JPH01208010A - モノリシツクな格子型弾性表面波フイルタ - Google Patents

モノリシツクな格子型弾性表面波フイルタ

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JPH01208010A
JPH01208010A JP63330749A JP33074988A JPH01208010A JP H01208010 A JPH01208010 A JP H01208010A JP 63330749 A JP63330749 A JP 63330749A JP 33074988 A JP33074988 A JP 33074988A JP H01208010 A JPH01208010 A JP H01208010A
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JP
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saw
filter
dual
coupled
surface acoustic
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Application number
JP63330749A
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Inventor
Robert G Kinsman
ロバート・ジー・キンスマン
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Original Assignee
Motorola Inc
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/64Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6423Means for obtaining a particular transfer characteristic
    • H03H9/6426Combinations of the characteristics of different transducers

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明は、一般的にはバンドパス(帯域)フィルタに関
し、特に、非常に挿入減衰量(損)の小さな改善された
弾性表面波(SAW)バンドパス(帯域)フィルタに関
する。
弾性表面波デバイスは、従来からトランスバーサル型の
フィルタにおいて用いられてきた。弾性表面波フィルタ
の設計において最も重要な要素(素子)となるのはすだ
れ状電極(interdigitaA  transd
ucter)(IDT)である。すなわち、それ(ID
T)によって、電気的な信号は弾性表面波形に変換され
、従って、フィルタインピーダンス及び周波数応答が決
定される。従来型のフィルタ構成においては、パワーは
、発射(βaunching)  トランスデューサに
よって分割されている。(パワーの)半分は通常アブソ
ーバ(吸音材)へ向けて送られ、半分は出力へ伝搬され
る。出カドランスデューサにおいて、信号のいくつかく
多くても半分)は負荷へ伝達され、いくつかはトランス
デユーサを通過しかつ吸収され、かついくつかは反射さ
れている。
出力すだれ状電極(IDT)によって反射された信号が
到達する瞬間において、その入力IDT部分は出力へ反
射されもどされる。2重に反射された信号は出力におい
て検出されかつ通過域(バスバンド)リップルを生ずる
ことになる。
高い挿入減衰量(損)或いはかなりのリップルを有する
との、この問題に対する一つの解決は、すべて電気的な
エネルギーを単一の弾性波に結合するための単一指向性
トランスデユーサを用いることである。しかしながら、
単一指向性トランスデユーサは電極の整相列(フエーイ
ズドアレイ)でできており、通常、1つの波長当り、3
つか或いは4つの電極を用いており、金属電極の多層化
を導入することによって製造プロセスが複雑化する傾向
がある。このような構成はまたフィルタの帯域幅を制限
し、かつ部品の数を増加するかもしれない。
今日、用いられているSAW (弾性表面波)フィルタ
は主として2つの基本的なタイプから構成されている。
すなわち、1)単一の基板上の送信(sending)
及び受信(receving)トランスデユーサを含む
トランスバーサルフィルタ。選択度特性(sejl!c
ti宮y  characteristics)は、ト
