

また本実施形態の緩衝体によれば、図８に示すように、ラミネート袋４に包装された収納容器３の矩形状の底面部に、第２緩衝体２Ｃの第２凹部２２１を嵌め合わせようとすると、ラミネート袋４の余剰部分４１が四隅に集約される傾向があるが、本実施形態の第２緩衝体２Ｃの第２凹部２２１のそれぞれの四隅は湾曲形状に形成されているので、余剰部分４１を隅部２２７に逃がしてここに収容することができる。これにより、第２凹部２２１の寸法を多少狭めに設定しても一般辺は堅固に嵌まるのでガタつきが防止されると同時に、四隅については応力集中によるラミネート袋４の傷付きや破れが防止される。また本実施形態の第２緩衝体２Ｃの第２面２２には、２つの第２凹部２２１，２２１が設けられているので、ラミネート袋４に包装された２つの収納容器３を梱包箱５に収納する際に、それぞれの位置を正確に定めることができる。

また本実施形態の緩衝体によれば、第１緩衝体１Ｃの第１凹部１２１の四隅を含む所定範囲に面取り部１２３が形成されているので、四隅に集約したラミネート袋４の余剰部分４１が第１凹部１２１のエッジに引っ掛かって損傷するのを防止できる。さらに、本実施形態の第２緩衝体２Ｃについても、２つの第２凹部２２１，２２１の四隅を含む所定範囲に面取り部２２４が形成されているので、四隅に集約したラミネート袋４の余剰部分４１が第２凹部２２１のエッジに引っ掛かって損傷するのを防止できる。

１Ａ，１Ｂ，１Ｃ…第１緩衝体
１１…第１面
１１１…ベース部
１１２…凸部
１１３…貫通孔
１２…第２面
１２１…第１凹部
１２２…窪み部
１２３…面取り部
１２４…薄肉部
１２５…厚肉部
１２６…貫通孔
１２７…湾曲形状の隅部
１３…第３面
１３１…第１突起部
１３２…第２突起部
２Ａ，２Ｂ，２Ｃ…第２緩衝体
２１…第１面
２１１…ベース部
２１２…凸部
２１３…貫通孔
２２…第２面
２２１…第２凹部
２２２…突起リブ
２２３…窪み部
２２４…面取り部
２２５…薄肉部
２２６…貫通孔
２２７…湾曲形状の隅部
２３…第３面
２３１…第１突起部
２３２…第２突起部
３…収納容器
３１…本体
３２…蓋体
３３…上面
３４…底面
３５…側面
４…ラミネート袋
４１…余剰部分
５…梱包箱
５１…上板
５１１…外フラップ
５１２…内フラップ
５１３…稜辺
５２…側板
５３…底板
Ｗ…半導体ウェーハ

Claims (5)

1. 柔軟性のある袋で包装された、半導体ウェーハを収納する箱形の収納容器を２つ並べて、梱包箱に梱包する際に、前記袋で包装された状態の２つの収納容器と前記梱包箱との間に配置される緩衝体であって、
   前記袋で包装された状態の２つの収納容器のそれぞれの上面と、前記梱包箱の上板の内面と、前記梱包箱の側板の内面とのそれぞれに接触してこれらの間に介装される第１緩衝体と、
   前記袋で包装された状態の２つの収納容器のそれぞれの底面と、前記梱包箱の底板の内面と、前記梱包箱の側板の内面とのそれぞれに接触してこれらの間に介装される第２緩衝体と、を備え、
   前記第１緩衝体は、
   前記梱包箱の上板の内面に接触する平坦な第１面と、前記第１面の裏側であって前記袋で包装された状態の２つの収納容器の上面のそれぞれに接触する第２面と、前記梱包箱の側板の内面に接触する平坦な第３面と、を有し、
   前記第２面に、前記袋を含んだ状態で前記２つの収納容器の矩形状の上面部に嵌め合わされる１つの第１凹部が形成され、
   前記第１凹部の四隅のそれぞれに、外側に向かう窪み部が形成され、
   前記第２緩衝体は、
   前記梱包箱の底板の内面に接触する平坦な第１面と、前記第１面の裏側であって前記袋で包装された状態の２つの収納容器の底面のそれぞれに接触する第２面と、前記梱包箱の側板の内面に接触する平坦な第３面と、を有し、
   前記第２面に、前記袋を含んだ状態で前記２つの収納容器の矩形状の底面部のそれぞれに嵌め合わされる２つの第２凹部が形成され、
   前記第２凹部のそれぞれの外側の隅部に、外側に向かう窪み部が形成されている半導体ウェーハ収納容器の梱包用緩衝体。
2. 前記第１緩衝体の中央部分に、指が挿入可能な一対の貫通孔が形成されている請求項１に記載の半導体ウェーハ収納容器の梱包用緩衝体。
3. 柔軟性のある袋で包装された、半導体ウェーハを収納する箱形の収納容器を２つ並べて、梱包箱に梱包する際に、前記袋で包装された状態の２つの収納容器と前記梱包箱との間に配置される緩衝体であって、
   前記袋で包装された状態の２つの収納容器のそれぞれの上面と、前記梱包箱の上板の内面と、前記梱包箱の側板の内面とのそれぞれに接触してこれらの間に介装される第１緩衝体と、
   前記第１緩衝体と同じ形状であって、前記袋で包装された状態の２つの収納容器のそれぞれの底面と、前記梱包箱の底板の内面と、前記梱包箱の側板の内面とのそれぞれに接触してこれらの間に介装される第２緩衝体と、を備え、
   前記第１緩衝体は、
   前記梱包箱の上板の内面に接触する第１面と、前記第１面の裏側であって前記袋で包装された状態の２つの収納容器の上面のそれぞれに接触する第２面と、前記梱包箱の側板の内面に接触する第３面と、を有し、
   前記第２面に、前記袋を含んだ状態で前記２つの収納容器の矩形状の上面部のそれぞれに嵌め合わされる２つの第１凹部が形成され、
   前記第１凹部の四隅のそれぞれに、外側に向かう窪み部が形成され、
   前記前記第２緩衝体は、
   前記梱包箱の底板の内面に接触する第１面と、前記第１面の裏側であって前記袋で包装された状態の２つの収納容器の底面のそれぞれに接触する第２面と、前記梱包箱の側板の内面に接触する第３面と、を有し、
   前記第２面に、前記袋を含んだ状態で前記２つの収納容器の矩形状の底面部のそれぞれに嵌め合わされる２つの第２凹部が形成され、
   前記第２凹部の四隅のそれぞれに、外側に向かう窪み部が形成されている半導体ウェーハ収納容器の梱包用緩衝体。
4. 柔軟性のある袋で包装された、半導体ウェーハを収納する箱形の収納容器を２つ並べて、梱包箱に梱包する際に、前記袋で包装された状態の２つの収納容器と前記梱包箱との間に配置される緩衝体であって、
   前記袋で包装された状態の２つの収納容器のそれぞれの上面と、前記梱包箱の上板の内面と、前記梱包箱の側板の内面とのそれぞれに接触してこれらの間に介装される第１緩衝体と、
   前記第１緩衝体と同じ形状であって、前記袋で包装された状態の２つの収納容器のそれぞれの底面と、前記梱包箱の底板の内面と、前記梱包箱の側板の内面とのそれぞれに接触してこれらの間に介装される第２緩衝体と、を備え、
   前記第１緩衝体は、
   前記梱包箱の上板の内面に接触する第１面と、前記第１面の裏側であって前記袋で包装された状態の２つの収納容器の上面のそれぞれに接触する第２面と、前記梱包箱の側板の内面に接触する第３面と、を有し、
   前記第２面に、前記袋を含んだ状態で前記２つの収納容器の矩形状の上面部のそれぞれに嵌め合わされる２つの第１凹部が形成され、
   前記第１凹部の四隅のそれぞれが湾曲形状に形成され、
   前記前記第２緩衝体は、
   前記梱包箱の底板の内面に接触する第１面と、前記第１面の裏側であって前記袋で包装された状態の２つの収納容器の底面のそれぞれに接触する第２面と、前記梱包箱の側板の内面に接触する第３面と、を有し、
   前記第２面に、前記袋を含んだ状態で前記２つの収納容器の矩形状の底面部のそれぞれに嵌め合わされる２つの第２凹部が形成され、
   前記第２凹部の四隅のそれぞれが湾曲形状に形成されている半導体ウェーハ収納容器の梱包用緩衝体。
5. 前記第１緩衝体の第１凹部及び前記第２緩衝体の第２凹部のそれぞれの中央部分に、前記第１凹部の底面積又は前記第２凹部の底面積の１０％〜４０％の面積の貫通孔が形成されている請求項３又は４に記載の半導体ウェーハ収納容器の梱包用緩衝体。

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