JP3203412B2 - グロ−放電プラズマ用電極及びこれを用いたオゾン発生または気体浄化方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はグロ−放電プラズマ用電
極に関し、特に窒素または空気中においても安定したプ
ラズマを発生することができるグロ−放電プラズマ用電
極及びこれを用いたオゾン発生および気体浄化方法に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、原料物質をグロ−放電により
プラズマ化し、これによって、表面改質が行われている
が、殊に、近時大気圧でグロ−放電が可能になって以来
プラズマ化による表面処理方法が盛んに行われるように
なってきた。そして、グロ−放電に際し、大気圧又は大
気圧に近い真空下で２枚の電極間に高周波電圧を印加し
グロ−放電を起してプラズマ励起させるのであるが、電
極より大きい面積を有する誘電体シ−トを電極の双方も
しくはその一方に貼り合せて高電圧を印加し、一方の電
極から他方の電極へ火花やア−クが廻り込むのを防いで
いる。誘電体シ−トとしてはポリエステル、ポリイミ
ド、アラミド、テフロン、セラミック、ガラス、雲母の
ような耐熱性の絶縁体シ−トが使用されている。

【０００３】また、大気圧又は大気圧に近い雰囲気下で
グロ−放電を発生させるには、不活性ガス中で行うのが
通常である。特にヘリウム中では極めて容易にグロ−放
電が起きる。しかし、アルゴン中もしくは窒素中では放
電が起りにくく、起っても無声放電となる。本発明者
は、先にアルゴン中でグロ−放電を起すに際し、ケトン
類や脂肪族炭化水素の微量を添加することによって容易
にグロ−放電を起すことを見出したが（特願平２−１８
７２１５号、特願平３−５５７０１号参照）、窒素中で
の有効な手段がなかった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明者らは
上記の欠点を補う為、研究を重ねた結果、導電性粉末を
含有する層若しくは導電性を有する層を有する誘電体シ
−トを重ね合わせて積層体とし、これを放電電極に貼り
合わせ一体化した電極を使用することによりグロ−放電
が起こりにくかったアルゴン、窒素、空気、酸素等のガ
ス中で極めて容易にグロ−放電を起すことを見出し、本
発明を完成したもので、本発明の目的はヘリウムは勿
論、窒素ガス、酸素ガス或いは空気中でも安定なグロ−
放電を発生し、更に、アルゴン中では、特にケトン類や
脂肪族炭化水素等を添加することなく安定なグロ−放電
を持続させる事ができる電極を提供するものである。

【０００５】

【課題を解決すべき手段】本発明の要旨は、少なくとも
２枚以上の大きさの異なる誘電体フイルムの一方の面に
導電性粉末を含有する層若しくは導電性を有する層を構
成し、これらの誘電体フイルムの大きさの小さいものよ
り大きいものの順に、導電性粉末を含有する層若しくは
導電性を有する層の電導度を順次段階的に小さくし、一
方の誘電体フイルムの誘電体の面が他の誘電体フイルム
の導電性粉末を含有する層若しくは導電性を有する層と
接するように重ね合わせて積層体とし、該積層体の大き
さの最も小さく、且つ、電導度の最も大きい層の誘電体
フィルムの誘電体の面が放電用電極と接するようにした
ことを特徴とするグロ−放電プラズマ用電極であり、ま
た、この電極を使用したオゾン発生方法及び気体浄化方
法である。その際、導電性粉末を含有する層としては、
導電性粉末よりなる塗料をもって構成した塗膜よりなる
層が好ましく、導電性の層としては、金属粉末を蒸着し
て構成した金属層であることが好ましい。

【０００６】本発明について詳細に述べる。本発明にお
いて使用する誘電体フイルムとしては、従来この種の誘
電体フイルムとして使用されているものであれば何れで
も良く、例えば、ポリエステル、ポリイミド、アラミ
ド、テフロン等の合成樹脂フイルム、或いは、セラミッ
ク、ガラス、雲母のような耐熱性の絶縁体シ−ト等何れ
でも良い。特に取扱上合成樹脂フイルムが好ましく、そ
の厚さとしては６ミクロン〜２００ミクロン程度のもの
が好ましい。

