JP3181685B2 - マスクパターンデータ圧縮方法 - Google Patents
マスクパターンデータ圧縮方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、基本図形に分解された
マスクパターンデータを圧縮するマスクパターンデータ
圧縮方法に関する。
マスクパターンデータを圧縮するマスクパターンデータ
圧縮方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のマスクパターンデータ圧縮方法で
は、ＣＡＤによる設計段階において、マスクパターンの
ピッチ及び繰り返し回数を人が定義することにより行っ
ていた。この方法は、半導体メモリ装置のように繰り返
しパターンの割合が比較的多いものに対しては有効であ
る。
は、ＣＡＤによる設計段階において、マスクパターンの
ピッチ及び繰り返し回数を人が定義することにより行っ
ていた。この方法は、半導体メモリ装置のように繰り返
しパターンの割合が比較的多いものに対しては有効であ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、メモリを一部
に備えた大規模論理回路やＣＰＵ等では、繰り返しが未
定義のパターンの割合が比較的多いため、有効なデータ
圧縮ができず、露光データや検査データが膨大となり、
露光データ及び検査データをそれぞれ露光装置及び検査
装置に適するフォーマットに変換する際や、露光装置及
び検査装置において、同一パターンに対するデータ処理
が重複して行われ、処理時間が長くなる。
に備えた大規模論理回路やＣＰＵ等では、繰り返しが未
定義のパターンの割合が比較的多いため、有効なデータ
圧縮ができず、露光データや検査データが膨大となり、
露光データ及び検査データをそれぞれ露光装置及び検査
装置に適するフォーマットに変換する際や、露光装置及
び検査装置において、同一パターンに対するデータ処理
が重複して行われ、処理時間が長くなる。
【０００４】本発明の目的は、このような問題点に鑑
み、繰り返しが未定義のマスクパターンデータを効率良
く圧縮することができるマスクパターンデータ圧縮方法
を提供することにある。
み、繰り返しが未定義のマスクパターンデータを効率良
く圧縮することができるマスクパターンデータ圧縮方法
を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段及びその作用】図１〜図３
はそれぞれ、第１〜第３発明に係るマスクパターンデー
タ圧縮方法の原理構成を示すフローチャートである。こ
のマスクパターンデータ圧縮方法は、基本図形に分解さ
れ、Ｘ−Ｙ直交座標系上の位置座標（Ｘ，Ｙ）を有し、
座標Ｙ及び座標Ｘに関しソートされたパターンデータを
圧縮処理するものである。なお、座標系のとり方は、Ｘ
軸とＹ軸が逆であってもよいことは勿論である。
はそれぞれ、第１〜第３発明に係るマスクパターンデー
タ圧縮方法の原理構成を示すフローチャートである。こ
のマスクパターンデータ圧縮方法は、基本図形に分解さ
れ、Ｘ−Ｙ直交座標系上の位置座標（Ｘ，Ｙ）を有し、
座標Ｙ及び座標Ｘに関しソートされたパターンデータを
圧縮処理するものである。なお、座標系のとり方は、Ｘ
軸とＹ軸が逆であってもよいことは勿論である。
【０００６】第１発明では、コンピュータで、登録パタ
ーンデータをクリアした後に下記（１1 ）〜（５1 ）の
処理を、座標Ｙの値が互いに同一のパターンデータにつ
いてソート順に実行することによりパターンデータをＸ
軸方向に圧縮した組パターンデータを作成し、該作成を
所定範囲のＹについて実行する。
ーンデータをクリアした後に下記（１1 ）〜（５1 ）の
処理を、座標Ｙの値が互いに同一のパターンデータにつ
いてソート順に実行することによりパターンデータをＸ
軸方向に圧縮した組パターンデータを作成し、該作成を
所定範囲のＹについて実行する。
【０００７】（１1 ）１個のパターンのパターンデータ
を読み出す。
を読み出す。
【０００８】（２1 ）読み出したパターンの形状が登録
パターンのいずれかの形状と同一であるかどうかを判定
する。
パターンのいずれかの形状と同一であるかどうかを判定
する。
【０００９】（３1 ）該登録パターンが無い場合、又
は、両パターン形状が異なりかつ登録パターン数が予め
設定された値以下であると判定した場合には、該パター
ンを登録パターンとして加え、該パターンの位置及び形
状のデータに登録パターンのピッチ及び繰返し個数を付
加したものを登録パターンデータとする。
は、両パターン形状が異なりかつ登録パターン数が予め
設定された値以下であると判定した場合には、該パター
ンを登録パターンとして加え、該パターンの位置及び形
状のデータに登録パターンのピッチ及び繰返し個数を付
加したものを登録パターンデータとする。
【００１０】（４1 ）該両パターンの形状が同一と判定
