JP3191597B2 - 高周波加熱装置 - Google Patents

高周波加熱装置

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JP3191597B2 JP03213495A JP3213495A JP3191597B2 JP 3191597 B2 JP3191597 B2 JP 3191597B2 JP 03213495 A JP03213495 A JP 03213495A JP 3213495 A JP3213495 A JP 3213495A JP 3191597 B2 JP3191597 B2 JP 3191597B2
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B6/00Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
    • H05B6/64Heating using microwaves
    • H05B6/66Circuits
    • H05B6/68Circuits for monitoring or control
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    • H05B6/682Circuits comprising an inverter, a boost transformer and a magnetron wherein the switching control is based on measurements of electrical values of the circuit
    • H05B6/685Circuits comprising an inverter, a boost transformer and a magnetron wherein the switching control is based on measurements of electrical values of the circuit the measurements being made at the low voltage side of the circuit
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H05B6/64Heating using microwaves
    • H05B6/66Circuits
    • H05B6/666Safety circuits

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は食品や流体等を加熱する
ための高周波加熱装置に関し、さらに詳しく言えば、そ
の電源装置に高周波電力を発生する半導体電力変換器を
用いた高周波加熱装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来例を特開昭64−12491号公報
を引用して示す。図9はその高周波加熱装置の回路図。
家庭用の高周波加熱装置の電源回路において図9に示す
ような構成のものが多く用いられている。
【0003】商用電源2、ダイオードブリッジ9及びチ
ョークコイル10とコンデンサ11よりなるフィルター
回路とで単方向電源部20を構成しており、共振コンデ
ンサ12、昇圧トランス3、トランジスタ15、転流ダ
イオード14、コンデンサ5、ダイオード6、及びマグ
ネトロン7よりなる電力変換器21に電力を供給する。
電力変換器21は、共振コンデンサ12、昇圧トランス
3、トランジスタ15、転流ダイオード14よりなるイ
ンバータと、昇圧トランス3の出力を整流するコンデン
サ5と、ダイオード6よりなる高圧整流回路と、高周波
電力を発生するマグネトロン7とで構成されている。
【0004】トランジスタ15は、制御部16より20
〜50KHzのスイッチング制御信号を与えられスイッチ
ング動作する。従って、昇圧トランス3の1次巻線13
には高周波電圧が発生し、この高周波電圧が昇圧されマ
グネトロン7が発振する。制御部16にはカレントトラ
ンス等で構成される入力電流検知器19により商用電源
2から供給される入力電流に比例した信号が送られる。
制御部16は入力電流が定められた値になるようにトラ
ンジスタ15の導通時間と非導通時間を制御する、いわ
ゆるパルス幅制御によってマグネトロン7の電磁波出力
を一定制御する構成となっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、マグネトロン