【０００７】塗料をもって塗膜を構成する場合、導電性
粉末としては、黒鉛（カ−ボン）、アルミニウム、ブロ
ンズ、その他金属酸化物等、何れでも使用する。また、
その際の塗料としては酢酸ビニル・塩化ビニルコ−ポリ
マ−、アクリル・酢酸ビニルコ−ポリマ−、アクリルエ
ステルコ−ポリマ−等の溶剤又はエマルジョンであり、
無機性のものでは珪酸ソ−ダ−の水溶液等であり乾燥又
は硬化して被膜を形成するものであれば、何れでも良
い。

【０００８】導電性粉末の濃度は、電極より離れるにし
たがって低濃度となるようにすることが好ましい。具体
的な濃度としては塗料１００部中に粉体として８０部か
ら０．０００１部、好ましくは６０部から０．１部であ
る。導電性粉末、特に黒鉛は吸油量が大きいので粒度に
より添加量を変える。又、三塩化アンチモン、塩化錫の
ような導電性の無機塩の分散又は溶解した樹脂溶液を塗
布し、濃度を変化させてもよい。

【０００９】他方、本発明において使用する導電性を有
する層を構成する手段としては、例えば、合成樹脂フイ
ルムに金属、例えば、アルミを蒸着する方法等があり、
金属粉末を使用し、誘電体フイルム表面に蒸着する場合
は、蒸着時間をコントロ−ルすることによって蒸着濃度
を段階的に変化させる。例えば、ポリエステルフイルム
に６００オングストロ−ム厚のアルミ蒸着を行えばこの
フィルムを透過して何も見えないが、３００オングスト
ロ−ム厚にすれば透過光を見ることができる。したがっ
て蒸着時間を変えることで０から６００オングストロ−
ム厚迄アルミの厚みを自由に変化することができる。こ
のようにして蒸着濃度を段階状に変化させた誘電体フイ
ルムを貼り合わせて多層化する。

【００１０】本発明において、上記の層が形成された誘
電体フイルムまたはシ−トを積層するに際しては、通常
の接着剤を使用すれば良く、例えば、市販の二液性エポ
キシ接着剤、アクリル樹脂の感圧接着剤又はシリコング
リ−スのような極めて稠度の高いグリ−スを使用しても
良い。また、誘電体フイルムとして塩化ビニルフイル
ム、ポリエチレンフイルム、ポリプロピレンフイルム等
の熱可塑性フイルムを使用した場合には導電性の層を設
けた後、加熱加圧して熱接着すれば良い。なお、エポキ
シ樹脂のような接着剤を使用する場合には、この接着剤
中に導電体を混合してこれを板状に成形して硬化せし
め、更にこの硬化の上に全く同様の方法によって導電体
を段階的に減らしたエポキシ接着剤を成形視重ね合わせ
てても良い。この場合、エポキシ樹脂自体が絶縁性が高
く、誘電体としてそのまま使用可能である。

【００１１】本発明において、濃度を異にした導電性の
層が形成されている誘電体フイルムを積層する積層体の
段数としては、別に制限はないが通常２〜１０段、好ま
しくは４〜７段であり、このまま上部電極の上に貼り合
わせてグロ−放電プラズマ電極とする。この電極におい
て、極めて濃厚なものから希薄なもの迄を層状に重ね合
わすことによって無数の放電トリガ−ができることにな
り、放電の開始電圧を下げ且つ容易にグロ−放電が起る
訳である。又、高濃度のものだけを層状に重ね合わせて
もその効果は弱いが、濃度の薄いものを重ね合わせた場
合は上記段階状に濃度を変えて張り合わせたものに略匹
敵する効果が得られる。

