JP3179313U - 位置および回転角を調整可能なステージ装置、およびこれに用いるθ角回転用ステージ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ステージ装置100は、XY軸移動用ステージ1およびθ角回転用ステージ2を備える。XY軸移動用ステージ1は、X軸用スライドレール部材111を底部に有するX軸移動用ステージ11と、Y軸用スライドレール部材121を底部に有するY軸移動ステージ12とを有する。θ角回転用ステージ2は、ステージ21、円弧状歯列22、スライドレール部材23およびウォームギア25を有する。スライドブロック24は、ステージ21の底部に結合される。ウォームギア25は、円弧状歯列22に噛み合わされ、サーボモータ26により駆動される。これにより、θ角回転用ステージ2のステージ21は、X方向およびY方向の位置に加えて回転角θを高精度に調整することができる。
【選択図】 図2
Description
(一実施形態)
本考案の一実施形態に係る「位置および回転角を調整可能なステージ装置」としてのステージ装置100は、図1〜図3に示すように、XY軸移動用ステージ1、およびθ角回転用ステージ2を含む。
(a)上述の実施形態では、円弧状歯列をリング状であるとした。しかしながら、円弧状歯列の形状はこれに限定されない。図7〜9に示すように、円弧状であってもよい。
2 ・・・θ角回転用ステージ
11 ・・・X軸移動用ステージ
12 ・・・Y軸移動用ステージ
13 ・・・台座
21 ・・・ステージ
22 ・・・円弧状歯列
23 ・・・スライドレール部材
24 ・・・スライドブロック
25 ・・・ウォームギア
26 ・・・サーボモータ
111 ・・・X軸用スライドレール部材
121 ・・・Y軸用スライドレール部材
Claims (9)
- 上面に載置された部材のX方向、Y方向、および回転角θを調整する位置および回転角を調整可能なステージ装置であって、
少なくとも1つのX軸用スライドレール部材を底部に有するX軸移動用ステージと、
少なくとも1つのY軸用スライドレール部材を底部に有するY軸移動用ステージと、
ステージ、前記ステージの底部に配置された円弧状歯列、少なくとも1つのスライドブロックが結合されたスライドレール部材、および前記円弧状歯列と噛み合わされたウォームギアを有するθ角回転用ステージと、
を備え、
前記X軸移動用ステージと前記Y軸移動用ステージと前記θ角回転用ステージとは積層により組み合わされ、
前記スライドレール部材および前記ウォームギアは、前記X軸移動用ステージまたは前記Y軸移動用ステージの載置面上に設けられ、
前記スライドブロックは、前記ステージの底部に結合されることを特徴とする位置および回転角を調整可能なステージ装置。 - 前記円弧状歯列の形状は、リング状であることを特徴とする請求項1に記載の位置および回転角を調整可能なステージ装置。
- 前記円弧状歯列の形状は、円弧状であることを特徴とする請求項1に記載の位置および回転角を調整可能なステージ装置。
- 前記スライドレール部材の形状は、リング状であることを特徴とする請求項1に記載の位置および回転角を調整可能なステージ装置。
- 前記X軸移動用ステージまたは前記X軸移動用ステージのいずれか一方は、台座上に設置されることを特徴とする請求項1に記載の位置および回転角を調整可能なステージ装置。
- 上面に載置された部材の回転角θを調整するθ角回転用ステージであって、
部材が載置されるステージと、
前記ステージの底部に設置された円弧状歯列と、
少なくとも1つのスライドブロックが結合されたスライドレール部材と、
を備え、
前記ステージの底部には、前記スライドブロックが結合され、前記ステージは、前記円弧状歯列にウォームギアが噛み合うことにより駆動することを特徴とするθ角回転用ステージ。 - 前記円弧状歯列の形状は、リング状であることを特徴とする請求項6に記載のθ角回転用ステージ。
- 前記円弧状歯列の形状は、円弧状であることを特徴とする請求項6に記載のθ角回転用ステージ。
- 前記スライドレール部材の形状は、リング状であることを特徴とする請求項6に記載のθ角回転用ステージ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW101208321U TWM441541U (en) | 2012-05-03 | 2012-05-03 | Precision alignment platform for X, Y and θ |
TW101208321 | 2012-05-03 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3179313U true JP3179313U (ja) | 2012-10-25 |
Family
ID=47701691
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012004955U Expired - Lifetime JP3179313U (ja) | 2012-05-03 | 2012-08-13 | 位置および回転角を調整可能なステージ装置、およびこれに用いるθ角回転用ステージ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9032832B2 (ja) |
JP (1) | JP3179313U (ja) |