した場合には、読み出した該パターンの座標Ｘと該繰返
し回数を前回インクリメントしたときのパターンの座標
Ｘとの差を算出する。
した場合には、読み出した該パターンの座標Ｘと該繰返
し回数を前回インクリメントしたときのパターンの座標
Ｘとの差を算出する。
【００１１】（５1 ）該登録パターンデータの該ピッチ
が初期値又は該差が該ピッチと同一であれば該登録パタ
ーンデータの該繰返し個数をインクリメントし、該ピッ
チが該初期値であれば該ピッチに該差を代入する。
が初期値又は該差が該ピッチと同一であれば該登録パタ
ーンデータの該繰返し個数をインクリメントし、該ピッ
チが該初期値であれば該ピッチに該差を代入する。
【００１２】このような処理により、例えば図７に示す
４個のパターンＰ１１〜Ｐ１４は、始点Ｘ１、始点Ｙ
１、幅Ｗ１、高さＨ１、ピッチＰ１及び個数Ｎ１＝４か
らなる１つの圧縮パターンデータで表される。また、パ
ターンＰ２１〜Ｐ２３は、パターンＰ２１とパターンＰ
２２とに対応した１個の圧縮パターンデータと、パター
ンＰ２３に対応した非圧縮パターンデータとで表され
る。
４個のパターンＰ１１〜Ｐ１４は、始点Ｘ１、始点Ｙ
１、幅Ｗ１、高さＨ１、ピッチＰ１及び個数Ｎ１＝４か
らなる１つの圧縮パターンデータで表される。また、パ
ターンＰ２１〜Ｐ２３は、パターンＰ２１とパターンＰ
２２とに対応した１個の圧縮パターンデータと、パター
ンＰ２３に対応した非圧縮パターンデータとで表され
る。
【００１３】従って、この第１発明よれば、未定義のマ
スクパターンデータを効率よく圧縮することができ、こ
れにより、同一パターンに対し同一のフォーマット変換
処理を重複して行う回数が低減され、フォーマット変換
処理を高速に行うことができ、また、露光装置や検査装
置において、同一パターンに対するデータ処理の重複回
数が低減され、処理時間が短縮される。
スクパターンデータを効率よく圧縮することができ、こ
れにより、同一パターンに対し同一のフォーマット変換
処理を重複して行う回数が低減され、フォーマット変換
処理を高速に行うことができ、また、露光装置や検査装
置において、同一パターンに対するデータ処理の重複回
数が低減され、処理時間が短縮される。
【００１４】しかし、パターンが例えば図７に示すパタ
ーンＰ４１〜Ｐ４６のように配列されている場合には、
第１発明の方法でデータ圧縮すると、パターンＰ４１と
パターンＰ４２とを１つにまとめ、パターンＰ４３とパ
ターンＰ４４とを１つにまとめ、パターンＰ４５とパタ
ーンＰ４６とを１つにまとめることになるが、２個のパ
ターンを１個に圧縮するのは、効率があまり良くない。
ーンＰ４１〜Ｐ４６のように配列されている場合には、
第１発明の方法でデータ圧縮すると、パターンＰ４１と
パターンＰ４２とを１つにまとめ、パターンＰ４３とパ
ターンＰ４４とを１つにまとめ、パターンＰ４５とパタ
ーンＰ４６とを１つにまとめることになるが、２個のパ
ターンを１個に圧縮するのは、効率があまり良くない。
【００１５】そこで第２発明ではこの問題を解決するた
めに、コンピュータで、登録パターンデータをクリアし
た後に下記（１2 ）〜（６2 ）の処理を、座標Ｙの値が
互いに同一のパターンデータについてソート順に実行す
ることによりパターンデータをＸ軸方向に圧縮した組パ
ターンデータを作成し、該作成を所定範囲のＹについて
実行する。
めに、コンピュータで、登録パターンデータをクリアし
た後に下記（１2 ）〜（６2 ）の処理を、座標Ｙの値が
互いに同一のパターンデータについてソート順に実行す
ることによりパターンデータをＸ軸方向に圧縮した組パ
ターンデータを作成し、該作成を所定範囲のＹについて
実行する。
【００１６】（１2 ）１個のパターンのパターンデータ
を読み出す。
を読み出す。
【００１７】（２2 ）読み出したパターンの形状が登録
パターンのいずれかの形状と同一であるかどうかを判定
する。
パターンのいずれかの形状と同一であるかどうかを判定
する。
【００１８】（３2 ）該登録パターンが無い場合、又
は、両パターン形状が異なりかつ登録パターン数が予め
設定された値以下であると判定した場合、又は、該両パ
ターン形状が同一であり該登録パターンの繰返し個数が
１でありかつ該登録パターン数が予め設定された該数以
下であると判定した場合は、該パターンを登録パターン
として加え、該パターンの位置及び形状のデータに登録
パターンのピッチ及び繰返し個数を付加したものを登録
パターンデータとする。
は、両パターン形状が異なりかつ登録パターン数が予め
設定された値以下であると判定した場合、又は、該両パ
ターン形状が同一であり該登録パターンの繰返し個数が
１でありかつ該登録パターン数が予め設定された該数以
下であると判定した場合は、該パターンを登録パターン
として加え、該パターンの位置及び形状のデータに登録
パターンのピッチ及び繰返し個数を付加したものを登録
パターンデータとする。