【００１２】要するにカ−ボンの分散密度が立体的にあ
る間隙をもって無数にあればその各々がトリガ−となっ
て放電が容易になる為に極板が金属単体の場合よりも空
気中窒素中でグロ−放電が発生しやすくなることが判明
した。この電極において大気圧プラズマの放電電極に貼
り合わせる積層体の大きさは段階的に大きくする理由
は、火花放電を起すのを防ぐためで、こうすることによ
って電極と誘電体の両方の作用を行い極めて有効であ
る。

【００１３】本発明のグロ−放電プラズマ用電極の使用
方法としては、プラズマ容器中の放電電極に前記積層体
を貼着して行う。貼着に際しては、シリコングリ−ス又
はエポキシ接着剤等フィルムを積層する為に使用した接
着剤で良い。又、導電性粉末を混入した接着剤も市販さ
れているがそのようなものを使っても良い。

【００１４】プラズマ容器内のプラズマ放電を行う雰囲
気のガスの種類としてはアルゴン、窒素、空気、酸素等
従来グロ−放電しにくいガス中においても容易に放電す
ることができる。勿論、ヘリウム中においても可能であ
る。プラズマ容器中の放電電極における電極間の間隙、
印加する電圧、及び周波数については、プラズマ容器中
の雰囲気ガスの種類或いはその圧等によって種々変わる
が、一般的には間隙０．５〜７０ｍｍ以上、電圧１００
０Ｖ〜１００００Ｖ、周波数は５０Ｈｚ〜１０００００
Ｈｚである。しかしこれは流通させるガスの種類により
大きく変化する。最も間隙が狭く電圧の高いものが酸素
であり空気、窒素アルゴン、ヘリウムの順に間隙が広く
なりヘリウム単独では７０ｍｍ以上でもグロ−放電を起
す。

【００１５】周波数は商用周波数から１０００００Ｈｚ
以上でも可能であるが通常発熱の問題があるので好まし
いのは５０Ｈｚ〜１００００Ｈｚである。例えば、プラ
ズマ容器中の上下電極の上部電極に、後述の実施例１の
電極をとりつけて下部電極との間隙を３ｍｍとし、中の
空気を窒素で置換し上下電極間に５０００Ｈｚ、５００
０Ｖの電圧を印加すれば、窒素特有の濃紫色のグロ−放
電となり、プラズマ励起される。単に黄銅製の電極では
火花放電となり又、金属に誘電体をはっただけではフィ
ラメント状の無声放電となる。本発明にかかる積層体を
電極に貼り着けて初めてグロ−放電を発生する。

【００１６】窒素の代わりに空気を入れてもグロ−放電
が起り、紫紅色のグロ−となりプラズマ励起される。通
常、空気中では無声放電となり全くグロ−放電を起さな
いがこの電極を使用することによってグロ−放電が起
り、その間に被処理物を入れることによって処理物表面
をプラズマにより改質することが空気でも可能となる。
但し水分を含んだ空気では不可であり、使用する空気は
市販のボンベ入り混合空気か又は乾燥した水分のない空
気を使用することが必要である。また、アルゴンガスで
プラズマ容器中の空気を完全に置換して上下電極間に高
周波電圧を印加すると、通常の電極では無声放電となる
が、本発明の電極では間隙５ｍｍ、３０００Ｖ、５００
０Ｈｚで美しいグロ−となり極めて安定である。