CN (1) | CN202742244U (ja) |
TW (1) | TWM441541U (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3186285U (ja) * | 2013-07-18 | 2013-09-26 | ▲呉▼ 茂祥 | 精密位置合せ用プラットフォーム |
CN106427237A (zh) * | 2016-06-20 | 2017-02-22 | 刘玲 | 一种喷印机的平台theta轴 |
CN112548958A (zh) * | 2020-12-14 | 2021-03-26 | 苏州市星光精密机械有限公司 | 一种高精度uw轴联动旋转平台 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9273761B2 (en) * | 2012-05-03 | 2016-03-01 | Mau-Hsiang Wu | XYθ precision alignment platform |
KR101383174B1 (ko) * | 2013-11-27 | 2014-04-09 | 윤슬(주) | 동축 구동 다방향 제어장치 |
US10210625B2 (en) | 2015-10-30 | 2019-02-19 | Industrial Technology Research Institute | Measurement system comprising angle adjustment module |
CN105643512A (zh) * | 2016-03-22 | 2016-06-08 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种载具定位机构 |
CN110014403A (zh) * | 2018-01-10 | 2019-07-16 | 广州中国科学院先进技术研究所 | 一种大行程精密对位平台 |
CN108068070A (zh) * | 2018-01-23 | 2018-05-25 | 陕西科技大学 | 一种大行程式3-prp机构的精密对位平台 |
CN112207730A (zh) * | 2019-07-10 | 2021-01-12 | 惠州中科先进制造研究中心有限公司 | 带供电功能的大幅度旋转治具 |
CN115013663A (zh) * | 2022-06-07 | 2022-09-06 | 广东立迪智能科技有限公司 | 一种XYθ对位平台 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5497060A (en) * | 1993-06-21 | 1996-03-05 | Juergens, Iii; Albert M. | Positioning stage |
US6135400A (en) * | 1998-11-24 | 2000-10-24 | General Electric Company | Optical alignment fixture |
JP4378762B2 (ja) * | 1999-05-19 | 2009-12-09 | 株式会社ニコン | ステージ装置 |
US7136223B2 (en) * | 2003-11-25 | 2006-11-14 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Erogonomically arranged object adjustment controls |
US8659825B2 (en) * | 2007-12-20 | 2014-02-25 | National Tsing Hua University | Sample carrying apparatus capable of revolving sample |
-
2012
- 2012-05-03 TW TW101208321U patent/TWM441541U/zh not_active IP Right Cessation
- 2012-07-31 CN CN2012203769731U patent/CN202742244U/zh not_active Expired - Lifetime
- 2012-08-13 JP JP2012004955U patent/JP3179313U/ja not_active Expired - Lifetime
- 2012-08-14 US US13/584,833 patent/US9032832B2/en active Active
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CN112548958A (zh) * | 2020-12-14 | 2021-03-26 | 苏州市星光精密机械有限公司 | 一种高精度uw轴联动旋转平台 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9032832B2 (en) | 2015-05-19 |
US20130291666A1 (en) | 2013-11-07 |
TWM441541U (en) | 2012-11-21 |
CN202742244U (zh) | 2013-02-20 |
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