の特性上、一定の電磁波出力を連続して動作させると、
温度上昇に伴い永久磁石によって発生している磁界が弱
まり陽極電圧が低下することになる。これは永久磁石に
使用されるフェライト等の磁性体がもつ温度特性として
如何ともしがたいものである。
【0006】当然、入力電力を一定に制御している関係
上、電力変換効率が不変とするとマグネトロンに供給さ
れる電力(陽極電流×陽極電圧)も一定になるため、陽
極電圧は低下することにより、陽極電流は逆に増加す
る。さらに温度が上昇し続けると陽極電流がマグネトロ
ンの絶対最大定格をオーバーし寿命を著しく短縮化させ
るという課題があった。当然それを考慮した設計をする
と電磁波出力を低く抑えざるをえず加熱装置としての能
力を低下させる要因となっていた。
【0007】そこで、本発明は昇圧トランスの2次側で
生じているマグネトロンの陽極電流の異常増加を電流検
出器等を一切使用せずにトランスの1次側で遠隔的に検
出し、速やかに電磁波出力を低下させマグネトロンの陽
極電流の絶対最大定格オーバーによる寿命短縮を防止す
るとともに冷却条件にあった最大限の電磁波出力を得る
ことを第1の目的としている。
【0008】また、マグネトロンへの入力電力を一定と
すると陽極電流は陽極電圧に反比例することは既に述べ
たが、マグネトロンの製造上のバラツキにより定格陽極
電圧(ある条件下で規定した代表特性)も相応の許容範
囲を有している。従って、マグネトロンへの入力電力を
一定とした時の陽極電流の温度特性は図10の様にな
る。(a)は陽極電圧最大のマグネトロン、(b)は陽極電圧
最小の場合のマグネトロンである。全製造物は(a)と(b)
の範囲に存在することになる。ここで所定の陽極電流値
で異常温度状態を検知すると、(a)の場合T2で検出でき
る。しかし(b)の場合はT1で検出することになる。従っ
て、そこには△Tの温度検出誤差が生じることになる。
【0009】そこで本発明は、マグネトロンの定格陽極
電圧が製造上ばらついても正確にマグネトロンの陽極温
度をマグネトロンへの密着型あるいは近接型の温度検出
装置などを一切使用せず遠隔的に検出し、所定値に達す
ると速やかに電磁波出力を低下させマグネトロンを熱的
ダメージから保護するとともに冷却条件にあった最大限
の電磁波出力を得ることを第2の目的としている。
【0010】
【発明を解決するための手段】そこで、前記第1の目的
を達成するために本発明は、商用電源を単方向に変換す
る単方向電源部と、少なくとも1個の半導体素子を有
し、半導体素子を高周波でON/OFFすることにより
単方向電源部からの電力を高周波電力に変換するインバ
ータ部と、インバータ部の出力電圧を昇圧する昇圧トラ
ンスと、昇圧トランスの出力電圧を整流する高圧整流部
と、高圧整流部の出力を電磁波として放射するマグネト
ロンと、単方向電源部への電流を検出する入力電流検出
手段と、半導体素子を制御する制御部と、半導体素子の
ON/OFFのデューティー比を検出するスイッチング
レート検出手段とを設けたものである。
【0011】また、第2の目的を達成するために本発明
は、商用電源を単方向に変換する単方向電源部と、少な
くとも1個の半導体素子を有し、半導体素子を高周波で
ON/OFFすることにより単方向電源部からの電力を
高周波電力に変換するインバータ部と、インバータ部の
出力電圧を昇圧する昇圧トランスと、昇圧トランスの出
力電圧を整流する高圧整流部と、高圧整流部の出力を電
磁波として放射するマグネトロンと、単方向電源部への
電流を検出する入力電流検出手段と、半導体素子を制御
する制御部と、半導体素子のON/OFFのデューティ
ー比を検出するスイッチングレート検出手段と、マグネ
トロンがある所定温度で動作している時のスイッチング
レート検出手段の出力を所定値に調整するスイッチング
レート調整手段とを備えたものである。
【0012】
【作用】本発明は上記構成によって以下の作用を果たす
ものである。
【0013】まず第1の目的を達成するために本発明の
高周波加熱装置は、制御部によって入力電流検出手段の
出力を所望値に一定制御すべく前記半導体素子をON/
OFF制御するとともに、スイッチングレート検出手段
の出力が所定しきい値以下になったとき、一定に制御し
ていた入力電流値を低く変更する。それによって、昇圧
トランスの2次側で生じているマグネトロンの陽極電流
の異常増加を、電流検出器等を一切使用せずにトランス
の1次側で遠隔的に検出して速やかに電磁波出力を低下
させることができる。
【0014】また、第2の目的を達成するために本発明
の高周波加熱装置は、制御部によって入力電流検出手段
