JP3214226B2 - 弾性表面波共振子フィルタ - Google Patents

弾性表面波共振子フィルタ

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JP3214226B2 JP09752794A JP9752794A JP3214226B2 JP 3214226 B2 JP3214226 B2 JP 3214226B2 JP 09752794 A JP09752794 A JP 09752794A JP 9752794 A JP9752794 A JP 9752794A JP 3214226 B2 JP3214226 B2 JP 3214226B2
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    • H03H9/6463Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled via one connecting electrode the tracks being electrically cascaded

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電基板上に少なくと
も二組のくし型電極の両側に反射器電極が形成されたエ
ネルギー閉じ込め型SAW共振子フィルタを複数セクシ
ョン縦続接続した弾性表面波共振子フィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の縦続接続弾性表面波共振子フィル
タは、高選択度特性を得るために、例えば、図8に示す
ように、少なくとも二組のくし型電極11a、11bの
両側に反射器電極11c、11dが圧電基板20上に形
成され、高周波側振動モードの周波数(例えば、縦0次
モードの振動周波数)と低周波側振動モードの周波数
(例えば、縦高次モードの振動周波数)との周波数差で
通過帯域が決定されるエネルギー閉じ込め型SAW共振
子フィルタ(以下、共振子フィルタという。)を少なく
とも2セクション縦続接続していた。
【0003】そして、より高選択度特性を得るために、
この共振子フィルタを3セクション縦続接続する場合、
第1共振子フィルタおよび第3共振子フィルタの通過帯
域を広帯域とし、第2共振子フィルタの通過帯域を狭帯
域として、広帯域の中に狭帯域を包含させて縦続接続弾
性表面波共振子フィルタを構成していた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
縦続接続弾性表面波共振子フィルタは、低損失で、高選
択度特性を有し、かつ、小型ではあるが、3dB通過帯
域内における群遅延時間特性の平坦性が悪かった。
【0005】したがって、本発明は、群遅延時間特性の
改善された弾性表面波共振子フィルタを提供することを
目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の課題に対する解
決手段は以下の通りである。 1.少なくとも二組のくし型電極の両側に反射器電極が
圧電基板上に形成され、高周波側振動モードの周波数と
低周波側振動モードの周波数との周波数差で通過帯域が
決定されるエネルギー閉じ込め型SAW共振子フィルタ
を少なくとも2セクション縦続接続している弾性表面波
共振子フィルタにおいて、第1エネルギー閉じ込め型S
AW共振子フィルタの低周波側振動モードの周波数より
も低周波側に、前記第1エネルギー閉じ込め型SAW共
振子フィルタよりも狭帯域特性を有する第2エネルギー
閉じ込め型SAW共振子フィルタの低周波側振動モード
の周波数を配置することを特徴とする弾性表面波共振子
フィルタ。 2.少なくとも二組のくし型電極の両側に反射器電極が
圧電基板上に形成され、高周波側振動モードの周波数と
低周波側振動モードの周波数との周波数差で通過帯域が
決定されるエネルギー閉じ込め型SAW共振子フィルタ
を少なくとも2セクション縦続接続している弾性表面波
共振子フィルタにおいて、第1エネルギー閉じ込め型S
AW共振子フィルタの高周波側振動モードの周波数より
も高周波側に、前記第1エネルギー閉じ込め型SAW共
振子フィルタよりも狭帯域特性を有する第2エネルギー
閉じ込め型SAW共振子フィルタの高周波側振動モード
の周波数を配置することを特徴とする弾性表面波共振子
フィルタ。 3.上記1項および2記載の弾性表面波共振子フィルタ
の双方より構成される弾性表面波共振子フィルタ。
【0007】4.上記1項、2項もしくは3項記載の弾
性表面波共振子フィルタにおいて、少なくとも2セクシ
ョン縦続接続されるエネルギー閉じ込め型SAW共振子
フィルタが縦結合型もしくは横結合型であることを特徴
とする弾性表面波共振子フィルタ。
【0008】5.上記1項、2項、3項もしくは4項記
載の弾性表面波共振子フィルタにおいて、第1エネルギ
ー閉じ込め型SAW共振子フィルタと第2エネルギー閉
じ込め型SAW共振子フィルタとの間に、電気的に並列
に結合容量または伸長インダクタを接続することを特徴
とする弾性表面波共振子フィルタ。
【0009】
【作用】本発明は、共振子フィルタを少なくとも2セク
ション縦続接続して弾性表面波共振子フィルタを構成
し、第1共振子フィルタの低周波側振動モードの一つの
振動周波数よりも低周波側に、前記第1共振子フィルタ
よりも狭帯域特性を有する第2共振子フィルタの低周波
側振動モードの一つの振動周波数を配置し、もしくは、
第1共振子フィルタの高周波側振動モードの一つの振動
周波数よりも高周波側に、前記第1共振子フィルタより
も狭帯域特性を有する第2共振子フィルタの高周波側振
動モードの一つの振動周波数を配置するので、通過帯域
の低周波側あるいは高周波側において、群遅延時間特性
が改善される。
【0010】
【実施例】以下に、本発明の実施例について図面を参照
して説明する。図1は本発明の一実施例で、共振子フィ
ルタを3セクション縦続接続した弾性表面波共振子フィ
ルタの概略平面図である。同図において、10はXカッ
トLiTaO3 などの圧電基板で、この圧電基板10に
は3セクションの共振子フィルタ1、2、3が設けられ
ている。共振子フィルタ1は、2組のくし型電極1a、
1bが近接して設けられ、それらの外側に反射器電極1
c、1dが配置されている。これらの電極の基本構成
は、共振子フィルタ2および共振子フィルタ3におい
て、それらのくし型電極2a、2bおよび3a、3b、
反射器電極2c、2dおよび3c、3dについても、同