【００１９】（４2 ）該両パターンの形状が同一であり
該登録パターンの繰返し個数が２以上であると判定した
場合には、読み出した該パターンの座標Ｘと該繰返し回
数を前回インクリメントしたときのパターンの座標Ｘと
の差を算出する。
該登録パターンの繰返し個数が２以上であると判定した
場合には、読み出した該パターンの座標Ｘと該繰返し回
数を前回インクリメントしたときのパターンの座標Ｘと
の差を算出する。
【００２０】（５2 ）該登録パターンデータの該ピッチ
が初期値又は該差が該ピッチと同一であれば該登録パタ
ーンデータの該繰返し個数をインクリメントし、該ピッ
チが該初期値であれば該ピッチに該差を入し、該差が該
ピッチと同一でなくかつ該繰返し個数が２であれば該ピ
ッチと該差との和を該ピッチに代入する。
が初期値又は該差が該ピッチと同一であれば該登録パタ
ーンデータの該繰返し個数をインクリメントし、該ピッ
チが該初期値であれば該ピッチに該差を入し、該差が該
ピッチと同一でなくかつ該繰返し個数が２であれば該ピ
ッチと該差との和を該ピッチに代入する。
【００２１】第３発明では、上記第１発明又は第２発明
の処理を実行した後に、コンピュータで、下記（１3 ）
〜（５3 ）の処理を、座標Ｙのソート順に実行する。
の処理を実行した後に、コンピュータで、下記（１3 ）
〜（５3 ）の処理を、座標Ｙのソート順に実行する。
【００２２】（１3 ）１個の上記組パターンデータを読
み出す。
み出す。
【００２３】（２3 ）読み出した該組パターンデータが
登録された組パターンデータのいずれかと、Ｙ座標以外
が同一であるかどうかを判定する。
登録された組パターンデータのいずれかと、Ｙ座標以外
が同一であるかどうかを判定する。
【００２４】（３3 ）登録された該組パターンデータが
無い場合、又は、組パターンデータで表される両組パタ
ーンが異なりかつ登録された組パターン数が予め設定さ
れた値以下であると判定した場合には、該組パターンを
登録組パターンとして加え、該組パターンの位置及び形
状のデータに組パターンのＹ軸方向のピッチ及び繰返し
個数を付加したものを登録組パターンデータとする。
無い場合、又は、組パターンデータで表される両組パタ
ーンが異なりかつ登録された組パターン数が予め設定さ
れた値以下であると判定した場合には、該組パターンを
登録組パターンとして加え、該組パターンの位置及び形
状のデータに組パターンのＹ軸方向のピッチ及び繰返し
個数を付加したものを登録組パターンデータとする。
【００２５】（４3 ）該両組パターンが同一と判定した
場合には、読み出した該組パターンの座標Ｙと該繰返し
回数を前回インクリメントしたときの組パターンの座標
Ｙとの差を算出する。
場合には、読み出した該組パターンの座標Ｙと該繰返し
回数を前回インクリメントしたときの組パターンの座標
Ｙとの差を算出する。
【００２６】（５3 ）該登録組パターンデータの該ピッ
チが初期値又は該差が該ピッチと同一であれば該登録組
パターンデータの該繰返し個数をインクリメントし、該
ピッチが該初期値であれば該ピッチに該差を代入する。
チが初期値又は該差が該ピッチと同一であれば該登録組
パターンデータの該繰返し個数をインクリメントし、該
ピッチが該初期値であれば該ピッチに該差を代入する。
【００２７】この第３発明によれば、Ｙ軸方向について
もデータ圧縮することができるので、上記第１発明及び
第２発明よりも、データ圧縮率が向上し、上記効果が高
められる。
もデータ圧縮することができるので、上記第１発明及び
第２発明よりも、データ圧縮率が向上し、上記効果が高
められる。
【００２８】
【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明
する。
する。
【００２９】［第１実施例］図６は、アートワーク処理
装置のハードウエア概略構成を示す。
装置のハードウエア概略構成を示す。
【００３０】コンピュータ１０には、磁気テープ１１、
２１、磁気ディスク１２及び２２が接続されている。磁
気テープ１１には、処理対象のマスクパターンＣＡＤデ
ータが記録されている。
２１、磁気ディスク１２及び２２が接続されている。磁
気テープ１１には、処理対象のマスクパターンＣＡＤデ
ータが記録されている。
【００３１】コンピュータ１０は、処理の高速化のため
に磁気テープ１１からマスクパターンＣＡＤデータを読
み出して磁気ディスク１２にいったん書き込む。
に磁気テープ１１からマスクパターンＣＡＤデータを読
み出して磁気ディスク１２にいったん書き込む。
【００３２】次に、磁気ディスク１２から所定量のデー
タを読み出してＲＡＭにロードし、サイジング等の図形
処理を行う。次に、矩形や三角形等の予め定義された基
本図形にパターンを分解した後、これを磁気ディスク２
２に書込む。このような処理を、全データに対し繰り返
し行う。
タを読み出してＲＡＭにロードし、サイジング等の図形
処理を行う。次に、矩形や三角形等の予め定義された基
