JPH04225216A - 露光データ伝送方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は露光装置での露光対象物
を露光する際に使用される露光データの伝送方法に関す
るものである。近年のＬＳＩ技術の高密度化に伴い露光
データは膨大なものとなり、メモリ品種においては一般
に約４倍単位での高集積化が行われており、パターン数
の増加が著しい。このため、膨大な露光データ量に対し
その保持の困難化、露光データ伝送時間の増大化、露光
装置内におけるバッファメモリの増大化等の問題が発生
している。よって、この問題を解決するために露光デー
タの圧縮が必要となる。

【０００２】

【従来の技術】従来、露光装置で使用される露光データ
の膨大化に伴って、露光データの圧縮化が種々提案され
ている。例えば、複数のパターンよりなりなるパターン
群の露光パターンデータと、そのパターン群の配置デー
タで構成されたパターンデータとを別々に用意し、当該
露光パターンデータを繰り返し配置することによって、
同じパターン群については１つの露光パターンデータを
指定することにより圧縮を行っていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
技術では繰り返すパターン群の大きさを決定する際、少
数のパターンの集まりをパターン群にすると、配置デー
タが逆に多くなったり、露光装置内部でのパターンデー
タへのアクセス回数が多くなり、露光時間に影響を及ぼ
しかねない。又、多数のパターンの集まりをパターン群
にすると、それ自体が持つパターンデータが大きくなっ
たり、繰り返しが少なくなるため、データ圧縮の効果が
現れない場合もでてくる。

【０００４】又、露光データの膨大化に伴って、露光デ
ータ伝送装置のディスクメモリの容量も増大させなけれ
ばならなかった。本発明は上記問題点を解決するために
なされたものであって、繰り返し配置されるパターン群
のパターンデータ量はそのままとし、配置データ量を抑
えることにより露光データの圧縮を行い、露光データの
伝送時間の短縮化を図ることができるとともに、露光設
備の大型化を抑制することができることを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、まず、１つ以上のパターンよりなりかつ繰
り返し配置される種々のパターン群をそれぞれ第１階層
パターンとしてそれらのパターンデータを予め第１の記
憶手段に記憶する。第１の記憶手段に記憶された各第１
階層パターンのうち、同一の第１階層パターンを２つ以
上繰り返し配置して構成される各パターン群又は２種以
上の第１階層パターンを配置して構成される各パターン
群を第２階層パターンとするとともに、各第２階層パタ
ーンのパターンデータを第１階層パターンの配置データ
とし、同一の第２階層パターンを２つ以上繰り返し配置
して構成される各パターン群又は２種以上の第２階層パ
ターンを配置して構成される各パターン群を第３階層パ
ターンとするとともに、各第３階層パターンのパターン
データを第１又は第２階層パターンの配置データとし、
以下前記と同様にして当該階層パターンを複数配置して
順次上位階層パターンとするとともに、各上位階層パタ
ーンのパターンデータを下位階層パターンの配置データ
とすることにより全ての露光データを階層化するととも
に、上位階層パターンのパターンデータから順次検索で
きるように第２の記憶手段に記憶する。

【０００６】そして、露光装置に露光データを伝送する
に際し、第２の記憶手段より上位階層パターンのパター
ンデータを読出すとともに順次その下位階層パターンの
パターンデータを読み出し、第２階層パターンのパター
ンデータが読出された時、第１の記憶手段から当該第２
階層パターンに対応するパターンデータを読出し、その
パターンデータと当該パターンデータを指示する各階層
パターンのパターンデータを展開して求められる配置デ
ータとを合成して露光出力データとして出力するように
した。

