JP3208795B2 - 透明物品およびその製造方法 - Google Patents

透明物品およびその製造方法

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JP3208795B2
JP3208795B2 JP20680491A JP20680491A JP3208795B2 JP 3208795 B2 JP3208795 B2 JP 3208795B2 JP 20680491 A JP20680491 A JP 20680491A JP 20680491 A JP20680491 A JP 20680491A JP 3208795 B2 JP3208795 B2 JP 3208795B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、透明基板の表面に薄膜
が被覆された透明物品およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来技術】従来ガラスやプラスチックスのような透明
基板上に薄膜を被覆して、種々の光学特性を付与した透
明物品が知られている。えば太陽光線の一部を遮蔽す
る熱線遮蔽ガラスや波長選択性を有する光学干渉フ
ルター、さらに反射鏡、反射防止ガラスパネルなどがあ
る。これらの透明物品の薄膜は優れた光学性能が要求
され、また厳密な膜の厚みの制御が必要であることか
ら、真空蒸着やスパッタリングのような真空成膜法で被
覆される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら真空成
膜法で被覆した薄膜を有する透明物品は、その耐久性と
りわけ機械的摩耗強度が大きくないという問題点があ
る。摩耗強度が大きいとされているTiO2SnO2
ZrO2膜やSiO2膜などの酸化物の膜を保護膜と
した光学物品が知られているが、自動車や建築物の窓ガ
ラスのように長期間耐摩耗強度が必要とされる物品に
は、必ずしも充分な耐摩耗強度を有していない。
【0004】 えば、SiO2膜を保護膜に用いたもの
としては特開昭63−206333号公報に開示され
ているように耐摩耗強度を確保するために1μm以上
の厚みのSiO2膜を被覆した透明物品がある。しかし
この物品を製造するには多大の被膜の被覆時間を有し
生産性が悪く、安価に製造できないという問題点があ
る。
【0005】 本発明は、上記従来の問題点を解決するた
めになされたものであって、スクラッチなどの機械的な
摩耗に対する十分な強度を有する保護膜が被覆された透
明物品、およびその製造方法を提供するものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、透明基板上に
少なくとも層からなる薄膜が被覆され、前記薄膜の上
にさらに保護膜が形成された透明物品において、 前記保
護膜は、下記の元素群から選ばれた少なくとも1種と、
窒素と炭素と酸素とからなる複合化合物で、かつ、下記
の化学式で表した組成を有することを特徴とする透明物
品。 元素群:B,Al,Si,Ti,V,Cr、Zr,N
b,Mo,Hf,Ta,W 化学式:MNXYZ(Mは上記元素群から選ばれた少
なくとも1種の合計であり、添え字は原子比率を表す) 1.0≧Z≧0.21.5≧Z/(X+Y)≧0.4、X>0、Y>0
【0007】 本発明の透明物品の保護膜は、B,Al,
Si,Ti,V,Cr,Zr,Nb,Mo,Hf,T
a,Wのそれぞれの炭化物膜窒化物膜が有する高硬度
の特性とB,Al,Si,Ti,V,Cr,Zr,N
b,Mo,Hf,Ta,Wのそれぞれの酸化物膜が有す
る可視光線の波長域での透明性を合わせもっている。
【0008】 本発明の保護膜中には必ず酸素と炭素と
窒素が含まれる。上記の化学式MNXYZで表せる保
護膜の酸素の含有量を表すZの値は、0.2より小さい
と保護膜の透明度と耐摩耗強度が低下してしまう。一方
Zの値が1.0より大きいと保護膜の硬度が低下する。
【0009】 したがって可視光線の領域で光の吸収を
小さくし、かつ摩耗強度を十分確保するためには、Zの
値は0.2以上で1.0以下であることが必要である。
可視光線域の波長に対して光の吸収が実質上ないよう
にして可視光線透過率大きくするには、Zの値は0.4
以上とするのが好ましい。
【0010】 保護膜中の窒素と炭素の合計量に対する酸
素量の原子比はZ/(X+Y)で表すことができ、Z
/(X+Y)の値は、保護膜が柱状構造をとったり、大
きな粒子状の結晶を含んだり、可視光線の領域で光の吸
収が実質的生じることがないために、0.4以上である
ことが必要であり、また炭化物や窒化物の高硬度特性を
保護膜にもたせるために1.5以下でることが必要で
ある。
【0011】 可視光線透過率を大きくするにはZ/
(X+Y)の値は0.8以上であることが好ましい。Z
の値を0.2以上、Z/(X+Y)の値を0.4以上と
することにより、保護膜は、柱状構造を有する膜になっ
たり、大きな粒子が生じたりするのが抑制され、平滑な
表面を有するようになる。
【0012】 また保護膜中に窒素と炭素と酸素とを含む
ことは、膜中の上記粒子の生成がより一層抑制され、よ
り緻密で平滑な膜になるので、保護膜の耐久性を確保す
る上で必要である。そして本発明にかかる保護膜中の窒
素、酸素、炭素は、それぞれ上記元素群の元素の窒化
物、酸化物、炭化物としてのみ存在するのではなく、す
なわちこれら化合物の混合物としてのみあるのでなく、
窒素−酸素、炭素−酸素、炭素−窒素−酸素の結合のい
ずれかを含む複合化合物として存在する。
【0013】 上記元素群を構成する元素は、それれの
元素の炭化物あるいは窒化物を薄膜にしたときに硬度が
大きいという性質を有する。上記の元素群から選択され
て含まれる保護膜中の元素は、1種であっても2種以上
含まれてもい。とりわけB、Al、Siは1.8以下
の屈折率を有する保護膜とすることができるので、可視
光線透過率が高く、かつ保護膜面での光の反射率低い
透明物品を得る上で好ましい。
【0014】 本発明にかかる保護膜の厚みは、透明基板
に被覆された薄膜を保護するために、少なくとも5n
m以上が好ましく、さらには10nm以上が好ましく、
さらには20nm以上が好ましい。保護膜の厚みの上限
は、得られる物品の耐久性を確保する観点からは特に限
定されるものでなく、得られる物品の光学特性と被覆に
長時間を要し生産性が低下することがないようにするな
どから定めることができる。
【0015】 本発明の透明物品に太陽光線の一部を遮
蔽する熱線遮蔽性能を付与するには、透明基板上に、ス
テンレス膜やチタニウム、ハフニウム、クロムからなる
金属群から選ばれた少なくとも1種の窒化物の薄膜を被
覆する。
【0016】 とりわけチタニウム、ハフニウム、クロム
からなる金属群から選ばれた少なくとも1種の窒化物の
膜は、それ自身で熱線反射性能を有するので好ましい。
このときに好んで用いられる前記金属の窒化物の膜の厚
みは、得られる透明物品の可視光線透過率により定める
ことができ、100nm以下にすることが明るさを確保
する上で好ましく、10nm以下にすることにより可視
光線透過率を70%以上にすることができる。
【0017】 さらに保護膜中の上記元素群から選ばれる
元素をTi,V,Cr,Zr,Nb,Mo,Hf,T
a,Wのいずれかとし、透明基板上に、ステンレス膜や
チタニウム、ハフニウム、クロムからなる金属群から選
ばれた少なくとも1種の窒化物の薄膜を形成することに
より、可視光線透過率が50%以下の低い値を有し、熱
線遮蔽性が大きい、とりわけ建築物の窓ガラスとして適
した熱線遮蔽性を有するガラスとすることができる。
【0018】 このとき前記窒化物薄膜と透明基板との間
に、前記窒化物薄膜と透明基体との密着性を向上させる
ために、TiO2膜,ZrO2膜、Al23膜などの金属
酸化物の膜を設けることができる。
【0019】 また、上記元素群から選ばれる元素をB,
Al、Siのいずれかとし、前記元素と炭素と窒素と酸
素とからなる保護膜とすることにより、70%以上の可
視光線透過率を有し、熱線遮蔽性が大きいとりわけ自動
車の窓ガラスとして適した熱線遮蔽性を有するガラスと
することができる。
【0020】 また、熱線遮蔽性を有する前記金属窒化物
膜の代わりに、酸化錫をドープした酸化インジウム膜
や、Ag膜を用いることができる。さらに、熱線遮蔽性
を有する前記金属窒化物膜の代わりに、550nmに
おける屈折率が2.0以上の透明金属酸化物膜を被覆
することにより、70%以上の可視光線透過率を有し、
熱線遮蔽性が大きいとりわけ自動車の窓ガラスとして
適した熱線遮蔽性を有するガラスとすることができる。
【0021】 また、前記透明金属酸化物膜と前記保護
膜との間に、前記透明金属酸化物薄膜側から低屈折率
膜と高屈折率膜をこの順序で交互に被覆することによ
り、70%以上の可視光線透過率を有し、熱線遮蔽性が
大きいとりわけ自動車の窓ガラスとして適した熱線遮蔽
性を有するガラスとすることができる。ここで上記の低
屈折率物質の膜としては、SiO2膜、Al23膜、高
屈折率物質の膜としてはTiO2膜、Ta25膜,Zr
2膜,SnO2膜,ZnO膜が例示できる。
【0022】 また、上記低屈折率膜と高屈折率膜の厚み
を適当に定めることにより耐久性に優れた無反射膜が
被覆された透明物品を得ることができる。
【0023】 本発明の透明物品の透明基板として用いら
れるものとしては、透明フロートガラス板やブロンズ、
グレー、ブルーなどに着色する着色剤を含む熱線吸収ガ
ラス板などのガラス板、さらに有機樹脂からなる板
することができる。
【0024】 本発明にかかる透明基体上の薄膜や保護膜
の被覆は、公知のスパッタリング法やイオンプレーティ
ング法を用いて行うことができ、とりわけ大きい面積の
基板に、均一にかつ高速に被覆できる反応性スパッタリ
ング法が好ましい。
【0025】 本発明の第2は、透明基板上に少なくとも
層からなる薄膜が被覆され、前記薄膜の上にさらに保
護膜を形成した透明物品の製造方法において、前記保護
膜は、B,Al,Si,Ti,V,Cr,Zr,Nb,
Mo,Hf,Ta,Wの群から選ばれた少なくとも1種
の金属の炭化物、または2種以上の金属の炭化物をター
ゲットとし、反応ガスとして窒素と酸素の混合ガスを用
い減圧された雰囲気内で反応性スパッタリングにより、
以下の化学式で表した組成の保護膜を被覆することを特
徴とする透明物品の製造方法。化学式:MN X Y Z (Mは上記元素群から選ばれた少
なくとも1種の合計であり、添え字は原子比率を表す) 1.0≧Z≧0.2、1.5≧Z/(X+Y)≧0.4、X>0、Y>0
【0026】 本発明の方法によれば、低い電気抵抗を有
する炭化物ターゲットを用い、直流グロー放電を生起さ
せて反応性スパッタリングをおこなうことができ、安定
して耐摩耗性が大きい保護膜を被覆することができる。
炭素を含む膜をメタンやアセチレン等の危険な有機化
合物のガスを反応性ガスとして用いることなく被覆す
ることができる。
【0027】
【作用】本発明の透明物品の保護膜には、炭化物、窒化
物、酸化物の混合物のみからなるのでなく、窒素−酸
素、炭素−酸素、炭素−窒素−酸素の結合のいずれかを
含む化合物が含有されている。これにより本発明の保護
膜の構造は、結晶が柱状や大きな粒状に成長していな
い。
【0028】 したがって本発明の保護膜は、膜表面が平
滑な膜で、かつ、膜の内部には隙間がない、すなわち充
填密度が大きい膜となっている。つまり、耐摩耗強度が
強い保護膜となっている。膜中の酸素は、その含有量が
多くなるにしたがい膜の光透過率を大きくする作用を有
し、膜中の炭素及び窒素はその含有量が多くなるにした
がい膜の硬度が大きくなる作用をする。
【0029】 本発明の透明物品の製造方法において、炭
化物のターゲットを用いることは、ターゲットの電気抵
抗を小さくすることができ、直流グロー放電によるスパ
ッタリングを安定して行うことを可能にする。また反応
性ガスに酸素と窒素を所定量用いることにより、容易に
膜中の炭素、窒素、酸素の割合を変えることができる。
【0030】
【実施例】以下に本発明を実施例に基づいて説明する。
図1は、本発明の透明物品の一部断面図で、透明基板3
の上には、少なくとも1層からなる薄膜2が被覆されて
おり、さらに前記薄膜2の上には保護膜1が被覆されて
いる。
【0031】( 実施例1) 2つのカソードが設置できる直流マグネトロンスパッタ
装置の第1のカソードに金属チタンを、第2のカソード
炭化ニオブをターゲットとして設置した。清浄にされ
た5mm厚のフロートガラス板を真空装置内に入れ、真
空ポンプで0.00133Pa(パスカル)の圧力まで
排気した後、アルゴンガスを60sccm、窒素ガスを
40sccmの流量で真空槽内に導入し、その圧力を
0.4Paにした。第1のカソードに5W/cm2の電
力を印加して放電を開始し、そのカソード上をガラス板
を所定速度で通過させることにより、70nmの厚みの
窒化チタンの膜を被覆した。
【0032】 再び0.00133Paの圧力まで排気
し、その後窒素ガスを70sccm、酸素ガスを30s
ccmの流量で真空槽内に導入し、圧力を0.4Paに
した。第2のカソードにW/cm2の電力を印加して
放電を開始し、その炭化ニオブターゲット上をガラス板
を所定速度で通過させることにより、窒化チタン膜の上
に20nmの厚みの炭化ニオブの酸化膜を被覆した。
かくしてサンプルを得た。
【0033】 このサンプルについて市販のテーバ摩
耗試験機を用いて耐摩耗試験を行った。CS−10F番
の摩耗輪に500グラムの荷重をかけ、60rpmの回
転数で300回転の摩耗を膜に加えた後、その部分の可
視光線透過率およびヘイズ率を測定した結果を表1に示
す。サンプル1は、摩耗試験により発生した傷は目立た
ず、優れた耐摩耗を示した。サンプル1の膜の構造を電
子顕微鏡で観察したところ、柱状構造を有する窒化チタ
ン膜の上に緻密で表面が平滑な炭化ニオブの酸化保
護膜が形成されていることがわかった。また、低透過率
のガラスであることがわかった。
【0034】( 実施例2) 実施例1の装置の第1のカソードにステンレス合金(3
16番)を、第2のカソードに炭化チタンをターゲット
として設置した。清浄にされた5mm厚のフロートガラ
ス板を真空装置内に入れ、真空ポンプで0.00133
Paの圧力まで排気した後アルゴンガスを100scc
mの流量で真空槽内に導入し、その圧力を0.4Paに
した。第1のカソードに5W/cm2の電力を印加して
放電を開始し、第1のカソード上をガラス板を所定速度
で通過させることにより、nmの厚みのステンレス合
金の膜を被覆した。
【0035】 その後再び0.00133Paの圧力まで
排気し、その後窒素ガスを70sccm、酸素ガスを3
0sccmの流量で真空槽内に導入し、圧力を0.4P
aにした。第2のカソードに5W/cm2の電力を印加
して放電を開始し、第2のカソード上をガラス板を所定
速度で通過させることにより、ステンレス合金の膜の上
炭化チタンの酸窒化膜を被覆した。かくしてサンプル
を得た。
【0036】 サンプルの光学特性と耐摩耗性を表1に
示す。このサンプルはサンプル1と同様に優れた耐摩耗
性を有し、低透過率のガラスであることがわかった。
【0037】( 実施例3) 実施例1の装置の第1のカソードに金属チタンを、第2
のカソードに遊離のシリコンを含まない炭化珪素焼結体
(住友セメント製)をターゲットとして設置した。清浄
にされた5mm厚のブロンズ着色フロートガラス板(日
本板硝子製商品名ブロンズペーン)を真空装置内に入れ
た。実施例1と同様の方法でガラス板上に5nm厚の窒
化チタン膜を被覆した。次に再び0.00133Paの
圧力まで排気し、その後窒素ガスを95sccm、酸素
ガスを5sccmの流量で真空槽内に導入し、圧力を
0.4Paにした。第2のカソードに3W/cm2の電
力を印加して放電を開始し、そのカソード上をガラス板
を所定速度で通過させることにより、窒化チタン膜の上
に20nmの厚みの炭化珪素の酸窒化膜を被覆した。か
くしてサンプルを得た。
【0038】 サンプルの光学特性と耐摩耗性を表1に
示す。このサンプルは優れた耐摩耗性と熱線遮蔽性を有
し、さらに高い可視光線透過率を有するガラスであるこ
とがわかった。
【0039】( 実施例4) 3つのカソードが設置できる直流マグネトロンスパッタ
装置の第1のカソードに金属スズを、第2のカソードに
金属チタンを第3のカソードに炭化硼素、炭化珪素、ア
ルミニウムの焼結体(炭化硼素60重量%、炭化珪素2
0重量%、アルミニウム20重量%)をターゲットとし
て設置した。
【0040】 清浄にされた5mm厚のブロンズ着色フロ
ートガラス板(日本板硝子製ブロンズペーン)を真空装
置内に入れ、真空ポンプで0.00133Paの圧力ま
で排気した後、アルゴンガスを50sccm、酸素ガス
を50sccmの流量で真空槽内に導入し、その圧力を
0.4Paにした。第1のカソードに3W/cm2の電
力を印加して放電を開始し、そのカソード上をガラス板
を所定速度で通過させることにより、55nmの厚みの
酸化スズ膜を被覆した。再び0.00133Paの圧力
まで排気し、その後アルゴンガスを50sccm、酸素
ガスを50sccmの流量で真空槽内に導入し、圧力を
0.4Paにした。第2のカソードに5W/cm2の電
力を印加して放電を開始し、第2のカソード上をガラス
板を所定速度で通過させることにより、酸化スズ膜の上
に45nmの厚みの酸化チタン膜を被覆した。
【0041】 再び0.00133Paの圧力まで排気
し、その後窒素ガスを80sccm、酸素ガスを20s
ccmの流量で真空槽内に導入し、圧力を0.4Paに
した。第3のカソードに2W/cm2の電力を印加して
放電を開始し、第3のカソード上をガラス板を所定速度
で通過させることにより、酸化チタン膜の上に60nm
の厚みの炭化硼素と炭化珪素とアルミニウムとの酸窒化
膜を被覆した。かくしてサンプルを得た。
【0042】 サンプルの光学特性と耐摩耗性を表
示す。このサンプルは優れた耐摩耗性と熱線遮蔽性を有
し、さらに高い可視光線透過率を有するガラスであるこ
とがわかった。
【0043】( 実施例5 実施例で用いた装置の第1のカソードのターゲットを
金属スズに代えた。清浄にされた5mm厚のフロートガ
ラス板を真空装置内に入れた。真空槽内を0.0013
3Paの圧力まで排気し、その後アルゴンガスを50s
ccm、酸素ガスを50sccmの流量で真空槽内に導
入し、その圧力を0.4Paにした。第1のカソードに
5W/cm2の電力を印加して放電を開始し、第1のカ
ソード上をガラス板を所定速度で通過させることによ
り、ガラス板上に102nmの厚みの酸化スズ膜を被覆
した。
【0044】 その後サンプル5の保護膜を被覆したのと
同じ手順で酸化スズ膜の上に71nmの厚みの炭化珪素
の酸窒化膜を被覆した。次に真空槽を大気圧に戻しガラ
ス板を裏返し再び真空排気した。ガラス板の他の面に同
じようにして102nmの厚みの酸化スズ膜とさらにそ
の上に71nmの厚みの炭化珪素の酸窒化物膜を被覆
し、サンプルを得た。
【0045】 このサンプルの光学特性を測定したとこ
ろ、可視光線透過率が約97%、可視光線反射率が約2
%の低い反射率を有することがわかった。実施例1と同
様の方法で耐摩耗試験を実施しヘイズ率を測定したとこ
ろわずか0.5%であり、傷は全く目立たず、極めて耐
摩耗性が優れていることがわかった。
【0046】
【表1】 ――――――――――――――――――――――――――――――――――― サンプル番号 可視光線 日射透過率 耐摩耗性 透過率(%) (%) 透過率変化(%) ヘイズ率(%) ――――――――――――――――――――――――――――――――――― サンプル 10.1 7.4 1.3 1.3 サンプル 32.5 29.4 4.0 2.0 サンプル 72.4 59.5 1.8 1.9 サンプル 73.8 60.2 1.5 1.8 ――――――――――――――――――――――――――――――――――― 比較例1 7.5 5.5 3.8 4.0 比較例2 8.1 6.5 2.9 7.5 比較例3 32.4 28.9 10.4 3.2 比較例4 75.2 61.4 2.3 3.8 ―――――――――――――――――――――――――――――――――――
【0047】( 比較例1 本発明にかかる保護膜を有しない比較サンプルとして
5mm厚のフロートガラス板に80nmの厚みの窒化チ
タン膜と10nmの厚みの酸化ジルコニウムの保護膜
を被覆した比較サンプル1を得た。窒化チタン膜はサン
プル1の窒化チタン膜と同じ方法により被覆し、酸化ジ
ルコニウム膜はサンプル1の保護膜を被覆するときの導
入ガスを酸素ガスのみとして被覆した。
【0048】 得られた比較サンプル1の光学特性と耐摩
耗性を表1に示す。このサンプルは摩耗試験によりヘイ
ズ率が4.0%と大きな値を示し、耐摩耗性が小さいこ
とがわかった。
【0049】( 比較例2 本発明にかかる保護膜を有しない比較サンプルとして
5mm厚のフロートガラス板に17nmの厚みのステン
レス合金膜をサンプル3と同じ方法で被覆し、さらにそ
の上に30nmの厚みの窒化チタン膜をサンプル1と同
じ方法で被覆して比較例2のサンプルを得た。得られ
た比較サンプル2の光学特性と耐摩耗性を表1に示す。
摩耗試験によりヘイズ率が7.5%と大きな値を示し、
耐摩耗性が小さいことがわかった。
【0050】( 比較例3 本発明にかかる保護膜を有しない比較サンプルとして
5mm厚のフロートガラス板に7nmの厚みのステンレ
ス合金膜をサンプル3と同じ方法で被覆し、さらにその
上に6nmの厚みの酸化チタン膜をサンプル7と同じ方
法で被覆して比較例3のサンプルを得た。
【0051】 得られた比較サンプル3の光学特性と耐摩
耗性を表1に示す。この比較サンプルは、摩耗試験によ
りヘイズ率が3.2%を示し、透過率変化が10.4%
と大きく、耐摩耗性が小さいことがわかった。
【0052】( 比較例4 本発明にかかる保護膜を有しない比較サンプルとして、
5mm厚の着色フロートガラス板に65nmの厚みの酸
化スズ膜、50nmの厚みの酸化チタン膜、50nmの
厚みの酸化スズ膜を順次サンプル7と同じ方法で被覆
し、比較例4のサンプルを得た。
【0053】 得られた比較例4の光学特性と耐摩耗性を
に示す。この比較サンプルは摩耗試験によりヘイズ
が3.8%を示し、耐摩耗性がやや小さいことがわかっ
た。
【0054】 以上により、本発明の透明物品は耐摩耗性
が改善されたものであることがわかる。
【0055】
【発明の効果】本発明の透明物品のうち、空気と接する
最上層である保護膜は、膜中に硬度が大きい炭化物と窒
化物が含まれ、さらに炭化物および窒化物の一部は膜中
の酸素と化学結合した複合化合物を形成している。その
ため本発明の保護膜は、膜表面の平滑性が優れ、かつ膜
の緻密性が優れて耐摩耗性が大きい。
【0056】 したがって直接外気に触れる状態で使用す
ることができ、窓ガラスとして使用する場合は、合わせ
ガラスや複層ガラスにすることがなく単板ガラスとし
て用いることができる。
【0057】 本発明の方法では、炭素を含む耐摩耗性が
優れた保護膜を、メタンやアセチレンなどの危険な反応
性ガスを用いずに、大きな面積の基板に安定して被覆す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の透明物品の一部断面図である。
【符号の説明】
1・・・複合化合物を含む保護膜、 2・・・1層以上からなる膜、 3・・・透明基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川口淳 大阪府大阪市中央区道修町3丁目5番11 号 日本板硝子株式会社内 (56)参考文献 特開 平2−233534(JP,A) 特開 平4−132639(JP,A) 特開 平4−42837(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C03C 15/00 - 23/00

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 透明基板上に少なくとも層からなる薄
    膜が被覆され、前記薄膜の上にさらに保護膜が形成され
    た透明物品において、 前記保護膜は 、下記の元素群から選ばれた少なくとも1
    種と、窒素と炭素と酸素とからなる複合化合物で、か
    つ、下記の化学式で表した組成を有することを特徴とす
    透明物品。 元素群:B,Al,Si,Ti,V,Cr,Zr,N
    b,Mo,Hf,Ta,W 化学式:MNXYZ(Mは上記元素群から選ばれた少
    なくとも1種の合計であり、添え字は原子比率を表す) 1.0≧Z≧0.21.5≧Z/(X+Y)≧0.4、X>0、Y>0
  2. 【請求項2】 前記透明基板上に被覆された前記薄膜
    は、チタニウム、ハフニウム、クロムからなる金属群か
    ら選ばれた少なくとも1種の窒化物の膜であり、熱線遮
    蔽性を有する請求項1に記載の透明物品。
  3. 【請求項3】 前記透明基板上に被覆された前記薄膜
    は、550nmの波長における屈折率が2.0以上の透
    明金属酸化物膜であり、熱線遮蔽性を有する請求項1に
    記載の透明物品。
  4. 【請求項4】 前記透明金属酸化物膜と前記保護膜との
    間に、さらに前記透明金属酸化物側から低屈折率物質の
    膜と高屈折率物質の膜がこの順序で交互に2層以上繰
    り返し被覆された熱線遮蔽性を有する請求項3に記載の
    透明物品。
  5. 【請求項5】 透明基板上に少なくとも層からなる薄
    膜が被覆され、前記薄膜の上にさらに保護膜を形成した
    透明物品の製造方法において、 前記保護膜は、B,Al,Si,Ti,V,Cr,Z
    r,Nb,Mo,Hf,Ta,Wの群から選ばれた少な
    くとも1種の金属の炭化物、または2種以上の金属の炭
    化物をターゲットとし、反応ガスとして窒素と酸素の混
    合ガスを用い減圧された雰囲気内で反応性スパッタリン
    グにより、以下の化学式で表した組成の保護膜を被覆す
    ることを特徴とする透明物品の製造方法。化学式:MN X Y Z (Mは上記元素群から選ばれた少
    なくとも1種の合計で あり、添え字は原子比率を表す) 1.0≧Z≧0.2、1.5≧Z/(X+Y)≧0.4、X>0、Y>0
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