JP3173513B2 - 微粒子供給装置 - Google Patents
微粒子供給装置Info
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- JP3173513B2 JP3173513B2 JP15111091A JP15111091A JP3173513B2 JP 3173513 B2 JP3173513 B2 JP 3173513B2 JP 15111091 A JP15111091 A JP 15111091A JP 15111091 A JP15111091 A JP 15111091A JP 3173513 B2 JP3173513 B2 JP 3173513B2
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は微粒子供給装置に係り、
とくに被加工物に固気２相流として微粒子を噴射して加
工を行なうためのパウダービームエッチング装置に用い
て好適な微粒子供給装置に関する。
とくに被加工物に固気２相流として微粒子を噴射して加
工を行なうためのパウダービームエッチング装置に用い
て好適な微粒子供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】微粒子を含む固気２相流を被加工物に噴
射して加工を行なうサンドブラスト等が従来より知られ
ている。従来のサンドブラスト装置によれば、微粒子の
直径が大きいために、微細な加工を行なうことができな
かった。そこで粒径の小さな微粒子を利用し、このよう
な微粒子を気体と混合して固気２相流とし、ノズルから
高速で噴射させるようにした微細加工装置が提案されて
いる。
射して加工を行なうサンドブラスト等が従来より知られ
ている。従来のサンドブラスト装置によれば、微粒子の
直径が大きいために、微細な加工を行なうことができな
かった。そこで粒径の小さな微粒子を利用し、このよう
な微粒子を気体と混合して固気２相流とし、ノズルから
高速で噴射させるようにした微細加工装置が提案されて
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ガスと混合されて被加
工物に噴射される微粒子の粒径が小さくなるに従って、
安定に微粒子を噴射することが難しくなる。その第１の
理由は、粒径が小さくなるに従って、含有する水分で微
粒子が団子状に凝集し、ノズルの噴射口を閉塞したり、
円滑な噴流の発生を妨げるからである。従って微粒子に
よる加工を行なう場合には、予め十分に水分を除去して
おくことが必要になる。
工物に噴射される微粒子の粒径が小さくなるに従って、
安定に微粒子を噴射することが難しくなる。その第１の
理由は、粒径が小さくなるに従って、含有する水分で微
粒子が団子状に凝集し、ノズルの噴射口を閉塞したり、
円滑な噴流の発生を妨げるからである。従って微粒子に
よる加工を行なう場合には、予め十分に水分を除去して
おくことが必要になる。
【０００４】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たものであって、水分を除去した状態で微粒子を供給す
るようにした供給装置を提供することを目的とするもの
である。
たものであって、水分を除去した状態で微粒子を供給す
るようにした供給装置を提供することを目的とするもの
である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】第１の発明は、供給する
微粒子を内部に収納する微粒子供給タンクを具備し、該
供給タンクに加熱手段と撹拌手段とを設け、前記加熱手
段によって微粒子を加熱しながら前記撹拌手段によって
撹拌し、しかも前記供給タンク内に空気を供給して排気
穴から水分を排出するようにしたものである。
微粒子を内部に収納する微粒子供給タンクを具備し、該
供給タンクに加熱手段と撹拌手段とを設け、前記加熱手
段によって微粒子を加熱しながら前記撹拌手段によって
撹拌し、しかも前記供給タンク内に空気を供給して排気
穴から水分を排出するようにしたものである。
【０００６】また第２の発明は、上記第１の発明におい
て、エアヒータを有し、前記微粒子供給タンクの底部側
からフィルタを通して加熱された空気を供給する別の空
気供給手段を有するようにしたものである。また第３の
発明は、上記第１の発明において、前記供給タンク内で
水分を除去した微粒子を透明な混合タンクに供給するよ
うにしたものである。
て、エアヒータを有し、前記微粒子供給タンクの底部側
からフィルタを通して加熱された空気を供給する別の空