様であるので、その説明を省略する。
【0011】共振子フィルタ1と共振子フィルタ3は、
それらの2組のくし型電極1a、1b、3a、3bおよ
び反射器電極1c、1d、3c、3dの数および形状を
同一にして、それらの入出力インピーダンスを同一にし
て、回路に接続する場合の入力と出力の接続の互換を図
っている。また、中央に配置されている共振子フィルタ
2の2組のくし型電極2a、2bの電極対数は、共振子
フィルタ1、3のそれに比べて多くなって、高選択度特
性を得るようになっている。近接する共振子フィルタ
1、2のくし型電極1aと2aは、それらのくし型電極
端子1aaと2aa間で縦続接続されている。また、近
接する共振子フィルタ2、3のくし型電極2bと3b
も、それらのくし型電極端子2bbと3bb間で縦続接
続されている。また、両側の共振子フィルタ1、3のく
し型電極1b、3aのくし型電極端子1bb、3aa
は、入出力端子4a、4bにそれぞれ接続されている。
【0012】これらのくし型電極、反射器電極、くし型
電極端子などは、圧電基板10上にAl金属を成膜した
後、フォトエッチング工程をへて形成される。本実施例
の概略の電極配置は以上のような構成よりなるが、以下
に具体的実施例として、デジタルセルラー(GSM)用
の71MHz帯IFフィルタについて応用した場合を表
1に示す。併せて、比較のため従来例も記載する。な
お、従来例における共振子フィルタの縦続接続数は本実
施例と同様の3セクションとした。
【0013】
【表1】
【0014】図1記載の3セクション型弾性表面波フィ
ルタにおいて、周波数特性を具現するためには、表1記
載の構成要素の他に、くし型電極と反射器の波長比、く
し型電極とくし型電極との間隔、くし型電極と反射器電
極との間隔などの構成要素を決定する必要がある。
【0015】本実施例は、これらの構成要素を所定の値
に設定して、図2記載のように、共振子フィルタ1
(3)の縦0次モードの一つの振動周波数S0 、縦1次
モードの一つの振動周波数A1 並びに、共振子フィルタ
2の縦0次モードの一つの振動周波数S0 、縦1次モー
ドの一つの振動周波数A1 の周波数配置の構成を行う。
即ち、共振子フィルタ1(3)の縦1次モードの一つの
振動周波数A1 より低周波側に、共振子フィルタ2の縦
1次モードの一つの振動周波数A1 を配置する。そし
て、通過帯域の低周波側の群遅延時間特性を改善する。
【0016】また、別の実施例として、図2とは対称的
に、図には記載していないが、共振子フィルタ1(3)
の縦0次モードの一つの振動周波数S0 より高周波側
に、共振子フィルタ2の縦0次モードの一つの振動周波
数S0 を配置することもある。そして、通過帯域の高周
波側の群遅延時間特性を改善するものである。
【0017】なお、従来例における周波数配置は、図5
に示すようになっている。即ち、共振子フィルタ1
(3)の縦1次モードの一つの振動周波数A1 より高周
波側に、共振子フィルタ2の縦1次モードの一つの振動
周波数A1 が配置され、および、共振子フィルタ1
(3)の縦0次モードの一つの振動周波数S0 より低周
波側に、共振子フィルタ2の縦0次モードの一つの振動
周波数S0 が配置されている。図3および図4は本実施
例の通過帯域内特性と帯域外特性である。また、図6お
よび図7は従来例の通過帯域内特性と帯域外特性であ
る。
【0018】図3に示す本実施例において、3dB通過
帯域幅内における群遅延時間特性は1.2μscと図6
に示す従来例の2.3μsecに比べて、大幅に改善さ
れている。また、3dB通過帯域幅は、本実施例(図
3)も従来例(図6)も350kHzとなっている。ま
た、隣接チャンネル周波数である71MHz±400k
Hzにおいて、本実施例(図4)も従来例(図7)も3
5dB以上の減衰量と高選択度特性が得られている。
【0019】なお、上記実施例においては、共振子フィ
ルタのくし型電極として、2組のものを示したが、2組
以上でもよい。くし型電極の組み数が増えると、縦高次
モードを利用することができて、より広帯域の弾性表面
波フィルタを構成することができる。
【0020】また、広帯域な弾性表面波フィルタを構成
する場合には、各共振子フィルタのセクション間に、電
気的に並列に伸長インダクタを接続すればよい。反対
に、狭帯域な弾性表面波フィルタを構成する場合には、
各共振子フィルタのセクション間に、電気的に並列に結
合容量を接続すればよい。
【0021】また、本実施例においては、共振子フィル
タを3セクション縦続接続した弾性表面波共振子フィル
タを示したが、本発明は2セクション縦続接続、4セク
ション縦続接続など複数セクション縦続接続に適応でき
る。
【0022】また、本発明は、交叉幅方向の振動モード
の周波数差により通過帯域を得る横結合型共振子フィル
タの縦続接続弾性表面波共振子フィルタについても適用
できる。
【0023】
【発明の効果】本発明は、共振子フィルタを少なくとも
2セクション縦続接続して弾性表面波共振子フィルタを
構成し、第1共振子フィルタの低周波側振動モードの一
つの周波数よりも低周波側に、前記第1共振子フィルタ
よりも狭帯域特性を有する第2共振子フィルタの低周波
側振動モードの一つの周波数を配置し、もしくは、第1
共振子フィルタの高周波側振動モードの一つの周波数よ
りも高周波側に、前記第1共振子フィルタよりも狭帯域
特性を有する第2共振子フィルタの高周波側振動モード
の一つの周波数を配置するので、通過帯域の低周波側あ
るいは高周波側において、群遅延時間特性が改善され
る。この群遅延時間特性の改善により良品率が向上す
る。また、併せて、低損失で、小形、かつ、高選択度の
弾性表面波フィルタを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例の3セクション縦続接続共
振子フィルタ電極の概略平面図
【図2】 本発明の一実施例の縦0次モードの一つの周
波数および縦1次モードの一つの周波数の配置図
【図3】 本発明の一実施例の通過帯域内特性図
【図4】 本発明の一実施例の帯域外特性図
【図5】 従来例の縦0次モードの一つの周波数および
縦1次モードの一つの周波数の配置図
【図6】 従来例の通過帯域内特性図
【図7】 従来例の帯域外特性図
【図8】 従来例の1セクション共振子フィルタ電極の
概略平面図
【符号の説明】
1、2、3 共振子フィル
タ 1a、1b、2a、2b、3a、3b くし型電極 1c、1d、2c、2d、3c、3d 共振子電極 4a、4b 入出力端子 10 圧電基板