本図形にパターンを分解した後、これを磁気ディスク２
２に書込む。このような処理を、全データに対し繰り返
し行う。
【００３３】次に、磁気ディスク２２に格納されてい
る、基本図形に分解されたパターンデータを所定量読み
出し、図４に示すパターンデータ圧縮処理を行った後、
磁気ディスク２２に書き込み、このような処理を全デー
タに対し繰り返し行う。
る、基本図形に分解されたパターンデータを所定量読み
出し、図４に示すパターンデータ圧縮処理を行った後、
磁気ディスク２２に書き込み、このような処理を全デー
タに対し繰り返し行う。
【００３４】次に、圧縮されたパターンデータを磁気デ
ィスク２２から読み出し、露光データ及び検査データに
対するフォーマット変換を行い、これを磁気テープ２１
に書き込む。
ィスク２２から読み出し、露光データ及び検査データに
対するフォーマット変換を行い、これを磁気テープ２１
に書き込む。
【００３５】上記圧縮処理により、同一パターンに対し
同一のフォーマット変換処理を重複して行う回数が低減
され、フォーマット変換処理を高速に行うことができ
る。
同一のフォーマット変換処理を重複して行う回数が低減
され、フォーマット変換処理を高速に行うことができ
る。
【００３６】次に、図４に基づいて、上記パターンデー
タ圧縮処理を説明する。以下、括弧内の数値は、図中の
ステップ識別番号を表す。なお、説明の簡単化のため
に、基本図形に分解されたパターンは、矩形のみである
とする。例えば図７に示すパターンＰ１１は、左下頂点
が始点であり、その座標（Ｘ１，Ｙ１）、幅Ｗ１及び高
さＨ１からなる１組のデータで表される。
タ圧縮処理を説明する。以下、括弧内の数値は、図中の
ステップ識別番号を表す。なお、説明の簡単化のため
に、基本図形に分解されたパターンは、矩形のみである
とする。例えば図７に示すパターンＰ１１は、左下頂点
が始点であり、その座標（Ｘ１，Ｙ１）、幅Ｗ１及び高
さＨ１からなる１組のデータで表される。
【００３７】（５０）ＲＡＭにロード可能な所定量のパ
ターンデータを磁気ディスク２２から読み出し、パター
ンデータの始点Ｙについてソートし、磁気ディスク２２
に書込む。この処理を、全パターンデータについて行
う。
ターンデータを磁気ディスク２２から読み出し、パター
ンデータの始点Ｙについてソートし、磁気ディスク２２
に書込む。この処理を、全パターンデータについて行
う。
【００３８】（５１）ソートされたパターンデータか
ら、次の始点Ｙ＝Ｙｑのパターンデータ、すなわち、始
点Ｙｑが同一値の一行分のパターンデータを磁気ディス
ク２２から読み出す。このＹｑの値は、ステップ５１〜
５５の処理を１回行う毎に更新される。
ら、次の始点Ｙ＝Ｙｑのパターンデータ、すなわち、始
点Ｙｑが同一値の一行分のパターンデータを磁気ディス
ク２２から読み出す。このＹｑの値は、ステップ５１〜
５５の処理を１回行う毎に更新される。
【００３９】（５２）ステップ５１で読み出すべきデー
タが無い場合には処理を終了し、そうでなければ次のス
テップ５３へ進む。
タが無い場合には処理を終了し、そうでなければ次のス
テップ５３へ進む。
【００４０】（５３）読み出した始点Ｙｑのパターンデ
ータを始点Ｘについてソートする。これにより、例えば
図７においてパターンＰ１１、Ｐ１２、Ｐ１３及びＰ１
４の順にパターンデータが並べられる。
ータを始点Ｘについてソートする。これにより、例えば
図７においてパターンＰ１１、Ｐ１２、Ｐ１３及びＰ１
４の順にパターンデータが並べられる。
【００４１】（５４）始点Ｘでソートしたパターンデー
タに対し、圧縮処理を行う。
タに対し、圧縮処理を行う。
【００４２】（５５）圧縮されたパターンデータを磁気
ディスク２２に書込み、上記ステップ５１へ戻る。
ディスク２２に書込み、上記ステップ５１へ戻る。
【００４３】次に、上記ステップ５４の詳細を図５に基
づいて説明する。
づいて説明する。
【００４４】（６０）変数ｋに初期値０を代入し、変数
ｉに初期値１を代入する。ここに、変数ｋはＲＡＭのバ
ッファエリアに登録されたパターンの個数であり、変数
ｉは第ｉ登録パターンに対応している。
ｉに初期値１を代入する。ここに、変数ｋはＲＡＭのバ
ッファエリアに登録されたパターンの個数であり、変数
ｉは第ｉ登録パターンに対応している。
【００４５】（６１）次の始点Ｘ＝Ｘｊのパターンデー
タＰＤｊをＲＡＭから読み出す。例えばパターンデータ
が図７に示すパターンＰ１１〜Ｐ１４の場合、最初にパ
ターンＰ１１のデータをＲＡＭから読み出す。
タＰＤｊをＲＡＭから読み出す。例えばパターンデータ
が図７に示すパターンＰ１１〜Ｐ１４の場合、最初にパ
ターンＰ１１のデータをＲＡＭから読み出す。
【００４６】（６２）読み出すべきパターンデータＰＤ
ｊがなければ、１行分のパターンデータに対する処理を
終了し、そうでなければ次のステップ６３へ進む。
ｊがなければ、１行分のパターンデータに対する処理を
