JP3209042B2 - マッハツェンダ光回路 - Google Patents
マッハツェンダ光回路Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、導波路型光部品に関
し、特にマッハツェンダ光回路に関する。
し、特にマッハツェンダ光回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】波長多重伝送（Wavelength Division Mu
lti/demultiplexing:WDM）は、光通信容量を大幅に増加
することができ、柔軟性のあるシステムを構築できるた
め、今後の通信システムとして有望視されている。さら
に容量を上げるため、チャネル間隔の狭い波長を多重す
る狭帯域ＷＤＭ (Dense WDM or FDM(Frequency Divisio
nMulti/demultiplexing)) が注目されている。このシス
テムは異なる２波長（周波数）の光を合分波する光合分
波器が不可欠であり、石英系ガラス導波路を用いたマッ
ハツェンダ光回路が有望視されている。
lti/demultiplexing:WDM）は、光通信容量を大幅に増加
することができ、柔軟性のあるシステムを構築できるた
め、今後の通信システムとして有望視されている。さら
に容量を上げるため、チャネル間隔の狭い波長を多重す
る狭帯域ＷＤＭ (Dense WDM or FDM(Frequency Divisio
nMulti/demultiplexing)) が注目されている。このシス
テムは異なる２波長（周波数）の光を合分波する光合分
波器が不可欠であり、石英系ガラス導波路を用いたマッ
ハツェンダ光回路が有望視されている。
【０００３】図５は従来のマッハツェンダ光回路の平面
図を示す図であり、図６はそのＡ−Ａ線断面図である。
図を示す図であり、図６はそのＡ−Ａ線断面図である。
【０００４】図５及び図６に示すように、基板２１上に
はバッファ層２２が形成され、バッファ層２２の上には
コア２３ａ，２３ｂ及びクラッド２４からなる２本の入
力導波路１１ａ，１１ｂが形成されている。両入力導波
路１１ａ，１１ｂは入力側方向性結合器（３ｄＢ方向性
結合器）１３ａの入力端にそれぞれ接続されており、入
力側方向性結合器１３ａの出力端にはΔＬだけ長さが異
なった２本の導波路（以下「アーム」という。）１５，
１６が接続されている。
はバッファ層２２が形成され、バッファ層２２の上には
コア２３ａ，２３ｂ及びクラッド２４からなる２本の入
力導波路１１ａ，１１ｂが形成されている。両入力導波
路１１ａ，１１ｂは入力側方向性結合器（３ｄＢ方向性
結合器）１３ａの入力端にそれぞれ接続されており、入
力側方向性結合器１３ａの出力端にはΔＬだけ長さが異
なった２本の導波路（以下「アーム」という。）１５，
１６が接続されている。
【０００５】一方（図の上方）のアーム１５の上にはヒ
ータ１７が設けられている。これらアーム１５，１６及
びヒータ１７で位相シフト部１４ａが形成されている。
両アーム１５，１６は出力側方向性結合器（３ｄＢ方向
性結合器）１３ｂの入力端に接続され、出力側方向性結
合器１３ｂの出力端は２本の出力導波路１２ａ，１２ｂ
にそれぞれ接続されている。
ータ１７が設けられている。これらアーム１５，１６及
びヒータ１７で位相シフト部１４ａが形成されている。
両アーム１５，１６は出力側方向性結合器（３ｄＢ方向
性結合器）１３ｂの入力端に接続され、出力側方向性結
合器１３ｂの出力端は２本の出力導波路１２ａ，１２ｂ
にそれぞれ接続されている。
【０００６】このようなマッハツェンダ光回路におい
て、入力ポートの一つであるポート１に波長λ1 、λ2
の光が入力した場合を考える。
て、入力ポートの一つであるポート１に波長λ1 、λ2
の光が入力した場合を考える。
【０００７】光は入力側方向性結合器１３ａにより、
１：１に分岐されそれぞれアーム１５、アーム１６を伝
搬する。アーム１５はアーム１６と比較してΔＬだけ長
いため位相ずれが生じる。両アーム１５，１６を伝搬し
た光が再び出力側方向性結合器１３ｂに結合されると光
干渉により、波長λ1 の光はポート３より、波長λ2 の
光はポート４より出力する。このときの分波条件は数１
式によって与えられる。
１：１に分岐されそれぞれアーム１５、アーム１６を伝
搬する。アーム１５はアーム１６と比較してΔＬだけ長
いため位相ずれが生じる。両アーム１５，１６を伝搬し
た光が再び出力側方向性結合器１３ｂに結合されると光
干渉により、波長λ1 の光はポート３より、波長λ2 の
光はポート４より出力する。このときの分波条件は数１
式によって与えられる。
【０００８】
【数１】Δλ＝λ1 −λ2 ＝λ1 ・λ2 ／（２・ｎeff
・ΔＬ） （但し、ｎeff ：アームの等価屈折率、ΔＬ：両アーム
の導波路長差） 通常、狭帯域ＷＤＭにおいては、Δλは０．０１ｎｍ〜
１ｎｍである。
・ΔＬ） （但し、ｎeff ：アームの等価屈折率、ΔＬ：両アーム
の導波路長差） 通常、狭帯域ＷＤＭにおいては、Δλは０．０１ｎｍ〜
１ｎｍである。
【０００９】ｎeff は約１．４７（石英ガラス製のアー
ムの場合） 波長λ1 、λ2 は約１．５５μｍとすると、数１式より
ΔＬは０．８ｍｍ〜８２ｍｍとなる。このようにΔＬが
比較的大きな値となるため、アームを構成する石英ガラ
スの温度による屈折率変化（ｄＮ／ｄＴが約１×１
０-6：Ｎは屈折率、Ｔは温度）及び線膨張係数（約０．
３５×１０-6／℃）の影響を受けやすく、分波される光
の波長λ1 、λ2 が温度によって変化する。
ムの場合） 波長λ1 、λ2 は約１．５５μｍとすると、数１式より
ΔＬは０．８ｍｍ〜８２ｍｍとなる。このようにΔＬが
比較的大きな値となるため、アームを構成する石英ガラ
スの温度による屈折率変化（ｄＮ／ｄＴが約１×１
０-6：Ｎは屈折率、Ｔは温度）及び線膨張係数（約０．
３５×１０-6／℃）の影響を受けやすく、分波される光
の波長λ1 、λ2 が温度によって変化する。
【００１０】一例として、マッハツェンダ光回路の温度
に対する波長損失特性の変化を図７に示す。同図におい
て、横軸は波長を示し、縦軸は損失を示している。分波
間隔Δλは０．１ｎｍである。例えば周囲温度が１０℃
上昇すると、波長損失特性は、長波長側に０．０２ｎｍ
シフトする。
に対する波長損失特性の変化を図７に示す。同図におい
て、横軸は波長を示し、縦軸は損失を示している。分波
間隔Δλは０．１ｎｍである。例えば周囲温度が１０℃
上昇すると、波長損失特性は、長波長側に０．０２ｎｍ
シフトする。
【００１１】このため、図５に示したような従来のマッ
ハツェンダ光回路においては、Ｃｒ等からなる金属膜を
一方のアーム上に形成したヒータに電流を流し、このと
きに生じる熱により合分波波長を制御する必要があっ
た。
ハツェンダ光回路においては、Ｃｒ等からなる金属膜を
一方のアーム上に形成したヒータに電流を流し、このと
きに生じる熱により合分波波長を制御する必要があっ
た。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のマッハツェンダ光回路は、合分波波長を制御す
るのにヒータを加熱するため電力供給が必要であり経済
的ではない。特に、マッハツェンダ光回路を多数集積化
した場合、その消費電力は数十ワットにもなり、実用的
なシステムでは使用が困難となってしまう。
た従来のマッハツェンダ光回路は、合分波波長を制御す
るのにヒータを加熱するため電力供給が必要であり経済
的ではない。特に、マッハツェンダ光回路を多数集積化
した場合、その消費電力は数十ワットにもなり、実用的
なシステムでは使用が困難となってしまう。
【００１３】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、温度に対して安定に波長合分波でき、しかもヒータ
加熱が不要なマッハツェンダ光回路を提供することにあ
る。
し、温度に対して安定に波長合分波でき、しかもヒータ
加熱が不要なマッハツェンダ光回路を提供することにあ
る。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、基板上に形成され、断面矩形状のコアとこ
のコアの周囲をコアよりも屈折率の小さいクラッドで埋
め込んだ構造の単一モードチャネル導波路より構成さ
れ、長さの異なった２本のチャネル導波路からなる位相
シフト部の両端に、２本の平行なチャネル導波路からな
る２つの方向性結合器が接続されてなる導波路型のマッ
ハツェンダ光回路において、少なくとも位相シフト部の
クラッドが一部除去されその除去された領域に屈折率の
温度係数が負の材料からなる負屈折率材が設けられてい
るものである。
に本発明は、基板上に形成され、断面矩形状のコアとこ
のコアの周囲をコアよりも屈折率の小さいクラッドで埋
め込んだ構造の単一モードチャネル導波路より構成さ
れ、長さの異なった２本のチャネル導波路からなる位相
シフト部の両端に、２本の平行なチャネル導波路からな
る２つの方向性結合器が接続されてなる導波路型のマッ
ハツェンダ光回路において、少なくとも位相シフト部の
クラッドが一部除去されその除去された領域に屈折率の
温度係数が負の材料からなる負屈折率材が設けられてい
るものである。
【００１５】上記構成に加え本発明は、コアと負屈折率
材との間のクラッドの厚さが０μｍから２０μｍの間の
大きさとしたものである。
材との間のクラッドの厚さが０μｍから２０μｍの間の
大きさとしたものである。
【００１６】上記構成に加え本発明は、負屈折率材とし
てＴｉＯ2 等の酸化物を用いてもよい。
てＴｉＯ2 等の酸化物を用いてもよい。
【００１７】上記構成に加え本発明は、負屈折率材とし
てフォトポリマを用いてもよい。
てフォトポリマを用いてもよい。
【００１８】上記構成に加え本発明は、負屈折率材とし
て多成分ガラスを用いてもよい。
て多成分ガラスを用いてもよい。
【００１９】
【作用】上記構成によれば、位相シフト部の導波路の屈
折率の温度係数は正であり、クラッドが一部除去されそ
の除去された領域に設けられた負屈折率材の温度係数が
負であるため、温度が上昇しても降下しても温度係数が
互いにキャンセルされて全体としては温度係数が非常に
小さくなり光回路の動作が温度変化に対して安定にな
る。このためヒータで導波路を加熱する必要がなくな
る。
折率の温度係数は正であり、クラッドが一部除去されそ
の除去された領域に設けられた負屈折率材の温度係数が
負であるため、温度が上昇しても降下しても温度係数が
互いにキャンセルされて全体としては温度係数が非常に
小さくなり光回路の動作が温度変化に対して安定にな
る。このためヒータで導波路を加熱する必要がなくな
る。
【００２０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。
て詳述する。
【００２１】図１は本発明のマッハツェンダ光回路の一
実施例の平面図であり、図２はそのＢ−Ｂ線断面図であ
る。尚、従来例と同様の部材には共通の符号を用いた。
実施例の平面図であり、図２はそのＢ−Ｂ線断面図であ
る。尚、従来例と同様の部材には共通の符号を用いた。
【００２２】図１及び図２に示すように、石英（あるい
はＳｉ）からなる基板２１上にはバッファ層２２が形成
され、バッファ層２２の上にはコア２３ａ，２３ｂ及び
クラッド２４からなる２本の入力導波路１１ａ，１１ｂ
が形成されている。両入力導波路１１ａ，１１ｂは入力
側方向性結合器１３ａの入力端にそれぞれ接続されてお
り、入力側方向性結合器１３ａの出力端にはΔＬだけ長
さが異なった２本のアーム１５，１６が接続されてい
る。
はＳｉ）からなる基板２１上にはバッファ層２２が形成
され、バッファ層２２の上にはコア２３ａ，２３ｂ及び
クラッド２４からなる２本の入力導波路１１ａ，１１ｂ
が形成されている。両入力導波路１１ａ，１１ｂは入力
側方向性結合器１３ａの入力端にそれぞれ接続されてお
り、入力側方向性結合器１３ａの出力端にはΔＬだけ長
さが異なった２本のアーム１５，１６が接続されてい
る。
【００２３】一方のアーム１５の上にはフォトポリマか
らなる負屈折率材２５が設けられている。この負屈折率
材２５はクラッド２４の一部をエッチングして得られた
溝に挿入されている。エッチング方法としては反応性エ
ッチングを用いた。これらアーム１５，１６及び負屈折
率材２５で位相シフト部１４ｂが形成されている。
らなる負屈折率材２５が設けられている。この負屈折率
材２５はクラッド２４の一部をエッチングして得られた
溝に挿入されている。エッチング方法としては反応性エ
ッチングを用いた。これらアーム１５，１６及び負屈折
率材２５で位相シフト部１４ｂが形成されている。
【００２４】負屈折率材２５の屈折率の温度係数（ｄＮ
／ｄＴ：Ｎは屈折率、Ｔは温度）は−１×１０-4と石英
ガラス製の導波路２３ａ（１１ａ）の温度係数（ｄＮ／
ｄＴ）１×１０-6と比べて二桁大きい値となっている。
／ｄＴ：Ｎは屈折率、Ｔは温度）は−１×１０-4と石英
ガラス製の導波路２３ａ（１１ａ）の温度係数（ｄＮ／
ｄＴ）１×１０-6と比べて二桁大きい値となっている。
【００２５】両アーム１５，１６は出力側方向性結合器
１３ｂの入力端に接続され、出力側方向性結合器１３ｂ
の出力端は２本の出力導波路１２ａ，１２ｂにそれぞれ
接続されている。
１３ｂの入力端に接続され、出力側方向性結合器１３ｂ
の出力端は２本の出力導波路１２ａ，１２ｂにそれぞれ
接続されている。
【００２６】次に実施例の作用を述べる。
【００２７】マッハツェンダ光回路の温度に対する波長
損失特性の変化は、アーム１５，１６を構成する石英ガ
ラスの温度による屈折率変化（ｄＮ／ｄＴが約１×１０
-6：Ｎは屈折率、Ｔは温度）及び線膨張係数（約０．３
５×１０-6／℃）により、位相シフト部１４ｂにおける
２つのアーム１５，１６間の位相差Φが変化することに
起因する。この変化は数２式によって与えられる。
損失特性の変化は、アーム１５，１６を構成する石英ガ
ラスの温度による屈折率変化（ｄＮ／ｄＴが約１×１０
-6：Ｎは屈折率、Ｔは温度）及び線膨張係数（約０．３
５×１０-6／℃）により、位相シフト部１４ｂにおける
２つのアーム１５，１６間の位相差Φが変化することに
起因する。この変化は数２式によって与えられる。
【００２８】
【数２】ΔΦ／ΔＴ＝２π・ΔＬ／λ・（ｎeff／ΔＬ
・（ｄΔＬ／ｄＴ）＋（ｄｎeff／ｄＴ）） ここで、ｎeff ：アームの等価屈折率 ΔＬ ：両アームの導波路長差 λ ：波長 Ｔ ：温度 数２式の括弧内の第１項は石英ガラスの線膨張係数（約
０．３５×１０-6／℃）による変化を表わし、第２項は
石英ガラスの温度による屈折率変化（熱光学効果）を表
わす。従来例では第１項の符号と第２項の符号とが同符
号であるため、温度に対して変化することになる。従来
の場合の波長損失特性のシフト量を数２式を用いて求め
ると、分波間隔Δλが０．１ｎｍ（ΔＬが約８３００μ
ｍ）、温度が１０℃変化した場合は、０．０２ｎｍとな
り、図７に示した実験結果と一致する。
・（ｄΔＬ／ｄＴ）＋（ｄｎeff／ｄＴ）） ここで、ｎeff ：アームの等価屈折率 ΔＬ ：両アームの導波路長差 λ ：波長 Ｔ ：温度 数２式の括弧内の第１項は石英ガラスの線膨張係数（約
０．３５×１０-6／℃）による変化を表わし、第２項は
石英ガラスの温度による屈折率変化（熱光学効果）を表
わす。従来例では第１項の符号と第２項の符号とが同符
号であるため、温度に対して変化することになる。従来
の場合の波長損失特性のシフト量を数２式を用いて求め
ると、分波間隔Δλが０．１ｎｍ（ΔＬが約８３００μ
ｍ）、温度が１０℃変化した場合は、０．０２ｎｍとな
り、図７に示した実験結果と一致する。
【００２９】本実施例の場合は、屈折率の温度係数（ｄ
Ｎ／ｄＴ）が負である材料からなる負屈折率材２５をア
ーム１５上に設けることにより、数２式の第１項と第２
項とをキャンセルすることができるため、温度に対して
安定な動作が可能となる。
Ｎ／ｄＴ）が負である材料からなる負屈折率材２５をア
ーム１５上に設けることにより、数２式の第１項と第２
項とをキャンセルすることができるため、温度に対して
安定な動作が可能となる。
【００３０】すなわち、位相シフト部１４ｂの導波路の
屈折率の温度係数は正であり、アーム１５上に設けられ
た負屈折率材２５の温度係数が負であるため、温度が上
昇しても降下しても温度係数が互いにキャンセルされて
全体としては温度係数が非常に小さくなりマッハツェン
ダ光回路の動作が温度変化に対して安定になる。このた
め従来のようにヒータ１７でアーム１５を加熱して屈折
率を制御する必要がなくなる。
屈折率の温度係数は正であり、アーム１５上に設けられ
た負屈折率材２５の温度係数が負であるため、温度が上
昇しても降下しても温度係数が互いにキャンセルされて
全体としては温度係数が非常に小さくなりマッハツェン
ダ光回路の動作が温度変化に対して安定になる。このた
め従来のようにヒータ１７でアーム１５を加熱して屈折
率を制御する必要がなくなる。
【００３１】ここで、一例としてフォトポリマからなる
負屈折率材をアーム１５上に設けたときの温度に対する
波長損失特性を図３に示す。同図において横軸は波長を
示し、縦軸は損失を示している。この場合、コア２３ａ
の上端から負屈折率材２５の下端までのクラッド厚ｔを
１０μｍとした。従来のものと異なり、温度が１０℃変
化しても波長損失特性はほとんどシフトせず安定な動作
を確認することができた。
負屈折率材をアーム１５上に設けたときの温度に対する
波長損失特性を図３に示す。同図において横軸は波長を
示し、縦軸は損失を示している。この場合、コア２３ａ
の上端から負屈折率材２５の下端までのクラッド厚ｔを
１０μｍとした。従来のものと異なり、温度が１０℃変
化しても波長損失特性はほとんどシフトせず安定な動作
を確認することができた。
【００３２】次に最適条件について説明する。
【００３３】図４に温度が１０℃変化したときのクラッ
ド厚と波長損失のシフト量との関係を示す。同図におい
て横軸がクラッド厚を示し、縦軸がシフト量を示してい
る。
ド厚と波長損失のシフト量との関係を示す。同図におい
て横軸がクラッド厚を示し、縦軸がシフト量を示してい
る。
【００３４】同図よりクラッド厚が２０μｍ以上では負
屈折率材２５の長さＬを増しても、ほとんど効果がない
ことがわかる。また負屈折率材２５を設ける部分の長さ
とクラッド２４の厚さを適正化することにより、温度に
対するシフト量を略「０」にすることができることを確
認した。
屈折率材２５の長さＬを増しても、ほとんど効果がない
ことがわかる。また負屈折率材２５を設ける部分の長さ
とクラッド２４の厚さを適正化することにより、温度に
対するシフト量を略「０」にすることができることを確
認した。
【００３５】尚、本実施例では負屈折率材２５としてフ
ォトポリマを用いたが、これに限定されるものではな
く、ＴｉＯ2 等の酸化物や多成分ガラス等温度係数が負
であれば他の材料を用いてもよい。また、負屈折率材を
クラッドが一部除去されその除去された領域に設ける代
わりに導波路を形成する基板２１自体が負屈折率材で構
成されていてもよい。
ォトポリマを用いたが、これに限定されるものではな
く、ＴｉＯ2 等の酸化物や多成分ガラス等温度係数が負
であれば他の材料を用いてもよい。また、負屈折率材を
クラッドが一部除去されその除去された領域に設ける代
わりに導波路を形成する基板２１自体が負屈折率材で構
成されていてもよい。
【００３６】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
な優れた効果を発揮する。
【００３７】少なくとも位相シフト部のクラッドが一部
除去されその除去された領域に屈折率の温度係数が負の
材料からなる負屈折率材を設けたので、温度に対して安
定に波長合分波でき、しかもヒータ加熱が不要なマッハ
ツェンダ光回路を実現することができる。
除去されその除去された領域に屈折率の温度係数が負の
材料からなる負屈折率材を設けたので、温度に対して安
定に波長合分波でき、しかもヒータ加熱が不要なマッハ
ツェンダ光回路を実現することができる。
【図１】本発明のマッハツェンダ光回路の一実施例の平
面図である。
面図である。
【図２】図１のＢ−Ｂ線断面図である。
【図３】フォトポリマからなる負屈折率材をアーム上に
設けたときの温度に対する波長損失特性を示す図であ
る。
設けたときの温度に対する波長損失特性を示す図であ
る。
【図４】温度が１０℃変化したときのクラッド厚と波長
損失のシフト量との関係を示す図である。
損失のシフト量との関係を示す図である。
【図５】従来のマッハツェンダ光回路の平面図を示す図
である。
である。
【図６】図５のＡ−Ａ線断面図である。
【図７】マッハツェンダ光回路の温度に対する波長損失
特性の変化を示す図である。
特性の変化を示す図である。
２１ 基板 １３ａ 方向性結合器（入力側方向性結合器） １３ｂ 方向性結合器（出力側方向性結合器） １４ｂ 位相シフト部 １５，１６ 導波路（アーム） ２３ａ，２３ｂ コア（導波路） ２４ クラッド ２５ 負屈折率材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−74909（ＪＰ，Ａ) 実開 昭60−104821（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 6/12 - 6/14 G02F 1/00 - 1/125 G02F 1/29 - 7/00 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (6)
- 【請求項１】 基板上に形成され、断面矩形状のコアと
このコアの周囲をコアよりも屈折率の小さいクラッドで
埋め込んだ構造の単一モードチャネル導波路より構成さ
れ、長さの異なった２本のチャネル導波路からなる位相
シフト部の両端に、２本の平行なチャネル導波路からな
る２つの方向性結合器が接続されてなる導波路型のマッ
ハツェンダ光回路において、少なくとも上記位相シフト
部のクラッドが一部除去されその除去された領域に屈折
率の温度係数が負の材料からなる負屈折率材が設けられ
ていることを特徴とするマッハツェンダ光回路。 - 【請求項２】 上記コアと上記負屈折率材との間のクラ
ッドの厚さが０μｍから２０μｍの間の大きさである請
求項１記載のマッハツェンダ光回路。 - 【請求項３】 上記負屈折率材として導波路のコアより
屈折率の小さい材料を用いた請求項１又は２記載のマッ
ハツェンダ光回路。 - 【請求項４】 上記負屈折率材としてＴｉＯ2 等の酸化
物を用いた請求項１から３のいずれか一項記載のマッハ
ツェンダ光回路。 - 【請求項５】 上記負屈折率材としてフォトポリマを用
いた請求項１から３のいずれか一項記載のマッハツェン
ダ光回路。 - 【請求項６】 上記負屈折率材として多成分ガラスを用
いた請求項１から３のいずれか一項記載のマッハツェン
ダ光回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14064895A JP3209042B2 (ja) | 1995-06-07 | 1995-06-07 | マッハツェンダ光回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14064895A JP3209042B2 (ja) | 1995-06-07 | 1995-06-07 | マッハツェンダ光回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08334639A JPH08334639A (ja) | 1996-12-17 |
| JP3209042B2 true JP3209042B2 (ja) | 2001-09-17 |
Family
ID=15273548
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14064895A Expired - Fee Related JP3209042B2 (ja) | 1995-06-07 | 1995-06-07 | マッハツェンダ光回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3209042B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6304687B1 (en) | 1997-02-14 | 2001-10-16 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Optical waveguide circuit, its manufacturing method and optical waveguide module having the optical waveguide circuit |
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1995
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08334639A (ja) | 1996-12-17 |
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