JP3174505U - グロー放電発光分析装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】低コストで、測定者が背面陰極を保持する必要のないグロー放電発光分析装置を提供する。
【解決手段】グロー放電発光分析装置は、陽極管3dを有する陽極ブロック3と、陽極管3dを収納する内方空間Vを有する支持ブロック2と、試料5の背面5bに当接する背面陰極4と、支持ブロック2に背面陰極4を介して試料5を押し付ける背面陰極押圧手段6と、背面電極4に取り付けられる第1保持具7と、背面陰極押圧手段6に取り付けられる第2保持具8とを備える。さらに、陽極ブロック3、支持ブロック2、背面陰極4、第1保持具7、第2保持具8および背面陰極押圧手段6が水平方向一列に配置され、背面陰極押圧手段6に取り付けられた第2保持具8の被係合部に第1保持具7の係合部が着脱自在に係合されて、背面陰極押圧手段6が背面電極4を着脱自在に保持する。
【選択図】図2
【解決手段】グロー放電発光分析装置は、陽極管3dを有する陽極ブロック3と、陽極管3dを収納する内方空間Vを有する支持ブロック2と、試料5の背面5bに当接する背面陰極4と、支持ブロック2に背面陰極4を介して試料5を押し付ける背面陰極押圧手段6と、背面電極4に取り付けられる第1保持具7と、背面陰極押圧手段6に取り付けられる第2保持具8とを備える。さらに、陽極ブロック3、支持ブロック2、背面陰極4、第1保持具7、第2保持具8および背面陰極押圧手段6が水平方向一列に配置され、背面陰極押圧手段6に取り付けられた第2保持具8の被係合部に第1保持具7の係合部が着脱自在に係合されて、背面陰極押圧手段6が背面電極4を着脱自在に保持する。
【選択図】図2
Description
本考案は、試料をスパッタリングしながら、発生した光を分析するグロー放電発光分析装置に関する。
アルゴン(Ar)ガス、ネオン(Ne)ガスなどの不活性ガス雰囲気中で、二つの電極間に直流または高周波の高電圧を印加すると、グロー放電が起こり、不活性ガスイオン、例えば、Arイオンが生成される。生成したArイオンは高電界で加速され、陰極表面に衝突し、そこに存在する物質をたたき出す。この現象をスパッタリングと呼ぶが、スパッタされた粒子(原子、分子、イオン)はプラズマ中で励起され、基底状態に戻る際にその元素に固有の波長の光を放出する。この発光を分光器で分光して試料中の元素を同定したり、発光の強度を測定し試料中の元素の量を定量したり、試料の深さ方向の元素分布を測定したりする分析装置が、グロー放電発光分析装置と呼ばれている。
従来、一般的に用いられているグロー放電発光分析装置のグロー放電管10として図8に示されているものがある。支持ブロック2と陽極ブロック3とが、Oリングなどのシール部材11を介して接合されている。陽極ブロック3には、陽極管3dが一体形成されており、この陽極管3dは、支持ブロック2に挿通され、試料5の分析面5aに近接している。試料5の分析面5aを、背面陰極40を介して背面陰極押圧手段60により支持ブロック2に押し付けて、その試料5と支持ブロック2に埋設されたOリング11により、陽極管3dを収納する支持ブロック2の内方空間Vの開口部2cを密閉し、この内方空間Vを真空引きするようになっている。
この装置では、陽極ブロック3、支持ブロック2、試料5、背面陰極40および背面陰極押圧手段60が水平方向一列に配置される。陽極ブロック3および支持ブロック2はグロー放電発光分析装置の本体に保持され、試料5は支持ブロック2の内方空間Vの開口部2cを密閉するように配置され、内方空間Vは真空引きされているので、試料5は開口部2cに密着して保持される。しかし、試料5を取り付ける際に自由度を確保し易いことや、陽極のクリーニングの際に邪魔になるために、背面陰極40はグロー放電発光分析装置本体に保持されていなかった。そのため、背面陰極押圧手段60により背面陰極40を介して試料5を支持ブロック2に押し付ける際に、測定者が背面陰極40を保持しておく必要があり、操作に手間がかかり不便であった。
そこで、この操作の手間を解消するために、ロボット装置が背面陰極を把持して試料を支持ブロックに押し付けるグロー放電発光分析装置がある(特許文献1)。