ランスデユーサにおけるフィンガーペアの数によって決
定され、かつ、フィンガーの重なる(オーバーラツプす
る)幾何学的寸法、即ち、“重み付け” (“We i
ght ing”)によって決定されている。
挿入減衰ff1(tU)は高くなる傾向がある。なぜな
らば、筒車なトランスデユーサ(、IC双方指向性を有
しており、すなわち、入力パワーの半分ずつは各々は、
2つの反対の方向に送信されている。挿入減衰量(川)
を低くするために種々の方法が設定されている。たとえ
ば、単一指向性トランスデユーサ及び多重エレメントト
ランスデユーサの並列化である。しかしながら、これら
の方法の各々はを、厳密な設計制限(restrict
ions)を有しており、限定された帯域幅及び/或い
は中心周波数範囲(range)にわたってのみ有効と
なる傾向がある。2)最低限、2つの弾性的に結合され
たSAW (弾性表面波)共振器を含む結合(c o 
u p E e d)共振器フィルタ。それらは基本的
にはモノリシツクな結晶フィルタと等価なものである。
結合(coupled)帯域幅は個々の共振器の幾何学
的寸法とそれらの分離(separation)によっ
て制御されている。帯域幅は、相対的に狭い幅に限定さ
れており、かつ設計の最適化のためにはいくつかの反復
(iterations)が必要であることが明らかと
なるで あろう。
発明の要約 本発明の目的は、全格子型(fuβ7!pattice
)回路構成において5AW(弾性表面波)型デバイスを
用いる改善されたバンドパスフィルタを提供することで
ある。
基板上の電気的なりロスオーバーを有することなしに、
単一の基板上においてすべてのデバイス及び(接合)結
合をもったモノリシツクなバンドパスフィルタを提供す
ることもまた本発明の目的の1つである。
本発明の一つの局面(aspect)に従って、バンド
パス(帯域通過)フィルタが提供されている。すなわち
そのバンドパスフィルタは、モノリシツクなピエゾエレ
クトリツク(圧電性)基板と基板上に配列され全格子型
回路構成において結合された第1及び第2のデュアルポ
ートSAW(弾性表面波)デバイスをその構成要素とし
て含んでいる。フィルタの入力の第1のリード線(l 
e ad)は第1及び第2の5AW(弾性表面波)デバ
イスの第2の入力に結合されており、フィルタの入力の
第2のリード線(A e a d)は、第1及び第2の
5AW(弾性表面波)デバイスの第1の入力に結合され
ている。第1のSAWデバイスの第1の入力は、第2の
SAWデバイスの第2の出力に、フィルタ出力の第1の
リード線(j2 e a d)を形成するべく結合され
ている。第2のSAWデバイスの第1の出力は、第1の
SAWデバイスの第2の出力に、第2のフィルタ出力を
形成するべく結合されている。
本発明の別な局面に従って、バンドパスフィルタが提供
されている。即ち、そのバンドパスフィルタは、モノリ
シツクなピエゾエレクトリツク(圧電性)基板及び、基
板上に配列され、カスケード型回路構成において結合さ
れた第1及び第2のセット(set)の素子(e e 
emen t s)をその構成要素として含んでいる。
各々のセット(set)の素子(elements)は
互いに電気的に結合された第1及び第2のデュアルポー
ト5AW(弾性表面波)デバイスをその構成要素として
含んでいる。第1のセット(set)の素子(elem
ents)はフィルタの入力に結合されており、かつ第
2のセット(set)の素子(elements)に結
合されている。第2のセット(set)の素子(ele
ments)はフィルタの出力に結合されている。
発明の概要 本発明は、低い挿入損失■と広い帯域幅範囲を有するモ
ノリシツクな格子型弾性表面波(SAW)帯域通過フィ
ルタに関する。特に、その帯域通過フィルタはモノリシ
ツクなビゾエレトハリツク(圧電性)基板と、その基板
上に配列され、全(Fulll)格子型回路構成に結合
された2つのデュアルポート弾性表面波(SAW)デバ
イスを含んでいる。第2の帯域通過(bandpass
)フィルタ設計において、そのフィルタは、モノリシツ
クな基板と、その基板上において、配列されかつ基板上
における電気的なりロスオーバーが生じないようにカス
ケード型回路構成に結合された2つのセットのデュアル
ポート弾性表面波(SAW)デバイスを含んでいる。
望ましい実施例の詳しい説明 他の、かつさらに別のその利点及び可能性とともに、本
発明をよりよく理解するために、上述の図面と組み合わ
せて、後述の記述及び添付された特許請求の範囲を参照
されるべきである。
弾性表面波(SAW)共振器はある特定のフィルタにお
いて用いられうるある特定のレベルの共振現象を示すこ
