JP3204881B2 - 不揮発性半導体記憶装置とその定電圧発生回路 - Google Patents

不揮発性半導体記憶装置とその定電圧発生回路

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JP3204881B2
JP3204881B2 JP23251095A JP23251095A JP3204881B2 JP 3204881 B2 JP3204881 B2 JP 3204881B2 JP 23251095 A JP23251095 A JP 23251095A JP 23251095 A JP23251095 A JP 23251095A JP 3204881 B2 JP3204881 B2 JP 3204881B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば電気的に
一括消去可能なフラッシュメモリ等の不揮発性半導体記
憶装置とそれに適用される定電圧発生回路に関する。
【0002】
【従来の技術】この種の不揮発性半導体記憶装置の設計
及び製造技術は、紫外線消去タイプの不揮発性メモリで
完成された技術をベースとしている。この不揮発性半導
体記憶装置にはビット線を充電するためのトランジスタ
が設けられ、このトランジスタのゲートには定電圧発生
回路から出力される電圧が供給されている。この定電圧
発生回路は一般にバイアス回路と呼ばれ、例えば不揮発
性半導体記憶装置の内部で生成されたチップイネーブル
信号に応じて電圧を発生するようになっている。前記ト
ランジスタは定電圧発生回路の出力電圧に応じて導通
し、ビット線を充電する。
【0003】上記従来の定電圧発生回路は、前記チップ
イネーブル信号がディスエーブル(非活性)状態の時、
その出力電圧が接地レベルとされ、前記トランジスタを
オフ状態に保持する必要がある。すなわち、メモリセル
のドレインにはデータの信頼性を保証するため、必要以
上の電圧が印加されないよう、定電圧発生回路で制御し
ていた。一般に、不揮発性半導体記憶装置は保証期間中
は1つのメモリセルを読出し続けても、そのメモリセル
に記憶されているデータが不変でなければならない。こ
のため、前記定電圧発生回路は一定レベルの電圧を保つ
必要がある。この電圧が必要以上に高いと、メモリセル
のドレイン電圧も高くなる。読出すべきメモリセルの閾
値電圧が低い場合、そのメモリセルはオン状態である。
このため、このメモリセルは読出し時に電流を流し続け
る。ドレインに印加される電圧が高いほどその電流も多
くなる。しかし、ドレイン電圧が高すぎると、データを
読み出す度にメモリセルの浮遊ゲートに電子が注入さ
れ、閾値電圧が高くなる。したがって、そのメモリセル
はオフ状態となり、データが誤判定される所謂ソフトラ
イト現象が発生する。
【0004】図12は、従来の定電圧発生回路を示すも
のである。PチャネルMOSトランジスタ(以下、PM
OSトランジスタと称す)P1,P2の各ソースには電
源電圧Vddが供給され、各ゲートには不揮発性半導体記
憶装置の内部で生成されたチップイネーブル信号/CE
(/は反転信号を意味する)が供給されている。これら
PMOSトランジスタP21,P22の各ドレインには
デプレション型NチャネルMOSトランジスタ(以下、
DタイプのNMOSトランジスタと称す)N21,N2
2のドレインがそれぞれ接続されている。これらDタイ
プのNMOSトランジスタN21,N22のバックゲー
ト(基板)は接地され、DタイプのNMOSトランジス
タN21のソース、DタイプのNMOSトランジスタN
22のゲート及びソースは出力ノードn0に接続されて
いる。この出力ノードn0にはエンハンスメント型Nチ
ャネルMOSトランジスタ(以下、NMOSトランジス
タと称す)N23のドレイン及びゲートが接続されてい
る。このNMOSトランジスタN23のソースにはNM
OSトランジスタN24のドレイン及びゲートが接続さ
れるとともに、前記デプレション型のNMOSトランジ
スタN21のゲートが接続されている。このNMOSト
ランジスタN24のバックゲート及びソースは接地され
ている。
【0005】上記定電圧発生回路は、DタイプNMOS
トランジスタN21,N22を用いて、NMOSトラン
ジスタN23,N24に流れる電流が一定となるように
制御しており、DタイプNMOSトランジスタN22が
主に定電流源として作用している。デプレション型のト
ランジスタを用いる利点は、特性が安定しており、1つ
の素子で簡単に定電流源を作ることができるなどがあ
る。
【0006】図13は、上記定電圧発生回路の動作を示
す図である。デプレション型NMOSトランジスタは、
常に五極管動作しているため負荷電流がIs1で示すよう
に一定である。また、ゲートとドレインがショートさ
れ、2個直列接続されたNMOSトランジスタN23,
N24の負荷特性はIs2で示すようになり、これら負荷
電流Is1,Is2の交点に相当する電圧が出力としてのバ
イアス電圧Vbiasとなる。このバイアス電圧Vbiasは、
約2Vtn(但し、VtnはNMOSトランジスタの閾値電
圧)に設定されている。デプレション型NMOSトラン
ジスタの負荷特性は、電源電圧Vddが変動した場合にお
いても電流量が変動しないため、バイアス電圧Vbiasを
一定に保持できる。このように従来の定電圧発生回路
は、デプレション型のトランジスタを用いることにより
所要の特性を得ていた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかし、デプレション
型トランジスタは製造工程が多く、しかも、チャネル領
域に不純物を注入するために専用のマスクを必要とする
ため、コストが増大するという問題を有している。近
時、半導体記憶装置の高集積化が進に従い、チップコス
トの低減が重要な課題となっており、デプレション型ト
ランジスタを使用せずに回路を構成することが望まれて