しかし、このグロー放電発光分析装置では、背面陰極を保持するためにロボット装置が必要であり、コストアップになっている。
そこで、本考案は、低コストで、背面陰極押圧手段により背面陰極を介して試料を支持ブロックに押し付ける際に、測定者が背面陰極を保持しておく必要のないグロー放電発光分析装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本考案に係るグロー放電発光分析装置は、陽極管を有する陽極ブロックと、前記陽極管を収納する内方空間を有する支持ブロックと、試料の分析面の反対側である背面に当接する背面陰極と、前記陽極ブロックと前記背面陰極との間に電圧を印加してグロー放電を発生させる給電手段と、前記支持ブロックに前記背面陰極を介して試料を押し付ける背面陰極押圧手段と、前記背面電極に取り付けられる第1保持具と、前記背面陰極押圧手段に着脱自在に取り付けられる第2保持具と、を備え、前記陽極ブロック、前記支持ブロック、前記背面陰極、前記第1保持具、前記第2保持具および前記背面陰極押圧手段が水平方向一列に配置され、前記第1保持具が係合部を有し、前記第2保持具が被係合部を有し、前記背面陰極押圧手段に取り付けられた前記第2保持具の被係合部に前記第1保持具の係合部が着脱自在に係合されることによって、前記背面陰極押圧手段が前記背面電極を着脱自在に保持する。
本考案によれば、低コストで、背面陰極押圧手段により背面陰極を介して試料を支持ブロックに押し付ける際に、測定者が背面陰極を保持しておく必要のないグロー放電発光分析装置を実現できる。
本考案のグロー放電発光分析装置において、前記背面陰極が半径方向に切り欠け部を有する円板状であり、前記背面陰極押圧手段が円筒状の本体を有し、前記第1保持具が、半環状であって、軸方向の一方の面が前記背面陰極に当接するように取り付けられ、軸方向の他方の面における外周部が軸方向に突出して、半円筒側部として前記係合部をなすとともに、その係合部が、前記半円筒側部の内面に半径方向外側に凹入した溝を有し、前記第2保持具が、環状であって、外周部の一部に前記背面陰極押圧手段の本体への着脱自在の取付部を有し、その取付部と対向する外周部が前記被係合部をなすとともに、その被係合部が、半径方向外側に突出した鍔を有し、前記溝と前記鍔とが嵌合することによって、前記第1保持具と前記第2保持具とが係合するのが好ましい。
本考案のグロー放電発光分析装置において、前記背面陰極押圧手段がクリーニング具を有し、分析前に、前記クリーニング具を用いて前記陽極管の内面および先端面を切削または研磨し、分析時に、前記クリーニング具の先端部によって前記支持ブロックに前記背面陰極を介して試料を押し付けるのが好ましい。この場合には、着脱自在である第1保持具を簡単に取り外すことにより、前記背面陰極押圧手段によって、前記陽極管の内面および先端面を切削または研磨することもできる。さらに、前記クリーニング具がリーマであるのがより好ましい。
以下、本考案の実施形態のグロー放電発光分析装置について図1を用いて説明する。このグロー放電発光分析装置は、陽極管3d(図2)を有する陽極ブロック3と、陽極管3dを収納する内方空間V(図2)を有する支持ブロック2と、試料5の分析面5aの反対側である背面5bに当接する背面陰極4と、を有するグロー放電管1を有し、陽極ブロック3と背面陰極4との間に電圧を印加してグロー放電を発生させる給電手段12(図2)と、支持ブロック2に背面陰極4を介して試料5を押し付ける背面陰極押圧手段6と、背面電極4に取り付けられる第1保持具7と、背面陰極押圧手段6に着脱自在に取り付けられる第2保持具8と、を備え、陽極ブロック3、支持ブロック2、背面陰極4、第1保持具7、第2保持具8および背面陰極押圧手段6が水平方向一列に配置され、第1保持具7が係合部71(図3)を有し、第2保持具8が被係合部81(図5)を有し、背面陰極押圧手段6に取り付けられた第2保持具8の被係合部81に第1保持具の係合部71が着脱自在に係合されることによって、背面陰極押圧手段6が背面電極4を着脱自在に保持する。
