JP3216256B2 - 超純水製造装置 - Google Patents
超純水製造装置Info
- Publication number
- JP3216256B2 JP3216256B2 JP23928892A JP23928892A JP3216256B2 JP 3216256 B2 JP3216256 B2 JP 3216256B2 JP 23928892 A JP23928892 A JP 23928892A JP 23928892 A JP23928892 A JP 23928892A JP 3216256 B2 JP3216256 B2 JP 3216256B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrapure water
- water
- water production
- urea
- membrane separation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Removal Of Specific Substances (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明の超純水製造装置に係り、
特に、製造される超純水中のＴＯＣ（全有機体炭素）を
現状より大幅に低減化することができる超純水製造装置
に関する。
特に、製造される超純水中のＴＯＣ（全有機体炭素）を
現状より大幅に低減化することができる超純水製造装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、市水、地下水、工水等の原水から
超純水を製造する超純水製造装置は、基本的に、前処理
装置、一次純水製造装置及び二次純水製造装置から構成
される。このうち、前処理装置は、凝集、浮上、濾過装
置で構成される。一次純水製造装置は、２基の逆浸透膜
分離装置及び混床式イオン交換装置、或いは、イオン交
換純水装置及び逆浸透膜分離装置で構成され、また、二
次純水製造装置は、低圧紫外線酸化装置、混床式イオン
交換装置及び限外濾過膜分離装置で構成される。
超純水を製造する超純水製造装置は、基本的に、前処理
装置、一次純水製造装置及び二次純水製造装置から構成
される。このうち、前処理装置は、凝集、浮上、濾過装
置で構成される。一次純水製造装置は、２基の逆浸透膜
分離装置及び混床式イオン交換装置、或いは、イオン交
換純水装置及び逆浸透膜分離装置で構成され、また、二
次純水製造装置は、低圧紫外線酸化装置、混床式イオン
交換装置及び限外濾過膜分離装置で構成される。
【０００３】これらの各装置単位において、原水中のＴ
ＯＣ成分を分離、吸着、分解等の手段で低減化するもの
は、逆浸透膜分離装置、イオン交換純水装置、低圧紫外
線酸化装置である。
ＯＣ成分を分離、吸着、分解等の手段で低減化するもの
は、逆浸透膜分離装置、イオン交換純水装置、低圧紫外
線酸化装置である。
【０００４】各装置単位におけるＴＯＣ低減化機構は次
の通りである。 逆浸透膜分離装置：逆浸透膜を用いた濾過法であり、イ
オン性、コロイド性のＴＯＣを除去する。 イオン交換純水装置：イオン交換樹脂に吸着又はイオン
交換されるＴＯＣ成分を除去する。 低圧紫外線酸化装置：低圧紫外線ランプより出される１
８５ｎｍの紫外線によりＴＯＣを有機酸さらにはＣＯ2
まで分解する。分解された有機物は後段のイオン交換樹
脂で除去する。特に、揮発性有機物の分解に用いられ
る。
の通りである。 逆浸透膜分離装置：逆浸透膜を用いた濾過法であり、イ
オン性、コロイド性のＴＯＣを除去する。 イオン交換純水装置：イオン交換樹脂に吸着又はイオン
交換されるＴＯＣ成分を除去する。 低圧紫外線酸化装置：低圧紫外線ランプより出される１
８５ｎｍの紫外線によりＴＯＣを有機酸さらにはＣＯ2
まで分解する。分解された有機物は後段のイオン交換樹
脂で除去する。特に、揮発性有機物の分解に用いられ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の超純水製造装置により製造された超純水中には、Ｔ
ＯＣが２〜５ｐｐｂ程度存在する。この超純水中のＴＯ
Ｃを更に低減するための方法として、逆浸透膜分離装置
の多段設置、低圧紫外線酸化装置の紫外線照射量の増大
といった手段が考えられるが、発明者らの研究により、
このような手段では、超純水中のＴＯＣを更に低減する
ことはできないことが確認された。
来の超純水製造装置により製造された超純水中には、Ｔ
ＯＣが２〜５ｐｐｂ程度存在する。この超純水中のＴＯ
Ｃを更に低減するための方法として、逆浸透膜分離装置
の多段設置、低圧紫外線酸化装置の紫外線照射量の増大
といった手段が考えられるが、発明者らの研究により、