気供給手段を有するようにしたものである。また第３の
発明は、上記第１の発明において、前記供給タンク内で
水分を除去した微粒子を透明な混合タンクに供給するよ
うにしたものである。
【０００７】
【作用】第１の発明によれば、供給タンク内に導入され
た微粒子は、加熱手段によって加熱されるとともに撹拌
手段によって撹拌されて水分が除去される。そして空気
を供給タンク内に供給することにより、排気穴から水分
が排出されるために、水分を除去した微粒子を供給でき
るようになる。
た微粒子は、加熱手段によって加熱されるとともに撹拌
手段によって撹拌されて水分が除去される。そして空気
を供給タンク内に供給することにより、排気穴から水分
が排出されるために、水分を除去した微粒子を供給でき
るようになる。
【０００８】第２の発明によれば、別の空気供給手段に
よってエアヒータで加熱された空気を底部側から微粒子
供給タンクの内部に供給することによって、微粒子に含
まれる水分をより確実に分離し、排気穴から排出するこ
とによって、水分のより確実な除去が行なわれることに
なる。第３の発明によれば、このようにして水分を除去
した微粒子は、透明な混合タンクに供給されるために、
外部から混合タンク内の状態が容易に確認できることに
なる。
よってエアヒータで加熱された空気を底部側から微粒子
供給タンクの内部に供給することによって、微粒子に含
まれる水分をより確実に分離し、排気穴から排出するこ
とによって、水分のより確実な除去が行なわれることに
なる。第３の発明によれば、このようにして水分を除去
した微粒子は、透明な混合タンクに供給されるために、
外部から混合タンク内の状態が容易に確認できることに
なる。
【０００９】
【実施例】図２は本発明の一実施例に係る微粒子供給装
置を備えるパウダービームエッチング装置の全体のシス
テムを示すものであって、このシステムは空気圧発生源
としてのコンプレッサ１０を備えている。コンプレッサ
１０は圧力タンク１１に接続されるとともに、圧力タン
ク１１の出口側はエアドライヤ１２に接続され、このエ
アドライヤ１２の下流側にマイクロエレッサ１３とフィ
ルタ１４とが接続されている。
置を備えるパウダービームエッチング装置の全体のシス
テムを示すものであって、このシステムは空気圧発生源
としてのコンプレッサ１０を備えている。コンプレッサ
１０は圧力タンク１１に接続されるとともに、圧力タン
ク１１の出口側はエアドライヤ１２に接続され、このエ
アドライヤ１２の下流側にマイクロエレッサ１３とフィ
ルタ１４とが接続されている。
【００１０】上記フィルタ１４の下流側には粉体供給タ
ンク１７が接続されている。タンク１７は粉体バルブ１
８を通してサイクロン１９に粉体を供給するようになっ
ている。またこのタンク１７の水分排出口４０とサイク
ロン１９とは排気管２０に接続されている。排気管２０
の先端部には排風機２１が接続されるとともに、この排
風機２１にはさらにスクラバー２２が接続されている。
ンク１７が接続されている。タンク１７は粉体バルブ１
８を通してサイクロン１９に粉体を供給するようになっ
ている。またこのタンク１７の水分排出口４０とサイク
ロン１９とは排気管２０に接続されている。排気管２０
の先端部には排風機２１が接続されるとともに、この排
風機２１にはさらにスクラバー２２が接続されている。
【００１１】サイクロン１９の下側には貯留室２４が設
けられ、この貯留室２４には空気と分離された粉体が蓄
えられるようになっている。そして貯留室２４の下側に
はスクリュコンベア２５が取付けられるとともに、この
スクリュコンベア２５によって混合タンク２６に粉体が
供給されるようになっている。混合タンク２６内の粉体
は加工室２７に供給されるようになっている。そして加
工室２７に配されているノズル２８によって被加工物２
９に粉体と空気との固気２相流を噴射するようにしてい
る。
けられ、この貯留室２４には空気と分離された粉体が蓄
えられるようになっている。そして貯留室２４の下側に
はスクリュコンベア２５が取付けられるとともに、この
スクリュコンベア２５によって混合タンク２６に粉体が
供給されるようになっている。混合タンク２６内の粉体
は加工室２７に供給されるようになっている。そして加
工室２７に配されているノズル２８によって被加工物２
９に粉体と空気との固気２相流を噴射するようにしてい
る。
【００１２】つぎに粉体供給タンク１７の構造について
説明すると、粉体供給タンク１７の胴の外周部にはバン
ドヒータ３２が取付けられている。またこのタンク１７
の上部にはモータ３３が配されており、タンク１７内の
撹拌アーム３４を回転させるようにしている。またこの