終了し、そうでなければ次のステップ６３へ進む。
【００４７】（６３）ｋ＝０であれば、次のステップ６
４へ進み、そうでなければステップ７０へ進む。
４へ進み、そうでなければステップ７０へ進む。
【００４８】（６４）変数ｋをインクリメントする。
【００４９】（６５）パターンデータＰＤｊを、第ｋ登
録パターンデータＰＲｋとして上記バッファエリアに登
録する。その登録パターンデータは、図８に示す如く、
始点Ｘ、始点Ｙ、幅Ｗ及び高さＨからなる１組のパター
ンデータ自体と、繰り返しパターンのピッチＰと、繰り
返しパターンの個数Ｎとで構成されている。この登録の
際のピッチＰ及び個数Ｎの初期値は、Ｐ＝０、Ｎ＝１で
ある。次に、上記ステップ６１へ戻る。
録パターンデータＰＲｋとして上記バッファエリアに登
録する。その登録パターンデータは、図８に示す如く、
始点Ｘ、始点Ｙ、幅Ｗ及び高さＨからなる１組のパター
ンデータ自体と、繰り返しパターンのピッチＰと、繰り
返しパターンの個数Ｎとで構成されている。この登録の
際のピッチＰ及び個数Ｎの初期値は、Ｐ＝０、Ｎ＝１で
ある。次に、上記ステップ６１へ戻る。
【００５０】（７０）第１〜ｋ登録パターンデータＰＲ
１〜ＰＲｋのうち、第ｉ登録パターンデータＰＲｉを上
記バッファエリアから読み出す。
１〜ＰＲｋのうち、第ｉ登録パターンデータＰＲｉを上
記バッファエリアから読み出す。
【００５１】（７１）Ｗｊ＝ＷｉかつＨｊ＝Ｈｉの場
合、すなわちパターンデータＰＤｊと第ｉ登録パターン
データＰＲｉとが同一形状に対するパターンデータであ
る場合には、次のステップ７２へ進み、そうでなければ
ステップ８０へ進む。
合、すなわちパターンデータＰＤｊと第ｉ登録パターン
データＰＲｉとが同一形状に対するパターンデータであ
る場合には、次のステップ７２へ進み、そうでなければ
ステップ８０へ進む。
【００５２】（７２）パターンデータＰＤｊの始点Ｘｊ
と、第ｉ登録パターンデータＰＲｉの始点Ｘｉ、ピッチ
Ｐｉ及び個数Ｎｉとから、Ｐｊ＝Ｘｊ−（Ｘｉ＋ＰｉＮ
ｉ）を算出し、ピッチＰｊとピッチＰｉとを比較する。
Ｐｊ＝Ｐｉ又はＰｉ＝０の場合には次のステップ７３へ
進み、そうでなければステップ８０へ進む。
と、第ｉ登録パターンデータＰＲｉの始点Ｘｉ、ピッチ
Ｐｉ及び個数Ｎｉとから、Ｐｊ＝Ｘｊ−（Ｘｉ＋ＰｉＮ
ｉ）を算出し、ピッチＰｊとピッチＰｉとを比較する。
Ｐｊ＝Ｐｉ又はＰｉ＝０の場合には次のステップ７３へ
進み、そうでなければステップ８０へ進む。
【００５３】（７３）Ｎｉをインクリメントする。ま
た、Ｐｉ＝０の場合には、ピッチＰｉにＰｊを代入す
る。
た、Ｐｉ＝０の場合には、ピッチＰｉにＰｊを代入す
る。
【００５４】（７４）このインクリメントによりパター
ンデータＰＤｊが不要となるので、パターンデータＰＤ
ｊを削除し、ステップ６１へ戻る。
ンデータＰＤｊが不要となるので、パターンデータＰＤ
ｊを削除し、ステップ６１へ戻る。
【００５５】（８０）ｉ＝ｋであれば次のステップ８１
へ進み、ｉ＜ｋであればステップ８２へ進む。
へ進み、ｉ＜ｋであればステップ８２へ進む。
【００５６】（８１）ｋ＜ｎであればステップ６４へ進
み、ｋ＝ｎであれば上記ステップ６１へ戻る。ｎは登録
パターンデータの最大個数であり、予め設定されてい
る。ｎの値は、大きすぎると（圧縮率）／（圧縮処理時
間）が小さくなるので、繰返しパターン数の推定比率等
に応じた適当な値を経験的に選択する必要がある。
み、ｋ＝ｎであれば上記ステップ６１へ戻る。ｎは登録
パターンデータの最大個数であり、予め設定されてい
る。ｎの値は、大きすぎると（圧縮率）／（圧縮処理時
間）が小さくなるので、繰返しパターン数の推定比率等
に応じた適当な値を経験的に選択する必要がある。
【００５７】（８２）変数ｉをインクリメントし、上記
ステップ７０へ戻る。
ステップ７０へ戻る。
【００５８】このような処理により、例えば図７に示す
４個のパターンＰ１１〜Ｐ１４は、始点Ｘ１、始点Ｙ
１、幅Ｗ１、高さＨ１、ピッチＰ１及び個数Ｎ１＝４か
らなる１つの圧縮パターンデータで表される。また、パ
ターンＰ２１〜Ｐ２３は、パターンＰ２１とパターンＰ
２２とに対応した１個の圧縮パターンデータと、パター
ンＰ２３に対応した非圧縮パターンデータとで表され
る。
４個のパターンＰ１１〜Ｐ１４は、始点Ｘ１、始点Ｙ
１、幅Ｗ１、高さＨ１、ピッチＰ１及び個数Ｎ１＝４か
らなる１つの圧縮パターンデータで表される。また、パ
ターンＰ２１〜Ｐ２３は、パターンＰ２１とパターンＰ
２２とに対応した１個の圧縮パターンデータと、パター
ンＰ２３に対応した非圧縮パターンデータとで表され
る。
【００５９】従って、本実施例によれば、未定義のマス
クパターンデータを効率よく圧縮することができ、これ
により、露光装置や検査装置において、同一パターンに
対するデータ処理の重複回数が低減され、処理時間が短
縮される。
クパターンデータを効率よく圧縮することができ、これ