【００１７】このようにして導電性の層を有する誘電体
フィルムを順次貼り合わせて一体とし、これを放電電極
に貼りあわせてグロ−放電プラズマ用電極を構成する
が、これに対向する他方の電極は、上記の導電性の層を
有する誘電体フィルムを貼り合わせた物であっても、或
いは単に誘電体フイルムであっても、また、金属放電電
極のままであっても何れでも良い。本発明にかかるグロ
−放電プラズマ用電極を図面をもって具体的に説明す
る。図１はそのグロ−放電プラズマ用電極の構造を具体
的に示した側面図であって、放電電極１に誘電体フィル
ム２の誘電体面を貼り合わせる。該誘電体フィルム２の
他方の面には導電性の層３が形成されている。この導電
性の層３には、誘電体フィルム１より大きい他の誘電体
フィルム４の誘電体面を貼り合わせる。そして、この誘
電体フィルム３の他の面には導電性の層５が形成されて
いる。導電性の層５の電導度は導電性の層３の電導度よ
り小さい。

【００１８】本発明にかかるグロ−放電プラズマ用電極
は空気中において安定したグロ−放電を行い、オゾンを
発生させることができるので、該電極を使用して酸素含
有気体を流通させたオゾン発生機用の電極として適して
おり、また、グロ−放電中をＮＯＸ，ＳＯＸなどのガス
を含む気体もしくは有害物の蒸気を流通させると高効率
で有害物を除去できるので有害物除去する浄化装置用の
グロ−放電プラズマ用電極として有効である。図２にお
いてその概略図を示す。図２において、誘電体面に導電
性の層３を有する誘電体フィルム２を所要枚数積層し、
これを放電電極１に添着してグロ−放電プラズマ用電極
を構成し、これに対向して電極７を配設し、その上に誘
電体フイルム６を載せる。これらの電極をガス入口８及
びガス出口９を有する反応容器に設ける。図３は、他の
プラズマ反応容器を示す。この容器ではガス入口８を反
応容器の上部に、ガス出口９を下部に設ける。そして、
グロ−放電プラズマ用電極の積層部分に孔を設けガスの
流通を良くする。このような装置は上部の入口より酸素
を供給し、下部の出口よりオゾンを排出しやすいので、
オゾン発生装置として好適である。

【００１９】次に、実施例をもって更に本発明を具体的
に説明する。

【実施例】

実施例１ 導電体の粉末としては黒鉛（東洋炭素株式会社製Ｂ−
１）を使用した。これは粒度が最大０．１ミクロンのカ
−ボンであり導電性も高く塗料に入れるだけで簡単に導
電被膜をつくることができる。塗料としては酢ビ、塩ビ
コ−ポリマ−で一般に使用されているＶＡＧＨを用い
た。その配合割合は次の通りである。 ＶＡＧＨ （酢ビ・塩ビコ−ポリマ−） １０部 Ｂ−１黒鉛 （東洋炭素株式会社製） １０部 トルエン ４０部 メチルエチルケトン ４０部

【００２０】先ず、ＶＡＧＨをトルエン及びメチルエチ
ルケトンに溶解し、完全な溶液とする。この溶液中にＢ
−１黒鉛を撹拌しながら添加して分散させ、黒色の粘稠
な液を作る。これを厚み２５ミクロンのポリエステルフ
ィルムの片面上に１２番バ−コ−タ−で塗布、乾燥す
る。この塗膜の抵抗を測定したところ、８０ｋΩを示し
た。次に、この溶液５０部をとり、その中にトルエン２
５部及びメチルエチルケトン２５部を加えて撹拌し、２
倍に希釈した。この溶液を同様に２５ミクロンのポリエ
ステルフィルムの片面上に１塗布し、乾燥する。この塗
膜の抵抗を測定したところ、１ＭΩであった。更に、同
様の手段で２倍に希釈して、同じ厚さのポリエステルフ
イルム面上に塗膜を構成、その抵抗は３０ＭΩであっ
た。