タンク１７の上部には大気導入口３５が設けられてお
り、弁体３６が取付けられている。弁体３６は電磁アク
チュエータ３７によって開閉されるようになっている。
説明すると、粉体供給タンク１７の胴の外周部にはバン
ドヒータ３２が取付けられている。またこのタンク１７
の上部にはモータ３３が配されており、タンク１７内の
撹拌アーム３４を回転させるようにしている。またこの
タンク１７の上部には大気導入口３５が設けられてお
り、弁体３６が取付けられている。弁体３６は電磁アク
チュエータ３７によって開閉されるようになっている。
【００１３】粉体供給タンク１７の上部には水分排出口
４０が設けられている。そして水分排出口４０は排気弁
４１に接続されるとともに、この排気弁４１には小孔４
２が設けられている。またタンク１７の側部にはエアヒ
ータ４３を有する空気配管４４が接続されており、ヒー
タ４３によって加熱された空気をフィルタ４５を通して
タンク１７内に導入するようにしている。
４０が設けられている。そして水分排出口４０は排気弁
４１に接続されるとともに、この排気弁４１には小孔４
２が設けられている。またタンク１７の側部にはエアヒ
ータ４３を有する空気配管４４が接続されており、ヒー
タ４３によって加熱された空気をフィルタ４５を通して
タンク１７内に導入するようにしている。
【００１４】またこのタンク１７の下側の開口の部分に
は補助空気配管４６が接続されている。またタンク１７
の下部中央には粉体供給口４７が設けられている。そし
てこの供給口４７の先端部にはエゼクタ４８が接続され
ている。エゼクタ４８の下流側に上記粉体バルブ１８が
接続されるようになっている。
は補助空気配管４６が接続されている。またタンク１７
の下部中央には粉体供給口４７が設けられている。そし
てこの供給口４７の先端部にはエゼクタ４８が接続され
ている。エゼクタ４８の下流側に上記粉体バルブ１８が
接続されるようになっている。
【００１５】つぎに以上のような構成に係る粉体供給装
置の動作について説明する。装置の電源を投入すると、
図１に示す供給タンク１７のバンドヒータ３２が通電さ
れ、タンク１７内の粉体を加熱するようになる。また電
源の投入によってモータ３３が回転し、アーム３４を回
すようになる。アーム３４はタンク１７内の粉体を撹拌
する。
置の動作について説明する。装置の電源を投入すると、
図１に示す供給タンク１７のバンドヒータ３２が通電さ
れ、タンク１７内の粉体を加熱するようになる。また電
源の投入によってモータ３３が回転し、アーム３４を回
すようになる。アーム３４はタンク１７内の粉体を撹拌
する。
【００１６】一方コンプレッサ１０によって加圧された
空気は、マイクロエレッサ１３およびフィルタ１４を通
って空気配管４４によりタンク１７に供給される。この
空気はエアヒータ４３によって加熱されることになる。
すなわちエアヒータ４３によって加熱された微量の温風
がタンク１７内に吹出すようになる。撹拌アーム３４の
回転とエアヒータ４３によって加熱された空気の吹上げ
とによって、粉体に含まれている水分が分離されるとと
もに、水分排出口４０を通って排気弁４１の小孔４２か
ら排出される。なおこのときに小孔４２を通して微量の
粉体も排出されるが、この粉体は排気管２０に吸引さ
れ、排風機２１によって集塵されることになる。
空気は、マイクロエレッサ１３およびフィルタ１４を通
って空気配管４４によりタンク１７に供給される。この
空気はエアヒータ４３によって加熱されることになる。
すなわちエアヒータ４３によって加熱された微量の温風
がタンク１７内に吹出すようになる。撹拌アーム３４の
回転とエアヒータ４３によって加熱された空気の吹上げ
とによって、粉体に含まれている水分が分離されるとと
もに、水分排出口４０を通って排気弁４１の小孔４２か
ら排出される。なおこのときに小孔４２を通して微量の
粉体も排出されるが、この粉体は排気管２０に吸引さ
れ、排風機２１によって集塵されることになる。
【００１７】図２に示す混合タンク２６の下部に設けら
れているセンサ５３が混合タンク２６内の微粒子の量を
検出するようにしている。そして微粒子の量が不足する
と、混合タンク１７から微粒子の供給が行なわれるよう
になっている。供給の際にはエアヒータ４３による温風
の供給を停止する。そして小孔４２を排気弁４１によっ
て閉塞し、電磁アクチュエータ３７によって弁体３６を
鎖線で示すように下降させ、大気導入口３５を開放す
る。
れているセンサ５３が混合タンク２６内の微粒子の量を
検出するようにしている。そして微粒子の量が不足する
と、混合タンク１７から微粒子の供給が行なわれるよう