により、露光装置や検査装置において、同一パターンに
対するデータ処理の重複回数が低減され、処理時間が短
縮される。
【００６０】なお、図４のステップ５２で否定判定され
た後に、ステップ５２〜５５と同様にしてＹ軸方向に関
し圧縮処理を行ってもよい。この場合、１行分のパター
ンデータを１個のパターンデータとみなして圧縮処理を
行う。
た後に、ステップ５２〜５５と同様にしてＹ軸方向に関
し圧縮処理を行ってもよい。この場合、１行分のパター
ンデータを１個のパターンデータとみなして圧縮処理を
行う。
【００６１】［第２実施例］図７に示すパターンＰ４１
〜Ｐ４６を、図５のアルゴリズムでデータ圧縮すると、
パターンＰ４１とパターンＰ４２とを１つにまとめ、パ
ターンＰ４３とパターンＰ４４とを１つにまとめ、パタ
ーンＰ４５とパターンＰ４６とを１つにまとめることが
できる。しかし、２個のパターンを１個に圧縮するの
は、効率があまり良くない。
〜Ｐ４６を、図５のアルゴリズムでデータ圧縮すると、
パターンＰ４１とパターンＰ４２とを１つにまとめ、パ
ターンＰ４３とパターンＰ４４とを１つにまとめ、パタ
ーンＰ４５とパターンＰ４６とを１つにまとめることが
できる。しかし、２個のパターンを１個に圧縮するの
は、効率があまり良くない。
【００６２】このような場合、すなわち、連続する３つ
のパターンＰ４１〜Ｐ４３が互いに同一形状のパターン
で、パターンＰ４１とパターンＰ４２との間のピッチＰ
Ａと、パターンＰ４２とパターンＰ４３との間のピッチ
ＰＢとが等しくない場合、本発明者は、登録パターンの
ピッチＰを、ピッチＰＡとピッチＰＢとを加えた値に変
更することにより、一般に圧縮率を向上させることがで
きることを経験的に見い出した。
のパターンＰ４１〜Ｐ４３が互いに同一形状のパターン
で、パターンＰ４１とパターンＰ４２との間のピッチＰ
Ａと、パターンＰ４２とパターンＰ４３との間のピッチ
ＰＢとが等しくない場合、本発明者は、登録パターンの
ピッチＰを、ピッチＰＡとピッチＰＢとを加えた値に変
更することにより、一般に圧縮率を向上させることがで
きることを経験的に見い出した。
【００６３】第２実施例では、この方法を実施するため
に、図５のステップ７１〜７３の代わりに、図９に示す
ような処理を行う。図９中のステップ７１〜７３は、判
断後の分岐先以外は図５の該当するステップと同一処理
である。
に、図５のステップ７１〜７３の代わりに、図９に示す
ような処理を行う。図９中のステップ７１〜７３は、判
断後の分岐先以外は図５の該当するステップと同一処理
である。
【００６４】（９０）ステップ７１において、Ｗｊ＝Ｗ
ｉかつＨｊ＝Ｈｉと判定されても、Ｎ＝１であればステ
ップ８０へ進む。これにより、例えば図７においてパタ
ーンＰ４２がパターンＰ４１と同一図形であっても、パ
ターンＰ４１及びＰ４２が共にバッファエリアに登録さ
れる。Ｎ≠１であれば、ステップ７２へ進む。
ｉかつＨｊ＝Ｈｉと判定されても、Ｎ＝１であればステ
ップ８０へ進む。これにより、例えば図７においてパタ
ーンＰ４２がパターンＰ４１と同一図形であっても、パ
ターンＰ４１及びＰ４２が共にバッファエリアに登録さ
れる。Ｎ≠１であれば、ステップ７２へ進む。
【００６５】（７２）パターンデータＰＤｊの始点Ｘｊ
と、第ｉ登録パターンデータＰＲｉの始点Ｘｉ、ピッチ
Ｐｉ及び個数Ｎｉとから、Ｐｊ＝Ｘｊ−（Ｘｉ＋ＰｉＮ
ｉ）を算出し、ピッチＰｊとピッチＰｉとを比較する。
Ｐｊ＝Ｐｉ又はＰｉ＝０の場合にはステップ７３へ進
み、そうでなければステップ９１へ進む。例えば図７に
おいてパターンＰ４３に着目している場合に、Ｐｊ＝Ｐ
ＢはＰｉ＝ＰＡに等しくないので、ステップ９１へ進
む。
と、第ｉ登録パターンデータＰＲｉの始点Ｘｉ、ピッチ
Ｐｉ及び個数Ｎｉとから、Ｐｊ＝Ｘｊ−（Ｘｉ＋ＰｉＮ
ｉ）を算出し、ピッチＰｊとピッチＰｉとを比較する。
Ｐｊ＝Ｐｉ又はＰｉ＝０の場合にはステップ７３へ進
み、そうでなければステップ９１へ進む。例えば図７に
おいてパターンＰ４３に着目している場合に、Ｐｊ＝Ｐ
ＢはＰｉ＝ＰＡに等しくないので、ステップ９１へ進
む。
【００６６】（９１）Ｎ＝２であればステップ９２へ進
み、そうでなければステップ８０へ進む。例えば図７に
おいてパターンＰ４３に着目している場合、Ｎ＝２とな
る。
み、そうでなければステップ８０へ進む。例えば図７に
おいてパターンＰ４３に着目している場合、Ｎ＝２とな
る。
【００６７】（９２）第ｉ登録パターンデータＰＲｉの
ピッチＰｉをＰｉ＋Ｐｊに変更し、ステップ７４へ進
む。例えば図７においてパターンＰ４３に着目している
場合には、ピッチＰＡとピッチＰＢとの和を、パターン
Ｐ４１に対応した登録パターンデータのピッチＰとす
る。
ピッチＰｉをＰｉ＋Ｐｊに変更し、ステップ７４へ進
む。例えば図７においてパターンＰ４３に着目している
場合には、ピッチＰＡとピッチＰＢとの和を、パターン