の出力を所望値に一定制御すべく前記半導体素子をON
/OFF制御するとともに、スイッチングレート調整手
段によってマグネトロン間の偏差なく調整されたスイッ
チングレート検出手段の出力が所定しきい値以下になっ
たとき、一定に制御していた入力電流値を低く変更す
る。それによって、マグネトロンの定格陽極電圧が製造
上ばらついても正確にマグネトロンの陽極温度をマグネ
トロンへの密着型あるいは近接型の温度検出装置などを
一切使用せず遠隔的に検出し、所定値に達すると速やか
に電磁波出力を低下させることができる。
【0015】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。
【0016】図1は本発明の一実施例における回路図で
ある。ここで、図9と同一要素番号については制御部1
6を除いて機能・動作が同一であり詳述を割愛する。単
方向電源部20からの直流電圧を高周波電力に変換する
インバータ部1はコンデンサ12と昇圧トランスの1次
巻線13からなる共振タンク回路と、それに接続された
トランジスタ15とダイオード14からなる半導体スイ
イッチング手段からなり、制御部16からのON/OF
F指令でトランジスタ15を駆動することにより上記機
能を実現している。17は制御部16からのON/OF
F指令を受けそのスイッチングレートに比例した電圧レ
ベルを出力するスイッチングレート検出手段である。
【0017】ここで、制御部16は入力電流検知器19
で検出した信号を受け、それが一定値となるようにトラ
ンジスタ15へのON/OFF指令信号を制御する。こ
れによって機器は入力電流を一定で動作する。さらに動
作中の力率及び効率が概ね変化しないことを考慮する
と、電磁波出力一定で動作することになる。
【0018】さらに、制御回路16は上記動作条件下
(入力電流一定)でマグネトロンのアノード電圧に比例
するスイッチングレート検出手段17の出力を受け、そ
の値が所定出力以下になったとき入力電流を軽減する動
作となっている。
【0019】従って、入力電流一定とするとマグネトロ
ンへの入力電力もほぼ一定となるためマグネトロンの陽
極電流Ib、陽極電圧ebm、入力電力Pinは各々 Pin=Ib×ebm の式で関連づけられることになる。この式からすると図
2(a)のごとくマグネトロンの温度(陽極温度Ta)が
上昇するにつれ陽極電圧ebmは低下する。さらに図2
(b)のごとく陽極電圧ebmは低下するにつれて陽極電
流Ibが増加することになる。従って、トランジスタ15
へのON/OFF指令信号によるスイッチングレートは
陽極電圧ebm比例関係にあること鑑みると陽極電流Ibと
の関係は図3(c)の様な関係になる。
【0020】この関係から、スイッチングレートに比例
したスイッチングレート検出手段17の出力を検出し、
ある所定値(マグネトロンの陽極電流の絶対最大定格に
匹敵する出力値)をしきい値として、それを下回った時
入力電流を低下させるような制御にしておけば過度の温
度上昇が生じた際にもマグネトロンの陽極電流が絶対最
大定格を超え寿命を短縮化させることはない。また陽極
電流の増加をみこして電磁波出力の定格を低く設計する
必要もなくなる冷却条件にあった最大限の電磁波出力を
得ることができる。
【0021】それではスイッチングレート検出手段17
の動作を図3、制御回路16の動作を図4及び図5を用
いて説明する。
【0022】まずスイッチングレート検出手段17の動
作を説明する。図3でトランジスタ15へのON/OF
F指令信号(DRIVE)は抵抗71及び抵抗72から
なるローパスフィルターを通過して概ね直流化される。
さらに後段の制御回路16との電圧レベルの整合を図る
ため抵抗73、74、オペアンプ75からなる非反転増
幅器によってレベルシフトし電流制限抵抗76を通じて
出力される。この信号はON/OFF指令信号によるト
ランジスタ15のスイッチングの比率を直流値で表した
信号(DUTY/DC)である。このDUTY/DC信
号と陽極電流Ibの関係は図2(c)と同じであることは
自明である。
【0023】次ぎに、制御回路16の動作を説明する。
図4で入力電流検知器19を介して伝達された入力電流
信号はダイオードブリッジ70によって全波整流され
る。ここで抵抗39は入力電流検知器19の負荷抵抗で
ある。抵抗39の両端に発生した入力電流信号は抵抗3
8とコンデンサ40からなるローパスフィルターで高周
波成分を除去され概ね直流化された入力電流の平均値に
相当する信号(Iin/DC信号)が通過する。
【0024】抵抗36、37オペアンプ34から入力電
流制御のための負帰還増幅器が構成される。抵抗36に