【０００７】

【作用】本発明では、第１の記憶手段に対して１つ以上
のパターンよりなりかつ繰り返し配置される種々のパタ
ーン群がそれぞれ第１階層パターンとしてそれらのパタ
ーンデータが記憶され、第２の記憶手段には配置データ
で定義された各階層における種々の階層パターンのパタ
ーンデータが記憶されている。従って、例えば同一の第
３階層パターンが繰り返し配置されている場合には、そ
の第３階層パターンを構成する各第２階層パターンの配
置データは共通となるため、配置データ量は各第２階層
パターンの配置データ個数とその第３階層パターンの配
置個数との和となって配置データ量が低減され、露光デ
ータは圧縮される。これにより、第２の記憶手段のアク
セス回数が低減され、データ伝送時間が短縮される。

【０００８】又、第１の記憶手段に記憶される各第１階
層パターンは１つの共通パターンデータであるため、第
１及び第２の記憶手段を併せても全体としての記憶容量
が小さくなる。又、同一の第１階層パターンについては
１つの共通パターンデータが使用されるため、露光デー
タとしての信頼性が向上する。

【０００９】

【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図１〜
図７に従って説明する。図１は本発明の一実施例におけ
る露光データ伝送装置を示す構成図、図２は露光パター
ンをＬＳＩチップに展開配置した状態を示す図、図３（
ａ）〜（ｄ）はそれぞれ各階層におけるデータ内容を示
す図、図４は露光データの階層構造を示す図、図５は露
光データファイルのデータフォーマットを示す図、図６
，図７は露光データ伝送処理の一部を示すフローチャー
トである。

【００１０】第１図に示す露光データ伝送装置１０は露
光装置の一部を構成し、露光データ作成装置（図示略）
にて作成された露光データを編集して記憶し、各パター
ン毎にその露光データを電子ビーム描画装置等の露光部
（図示略）に伝送する。即ち、露光データ伝送装置１０
は、データ編集制御部１、第１の記憶手段としてのグル
ープ用ファイル２、第２の記憶手段としての露光データ
ファイル３、展開配置データ抽出部４、グループパター
ン抽出部５、及びパターンデータ展開部６等を備えて構
成されている。

【００１１】データ編集制御部１は、前記露光データ作
成装置にて作成された露光データのうち、１つ以上のパ
ターンよりなりかつ繰り返し配置される種々のパターン
群をそれぞれ第１階層パターンとしてのグループとする
。又、同一グループを２つ以上繰り返し配置して構成さ
れる各パターン群又は２種以上の第１階層パターンを配
置して構成される各パターン群を第２階層パターンとし
てのスケジュールとするとともに、各スケジュールのパ
ターンデータを各グループの配置データとする。更に、
繰り返し配置されたスケジュールを最上階層パターンと
してのトップとするとともに、トップのパターンデータ
を各スケジュールの配置データとして全ての露光データ
を階層化する。

【００１２】即ち、例えば図２に示すように展開配置後
のＬＳＩチップ１１において、繰り返し配置される１つ
のパターン１２を図３（ａ）に示すようにグループＧ１
とするとともに、逆Ｌ字状に配置された１２個のパター
ン１３よりなるパターン群を図３（ｂ）に示すようにグ
ループＧ２とする。又、繰り返し配置された９個のグル
ープＧ１とグループＧ２とからなるパターン群を図３（
ｃ）に示すようにスケジュールＳＣ１とし、そのパター
ンデータを各グループＧ１の頂点Ａ１〜Ａ９及びグルー
プＧ２の頂点Ｂの配置データとする。更に、繰り返し配
置された６個のスケジュールＳＣ１からなるパターン群
を図３（ｄ）に示すようにトップＴＯＰとし、そのパタ
ーンデータを各スケジュールＳＣ１の頂点Ｃ１〜Ｃ６の
配置データとすることにより、全ての露光データを第４
図に示すように階層化する。尚、頂点Ａ，Ｂ，Ｃの配置
データはｘｙ座標（ｘｉ，ｙｉ）で表示される。