になっている。供給の際にはエアヒータ４３による温風
の供給を停止する。そして小孔４２を排気弁４１によっ
て閉塞し、電磁アクチュエータ３７によって弁体３６を
鎖線で示すように下降させ、大気導入口３５を開放す
る。
【００１８】この後に粉体バルブ１８を開放し、粉体供
給タンク１７内に圧力が加わらないように所定時間、例
えば１秒間待機した後に、エゼクタノズル４８に加圧さ
れた空気を供給し、粉体供給タンク１７の下部に接続さ
れている粉体供給口４７から粉体を吸引する。この粉体
は排風機２１による空気の流れを利用し、サイクロン１
９に送られる。そしてサイクロン１９で空気と粉体とが
互いに分離され、貯留室２４に粉体を供給するようにし
ている。
給タンク１７内に圧力が加わらないように所定時間、例
えば１秒間待機した後に、エゼクタノズル４８に加圧さ
れた空気を供給し、粉体供給タンク１７の下部に接続さ
れている粉体供給口４７から粉体を吸引する。この粉体
は排風機２１による空気の流れを利用し、サイクロン１
９に送られる。そしてサイクロン１９で空気と粉体とが
互いに分離され、貯留室２４に粉体を供給するようにし
ている。
【００１９】貯留室２４に蓄えられた粉体はモータ５０
によって駆動されるスクリュコンベア２５によって粉体
供給タンク２６に供給される。混合タンク２６内の粉体
はモータ５１によってアーム５２を介して撹拌されるよ
うになっている。
によって駆動されるスクリュコンベア２５によって粉体
供給タンク２６に供給される。混合タンク２６内の粉体
はモータ５１によってアーム５２を介して撹拌されるよ
うになっている。
【００２０】そして混合タンク２６内の粉体はタンク２
６の底部から引出されるとともに、加工室２７に導か
れ、空気との固気２相流としてノズル２８により被加工
物２９に噴射される。これによって被加工物２９上にエ
ッチング加工、デポジション加工等の各種の加工が行な
われる。
６の底部から引出されるとともに、加工室２７に導か
れ、空気との固気２相流としてノズル２８により被加工
物２９に噴射される。これによって被加工物２９上にエ
ッチング加工、デポジション加工等の各種の加工が行な
われる。
【００２１】なおノズル２８の内部、被加工物２９を備
えるチャンバの部分、および加工室２７内に飛散した粉
体は、粉体戻し管５４によって再びサイクロン１９に集
められ、ここで粉体と空気とが分離されるとともに、空
気は排気管２０によって排風機２１側に導かれるように
なっている。
えるチャンバの部分、および加工室２７内に飛散した粉
体は、粉体戻し管５４によって再びサイクロン１９に集
められ、ここで粉体と空気とが分離されるとともに、空
気は排気管２０によって排風機２１側に導かれるように
なっている。
【００２２】このように本実施例に係る微粒子供給装置
においては、混合タンク２６に粉体を供給する供給タン
ク１７を設けるようにし、バンドヒータ３２をコントロ
ールすることによって粉体の除湿を行ない、エゼクタノ
ズル４８と排風機２１の吸引力とを利用して混合タンク
２６に品質の安定した粉体を送るようにしている。
においては、混合タンク２６に粉体を供給する供給タン
ク１７を設けるようにし、バンドヒータ３２をコントロ
ールすることによって粉体の除湿を行ない、エゼクタノ
ズル４８と排風機２１の吸引力とを利用して混合タンク
２６に品質の安定した粉体を送るようにしている。
【００２３】とくに粉体を撹拌アーム３４によって撹拌
しながらバンドヒータ３２による直接加熱とエアヒータ
４３によって加熱された温風とによって水分の除去を行
なうようにしているために、粉体からほぼ完全に水分が
除去され、粉体が団子状に凝集することが防止される。
またエゼクタノズル４８の吸引力により粉体を手動また
は自動で供給できるようになる。
しながらバンドヒータ３２による直接加熱とエアヒータ
４３によって加熱された温風とによって水分の除去を行
なうようにしているために、粉体からほぼ完全に水分が
除去され、粉体が団子状に凝集することが防止される。
またエゼクタノズル４８の吸引力により粉体を手動また
は自動で供給できるようになる。
【００２４】とくに本実施例の装置においては、混合タ
ンク２６内の粉体の量が少なくなると、センサ５３によ
ってそのことを検出し、シーケンス制御によって断続的
に粉体を供給するようにしている。従ってこのような粉
体の供給方式によれば、加工室２７内において広いエリ
アの加工が行なわれるとともに、長時間の噴射を連続的
に行なうことが可能になる。
ンク２６内の粉体の量が少なくなると、センサ５３によ
ってそのことを検出し、シーケンス制御によって断続的
