JP3083349B2 - Ｌｓｉマスクデータの記録装置 - Google Patents
Ｌｓｉマスクデータの記録装置Info
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- JP3083349B2 JP3083349B2 JP17946991A JP17946991A JP3083349B2 JP 3083349 B2 JP3083349 B2 JP 3083349B2 JP 17946991 A JP17946991 A JP 17946991A JP 17946991 A JP17946991 A JP 17946991A JP 3083349 B2 JP3083349 B2 JP 3083349B2
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- Japan
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- data
- group
- lsi
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Compression, Expansion, Code Conversion, And Decoders (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＬＳＩ製造時に使用する
マスクについてのデータを圧縮して記録した記録装置に
関する。
マスクについてのデータを圧縮して記録した記録装置に
関する。
【０００２】ＬＳＩ製造時に多種類のマスクを準備する
必要があり、設計者が設計したデータによるマスクデー
タをファイルして置き、その都度取り出して使用する。
ファイルとして大容量のものを使うことのないように、
データ圧縮を行っているが、なお有効にデータ圧縮され
る技術を開発することが要望された。
必要があり、設計者が設計したデータによるマスクデー
タをファイルして置き、その都度取り出して使用する。
ファイルとして大容量のものを使うことのないように、
データ圧縮を行っているが、なお有効にデータ圧縮され
る技術を開発することが要望された。
【０００３】
【従来の技術】マスクはＬＳＩ製造のときウェーハ露光
工程で用いる重要な治具であって、露光装置に適したマ
スクを多種準備する必要がある。設計者がワークステー
ションなどでＬＳＩ回路を設計し、得られたＬＳＩの回
路図形は１万倍前後の倍率で図面とされ、マスク設計装
置の電子計算機に入力される。電子計算機に蓄積された
設計データは検証・確認された後、マスク描画装置が駆
動できる書式にＣＡＤシステムにより変換されてから、
「マスクデータ」としてファイルに格納される。そのと
き全データを格納するためには大量のメモリ容量を必要
とするので、データ圧縮化がなされてその後にファイル
に格納される。図４はデータ圧縮がなされる前のデータ
構造例を示す図である。図４においてグループＡがＡ
１，Ａ２の位置に、クループＢがＢ１，Ｂ２の位置に、
〜のようになっている。
工程で用いる重要な治具であって、露光装置に適したマ
スクを多種準備する必要がある。設計者がワークステー
ションなどでＬＳＩ回路を設計し、得られたＬＳＩの回
路図形は１万倍前後の倍率で図面とされ、マスク設計装
置の電子計算機に入力される。電子計算機に蓄積された
設計データは検証・確認された後、マスク描画装置が駆
動できる書式にＣＡＤシステムにより変換されてから、
「マスクデータ」としてファイルに格納される。そのと
き全データを格納するためには大量のメモリ容量を必要
とするので、データ圧縮化がなされてその後にファイル
に格納される。図４はデータ圧縮がなされる前のデータ
構造例を示す図である。図４においてグループＡがＡ
１，Ａ２の位置に、クループＢがＢ１，Ｂ２の位置に、
〜のようになっている。
【０００４】このときのデータ圧縮手段として２種類が
知られている。その一つはビット圧縮方法であり、他の
一つはツリー構造を利用した圧縮方法である。前者は、
例えば図５Ａに示すような３２ビットのデータＡを２
組、３２ビットのＢデータを３組具備する原データにつ
いて、図５Ｂに示すように圧縮することである。図５Ｂ
は３０ビットを使ってＡ，Ｂ各データを示し、残り２ビ
ットにより各データの組数を示している。即ち、データ
Ａは“１０”で２組、データＢは“１１”で３組存在し
ていることが判る。
知られている。その一つはビット圧縮方法であり、他の
一つはツリー構造を利用した圧縮方法である。前者は、
例えば図５Ａに示すような３２ビットのデータＡを２
組、３２ビットのＢデータを３組具備する原データにつ
いて、図５Ｂに示すように圧縮することである。図５Ｂ
は３０ビットを使ってＡ，Ｂ各データを示し、残り２ビ
ットにより各データの組数を示している。即ち、データ
Ａは“１０”で２組、データＢは“１１”で３組存在し
ていることが判る。
【０００５】また後者は、図６に示すツリー構造のデー
タを圧縮することである。ツリー構造のデータは図６に