いる。
【0008】また、上記従来の定電圧発生回路は、チッ
プイネーブル信号/CEがハイレベルとなった場合、バ
イアス電圧Vbiasが0Vとなり、チップイネーブル信号
/CEがローレベルとなった場合、バイアス電圧Vbias
が立ち上がるようになっている。このため、ビット線に
接続された配線が長く、その容量が大きい場合、バイア
ス電圧Vbiasの立ち上がりが遅いものであった。バイア
ス電圧Vbiasの立ち上がりを高速化するには、デプレシ
ョン型トランジスタのサイズを大きくすればよい。しか
し、この場合、チップサイズが大型化し、コストの増大
を招くため得策ではない。したがって、上記従来の定電
圧発生回路では、チップイネーブル信号/CEに応答し
たアクセスの高速化は困難なものであった。
【0009】この発明は、上記課題を解決するためにな
されたものであり、その目的とするところは、チップサ
イズの大型化、及びコストの増大を抑える得るととも
に、アクセスの高速化を図ることが可能な不揮発性半導
体記憶装置とその定電圧発生回路を提供するものであ
る。
【0010】
【0011】
【課題を解決するための手段】この発明の定電圧発生回
路は、制御信号に応じて所定の電圧を出力する。このた
め、電流通路の一端が第1の電源に接続され、ゲートに
制御信号が供給された第1導電型の第1のトランジスタ
と、電流通路の一端が前記第1の電源に接続され、ゲー
トが第2の電源に接続された第1導電型の第2のトラン
ジスタと、第1導電型の第3、第4のトランジスタを有
し、これら第3、第4のトランジスタの電流通路の各一
端が前記第1導電型の第1、第2のトランジスタの電流
通路の各他端に接続され、各ゲートが前記第3のトラン
ジスタの電流通路の他端に共通接続されたカレントミラ
ー回路と、電流通路の一端が出力端としての前記第1導
電型の第4のトランジスタの電流通路の他端に接続され
た負荷回路と、電流通路が前記第1導電型の第3のトラ
ンジスタの電流通路の他端と第2の電源の相互間に接続
され、ゲートが前記第1導電型の第4のトランジスタの
電流通路の他端と前記負荷回路との接続点に接続され、
定電流源を構成する第2導電型の第1のトランジスタ
と、電流通路が前記第1導電型の第3のトランジスタの
電流通路の他端と第2の電源の相互間に接続され、ゲー
トに前記制御信号が供給された第2導電型の第2のトラ
ンジスタと、電流通路の一端が前記負荷回路の電流通路
の他端に接続され、電流通路の他端が前記第2の電源に
接続され、ゲートに前記制御信号と論理が反転された制
御信号が供給される第2導電型の第3のトランジスタ
と、電流通路の一端が前記出力端に接続され、電流通路
の他端が前記第2導電型の第3のトランジスタの電流通
路の一端に接続され、ゲートに前記負荷回路により生成
された電位が供給され、第2導電型の第3のトランジス
タとともに導通し、前記出力端の電圧を低レベルに下げ
る第2導電型の第4のトランジスタとを具備している。
【0012】また、この発明の定電圧発生回路は、電流
通路の一端が第1の電源に接続され、ゲートに制御信号
が供給された第1導電型の第1のトランジスタと、第1
導電型の第2、第3のトランジスタを有し、これら第
2、第3のトランジスタの電流通路の各一端が前記第1
導電型の第1のトランジスタの電流通路の他端に接続さ
れ、各ゲートが前記第1導電型の第2のトランジスタの
電流通路の他端に共通接続されたカレントミラー回路
と、電流通路の一端が出力端としての前記第1導電型の
第3のトランジスタの電流通路の他端に接続された負荷
回路と、電流通路が前記第1導電型の第2のトランジス
タの電流通路の他端と第2の電源の相互間に接続され、
ゲートが前記第1導電型の第3のトランジスタの電流通
路の他端と前記負荷回路との接続点に接続され、定電流
源を構成する第2導電型の第1のトランジスタと、電流
通路の一端が前記第1の電源に接続され、電流通路の他
端が前記出力端に接続され、ゲートに前記制御信号と論
理が反転された制御信号が供給され、この論理が反転さ
れた制御信号に応じて前記出力端を前記第1の電源の電
圧に設定する第1導電型の第4のトランジスタと、電流
通路の一端が前記負荷回路の電流通路の他端に接続さ
れ、電流通路の他端が前記第2の電源に接続され、ゲー
トに前記制御信号と論理が反転された制御信号が供給さ
れる第2導電型の第2のトランジスタと、電流通路の一
端が前記出力端に接続され、電流通路の他端が前記第2
導電型の第2のトランジスタの電流通路の一端に接続さ
れ、ゲートに前記負荷回路により生成された電位が供給
され、第2導電型の第2のトランジスタとともに導通
し、前記出力端の電圧を低レベルに下げる第2導電型の
第3のトランジスタとを具備している。
【0013】さらに、この発明の不揮発性半導体記憶装
置は、複数の不揮発性のメモリセルがマトリクス状に配
置されたメモリセルアレイと、前記メモリセルアレイの
ビット線に接続され、メモリセルを選択するカラムデコ
ーダと、選択された前記メモリセルから読み出されたデ
ータを、ダミーセルから読み出されたデータに基づき増
幅する増幅回路と、前記増幅回路と前記カラムデコーダ
との相互間に設けられたトランジスタと、制御信号が非
活性状態の場合、電源電圧を前記トランジスタのゲート
に供給し、このトランジスタを導通させてこのトランジ
スタと前記カラムデコーダとの間の配線を充電させ、前
記制御信号が活性状態の場合、前記電源電圧より低いレ
ベルの定電圧を出力し、前記トランジスタを導通状態に
保持する定電圧発生回路とを具備し、前記電圧発生回路
は、電流通路の一端が第1の電源に接続され、ゲートに
制御信号が供給された第1導電型の第1のトランジスタ
と、電流通路の一端が前記第1の電源に接続され、ゲー
トが第2の電源に接続された第1導電型の第2のトラン
ジスタと、第1導電型の第3、第4のトランジスタを有
し、これら第3、第4のトランジスタの電流通路の各一