さらに、本考案の実施形態のグロー放電発光分析装置は、グロー放電を利用したスパッタリングにより試料5中に存在する元素に固有の波長の光Lを発生させるグロー放電管1から放射されて、その窓板13を透過した光Lが入射する分光器22を備えている。分光器22は、入射スリット24、この入射スリット24から入射した光Lを波長に応じて異なった回折角度で回折する回折格子26、回折光を通過させる出射スリット27および回折光の強度を測定する光電子増倍管28を備える。
グロー放電管1は図2に示すように、支持ブロック2と陽極ブロック3とが、Oリングなどのシール部材11を介して接合されている。陽極ブロック3には、陽極管3dが一体形成されており、この陽極管3dは、支持ブロック2に挿通され、試料5の分析面(表面)5aに近接している。試料5は、半径方向に切り欠け部43を有する円板状の背面陰極4を介して背面陰極押圧手段6により支持ブロック2に押し付けられる。こうして、試料5とその分析面5aにおける分析すべき部位を囲む環状形状となったOリングなどのシール部材11により陽極管3dを収納する支持ブロック2の内方空間(グロー放電空間)Vの開口部を密閉し、この内方空間Vを、図示しない真空排気装置(減圧手段)により、第1および第2真空排気孔3b,3cから真空引きするようになっている。陽極ブロック3は、放電ガスを供給する放電ガス供給孔3aを有しており、管内Vが、例えばアルゴンガスなどの放電ガス雰囲気とされる。
グロー放電管1は、陽極ブロック3と背面陰極4との間に給電手段12により高周波または直流の電圧を印加してグロー放電を発生させるとともに、背面陰極4を通じ試料5に負電圧を印加し、グロー放電の発生により生成されるアルゴンガスの陽イオンを試料5の分析面5aに衝突させて、試料5をスパッタリングする。
図3(a)、(b)に示すように、第1保持具7は、環状の半分を切除した半環状であって、軸方向の一方の面であり、背面陰極4に取り付けられる取付面7aと、取付面7aの軸方向の反対面である係合面7bにおいて外周部が軸方向に突出して、半円筒側部72をなすとともに、半円筒側部72の内面に半径方向外側に凹入した溝73を有する係合部71とで形成される。さらに、第1保持具7において半環状の外周7cと内周7dの間であって、半円筒側部72が形成されていない半環状基台部74に、背面陰極4に第1保持具7を取り付けるための取付孔75が設けられている。
図4(a)、(b)に示すように、背面陰極4は半径方向に切り欠け部43を有する銅製の円板状(円板からその一部の弓形部分を切り欠いた形状)であり、試料5の分析面5a(図2)の反対側である背面に当接する試料当接面4aと、第1保持具7が取り付けられる取付面4bとを有し、取付面4bに第1保持具7を取り付けるための取付ねじ孔41と、給電手段12からの電源ケーブルを接続するためのケーブルねじ孔42が設けられている。第1保持具7が背面陰極4の取付面4bに、第1保持具7の取付孔75(図3)と取付ねじ孔41とを利用してねじ(図示なし)によって取り付けられる。電源ケーブル(図示なし)がケーブルねじ孔42を利用してねじ(図示なし)によって取り付けられる。
図5(a)、(b)に示すように、第2保持具8は、環状であって、その外周部の一部に背面陰極押圧手段6の本体(図6)への着脱自在の取付部84を有し、その取付部84と対向する外周部が被係合部81をなすとともに、その被係合部81が、半径方向外側に突出した鍔83を有する。取付部84は背面陰極押圧手段6の本体の外周を把持するクランプ部85とクランプねじ86とで構成されている。
図6に示すように、背面陰極押圧手段6は、中空形状である陽極管3d(図2)の内面および先端面を切削または研磨するクリーニング具61と、クリーニング具61を把持する円筒状の本体62と、クリーニング具61を矢印のように水平方向に進退自在に移動するとともに回転駆動する駆動部63とを有する。背面陰極押圧手段6の円筒状の本体62に第2保持具8が取付部84によって取り付けられる。背面陰極4に取り付けられた第1保持具7の係合部71の溝73(図3(b))と、背面陰極押圧手段6の円筒状の本体62に取り付けられた第2保持具8の被係合部81の鍔83(図5(b))とが嵌合することによって、第1保持具7と第2保持具8とが係合する(図2)。