おいて、データＡにはデータＢ，Ｃが、データＢにはデ
ータＤが３組内在し、更に或るデータＤには他のデータ
が内在しているような場合である。このようなデータ構
造は、例えば図７に示すＬＳＩチップにおいて出現す
る。図７はＬＳＩチップをグループＡのデータとして捉
え、グループＡにはグループＢ，グループＣのデータ
が、更にグループＢにはグループＤが３組内在している
場合である。
タを圧縮することである。ツリー構造のデータは図６に
おいて、データＡにはデータＢ，Ｃが、データＢにはデ
ータＤが３組内在し、更に或るデータＤには他のデータ
が内在しているような場合である。このようなデータ構
造は、例えば図７に示すＬＳＩチップにおいて出現す
る。図７はＬＳＩチップをグループＡのデータとして捉
え、グループＡにはグループＢ，グループＣのデータ
が、更にグループＢにはグループＤが３組内在している
場合である。
【０００６】図８は上記のようなツリー構造のデータに
ついて圧縮することを説明する図である。図８に示すよ
うに、第１位置にはＡ，Ｂ，Ｃ各グループのデータが存
在する旨、第２位置にはＢとＤデータを３組とが合体し
てＤデータの位置を示すデータと共にデータが、第３位
置にはＣデータが存在する旨を格納する。更に第４位置
以降にはＡデータの実体、Ｂデータの実体、Ｃデータの
実体、Ｄデータの実体をそれぞれ格納する。ここでＤデ
ータはＢを基本とした座標位置におけるものである。そ
のため本来ならば、Ｄデータの実体を３組繰り返しなが
ら他のデータと共に記録する場合と比較し、Ｄデータは
３組存在する旨を記録し、実体のデータは単に１組格納
して置くのみであるから、データ圧縮されることとな
る。
ついて圧縮することを説明する図である。図８に示すよ
うに、第１位置にはＡ，Ｂ，Ｃ各グループのデータが存
在する旨、第２位置にはＢとＤデータを３組とが合体し
てＤデータの位置を示すデータと共にデータが、第３位
置にはＣデータが存在する旨を格納する。更に第４位置
以降にはＡデータの実体、Ｂデータの実体、Ｃデータの
実体、Ｄデータの実体をそれぞれ格納する。ここでＤデ
ータはＢを基本とした座標位置におけるものである。そ
のため本来ならば、Ｄデータの実体を３組繰り返しなが
ら他のデータと共に記録する場合と比較し、Ｄデータは
３組存在する旨を記録し、実体のデータは単に１組格納
して置くのみであるから、データ圧縮されることとな
る。
【０００７】以上の圧縮されたデータを格納したファイ
ルについて、マスク描画装置が駆動できる書式に変換す
るときは、そのデータについて展開すること（圧縮と逆
の処理をすること）を電子計算機により実行する。
ルについて、マスク描画装置が駆動できる書式に変換す
るときは、そのデータについて展開すること（圧縮と逆
の処理をすること）を電子計算機により実行する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来技術によるデータ
の記録手段について、ビット圧縮法では圧縮されたデー
タであることを充分に知って処理しないと、データ組数
を含めた全ビットがデータであると誤認することがあ
る。
の記録手段について、ビット圧縮法では圧縮されたデー
タであることを充分に知って処理しないと、データ組数
を含めた全ビットがデータであると誤認することがあ
る。
【０００９】ツリー構造を利用する場合は、そのデータ
について展開するとき、ツリー構造を根の方向に順次に
たどりながら展開する処理が必要となる。例えばＤデー
タについてはＡを基準としたデータに変換仕手から他の
データとの関連を見て行く。そして一旦展開処理の後、
再度格納するときはまた圧縮を繰り返す必要がある。そ
のためＤデータについてはＢを基準座標を再度変換する
こととなる。
について展開するとき、ツリー構造を根の方向に順次に
たどりながら展開する処理が必要となる。例えばＤデー
タについてはＡを基準としたデータに変換仕手から他の
データとの関連を見て行く。そして一旦展開処理の後、
再度格納するときはまた圧縮を繰り返す必要がある。そ
のためＤデータについてはＢを基準座標を再度変換する
こととなる。
【００１０】したがって何れの場合も、ＬＳＩが益々高
集積化されることに伴い、マスクデータ量も増大し、デ
ータ処理のときは計算機資源を大量に長時間使用する必
要が生じた。即ち、従来技術においてはマスクデータが
圧縮されて記録されているとき、次の処理を行うために
データ変換処理が膨大となる欠点を生じていた。
集積化されることに伴い、マスクデータ量も増大し、デ
ータ処理のときは計算機資源を大量に長時間使用する必
要が生じた。即ち、従来技術においてはマスクデータが
圧縮されて記録されているとき、次の処理を行うために
データ変換処理が膨大となる欠点を生じていた。
【００１１】本発明の目的は前述の欠点を改善し、効率
の良いデータ圧縮を行い、圧縮された状態のままでマス
クデータを参照することが可能なＬＳＩマスクデータの
記録装置を提供することにある。
の良いデータ圧縮を行い、圧縮された状態のままでマス
クデータを参照することが可能なＬＳＩマスクデータの