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】少なくとも二組のくし型電極の両側に反射
    器電極が圧電基板上に形成され、高周波側振動モードの
    周波数と低周波側振動モードの周波数との周波数差で通
    過帯域が決定されるエネルギー閉じ込め型SAW共振子
    フィルタを少なくとも2セクション縦続接続している弾
    性表面波共振子フィルタにおいて、 第1エネルギー閉じ込め型SAW共振子フィルタの低周
    波側振動モードの周波数よりも低周波側に、前記第1エ
    ネルギー閉じ込め型SAW共振子フィルタよりも狭帯域
    特性を有する第2エネルギー閉じ込め型SAW共振子フ
    ィルタの低周波側振動モードの周波数を配置することを
    特徴とする弾性表面波共振子フィルタ。
  2. 【請求項2】少なくとも二組のくし型電極の両側に反射
    器電極が圧電基板上に形成され、高周波側振動モードの
    周波数と低周波側振動モードの周波数との周波数差で通
    過帯域が決定されるエネルギー閉じ込め型SAW共振子
    フィルタを少なくとも2セクション縦続接続している弾
    性表面波共振子フィルタにおいて、 第1エネルギー閉じ込め型SAW共振子フィルタの高周
    波側振動モードの周波数よりも高周波側に、前記第1エ
    ネルギー閉じ込め型SAW共振子フィルタよりも狭帯域
    特性を有する第2エネルギー閉じ込め型SAW共振子フ
    ィルタの高周波側振動モードの周波数を配置することを
    特徴とする弾性表面波共振子フィルタ。
  3. 【請求項3】請求項1および請求項2記載の弾性表面波
    共振子フィルタの双方より構成される弾性表面波共振子
    フィルタ。
  4. 【請求項4】請求項1、請求項2もしくは請求項3記載
    の弾性表面波共振子フィルタにおいて、 少なくとも2セクション縦続接続されるエネルギー閉じ
    込め型SAW共振子フィルタが縦結合型もしくは横結合
    型であることを特徴とする弾性表面波共振子フィルタ。
  5. 【請求項5】請求項1、請求項2、請求項3もしくは請
    求項4記載の弾性表面波共振子フィルタにおいて、 第1エネルギー閉じ込め型SAW共振子フィルタと第2
    エネルギー閉じ込め型SAW共振子フィルタとの間に、
    電気的に並列に結合容量または伸長インダクタを接続す
    ることを特徴とする弾性表面波共振子フィルタ。
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CN95105719A CN1068472C (zh) 1994-05-11 1995-05-10 声表面波谐振器滤波器
EP95303188A EP0682409B1 (en) 1994-05-11 1995-05-11 Surface acoustic-wave resonator filter
DE69514275T DE69514275T2 (de) 1994-05-11 1995-05-11 Oberflächenwellen-Resonatorfilter
KR1019950011589A KR100194292B1 (ko) 1994-05-11 1995-05-11 표면파 공진자 필터
US08/703,620 US5699028A (en) 1994-05-11 1996-08-27 Surface acoustic-wave resonator filter having shifted resonant frequencies