とで知られている。しかしながら、フィルタにおいて用
いられる他の弾性表面波(SAW)デバイスにフィルタ
はほとんど知られていない。弾性表面波(SAW)トラ
ンスデューサに関しては、重み付けされない(unwe
ighted)SAWトランスデューサの等(6的な電
気回路が、基本的には、クラオーツクリスタル(qua
rtz  crystal)の等測的な電気回路と同じ
である。2極(two  poke)フィルタはまた結
晶フィルタと同様な類似した方法で設計されうる。提案
されたフィルタにおいて、SAWデバイスは全(Ful
l)格子型回路における個々の共振器として用いられて
いる。第1図は2つのZa素子と2つのzb素子を有す
る。全格子型(fuAE  fattice)型回路を
示している。2極フィルタにおいては、4つの共振器が
必要とされるためこのような全格子型回路構成では、む
しろ非効率的なものとなるであろう。しがしながら、2
つの同等のZa及び2つの同等のZbアームが回路中に
存在するため、一つの共振器を2つの場所において用い
ることが可能である。
このことは、各々の共振器或いはデバイスに対して2つ
の端子(two  ports)を与えることによって
達成できるであろう。
第2図を参照すると、第3図において図示されているよ
うな格子型構成において、或いは、第4図において図示
されているようなカスケード型構成において共振器素子
(resonator  e(l eme n t)と
して用いられうるタイプのデュアルポート弾性表面波(
SAW)トランスデューサが図示されている。
第3図を参照するまでもなく、モノリシツクなピエゾエ
レクトリツク (圧電性)基板である基板11上におい
て配列された(帯域通過)バンドパスフィルタ10が図
示されている。フィルタ10は、基板11上において配
列され、かつ、全格子型回路構成において結合された2
つのデュアルポートSAWデバイス12及び14を含ん
でいる。
フィルタ10の入力(端子)16の第1のリード線はデ
バイス12及びデバイス14のA′として示された第2
の入力(端子)に結合されている。フィルタ10の入力
16の第2のリード線はデバイス12及び14のAとし
て示された第1の入力に結合されている。Bとして示さ
れたデバイス12の第1の出力はBoとして示されたデ
バイス14の第2の出力に、フィルタ出力18の第1の
リード線を形成するために結合されている。Bとして示
されたデバイス14の第1の出力は、フィルタ出力18
の第2のリード線を形成するために、B’&して示され
るデバイス12の第2の出力に結合されている。
第3図において図示されているように、回路内における
素子としてデュアルポートの弾性表面波(SAW)デバ
イスを用いる格子型構成は、フィルタ内における必要な
素子の数を減少し、かつフィルタの全体的な大きさ(s
 i z e)を減少することになる。例えば、デバイ
ス12としてのデュアルポートデバイスは、第1図にお
いて図示された2つのZa素子に対して置換可能である
。1穫(one  pofe)フィルタとして、デバイ
ス12は、2端子(two  port)弾性表面波(
SAW)デバイスとなるであろうし、かつデバイス14
は、2つのキャパシタから構成されているであろう。2
極フィルタにおいては、デバイス12及び14はデュア
ルポート5AWI−ランスデューサか或いはデュアルポ
ートSAW共振器を構成要素として含むであろう。デバ
イス12或いは14或いは両方に対して、複数のSAW
デバイスを並列に結合することによってこのフィルタに
おける極数を増加させることができる。例えば、4極帯
域通過(バンドパス)フィルタは、デバイス12に対し
て並列に結合された2つのデュアルポート弾性表面波(
SAW)トランスデューサ及び、デバイス14に対して
並列に結合された2つのデュアルポート弾性表面波(S
AW)トランスデューサから構成されるように設計でき
るであろう。
フィルタ1oを他の部品(コンポーネント)とインター
フェイス結合するために、入力16及び出力18は外部
的なプッシュブル回路或いは外部的なトランス回路(t
rans  former  circuit)に結合
されうるであろう。
本発明の教示する所をさらに拡張して述べると、基板上
において電気的なりロスオーバーのない、モノリシツク
なSAWフィルタデバイスが提供されている。電気的な
りロスオーバーのないというこの特徴は、より高い周波
数において重要性を増し、かつ(第4図において図示さ
れるような)4極フィルタにおいて与えられている。第
4図において、モノリシツクなピエゾエレクトリツク 
(圧電性)基板から構成された基板31上において形成
されているバンドパス(帯域通過)フィルタ30が図示