端が前記第1導電型の第1、第2のトランジスタの電流
通路の各他端に接続され、各ゲートが前記第3のトラン
ジスタの電流通路の他端に共通接続されたカレントミラ
ー回路と、電流通路の一端が出力端としての前記第1導
電型の第4のトランジスタの電流通路の他端に接続され
た負荷回路と、電流通路が前記第1導電型の第3のトラ
ンジスタの電流通路の他端と第2の電源の相互間に接続
され、ゲートが前記第1導電型の第4のトランジスタの
電流通路の他端と前記負荷回路との接続点に接続され、
定電流源を構成する第2導電型の第1のトランジスタ
と、電流通路が前記第1導電型の第3のトランジスタの
電流通路の他端と第2の電源の相互間に接続され、ゲー
トに前記制御信号が供給された第2導電型の第2のトラ
ンジスタと、電流通路の一端が前記負荷回路の電流通路
の他端に接続され、電流通路の他端が前記第2の電源に
接続され、ゲートに前記制御信号と論理が反転された制
御信号が供給される第2導電型の第3のトランジスタ
と、電流通路の一端が前記出力端に接続され、電流通路
の他端が前記第2導電型の第3のトランジスタの電流通
路の一端に接続され、ゲートに前記負荷回路により生成
された電位が供給され、前記第2 導電型の第3のトラン
ジスタとともに導通し、前記出力端の電圧を低レベルに
下げる第2導電型の第4のトランジスタとを具備してい
る。
【0014】
【発明の実施の態様】以下、この発明の実施の態様につ
いて図面を参照して説明する。図1は、この発明に係わ
る定電圧発生回路の原理を示すものである。この回路は
デプレション型トランジスタを使用せずに構成されてい
る。すなわち、カレントミラー回路CMを構成するPM
OSトランジスタP1,P2の各ソースは電源Vddに接
続されている。これらPMOSトランジスタP1,P2
のベースは共通接続されるとともに、PMOSトランジ
スタP1のドレインに接続されている。PMOSトラン
ジスタP1,P2の各ドレインは、NMOSトランジス
タN1,N2の各ドレインに接続され、NMOSトラン
ジスタN1,N2のゲートは共通接続されるとともに、
PMOSトランジスタP2のドレインに接続されてい
る。前記NMOSトランジスタN1のソースは接地さ
れ、NMOSトランジスタN2のソースはNMOSトラ
ンジスタN3のゲート及びドレインに接続されている。
このNMOSトランジスタN3のソースは接地されてい
る。前記PMOSトランジスタP2のドレインとNMO
SトランジスタN2のゲート及びドレインが接続された
ノードn0よりバイアス電圧Vbiasとしての電圧Voが
出力される。前記NMOSトランジスタN1は定電流源
CSを構成し、NMOSトランジスタN2,N3は負荷
回路LCを構成している。
【0015】上記構成において、PMOSトランジスタ
P1,P2は前記NMOSトランジスタN1に流れる電
流I1、及びNMOSトランジスタN2,N3に流れる
電流I2を制御する。PMOSトランジスタP1,P2
の相互コンダンクタンスgmの比が1:2である場合、
前記電流I1,I2の比もI1:I2=1:2となる。
出力電圧VoはNMOSトランジスタN2,N3の負荷
特性と電流I2とにより決定される。出力電圧Voを正
確に制御するためには、電流I1の制御が重要となる。
【0016】図2は、図1に示す回路において、PMO
SトランジスタP1,P2の相互コンダンクタンスgm
の比を1:1に設定した場合における各トランジスタの
負荷特性を示している。出力電圧VoはPMOSトラン
ジスタP2に流れる電流量I2と直列接続されたNMO
SトランジスタN2,N3の負荷特性によって定まる
が、設計上負荷特性の傾きは極力無限大となるように
し、出力電圧Voをほぼ2Vtnとする。このとき、ノー
ドn0の電圧Voはほぼ2Vtn、ノードn1の電圧Vn1
はほぼVtnである。これらの電圧はカレントミラー回路
が動作している際、一定である。したがって、ノードn
0又はノードn1の電圧をNMOSトランジスタN1の
ゲートに供給することにより、NMOSトランジスタN
1により定電流源を構成できる。この回路ではノードn
0の電圧を使用している。また、この回路の動作範囲は
PMOSトランジスタP2が五極管領域で動作すること
が条件であるため、次の式が成立する。
【0017】Vdd−Vo≧Vdd−V1+|Vtp|>0 Vdd≧2Vtn+2|Vtp| (但し、VtpはPMOSトランジスタの閾値電圧) Vo=2Vtn+α、V1=Vdd−|Vtp| 電源電圧Vddが例えば3.3Vであり、Vtn=0.6
V、|Vtp|=0.7Vとすると、この回路は、電源電
圧Vddが2.6V程度まで動作することができ、Vdd≧
2.6Vで出力電圧Voが一定となる。
【0018】上記のように、カレントミラーを使用する
回路は定電流源を必要とする。一般に、チップ内に内部
電源を有し、しかも、この内部電源が外部電源に依存せ
ず、一定電圧を保持できる場合、この内部電源を直接N
MOSトランジスタN1のゲートに供給することによ
り、定電流源を作ることができる。しかし、この場合、
安定な内部電源を発生するための回路が必要となり回路
構成が複雑となる。これに対して、図1に示す回路は、
NMOSトランジスタN1のゲートをノードn0に接続
し、ノードn0の電位をNMOSトランジスタのゲート
にフィードバックすることにより、簡単な構成により定
電流源CSを構成できる。
【0019】図3は、この発明の第1の実施例であり、
図1と同一部分には同一符号を付す。図3において、P
MOSトランジスタP1,P2の各ソースと電源Vddの
相互間にはそれぞれPMOSトランジスタP3,P4が
接続されている。PMOSトランジスタP4のゲートは
接地され、PMOSトランジスタP3のゲートにはイン
バータ回路IVを介して制御信号SWが供給されてい
る。この制御信号SWは、不揮発性半導体記憶装置の外
部から供給される図示せぬチップイネーブル信号に応じ
て、不揮発性半導体記憶装置の内部で生成された信号で
ある。前記PMOSトランジスタP1とNMOSトラン
ジスタN1の接続ノードと接地間にはNMOSトランジ
スタN5が接続されている。このNMOSトランジスタ
N5のゲートには前記インバータ回路IVを介して制御
信号SWが供給されている。
【0020】一方、前記ノードn0と接地間には、NM
OSトランジスタN6,N7が直列接続されている。N
MOSトランジスタN6のゲートは前記ノードn1に接
続され、NMOSトランジスタN7のゲートには前記制
御信号SWが供給されている。NMOSトランジスタN
6とNMOSトランジスタN7の接続ノードには、前記
NMOSトランジスタN3のソースが接続されている。
【0021】上記構成において、図4を参照して動作に
ついて説明する。図示せぬチップイネーブル信号が非活
性状態の場合、制御信号SWは図4に示すようにローレ
ベルとされている。このとき、インバータ回路IVの出
力信号はハイレベルであるため、PMOSトランジスタ
P3はオフ状態、NMOSトランジスタN5はオン状態
となる。このため、PMOSトランジスタP2もオン状
態となる。このとき、ローレベルの制御信号SWが供給
されるNMOSトランジスタN7はオフ状態であるた
め、NMOSトランジスタN2,N3,N6はオフ状態
である。したがって、ノードn0の電圧、すなわち、バ
イアス電圧Vbiasは、常時オン状態のPMOSトランジ
スタP4及びオン状態のPMOSトランジスタP2によ
り電源電圧Vddとされる。
【0022】一方、図示せぬチップイネーブル信号が活
性化された場合、制御信号SWは図4に示すようにハイ
レベルとなる。すると、NMOSトランジスタN7がオ
ン状態となり、NMOSトランジスタN2,N3,N6
によってノードn0を接地電位に引く。前記NMOSト
ランジスタN6はノードn0を瞬時に接地電位に引くた
めに設けられている。NMOSトランジスタN6が無い
場合、NMOSトランジスタN2,N3の抵抗により、
高速動作が不可能となる。上記動作により、バイアス電
圧Vbiasはチップイネーブル信号が活性化された場合、
電源電圧Vddから高速に低下する。
【0023】また、制御信号SWがハイレベルとなる
と、インバータ回路IVの出力信号はローレベルとなる
ため、PMOSトランジスタP3はオン状態、NMOS
トランジスタN5はオフ状態となる。このため、PMO
SトランジスタP1,P2はオン状態となりカレントミ
ラー回路が動作する。回路が定常状態となると、NMO
SトランジスタN1は定電流源として動作し、バイアス
電圧Vbiasは1.7Vとなり、この電圧は電源電圧Vdd
に依存しない。すなわち、この定電圧発生回路はバイア
ス電圧Vbiasを1.7Vに保持する。
【0024】さらに、前記制御信号SWが図4に示すよ
うにローレベルとなると、前述したようにPMOSトラ
ンジスタP3、NMOSトランジスタN7はオフ状態、
NMOSトランジスタN5はオン状態となり、バイアス
電圧Vbiasは電源電圧Vddとなる。
【0025】上記第1の実施例によれば、カレントミラ
ー回路を構成するPMOSトランジスタP1のドレイン
にNMOSトランジスタN1のドレインを接続し、PM
OSトランジスタP2のドレインに負荷としてのNMO
SトランジスタN2,N3を直列接続し、共通接続され
たNMOSトランジスタN1,N2のゲートをPMOS
トランジスタP2のドレインに接続している。したがっ
て、NMOSトランジスタN1を定電流源として使用す
ることができるため、従来のようにデプレション型トラ
ンジスタを使用する必要がない。よって、製造工程、及
びコストの増加を抑えることができる。
【0026】また、バイアス電圧Vbiasは、チップイネ
ーブル信号が非活性の場合、電源電圧Vddとなり、チッ
プイネーブル信号が活性化されると、ローレベルとされ
る。したがって、従来のようにチップイネーブル信号が
非活性の場合、バイアス電圧Vbiasを接地電位とする場
合に比べて、バイアス電圧Vbiasの変化を高速化でき
る。
【0027】しかも、図示せぬチップイネーブル信号が
活性化され、制御信号SWによりNMOSトランジスタ
N7がオン状態すると、NMOSトランジスタN6によ
ってノードn0を接地電位に引くため、バイアス電圧V
biasを電源電圧Vddから高速に低下できる。
【0028】図5は、この発明の第2の実施例を示すも
のであり、図3と同一部分には同一符号を付し、異なる
部分についてのみ説明する。PMOSトランジスタP
1,P2の各ソースと電源Vddの相互間にはPMOSト
ランジスタP5が接続されている。このPMOSトラン
ジスタP5のゲートにはインバータ回路IVを介して制
御信号SWが供給されている。この回路において、NM
OSトランジスタN5は省略され、電源Vddとノードn
0の相互間にはPNMOSトランジスタP6が接続され
ている。このPNMOSトランジスタP6のゲートには
前記制御信号SWが供給されている。
【0029】上記構成において、図示せぬチップイネー
ブル信号が非活性状態の場合、制御信号SWはローレベ
ルとされている。このとき、インバータ回路IVの出力
信号はハイレベルであるため、PMOSトランジスタP
5はオフ状態であり、カレントミラー回路は非動作状態
となっている。また、ローレベルの制御信号SWが供給
されるNMOSトランジスタN7はオフ状態であるた
め、NMOSトランジスタN2,N3,N6はオフ状態
である。さらに、ローレベルの制御信号SWが供給され
るPMOSトランジスタP6はオン状態である。したが
って、バイアス電圧Vbiasは、PMOSトランジスタP
6により電源電圧Vddとされる。
【0030】一方、図示せぬチップイネーブル信号が活
性化された場合、制御信号SWはハイレベルとなる。す
ると、PMOSトランジスタP6がオフ状態となるとと
もに、NMOSトランジスタN7がオン状態となり、前
述したように、NMOSトランジスタN2,N3,N6