に粉体を供給するようにしている。従ってこのような粉
体の供給方式によれば、加工室２７内において広いエリ
アの加工が行なわれるとともに、長時間の噴射を連続的
に行なうことが可能になる。
【００２５】しかも供給タンク１７から粉体が供給され
る混合タンク２６は透明なアクリル樹脂によって構成さ
れており、外部から目視によって粉体の状況が観察でき
るようにしている。従って混合タンク２６内の粉体の動
きを観察しながら装置のデバッグを行なうことが可能に
なる。また粉体が異常な挙動を示したときには一目でそ
のことを確認できるようになる。すなわちエア漏れやバ
ルブの故障等が確実に確認できるようになる。
る混合タンク２６は透明なアクリル樹脂によって構成さ
れており、外部から目視によって粉体の状況が観察でき
るようにしている。従って混合タンク２６内の粉体の動
きを観察しながら装置のデバッグを行なうことが可能に
なる。また粉体が異常な挙動を示したときには一目でそ
のことを確認できるようになる。すなわちエア漏れやバ
ルブの故障等が確実に確認できるようになる。
【００２６】なお混合タンク２６のみならず、粉体が通
過する部分のチューブ等をも透明にすることによって、
デバッグがさらに簡単に行ない得るようになる。またサ
イクロン１９の部分を透明にすることによって、空気と
粉体との分離の状況が外部から目視観察できるようにな
る。
過する部分のチューブ等をも透明にすることによって、
デバッグがさらに簡単に行ない得るようになる。またサ
イクロン１９の部分を透明にすることによって、空気と
粉体との分離の状況が外部から目視観察できるようにな
る。
【００２７】
【発明の効果】第１の発明によれば、供給タンク内に収
納された微粒子を加熱手段によって加熱しながら撹拌手
段によって撹拌し、しかも供給タンク内に空気を供給し
て排気穴から水分を排出するようにしたものである。
納された微粒子を加熱手段によって加熱しながら撹拌手
段によって撹拌し、しかも供給タンク内に空気を供給し
て排気穴から水分を排出するようにしたものである。
【００２８】従って供給タンク内に導入された微粒子を
加熱手段によって加熱しながら撹拌手段によって撹拌
し、供給タンク内に供給される空気によって微粒子中に
含まれる水分を除去して排気穴から排出することが可能
になり、これによって微粒子中の水分を除去することが
可能になる。従って水分によって微粒子が団子状に凝集
することが防止される。従ってこのような微粒子をガス
と混合して成る固気２相流として被加工物に噴射する際
に、微粒子が団子状に凝集してノズルの噴射口を閉塞し
たり、あるいはまた円滑な噴流の発生を妨げるトラブル
を未然に回避することが可能になり、これによって円滑
でかつ安定なパウダービーム加工を行なうことが可能に
なる。
加熱手段によって加熱しながら撹拌手段によって撹拌
し、供給タンク内に供給される空気によって微粒子中に
含まれる水分を除去して排気穴から排出することが可能
になり、これによって微粒子中の水分を除去することが
可能になる。従って水分によって微粒子が団子状に凝集
することが防止される。従ってこのような微粒子をガス
と混合して成る固気２相流として被加工物に噴射する際
に、微粒子が団子状に凝集してノズルの噴射口を閉塞し
たり、あるいはまた円滑な噴流の発生を妨げるトラブル
を未然に回避することが可能になり、これによって円滑
でかつ安定なパウダービーム加工を行なうことが可能に
なる。
【００２９】第２の発明は、エアヒータを有し、微粒子
供給タンクの底部側からフィルタを通して加熱された空
気を供給する別の空気供給手段を有するようにしたもの
である。従ってこのような構成によれば、底部側から加
熱された空気をフィルタを通して微粒子供給タンク中の
微粒子の中を通過させることが可能になり、微粒子に含
まれる水分をより確実に除去することが可能になる。第
３の発明は、供給タンク内で水分を除去した微粒子を透
明な混合タンクに供給するようにしたものである。従っ
てこの混合タンク内における微粒子の挙動を外部から目
視観察によって確認することが可能になる。
供給タンクの底部側からフィルタを通して加熱された空
気を供給する別の空気供給手段を有するようにしたもの
である。従ってこのような構成によれば、底部側から加
熱された空気をフィルタを通して微粒子供給タンク中の
微粒子の中を通過させることが可能になり、微粒子に含
まれる水分をより確実に除去することが可能になる。第
３の発明は、供給タンク内で水分を除去した微粒子を透
明な混合タンクに供給するようにしたものである。従っ
てこの混合タンク内における微粒子の挙動を外部から目