記録装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】図１は本発明の原理構成
を示す図である。図１において、１はＬＳＩマスクデー
タの記録装置を全体的に示すもの、２はグループ辞書
部、３は基本辞書部を示す。
を示す図である。図１において、１はＬＳＩマスクデー
タの記録装置を全体的に示すもの、２はグループ辞書
部、３は基本辞書部を示す。
【００１３】幾何学図形で表したトランジスタ等の回路
素子データを圧縮してファイルするＬＳＩマスクデータ
の記録装置１において、本発明は下記の構成としてい
る。即ち、記録装置１にはグループ辞書部２と、基本辞
書部３とが別々に分けて格納され、前者２にはデータの
集合実体としてのグループ別のデータが、後者３にはグ
ループ辞書に登録されたグループを指し示すポインタ
と、ＬＳＩチップ内でのグループ配置位置とが、それぞ
れ登録されて構成している。
素子データを圧縮してファイルするＬＳＩマスクデータ
の記録装置１において、本発明は下記の構成としてい
る。即ち、記録装置１にはグループ辞書部２と、基本辞
書部３とが別々に分けて格納され、前者２にはデータの
集合実体としてのグループ別のデータが、後者３にはグ
ループ辞書に登録されたグループを指し示すポインタ
と、ＬＳＩチップ内でのグループ配置位置とが、それぞ
れ登録されて構成している。
【００１４】
【作用】ＬＳＩマスクデータは、図４に示すように膨大
なものであるから、２つの辞書部２，３に分割して格納
するとき、各グループ辞書部にはグループ別に、各グル
ープのデータがそれぞれ実体化されて且つ単一のデータ
として格納されている。即ち、全体のデータ構造として
は各グループの同じデータが何回も繰り返し存在してい
たものが、単一回路のみとなっている。基本辞書部は所
謂基本データのみが登録されているから、ＬＳＩマスク
データとして全体を見るとき、小容量で済む。そしてマ
スクデータを処理するときは、両辞書部から所望データ
を読出してから処理をする。そのときグループ辞書から
のデータは圧縮されてないため、データ処理が簡潔とな
り、データ処理を行う計算機資源は節約できる。
なものであるから、２つの辞書部２，３に分割して格納
するとき、各グループ辞書部にはグループ別に、各グル
ープのデータがそれぞれ実体化されて且つ単一のデータ
として格納されている。即ち、全体のデータ構造として
は各グループの同じデータが何回も繰り返し存在してい
たものが、単一回路のみとなっている。基本辞書部は所
謂基本データのみが登録されているから、ＬＳＩマスク
データとして全体を見るとき、小容量で済む。そしてマ
スクデータを処理するときは、両辞書部から所望データ
を読出してから処理をする。そのときグループ辞書から
のデータは圧縮されてないため、データ処理が簡潔とな
り、データ処理を行う計算機資源は節約できる。
【００１５】
【実施例】図２は本発明の実施例として、図１の基本辞
書部におけるデータ格納例と、対応するグループ辞書の
アドレスとの関係を示す図である。図２において使用グ
ループＡのアドレスを示すポインタ（例えば１ワード）
と、その配置位置Ａ１，Ａ２〜（例えばＡ１がＸＹ座標
２ワード）を格納することを示している。アドレスポイ
ンタの支持位置は矢印の先端グループＡの実体データの
当初位置である。グループＡの実体データの量は、デー
タ量を示すデータを含み数百〜数千ワードである。同様
に使用グループＢのアドレスを示すポインタなども基本
辞書部に順次格納して行く。
書部におけるデータ格納例と、対応するグループ辞書の
アドレスとの関係を示す図である。図２において使用グ
ループＡのアドレスを示すポインタ（例えば１ワード）
と、その配置位置Ａ１，Ａ２〜（例えばＡ１がＸＹ座標
２ワード）を格納することを示している。アドレスポイ
ンタの支持位置は矢印の先端グループＡの実体データの
当初位置である。グループＡの実体データの量は、デー
タ量を示すデータを含み数百〜数千ワードである。同様
に使用グループＢのアドレスを示すポインタなども基本
辞書部に順次格納して行く。
【００１６】図３は本発明の応用例としてＣＡＤシステ
ムにおけるデータ変換例を示すフローチャートである。
図３のステップにおいて使用グループアドレスへのポ
インタを読む。ステップにおいてそのポインタが示す
記録装置のメモリを読出して例えばグループＡの実体デ
ータを取り出しＣＡＤシステム側においてデータコピー
を取る。次にステップにおいて基本辞書部におけるグ
ループＡの配置位置を読む。ステップにおいてデータ
をチップ上配置するデータについて必要な変換を行い、
配置位置の決定をしてデータとする。ステップにおい
てＬＳＩ製造者へ渡すデータについて必要な処理を行
う。圧縮されたデータが殆どそのまま使用でき、従来の
ようなデータの展開処理を行う必要がない。
ムにおけるデータ変換例を示すフローチャートである。
図３のステップにおいて使用グループアドレスへのポ
インタを読む。ステップにおいてそのポインタが示す
記録装置のメモリを読出して例えばグループＡの実体デ
ータを取り出しＣＡＤシステム側においてデータコピー