Ｐ４１に対応した登録パターンデータのピッチＰとす
る。
【００６８】他の点は上記第１実施例と同一である。
【００６９】このような処理により、基本図形に分解さ
れたマスクパターンデータの圧縮効率を、経験上一般的
に高めることができる。
れたマスクパターンデータの圧縮効率を、経験上一般的
に高めることができる。
【００７０】
【発明の効果】以上説明した如く、第１発明に係るマス
クパターンデータ圧縮方法によれば、未定義のパターン
データを効率よく圧縮することができるという優れた効
果を奏し、膨大な量のパターンデータに対するフォーマ
ット変換処理及び露光装置や検査装置でのデータ処理の
高速化に寄与するところが大きい。
クパターンデータ圧縮方法によれば、未定義のパターン
データを効率よく圧縮することができるという優れた効
果を奏し、膨大な量のパターンデータに対するフォーマ
ット変換処理及び露光装置や検査装置でのデータ処理の
高速化に寄与するところが大きい。
【００７１】第２発明に係るマスクパターンデータ圧縮
方法によれば、特殊な配列のパターンデータに対しては
第１発明よりも効率よく圧縮することができるという効
果を奏する。
方法によれば、特殊な配列のパターンデータに対しては
第１発明よりも効率よく圧縮することができるという効
果を奏する。
【００７２】第３発明に係るマスクパターンデータ圧縮
方法によれば、第１発明及び第２発明よりも、データ圧
縮率が向上し、上記効果が高められる。
方法によれば、第１発明及び第２発明よりも、データ圧
縮率が向上し、上記効果が高められる。
【図１】第１発明に係るマスクパターンデータ圧縮方法
の原理構成を示すフローチャートである。
の原理構成を示すフローチャートである。
【図２】第２発明に係るマスクパターンデータ圧縮方法
の原理構成を示すフローチャートである。
の原理構成を示すフローチャートである。
【図３】第３発明に係るマスクパターンデータ圧縮方法
の原理構成を示すフローチャートである。
の原理構成を示すフローチャートである。
【図４】本発明の第１実施例のパターンデータ圧縮処理
手順を示すフローチャートである。
手順を示すフローチャートである。
【図５】図４のステップ５４の詳細を示すフローチャー
トである。
トである。
【図６】アートワーク処理装置のハードウエア概略構成
図である。
図である。
【図７】座標Ｙ及び座標Ｘに関しソートされたパターン
データの配置図である。
データの配置図である。
【図８】登録パターンデータ説明図である。
【図９】本発明の第２実施例に係り、図５のステップ７
１〜７３の変形例を示すフローチャートである。
１〜７３の変形例を示すフローチャートである。
１０ コンピュータ １１、２１ 磁気テープ、 １２、２２ 磁気ディスク Ｐ１１〜Ｐ５３ パターン Ｐ１、ＰＡ、ＰＢ ピッチ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G06F 17/50 G03F 1/08 H01L 21/027
Claims (3)
- 【請求項１】 基本図形に分解され、Ｘ−Ｙ直交座標系
上の位置座標（Ｘ，Ｙ）を有し、座標Ｙ及び座標Ｘに関
しソートされたパターンデータを圧縮処理するマスクパ
ターンデータ圧縮方法であって、 （１1 ）１個のパターンのパターンデータを読み出し、 （２1 ）読み出したパターンの形状が登録パターンのい
ずれかの形状と同一であるかどうかを判定し、 （３1 ）該登録パターンが無い場合、又は、両パターン
形状が異なりかつ登録パターン数が予め設定された値以
下であると判定した場合には、該パターンを登録パター
ンとして加え、該パターンの位置及び形状のデータに登
録パターンのピッチ及び繰返し個数を付加したものを登
録パターンデータとし、 （４1 ）該両パターンの形状が同一と判定した場合に
は、読み出した該パターンの座標Ｘと該繰返し回数を前
回インクリメントしたときのパターンの座標Ｘとの差を
算出し、 （５1 ）該登録パターンデータの該ピッチが初期値又は
該差が該ピッチと同一であれば該登録パターンデータの
該繰返し個数をインクリメントし、該ピッチが該初期値
であれば該ピッチに該差を代入し、 コンピュータで、該登録パターンデータをクリアした後
に上記（１1 ）〜（５ 1 ）の処理を、座標Ｙの値が互い
に同一のパターンデータについてソート順に実行するこ
とによりパターンデータをＸ軸方向に圧縮した組パター
ンデータを作成し、該作成を所定範囲のＹについて実行
することを特徴とするマスクパターンデータ圧縮方法。 - 【請求項２】 基本図形に分解され、Ｘ−Ｙ直交座標系
上の位置座標（Ｘ，Ｙ）を有し、座標Ｙ及び座標Ｘに関
しソートされたパターンデータを圧縮処理するマスクパ
ターンデータ圧縮方法であって、 （１2 ）１個のパターンのパターンデータを読み出し、 （２2 ）読み出したパターンの形状が登録パターンのい
ずれかの形状と同一であるかどうかを判定し、 （３2 ）該登録パターンが無い場合、又は、両パターン