このような手段では、超純水中のＴＯＣを更に低減する
ことはできないことが確認された。
【０００６】この原因としては、超純水のようなＴＯＣ
の極微量域では、ＴＯＣ成分の由来として、単に原水中
の除去不能成分のみならず、各装置単位本体や配管等の
水と接触する有機性部材からの溶出成分も考慮する必要
があり、従来技術の応用程度ではＴＯＣの低減は図れな
いことも考えられる。
の極微量域では、ＴＯＣ成分の由来として、単に原水中
の除去不能成分のみならず、各装置単位本体や配管等の
水と接触する有機性部材からの溶出成分も考慮する必要
があり、従来技術の応用程度ではＴＯＣの低減は図れな
いことも考えられる。
【０００７】本発明は上記従来の実情に鑑みてなされた
ものであって、ＴＯＣが著しく低減された超純水を製造
することができる超純水製造装置を提供することを目的
とする。
ものであって、ＴＯＣが著しく低減された超純水を製造
することができる超純水製造装置を提供することを目的
とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の超純水製造装置
は、原水の前処理装置、一次純水製造装置及び二次純水
製造装置を備える超純水製造装置において、該前処理装
置は、尿素の酵素分解装置を含むことを特徴とする。
は、原水の前処理装置、一次純水製造装置及び二次純水
製造装置を備える超純水製造装置において、該前処理装
置は、尿素の酵素分解装置を含むことを特徴とする。
【０００９】
【作用】本発明者らは、超純水中のＴＯＣを更に低減す
る技術の開発に先立ち、超純水中のＴＯＣ成分の由来が
原水であるか溶出であるかの検討を実施した。
る技術の開発に先立ち、超純水中のＴＯＣ成分の由来が
原水であるか溶出であるかの検討を実施した。
【００１０】まず、稼動中の超純水製造装置における超
純水中のＴＯＣの年間データを整理した結果、ＴＯＣは
季節変動を繰り返すことが分かった。現状の超純水製造
装置は、水温が一定になるように制御されているため、
系内からの溶出量が変動することは考えにくい。そこ
で、原水由来の有機成分を対象として、原因物質を特定
すべく、鋭意検討した。
純水中のＴＯＣの年間データを整理した結果、ＴＯＣは
季節変動を繰り返すことが分かった。現状の超純水製造
装置は、水温が一定になるように制御されているため、
系内からの溶出量が変動することは考えにくい。そこ
で、原水由来の有機成分を対象として、原因物質を特定
すべく、鋭意検討した。
【００１１】その結果、現状の超純水製造装置で除去で
きない成分として尿素（ＮＨ2 ＣＯＮＨ2 ）があり、し
かも、原水（市水、工水等）中には尿素が数十〜数百ｐ
ｐｂ存在していることが判明した。
きない成分として尿素（ＮＨ2 ＣＯＮＨ2 ）があり、し
かも、原水（市水、工水等）中には尿素が数十〜数百ｐ
ｐｂ存在していることが判明した。
【００１２】また、現状で得られている超純水を濃縮
（２０〜３０倍）して、超純水中に含有される尿素濃度
を測定した結果、超純水のＴＯＣのうち５０％以上を尿
素が占めており、原水中の尿素濃度が上昇するにつれ、
得られる超純水中のＴＯＣが上昇することが判明した。
（２０〜３０倍）して、超純水中に含有される尿素濃度
を測定した結果、超純水のＴＯＣのうち５０％以上を尿
素が占めており、原水中の尿素濃度が上昇するにつれ、
得られる超純水中のＴＯＣが上昇することが判明した。
【００１３】以上より、現状の超純水製造装置は、原水
中に存在する尿素を除去し難く、これが超純水中のＴＯ
Ｃの低減を阻む原因となっていることを見出した。
中に存在する尿素を除去し難く、これが超純水中のＴＯ
Ｃの低減を阻む原因となっていることを見出した。
【００１４】即ち、原水中に存在する尿素に対しては、
現状の超純水製造システムでＴＯＣ低減化に寄与してい
るシステムでの除去率、分解率が低い。例えば、逆浸透
膜分離装置での尿素の除去率は約６０％であるが、イオ
ン交換樹脂では尿素は交換されず、また、低圧紫外線酸
化装置では尿素は分解されない。
現状の超純水製造システムでＴＯＣ低減化に寄与してい
るシステムでの除去率、分解率が低い。例えば、逆浸透
膜分離装置での尿素の除去率は約６０％であるが、イオ
ン交換樹脂では尿素は交換されず、また、低圧紫外線酸
化装置では尿素は分解されない。
【００１５】このようなことから、現状の超純水中のＴ
ＯＣを更に低減するためには、従来の単位操作を多段に
使用するだけでは限界があり、別途、尿素除去のための
手段が必要であることが判明した。
ＯＣを更に低減するためには、従来の単位操作を多段に
使用するだけでは限界があり、別途、尿素除去のための
手段が必要であることが判明した。
【００１６】そして、原水中に存在する尿素を低減する
装置として、尿素の酵素分解装置が好適であることを見
