JP3169623B2 - マグネトロン - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は液冷式のマグネトロン
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】電子レンジ等においては、実開昭５８−
６５７５２号公報、実開昭５６−１５９９５７号公報に
示されるように、空冷式のマグネトロンが使用されてい
るが、たとえばプラズマエッチング装置のような工業用
のマイクロ波応用置等にいては、液冷式のマグネトロン
が用いられている。

【０００３】図３は従来の液冷式のマグネトロンを示す
概略図である。図において、９はアノード、１１はアノ
ード９の両側に設けられた磁石、１０は磁石１１に接し
て設けられたヨーク、８はアノード９にろう付により取
り付けられた冷却パイプで、冷却パイプ８の端部は冷却
液供給装置（図示せず）に接続されている。

【０００４】図４は従来の他の液冷式のマグネトロンを
示す概略図である。図において、７はアノード９にろう
付により取り付けられた冷却ジャケットで、冷却ジャケ
ット７は冷却液供給装置に接続されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】これらのマグネトロン
においては、冷却パイプ８、冷却ジャケット７をアノー
ド９にろう付しているから、ろう付け装置を必要とする
ので、製造コストが高価になる。また、真空排気工程よ
り前に冷却パイプ８、冷却ジャケット７をアノード９に
ろう付すると、後の工程が複雑になり、また真空排気工
程より後に冷却パイプ８、冷却ジャケット７をアノード
９にろう付すると、アノード９が高温にさらされるため
に、真空度が低下し、再エージングなどの工程追加を要
する。

【０００６】この発明は上述の課題を解決するためにな
されたもので、製造コストが安価であり、製造工程が複
雑になることがなく、真空度が低下することがないマグ
ネトロンを提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明においては、アノードを液冷式により冷却
するマグネトロンにおいて、冷却液通路を有する冷却ブ
ロックのアノード挿入穴内に上記アノードを位置させ、
機械的な締め付けにより上記冷却ブロックを上記アノー
ドに取り付ける。

【０００８】この場合、上記冷却ブロックに３本の穴を
コ字形に設け、上記穴の冷却液の出入口以外の開口部を
閉じることにより、上記冷却液通路を設けるのが好まし
い。

【０００９】また、上記冷却ブロックの外面をヨークに
接触するのが好ましい。

【００１０】

【作用】このマグネトロンにおいては、冷却ブロックを
アノードにろう付していないから、ろう付け装置が不要
であるので、製造コストが安価になるとともに、製造工
程が複雑になることがなく、また真空度が低下すること
がない。

【００１１】また、冷却ブロックに３本の穴をコ字形に
設け、穴の冷却液の出入口以外の開口部を閉じることに
より、冷却液通路を設ければ、冷却液通路を容易に設け
ることができるから、製造コストがさらに安価になる。

【００１２】また、冷却ブロックの外面をヨークに接触
させれば、ヨークを冷却することができるから、マグネ
トロンの性能を向上することができる。

【００１３】

【実施例】図１はこの発明に係るマグネトロンを示す概
略図、図２は図１に示したマグネトロンの冷却ブロック
を示す斜視図である。図において、１は冷却ブロック、
２は冷却ブロック１の中央部に設けられたアノード挿入
穴で、アノード挿入穴２の直径はアノード９の直径とほ
ぼ等しい。１３は冷却ブロック１に設けられたスリット
で、スリット１３はアノード挿入穴２に通じている。３
は冷却ブロック１のスリット１３に設けられた締付部
分、１４は締付部分３に設けられた穴である。４は冷却
ブロック１に設けられた冷却液通路で、冷却液通路４は
コ字形に設けられている。この冷却液通路４を設けるに
は、まず片側のみが開口した３本の穴４ａ〜４ｃを設
け、穴４ｂの開口部をめくら栓５によって閉じる。６は
冷却液通路４の冷却液の出入口すなわち穴４ａ、４ｃの
開口部に取り付けられた配管ホルダである。そして、冷
却ブロック１のアノード挿入穴２内にアノード９を位置
させ、締付ネジ１２を穴１４に挿入して締め付けること
により、冷却ブロック１がアノード９に取り付けられて
いる。

【００１４】このマグネトロンにおいては、冷却ブロッ
ク１をアノード９にろう付していないから、ろう付け装
置が不要であるので、製造コストが安価になるととも
に、製造工程が複雑になることがなく、また真空度が低
下することがない。また、冷却ブロック１に３本の穴を
コ字形に設け、穴４ｂの開口部をめくら栓５によって閉
じることにより、冷却液通路４を設けているから、冷却
液通路４を容易に設けることができるから、製造コスト
がさらに安価になる。さらに、冷却ブロック１の外面を
ヨーク１０に接触させているから、ヨーク１０を冷却す
ることができるので、マグネトロンの性能を向上するこ
とができる。また、従来の空冷式のマグネトロンのラジ
エータフィンの代わりに冷却ブロックを取り付けること
もできるから、極めて安価に空冷式のマグネトロンを製
造することができる。

【００１５】

【発明の効果】以上説明したように、この発明に係るマ
グネトロンにおいては、冷却ブロックをアノードにろう
付していないから、ろう付け装置が不要であるので、製
造コストが安価になるとともに、製造工程が複雑になる
ことがなく、また真空度が低下することがない。

【００１６】また、冷却ブロックに３本の穴をコ字形に
設け、穴の冷却液の出入口以外の開口部を閉じることに
より、冷却液通路を設ければ、冷却液通路を容易に設け
ることができるから、製造コストがさらに安価になる。

【００１７】また、冷却ブロックの外面をヨークに接触
させれば、ヨークを冷却することができるから、マグネ
トロンの性能を向上することができる。

【００１８】このように、この発明の効果は顕著であ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係るマグネトロンを示す概略図であ
る。

【図２】図１に示したマグネトロンの冷却ブロックを示
す斜視図である。

【図３】従来の液冷式のマグネトロンを示す概略図であ
る。

【図４】従来の他の液冷式のマグネトロンを示す概略図
である。

【符号の説明】 １…冷却ブロック ２…アノード挿入穴 ３…締付部分 ４…冷却液通路 ９…アノード １２…取付ネジ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 実開 昭53−78953（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭56−31455（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭55−114955（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01J 23/00

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】アノードを液冷式により冷却するマグネト
   ロンにおいて、冷却液通路を有する冷却ブロックのアノ
   ード挿入穴内に上記アノードを位置させ、機械的な締め
   付けにより上記冷却ブロックを上記アノードに取り付
   け、前記冷却液通路は前記冷却ブロックに片側が開口し
   た３本の穴を設けてなり、前記３本の穴はコ字形に配置
   され、冷却液の出入り口以外は栓によって閉じているこ
   とを特徴とするマグネトロン。
2. 【請求項２】前記冷却ブロックは外面がヨークに接触し
   ていることを特徴とする請求項１記載のマグネトロン。
3. 【請求項３】 前記冷却ブロックは前記アノード挿入穴に
   通じるスリットを有し、前記スリットは締付部分を有
   し、前記締付部分を締付ネジにより締め付けたことを特
   徴とする請求項１記載のマグネトロン。