形状が異なりかつ登録パターン数が予め設定された値以
下であると判定した場合、又は、該両パターン形状が同
一であり該登録パターンの繰返し個数が１でありかつ該
登録パターン数が予め設定された該数以下であると判定
した場合は、該パターンを登録パターンとして加え、該
パターンの位置及び形状のデータに登録パターンのピッ
チ及び繰返し個数を付加したものを登録パターンデータ
とし、 （４2 ）該両パターンの形状が同一であり該登録パター
ンの繰返し個数が２以上であると判定した場合には、読
み出した該パターンの座標Ｘと該繰返し回数を前回イン
クリメントしたときのパターンの座標Ｘとの差を算出
し、 （５2 ）該登録パターンデータの該ピッチが初期値又は
該差が該ピッチと同一であれば該登録パターンデータの
該繰返し個数をインクリメントし、該ピッチが該初期値
であれば該ピッチに該差を代入し、 （６2 ）該差が該ピッチと同一でなくかつ該繰返し個数
が２であれば該ピッチと該差との和を該ピッチに代入
し、 コンピュータで、該登録パターンデータをクリアした後
に上記（１2 ）〜（６ 2 ）の処理を、座標Ｙの値が互い
に同一のパターンデータについてソート順に実行するこ
とによりパターンデータをＸ軸方向に圧縮した組パター
ンデータを作成し、該作成を所定範囲のＹについて実行
することを特徴とするマスクパターンデータ圧縮方法。 - 【請求項３】 請求項１又は２の処理を実行した後に、 （１3 ）１個の前記組パターンデータを読み出し、 （２3 ）読み出した該組パターンデータが登録された組
パターンデータのいずれかと、Ｙ座標以外が同一である
かどうかを判定し、 （３3 ）登録された該組パターンデータが無い場合、又
は、組パターンデータで表される両組パターンが異なり
かつ登録された組パターン数が予め設定された値以下で
あると判定した場合には、該組パターンを登録組パター
ンとして加え、該組パターンの位置及び形状のデータに
組パターンのＹ軸方向のピッチ及び繰返し個数を付加し
たものを登録組パターンデータとし、 （４3 ）該両組パターンが同一と判定した場合には、読
み出した該組パターンの座標Ｙと該繰返し回数を前回イ
ンクリメントしたときの組パターンの座標Ｙとの差を算
出し、 （５3 ）該登録組パターンデータの該ピッチが初期値又
は該差が該ピッチと同一であれば該登録組パターンデー
タの該繰返し個数をインクリメントし、該ピッチが該初
期値であれば該ピッチに該差を代入し、 コンピュータで、上記（１3 ）〜（５3 ）の処理を、座
標Ｙのソート順に実行することを特徴とするマスクパタ
ーンデータ圧縮方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14969792A JP3181685B2 (ja) | 1992-06-09 | 1992-06-09 | マスクパターンデータ圧縮方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14969792A JP3181685B2 (ja) | 1992-06-09 | 1992-06-09 | マスクパターンデータ圧縮方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05342306A JPH05342306A (ja) | 1993-12-24 |
| JP3181685B2 true JP3181685B2 (ja) | 2001-07-03 |
Family
ID=15480842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14969792A Expired - Fee Related JP3181685B2 (ja) | 1992-06-09 | 1992-06-09 | マスクパターンデータ圧縮方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3181685B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001175696A (ja) | 1999-12-15 | 2001-06-29 | Nec Corp | Ｃａｄデータの圧縮方法及びその装置 |
| JP3664656B2 (ja) | 2001-02-06 | 2005-06-29 | 新光電気工業株式会社 | アレイ化方法 |
-
1992
- 1992-06-09 JP JP14969792A patent/JP3181685B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05342306A (ja) | 1993-12-24 |
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