を取る。次にステップにおいて基本辞書部におけるグ
ループＡの配置位置を読む。ステップにおいてデータ
をチップ上配置するデータについて必要な変換を行い、
配置位置の決定をしてデータとする。ステップにおい
てＬＳＩ製造者へ渡すデータについて必要な処理を行
う。圧縮されたデータが殆どそのまま使用でき、従来の
ようなデータの展開処理を行う必要がない。
【００１７】
【発明の効果】このようにして本発明によると、記録装
置へＬＳＩマスクデータを格納するとき、ビット圧縮・
ツリー構造を取る場合と比較し、圧縮データとするとき
の処理時間が早くなる（データ自体を加工するのではな
く、格納位置についての処理を行うため）。また圧縮比
が大きくなる効果を有する。それはＬＳＩマスクデータ
のように同一グループのデータを繰り返し使用すること
が極めて多い場合には、単に配置位置を示すデータのみ
を格納しているからである。更にＬＳＩマスクデータを
マスク描画装置にかける場合の処理に大量の計算機資源
を使用することがないため、短時間に簡潔に処理が出来
る。
置へＬＳＩマスクデータを格納するとき、ビット圧縮・
ツリー構造を取る場合と比較し、圧縮データとするとき
の処理時間が早くなる（データ自体を加工するのではな
く、格納位置についての処理を行うため）。また圧縮比
が大きくなる効果を有する。それはＬＳＩマスクデータ
のように同一グループのデータを繰り返し使用すること
が極めて多い場合には、単に配置位置を示すデータのみ
を格納しているからである。更にＬＳＩマスクデータを
マスク描画装置にかける場合の処理に大量の計算機資源
を使用することがないため、短時間に簡潔に処理が出来
る。
【図１】本発明の原理構成を示す図である。
【図２】本発明の実施例の構成を示す図である。
【図３】データ変換の動作フローチャートである。
【図４】データ圧縮前のデータ構造例を示す図である。
【図５】データのビット圧縮法を示す図である。
【図６】ツリー構造のデータの説明図である。
【図７】ＬＳＩチップのデータ例を示す図である。
【図８】ツリー構造データの圧縮を示す図である。
１ ＬＳＩマスクデータの記録装置 ２ グループ辞書部 ３ 基本辞書部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G03F 1/00 - 1/16
Claims (1)
- 【請求項１】 幾何学図形で表したトランジスタ等の回
路素子データを圧縮してファイルするＬＳＩマスクデー
タの記録装置において、 該記録装置にはグループ辞書部と、基本辞書部とが別々
に分けて格納され、 前者にはデータの集合実体としてのグループ別のデータ
が、 後者にはグループ辞書に登録されたグループを指し示す
ポインタと、ＬＳＩチップ内でのグループ配置位置と
が、 それぞれ登録されていることを特徴とするＬＳＩマスク
データの記録装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17946991A JP3083349B2 (ja) | 1991-07-19 | 1991-07-19 | Ｌｓｉマスクデータの記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17946991A JP3083349B2 (ja) | 1991-07-19 | 1991-07-19 | Ｌｓｉマスクデータの記録装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0529188A JPH0529188A (ja) | 1993-02-05 |
| JP3083349B2 true JP3083349B2 (ja) | 2000-09-04 |
Family
ID=16066395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17946991A Expired - Fee Related JP3083349B2 (ja) | 1991-07-19 | 1991-07-19 | Ｌｓｉマスクデータの記録装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3083349B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001175696A (ja) * | 1999-12-15 | 2001-06-29 | Nec Corp | Ｃａｄデータの圧縮方法及びその装置 |
-
1991
- 1991-07-19 JP JP17946991A patent/JP3083349B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0529188A (ja) | 1993-02-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000613 |
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