入ったIin/DCはオペアンプ34の非反転端子に入
力される入力電流制御信号(Vref)を基準電位とし
て負帰還増幅される。オペアンプ34の出力はトランジ
スタ15のON/OFF指令信号のパルス幅を決定する
しきい値信号(Ton)となる。Ton信号はオペアン
プ35の非反転端子に入力される。一方、反転端子には
後述する三角波信号が入力され、オペアンプ35がコン
パレータ動作しHighでトランジスタ15をON、L
OWでOFFするDRIVE信号を出力する。
【0025】Vref信号はマグネトロンの正常発振時
には抵抗28と抵抗29の分圧で決定される電圧である
がマグネトロンの過度の温度上昇により陽極電流が増加
し、ある限度値を超えるとトランジスタ77がオンして
抵抗27が抵抗29に並列に挿入される形となりVre
fの値は低下する。するとオペアンプ34の出力信号で
あるTon信号は減少しトランジスタ15のON期間が
短くなって入力電流が低下するしくみとなっている。
【0026】一方、マグネトロンの非発振時すなわちマ
グネトロンの陰極が十分温まっていなくて陽極電流が流
れていない状態での動作について説明する。非発振時に
は入力電流は極めて低くIin/DC信号も同様に極低
いレベルとなっている。そのIin/DC信号は抵抗3
1、33の分圧で決定される発振しきい値とオペアンプ
30によって比較され、非発振時はHigh出力となり
抵抗32を介してトランジスタ22をONさせる。従っ
て抵抗29と並列に抵抗78が挿入される形となり非発
振時に最適なVref信号となる。そして一旦発振が開
始するとIin/DC信号は発振しきい値を超えトラン
ジスタ22はOFFする。
【0027】次ぎにスイッチングレート検出手段17か
ら入力されるDUTY/DC信号はオペアンプ25、抵
抗23、24からなる比較器によって抵抗23、24の
分圧で決定される陽極電流限度値(Ib/MAX)と比
較される。マグネトロンの正常動作時にはIb/MAX
信号を超えるDUTY/DC信号が発生しておりオペア
ンプ25の出力はHighとなっているためトランジス
タ77はOFFとなり通常のVref信号となってい
る。
【0028】それではオペアンプ35の反転端子に入力
される三角波の発生メカニズムについて図5を交えて説
明する。図1におけるインバータ部のトランジスタ15
のコレクターエミッタ間電圧Vceとコンデンサ11の
両端の電圧Vc2の波形を図5(a)に示す。Vceと
Vc2が交差するタイミング(1)で(f)に示すパルス信号
(2)が発生する。これを図5で説明する。
【0029】Vc2とVceは各々抵抗65、66及び
抵抗67、68でレベルシフト後オペアンプ69で比較
されVce>Vc2の時LowでVce<Vc2の時H
ighの矩形波信号を出力する。コンデンサ64、抵抗
63、ダイオード62は微分回路で矩形波信号の立ち上
がりと立ち下がりで各々正負のパルス信号を発生する。
ここでダイオード62の働きで負のパルスはカットされ
正のパルス信号が発生する。従って図5の(1)のタイミ
ングで(2)のパルスが発生することになる。
【0030】次ぎに図4で抵抗41とコンデンサ42か
らなる共振回路は抵抗43とトランジスタ44を介して
アースに接続されており、トランジスタ44はRSフリ
ップフロップ49のQ2出力から抵抗48を通じて駆動
される。ここでRSフリップフロップ49はS入力がL
owからHighへの移行時にQ1出力をHigh状態
に遷移させ、かつQ2出力はそれと逆の論理となる。こ
の状態はR入力に信号が入力されるまで保持される。抵
抗43と、抵抗41とコンデンサ42からなる共振回路
の接点(a)点の信号は抵抗45、抵抗47、オペアンプ
49からなる比較器に入力されその出力はRSフリップ
フロップ49のS入力に入力される。
【0031】図5に戻りQ2がLowの間トランジスタ
44はOFFで共振回路のコンデンサ42の電荷は抵抗
41を通じて放電され(a)点の電位は上昇していくが(2)
のパルスがRSフリップフロップ49のR入力に入力さ
れるとリセットがかかりQ2出力はHighになる
((e)図の(3)点)。そうするとトランジスタ44はON
し、今まで放電していたコンデンサ42は抵抗43を通
じて充電に転じ(a)点の電位は下降し始める((c)図の
(4)時点)。そして(a)点の電位が抵抗45と抵抗47の
分圧レベルをもった折り返し信号と交差した時点((c)
図の(5)時点)でオペアンプ46の出力はLowからH
ighに転じ再度Q2出力はLowとなり((e)図の(6)
時点)トランジスタ44はOFFして(a)点が上昇する