出し、発明を達成した。
装置として、尿素の酵素分解装置が好適であることを見
出し、発明を達成した。
【００１７】本発明の超純水製造装置によれば、原水
（市水、地下水、工業用水など）の前処理装置の一部と
して、尿素の酵素分解装置を組み込んだことにより、従
来の前処理装置では除去し得ず、超純水中のＴＯＣ源と
なる、原水中の尿素を高度に除去することができ、ＴＯ
Ｃ濃度が著しく低減された超純水を得ることが可能とさ
れる。
（市水、地下水、工業用水など）の前処理装置の一部と
して、尿素の酵素分解装置を組み込んだことにより、従
来の前処理装置では除去し得ず、超純水中のＴＯＣ源と
なる、原水中の尿素を高度に除去することができ、ＴＯ
Ｃ濃度が著しく低減された超純水を得ることが可能とさ
れる。
【００１８】なお、従来、尿素の分解手段として、血中
の尿素濃度を測定するために尿素分解酵素（ウレアー
ゼ）を用いた例があるが、超純水製造システムのように
大容量かつ連続処理システムにおいて、市水、地下水、
工業用水等に含有される微量尿素を分解するために尿素
分解酵素を用いることは知られていない。
の尿素濃度を測定するために尿素分解酵素（ウレアー
ゼ）を用いた例があるが、超純水製造システムのように
大容量かつ連続処理システムにおいて、市水、地下水、
工業用水等に含有される微量尿素を分解するために尿素
分解酵素を用いることは知られていない。
【００１９】
【実施例】以下に図面を参照して本発明の実施例につい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００２０】図１は本発明の超純水製造装置の一実施例
を示す系統図、図２は本発明の超純水製造装置の前処理
装置の尿素の酵素分解装置として好適なウレアーゼ担体
分解装置の断面図である。
を示す系統図、図２は本発明の超純水製造装置の前処理
装置の尿素の酵素分解装置として好適なウレアーゼ担体
分解装置の断面図である。
【００２１】図１（ａ）に示す超純水製造装置は、前処
理装置Ａとしてウレアーゼ担体分解装置とメンブレンフ
ィルター、即ち限外濾過（ＵＦ）又は精密濾過（ＭＦ）
膜分離装置２を、一次純水製造装置Ｂとして第１逆浸透
（ＲＯ）膜分離装置３と第２逆浸透（ＲＯ）膜分離装置
４と混床式イオン交換装置５を、また、二次純水製造装
置Ｃとして（タンク６と）低圧紫外線酸化装置７と、混
床式イオン交換装置８とＵＦ膜分離装置９を設け、この
順で直列に設置したものである。
理装置Ａとしてウレアーゼ担体分解装置とメンブレンフ
ィルター、即ち限外濾過（ＵＦ）又は精密濾過（ＭＦ）
膜分離装置２を、一次純水製造装置Ｂとして第１逆浸透
（ＲＯ）膜分離装置３と第２逆浸透（ＲＯ）膜分離装置
４と混床式イオン交換装置５を、また、二次純水製造装
置Ｃとして（タンク６と）低圧紫外線酸化装置７と、混
床式イオン交換装置８とＵＦ膜分離装置９を設け、この
順で直列に設置したものである。
【００２２】即ち、市水、工水、地下水等の原水は、ま
ずウレアーゼ担体分解装置１に導入されて酵素分解処理
され、尿素が分解除去される。酵素分解処理水は、次い
でＵＦ又はＭＦ膜分離装置２に導入され、膜分離され
る。
ずウレアーゼ担体分解装置１に導入されて酵素分解処理
され、尿素が分解除去される。酵素分解処理水は、次い
でＵＦ又はＭＦ膜分離装置２に導入され、膜分離され
る。
【００２３】このような前処理装置Ａで処理された前処
理水は、次いで一次純水製造装置Ｂにおいて、まず、第
１ＲＯ膜分離装置３及び第２ＲＯ膜分離装置４にて２段
ＲＯ膜分離処理され、更に混床式イオン交換装置５でイ
オン交換される。
理水は、次いで一次純水製造装置Ｂにおいて、まず、第
１ＲＯ膜分離装置３及び第２ＲＯ膜分離装置４にて２段
ＲＯ膜分離処理され、更に混床式イオン交換装置５でイ
オン交換される。
【００２４】更に、一次純水製造装置Ｂの処理水は、二
次純水製造装置Ｃにて、タンク６を経て低圧紫外線酸化
装置７に導入され、含有されるＴＯＣがイオン化ないし
分解され、このうち、イオン化された有機物は、後段の
混床式イオン交換装置８で除去される。この混床式イオ
ン交換装置８の処理水は更にＵＦ膜分離装置で膜分離処
理され、超純水が得られる。
次純水製造装置Ｃにて、タンク６を経て低圧紫外線酸化
装置７に導入され、含有されるＴＯＣがイオン化ないし
分解され、このうち、イオン化された有機物は、後段の
混床式イオン交換装置８で除去される。この混床式イオ
ン交換装置８の処理水は更にＵＦ膜分離装置で膜分離処
理され、超純水が得られる。
【００２５】図１（ｂ）に示す超純水製造装置は、一次
純水製造装置Ｂがイオン交換純水装置１０とＲＯ膜分離
装置１１で構成されること以外は図１（ａ）に示す超純
水製造装置と同様の構成とされている。
純水製造装置Ｂがイオン交換純水装置１０とＲＯ膜分離