【００１３】そして、データ編集制御部１は階層化した
露光データのうち、トップＴＯＰに含まれる各スケジュ
ールの配置データに続いて、スケジュールの種類毎にそ
のスケジュールに含まれる各グループの配置データを順
次検索できるように露光データファイル３の上部記憶領
域３ａに記憶させるとともに、各グループのグループ番
号及びパターンデータを下部記憶領域３ｂに記憶させる
。又、データ編集制御部１は下部記憶領域３ｂに記憶さ
せた各グループのグループ番号及びパターンデータをグ
ループ用ファイル２に転送して記憶させる。

【００１４】即ち、図５は図２に示したＬＳＩチップ１
１の露光パターンを露光データファイル３内に記憶させ
たときのデータフォーマットを示し、スケジュール配置
開始フラグに続いてスケジュール番号ＳＣ１の６つの配
置データが記憶され、グループ配置開始フラグに続いて
グループ番号Ｇ１の９つの配置データとグループ番号Ｇ
２の１つの配置データとが記憶されている。更にグルー
プパターンデータ開始フラグに続いてグループ番号Ｇ１
，Ｇ２のグループパターンデータが記憶されており、グ
ループ番号Ｇ１，Ｇ２のグループパターンデータはグル
ープ用ファイル２に複写される。

【００１５】展開配置データ抽出部４は露光データファ
イル３の上部記憶領域３ａの配置順に１つのスケジュー
ル配置データを読出すとともに、そのスケジュール配置
データに続くグループ配置データを順次読出し、スケジ
ュール配置データとグループ配置データとに基づいて展
開すべきグループを求めるとともに、展開すべきグルー
プを指示する各階層における配置データを保持する。そ
して、展開配置データ抽出部４は展開すべきグループ番
号情報をグループパターン抽出部５に出力するとともに
、各階層における配置データをパターンデータ展開部６
に出力する。そして、展開配置データ抽出部４は上部記
憶領域３ａに未処理のスケジュール配置データがなくな
るまで前記と同様の処理を繰り返し実行する。

【００１６】パターンデータ抽出部５は展開配置データ
抽出部４から入力されたグループ番号情報に基づいてグ
ループ用ファイル２から必要対象とするグループパター
ンデータを読出してパターンデータ展開部６に出力する
。パターンデータ展開部６は展開配置データ抽出部４か
ら入力された各階層における配置データに基づいてその
グループの展開時におけるパターン座標を求めるととも
に、グループパターンデータ抽出部５から入力されたグ
ループパターンデータを合成して露光出力データとして
露光部に出力する。

【００１７】このように、本実施例では膨大な露光デー
タを階層化し、トップＴＯＰに含まれる各スケジュール
ＳＣ１の配置データを露光データファイル３の上部記憶
領域３ａに記憶させるとともに、これらに続いて各スケ
ジュールＳＣ１を構成する各グループＧ１，Ｇ２の配置
データを共通化して上部記憶領域３ａに記憶させるよう
にしたので、配置データ量は各グループＧ１，Ｇ２の配
置データ個数とスケジュールＳＣ１の配置個数との和と
なって配置データ量を軽減でき、露光データを圧縮する
ことができる。これにより、露光データファイル３のア
クセス回数を低減でき、データ伝送時間を短縮すること
ができる。従って、スケジュール配置データを増やすこ
とによって更に配置データ量を軽減させることができる
。

【００１８】又、本実施例ではグループ用ファイル２を
設けて各グループＧ１，Ｇ２のパターンデータを記憶さ
せるようにしているので、繰り返し配置されるパターン
に対しては同一グループＧ１のパターンデータを使用で
きるので、露光データとしての信頼性を向上することが
できる。尚、本実施例では露光データをグループ、スケ
ジュール及びトップの３つに階層化したが、４つ以上に
階層化してもよい。