によってノードn0を接地電位に引く。上記動作によ
り、バイアス電圧Vbiasは電源電圧Vddから低下する。
【0031】また、制御信号SWがハイレベルとなる
と、インバータ回路IVの出力信号はローレベルとなる
ため、PMOSトランジスタP5がオン状態となり、P
MOSトランジスタP1,P2からなるカレントミラー
回路が動作する。回路が定常状態となると、この定電圧
発生回路は、前述したように、バイアス電圧Vbiasを
1.7Vに保持する。
【0032】図6は、この発明の第3の実施例を示すも
のであり、図5と同一部分には同一符号を付す。図6に
おいて、図5と異なるのはNMOSトランジスタN1の
接続位置である。図5において、NMOSトランジスタ
N1のゲートはNMOSトランジスタN2のゲート及び
ドレインに接続した。これに対して、図6ではNMOS
トランジスタN1のゲートはNMOSトランジスタN3
のゲート及びドレインに接続されている。図6に示す回
路の動作は図5と同様であり、定常状態におけるバイア
ス電圧Vbiasは、図5の場合と同様にほぼ1.7Vとな
る。
【0033】図7は、この発明の第4の実施例を示すも
のであり、図3と同一部分には同一符号を付す。図7に
おいて、図3と異なるのはNMOSトランジスタN1の
接続位置である。図7では図6と同様に、NMOSトラ
ンジスタN1のゲートをNMOSトランジスタN3のゲ
ート及びドレインに接続している。図7に示す回路の動
作は図3と同様であり、定常状態におけるバイアス電圧
Vbiasは、図3の場合と同様にほぼ1.7Vとなる。
【0034】上記第2乃至第4の実施例によっても第1
の実施例と同様の効果を得ることができる。図8は、こ
の発明が適用される不揮発性半導体記憶装置の一例を示
すものである。メモリセルアレイ11には、例えばE2
PROMからなる図示せぬメモリセルがマトリクス状に
配置されている。このメモリセルアレイ11には、アド
レス信号Addに応じて1つのメモリセルを選択するため
のロウデコーダ12、カラムデコーダ13が接続され、
これらロウデコーダ12、カラムデコーダ13にはロウ
プリデコーダ14、カラムプリデコーダ15が接続され
ている。前記カラムデコーダ13とセンスアンプ回路1
6との相互間にはカラムデコーダ13とセンスアンプ回
路16とを接続するトランジスタ17,18が接続さ
れ、これらトランジスタ17,18のゲートは定電圧発
生回路19の出力端に接続されている。この定電圧発生
回路19は、前述した第1乃至第4の実施例に示す回路
のいずれかが適用されるものであり、制御信号SWに応
じて所定のバイアス電圧Vbiasを生成する。前記センス
アンプ回路16は前記メモリセルアレイ11から読出さ
れたデータを検出する図示せぬセンスアンプ、及びメモ
リセルにデータを書き込む図示せぬ書き込み回路を含ん
でいる。このセンスアンプ回路16には入出力回路20
が接続され、この入出力回路20を介してセンスアンプ
回路16によって検出されたデータが出力されるととも
に、入力された書き込みデータがセンスアンプ回路16
に供給される。
【0035】図9は、図8の要部を具体的に示すもので
あり、図8と同一部分には同一符号を付す。前記センス
アンプ回路16に含まれるセンスアンプ21の一方入力
端は、負荷回路(L)22を介して電源Vddに接続さ
れ、この一方入力端と接地間には、前記トランジスタ1
7、カラム選択スイッチを構成するトランジスタ23、
及びE2 PROMからなるメモリセル24が直列接続さ
れている。このメモリセル24のゲートを構成するワー
ド線には、前記ロウデコーダ12の出力信号Xが供給さ
れている。前記トランジスタ23のゲートには前記カラ
ムデコーダ13の出力信号Yが供給され、前記トランジ
スタ17のゲートには前記定電圧発生回路19から出力
されるバイアス電圧Vbiasが供給されている。
【0036】一方、前記センスアンプ21の他方入力端
は負荷回路(L)25を介して電源Vddに接続され、こ
の他方入力端と接地間には、前記トランジスタ18、ダ
ミーカラム選択スイッチを構成するトランジスタ25、
及びダミーセルとしての定電流源26が接続されてい
る。前記トランジスタ25のゲートにはダミー信号Y´
が供給され、前記トランジスタ18には前記定電圧発生
回路19から出力されるバイアス電圧Vbiasが供給され
ている。
【0037】上記構成において、図示せぬチップイネー
ブル信号が非活性状態の場合、制御信号SWはローレベ
ルとされ、定電圧発生回路19から出力されるバイアス
電圧Vbiasは前述したように電源電圧Vddとなってい
る。したがって、トランジスタ17,18はオン状態で
あり、トランジスタ17とトランジスタ23の間の配線
l1、及びトランジスタ18とトランジスタ25の間の
配線l2は負荷22、25を介して充電される。
【0038】この状態において、例えばメモリセルに記
憶されたデータを読み出すため、チップイネーブル信号
が活性化されると、ロウデコーダ12、及びカラムデコ
ーダ13の出力信号に応じてトランジスタ23,25が
導通されるとともに、メモリセル24が選択される。配
線l1,l2は既にチャージされているため、メモリセ
ル24に記憶されたデータは、メモリセル24が選択さ
れると直ちに読み出され、センスアンプ21によって検
知、増幅される。したがって、高速にデータを読み出す
ことができる。
【0039】上記構成によれば、チップイネーブル信号
が非活性状態の場合、トランジスタ17、18は定電圧
発生回路19から出力される電源電圧Vddとされたバイ
アス電圧Vbiasによってオン状態とされ、配線l1,l
2をプリチャージしている。したがって、浮遊ゲートに
電子が注入されたメモリセルからデータを読み出す場
合、従来に比べてビット線を高速に充電できるため、読
み出し速度を高速化できる。また、ビット線は充電に要
する時間に比べて、放電に要する時間の方が短い。した