装置１１で構成されること以外は図１（ａ）に示す超純
水製造装置と同様の構成とされている。
【００２６】即ち、本発明の超純水製造装置において
は、原水を直接通水する前処理装置として尿素の酵素分
解装置を設けること以外は、基本的に従来の超純水製造
装置と同様の構成とすることができ、一次純水製造装置
及び二次純水製造装置におけるＲＯ膜分離装置やイオン
交換純水装置等の各装置単位の組み合せや構成は従来の
ものをそのまま採用することができる。
は、原水を直接通水する前処理装置として尿素の酵素分
解装置を設けること以外は、基本的に従来の超純水製造
装置と同様の構成とすることができ、一次純水製造装置
及び二次純水製造装置におけるＲＯ膜分離装置やイオン
交換純水装置等の各装置単位の組み合せや構成は従来の
ものをそのまま採用することができる。
【００２７】本発明においては、連続処理を行なう必要
上、ウレアーゼを担体に固定したウレアーゼ担体分解装
置を用いる必要がある。
上、ウレアーゼを担体に固定したウレアーゼ担体分解装
置を用いる必要がある。
【００２８】担体の種類としては活性炭、アンスラサイ
ト、砂、ゼオライト、イオン交換樹脂、プラスチック製
成型品等が考えられるが、長期的安定性といった点から
は、活性炭、ゼオライト、イオン交換樹脂が最適であ
る。
ト、砂、ゼオライト、イオン交換樹脂、プラスチック製
成型品等が考えられるが、長期的安定性といった点から
は、活性炭、ゼオライト、イオン交換樹脂が最適であ
る。
【００２９】ウレアーゼの担持量は、剥離、劣化等の点
からは多い程良く、一般的には、０．０１〜１重量％の
範囲が有効である。
からは多い程良く、一般的には、０．０１〜１重量％の
範囲が有効である。
【００３０】図２は、活性炭にウレアーゼを担持させて
原水を上向流で接触させる上向流式ウレアーゼ担体分解
装置２０を示し、原水はポンプＰ、バルブＶを備える配
管２１より上向流式ウレアーゼ担体分解装置２０の下部
より導入され、目皿２２上のウレアーゼ担体担体２３と
上向流で接触し、ウレアーゼにより尿素が二酸化炭素と
アンモニアに分解された後、上部の配管２４より排出さ
れる。
原水を上向流で接触させる上向流式ウレアーゼ担体分解
装置２０を示し、原水はポンプＰ、バルブＶを備える配
管２１より上向流式ウレアーゼ担体分解装置２０の下部
より導入され、目皿２２上のウレアーゼ担体担体２３と
上向流で接触し、ウレアーゼにより尿素が二酸化炭素と
アンモニアに分解された後、上部の配管２４より排出さ
れる。
【００３１】このような上向流式ウレアーゼ担体分解装
置であれば、ＨＲＴ（充填材に対する接触時間）１０分
以上で尿素分解率９０％を達成することができ、十分に
実用的な結果が得られる。
置であれば、ＨＲＴ（充填材に対する接触時間）１０分
以上で尿素分解率９０％を達成することができ、十分に
実用的な結果が得られる。
【００３２】図示の超純水製造装置は本発明の一実施例
であって、本発明はその要旨を超えない限り、何ら図示
のものに限定されるものではない。
であって、本発明はその要旨を超えない限り、何ら図示
のものに限定されるものではない。
【００３３】例えば、ウレアーゼ担体分解装置の通水方
式は図示の如く、上向流式とする他、下向流方式でも良
い。ただし、下向流方式の場合には、担体間に原水中の
ＳＳが詰まり差圧が上昇することから、一定期間毎に逆
洗を行なう必要がある。
式は図示の如く、上向流式とする他、下向流方式でも良
い。ただし、下向流方式の場合には、担体間に原水中の
ＳＳが詰まり差圧が上昇することから、一定期間毎に逆
洗を行なう必要がある。
【００３４】また、ウレアーゼ担体分解装置の前段又は
後段に凝集沈殿装置や凝集濾過装置を設けても良い。更
に、ウレアーゼ担体分解装置の後段には膜分離装置の代
りに、メンブレンフィルターの他、砂濾過装置等を用い
ても良い。
後段に凝集沈殿装置や凝集濾過装置を設けても良い。更
に、ウレアーゼ担体分解装置の後段には膜分離装置の代
りに、メンブレンフィルターの他、砂濾過装置等を用い
ても良い。
【００３５】なお、ウレアーゼ（ＥＣ ３．５．１．
５）は市販品で良く、東洋紡（株）等から販売されてい
るものを用いることができる。ウレアーゼを担体に担持
させるには、ウレアーゼの水溶液を活性炭やアニオン交
換樹脂の充填カラムに通液すれば良く、その担持量は、
ウレアーゼの濃度や通液量により容易に制御することが
できる。
５）は市販品で良く、東洋紡（株）等から販売されてい
るものを用いることができる。ウレアーゼを担体に担持
させるには、ウレアーゼの水溶液を活性炭やアニオン交
換樹脂の充填カラムに通液すれば良く、その担持量は、
ウレアーゼの濃度や通液量により容易に制御することが
できる。
【００３６】以下に具体的な実施例及び比較例を挙げて