【００１９】又、本実施例では露光データファイル３の
下部記憶領域３ｂにグループ番号Ｇ１，Ｇ２のグループ
パターンデータを一旦記憶させてからグループ用ファイ
ル２に複写させるようにしたが、露光データファイル３
にスケジュール配置データ及びグループ配置データを記
憶させる時に、グループ番号Ｇ１，Ｇ２のグループパタ
ーンデータは直接グループ用ファイル２に記憶させるこ
とにより、転送の時間をなくすようにしてもよい。

【００２０】又、使用頻度が高いグループのパターンデ
ータをグループ用ファイル２の先頭に記憶させることに
より、アクセス作業を単純化するようにしてもよい。更
に、使用頻度が高いグループのパターンデータのデータ
量が小さい場合、第１の記憶手段としての半導体メモリ
を設けてこのデータ量の小さいパターンデータを記憶さ
せることにより、より一層の高速化を図るようにしても
よい。

【００２１】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば入
力露光データの圧縮ができ、露光データの少量化と第２
の記憶手段へのアクセス回数の軽減化を図ることができ
、露光設備の大型化を抑制できるとともに、露光データ
伝送処理時間の短縮化を図ることができる優れた効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例における露光データ伝送装置
を示す構成図である。

【図２】露光パターンをＬＳＩチップに展開配置した状
態を示す図である。

【図３】（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ各階層におけるデー
タ内容を示す図であり、（ａ）はグループＧ１のデータ
内容を示す図、（ｂ）はグループＧ２のデータ内容を示
す図、（ｃ）はスケジュールＳＣ１のデータ内容を示す
図、（ｄ）はトップのデータ内容を示す図である。

【図４】露光データの階層構造を示す図である。

【図５】露光データファイルのデータフォーマットを示
す図である。

【図６】露光データ伝送処理の一部を示すフローチャー
トである。

【図７】露光データ伝送処理の一部を示すフローチャー
トである。

【符号の説明】

１　　データ編集制御部 ２　　第１の記憶手段としてのグループ用ファイル３　
　第２の記憶手段としての露光データファイル４　　展
開配置データ抽出部 ５　　グループパターン抽出部 ６　　パターンデータ展開部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　露光対象物を露光する際に露光装置に
   伝送される露光データにおいて、１つ以上のパターンよ
   りなりかつ繰り返し配置される種々のパターン群をそれ
   ぞれ第１階層パターンとしてそれらのパターンデータを
   予め第１の記憶手段に記憶し、第１の記憶手段に記憶さ
   れた各第１階層パターンのうち、同一の第１階層パター
   ンを２つ以上繰り返し配置して構成される各パターン群
   又は２種以上の第１階層パターンを配置して構成される
   各パターン群を第２階層パターンとするとともに、各第
   ２階層パターンのパターンデータを第１階層パターンの
   配置データとし、同一の第２階層パターンを２つ以上繰
   り返し配置して構成される各パターン群又は２種以上の
   第２階層パターンを配置して構成される各パターン群を
   第３階層パターンとするとともに、各第３階層パターン
   のパターンデータを第１又は第２階層パターンの配置デ
   ータとし、以下前記と同様にして当該階層パターンを複
   数配置して順次上位階層パターンとするとともに、各上
   位階層パターンのパターンデータを下位階層パターンの
   配置データとすることにより全ての露光データを階層化
   するとともに、上位階層パターンのパターンデータから
   順次検索できるように第２の記憶手段に記憶し、露光装
   置に露光データを伝送するに際し、第２の記憶手段より
   上位階層パターンのパターンデータを読出すとともに順
   次その下位階層パターンのパターンデータを読み出し、
   第２階層パターンのパターンデータが読出された時、第
   １の記憶手段から当該第２階層パターンに対応するパタ
   ーンデータを読出し、そのパターンデータと当該パター
   ンデータを指示する各階層パターンのパターンデータを
   展開して求められる配置データとを合成して露光出力デ
   ータとして出力するようにしたことを特徴とする露光デ
   ータ伝送方法。