モードに戻る。このサイクルを繰り返して(c)図のよう
な三角波信号が(a)点に発生しオペアンプ35の反転端
子に入力される。そしてTon信号との比較がされ(d)
図に示すようなDRIVE信号が発生する。
【0032】この動作メカニズムにより図1における電
流Icは図5(b)のように流れる。ここで負方向に流
れている電流はダイオード14に流れている電流で、こ
の期間に(d)図のようにDRIVE信号がHighにな
りトランジスタ15のVceがほぼ0電圧(実際にはダ
イオード14の順方向電圧が逆バイアスされている)で
がONになるため損失は極めて少なくなる。いわゆるZ
VS(Zero Volt Switting)動作が実現できる。
【0033】それでは、各信号の動特性を図6に示す。
(b)図に示すようにDUTY/DC信号は時間の経過に
ともなうマグネトロンの温度上昇によって下降してい
く。その間当然(d)図に示すように陽極電流Ibは増加
を続ける。そして(b)図に示すように陽極電流限度値I
b/MAX信号にDUTY/DC信号が到達すると(C)
図に示すようにTon信号のレベルが低く変更される。
それにともなって(a)図の入力電流も減少して(d)図の陽
極電流も減少する。このように陽極電流限度値Ib/M
AX信号を適当に設定することによって陽極電流は絶対
最大定格を超えることがない。
【0034】さらに本発明の一実施例における高周波加
熱装置について説明する。全体の構成は図1と同じであ
る。また制御回路16の構成も図4と同じである。図7
を用いてスイッチングレート検出手段17の構成につい
て説明する。ここで図3と同一符号の部品に関しては同
一機能であり説明を割愛する。本発明の特徴としてはス
イッチングレート調整手段たる半固定抵抗73が抵抗7
9と直列に配されている。この半固定抵抗を用いてマグ
ネトロンがある特定の温度で動作しているときのDUT
Y/DC信号が所定値になるように機器に装着されるマ
グネトロンごとに調整する。例えば若干の誤差は生じる
が十分室温に馴染んだ状態からマグネトロンを駆動し数
十秒以内に同調整を完了することにより、ある狭い範囲
の温度でマグネトロンが動作している状態でのDUTY
/DC信号を所定値に調整することが可能となる。そう
することにより図8の(a)図に示すように調整を行わず
DUTY/DC信号がIb/MAX信号と交差した時点
で入力電流を減少させていた時の温度誤差がマグネトロ
ンの定格陽極電圧最大のもの(a)と最小のもの(b)で△T
(T2−T1)あったものが(b)図に示すように調整を
行うことによって△T’(T2’−T1’)に縮小する
ことがわかる。△T’は調整時のマグネトロンの温度を
均一化することにより限りなく少なくすることが可能な
ことは自明である。
【0035】このようにすることで、マグネトロンの定
格陽極電圧が製造上ばらついても正確にマグネトロンの
陽極温度をマグネトロンへの密着型あるいは近接型の温
度検出装置などを一切使用せず遠隔的に検出し、所定温
度に達すると速やかに入力電流を低下させることでマグ
ネトロンを熱的ダメージから保護することことなく冷却
条件に応じた最大限の電磁波出力を提供することができ
る。
【0036】
【発明の効果】本発明の高周波加熱装置によると以下の
ような効果を得ることができる。
【0037】(1)入力電流を一定に制御する高周波加
熱装置において、昇圧トランスの2次側で生じているマ
グネトロンの過剰温度上昇による陽極電流の異常増加を
電流検出器等を一切使用せずにトランスの1次側で遠隔
的に検出し、速やかに電磁波出力を低下させマグネトロ
ンの陽極電流の絶対最大定格オーバーによる寿命短縮を
防止することが可能であり、かつ冷却条件にあった最大
限の電磁波出力を得ることができる。これによってユー
ザーが誤って食品の収納を忘れるという異常使用や吸気
口が塵埃で閉塞されたような冷却条件が極めて厳しい動
作環境下の時でもマグネトロンが劣化して寿命が短縮化
することがない高信頼性で高出力の高周波加熱装置を提
供することができる。
【0038】(2)マグネトロンの定格陽極電圧が製造
上ばらついても正確にマグネトロンの陽極温度をマグネ
トロンへの密着型あるいは近接型の温度検出装置などを
一切使用せず遠隔的に検出し、所定値に達すると速やか
に電磁波出力を低下させマグネトロンを熱的ダメージか
ら保護することができ、かつ冷却条件にあった最大限の
電磁波出力を得ることができる。これによってユーザー
が誤って食品の収納を忘れるという異常使用や吸気口が
塵埃で閉塞されたような冷却条件が極めて厳しい動作環
境下の時でもマグネトロンが異常温度上昇して熱破壊す