分析時には、クリーニング具61の先端部によって背面陰極4を介して試料5を支持ブロック2に押し付ける(図2)。クリーニング具61は、例えば、鋼鉄製リーマ、セラミックス製リーマなどである。クリーニング具61として鋼鉄製リーマを用いた場合、鋼鉄製リーマは導電性を有するので、銅製の背面陰極4との間を絶縁する必要がある。そのため、塩化ビニル、四フッ化エチレンなどの絶縁材で形成され、第1保持具7の内周7dの直径よりも小さい直径を有する円板状の絶縁部材9(図7)を、内周7dに囲まれた部位(図示なし)にはめ込み、次に、第1保持具7と第2保持具8とを係合する(図2)。この係合によって背面陰極4が背面陰極押圧手段6に保持される。なお、クリーニング具61として、絶縁材からなるリーマ、例えばセラミックス製リーマを用いる場合には、円板状の絶縁部材9を第1保持具7の内周7dに囲まれた部位にはめ込む必要はない。
本考案の実施形態のグロー放電発光分析装置の動作について図2を用いて説明する。まず、試料5を配置する方法について説明する。第1および第2真空排気孔3b,3cから真空引きされている状態で試料5の分析面5aを支持ブロック2に当接させ、試料5を支持ブロック2に吸着保持する。つぎに、背面陰極押圧手段6を作動させ、駆動部63によってクリーニング具61を試料5の方向に移動させ、クリーニング具61の先端部を第1保持具7にはめ込まれた円板9に当接させつつ背面陰極4を介して試料5を支持ブロック2に押し付ける。
そして、真空引きを停止し、グロー放電管1の放電ガス供給孔3aから放電ガスとしてアルゴンガスを供給して、測定を開始すると、陽極ブロック3と背面陰極4を通して陽極管3dと試料5との間に給電手段12により高周波電圧または直流電圧が印加される。電圧が印加されると、グロー放電を生じ、放電ガス中のアルゴン(Ar)の陽イオンが生成される。このグロー放電で生じたプラズマにより、試料5に負の自己バイアス電圧がかかる。その結果、生成されたArイオンは、負電位にある試料5の分析面5aに衝突して、この分析面5aをスパッタリングする。それにより、分析面5aからたたき出された原子は、Arイオンまたは電子によって励起され、再び基底状態に戻る際にその元素固有の光Lを放射する。
図1に示すように、試料5からの光Lが窓板13を透過し、入射スリット24を通り、分光器22の回析格子26で分光され、出射スリット27を通って、試料5から放射される元素固有の光を測定するように配置されたそれぞれの光電子増倍管28に入射して光強度が測定される。各光電子増倍管28によって測定された光強度に応じて特定元素の試料5の深さ方向の元素分布を測定する。または、各光電子増倍管28によって測定された光強度に応じて試料5中の特定元素の含有量を定量する。
本考案の実施形態のグロー放電発光分析装置によれば、低コストで、背面陰極押圧手段6により背面陰極4を介して試料5を支持ブロック2に押し付ける際に、測定者が背面陰極4を保持しておく必要のないグロー放電発光分析装置を実現できる。さらに、分析前に、背面陰極押圧手段6を作動させ、クリーニング具61によって中空状の陽極管3dの内面および先端面を自動切削または自動研磨することができる。
なお、実施形態の装置では、背面陰極4を半径方向に切り欠け部を有する円板状、背面陰極押圧手段6を円筒状、第1保持具7を半環状、第2保持具7を環状と説明したが、これらの形状に限った構造でなくてもよい。実施形態の装置では、背面陰極押圧手段6の先端部としてクリーニング具61を用いたが、これに限定されず、金属製、セラミックス製、合成樹脂製などの部材であればよい。なお、この部材が絶縁材の場合には、絶縁部材9(図7)を第1保持具の内周7d(図3)に囲まれた部位にはめ込む必要はない。また、実施形態の装置では、陽極ブロックと背面陰極との間のみに電圧を印加しているが、支持ブロックを陽極ブロックと絶縁して前面陰極とし、背面陰極と合わせて電圧を印加する装置にも本考案が適用できる。
2 支持ブロック
3 陽極ブロック
3d 陽極管
4 背面陰極
5 試料
5a 試料の分析面
5b 試料の背面
6 背面陰極押圧手段
7 第1保持具
8 第2保持具
12 給電手段
71 第1保持具の係合部
81 第2保持具の被係合部
V 内方空間
3 陽極ブロック
3d 陽極管
4 背面陰極
5 試料
5a 試料の分析面