【００２１】なお、上述のように溶媒で希釈せずに、Ｂ
−１黒鉛の量を上記１０部より５部、２．５部と順次減
らしても良い。但し、溶媒は減らした分追加する。この
ようにして５枚の導電性ポリエステルフイルムを作成
し、その電気抵抗を測定したところ５００ＫΩ、１Ｍ
Ω、３０ＭΩ、１０００ＭΩ、及び１０００ＭΩ以上で
あった。また、５００ＫΩのフイルムから直径１００ｍ
ｍの円を、１ＭΩのフイルムから直径１２０ｍｍの円
を、３０ＭΩのフイルムから直径１４０ｍｍの円を、１
０００ＭΩのフイルムから直径１６０ｍｍの円を及び１
０００ＭΩ以上のフイルムから直径１８０ｍｍの円を順
次切り取る。これらの円形フイルムを先に示した図１の
ように導電面を内側にして層状とし各フイルムを２液性
エポキシ樹脂接着剤で貼り合わせ一体とした。このよう
にして得られた積層体をプラズマ容器中の放電電極にシ
リコングリ−スで貼着した。

【００２２】プラズマ容器中の放電電極に貼着した状態
を図２に示す。図２において上部電極１に貼着したフイ
ルム２は電導性の最も大きい塗膜を有するフイルムであ
り、フイルム３は電導性の最も小さいフイルムである。
また、この装置においては下部電極４に上に誘電体を付
ける。そして、この容器内にガス入口５より窒素ガスを
導入し、ガス出口６より排出し、容器内の雰囲気を窒素
雰囲気とし、電極間間隙が３ｍｍの上下電極間に４００
０Ｖ〜５０００Ｖ、周波数１０００Ｈｚ〜１００００Ｈ
ｚの高電圧を印加したところ、窒素のグロ−放電である
濃い紫色のグロ−放電が発生した。この放電は安定に持
続していた。周波数を更に低下させて商用周波数まで下
げてもグロ−放電が安定に発生した。 また、本実施例
では濃度の最も高いものはＶＡＧＨ１０部に対し、Ｂ−
１カ−ボン１０部のものを塗布し、これを更に希釈して
ＶＡＧＨ１０部に対しＢ−１カ−ボン２．５部のものを
放電電極に近い所から３番目位のものに当るが、この程
度のものを塗布すると真黒にならずグレ−となり、透過
して物を見ることができる程度である。この程度の濃度
のフィルムを何枚か作りこれを重ね合わせて接着し極板
として使用しても同様にグロ−放電させることができ
る。

【００２３】実施例２ 厚み５０ミクロンのポリイミドフィルムを誘電体フイル
ムとして使用し、これに次のような処方の導電塗料を１
０番のバ−コ−タ−で塗布し乾燥した。 アクリルコ−ポリマ−Ｂ−７５（ロ−ムアンドハ−ス社製） １０部 ドライアルペ−ストＰ１９００（東洋アルミ） １０部 メチルエチルケトン ８０部 メチルエチルケトンにＢ−７２を溶解し、これにドライ
アルペ−ストを加えて銀色の分散液とする。次にこの液
の５０部をとり、メチルエチルケトン３０部を加えて希
釈し、これを実施例１と全く同様にポリイミドフィルム
に塗布した。同様に、この液３０部をとり、更にメチル
エチルケトン３０部を加えて同様に塗布乾燥した。この
３枚を実施例１と全く同様にして円形に切りエポキシ樹
脂にて張り合わせプラズマ容器中の上部放電電極はシリ
コングリ−スにて接着させた。

【００２４】プラズマ反応容器中の空気をアルゴンガス
で置換し、完全にアルゴンで満たされたとき電圧を印加
する。この場合、周波数５０００Ｈｚ 電圧４０００Ｖ
で美しいグロ−放電が起こりプラズマ励起される。アル
ゴンガスは本発明の電極を使用せず単に上部電極と下部
電極に誘電体のフィルムを張り合わせただけで放電させ
るとグロ−放電にならず絹糸状又は柱状の放電（無声放
電）となりグロ−になりにくい。従って本発明の電極を
使用することによって極めて効率の良いグロ−放電と成
りプラズマによる表面処理もできるようになる。