るというよう不具合が生じない高信頼性で高出力の高周
波加熱装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例における高周波加熱装置の要
部回路図
【図2】(a)同高周波加熱装置のマグネトロンの陽極
電圧と陽極温度との関係を示す図 (b)同高周波加熱装置のマグネトロンの陽極電流と陽
極電圧との関係を示す図 (c)同高周波加熱装置のマグネトロンの陽極電流とト
ランジスタのスイッチングレートとの関係を示す図
【図3】同高周波加熱装置のスイッチングレート検出回
路の回路図
【図4】同高周波加熱装置の制御回路の回路図
【図5】同高周波加熱装置の制御回路の動作を表す回路
各部の波形のタイミングチャート
【図6】同高周波加熱装置の入力電流の変化に付随した
回路各部の波形のタイミングチャート
【図7】本発明の他の実施例における高周波加熱装置の
スイッチングレート検出回路の回路図
【図8】(a)同高周波加熱装置のDUTY/DC信号
の調整を行なわない時の特性図 (b)同高周波加熱装置のDUTY/DC信号の調整を
行なった時の特性図
【図9】従来の高周波加熱装置の要部回路図
【図10】同高周波加熱装置の不具合点を示す特性図
【符号の説明】
1 インバータ部 2 商用電源 3 昇圧トランス 7 マグネトロン 15 トランジスタ(半導体素子) 16 制御部 17 スイッチングレート検出手段 18 高圧整流部 19 入力電流検出手段 20 単方向電源部 79 スイッチングレート調整手段
フロントページの続き (72)発明者 酒井 伸一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 石尾 嘉朗 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平5−129075(JP,A) 実開 平2−71993(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H05B 6/66 - 6/68

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】商用電源を単方向に変換する単方向電源部
    と、少なくとも1個の半導体素子を有し、前記半導体素
    子を高周波でON/OFFすることにより前記単方向電
    源部からの電力を高周波電力に変換するインバータ部
    と、前記インバータ部の出力電圧を昇圧する昇圧トラン
    スと、前記昇圧トランスの出力電圧を整流する高圧整流
    部と、前記高圧整流部の出力を電磁波として放射するマ
    グネトロンと、前記単方向電源部への電流を検出する入
    力電流検出手段と、前記半導体素子を制御する制御部
    と、前記半導体素子のON/OFFのデューティー比を
    検出するスイッチングレート検出手段とを備え、前記制
    御部は、前記入力電流検出手段の出力を所望値に一定制
    御すべく前記半導体素子をON/OFF制御し、かつ前
    記スイッチングレート検出手段の出力が所定しきい値以
    下になったとき、一定に制御していた入力電流値を低く
    変更する構成とした高周波加熱装置。
  2. 【請求項2】商用電源を単方向に変換する単方向電源部
    と、少なくとも1個の半導体素子を有し、前記半導体素
    子を高周波でON/OFFすることにより前記単方向電
    源部からの電力を高周波電力に変換するインバータ部
    と、前記インバータ部の出力電圧を昇圧する昇圧トラン
    スと、前記昇圧トランスの出力電圧を整流する高圧整流
    部と、前記高圧整流部の出力を電磁波として放射するマ
    グネトロンと、前記単方向電源部への電流を検出する入
    力電流検出手段と、前記半導体素子を制御する制御部
    と、前記半導体素子のON/OFFのデューティー比を
    検出するスイッチングレート検出手段と、前記マグネト
    ロンがある所定温度で動作している時の前記スイッチン
    グレート検出手段の出力を所定値に調整するスイッチン
    グレート調整手段とを備え、前記制御部は、前記入力電
    流検出手段の出力を所望値に一定制御すべく前記半導体
    素子をON/OFF制御し、かつ前記スイッチングレー
    ト検出手段の出力が所定しきい値以下になったとき、一
    定に制御していた入力電流値を低く変更する構成とした
    高周波加熱装置。
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