5b 試料の背面
6 背面陰極押圧手段
7 第1保持具
8 第2保持具
12 給電手段
71 第1保持具の係合部
81 第2保持具の被係合部
V 内方空間
Claims (4)
- 陽極管を有する陽極ブロックと、
前記陽極管を収納する内方空間を有する支持ブロックと、
試料の分析面の反対側である背面に当接する背面陰極と、
前記陽極ブロックと前記背面陰極との間に電圧を印加してグロー放電を発生させる給電手段と、
前記支持ブロックに前記背面陰極を介して試料を押し付ける背面陰極押圧手段と、
前記背面電極に取り付けられる第1保持具と、
前記背面陰極押圧手段に着脱自在に取り付けられる第2保持具と、
を備え、前記陽極ブロック、前記支持ブロック、前記背面陰極、前記第1保持具、前記第2保持具および前記背面陰極押圧手段が水平方向一列に配置され、
前記第1保持具が係合部を有し、前記第2保持具が被係合部を有し、前記背面陰極押圧手段に取り付けられた前記第2保持具の被係合部に前記第1保持具の係合部が着脱自在に係合されることによって、前記背面陰極押圧手段が前記背面電極を着脱自在に保持するグロー放電発光分析装置。 - 請求項1に記載のグロー放電発光分析装置において、
前記背面陰極が半径方向に切り欠け部を有する円板状であり、
前記背面陰極押圧手段が円筒状の本体を有し、
前記第1保持具が、半環状であって、軸方向の一方の面が前記背面陰極に当接するように取り付けられ、軸方向の他方の面における外周部が軸方向に突出して、半円筒側部として前記係合部をなすとともに、その係合部が、前記半円筒側部の内面に半径方向外側に凹入した溝を有し、
前記第2保持具が、環状であって、外周部の一部に前記背面陰極押圧手段の本体への着脱自在の取付部を有し、その取付部と対向する外周部が前記被係合部をなすとともに、その被係合部が、半径方向外側に突出した鍔を有し、
前記溝と前記鍔とが嵌合することによって、前記第1保持具と前記第2保持具とが係合するグロー放電発光分析装置。 - 請求項1または2に記載のグロー放電発光分析装置において、
前記背面陰極押圧手段がクリーニング具を有し、
分析前に、前記クリーニング具を用いて前記陽極管の内面および先端面を切削または研磨し、
分析時に、前記クリーニング具の先端部によって前記支持ブロックに前記背面陰極を介して試料を押し付けるグロー放電発光分析装置。 - 請求項3に記載のグロー放電発光分析装置において、
前記クリーニング具がリーマであるグロー放電発光分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012000102U JP3174505U (ja) | 2012-01-12 | 2012-01-12 | グロー放電発光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2012000102U JP3174505U (ja) | 2012-01-12 | 2012-01-12 | グロー放電発光分析装置 |
Publications (1)
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JP3174505U true JP3174505U (ja) | 2012-03-22 |
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ID=48001648
Family Applications (1)
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JP2012000102U Expired - Fee Related JP3174505U (ja) | 2012-01-12 | 2012-01-12 | グロー放電発光分析装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP3174505U (ja) |
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2012
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