【００２５】実施例３ 厚み５０ミクロンのアラミカフィルム（アラミド樹脂）
に実施例１と全く同様な方法でデグサ社のプリンテック
ス１４０Ｖカ−ボンを塗布乾燥し、同様に５枚の円形フ
ィルムを作成した。これをエポキシ樹脂にて張りあわ
せ、プラズマ反応容器中の上部電極にシリコングリ−ス
にて張りあわせた。容器中の空気をボンベ入りの乾燥空
気（窒素７９％酸素２１％の混合気）で置換し、完全に
乾燥混合空気に置きかわった時、極間の間隙１〜２ｍｍ
周波数６０Ｈｚから３００Ｈｚ電圧５０００Ｖ〜６００
０Ｖを印加すると桃色のグロ−放電が起こり、空気を少
量づつ流しながら行うと排出口では著しいオゾンの臭気
がした。

【００２６】電圧５０００Ｖ間隙１ｍｍ周波数６０Ｈｚ
の適用周波数でグロ−放電を起こさせた時、そのオゾン
生成エネルギ−効率を調べた。生成オゾン濃度は沃化カ
リウム法で測定した。オシロスコ−プで電圧をＸ軸電流
をＹ軸にとりリサ−ジュ図形を作って放電エネルギ−を
調べた結果、従来の無声放電によるオゾンの生成エネル
ギ−効率に比べて効率が３０％近く増大していることが
わかった。その結果この電極を使用して空気中でグロ−
放電を起こさせることにより非常にエネルギ−効率の高
いオゾナイザ−として使用できることが明らかとなっ
た。

【００２７】実施例４ 実施例１の黒鉛粉末の代わりにアルミや銅を真空蒸着し
てその濃度を段階的に変化させても同様に電極を作るこ
とができる。ポリエステルフィルムの厚み２５ミクロン
のものをＡ−４版の大きさに切り取りこれを真空蒸着機
のガラスベンジャ−中に貼りつけ抵抗加熱でアルミ線を
溶解し１０^-4の真空中で１５秒間アルミ蒸着を行った。
この銀色のフィルムを通して透過したものがかすかに見
える程度であるが厚みは５３０オングストロ−ムであ
る。次に全く同様にして蒸着時間を７秒、３秒、１秒と
したものを作った。７秒ではやや銀色を呈していたが３
秒、１秒ではややグレイがかったフィルムとなるだけで
透過の度合は元のフィルムと殆ど大差なかった。厚みは
蒸着時間７秒で３４０オングストロ−ム、３秒では１０
０オングストロ−ム以下であり１秒では測定できなかっ
た。このフィルムを実施例１と全く同様にして最も厚い
１５秒から１秒までのものを作り段階状にエポキシ樹脂
で接着し蒸着時間１５秒ものをプラズマ反応容器中の電
極にアルミ面が外側になるように張り付けた。この反応
容器の空気を窒素４０部、アルゴン６０部の混合ガスで
完全に置換し、電極間の間隙３ｍｍで高電圧を印加し
た。周波数３０００Ｈｚ、４３００Ｖで紫色のグロ−放
電が起り３０Ｗの出力で安定に持続した。糸状や柱状放
電は全く発生していない。

【００２８】実施例５ ポリイミドフィルムの厚み２５ミクロンのものに次のよ
うな処方の導電塗料を１０番のバ−コ−タ−で塗布乾燥
する。 ブチラ−ル樹脂（セキスイ化学）ＢＭＳ １０ 銅粉（ブロンズ粉） １０ トルエン ４０ エチルアルコ−ル ４０ トルエンアルコ−ル混合物にブチラ−ル樹脂を溶解し、
その中にブロンズ粉を混合して銅色の粘稠液とする。次
にこれを実施例１と全く同様に段階的に導電体粉末の濃
度を代えたものを塗布し４枚の円形フィルムを作る。こ
れをエポキシ樹脂にて同心円状に接着し、実施例と全て
同様に電極にシリコングリ−スにて接着する。