本発明をより具体的に説明する。
本発明をより具体的に説明する。
【００３７】実施例１ 図１（ａ）に示す超純水製造装置により原水（厚木市水
（平成４年６月〜７月））の処理を行なった。なお、ウ
レアーゼ担体分解装置としては、図２に示す、活性炭に
ウレアーゼを０．１重量％担持させて用いた上向流式ウ
レアーゼ担体分解装置を用い、その後段にＵＦ膜分離装
置を設けた。上向流式ウレアーゼ担体分解装置のＨＲＴ
は１０分とした。
（平成４年６月〜７月））の処理を行なった。なお、ウ
レアーゼ担体分解装置としては、図２に示す、活性炭に
ウレアーゼを０．１重量％担持させて用いた上向流式ウ
レアーゼ担体分解装置を用い、その後段にＵＦ膜分離装
置を設けた。上向流式ウレアーゼ担体分解装置のＨＲＴ
は１０分とした。
【００３８】その結果、得られた超純水のＴＯＣを表１
に示す。
に示す。
【００３９】比較例１ 生物処理装置を設けなかったこと以外は実施例１と同様
に処理を行なった。得られた超純水のＴＯＣを表１に示
す。
に処理を行なった。得られた超純水のＴＯＣを表１に示
す。
【００４０】
【表１】
【００４１】表１より明らかなように、本発明の超純水
製造装置によれば、ＴＯＣが０．５〜０．８ｐｐｂまで
低下し、著しく高水質の超純水が得られる。
製造装置によれば、ＴＯＣが０．５〜０．８ｐｐｂまで
低下し、著しく高水質の超純水が得られる。
【００４２】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の超純水製造
装置によれば、市水、地下水、工業用水を原水として超
純水を製造するに当り、得られる超純水に含まれるＴＯ
Ｃを著しく低減し、極めて純度の高い超純水を製造する
ことが可能とされる。
装置によれば、市水、地下水、工業用水を原水として超
純水を製造するに当り、得られる超純水に含まれるＴＯ
Ｃを著しく低減し、極めて純度の高い超純水を製造する
ことが可能とされる。
【図１】本発明の超純水製造装置の一実施例を示す系統
図である。
図である。
【図２】本発明の超純水製造装置の前処理装置として好
適な上向流式ウレアーゼ担体分解装置の断面図である。
適な上向流式ウレアーゼ担体分解装置の断面図である。
Ａ 前処理装置 Ｂ 一次純水製造装置 Ｃ 二次純水製造装置 １ ウレアーゼ担体分解装置 ２ ＵＦ又はＭＦ膜分離装置 ３ 第１ＲＯ膜分離装置 ４ 第２ＲＯ膜分離装置 ５，８ 混床式イオン交換装置 ６ タンク ７ 低圧紫外線酸化装置 ９ ＵＦ膜分離装置 １０ イオン交換純水装置 １１ ＲＯ膜分離装置 ２０ 上向流式ウレアーゼ担体分解装置 ２２ 目皿 ２３ ウレアーゼ担持担体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｃ０２Ｆ 9/00 ５０４ Ｃ０２Ｆ 9/00 ５０４Ｂ 1/00 1/00 Ｐ 1/44 1/44 Ｊ (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C02F 9/00 501 - 504 C02F 1/00 C02F 1/44
Claims (1)
- 【請求項１】 原水の前処理装置、一次純水製造装置及
び二次純水製造装置を備える超純水製造装置において、 該前処理装置は、尿素の酵素分解装置を含むことを特徴
とする超純水製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23928892A JP3216256B2 (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | 超純水製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23928892A JP3216256B2 (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | 超純水製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0686997A JPH0686997A (ja) | 1994-03-29 |
| JP3216256B2 true JP3216256B2 (ja) | 2001-10-09 |
Family
ID=17042512