視観察によって確認することが可能になる。
【図１】微粒子供給タンクの構造を示す縦断面図であ
る。
る。
【図２】パウダービームエッチング装置の全体の構造を
示す配管図である。
示す配管図である。
１０ コンプレッサ １１ 圧力タンク １２ エアドライヤ １３ マイクロエレッサ １４ フィルタ １７ 粉体供給タンク １８ 粉体バルブ １９ サイクロン ２０ 排気管 ２１ 排風機 ２２ スクラバー ２４ 貯留室 ２５ スクリュコンベア ２６ 混合タンク ２７ 加工室 ２８ ノズル ２９ 被加工物 ３２ バンドヒータ ３３ モータ ３４ 撹拌アーム ３５ 大気導入口 ３６ 弁体 ３７ 電磁アクチュエータ ４０ 水分排出口 ４１ 排気弁 ４２ 小孔 ４３ エアヒータ ４４ 空気配管 ４５ フィルタ ４６ 補助空気配管 ４７ 粉体供給口 ４８ エゼクタ ５０、５１ モータ ５２ 撹拌アーム ５３ センサ ５４ 粉体戻し管
Claims (3)
- 【請求項１】微粒子をガスと混合して成る固気２相流を
被加工物に噴射して所定の加工を行なうパウダービーム
加工装置に用いられる微粒子供給装置であって、 供給する微粒子を内部に収納する微粒子供給タンクを具
備し、該供給タンクに加熱手段と撹拌手段とを設け、前
記加熱手段によって微粒子を加熱しながら前記撹拌手段
によって撹拌し、しかも前記供給タンク内に空気を供給
して排気穴から水分を排出するようにしたことを特徴と
する微粒子供給装置。 - 【請求項２】エアヒータを有し、前記微粒子供給タンク
の底部側からフィルタを通して加熱された空気を供給す
る別の空気供給手段を有することを特徴とする請求項１
に記載の微粒子供給装置。 - 【請求項３】前記供給タンク内で水分を除去した微粒子
を透明な混合タンクに供給するようにしたことを特徴と
する請求項１に記載の微粒子供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15111091A JP3173513B2 (ja) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | 微粒子供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15111091A JP3173513B2 (ja) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | 微粒子供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04348875A JPH04348875A (ja) | 1992-12-03 |
| JP3173513B2 true JP3173513B2 (ja) | 2001-06-04 |
Family
ID=15511577
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15111091A Expired - Fee Related JP3173513B2 (ja) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | 微粒子供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3173513B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101403566B1 (ko) | 2012-10-23 | 2014-06-03 | 주식회사 동현씨스텍 | 연마재 공급장치 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101978392B1 (ko) * | 2017-06-20 | 2019-08-28 | 이재익 | 스마트형 불소용액 제조 컨트롤시스템 |
-
1991
- 1991-05-27 JP JP15111091A patent/JP3173513B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101403566B1 (ko) | 2012-10-23 | 2014-06-03 | 주식회사 동현씨스텍 | 연마재 공급장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04348875A (ja) | 1992-12-03 |
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