JPH0481012A - Ｓａｗフィルタ - Google Patents
ＳａｗフィルタInfo
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- JPH0481012A JPH0481012A JP19273490A JP19273490A JPH0481012A JP H0481012 A JPH0481012 A JP H0481012A JP 19273490 A JP19273490 A JP 19273490A JP 19273490 A JP19273490 A JP 19273490A JP H0481012 A JPH0481012 A JP H0481012A
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- Japan
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- filter
- saw
- interdigital electrodes
- mode filter
- electrodes
- Prior art date
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- Pending
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- 230000001808 coupling effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野１
本発明は、弾性表面液を利用してなるＳＡＷフィルタの
電極構造に関する。
電極構造に関する。
［従来の技術］
従来のＳＡＷフィルタによる二重モードフィルタとして
は、特開昭５７−１３１８５５の様であって、さらにこ
の２ｐｏ ｌ ｅの二重モードフィルタを直接２段縦続
接続して４ｐｏ ｌ ｅのＳＡＷフィルタとしたものが
使用されて来た。
は、特開昭５７−１３１８５５の様であって、さらにこ
の２ｐｏ ｌ ｅの二重モードフィルタを直接２段縦続
接続して４ｐｏ ｌ ｅのＳＡＷフィルタとしたものが
使用されて来た。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、前述の従来技術では、交差指電極に付帯する静
電容量Ｃｏが４ｐｏ ｌ ｅＳＡＷフィルタの段間に入
って、通過帯域に於て、動作減衰量にリップルを生ずる
という問題点を有する。そこで本発明はこのような問題
点を解決するもので、その目的とするところは、通過帯
域にリップルの少ない４ｐｏ １ ｅフィルタを製作し
、信号処理に於てひずみの無い通信装置を市場に提供す
ることにある。
電容量Ｃｏが４ｐｏ ｌ ｅＳＡＷフィルタの段間に入
って、通過帯域に於て、動作減衰量にリップルを生ずる
という問題点を有する。そこで本発明はこのような問題
点を解決するもので、その目的とするところは、通過帯
域にリップルの少ない４ｐｏ １ ｅフィルタを製作し
、信号処理に於てひずみの無い通信装置を市場に提供す
ることにある。
［課題を解決するための手段］
本発明のＳＡＷフィルタは、
圧電体平板上に、相隣接して２つのＳＡＷ共振子を構成
し両者の弾性的横結合効果を利用して二重モードフィル
タとし、さらに２段縦続接続したＳＡＷフィルタに於て
、第１段目の二重モードフィルタの出力側と第２段目の
二重モードフィルタの入力側に位置するＳＡＷ共振子の
交差指電極の内、二重モードフィルタのアースに接続す
る共通電極の１部又は全部のものをアースより分離して
浮き電極としたことを特徴とする。
し両者の弾性的横結合効果を利用して二重モードフィル
タとし、さらに２段縦続接続したＳＡＷフィルタに於て
、第１段目の二重モードフィルタの出力側と第２段目の
二重モードフィルタの入力側に位置するＳＡＷ共振子の
交差指電極の内、二重モードフィルタのアースに接続す
る共通電極の１部又は全部のものをアースより分離して
浮き電極としたことを特徴とする。
［作 用］
本発明の上記構成によれば、共通電極の１部又は全部の
電極をアースより分離して浮き電極とすることにより交
差指電極間に形成されていた静電容量を著しく減少させ
ることができる。これによってＳＡＷフィルタの通過帯
域のリップルを低減できる。
電極をアースより分離して浮き電極とすることにより交
差指電極間に形成されていた静電容量を著しく減少させ
ることができる。これによってＳＡＷフィルタの通過帯
域のリップルを低減できる。
［実 施 例１
第１図は本発明の実施例に於るＳＡＷフィルタの電極パ
ターンを示す平面図である１図中各部位の名称は、１０