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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69632710T2 (de) * 1995-04-11 2004-10-14 Kinseki, Ltd., Komae Akustische oberflächenwellenanordnung
KR100402067B1 (ko) * 2001-04-06 2003-10-17 엘지이노텍 주식회사 이중모드 공진기 결합형 표면탄성파 필터
DE50212991D1 (ja) * 2001-08-14 2008-12-18 Nxp Bv
US8138858B1 (en) * 2007-10-29 2012-03-20 Rf Micro Devices, Inc. Architectures using multiple dual-mode surface acoustic wave devices

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63155810A (ja) * 1986-12-19 1988-06-29 Hitachi Ltd 弾性表面波共振子フイルタ
JPS6454805A (en) * 1987-08-25 1989-03-02 Oki Electric Ind Co Ltd Surface acoustic wave resonator
JPH071859B2 (ja) * 1988-03-11 1995-01-11 国際電気株式会社 弾性表面波フィルタ
JPH03162116A (ja) * 1989-11-21 1991-07-12 Toshiba Corp 弾性表面波装置
JPH0481012A (ja) * 1990-07-20 1992-03-13 Seiko Epson Corp Sawフィルタ
US5223762A (en) * 1990-12-27 1993-06-29 Murata Manufacturing Co., Ltd. Surface acoustic wave filter
JP3024714B2 (ja) * 1991-11-06 2000-03-21 日本電信電話株式会社 リミッタ増幅器
JPH06244676A (ja) * 1993-02-19 1994-09-02 Daishinku Co 多段接続型弾性表面波フィルタ
JP3089611B2 (ja) * 1993-03-18 2000-09-18 松下電器産業株式会社 弾性表面波多重モードフィルタ
JPH113712A (ja) * 1997-06-11 1999-01-06 Sony Corp 非水電解液二次電池

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Publication number Publication date
DE69514275D1 (de) 2000-02-10
KR100194292B1 (ko) 1999-06-15
KR950035060A (ko) 1995-12-30
EP0682409B1 (en) 2000-01-05
JPH07307642A (ja) 1995-11-21
CN1112750A (zh) 1995-11-29
EP0682409A1 (en) 1995-11-15
US5699028A (en) 1997-12-16
DE69514275T2 (de) 2000-10-05
CN1068472C (zh) 2001-07-11

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