されている。フィルタ30は、さらに、基板31上にお
いて配列された第1及び第2のセットの素子から構成さ
れており、かつカスケード型回路構成において結合され
ている。各々のセットの素子は電気的に互いに結合され
ている2つのデュアルポート弾性表面波(SAW)デバ
イスから構成されている。2つのデュアルポートSAW
デバイス32及び34から構成される第1のセットの素
子は、フィルタ30の入力40に結合されていて、かつ
、第2のセットの素子に結合されている。第2のセット
の素子は、2つのデュアルポートSAWデバイス36及
び38から構成されているが、フィルタ30の出力42
に結合されている。もしもより高い周波数に対して、非
常に多くの数の極数を持ったフィルタが必要とされる場
合には基板31上において配列されかつ、カスケード型
回路構成において結合された複数のセットのデュアルポ
ートS A Wデバイスをフィルタ30は含むことにな
るであろう。最大帯域幅よりも低い周波数におけるフィ
ルタに対して例えばキャパシタ44のようないくつかの
キャパシタンスが中央の(center)接合において
必要とされるであろう。これは基板上において付加的な
電極によって供給されうるであろう。フィルタ30の入
力及び出力端子接g (termina t i on
s)は共通の接地点を持つ必要はなく、従って、結合ト
ランス(coup7!ing  transforme
 r s)  少なくともワンボート(One por
t)であることが必要とされるであろう。
さらに第4図を参照すると、デバイス32及び34の出
力は互いに結合されていて、かつデバイス36および3
8の出力もまた互いに結合されている。その2つのセッ
トの素子は、デバイス34の1つの入力とデバイス38
の1つの入力を互いに結合することによって、かつ、第
4図において図示されたように、デバイス32.34.
36及び38の出力を結合することによって、互いに電
気的に結合されている。4極フィルタに対して、第4図
におけるSAWデバイスはデュアルポートの5AWI−
ランスデューサか或いはデュアルポートのSAW共振器
をその構成要素として含むかもしれない。より高いオー
ダー(次元)のフィルタ設計に対しては、デュアルポー
トSAWデバイスは並列に結合された複数のデュアルポ
ートのSAWトランスデユーサをその構成要素として含
むかもしれない。
重み付けされない(unweighted)SAWI−
ランスデューサを用いることに対しては、いくつかの問
題点が存在する。トランスデユーサのりアクタンスは相
対的に線型的に周波数とともに増加する。しかしながら
、等測的な抵抗分(eres is tance)は、
周波数の関数として、ゼロと上限値との間をサイクル的
に変化している。
その特性はフィルタ周波数応答において、リップルを生
ずることになる。この問題を図示するために、ゼロ(0
)dB或いはバターワース(Butterworth)
設計が用いられており、従って、すべてのバスバンド(
通過帯域)リップルはトランスデユーサの変動によって
起因して生じている。2つのトランスデユーサの相対的
な周波数をわずかにシフトすることによって、通過帯域
(バスバンド)リップルを減少させることができるとい
うことが見出されてきた。
この応答(レスポンス)は、第4図において、500本
のフィンガ一対のSAWトランスデユーサを用いる2極
(two  pofe)格子型フィルタに対して示され
ている。1000本のフィンガ一対のトランスデユーサ
を用いるフィルタにおいては、バスバンドリップルは実
質的に減少している。リチウムタンタルオキサイド(L
iTaO:+)上の1000本のフィンガ一対トランス
デユーサを用いる4極カスケード型格子フィルタにおい
て、通過帯域(バスバンド)リップルは減少していた。
このような4極フィルタの設計において、2つの同等な
セクション(sections)、カスケード接続され
かつ2つのセクション(section)の周波数をわ
ずかにくい違いに(Staggering)することに
よって、バスバンド(通過帯域)リップルはもつとも小
さ(することができる。
本発明の1つの実施例において、モノリシツクなSAW
フィルタは、次のパラメータとともに設計されていた。
すなわち、中心周波数100MH2及び3dB帯域幅約
2MHzを存する2極バターワースフィルタ(two 
 pojl’e  Butterworth  f 1
ffter)である。第2図において図示されたタイプ
のデュアルポートSAWトランスデユーサが用いられて
いて、かつそれは、366回転されたYカット(Y  
cut)を有するLiTaO3基板上において製造され
ていた。1つのトランスデユーサ当り500本フィンガ
一対が用いられ、各々のトランスデユーサは約640μ
mの開口寸法(aperature)を有していた。Z
aトランスデユーサ(すなわちデバイス12)の同期周
波数は約98.98 M Hzであり、Zbトランスデ
ューサ(すなわちデバイス14)の同期周波数は約10
0.28MHzであった。端子間抵抗(t e rmi
na t ingres is tance)は約10
Ωであった。トランスデユーサは、スミス(Smith
)らによって、“、 0 モー゛ルを いることによる
すだ−2−ンスー゛ユーサの”(Anai’sis  
 of   Interdi   i   1taff
EE   Trans、on   Microwave
Theory   &  Techniques   
V。
N、MTT−17、No、  11.、Nov、  1
969、において提案されたような“クロスフィールド
” (“cross−f 1eld″)モデルを用いる
ことによって特徴づけられる。
従って、非常に低い挿入減衰量(損)を有する、改善さ
れたモノリシツクな弾性表面波型(SAW)帯域通過(
バンドパス)フィルタについて示され、記述されてきた
。このような設計とともに、多1i (muj!t i
pI!e−poke)フィルタが広い帯域幅の範囲にわ
たって構成されることができる。このような設計はまた
、フィルタにおいて必要とされる素子の数を最小化し、
かつ基板上において電気的なりロスオーバーのないモノ
リシツクなデバイスを提供することになる。このような
特徴はより高い周波数において重要性を増すことが可能
となるであろう。この特別の設計による簡単化(sim
plicity)及びコンパクトさ(compactn
ess)は、セル方式の電話や市外無線電話(trun
ked  radios)に対するフィルタにとって新
しいものである。
本発明の望ましい実施例として今日考えられているもの
について示され、かつ記述されてきたが、添付された特
許請求の範囲によって定義されたような本発明の範囲か
ら逸脱することなしに、種々な変化及び変更がなされる
ことが可能であるのは、5業技術者にとっては当然のこ
とであろう。
【図面の簡単な説明】
第1図は、素子Za及びzbを用いる格子型回路を図示
している。 第2図は、デュアルポートSAW (弾性表面波)トラ
ンスデユーサを図示している。 第3図は、本発明の教示する所に従って設計された2つ
のデュアルポートSAWデバイスを有する格子型回路を
示している。 第4図は、本発明の教示する所に従う、デュアルポート
デバイスを用いる。4極(four  pode)カス
ケード(cascaded)フィルタを図示している。 第5図は、本発明の教示する所に従う、2極(two 
 poffe)格子型フィルタに対する周波数応答(レ
スポンス)を図示している。 第3図において、 10はバンドパスフィルタ 11は圧電性基板 12.14はデュアルポートSAWデバイス16は入力 18は出力 A、 A’は入力 B、B’は出力 第4図において、 30はバンドパスフィルタ 31は基板 32.34,36.38はデュアルポートSAWデバイ
ス 40は入力 42は出力 44はキャパシタンス 特許出願人 モトローラ・インコーボレーテッド代理人
 弁理士 玉 蟲 久 五 部

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1.  1.モノリシックなビエゾエレクトリツク基板と、前
    記基板上に配列され、かつ全格子型回路構成に結合され
    た第1及び第2デュアルポートSAWデバイスを具備し
    、前記フィルタの入力の第1のリード線は、前記第1及
    び第2のSAWデバイスの第2の入力に結合され、前記
    フィルタの入力の第2のリード線は、前記第1および第
    2のデバイスの第1の入力に結合され、前記第1のデバ
    イスの第1のデバイスの第1の出力は、前記第2のデバ
    イスの第2の出力へ結合され、フィルタ出力の第1のリ
    ード線(lead)を形成し、かつ前記第2のデバイス
    の第1の出力は、前記第1のデバイスの第2の出力へ結
    合され、フィルタ出力の第2のリード線(lead)を
    形成する如く構成された帯域通過フィルタ。
  2.  2.前記デュアルポートSAWデバイスは、デュアル
    ポートSAWトランスデューサから構成されている、特
    許請求の範囲第1項記載の帯域通過フィルタ。
  3.  3.前記デュアルポートSAWデバイスは、デュアル
    ポートSAW共振器から構成されている、特許請求の範
    囲第1項記載の帯域通過フィルタ。
  4.  4.前記第1のデュアルポートSAWデバイスは、並
    列に結合された2つのデュアルポート弾性表面波(SA
    W)トランスデューサによつて構成されている、特許請
    求の範囲第1項記載の帯域通過フィルタ。
  5.  5.前記第1の弾性表面波(SAW)デバイスは、並
    列に結合された複数のデュアルポート弾性表面波(SA
    W)トランスデューサから構成され、かつ前記第2の弾
    性表面波(SAW)デバイスが並列に結合された複数の
    デュアルポート弾性表面波(SAW)トランスデューサ
    から構成されている、特許請求の範囲第1項に記載の帯
    域通過フィルタ。
  6. 6.前記第2のデュアルポートSAWデバイスは、2つ
    のキャパシタから構成されている、特許請求の範囲第2
    項に記載の帯域通過フィルタ。
  7. 7.前記フィルタの入力及び出力は、外部のプッシュブ
    ル回路に結合されている、特許請求の範囲第1項記載の
    帯域通過フィルタ。
  8. 8.前記フィルタは、バスバンド(通過帯域)リップル
    を最小化するための周波数をシフトさせた4極フィルタ
    である、特許請求の範囲第4項記載の帯域通過フィルタ
  9. 9.モノリシックなピエゾエレクトリツク(圧電性)基
    板と、前記基板上において配列されかつカスケード回路
    構成に結合され、前記素子の各セットの各々は、電気的
    に互いに結合された第1及び第2のデュアルポートの弾
    性表面波(SAW)デバイスから構成され、前記第1の
    セットの素子は前記フィルタの入力に結合され、かつ前
    記第2のセットの素子に結合され、前記第2のセットの
    素子は前記フィルタの出力に結合されている第1、第2
    セットの素子、を具える帯域通過フィルタ。
  10. 10.各々、前記第1及び第2のセットの素子の前記第
    1及び第2の弾性表面波(SAW)デバイスの出力は、
    互いに結合されていて、かつ、前記第1及び第2のセッ
    トの素子は、各々の前記第2の弾性表面波(SAW)デ
    バイスの1つの入力を結合することによつて、しかも前
    記弾性表面波(SAW)デバイスの出力を結合すること
    によつて電気的に結合されている、特許請求の範囲第9
    項記載の帯域通過フィルタ。
  11. 11.前記フィルタが、前記基板上に配列されかつカス
    ゲート型回路構成に結合された複数のセットのデュアル
    ポート弾性表面波(SAW)デバイスを含んでいる、特
    許請求の範囲第10項記載の帯域通過フィルタ。
  12. 12.前記デュアルポート弾性表面波(SAW)デバイ
    スは、デュアルポート弾性表面波(SAW)トランスデ
    ューサから構成されている、特許請求の範囲第10項に
    記載の帯域通過フィルタ。
  13. 13.前記デュアルポート弾性表面波(SAW)デバイ
    スデュアルポート弾性表面波(SAW)共振器から構成
    されている、特許請求の範囲第10項に記載の帯域通過
    フィルタ。
  14. 14.前記第1のデュアルポート弾性表面波(SAW)
    デバイスは、並列に結合された2つのデュアルポート弾
    性表面波(SAW)トランスデューサから構成されてい
    る、特許請求の範囲第10項記載の帯域通過(バンドパ
    ス)フィルタ。
  15. 15.前記第1の弾性表面波(SAW)デバイスは、並
    列に結合された複数のデュアルポート弾性表面波(SA
    W)トランスデューサから構成され、かつ前記第2の弾
    性表面波(SAW)デバイスが並列された複数のデュア
    ルポート弾性表面波(SAW)トランスデューサから構
    成されている、特許請求の範囲第10項記載の帯域通過
    フィルタ。
  16. 16.前記カスケード接続された第1及び第2のセット
    の素子の間にキヤパシテイブな(容量性の)素子が含ま
    れている、特許請求の範囲第10項に記載の帯域通過フ
    ィルタ。
  17. 17.前記フィルタは前記2つのセットの素子において
    、通過帯域リップルを最小化するためにシフトされた周
    波数を有する4極フィルタである、特許請求の範囲第1
    4項記載の帯域通過フィルタ。
JP63330749A 1987-12-30 1988-12-27 モノリシツクな格子型弾性表面波フイルタ Pending JPH01208010A (ja)

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