【００２９】このものを上部電極とし、下部電極には２
５ミクロンのポリイミドを張り合わせ両電極の間隙を３
ｍｍとし、この中にアンモニアガスを混合した窒素ガス
を導入し、反応容器の空気を置換する。別にネオントラ
ンス入力１００Ｖ、出力９０００Ｖの６０Ｈｚの電圧を
上下電極に印加すると紫色のグロ−放電を起こしプラズ
マ励起される。反応容器入口より入ってアンモニア混合
窒素ガスは放電しない中は著しい臭気と刺激があるがグ
ロ−放電を起こさせた後は出口より排出されるものの臭
気は著しく改善されプラズマ反応によってアンモニアが
分解又は変質されていることが判明した。このように本
電極を使用してグロ−放電を起こしプラズマ励起させる
とその中の有害物が分解していくことが判る。

【００３０】実施例６ 厚み３０ミクロンの雲母板（無色の良質のもの）に実施
例１と全く同様にＢ−１黒鉛を塗布し同様に４枚の円形
板を作る。これを水硝子（珪酸ソ−ダ）の粘稠液にては
り合わせ層状電極とし上部電極に設置する。下部電極に
も誘電体として雲母板の３０ミクロンのものを設け電極
間隙０．５ｍｍ〜０．８ｍｍにする。この両電極を設け
た容器中の空気を酸素で置換し完全に酸素で満たされた
時７０００Ｈｚ５０００Ｖの電圧を印加すると桃色のグ
ロ−を発生し酸素中でもグロ−放電を起す。酸素を入口
から少しずつ入れ出口にて排出すると著しいオゾン臭が
ありその排出ガスを沃化カリ水溶液中に導入すると沃素
がたちまち遊離して茶色く変化する。

【００３１】

【発明の効果】以上述べたように、本発明は、プラズマ
容器の放電電極に導電性の層を有する誘電体フイルムの
積層体を貼り着けることによって、窒素中や空気中にお
いても安定したグロ−放電を行うことができる。また、
アルゴン中では、特にケトン類や脂肪族炭化水素等を添
加することなく窒素中や空気中の場合と同様に安定した
グロ−放電を発生することが出来る。

【００３２】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかるグロ−発生プラズマ用電極

【図２】本発明にかかるグロ−発生プラズマ用電極を使
用した方法の説明図

【図３】本発明にかかるグロ−発生プラズマ用電極を使
用したオゾン発生方法の説明図

【符号の説明】 １，７ 放電電極 ２，４，６ 誘電体フイルム ３，５ 導電性の層 ８ ガス入口 ９ ガス出口 １０ 孔

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小駒 益弘 埼玉県和光市下新倉843−15 (56)参考文献 特開 昭54−56094（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−65002（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B01J 19/08 B01D 53/32 C01B 13/11 H01J 17/04 H05H 1/00

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも２枚以上の大きさの異なる誘
   電体フイルムの一方の面に導電性粉末を含有する層若し
   くは導電性を有する層を構成し、これらの誘電体フイル
   ムの大きさの小さいものより大きいものの順に、導電性
   粉末を含有する層若しくは導電性を有する層の電導度を
   順次段階的に小さくし、一方の誘電体フイルムの誘電体
   の面が他の誘電体フイルムの導電性粉末を含有する層若
   しくは導電性を有する層と接するように重ね合わせて積
   層体とし、該積層体の大きさの最も小さく、且つ、電導
   度の最も大きい層の誘電体フィルムの誘電体の面が放電
   用電極と接するようにしたことを特徴とするグロ−放電
   プラズマ用電極。
2. 【請求項２】 請求項１記載の電極により発生させたグ
   ロ−放電中を酸素含有気体を流通させてオゾンを発生せ
   しめたことを特徴とするオゾン発生方法。
3. 【請求項３】 請求項１記載の電極により発生させたグ
   ロ−放電中を有害物含有気体を流通させて有害物を除去
   する気体浄化方法。