がって、浮遊ゲートから電子が放出されたメモリセルか
らデータを読み出す場合も、読みだし速度を高速化でき
る。
【0040】例えば配線の容量Cを時間ΔTでバイアス
電圧Vbiasにチャージするための電流量Ibiasは、 Ibias=C(Vdd−Vbias)/ΔT である。一方、配線の容量Cを接地電位からチャージす
るための電流量I´biasは、 I´bias=C・Vbias/ΔT である。同じ時間ΔTで出力を立ち上げようとした場
合、両回路に必要な電流量Ibias、I´biasの差ΔIbi
asは、 ΔIbias=I´bias−Ibias =C(Vdd−2Vbias) となる。したがって、Vbias=Vdd/2のとき、ΔIbi
as=0となり、必要な電流量は等しくなる。ところが、
通常NMOSトランジスタの相互コンダクタンスgmは
PMOSトランジスタのそれのほぼ2倍である。このた
め、同じ電流量であれば、回路の面積はNMOSトラン
ジスタでディスチャージするほうが占有面積を小さくで
きる。
【0041】図10は、図9の変形例を示すものであ
り、図9と同一部分には同一符号を付し、異なる部分に
ついてのみ説明する。図10において、電源Vddと配線
l1の相互間にはNMOSトランジスタ27が接続さ
れ、このNMOSトランジスタ27のゲートには前記バ
イアス電圧Vbiasが供給されている。また、電源Vddと
配線l2の相互間にはNMOSトランジスタ28が接続
され、このNMOSトランジスタ28のゲートには前記
バイアス電圧Vbiasが供給されている。さらに、前記ビ
ット線BLとダミービット線DBLの相互間にはNMO
Sトランジスタ29が接続され、このNMOSトランジ
スタ29のゲートにはビット線のイコライズ信号EQが
供給されている。このイコライズ信号EQはチップイネ
ーブル信号/CEに応じて発生される。
【0042】上記構成において、図11を参照して動作
について説明する。チップイネーブル信号/CEが活性
化され、バイアス電圧Vbiasが電源電圧Vddから低下す
る際、トランジスタ23の導通に伴って配線l1の電荷
がビット線BLに供給されるため、ビット線BLの電圧
は大きく変化する。図11に示すように、ビット線BL
の電圧がオーバーシュートにより所定電圧より上昇した
場合、選択されているメモリセルのドレイン電圧も高く
なるため、ソフトライト現象が発生する原因となる。
【0043】そこで、図11に示すように、チップイネ
ーブル信号/CEが活性化されてから所定時間イコライ
ズ信号EQを発生させ、NMOSトランジスタ29によ
ってビット線BLの電位をイコライズしている。したが
って、ビット線BLの電位の上昇を抑え、メモリセルの
ドレイン電圧が必要以上に上昇することを防止できるた
め、ソフトライト現象を防止でき、不揮発性半導体記憶
装置の信頼性を向上できる。尚、この発明は、上記実施
例に限定されるものではなく、発明の要旨を変えない範
囲において種々変形実施可能なことは勿論である。
【0044】
【発明の効果】以上、詳述したようにこの発明によれ
ば、チップサイズの大型化、及びコストの増大を抑え得
るとともに、アクセスの高速化を図ることが可能な不揮
発性半導体記憶装置とその定電圧発生回路を提供でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1はこの発明の原理を示す回路図。
【図2】図2は図1に示す回路の動作を説明するために
示す特性図。
【図3】図3はこの発明の第1の実施例を示す回路図。
【図4】図4は図3の動作を説明するために示す図。
【図5】図5はこの発明の第2の実施例を示す回路図。
【図6】図6はこの発明の第3の実施例を示す回路図。
【図7】図7はこの発明の第4の実施例を示す回路図。
【図8】図8はこの発明が適用される不揮発性半導体記
憶装置の一例を示す構成図。
【図9】図9は図8の要部を具体的に示す回路図。
【図10】図10は図9の変形例を示す回路図。
【図11】図11は図10の動作を説明するために示す
図。
【図12】図12は、従来の定電圧発生回路を示す回路
図。
【図13】図13は、図12の動作を示す図。
【符号の説明】
11…メモリセルアレイ、17,18…トランジスタ、
19…定電圧発生回路、21…センスアンプ、24…メ
モリセル、Vbias…バイアス電圧、l1,l2…配線、
BL…ビット線、CM…カレントミラー回路、LC…負
荷回路、CS…定電流源。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭55−34794(JP,A) 特開 平2−244488(JP,A) 特開 昭64−35793(JP,A) 特開 平4−64995(JP,A) 特開 平5−28781(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11C 16/00 - 16/34 G11C 11/34 H03K 19/00

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電流通路の一端が第1の電源に接続さ
    れ、ゲートに制御信号が供給された第1導電型の第1の
    トランジスタと、 電流通路の一端が前記第1の電源に接続され、ゲートが
    第2の電源に接続された第1導電型の第2のトランジス
    タと、 第1導電型の第3、第4のトランジスタを有し、これら
    第3、第4のトランジスタの電流通路の各一端が前記第
    1導電型の第1、第2のトランジスタの電流通路の各他
    端に接続され、各ゲートが前記第3のトランジスタの電
    流通路の他端に共通接続されたカレントミラー回路と、 電流通路の一端が出力端としての前記第1導電型の第4
    のトランジスタの電流通路の他端に接続された負荷回路
    と、 電流通路が前記第1導電型の第3のトランジスタの電流
    通路の他端と第2の電源の相互間に接続され、ゲートが
    前記第1導電型の第4のトランジスタの電流通路の他端
    と前記負荷回路との接続点に接続され、定電流源を構成
    する第2導電型の第1のトランジスタと、 電流通路が前記第1導電型の第3のトランジスタの電流
    通路の他端と第2の電源の相互間に接続され、ゲートに
    前記制御信号が供給された第2導電型の第2のトランジ
    スタと、 電流通路の一端が前記負荷回路の電流通路の他端に接続
    され、電流通路の他端が前記第2の電源に接続され、ゲ
    ートに前記制御信号と論理が反転された制御信号が供給
    される第2導電型の第3のトランジスタと、 電流通路の一端が前記出力端に接続され、電流通路の他
    端が前記第2導電型の第3のトランジスタの電流通路の
    一端に接続され、ゲートに前記負荷回路により生成され
    た電位が供給され、前記第2導電型の第3のトランジス
    タとともに導通し、前記出力端の電圧を低レベルに下げ
    る第2導電型の第4のトランジスタとを具備することを
    特徴とする定電圧発生回路。
  2. 【請求項2】 前記負荷回路は、各ゲートと電流通路の
    一端が接続され、前記出力端と前記第2導電型の第3の
    トランジスタの電流通路の一端との相互間に直列接続さ
    れた第2導電型の第5、第6のトランジスタによって構
    成されることを特徴とする請求項記載の定電圧発生回
    路。
  3. 【請求項3】 電流通路の一端が第1の電源に接続さ
    れ、ゲートに制御信号が供給された第1導電型の第1の
    トランジスタと、 電流通路の一端が前記第1の電源に接続され、ゲートが
    第2の電源に接続された第1導電型の第2のトランジス
    タと、 第1導電型の第3、第4のトランジスタを有し、これら
    第3、第4のトランジスタの電流通路の各一端が前記第
    1導電型の第1、第2のトランジスタの電流通路の各他
    端に接続され、各ゲートが前記第3のトランジスタの電
    流通路の他端に共通接続されたカレントミラー回路と、 電流通路の一端が出力端としての前記第1導電型の第4
    のトランジスタの電流通路の他端に接続された負荷回路
    と、 電流通路が前記第1導電型の第3のトランジスタの電流
    通路の他端と第2の電源の相互間に接続され、定電流源
    を構成する第2導電型の第1のトランジスタと、 電流通路が前記第1導電型の第3のトランジスタの電流
    通路の他端と第2の電源の相互間に接続され、ゲートに
    前記制御信号が供給された第2導電型の第2のトランジ
    スタと、 電流通路の一端が前記負荷回路の電流通路の他端に接続
    され、電流通路の他端が前記第2の電源に接続され、ゲ
    ートに前記制御信号と論理が反転された制御信号が供給
    される第2導電型の第3のトランジスタと、 電流通路の一端が前記出力端に接続され、電流通路の他
    端が前記第2導電型の第3のトランジスタの電流通路の
    一端に接続され、ゲートに前記負荷回路により生成され
    た電位が供給され、前記第2導電型の第3のトランジス
    タとともに導通し、前記出力端の電圧を低レベルに下げ
    る第2導電型の第4のトランジスタとを具備し、 前記負荷回路は、各ゲートと電流通路の一端が接続さ
    れ、前記出力端と前記第2導電型の第3のトランジスタ
    の電流通路の一端との相互間に直列接続された第2導電
    型の第5、第6のトランジスタによって構成され、 前記第2導電型の第1のトランジスタのゲート、及び第
    2導電型の第4のトランジスタのゲートは、前記第2導
    電型の第5、第6のトランジスタの接続点に接続される
    ことを特徴とする定電圧発生回路。
  4. 【請求項4】 電流通路の一端が第1の電源に接続さ
    れ、ゲートに制御信号が供給された第1導電型の第1の
    トランジスタと、 第1導電型の第2、第3のトランジスタを有し、これら
    第2、第3のトランジスタの電流通路の各一端が前記第
    1導電型の第1のトランジスタの電流通路の他端に接続
    され、各ゲートが前記第1導電型の第2のトランジスタ
    の電流通路の他端に共通接続されたカレントミラー回路
    と、 電流通路の一端が出力端としての前記第1導電型の第3
    のトランジスタの電流通路の他端に接続された負荷回路
    と、 電流通路が前記第1導電型の第2のトランジスタの電流
    通路の他端と第2の電源の相互間に接続され、ゲートが
    前記第1導電型の第3のトランジスタの電流通路の他端
    と前記負荷回路との接続点に接続され、定電流源を構成
    する第2導電型の第1のトランジスタと、 電流通路の一端が前記第1の電源に接続され、電流通路
    の他端が前記出力端に接続され、ゲートに前記制御信号
    と論理が反転された制御信号が供給され、この論理が反
    転された制御信号に応じて前記出力端を前記第1の電源
    の電圧に設定する第1導電型の第4のトランジスタと、 電流通路の一端が前記負荷回路の電流通路の他端に接続
    され、電流通路の他端が前記第2の電源に接続され、ゲ
    ートに前記制御信号と論理が反転された制御信号が供給
    される第2導電型の第2のトランジスタと、 電流通路の一端が前記出力端に接続され、電流通路の他
    端が前記第2導電型の第2のトランジスタの電流通路の
    一端に接続され、ゲートに前記負荷回路により生成され
    た電位が供給され、第2導電型の第2のトランジスタと
    ともに導通し、前記出力端の電圧を低レベルに下げる第
    2導電型の第3のトランジスタとを具備することを特徴
    とする定電圧発生回路。
  5. 【請求項5】 前記負荷回路は、各ゲートと電流通路の
    一端が接続され、前記出力端と前記第2導電型の第2の
    トランジスタの電流通路の一端との相互間に直列接続さ
    れた第2導電型の第4、第5のトランジスタによって構
    成されることを特徴とする請求項記載の定電圧発生回
    路。
  6. 【請求項6】 電流通路の一端が第1の電源に接続さ
    れ、ゲートに制御信号が供給された第1導電型の第1の
    トランジスタと、 第1導電型の第2、第3のトランジスタを有し、これら
    第2、第3のトランジスタの電流通路の各一端が前記第
    1導電型の第1のトランジスタの電流通路の他端に接続
    され、各ゲートが前記第1導電型の第2のトランジスタ
    の電流通路の他端に共通接続されたカレントミラー回路
    と、 電流通路の一端が出力端としての前記第1導電型の第3
    のトランジスタの電流通路の他端に接続された負荷回路
    と、 電流通路が前記第1導電型の第2のトランジスタの電流
    通路の他端と第2の電源の相互間に接続され、定電流源
    を構成する第2導電型の第1のトランジスタと、 電流通路の一端が前記第1の電源に接続され、電流通路
    の他端が前記出力端に接続され、ゲートに前記制御信号
    と論理が反転された制御信号が供給され、この論理が反
    転された制御信号に応じて前記出力端を前記第1の電源
    の電圧に設定する第1導電型の第4のトランジスタと、 電流通路の一端が前記負荷回路の電流通路の他端に接続
    され、電流通路の他端が前記第2の電源に接続され、ゲ
    ートに前記制御信号と論理が反転された制御信号が供給
    される第2導電型の第2のトランジスタと、 電流通路の一端が前記出力端に接続され、電流通路の他
    端が前記第2導電型の第2のトランジスタの電流通路の
    一端に接続され、ゲートに前記負荷回路により生成され
    た電位が供給され、第2導電型の第2のトランジスタと
    ともに導通し、前記出力端の電圧を低レベルに下げる第
    2導電型の第3のトランジスタとを具備し、 前記負荷回路は、各ゲートと電流通路の一端が接続さ
    れ、前記出力端と前記第2導電型の第2のトランジスタ
    の電流通路の一端との相互間に直列接続された第2導電
    型の第4、第5のトランジスタによって構成され、 前記第2導電型の第1のトランジスタのゲート、及び第
    2導電型の第3のトランジスタのゲートは、第2導電型
    の第4、第5のトランジスタの接続点に接続されること
    を特徴とする定電圧発生回路。
  7. 【請求項7】 複数の不揮発性のメモリセルがマトリク
    ス状に配置されたメモリセルアレイと、 前記メモリセルアレイのビット線に接続され、メモリセ
    ルを選択するカラムデコーダと、 選択された前記メモリセルから読み出されたデータを、
    ダミーセルから読み出されたデータに基づき増幅する増
    幅回路と、 前記増幅回路と前記カラムデコーダとの相互間に設けら
    れたトランジスタと、 制御信号が非活性状態の場合、電源電圧を前記トランジ
    スタのゲートに供給し、このトランジスタを導通させて
    このトランジスタと前記カラムデコーダとの間の配線を
    充電させ、前記制御信号が活性状態の場合、前記電源電
    圧より低いレベルの定電圧を出力し、前記トランジスタ
    を導通状態に保持する定電圧発生回路とを具備し、 前記電圧発生回路は、 電流通路の一端が第1の電源に接続され、ゲートに制御
    信号が供給された第1導電型の第1のトランジスタと、 電流通路の一端が前記第1の電源に接続され、ゲートが
    第2の電源に接続された第1導電型の第2のトランジス
    タと、 第1導電型の第3、第4のトランジスタを有し、これら
    第3、第4のトランジスタの電流通路の各一端が前記第
    1導電型の第1、第2のトランジスタの電流通路の各他
    端に接続され、各ゲートが前記第3のトランジスタの電
    流通路の他端に共通接続されたカレントミラー回路と、 電流通路の一端が出力端としての前記第1導電型の第4
    のトランジスタの電流通路の他端に接続された負荷回路
    と、 電流通路が前記第1導電型の第3のトランジスタの電流
    通路の他端と第2の電源の相互間に接続され、ゲートが
    前記第1導電型の第4のトランジスタの電流通路の他端
    と前記負荷回路との接続点に接続され、定電流源を構成
    する第2導電型の第1のトランジスタと、 電流通路が前記第1導電型の第3のトランジスタの電流
    通路の他端と第2の電源の相互間に接続され、ゲートに
    前記制御信号が供給された第2導電型の第2のトランジ
    スタと、 電流通路の一端が前記負荷回路の電流通路の他端に接続
    され、電流通路の他端が前記第2の電源に接続され、ゲ
    ートに前記制御信号と論理が反転された制御信号が供給
    される第2導電型の第3のトランジスタと、 電流通路の一端が前記出力端に接続され、電流通路の他
    端が前記第2導電型の第3のトランジスタの電流通路の
    一端に接続され、ゲートに前記負荷回路により生成され
    た電位が供給され、前記第2導電型の第3のトランジス
    タとともに導通し、前記出力端の電圧を低レベルに下げ
    る第2導電型の第4のトランジスタとを具備することを
    特徴とする不揮発性半導体記憶装置。
  8. 【請求項8】 前記ビット線と前記ダミーセルに接続さ
    れたビット線との相互間に接続され、前記制御信号が活
    性化された場合、前記両ビット線の電位をイコライズす
    るイコライズ回路を具備することを特徴とする請求項
    記載の不揮発性半導体記憶装置。
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