０は圧電体平板、ｌｏｔは入力端子、１０２は出力端子
、１０３．１０４．１０５．１０６の各々はアース接地
のためのリード線１０７は第１の二重モードフィルタ、
１０８は第２の二重モードフィルタ、１０９，１１０は
第１の二重モードフィルタの反射器、１１１，１１２は
第２の二重モードフィルタの反射器、１１３と１１５は
第１の二重モードフィルタの入出力交差指電極、１１４
は交差指電極の共通電極、１１６と１１９は第２の二重
モードフィルタの入出力交差指電極、１１８は交差指電
極の共通電極、１１７は第１と第２の二重モードフィル
タ間の接続導体、１２１，１２２等は浮き電極である。
ターンを示す平面図である１図中各部位の名称は、１０
０は圧電体平板、ｌｏｔは入力端子、１０２は出力端子
、１０３．１０４．１０５．１０６の各々はアース接地
のためのリード線１０７は第１の二重モードフィルタ、
１０８は第２の二重モードフィルタ、１０９，１１０は
第１の二重モードフィルタの反射器、１１１，１１２は
第２の二重モードフィルタの反射器、１１３と１１５は
第１の二重モードフィルタの入出力交差指電極、１１４
は交差指電極の共通電極、１１６と１１９は第２の二重
モードフィルタの入出力交差指電極、１１８は交差指電
極の共通電極、１１７は第１と第２の二重モードフィル
タ間の接続導体、１２１，１２２等は浮き電極である。
１００の圧電体平板は水晶、Ｌ ｉ Ｔａｇｓ 、 Ｌ
ｉ ＮｂＯ３の圧電材料からなる平板の表面を鏡面研
磨してなる。又圧電体平板上の電極は、Ａｕ２、Ａｕ、
Ａｇ等の金属導体を蒸着、スパッタ等の手段により薄膜
形成した後、写真蝕刻技術によりパターン形成してなる
。反射器１０９と１１０の左半分と交差指電極１１３と
１１４で第１の二重モードフィルタの入力側のＳＡＷ共
振子を構成し、１０９と１１０の右半分と交差指電極１
１５と１１４さらに浮き電極１２１等で出力側のＳＡＷ
共振子を構成する。さらに反射器１１１と１１２の右半
分と交差指電極１１９と１１８で第２の二重モードフィ
ルタの出力側のＳＡＷ共振子を構成し、１１１と１１２
の左半分と交差指電極１１６と１１８さらに浮き電極１
２２の全体で入力側のＳＡＷ共振子を構成している。
ｉ ＮｂＯ３の圧電材料からなる平板の表面を鏡面研
磨してなる。又圧電体平板上の電極は、Ａｕ２、Ａｕ、
Ａｇ等の金属導体を蒸着、スパッタ等の手段により薄膜
形成した後、写真蝕刻技術によりパターン形成してなる
。反射器１０９と１１０の左半分と交差指電極１１３と
１１４で第１の二重モードフィルタの入力側のＳＡＷ共
振子を構成し、１０９と１１０の右半分と交差指電極１
１５と１１４さらに浮き電極１２１等で出力側のＳＡＷ
共振子を構成する。さらに反射器１１１と１１２の右半
分と交差指電極１１９と１１８で第２の二重モードフィ
ルタの出力側のＳＡＷ共振子を構成し、１１１と１１２
の左半分と交差指電極１１６と１１８さらに浮き電極１
２２の全体で入力側のＳＡＷ共振子を構成している。
次に、本発明のＳＡＷフィルタが示す動作特性につき第
２図と第３図を用いて説明する。第２図はＳＡＷ共振子
からなる二重モードフィルタを２段縦続接続した場合の
等価回路図である０図中、２００は交流電源、２０１は
支流電源の内部抵抗、２０２，２１６は補償用インダク
タンス、２０４．２０８．２１１．２１４は各々のＳＡ
Ｗ共振子がもつ動的インダクタンス、２０５，２０６．
２１２，２１３も又各々のＳＡＷ共振子がもつ動的キャ
パシタンス、２０７と２１３は２つのＳＡＷ共振子間の
結合インダクタンスである。
２図と第３図を用いて説明する。第２図はＳＡＷ共振子
からなる二重モードフィルタを２段縦続接続した場合の
等価回路図である０図中、２００は交流電源、２０１は
支流電源の内部抵抗、２０２，２１６は補償用インダク
タンス、２０４．２０８．２１１．２１４は各々のＳＡ
Ｗ共振子がもつ動的インダクタンス、２０５，２０６．
２１２，２１３も又各々のＳＡＷ共振子がもつ動的キャ
パシタンス、２０７と２１３は２つのＳＡＷ共振子間の
結合インダクタンスである。
さらに２０３．２０９．２１０．２１５のＣ。
は、各々の交差指電極と共通電極間で作られる静電容量
である。２１７は終端抵抗である６第２図の全体で４ｐ
○１ｅのＳＡＷフィルクを表わし、ＤＭＦ １とＤＭＦ
２が各々二重モードフィルタであって、同図はこれらの
直接的２段縦続接続状態を示す。２０３と２１５の容量
Ｃｏは、Ｃｏに並列に配置した補償用インダクタンス２
０２と２１６によって並列共振状態を実現して相互にキ
ャンセルしている。しかしながら２０９と２１０の容量
ＣＯは２つの二重モードフィルタを直接接続しているた
めに、前記補償インダクタンスを構成できない。２０９
と２１０のＣｏが存在する場合に於てどのようなフィル
タの動作特性となるかを示したものが、第３図である。
である。２１７は終端抵抗である６第２図の全体で４ｐ
○１ｅのＳＡＷフィルクを表わし、ＤＭＦ １とＤＭＦ
２が各々二重モードフィルタであって、同図はこれらの
直接的２段縦続接続状態を示す。２０３と２１５の容量
Ｃｏは、Ｃｏに並列に配置した補償用インダクタンス２
０２と２１６によって並列共振状態を実現して相互にキ
ャンセルしている。しかしながら２０９と２１０の容量
ＣＯは２つの二重モードフィルタを直接接続しているた
めに、前記補償インダクタンスを構成できない。２０９
と２１０のＣｏが存在する場合に於てどのようなフィル
タの動作特性となるかを示したものが、第３図である。
第３図中、横軸は周波数、縦軸はフィルタの動作減衰量
、Ｓ、 （ｄＢ）である。但し、Ｓｓ ＝２１１］Ｊ
２０ｇ＋ｏ （ｖ＋ ／ｖ２）でありＶ、、Ｖ２は電圧
を示す。図中の曲線３００は２０９と２１０の容量値Ｃ
ｏがＣｏ＝Ｏの状態であり、この時通過帯域は極めて平
坦である。しかしながら前記Ｃ○のもつインピーダンス
１ ／ Ｗ Ｃｏがフィルタの公称インビータンスと同
程度となると曲線３０１の様に通過帯域にリップルが発
生する。前記ＣＯの低減に当って、第１図に示す通り、
出力側ＳＡＷ共振子の共通電極の１部又は全部のものを
根元に於てカットして浮き電極とした。こうすることに
より、従来、交差指電極と共通電極間の数μｍのギャッ
プ間に形成されている前記Ｃｏの１部又は全部を非導通
として分離することができる。結果としてフィルタ特性
は３００に近いものが得られる。
、Ｓ、 （ｄＢ）である。但し、Ｓｓ ＝２１１］Ｊ
２０ｇ＋ｏ （ｖ＋ ／ｖ２）でありＶ、、Ｖ２は電圧
を示す。図中の曲線３００は２０９と２１０の容量値Ｃ
ｏがＣｏ＝Ｏの状態であり、この時通過帯域は極めて平
坦である。しかしながら前記Ｃ○のもつインピーダンス
１ ／ Ｗ Ｃｏがフィルタの公称インビータンスと同
程度となると曲線３０１の様に通過帯域にリップルが発
生する。前記ＣＯの低減に当って、第１図に示す通り、
出力側ＳＡＷ共振子の共通電極の１部又は全部のものを
根元に於てカットして浮き電極とした。こうすることに
より、従来、交差指電極と共通電極間の数μｍのギャッ
プ間に形成されている前記Ｃｏの１部又は全部を非導通
として分離することができる。結果としてフィルタ特性
は３００に近いものが得られる。
［発明の効果］
以上述べたように本発明によれば、第１段目の二重モー
ドフィルタの出力側と第２段目の二重モードフィルタの
入力側に位置するＳＡＷ共振子の交差指電極の内、アー
スに接続する共通電極の１部又は全部を浮き電極とする
ことにより、ＳＡＷ共振子の励振効率を低下させること
なく、段間に付帯する並列容量を著しく低減することが
でき、ＳＡＷフィルタの通過帯域のリップルを改善でき
る。
ドフィルタの出力側と第２段目の二重モードフィルタの
入力側に位置するＳＡＷ共振子の交差指電極の内、アー
スに接続する共通電極の１部又は全部を浮き電極とする
ことにより、ＳＡＷ共振子の励振効率を低下させること
なく、段間に付帯する並列容量を著しく低減することが
でき、ＳＡＷフィルタの通過帯域のリップルを改善でき
る。
第１図は本発明のＳＡＷフィルタの一実施例を示す平面
図。第２図は二重モードフィルタを２個縦続接続した４
ｐｏ １ ｅフィルタの等価回路図。 第３図は第２図フィルタが示す特性図である。 １００・・ ・・・圧電体平板 １０７．１０８・・ＳＡＷ共振子からなる二重モードフ
ィルタ １２１．１２２・・浮き電極 １１３．１１５，１１６，１１９ ・交差指電極 １１４．１１８・・共通電極 １０９．１１０，１１１，１１２ ・・反射器 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴 木 喜三部（化１名）第２図 ！ 第３図
図。第２図は二重モードフィルタを２個縦続接続した４
ｐｏ １ ｅフィルタの等価回路図。 第３図は第２図フィルタが示す特性図である。 １００・・ ・・・圧電体平板 １０７．１０８・・ＳＡＷ共振子からなる二重モードフ
ィルタ １２１．１２２・・浮き電極 １１３．１１５，１１６，１１９ ・交差指電極 １１４．１１８・・共通電極 １０９．１１０，１１１，１１２ ・・反射器 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴 木 喜三部（化１名）第２図 ！ 第３図
Claims (1)
- 圧電体平板上に、相隣接して２つのＳＡＷ共振子を構
成し両者の弾性的横結合効果を利用して二重モードフィ
ルタとし、さらに２段縦続接続したＳＡＷフィルタに於
て、第１段目の二重モードフィルタの出力側と第２段目
の二重モードフィルタの入力側に位置するＳＡＷ共振子
の交差指電極の内、二重モードフィルタのアースに接続
する共通電極の１部又は全部のものをアースより分離し
て浮き電極としたことを特徴とするＳＡＷフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19273490A JPH0481012A (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | Ｓａｗフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19273490A JPH0481012A (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | Ｓａｗフィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0481012A true JPH0481012A (ja) | 1992-03-13 |
Family
ID=16296181
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19273490A Pending JPH0481012A (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | Ｓａｗフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0481012A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5699028A (en) * | 1994-05-11 | 1997-12-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic-wave resonator filter having shifted resonant frequencies |
| US5999068A (en) * | 1997-08-29 | 1999-12-07 | Fujitsu Limited | Surface acoustic wave filter of multi-stage connection type |
| US6121860A (en) * | 1996-05-14 | 2000-09-19 | Fujitsu Limited | Multimode surface acoustic wave filter with a coupling section not being a uniform metal film |
| US7518471B2 (en) * | 2005-04-08 | 2009-04-14 | Epson Toyocom Corporation | Surface acoustic wave filter utilizing a floating electrode |
-
1990
- 1990-07-20 JP JP19273490A patent/JPH0481012A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5699028A (en) * | 1994-05-11 | 1997-12-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic-wave resonator filter having shifted resonant frequencies |
| US6121860A (en) * | 1996-05-14 | 2000-09-19 | Fujitsu Limited | Multimode surface acoustic wave filter with a coupling section not being a uniform metal film |
| US5999068A (en) * | 1997-08-29 | 1999-12-07 | Fujitsu Limited | Surface acoustic wave filter of multi-stage connection type |
| US7518471B2 (en) * | 2005-04-08 | 2009-04-14 | Epson Toyocom Corporation | Surface acoustic wave filter utilizing a floating electrode |
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