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23928892A Expired - Fee Related JP3216256B2 (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | 超純水製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3216256B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU2007228391B2 (en) | 2006-03-17 | 2011-11-10 | Yeda Research And Development Co. Ltd. | Methods, compositions and devices for maintaining chemical balance of chlorinated water |
| JP4760648B2 (ja) * | 2006-09-29 | 2011-08-31 | 栗田工業株式会社 | 純水製造装置 |
| JP5516874B2 (ja) * | 2010-04-30 | 2014-06-11 | 栗田工業株式会社 | 水処理方法及び超純水製造方法 |
| JP5838645B2 (ja) * | 2011-08-09 | 2016-01-06 | 三菱レイヨンアクア・ソリューションズ株式会社 | 超純水の製造方法 |
| WO2021106267A1 (ja) * | 2019-11-26 | 2021-06-03 | オルガノ株式会社 | 尿素フリー水の製造方法、尿素の定量方法及び尿素の分析装置 |
-
1992
- 1992-09-08 JP JP23928892A patent/JP3216256B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0686997A (ja) | 1994-03-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3468784B2 (ja) | 超純水製造装置 | |
| JPH0490885A (ja) | 純水製造装置及び製造方法 | |
| JP3227863B2 (ja) | 超純水の製造方法 | |
| JPS62204892A (ja) | 脱塩方法 | |
| WO2018096700A1 (ja) | 超純水製造システム及び超純水製造方法 | |
| JP3216256B2 (ja) | 超純水製造装置 | |
| KR20060086293A (ko) | 생물 처리수 함유수의 처리 방법 및 처리 장치 | |
| JP2001038390A (ja) | 超純水の製造方法 | |
| JPH05293469A (ja) | 滅菌精製水の製造方法およびその装置 | |
| JPS62110795A (ja) | 高純度水の製造装置 | |
| JPS6336890A (ja) | 高純度水の製造装置 | |
| JP2002210494A (ja) | 超純水製造装置 | |
| JPS61101292A (ja) | 純水製造装置 | |
| JPH10309588A (ja) | 水処理方法、水処理装置及び純水製造装置 | |
| JPH09122690A (ja) | 有機態窒素の分解方法及び水処理装置 | |
| JP2514929B2 (ja) | 末端逆浸透膜装置の洗浄方法 | |
| JPS62204893A (ja) | 粒状活性炭塔と逆浸透膜装置を用いる水処理方法 | |
| JP2000301005A (ja) | イオン交換樹脂再生排液の再利用方法 | |
| JPH0839058A (ja) | 半導体洗浄排水の処理方法 | |
| JPH05293494A (ja) | 純水製造装置 | |
| JPH09294977A (ja) | 純水製造装置 | |
| JP5753668B2 (ja) | 排水処理方法及び排水処理装置 | |
| JP3115750B2 (ja) | 純水の製造方法 | |
| JPH11244846A (ja) | 希薄被処理液の処理方法およびその処理装置 | |
| JPH0839059A (ja) | 有機アルカリを含む半導体洗浄排水の回収方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080803 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090803 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090803 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100803 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110803 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |