JP3206938B2 - ドラム移送装置 - Google Patents

ドラム移送装置

Info

Publication number
JP3206938B2
JP3206938B2 JP25675291A JP25675291A JP3206938B2 JP 3206938 B2 JP3206938 B2 JP 3206938B2 JP 25675291 A JP25675291 A JP 25675291A JP 25675291 A JP25675291 A JP 25675291A JP 3206938 B2 JP3206938 B2 JP 3206938B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
drum
conveyor
coating liquid
transfer device
chucking
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP25675291A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0594028A (ja
Inventor
洋士 竹本
春廣 佐藤
一嘉 大沢
年彦 西口
将 後藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Document Solutions Inc
Original Assignee
Kyocera Mita Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Mita Corp filed Critical Kyocera Mita Corp
Priority to JP25675291A priority Critical patent/JP3206938B2/ja
Publication of JPH0594028A publication Critical patent/JPH0594028A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3206938B2 publication Critical patent/JP3206938B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
  • Specific Conveyance Elements (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、電子写真複写
機に使用される感光体ドラムを製造する際に使用される
ドラム移送装置に関し、さらに詳述すれば、外周面に感
光層が形成されるアルミニウムドラム等に塗布液を塗布
するドラム塗布工程および該ドラム塗布工程に引き続い
て実施されるドラムの端部処理工程へのドラム搬入およ
び搬出に使用されるドラム移送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】電子写真複写機等の画像形成装置に使用
される感光体ドラムは、通常、アルミニウムドラムの外
周面に、感光性物質を含有する塗布液を塗布することに
より、感光層を形成して製造される。ドラムに塗布液を
塗布する塗布工程では、塗布液を貯留した塗布液タンク
にドラムを浸漬させた後に、該ドラムを塗布液から鉛直
状に引き上げることにより、外周面に塗布液が塗布され
る。塗布液が塗布されたドラムの端部には、通常、フラ
ンジ等が装着され、また、導電処理するために、端部に
塗布された塗布液を除去する必要がある。このために、
塗布液から引き上げられて外周面に塗布液が塗布された
ドラムは、鉛直状態でその下端部に付着する塗布液を除
去するドラム下端部処理工程に移送される。
【0003】このような感光体ドラムの製造工程の一例
を図3に示す。感光体ドラムの製造工程では、図3
(b)に示すように、コンベア85にて鉛直状態で搬送さ
れるドラム82を、チャッキングして所定方向へ周方向へ
移送する移送装置80が使用される。該移送装置80は、90
度ずつ間欠的に回転する鉛直状態の支持軸83に、水平状
態になった複数のアーム81の一方の端部がそれぞれ取り
付けられている。各アーム81の先端部には、ドラム82を
鉛直状態で保持するチャッキング機構99が設けられてい
る。各アーム81の先端部に設けられたチャッキング機構
99は、コンベア85により搬送されるドラムを、該コンベ
ア85の搬入位置85aにて、ドラム82をチャッキングす
る。ドラム搬入位置85aから図3(b)に矢印Aで示す
アーム81の周回移動方向に90度だけ離れた位置には、塗
布液タンク84が設けられおり、さらに、該塗布液タンク
84から同方向に90度離れた位置にはドラム下端処理機構
88が設けられている。そして、該ドラム下端処理機構88
から同方向に90度離れた位置がコンベア85のドラム搬出
位置85bとなっている。
【0004】該塗布液タンク84は、昇降装置89により昇
降されるようになっており、ドラム搬入位置85aにてア
ーム81の先端部のチャッキング機構99にて鉛直状態にチ
ャッキングされたドラム82は、該アーム81が90度にわた
って周回移動することにより、該塗布液タンク84上に位
置される。そして、塗布液タンク84が昇降装置89により
上昇されることにより、塗布液タンク84内に収容された
塗布液にドラム82が浸漬される。そして、該昇降装置89
が下降されて、ドラム82が塗布液タンク84から退出され
ることにより、該ドラム82外周面に塗布液が塗布され
る。その後、アーム81がさらに90度にわたって周回移動
されることにより、該ドラム82は、ドラム下端部処理機
構88上に位置される。該下端部処理機構88は、ドラム外
周面に塗布された塗布液を溶解する溶液が収容された溶
液タンクが、昇降装置(図示せず)によって昇降される
ようになっており、該溶液タンクの上昇により、ドラム
下端部が溶液内に浸漬される。そして、ドラム下端部が
溶液内に浸漬された状態で、該溶液タンクを揺動するこ
とにより、溶液内に浸漬されたドラム下端部の塗布液が
溶液に溶解される。その後に、さらに、アーム81が90度
だけ周回移動されることにより、コンベア85のドラム搬
出位置85b上にドラム82が位置され、ドラム82がコンベ
ア85上に載置される。そして、ドラム82は、コンベア85
により次の工程へと搬送される。
【0005】また、図4に、感光体ドラムの製造工程の
別の例を示す。この製造工程では、図4(b)に示すよ
うに、ドラムを搬入する搬入コンベア86a、該搬入コン
ベア86aとは適当な間隔をあけて直線上に配置されたド
ラム搬出用の搬出コンベア86bが使用され、さらに、両
コンベア86aおよび86bの間でドラムを直線状に移送する
ドラム移送装置91が使用される。搬入コンベア86aと搬
出コンベア86bとの間には、搬入コンベア86a側から、塗
布液タンク93、ドラム載置台92、およびドラム下端部処
理機構93が、直線状に並設されている。ドラム移送装置
91は、両コンベア86aおよび86bの各端部の側方の間にわ
たって配置された1本のガイドレール91a上を往復移動
される一対の搬入用昇降機構91bおよび搬出用昇降機構9
1bをそれぞれ有している。各昇降機構91bは水平状に支
持された支持板91cをそれぞれ昇降させるようになって
おり、各支持板91cにドラム82を鉛直状態で支持するチ
ャッキング機構99が取り付けられている。各昇降機構91
bは、同期してガイドレール91a上を同方向へ移動するよ
うになっている。
【0006】搬入用昇降機構91bは、ガイドレール91a上
を移動されて、搬入コンベア86aの端部側方に位置さ
れ、該搬入コンベア86aに載置されたドラム82をチャッ
キングすべく昇降機構91bが駆動される。そして、チャ
ッキング機構99によりドラム82が鉛直状態でチャッキン
グされると、搬入用昇降機構91bは、ガイドレール91a上
を移動して、塗布タンク90上にドラム82を位置させる。
このような状態で、搬入用昇降機構91bによりドラム82
を昇降させることにより、ドラム82外周面に塗布液が塗
布される。その後、搬入用昇降機構91bが駆動されて、
塗布液が塗布されたドラム82が、ドラム載置台92の上方
に位置され、搬入昇降機構91bが該ドラム載置台92上に
ドラム82が載置されるように駆動される。そして、ドラ
ム82がドラム載置台91上にドラムを載置した状態になる
と、チャッキング機構99によりドラムのチャッキングが
解除され、搬入用昇降機構91bは、再度、搬入コンベア8
6aの端部側方へ移動される。
【0007】他方の搬出用昇降機構91bは、前記搬入用
昇降機構91bと同期して、ガイドレール91a上を移動さ
れ、搬入用昇降機構91bが塗布液が塗布されたドラム82
がドラム載置台92上に載置した後に搬入コンベア86aの
側方へ移動されると同時に、搬出用昇降機構91bが、ド
ラム載置台92の側方へ移動される。そして、ドラム載置
台92上のドラム82をチャッキング機構99によりチャッキ
ングして、該ドラム82をドラム下端部処理機構93上に移
送する。そして、鉛直状態でチャッキングされたドラム
82を下降させて、ドラム下端部の塗布液を除去した後
に、搬出コンベア86bの側方へと移動され、該搬出コン
ベア86b上に、下端部が処理されたドラム82を載置して
チャッキングを解除する。
【0008】さらに、図5に示すように、直線状のコン
ベア85における搬入位置の側方に搬入用昇降機構94aお
よび塗布液タンク97が設けられており、また、コンベア
の搬出位置の側方に搬出用昇降機構94bおよびドラム下
端処理機構98が設けられている。そして、塗布液タンク
97とドラム下端部処理機構との間に、コンベア85に沿っ
てドラム82を移送するドラム移送台85が設けられてい
る。搬入用昇降機構94aは、コンベア85の搬出位置85a上
方と塗布液タンク97の上方への往復移動可能になったチ
ャッキング機構99が支持されており、コンベア85の搬入
位置に搬送されたドラム82をチャッキングして、塗布液
タンク97内の塗布液に浸漬させる。ドラム移送台85は、
塗布液タンク97上と、ドラム下端部処理機構98との間を
水平移動するようになっており、塗布液が塗布されたド
ラムを塗布液タンク97上にてチャッキング機構99から移
載される。そして、該ドラム82をドラム下端部処理機構
98上にまで搬送する。搬出用昇降機構94bは、該ドラム
移載台85上のドラムをチャッキングするチャッキング機
構99を有しており、該チャッキング機構99は、ドラム下
端部処理機構98上とコンベア85の搬出機構85b上の往復
移動可能になっている。従って、ドラムチャッキング機
構によりチャッキングされたドラム移載台85上のドラ
ム82は、コンベア85の搬出位置85b上に移載される。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】図3に示すシステムで
は、塗布液タンク84を昇降させる必要があるために、塗
布液タンク84に貯留される塗布液を循環させるための塗
布液循環系が複雑な機構になるという問題がある。ま
た、塗布液の種類を変更する場合には、塗布液タンク84
を昇降装置89から取り外して、新たな種類の塗布液が収
容された塗布液タンク84を昇降装置89に取り付けなけれ
ばならず、製造すべき製品の種類が変更する際における
段取り替えの作業性が悪いという問題もある。
【0010】図4および図5に示すシステムでは、塗布
液タンクが昇降されないためにこのような問題がない。
しかし、ドラム82を直線移動させる間に、塗布処理およ
びドラム下端部処理を行うようになっているために、連
続的に作業することができず、作業効率が悪いという問
題がある。さらに、図5に示すシステムでは、直線コン
ベア85に直交する方向への移送機構のみならず、該コン
ベア85に沿った方向への移送機構も必要になり、装置が
複雑になる。また、両システムでは、直線に沿って各処
理を実施するための機構を配置しているために、スペー
ス効率が悪くなるという問題もある。
【0011】本発明はこのような問題点を解決するもの
であり、その目的は、比較的簡潔な構成であって、ドラ
ムの処理を高効率で実施し得るドラム移送装置を提供す
ることにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明のドラム移送装置
は、鉛直状態となったドラムを搬送する直線状のコンベ
アの側方に配設されており、該コンベア上のドラムを移
送するために使用されるドラム移送装置であって、水平
状態になった昇降アームが昇降される昇降機構と、該昇
降アームを水平面内にて周回往復移動させる回転機構
と、該昇降アームの先端部に設けられドラムを鉛直状態
でチャッキングするチャッキング機構と、をそれぞれ有
し、各チャッキング機構の周回移動域が一箇所にて重な
り合うとともに各チャッキング機構の周回移動域と前記
コンベアとがそれぞれ一箇所にて重なり合うように該コ
ンベアに沿って並んで設けられた一対のドラム移送機を
具備してなり、そのことにより、上記目的が達成され
る。
【0013】
【作用】本発明のドラム移送装置では、一方のドラム移
送機におけるチャッキング機構によりコンベア上のドラ
ムがチャッキングされて、昇降機構の昇降アームが回転
機構によって周方向へ所定の角度だけ移動されることに
より、所定の処理工程実施位置とされる。この位置にて
所定の処理が実施されると、昇降アームは、他方のドラ
ム移送機の昇降アーム周回移動域との重なった位置に移
動されて、その位置にてドラムのチャッキングが解除さ
れる。このドラムは、他方のドラム移送機によりチャッ
キングされて、昇降アームの周回移動により、次ぎの所
定処理が実施される位置へと搬送される。そして、その
位置にて所定処理が実施されることにより、ドラムは昇
降アームの周回移動により、コンベア上に搬送されて、
該コンベア上に載置される。
【0014】
【実施例】本発明の実施例について以下に説明する。本
発明のドラム移送装置は、例えば、電子写真複写機の感
光体ドラムを製造する際に使用される。該ドラム移送装
置は、図1に示すように、ドラム20を矢印A方向に搬送
する直線ベルトコンベア10の側方に配置された一対の搬
入用移送機30および搬出用移載機40を有している。搬入
用移載機30は、コンベア10の側方に配置された回転機構
37上に昇降機構31が取り付けられており、該回転機構37
により昇降機構31が往復回転するようになっている。該
昇降機構31には、図2に示すように、水平状に延出する
昇降アーム35が設けられており、該昇降アーム35が昇降
されるようになっている。該昇降アーム35の先端部に
は、鉛直状態になったドラム10の上端部をチャッキング
して該ドラム10を鉛直状態に保持するチャッキング機構
38が設けられている。
【0015】チャッキング機構38は、図1に示すよう
に、昇降アーム35の周回移動によりベルトコンベア10の
搬入位置11上に位置される。また、この搬入位置11か
ら、ベルトコンベア10の移動方向側に90度だけ離れたチ
ャッキング機構38の周回移動域の下方には、ドラム載置
台34が設けられている。さらに、このドラム載置台34か
ら90度離れた周回移動域の下方には、ドラム外周面に塗
布される塗布液が収容された塗布液タンク33が配置され
ている。チャッキング機構38は、この塗布液タンク33か
らさらに90度離れた位置32まで周回移動されるようにな
っており、この位置32にてチャッキング機構38の交換等
が行われるようになっている。
【0016】回転機構37は、昇降機構31を90度ずつ間欠
的に往復方向へ回転させるようになっており、その間欠
回転により、チャッキング機構38が、コンベア10の搬入
位置11、ドラム載置台34上、ドラム塗布タンク33上、お
よびチャッキング機構交換位置32上にそれぞれ位置され
る。
【0017】搬出用移送機40も、搬出移送機30と同様の
構成になっており、回転機構47上に昇降機構41が取り付
けられている。そして、昇降機構41の昇降アーム45の先
端部にチャッキング機構が設けられている。該チャッキ
ング機構は、ドラム載置台34の上方が周回移動域になっ
ており、また、その周回移動域がベルトコンベア10と交
差する位置がドラム搬出位置12になっている。従って、
該ドラム搬出位置12から90度だけ離れた周回移動域の下
方に、ドラム載置台34が設けられており、また、該ドラ
ム載置台34から90度だけ離れた周回移動域の下方にドラ
ムの下端部処理機構42が配置されている。そして、チャ
ッキング機構は、該ドラム下端部処理機構42よりもさら
に90度だけ離れた位置43まで周回移動し得るようになっ
ており、その位置43にて、チャッキング機構の交換等が
行われるようになっている。
【0018】該搬出移送機40における回転機構も、昇降
機構41を90度ずつ間欠的に回転するようになっており、
その間欠回転により、チャッキング機構は、コンベア10
の搬出位置12上、ドラム載置台34上、ドラム下端処理機
構42上、およびチャッキング機構の交換位置43上に位置
される。
【0019】このような構成のドラム移送装置では、コ
ンベア10上に鉛直状態で載置されたドラム20が矢印A方
向に搬送され、搬入位置11とされる。ドラム20が搬入位
置11に達すると、搬入移載機30の回転機構37が駆動され
て、昇降アーム35の先端部に設けられたチャッキング機
構38が搬入位置11上のドラム20上方に位置される。この
ような状態になると、昇降機構31が駆動されて、昇降ア
ーム35が下降され、チャッキング機構38がドラム20の上
端部内に挿入される。そして、一旦、昇降アームの下降
が停止されて、チャッキング機構38によりドラム20がチ
ャッキングされると、昇降アーム35が上昇される。
【0020】その後に、回転機構37が昇降機構31を180
度にわたって回転させて、チャッキング機構38にチャッ
キングされたドラム20を塗布液タンク33上に位置させ
る。このような状態になると、昇降機構31の昇降アーム
35が下降されて、ドラム20が塗布液タンク33内の塗布液
内に浸漬される。塗布液内にドラム20のほぼ全体が浸漬
されると、昇降アーム35が上昇されて、ドラム20は塗布
液から退出される。次いで、回転機構37は昇降装置31を
反対方向に90度にわたって回転させ、塗布液が塗布され
たドラム20をドラム載置台34上に位置させる。そして、
昇降アーム35が下降されてドラム20が該ドラム載置台34
上に載置されると、チャッキング機構35によるドラム20
のチャッキングが解除され、昇降アーム35が上昇され
る。これにより、搬入用ドラム移送機30による1サイク
ルの動作が終了し、回転機構37は、チャッキング機構38
がコンベア10の搬入位置上に位置されるように昇降機構
31をさらに、90度にわたって回転させる。これにより、
すでにコンベア10の搬入位置11上に位置されたドラム20
上にチャッキング機構38が位置される。
【0021】搬出用移送機40は、搬入用移送機30による
1サイクルの工程が終了した後のチャッキング機構38が
搬入位置11の上方への周回移動に同期して、昇降アーム
45が周回移動され、ドラム載置台34に載置されたドラム
20上にチャッキング機構38が位置される。そして、以
後、搬出用移送機40の昇降アーム45と搬入用移送機30の
昇降アーム35とが同期して周回移動される。
【0022】搬出用移送機40におけるチャッキング機構
がドラム載置台34上のドラム20上方に位置されると昇降
アーム45が下降され、チャッキング機構によりドラム20
がチャッキングされる。このとき、搬入用移送機30では
コンベア10の搬入位置上のドラムがチャッキング機構38
によりチャッキングされる。
【0023】搬出用移送機40において、ドラム20がチャ
ッキングされると、昇降アーム45が上昇された後に、ド
ラム20が下端部処理機構42上に位置されるように昇降ア
ーム45が周回移動される。このとき、搬入用移送機30に
おける昇降アーム35は、塗布液タンク33の上方へ移動さ
れ、新たなドラム20が塗布液タンク33上に位置されてい
る。
【0024】搬出用移送機40では、次いで、昇降アーム
45が下降されて、下端部処理機構42によるドラムの下端
部処理が実施され、ドラム20の下端部に付着した塗布液
が除去される。このとき、搬入用移送機30では塗布液が
ドラム20外周面に塗布される。下端処理機構42により下
端処理が終了すると、昇降アーム45は、ドラム載置台34
の上方を経て、コンベア10の搬出位置上へと周回移動さ
れ、下端処理されたドラム20は、コンベア10上の搬出位
置12上に載置される。これにより、搬出ドラム移送機40
による1サイクルの処理が終了し、以後、同様の動作が
順次繰り返される。
【0025】ドラム20の径が変更された場合等におい
て、搬入用移送機30のチャッキング機構38および搬出用
ドラム移送機40のチャッキング機構を交換する場合に
は、昇降アーム35および45が、チャッキング機構交換位
置32および43へと周回移動された状態で、交換作業が実
施される。
【0026】なお、上記実施例では、各昇降アーム35お
よび45の先端に1つのチャッキング機構を設けて1本の
ドラム20をチャッキングするようにしたが、複数のチャ
ッキング機構を設けて複数のドラムをチャッキングする
ようにしてもよい。
【0027】
【発明の効果】本発明のドラム移送装置は、このよう
に、比較的狭いスペースにて、ドラムを移送して所定の
処理を実施できる。各処理工程の段取り替えも容易であ
り、さらに、チャッキング機構の取り替えも、余裕のあ
るスペースにて実施できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のドラム移送装置の一例を示す概略平面
図である。
【図2】図1に示すドラム移送装置の要部の側面図であ
る。
【図3】(a)は従来のドラム移送装置の一例を示す概
略側面図、(b)そのドラム移送装置の平面図である。
【図4】(a)は従来のドラム移送装置の別の例を示す
概略側面図、(b)そのドラム移送装置の平面図であ
る。
【図5】(a)は従来のドラム移送装置の別の例を示す
概略平面図、(b)そのドラム移送装置の側面図であ
る。
【符号の説明】
10 コンベア 20 ドラム 30 搬入用ドラム移送機 31 昇降機構 33 塗布液タンク 34 ドラム載置台 35 昇降アーム 38 チャッキング機構 40 搬出用ドラム移送機 41 昇降機構 42 ドラム下端部処理機構 45 昇降アーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西口 年彦 大阪市中央区玉造1丁目2番28号 三田 工業株式会社内 (72)発明者 後藤 将 大阪市中央区玉造1丁目2番28号 三田 工業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−90758(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B65G 47/84 - 47/92 B65G 49/04 G03G 5/00 - 5/16

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 鉛直状態となったドラムを搬送する直線
    状のコンベアの側方に配設されており、該コンベア上の
    ドラムを移送するために使用されるドラム移送装置であ
    って、 水平状態になった昇降アームが昇降される昇降機構と、
    該昇降アームを水平面内にて周回往復移動させる回転機
    構と、該昇降アームの先端部に設けられドラムを鉛直状
    態でチャッキングするチャッキング機構と、をそれぞれ
    有し、各チャッキング機構の周回移動域が一箇所にて重
    なり合うとともに各チャッキング機構の周回移動域と前
    記コンベアとがそれぞれ一箇所にて重なり合うように該
    コンベアに沿って並んで設けられた一対のドラム移送機
    を具備するドラム移送装置。
JP25675291A 1991-10-03 1991-10-03 ドラム移送装置 Expired - Fee Related JP3206938B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25675291A JP3206938B2 (ja) 1991-10-03 1991-10-03 ドラム移送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25675291A JP3206938B2 (ja) 1991-10-03 1991-10-03 ドラム移送装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0594028A JPH0594028A (ja) 1993-04-16
JP3206938B2 true JP3206938B2 (ja) 2001-09-10

Family

ID=17296955

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP25675291A Expired - Fee Related JP3206938B2 (ja) 1991-10-03 1991-10-03 ドラム移送装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3206938B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1098180C (zh) 1997-07-23 2003-01-08 丰田车体株式会社 气囊板
CN115838073B (zh) * 2022-12-06 2023-07-21 米茄科技(东莞)有限公司 电子雾化器抓放机械手

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0594028A (ja) 1993-04-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR0165350B1 (ko) 반도체웨이퍼 공급장치
JP2008166369A (ja) 基板処理装置および基板処理方法
KR940010504B1 (ko) 반도체 기판 에칭 처리 장치
JP3206938B2 (ja) ドラム移送装置
JPH06110059A (ja) 配向処理方法およびその処理装置
KR850001196B1 (ko) 패널과 샤도우마스크의 반송장치
JPH0680242A (ja) ワーク搬送処理ライン
JP2004077592A (ja) ワークの処理方法、ワークの処理装置、及びガラス基板の搬送装置
JPH0786373A (ja) 基板の姿勢変換装置
JPH07130637A (ja) 半導体製造装置
JP2004079614A (ja) ワークの処理方法及びその処理装置
KR860001674B1 (ko) 패널 및 새도우마스크 반송방법
JP3766177B2 (ja) 基板処理装置および基板洗浄装置
JP5799304B2 (ja) 露光ユニット及びそれを用いた露光方法
JPH09162264A (ja) 基板搬送装置
JPH10154743A (ja) ウェハー処理装置
CN218182183U (zh) 一种晶圆加工设备
JPH06163673A (ja) 基板処理装置
JPH06163670A (ja) 基板処理装置における基板受け渡し装置
JP4050180B2 (ja) 基板処理方法
JP3909612B2 (ja) 基板洗浄装置
JP4050181B2 (ja) 基板処理装置
JPH09153538A (ja) 基板処理装置
JP2852856B2 (ja) 基板処理装置
JP2677624B2 (ja) レジスト処理装置及びレジスト処理方法

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20010622

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees