JP3164106B2 - 集積回路の故障検出方法及び故障検出装置及びその制御プログラムを記録した記憶媒体 - Google Patents

集積回路の故障検出方法及び故障検出装置及びその制御プログラムを記録した記憶媒体

Info

Publication number
JP3164106B2
JP3164106B2 JP18272699A JP18272699A JP3164106B2 JP 3164106 B2 JP3164106 B2 JP 3164106B2 JP 18272699 A JP18272699 A JP 18272699A JP 18272699 A JP18272699 A JP 18272699A JP 3164106 B2 JP3164106 B2 JP 3164106B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
integrated circuit
power supply
supply current
current spectrum
inspected
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP18272699A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2001013200A (ja
Inventor
和宏 坂口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP18272699A priority Critical patent/JP3164106B2/ja
Priority to US09/605,978 priority patent/US6704675B1/en
Publication of JP2001013200A publication Critical patent/JP2001013200A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3164106B2 publication Critical patent/JP3164106B2/ja
Priority to US10/320,499 priority patent/US6684170B2/en
Priority to US10/320,441 priority patent/US6694274B2/en
Priority to US10/320,500 priority patent/US6931336B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/30—Marginal testing, e.g. by varying supply voltage
    • G01R31/3004—Current or voltage test
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317—Testing of digital circuits
    • G01R31/31721—Power aspects, e.g. power supplies for test circuits, power saving during test

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路の故障検
出方法に関し、特に集積回路に流れる電源電流の周波数
解析結果に基づく故障検出方法に関する。あるいは、本
発明は、集積回路の故障検出装置に関し、特に集積回路
に流れる電源電流の周波数解析結果に基づき故障を検出
する集積回路の故障検出装置に関する。あるいは、本発
明は集積回路の故障検出装置を制御する制御プログラム
を記録した記憶媒体に関し、特に集積回路の電源電流の
周波数解析結果に基づく故障検出装置の制御プログラム
を記録した記憶媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の集積回路の故障検出方法
は、集積回路の製造時における製造不良によって所望の
動作を成さない集積回路を検出し、正常な集積回路のみ
を製造、出荷するために用いられている。
【０００３】例えば1998年電子情報通信学会ソサイエテ
ィ大会C-12-8、坂口和宏、「電源電流のパワースペクト
ル解析による集積回路の故障診断」には集積回路を動作
させたときに集積回路に流れる電源電流を周波数解析す
ることにより、製造不良の存在による異常電源電流を検
出し、不良集積回路を検出する手法が記載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術の問題点は、検査対象である集積回路を検査する
ために必要となる、リファレンスとしての完全に正常な
集積回路の電源電流情報を予め用意することが困難であ
ることである。
【０００５】その理由は、電源電流情報はアナログ量で
あり、集積回路の製造時におけるプロセス条件に大きく
影響される。そのため、完全に正常な集積回路の電源電
流情報同士であっても、多少の変動がある。そのため、
集積回路の故障検査をするときのリファレンスを定める
ことは容易なことではない。
【０００６】従って、本発明の目的は、リファレンスで
ある完全に正常な集積回路の電源電流情報を特に準備し
なくても、検査対象である集積回路自身の電源電流情報
を用いて集積回路の故障検査を実施する方法、及び装
置、及び制御プログラムを記録した記憶媒体を提供する
ことにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明による集積回路の
故障検出装置は、集積回路にテスト信号を印加したとき
に前記集積回路に流れる電源電流を周波数解析すること
により得られる電源電流スペクトルから前記集積回路の
故障を検出する装置において、ことさらリファレンスと
して完全な良品集積回路の電源電流スペクトルを準備し
なくても集積回路の検査を可能にする装置であって、全
ての検査対象集積回路に対し従来の集積回路検査装置に
よって故障のない集積回路のみを選別する従来手法選別
手段(図13の1)と、検査対象集積回路の電源電流スペク
トルを測定する電源電流スペクトル観測手段(図13の3)
と、前記電源電流スペクトル値を記憶する記憶手段(図1
3の7)と、故障集積回路を除去する判定基準である規格
値を保存する規格値格納手段(図13の5)と、記憶手段に
格納されている全ての検査対象集積回路の電源電流スペ
クトル値と前記規格値から、検査対象集積回路の良不良
を判定する演算手段(図13の6)と、装置全体の制御を司
どる主制御手段(図13の4)とを含む。
【０００８】本発明による集積回路の故障検出方法は、
集積回路にテスト信号を印加したときに流れる電源電流
を周波数解析することで得られる電源電流スペクトルに
基づき集積回路の不良を検出する方法において、事前に
リファレンスとして完全な良品である集積回路の電源電
流スペクトルを準備しなくても集積回路の検査を可能と
する方法であって、従来の集積回路故障検出方法によっ
て集積回路を選別し(図1のステップS101)、良品と判定
された全ての検査対象集積回路を検査対象集積回路集合
と定め(図1のステップS102)、前記検査対象集積回路集
合の各検査対象集積回路の電源電流スペクトルを測定
(図1のステップS103)し、検査対象集積回路集合の電源
電流スペクトル値を各周波数毎に平均値、標準偏差を求
め(図1のステップS104)、各検査対象集積回路の電源電
流スペクトル値の前記平均値からのずれを前記標準偏差
で除した値と事前に定められた規格値とを比較し、検査
対象集積回路の良不良を判定し(図1のステップS105)、
不良品があった場合検査対象集積回路集合から前記不良
品を除外し(図1のステップS107)、以上の操作(図1のス
テップS104、S105)を、新たに不良品が検出されなくな
るまで繰返し実施し、最終的に検査対象集積回路集合に
残った検査対象集積回路を良品と判定する(図1のステッ
プS108)。
【０００９】本発明の集積回路の故障検出制御プログラ
ムを記録した記憶媒体は、集積回路にテスト信号を印加
したときに流れる電源電流を周波数解析することで得ら
れる電源電流スペクトルに基づき集積回路の不良を検出
する方法において、事前にリファレンスとして完全な良
品である集積回路の電源電流スペクトルを準備しなくて
も集積回路の検査を可能とする故障検出制御プログラム
を記録した記憶媒体であって、前記制御プログラムは全
ての検査対象集積回路を従来手法選別手段に従来の故障
検査手法によって選別させ、前記選別により良品と判定
された全ての検査対象集積回路を検査対象集積回路集合
と定めさせ、電源電流スペクトル測定手段に検査対象集
積回路集合の各検査対象集積回路の電源電流スペクトル
を求めさせ、演算手段に検査対象集積回路集合の電源電
流スペクトル値の各周波数毎の平均値、標準偏差を求め
させ、各検査対象集積回路の電源電流スペクトル値の前
記平均値からのずれを前記標準偏差で除した値と事前に
定められた規格値とを比較し、検査対象集積回路の良不
良を判定させ、不良品があった場合検査対象集積回路集
合から前記不良品を除外させ、これらの操作を、新たに
不良品が検出されなくなるまで繰返し実施させ、最終的
に検査対象集積回路集合に残った検査対象集積回路を良
品と判定させている。
【００１０】電源電流スペクトルに基づく集積回路の故
障検出方法は、集積回路の製造時のプロセス条件の相違
などにより事前にリファレンスとしての良品集積回路の
電源電流スペクトルを得るのが困難であるという問題が
ある。本発明では、従来の集積回路の故障検出方法によ
って良品と判定された集積回路のほとんどが良品であ
り、従来手法で検出できなかった故障集積回路の割合は
小さいことを利用し、集積回路全体の電源電流スペクト
ルを解析することで故障集積回路を検出している。 具
体的には、従来手法により検査対象集積回路を選別し、
従来の故障検出手法に基づき良品である検査対象集積回
路集合を得る。この集合の大半は完全に良品であるが、
少ない割合ながらも従来手法で検出できなかった不良品
が含まれている。次に前記検査対象集積回路集合の各集
積回路の電源電流スペクトルを観測し、平均値、標準偏
差を求める。そして各集積回路の前記平均値からのずれ
を前記標準偏差で規格化することで、前記検査対象集積
回路集合内での電源電流スペクトルのずれの大きさを定
量化する。大半の完全に良品である集積回路の電源電流
スペクトルは平均値近傍に分布することが期待できるの
に対し、少数の故障集積回路の電源電流スペクトルは平
均値からのずれが大きい。つまりこの平均値からのずれ
の大きいものを不良品として除外することで、完全な良
品集積回路を選別する。
【００１１】
【発明の実施の形態】次に、本発明の第1の実施の形態
について図面を参照して詳細に説明する。
【００１２】図13は本発明の第1の実施の形態の構成を
示すブロック図である。図13を参照すると、検査対象集
積回路集合2は良不良を検査される対象である多数の同
一種類の集積回路全体を示すものである。従来手法選別
手段1は主制御手段4に接続され、主制御手段4からの指
示により、検査対象集積回路集合2の各検査対象集積回
路を従来の集積回路検査方法に基づき良不良を判定す
る。従来の検査方法としては、例えば、R.C.Dorf著、Th
e Electrical Handbook １９９３年 pp.1808〜1816
等に記載されている方法がある。
【００１３】次に、本発明の第1の実施の形態について
図面を参照して詳細に説明する。
【００１４】図13は本発明の第1の実施の形態の構成を
示すブロック図である。図13を参照すると、検査対象集
積回路集合2は良不良を検査される対象である多数の同
一種類の集積回路全体を示すものである。従来手法選別
手段1は主制御手段4に接続され、主制御手段4からの指
示により、検査対象集積回路集合2の各検査対象集積回
路を上記従来の集積回路検査方法に基づき良不良を判定
する。
【００１５】検査対象集積回路集合2の全ての検査対象
集積回路に関する判定結果は記憶手段7に送られ記憶さ
れる。電源電流スペクトル測定手段3は主制御手段4に接
続され、主制御手段4からの指示により検査対象集積回
路集合2の検査対象集積回路にテスト信号を印加し、そ
のときに前記検査対象集積回路に流れる電源電流を観測
し、周波数解析を行う。周波数解析の結果である電源電
流スペクトルは記憶手段7に送られ記憶される。
【００１６】電源電流スペクトルの観測は先に従来手法
選別手段1による検査によって良と判定された全ての検
査対象集積回路について実施される。演算手段6では主
制御手段4からの指示により記憶手段7に記憶されている
電源電流スペクトル情報と、規格値格納手段5に保存さ
れている規格値情報に基づき、各検査対象集積回路の良
不良を判定し、結果を出力する。
【００１７】図１は本発明の第1の実施の形態の動作を
示すフローチャートである。検査対象集積回路集合2は
良不良を判定する検査対象である同一種類の多数の集積
回路の集合である。検査対象の集積回路集合をAと定義
すると、この時点で集積回路Aは検査対象集積回路集合
に等しい。集積回路集合Aに含まれる検査対象集積回路
は従来手法選別手段1によって、機能テストや直流テス
トといった従来の集積回路検査手法により良不良を判定
される(図1のステップS101)。前記判定結果は記憶手段7
に送られ、集積回路集合Aの各検査対象集積回路の良不
良を記憶するとともに、集積回路集合Aから不良判定さ
れた集積回路を除外する(図1のステップS102)。
【００１８】電源電流スペクトル測定手段3では、集積
回路集合Aの各集積回路、ずなわち検査対象集積回路集
合2のうちステップS101で良品判定された検査対象集積
回路に対しテスト信号を印加し、そのときに検査対象集
積回路に流れる電源電流を観測し、周波数解析を行な
う。解析結果である電源電流スペクトルは記憶手段7に
送られ記憶される(図1のステップS103)。
【００１９】演算手段6では記憶手段7に記憶されている
集積回路集合Aの検査対象集積回路の電源電流スペクト
ルから、集積回路集合Aの検査対象集積回路の電源電流
スペクトルの各周波数毎の平均値、及び標準偏差を求め
る(図1のステップS104)。
【００２０】さらに演算手段6ではステップS104で求め
た平均値、標準偏差から、集積回路集合Aの各検査対象
集積回路の電源電流スペクトルに対し、各周波数毎のス
ペクトル値の前記平均値からの差を前記標準偏差で除し
た値を求め、規格値格納手段5に保存されている規格値
情報に基づき、規格値を越していた場合に前記検査対象
集積回路を不良品と判定する(図1のステップS105)。
【００２１】次にステップS105において集積回路集合A
の検査対象集積回路に不良品があったかどうかを判定す
る(図1のステップS106)。
【００２２】ステップS106で不良品があったと判定され
た場合、該当する不良集積回路を集積回路集合Aから除
外し、ステップS104に戻る(図1のステップS107)。
【００２３】ステップS106で不良品が無いと判定された
場合、集積回路集合Aに含まれる集積回路は全て良品で
あると判定する(図1のステップS108)。
【００２４】なお、これら一連の動作はその制御動作を
制御プログラムとして記述しておき、制御プログラムを
主制御手段4で実行することで、各部の動作を制御する
ようにしてもよい。この場合、主制御手段4に付設され
るROMやフローピーディスク等の記録媒体(不図示)に記
録して実行する。
【００２５】次に本発明による第1の実施の形態の効果
について説明する。
【００２６】従来の故障検出手法で集積回路の良不良を
判定した場合、仮に良品であると判定された集積回路で
あっても、実際には何らかの不良がある可能性がある。
これは、従来手法では必ずしも全ての故障を検出できる
わけではなく、例えば想定される全ての故障のうち95%
の故障を検出する能力があるに過ぎない。
【００２７】これは全ての故障を検出するためには膨大
な時間とコストを必要とするために、現実的な値に収ま
るように故障検出能力が制限されているからである。ま
た、集積回路の微細化、高速化、高集積化により、従来
手法の故障モデルに合致しない故障モードが増えてきて
おり、これらの故障を従来手法で検出することは困難で
ある。
【００２８】このため、従来手法で検出できなかった故
障が原因となって集積回路不良を引き起こすことがあ
り、いかに多くの故障を検出するかが重要んば課題であ
る。しかるに、本発明による集積回路の故障検出方法、
及び故障検出装置では、集積回路の故障を検出するのに
電源電流情報を使用している。このため、従来の故障検
出方法が主に電圧情報を利用して故障を検出しているの
に対し、別の観点から故障を検出することで、従来手法
では検出の困難であった故障を容易に検出可能なことが
ある。
【００２９】しかし、電源電流はアナログ量であり、集
積回路製造時のプロセス条件等により大きく影響される
ため、事前に故障のない正常な集積回路の電源電流情報
を知ることは困難である。またシミュレーション等によ
って、テスト信号を集積回路に印加したときの電源電流
を求めることは、その精度や必要となるシミュレーショ
ン時間の点からも現実的ではない。
【００３０】ところで、従来手法で集積回路の良不良を
判定した場合、良品判定された集積回路は、その大部分
が完全に良品であり、故障のある集積回路の割合は比較
的少ないと期待される。そのため、従来手法で良品と判
定された集積回路の電源電流のスペクトルの殆どがほぼ
同じ値を示し、故障を内在する少数の集積回路のみが異
常な電源電流スペクトルを示すと考えられる。
【００３１】そこで、従来手法により良品判定された集
積回路に対し、電源電流スペクトルを観測し、その内の
大多数の電源電流スペクトルとは異なる少数の電源電流
スペクトルを示す集積回路を故障がある集積回路と判定
することで、正常な集積回路の電源電流スペクトルを知
ること無しに、故障の無い正常な集積回路を選別するこ
とが可能となる。
【００３２】本発明による第1の実施の形態では、大多
数の電源電流スペクトルとは異なった異常電源電流スペ
クトルを示す集積回路を検出するために、全体の電源電
流スペクトルの平均値からの差が大きいものを異常とし
ている。具体的には電源電流スペクトルの各周波数にお
けるスペクトル値の平均値からの各集積回路のスペクト
ル値の差を電源電流スペクトルの標準偏差で規格化し、
予め定められた規格値を越している場合に当該集積回路
を異常と判定している。
【００３３】この操作を順次繰返しながら、電源電流ス
ペクトル値の平均値、標準偏差を更新し、規格値を逸脱
する電源電流スペクトル値を示す集積回路を不良と判定
し除外していく。そして不良判定される集積回路が無く
なった時点で残りの集積回路は全て完全に良品であると
判定する。
【００３４】こうすることで、従来手法で良品判定され
た集積回路の中から、その大部分を占める完全な良品集
積回路と、少数の不良集積回路とを選別することが可能
となる。
【００３５】次に具体的な実施例を用いて本実施の形態
の動作を説明する。
【００３６】図21は本発明の第1の実施の形態による1実
施例の構成を示すブロック図であり、図29は動作を示す
フローチャートである。
【００３７】ロジックテスタ101は検査対象集積回路集
合102の各集積回路について、ファンクションテスト
や、DCテスト等を実施し、各集積回路の良不良を判定す
る(図29のステップS1101)。ファンクションテストは、
集積回路が期待された機能を満足するかどうかをテスト
するものであり、通常集積回路の入力端子に電圧による
テスト信号を印加し、出力端子の電圧変化を観測するこ
とで試験を実施する。また、DCテストは集積回路の入出
力特性が定められた特性を満足するかどうかを試験する
ものである。
【００３８】ロジックテスタ101による検査対象集積回
路集合102の各集積回路に対する試験結果はデータメモ
リ107に送付され記録されると共に、試験の結果良品判
定された集積回路を集積回路集合Aとして登録する(図29
のステップS1102)。
【００３９】次に、電源電流スペクトル測定ユニット10
3は集積回路集合Aの各集積回路に対し、テスト信号を印
加し、そのとき各集積回路に流れる電源電流を観測する
と共に、観測した電源電流の周波数解析を行う。周波数
解析結果である電源電流スペクトルはデータメモリ107
に送られ記録される(図29のステップS1103)。
【００４０】集積回路集合Aの各集積回路の電源電流ス
ペクトルは計算ユニット106において各周波数毎に電源
電流スペクトル値の平均値、標準偏差を求める(図29の
ステップS1104)。
【００４１】その結果、集積回路集合Aの各集積回路の
電源電流スペクトル値の前記平均値からのずれを前記標
準偏差で除した値が、規格値メモリ105に記録されてい
る規格値を超過している場合、該当する集積回路は不良
と判定され(図29のステップS1105)、前記集積回路集合A
から除外される(図29のステップS1107)。そして、更新
された集積回路集合Aに対して再度電源電流スペクトル
値の平均値、標準偏差を求め、集積回路集合Aの各集積
回路の電源電流スペクトルの前記平均値からのずれを前
記標準偏差で規格化した値と前記規格値との比較により
集積回路の良不良判定を実施する。
【００４２】この操作を不良判定とされる集積回路が無
くなるまで実施し、最終的に検査対象集積回路集合Aに
残った集積回路を良品と判定する(図29のステップS110
8)。
【００４３】これらの操作は制御プログラムとして記述
され、メインコントローラ104で実行される。
【００４４】次に本発明による第2の実施の形態につい
て図面を用いて説明する。
【００４５】図14は本発明による第2の実施の形態の構
成を示すブロック図である。第1の実施の形態による構
成と比較し、主制御手段4の代りに別の機能を有する主
制御手段4aが設けられている。その他の構成については
第1の実施の形態の構成と同じである。
【００４６】図2は本発明による第2の実施の形態の動作
を示すフローチャートである。ステップS201〜S204につ
いては第1の実施の形態の動作において説明したステッ
プS101〜S104と同じ動作であるので、ここでは説明を省
略する。集積回路集合Aの各集積回路の電源電流スペク
トルは、そのスペクトル値が各周波数毎に平均値、標準
偏差が演算手段6によって求められている。このとき、
前記標準偏差が規格値手段5に記録されている規格値よ
り大きいかどうかを判定する。
【００４７】この判定は電源電流スペクトルの各周波数
毎に実施する(図2のステップS205)。ある周波数におけ
る前記標準偏差が前記規格値より大きい場合、前記各集
積回路のうち、前記周波数における電源電流スペクトル
値の平均値からのずれが最大な集積回路を前記集積回路
集合Aから除外しステップS204に戻る(図2のステップS20
6)。一方いずれの周波数においても前記標準偏差が前記
規格値以下である場合、前記集積回路集合Aの集積回路
は全て良品と判定する(図2のステップS207)。
【００４８】なお、これら一連の動作はその制御動作を
制御プログラムとして記述しておき、制御プログラムを
主制御手段4aで実行することで、各部の動作を制御する
ようにしてもよい。この場合、主制御手段4aに付設され
るROMやフローピーディスク等の記録媒体(不図示)に制
御プログラムを格納し、これを前記制御手段にロードし
て実行する。
【００４９】次に本発明による第2の実施の形態の効果
について説明する。従来の集積回路の検査手法により良
品と判定された集積回路の殆どは故障の無い完全な良品
である。完全に正常な集積回路同士であれば、テスト信
号を印加したときに集積回路に流れる電源電流の挙動は
ほぼ同一であり、電源電流スペクトルもほぼ一致する。
【００５０】電源電流スペクトルのばらつきは集積回路
の製造時におけるプロセス条件の多少の変動によるもの
であり、予めその変動幅は予測できる。そのため、完全
に正常な集積回路同士の電源電流スペクトルのばらつき
もその大きさは予測できる。電源電流スペクトルのばら
つきは標準偏差で表現することが可能であり、本実施の
形態では完全に正常な集積回路の電源電流スペクトルの
ばらつきの度合を標準偏差により表し、規格値として定
めている。
【００５１】このため、従来手法により良品と判定され
た集積回路集合Aに何らかの故障を持つ集積回路が含ま
れていた場合、電源電流スペクトル値の標準偏差が規格
値を超える結果となる。そのため標準偏差が規格値を超
えた場合、電源電流スペクトル値の平均値からのずれが
最も大きな集積回路を何らかの故障があると判定し除外
していくことで、最終的に完全な良品からなる集積回路
集合Aが得られることとなる。
【００５２】ここで説明した以外の効果については本発
明による第1の実施の形態の効果において説明したもの
と同様である。
【００５３】次に具体的な実施例を用いて本実施の形態
の動作を説明する。
【００５４】図22は本発明の第2の実施の形態による1実
施例の構成を示すブロック図であり、図30は動作を示す
フローチャートである。本発明による第1の実施の形態
の1実施例による構成と比較し、メインコントローラ104
の代りに異なる機能を有するメインコントローラ104aが
設けられている。
【００５５】メインコントローラ104aでは集積回路集合
Aの電源電流スペクトル値の各周波数毎における平均
値、標準偏差から、規格値メモリ105に記録されている
規格値にもとづき、前記標準偏差が規格値以下かどうか
を判定する(図30のステップS1205)。ある周波数におい
て前記標準偏差が規格値以下でない場合には、前記周波
数における電源電流スペクトル値の平均値からのずれが
最大な値を示す集積回路を前記集積回路集合Aから除外
し(図30のステップS1206)、再度、平均値、標準偏差の
計算からやりなおす(図30のステップS1204)。
【００５６】一方、いずれの周波数においても標準偏差
が規格値以下であった場合、前記集積回路集合Aの各集
積回路は故障の無い完全に正常な集積回路として良否と
判定する(図30のステップS1207)。これ以外の動作につ
いては本発明による第1の実施の形態の1実施例において
説明したものと同様である。すなわち、図29のステップ
S1101、S1102、S1103、S1104が図30のステップS1201、S
1202、S1203、S1204にそれぞれ相当する。
【００５７】以上の動作は制御プログラムとして作成し
ておき、メインコントローラ104aにおいて実行してもよ
い、この場合、制御プログラムはメインコントローラ10
4aに付設(不図示)のフロッピーディスクやROM等の記憶
媒体に記録しておき、メインコントローラ104aのメモリ
にロードすることで実行してもよい。
【００５８】次に、本発明の第3の実施の形態について
図面を参照して詳細に説明する。図15は本発明による第
3の実施の形態の構成を示すブロック図である。未検査
集積回路集合12は検査対象である集積回路の集合であ
り、まだ良品不良品の判定が成されていないものであ
る。これより1つずつ集積回路が選択され検査対象集積
回路8となる。
【００５９】従来手法選別手段1は主制御手段4bに接続
し、主制御手段4bの指示により検査対象集積回路8を従
来の故障検査方法によりテストする。電源電流スペクト
ル測定手段3は主制御手段4bに接続し、主制御手段4bの
指示によりテスト信号を検査対象集積回路8に印加し、
そのときに検査対象集積回路8に流れる電源電流を観測
し、周波数解析を実施する、周波数解析の結果得られた
電源電流スペクトルは記憶手段7に送られ記憶される。
【００６０】演算手段6は主制御手段4bに接続され、主
制御手段4bからの指示により記憶手段7に記憶されてい
る検査対象集積回路8の電源電流スペクトル情報と、規
格値格納手段5に保存されている規格値情報とから検査
対象集積回路8の良不良判定を実施する。良品集積回路
集合9は、良品と判定された検査対象集積回路8が保存さ
れ、不良品集積回路集合10は不良と判定された検査対象
集積回路8が保存されている。主制御手段4bは全体の制
御を司り、検査対象集積回路8の良不良判定を実施す
る。
【００６１】図3は本発明の第3の実施の形態の動作を示
すフローチャートである。
【００６２】未検査集積回路集合12はまだ良不良を判定
されていない集積回路の集合であり、検査対象集積回路
8として1つずつ選択されて抜き出される。従来手法選別
手段1は抜き出された検査対象集積回路8を従来の集積回
路故障検出手法に基づき良不良判定する(図3のステップ
S301)。判定結果が不良か良かを判定し(図3のステップS
302)、不良であった場合不良判定とし検査対象デバイス
8を不良品集積回路集合10に入れ(図3のステップS304)、
ステップS301に戻る。
【００６３】検査対象集積回路8が良品判定であった場
合、電源電流スペクトル測定手段3は検査対象集積回路8
にテスト信号を印加し、検査対象集積回路8に流れる電
源電流を観測し、周波数解析を実施する。周波数解析の
結果得られた電源電流スペクトルは記憶手段7に送られ
記憶される(図3のステップS303)。検査対象集積回路8は
不良品集積回路集合10に入れられる(図3のステップS30
5)。
【００６４】電源電流スペクトルを観測した検査対象集
積回路8が予め定められた個数Nに達っしたか否かを判定
し(図3のステップS306)、達っしていなければステップS
301に戻る。達っしていた場合には記憶手段7に記憶され
ている電源電流スペクトル値を演算手段6により各周波
数毎に平均値、標準偏差を求める(図3のステップS30
7)。 各検査対象集積回路8の電源電流スペクトルの各
周波数におけるスペクトル値と前記平均値との差を前記
標準偏差で除した値と、規格値情報格納手段5に保存さ
れている規格値情報とを比較し、規格値を満足しない場
合、この検査対象集積回路8を異常と判定する(図3のス
テップS308)。
【００６５】そして異常の有無を判定し(図3のステップ
S309)、異常があった場合、異常が検出された検査対象
集積回路8の電源電流スペクトル情報を記憶手段7から削
除し(図3のステップS311)、ステップS301に戻る。異常
が検出されない場合には、電源電流スペクトルの前記平
均値と前記標準偏差を以ってリファレンスとし、記憶手
段7に記憶する(図3のステップS310)。
【００６６】新たな検査対象集積回路8を未検査集積回
路集合12から選択し、従来手法選別手段1により良不良
判定を実施する(図3のステップS312)。そして不良の有
無を判定し(図3のステップS313)、不良の場合検査対象
集積回路8を不良品集積回路集合10に入れ(図3のステッ
プS314)、ステップS312に戻る。
【００６７】正常と判定された場合、電源電流スペクト
ル測定手段3は検査対象集積回路8にテスト信号を印加
し、検査対象集積回路8に流れる電源電流を観測する。
観測した電源電流は周波数解析され、電源電流スペクト
ルを得る(図3のステップS315)。演算手段6は、この電源
電流スペクトルを記憶手段7に記憶されているリファレ
ンスに基づいて評価する。
【００６８】評価方法はリファレンスの平均値情報と電
源電流スペクトルとの差をリファレンスの標準偏差で規
格化し、全ての周波数において、規格値格納手段5に保
存されている規格値の範囲内か否かで評価する(図3のス
テップS316)。規格値の範囲内であれば正常と判定し、
そうでなければ不良と判定する(図3のステップS317)。
正常と判定された場合、前記検査対象集積回路8は良品
集積回路集合9に入れられる(図3のステップS318)。
【００６９】一方、不良判定された場合には、前記検査
対象集積回路8は不良品集積回路集合10に入れられる(図
3のステップS319)。未検査集積回路集合が空でないなら
ばステップS312に戻り、未検査集積回路集合が空であれ
ばステップS321に進む(図3のステップS320)。
【００７０】不良品判定された検査対象集積回路8は不
良品集積回路集合10となっているが、これらの集積回路
を再度検査対象集積回路8として検査する。すなわち、
不良品集積回路集合10の要素を全て未検査集積回路集合
12に移し、不良品集積回路集合10は空とする(図3のステ
ップS321)。
【００７１】そして、未検査集積回路集合12から検査対
象集積回路8を選択し、従来手法選別手段1によって従来
の集積回路の故障検査手法により検査する(図3のステッ
プS322)。その結果検査対象集積回路8が不良と判定され
たならば(図3のステップS323)、検査対象集積回路8は不
良品集積回路集合10に入れられる(図3のステップS32
4)。 一方、良品判定されたならば、電源電流スペクト
ル測定手段3により電源電流スペクトルを観測する(図3
のステップS325)。そして記憶手段7に保存されているリ
ファレンスを用いて評価する。評価方法は先に述べた方
法と同一である(図3のステップS326)。
【００７２】その結果、検査対象集積回路8が不良と判
定されたならば(図3のステップS327)、検査対象集積回
路8は不良品集積回路集合10に入れられる(図3のステッ
プS329)。 一方、正常と判定された場合には検査対象
集積回路8は良品集積回路集合9に入れられる(図3のステ
ップS328)。全ての検査対象集積回路8の検査が終了し
た、すなわち未検査集積回路集合12が空となれば処理を
終了し、まだ検査対象集積回路8が残っていればステッ
プS322に戻る(図3のステップS330)。
【００７３】なお、これら一連の動作はその制御動作を
制御プログラムとして記述しておき、制御プログラムを
主制御手段4bで実行することで、各部の動作を制御する
ようにしてもよい。この場合、主制御手段4bに付設され
るROMやフローピーディスク等の記録媒体(不図示)に制
御プログラムを格納し、これを前記制御手段にロードし
て実行する。
【００７４】次に本発明による第3の実施の形態の効果
を説明する。従来の集積回路の故障検査手法では、検査
対象集積回路の良不良を判定する規格値が予め与えられ
ている。そのため、各検査対象集積回路ごとに観測を行
ない逐次規格値と比較することで良不良判定が実施可能
である。
【００７５】しかし、本発明による故障検査手法では、
予め規格値とすべきリファレンスを生成することは困難
であり、全ての検査対象集積回路に対し一旦観測を実施
し、その結果を用いてリファレンスを生成し、このリフ
ァレンスを用いて良不良判定を実施している。
【００７６】先に説明した本発明による第1、第2の実施
の形態では、検査対象である各集積回路は番号付けがさ
れており、各検査対象集積回路と、その電源電流スペク
トル情報は明確に関連付けられ記録されていた。そのた
め、最終的に全ての検査対象集積回路の電源電流スペク
トル情報が集められた段階で良不良判定が実施され、異
常がある電源電流スペクトルを検出することで、該当す
る検査対象集積回路を特定することができた。
【００７７】しかし、上記のような手法では、各検査対
象集積回路毎に番号付けを行い、各集積回路と電源電流
スペクトルを関連付ける必要があり、場合によっては不
良検査手法としては問題を生じる可能性がある。
【００７８】そこで、本発明による第3の実施の形態で
は、リファレンスを作成するためだけに、一定の量の検
査対象集積回路の電源電流スペクトル観測を実施し、リ
ファレンスを作成している、そしてリファレンスとして
必要十分な数の観測が成されたあとで、残りの検査対象
集積回路をこのリファレンスに基づき良不良判定してい
る。
【００７９】一方、リファレンス作成のために用いられ
た検査対象集積回路自身は良不良判定されておらず、こ
れらの検査対象集積回路は再度前記リファレンスを用い
て良不良判定することが望ましい。そこでリファレンス
作成時には一旦不良と判定しておき、全ての検査対象集
積回路の不良判定が終了した時点で、不良判定された検
査対象集積回路を再度良不良判定する。こうすること
で、正常な検査対象集積回路を全て選別可能であり、か
つリファレンス作成のための労力も少なくすることがで
きる。
【００８０】なお、上記第3の実施の形態の説明では述
べなかったが、リファレンス作成のために用いられた検
査対象集積回路を一旦、不良と判定せずに、例えば半不
良品と判定しておき、他の真に不良な検査対象集積回路
と区別しておき、最後の再度良不良判定を実施する際に
は、この半不良品を良不良の判定対象とすることで真に
不良な検査対象集積回路を再度良不良判定する必要がな
くなり、より一層の労力の削減となる。
【００８１】次に具体的な実施例を用いて本実施の形態
の動作を説明する。
【００８２】図23は本発明による第3の実施の形態の1実
施例の構成を示すブロック図であリ、図31、32は動作を
示すフローチャートである。
【００８３】検査対象集積回路準備容器112には良品、
不良品を判定される全ての集積回路が格納されており、
これより集積回路を1つずつ抜き出し検査対象集積回路1
08にセットする。ロジックテスタ101は検査対象集積回
路108に接続され、検査対象集積回路108に対して、ファ
ンクションテスト、DCテスト等の従来手法によるテスト
を実施し、検査対象集積回路108の良不良を判定する(図
31のステップS1301)。
【００８４】前記判定の結果検査対象集積回路108が良
品と判定(図31のステップS1302)された場合は、電源電
流スペクトル測定ユニット103によって前記検査対象集
積回路108の電源電流スペクトルを測定する(図31のステ
ップS1303)。
【００８５】電源電流スペクトル測定ユニット103によ
る電源電流スペクトルの測定方法は適当なテスト信号を
検査対象集積回路108に印加し、そのとき検査対象集積
回路108に流れる電源電流を観測し、周波数解析を行な
うことで実施する。測定した電源電流スペクトルはデー
タメモリ107に送られ記憶される。良品と判定された前
記検査対象集積回路108は不良品集積回路保存容器110に
送られ保管される(図31のステップS1305)。
【００８６】一方、前記判定の結果不良品と判定された
場合(図31のステップS1302)には前記検査対象集積回路1
08は不良品集積回路保存容器110に送られ保管される(図
31のステップS1304)。
【００８７】前記電源電流スペクトル測定ユニット103
による検査対象集積回路108の測定が予め定められた数N
個に達していない場合には新たに検査対象集積回路準備
容器112から集積回路を1つ抜き出し検査対象集積回路10
8にセットする、そして同様の操作(図31のステップS130
1からS1305)を繰り返す(図31のステップS1306)。
【００８８】計算ユニット106はデータメモリ107に記憶
されているN個の検査対象集積回路108の電源電流スペク
トル値から、各周波数ごとの電源電流スペクトル値の平
均値、標準偏差を求める(図31のステップS1307)。
【００８９】規格値メモリ105には予め定められた値の
規格値が格納されている。前記平均値、標準偏差から、
各検査対象集積回路108の電源電流スペクトル値の平均
値からのずれを標準偏差で除したものが前記規格値以下
かどうかを各周波数について検査する。
【００９０】その結果、ある周波数において、ある検査
対象集積回路108の電源電流スペクトル値が規格値を越
している場合に、この検査対象集積回路108を異常と判
定する(図31のステップS1308)。異常と判定された検査
対象集積回路108があった場合、データメモリ107から前
記検査対象集積回路108の電源電流スペクトル値の情報
を削除し、再度検査対象集積回路準備容器112から集積
回路を抜き出し検査対象集積回路108にセットしてステ
ップS1301からの動作を実行する(図31のステップS131
1)。
【００９１】一方、異常と判定された検査対象集積回路
108が無い場合には前記平均値と前記標準偏差を用いて
リファレンスを作成し、データメモリ107に保存する(図
31のステップS1310)。次に、検査対象集積回路準備容器
112から集積回路を抜き出し、検査対象集積回路108にセ
ットする。そしてロジックテスタ101でファンクション
テスト、DCテスト等の従来手法によるテストを実施する
(図31のステップS1312)。
【００９２】その結果、前記検査対象集積回路108が不
良と判定された場合(図31のステップS1313)には前記検
査対象集積回路108を不良品集積回路保存容器110に収納
する(図31のステップS1314)。一方、前記検査対象集積
回路108が良品と判定された場合(図31のステップS1313)
には、電源電流スペクトル測定ユニット103によって前
記検査対象集積回路108の電源電流スペクトルを測定す
る(図31のステップS1315)。
【００９３】測定された前記電源電流スペクトル値は、
データメモリ107に格納されているリファレンス情報に
基づき良不良判定される(図31のステップS1316)。すな
わち、電源電流スペクトル値のリファレンス情報の平均
値からのずれを標準偏差で規格化した値を各周波数毎に
計算ユニット106によって求め、規格値メモリ105に記録
されている規格値の範囲内にあるかどうかを検査するこ
とで良不良判定を実施する。 良不良判定の結果良品と
判定されたら(図31のステップS1317)前記検査対象集積
回路108は良品集積回路保存容器109に送られ保管される
(図31のステップS1318)。 一方、不良判定された場合
(図31のステップS1317)には不良品集積回路保存容器110
に送られ保管される(図31のステップS1319)。
【００９４】次に、未検査の集積回路が検査対象集積回
路準備容器112に残っている場合にはステップS1312から
の動作を繰り返す(図31のステップS1320)。未検査の集
積回路が無い場合には、今までの過程で不良と判定され
た検査対象集積回路108を再度検査する。
【００９５】すなわち、不良品集積回路保存容器110に
収容されている全ての集積回路を検査対象集積回路準備
容器112に移して再度検査する(図32のステップS1321)。
【００９６】まず、集積回路を検査対象集積回路準備容
器112から1つ抜き出し検査対象集積回路108にセットす
る。ロジックテスタ101を用いてファンクションテス
ト、DCテスト等従来手法により検査対象集積回路108を
検査する(図32のステップS1322)。その結果、不良と判
定された場合(図32のステップS1323)には前記検査対象
集積回路108を不良品集積回路保存容器110に移し(図32
のステップS1324)、ステップS1322に進む。一方良品と
判定された場合(図32のステップS1323)に前記検査対象
集積回路108の電源電流スペクトルを電源電流スペクト
ル測定ユニット193を用いて測定する(図32のステップS1
325)。
【００９７】観測した電源電流スペクトルとデータメモ
リ107に格納されているリファレンス情報にもとづき前
記検査対象集積回路108の良不良が判定される。すなわ
ち、電源電流スペクトルの各周波数におけるスペクトル
値の前記リファレンスの平均値からのずれを前記リファ
レンスの標準偏差で除した値と、規格値メモリ105に保
存されている規格値情報とを比較し、全ての周波数にお
いて規格値の範囲内にあれば良品、そうでなければ不良
品と判定する(図32のステップS1326)。
【００９８】判定の結果良品と判定された場合(図32の
ステップS1327)、前記検査対象集積回路108は良品集積
回路保存容器109に送られる(図32のステップS1328)。一
方不良判定された場合には(図32のステップS1327)検査
対象集積回路108は不良品集積回路保存容器110に送ら
れ、保管される(図32のステップS1329).最後に検査対象
集積回路準備容器112に集積回路が残っているかどうか
判定し(図32のステップS1330)、残っていればステップS
1322の動作へ戻る。一方残っていない場合には一連の動
作を終了する。
【００９９】以上の一連の動作はメインコントローラ10
4bにより制御され実行される。この制御動作は制御プロ
グラムとして記述されていてもよく、この場合制御プロ
グラムはフロッピーディスク等の記憶媒体に記録されて
供給され、実行時にメインコントローラ104bにロードさ
れて実施される。
【０１００】次に、本発明の第4の実施の形態について
図面を参照して詳細に説明する。図16は本発明による第
4の実施の形態の構成を示すブロック図である。第3の実
施の形態の構成と比較し、主制御手段4bの代りに別の機
能を有する主制御手段4cが設けられている。その他の構
成に関しては第3の実施の形態の構成と同じである。
【０１０１】図5、図6は本発明の第4の実施の形態の動
作を示すフローチャートである。以下に説明する点を除
いて動作は本発明による第3の実施の形態の動作と同じ
である。
【０１０２】検査対象集積回路8の電源電流スペクトル
とリファレンスと規格値から検査対象集積回路8が良品
と判定された場合、リファレンスを更新する。すなわ
ち、前記検査対象集積回路8の電源電流スペクトル値を
記憶手段7に送り記憶する。リファレンスを作成するの
に用いた電源電流スペクトル情報は記憶手段7に記憶さ
れているので、これらの情報に新たに記憶された前記電
源電流スペクトル値を追加し演算手段6によって電源電
流スペクトルの平均値、標準偏差を再度求める。再計算
された平均値と標準偏差は新しいリファレンスとして記
憶手段7において記憶される(図5のステップS420)。
【０１０３】これ以外の動作については本発明による第
3の実施の形態の動作と同じである。すなわち、第3の実
施の形態のステップS301、S302、S303、S304、S305、S3
06、S307、S308、S309、S310、S311、S312、S313、S31
4、S315、S316、S317、S318、S319、S320、S321、S32
2、S323、S324、S325、S326、S327、S328、S329、S330
と第4の実施の形態のステップS401、S402、S403、S40
4、S405、S406、S407、S408、S409、S410、S411、S41
2、S413、S414、S415、S416、S417、S418、S419、S42
1、S422、S423、S424、S425、S426、S427、S428、S42
9、S430、S431はそれぞれ同一の動作を示す。
【０１０４】次に本発明による第4の実施の形態の効果
を説明する。第3の実施の形態ではリファレンスを作成
するためにN個の良品の検査対象集積回路の電源電流ス
ペクトルを用いた。しかしながら、本来ならばリファレ
ンスは検査対象集積回路全体の電源電流スペクトルを用
いて作成するべきであるが、第3の実施の形態のように
電源電流スペクトルの観測が逐次実行され、その時点で
良不良判定を実施しなければならない場合には検査対象
集積回路全体の電源電流スペクトルを用いてリファレン
スを作成することは困難である。そこで、第4の実施の
形態では、良品と判定された検査対象集積回路の電源電
流スペクトルを用いてリファレンスを逐次更新していく
ことで、より理想的なリファレンスを作成することを可
能としている。
【０１０５】次に具体的な実施例を用いて本実施の形態
を説明する。
【０１０６】図24は本発明による第3の実施の形態の1実
施例の構成を示すブロック図である。コントローラ104b
の代りに別の機能を有するメインコントローラ104cが設
けられている。その他の構成については第3の実施の形
態の実施例における構成と同一である。
【０１０７】図33、図34は本実施例の動作を説明するフ
ローチャートである。検査対象集積回路108が良品と判
定された場合、前記検査対象集積回路108の電源電流ス
ペクトルとデータメモリ107に格納されているリファレ
ンス情報から計算ユニット106によってリファレンスを
再計算する。再計算されたリファレンスはデータメモリ
107に送られ記憶される(図33のステップS1420)。それ以
外の動作については第3の実施の形態における実施例の
動作と同一である。
【０１０８】すなわち、図31、図32のステップS1301、S
1302、S1303、S1304、S1305、S1306、S1307、S1308、S1
309、S1310、S1311、S1312、S1313、S1314、S1315、S13
16、S1317、S1318、S1319、S1320、S1321、S1322、S132
3、S1324、S1325、S1326、S1327、S1328、S1329、S1330
と図33、図34のステップS1401、S1402、S1403、S1404、
S1405、S1406、S1407、S1408、S1409、S1410、S1411、S
1412、S1413、S1414、S1415、S1416、S1417、S1418、S1
419、S1421、S1422、S1423、S1424、S1425、S1426、S14
27、S1428、S1429、S1430、S1431はそれぞれ同一の動作
を表わす。
【０１０９】次に、本発明の第5の実施の形態について
図面を参照して詳細に説明する。
【０１１０】図17は本発明による第5の実施の形態の構
成を示すブロック図である。第1の実施の形態の構成に
対し、主制御手段4の代りに別の機能を有する主制御手
段4dが設けられ、新たに規格化手段11が設けられてい
る。規格化手段11は電源電流スペクトル測定手段3に接
続され、測定した電源電流スペクトル値を規格化し、そ
の結果を記憶手段7に送る。主制御手段4dは全体の制御
を司どる。
【０１１１】図7は本発明の第5の実施の形態の動作を示
すフローチャートである。電源電流スペクトル測定手段
3で観測された電源電流スペクトルは規格化手段11に送
られ規格化される。規格化の方法は、例えば電源電流ス
ペクトルの各周波数におけるスペクトル値を全ての周波
数について加算し合計値を求め、この合計値に対する各
周波数におけるスペクトル値の割合をもって電源電流ス
ペクトルとするものである(図7のステップS504)。
【０１１２】その他の動作については本発明による第1
の実施の形態の動作と同じである。すなわち、第1の実
施の形態の動作における図1のステップS101、S102、S10
3、S104、S105、S106、S107、S108と図7のステップS50
1、S502、S503、S505、S506、S507、S508、S509は同じ
動作を示す。
【０１１３】次に本発明による第5の実施の形態の効果
について説明する。
【０１１４】電源電流スペクトルは検査対象集積回路に
テスト信号を印加したときに流れる電源電流を周波数解
析することにより得られる。ところで電源電流はアナロ
グ量であり、検査対象集積回路の製造時におけるプロセ
ス条件によって大きく影響を受けやすい。そのため同じ
プロセス条件で製造しても、多少のプロセス条件の変動
は不可避であり、電源電流への影響、すなわち電源電流
スペクトルへの影響は避けられない。
【０１１５】本手法は、故障の存在による異常電源電流
の存在を検出することにより不良検出を実施しているた
め、不良による電源電流スペクトルの変動と、プロセス
条件の相違による電源電流スペクトルの変動を明確に識
別する必要がある。
【０１１６】ところでプロセス条件の相違による電源電
流スペクトルの変動は単に各周波数におけるスペクトル
値の大きさが一様に変動するだけであると期待できる。
つまり、全ての周波数に対するスペクトル値の合計で各
周波数におけるスペクトル値を規格化手段11によって規
格化することで、プロセス条件の相違による電源電流ス
ペクトルへの影響を除去することが可能となり、より精
度の高い故障検出が達成できる。
【０１１７】次に本発明による第5の実施の形態の1実施
例について説明する。
【０１１８】図25は本発明による第5の実施の形態の1実
施例の構成を示すブロック図である。第1の実施の形態
の実施例の構成と比較して、メインコントローラ104の
代りに別の機能を有するメインコントローラ104dが設け
られ、新たに規格化ユニット111が設けられている。そ
の他の構成については第1の実施の形態の実施例の構成
と同一である。
【０１１９】規格化ユニット111は電源電流スペクトル
測定ユニット103に接続し、電源電流スペクトル測定ユ
ニット103で観測した電源電流スペクトルを規格化しデ
ータメモリ107に送る。メインコントローラ104cは全体
の制御を司どる。
【０１２０】次に本発明による第5の実施の形態の1実施
例の動作について説明する。
【０１２１】図35は本発明による第5の実施の形態の1実
施例の動作を説明するフローチャートである。電源電流
スペクトル測定ユニット103で観測された電源電流スペ
クトルを規格化ユニット111で規格化する。規格化した
データを新たに電源電流スペクトルとし、データメモリ
107に送る。規格化の方法は例えば、電源電流スペクト
ルが、p(1),p(2),p(3),...,p(n)と表わされているとす
る。ここでp(i)は周波数iにおけるスペクトル値であ
る。スペクトル値の合計をSとする。
【０１２２】S=p(1)+p(2)+p(3)+...+p(n)p(i)をSで割る
ことにより、p(1)/S,p(2)/S,p(3)/S,...,p(n)/Sが得ら
れ、これを以って新たに電源電流スペクトルとする(図3
5のステップS1504)。
【０１２３】以上説明した以外の動作については第1の
実施の形態の実施例と同じ動作である。すなわち、図29
のステップS1101、S1102、S1103、S1104、S1105、S110
6、S1107、S1108と図35のステップS1501、S1502、S150
3、S1505、S1506、S1507、S1508、S1509はそれぞれ同一
の動作を表わしている。
【０１２４】以上の一連の動作はメインコントローラ10
4によって制御されている。この制御は制御プログラム
として記述されていてもよく、その場合には制御プログ
ラムはROMやフロッピーディスク等によって供給され、
メインコントローラ104dにロードされて実行される。
【０１２５】次に、本発明の第6の実施の形態について
図面を参照して詳細に説明する。図18は本発明による第
6の実施の形態の構成を示すブロック図である。本発明
による第2の実施の形態の構成と比較し、主制御手段4a
の代りに別の機能を有する主制御手段4eが設けられ、規
格化手段11が新たに設けられている。
【０１２６】図8は本発明の第6の実施の形態の動作を示
すフローチャートである。図8のステップS604は図7のス
テップS504と同一の動作である。それ以外の動作は第2
の実施の形態の動作を同じである。すなわち、図2のス
テップS201、S202、S203、S204、S205、S206、S207と図
8のステップS601、S602、S603、S605、S606、S607、S60
8はそれぞれ同一の動作を表す。
【０１２７】以上の動作は主制御手段4eによって制御さ
れる。この制御は制御プログラムとして記述してもよ
く、その場合に制御プログラムはROMやフロッピーディ
スク等で供給される。そして主制御手段4eに制御プログ
ラムをロードすることで実行する。本発明による第6の
実施の形態の効果は、先に説明した本発明による第5の
実施の形態の効果と同様である。
【０１２８】次に本発明による第6の実施の形態の1実施
例の構成について図面を用いて説明する。
【０１２９】図26は本発明による第6の実施の形態の1実
施例の構成を示すブロック図である。本発明による第2
の実施の形態の実施例の構成を比較してメインコントロ
ーラ104aの代りにメインコントローラ104eが設けられ、
規格化ユニット111が新たに設けられている。規格化ユ
ニット111は電源電流スペクトル測定ユニット103に接続
され、電源電流スペクトルを規格化しデータメモリ107
に送る。メインコントローラ104eは全体の制御を司ど
る。
【０１３０】次に本発明による第6の実施の形態の1実施
例の動作について図面を用いて説明する。
【０１３１】図36は本発明による第6の実施の形態の1実
施例の動作を説明するフローチャートである。図36のス
テップS1604の動作は図35のステップS1504と同一であ
る。他の動作は本発明による第2の実施の形態の実施例
の動作と同一である。
【０１３２】すなわち、図30のステップS1201、S1202、
S1203、S1204、S1205、S1206、S1207と図36のS1601、S1
602、S1603、S1605、S1606、S1607、S1608はそれそれ同
一の動作である。
【０１３３】以上の一連の動作はメインコントローラ10
4eによって制御され実行される。この制御は制御プログ
ラムとして記述されていてもよく、その場合、ROMやフ
ロッピーディスク等によって供給される。そしてメイン
コントローラ104eに制御プログラムをロードすることで
一連の制御をを実行する。
【０１３４】次に、本発明の第7の実施の形態について
図面を参照して詳細に説明する。図19は本発明による第
7の実施の形態の構成を示すブロック図である。本発明
による第3の実施の形態の構成と比較して、主制御手段4
bの代りに別の機能を有する主制御手段4fが設けられ、
規格化手段11が新たに設けられている。その他の構成に
ついては第3の実施の形態と同一である。
【０１３５】規格化手段11は電源電流スペクトル測定手
段3に接続し、電源電流スペクトル測定手段3において観
測された電源電流スペクトルを規格化し記憶手段7に送
る。主制御手段4fは全体の制御を司どる。
【０１３６】図9、図10は本発明の第7の実施の形態の動
作を示すフローチャートである。図9のステップS705、S
717、図10のステップS728の動作は本発明による第5の実
施の形態の動作において説明した図7のステップS504と
同一の動作である。これ以外の動作については本発明に
よる第3の実施の形態の動作と同じである。
【０１３７】すなわち、図3、図4のステップS301、S30
2、S303、S304、S305、S306、S307、S308、S309、S31
0、S311、S312、S313、S314、S315、S316、S317、S31
8、S319、S320、S321、S322、S323、S324、S325、S32
6、S327、S328、S329、S330と図9、図10のS701、S702、
S703、S704、S706、S707、S708、S709、S710、S711、S7
12、S713、S714、S715、S716、S718、S719、S720、S72
1、S722、S723、S724、S725、S726、S727、S729、S73
0、S731、S732、S733はそれぞれ同一の動作を示す。
【０１３８】以上説明した一連の動作は主制御手段4fに
より制御される。この制御は制御プログラムとして記述
しておいてもよく、その場合にはROMやフロッピーディ
スク等に記録されて提供される。そして主制御手段4fに
ロードすることで実行される。本発明による第7の実施
の形態の効果であるが、本発明による第3の実施の形態
の効果に、さらに先に説明した第5の実施の形態の効果
を付加したものである。
【０１３９】次にの本発明による第7の実施の形態の1実
施例を図面を参照して説明する。
【０１４０】図27は本発明による第7の実施の形態の1実
施例の構成を示すブロック図である。第3の実施の形態
の実施例の構成と比較し、メインコントローラ104bの代
りに別の機能を有するメインコントローラ104fが設けら
れ、規格化ユニット111が新たに設けられている。規格
化ユニット111は電源電流スペクトル測定ユニット103に
接続し、観測した電源電流スペクトルを規格化してデー
タメモリ107に送出する。メインコントローラ104fは全
体の制御を司どっている。これ以外の構成については第
3の実施の形態の実施例の構成と同一である。
【０１４１】次に本発明による第7の実施の形態の1実施
例の動作を図面を用いて説明する。図37、図38は本発明
による第7の実施の形態の1実施例の動作を示すフローチ
ャートである。図37のステップS1705、S1717、図38のス
テップS1728の動作は先に本発明による第5の実施の形態
の実施例の動作で説明した図35のステップS1504と同一
の動作である。
【０１４２】これ以外の動作については第3の実施の形
態の実施例の動作と同じである。すなわち、図31、図32
のステップS1301、S1302、S1303、S1304、S1305、S130
6、S1307、S1308、S1309、S1310、S1311、S1312、S131
3、S1314、S1315、S1316、S1317、S1318、S1319、S132
0、S1321、S1322、S1323、S1324、S1325、S1326、S132
7、S1328、S1329、S1330と図37、図38のS1701、S1702、
S1703、S1704、S1706、S1707、S1708、S1709、S1710、S
1711、S1712、S1713、S1714、S1715、S1716、S1718、S1
719、S1720、S1721、S1722、S1723、S1724、S1725、S17
26、S1727、S1729、S1730、S1731、S1732、S1733はそれ
ぞれ同一の動作を示す。
【０１４３】以上説明した一連の動作はメインコントロ
ーラ104fにより制御される。この制御は制御プログラム
として記述しておいてもよく、その場合にはROMやフロ
ッピーディスク等に記録されて提供される。そして制御
プログラムをメインコントローラ104fにロードすること
で実行される。
【０１４４】次に、本発明の第8の実施の形態について
図面を参照して詳細に説明する。
【０１４５】図20は本発明による第8の実施の形態の構
成を示すブロック図である。本発明による第4の実施の
形態の構成と比較して、主制御手段4cの代りに別の機能
を有する主制御手段4gが設けられ、規格化手段11が新た
に設けられている。その他の構成については第4の実施
の形態と同一である。
【０１４６】規格化手段11は電源電流スペクトル測定手
段3に接続し、電源電流スペクトル測定手段3において観
測された電源電流スペクトルを規格化し記憶手段7に送
る。主制御手段4fは全体の制御を司どる。
【０１４７】図11、図12は本発明の第8の実施の形態の
動作を示すフローチャートである。図11のステップS80
5、S817、図12のステップS828の動作は本発明による第5
の実施の形態の動作において説明した図7のステップS50
4と同一の動作である。
【０１４８】これ以外の動作については本発明による第
4の実施の形態の動作と同じである。すなわち、図5、図
6のステップS401、S402、S403、S404、S405、S406、S40
7、S408、S409、S410、S411、S412、S413、S414、S41
5、S416、S417、S418、S419、S420、S421、S422、S42
3、S424、S425、S426、S427、S428、S429、S430と図1
1、図12のS801、S802、S803、S804、S806、S807、S80
8、S809、S810、S811、S812、S813、S814、S815、S81
6、S818、S819、S820、S821、S822、S823、S824、S82
5、S826、S827、S829、S830、S831、S832、S833はそれ
ぞれ同一の動作を示す。
【０１４９】以上説明した一連の動作は主制御手段4gに
より制御される。この制御は制御プログラムとして記述
しておいてもよく、その場合にはROMやフロッピーディ
スク等に記録されて提供される。そして主制御手段4gに
ロードすることで実行される。本発明による第8の実施
の形態の効果であるが、本発明による第4の実施の形態
の効果に、さらに先に説明した第5の実施の形態の効果
を付加したものである。
【０１５０】次に本発明による第8の実施の形態の1実施
例を図面を参照して説明する。
【０１５１】図28は本発明による第8の実施の形態の1実
施例の構成を示すブロック図である。第4の実施の形態
の実施例の構成と比較し、メインコントローラ104cの代
りに別の機能を有するメインコントローラ104gが設けら
れ、規格化ユニット111が新たに設けられている。規格
化ユニット111は電源電流スペクトル測定ユニット103に
接続し、観測した電源電流スペクトルを規格化してデー
タメモリ107に送出する。メインコントローラ104gは全
体の制御を司どっている。これ以外の構成については第
4の実施の形態の実施例の構成と同一である。
【０１５２】次に本発明による第8の実施の形態の1実施
例の動作を図面を用いて説明する。図39、図40は本発明
による第8の実施の形態の1実施例の動作を示すフローチ
ャートである。図39のステップS1805、S1817、図40のス
テップS1829の動作は先に本発明による第5の実施の形態
の実施例の動作で説明した図35のステップS1504と同一
の動作である。
【０１５３】これ以外の動作については第4の実施の形
態の実施例の動作と同じである。すなわち、図33、図34
のステップS1401、S1402、S1403、S1404、S1405、S140
6、S1407、S1408、S1409、S1410、S1411、S1412、S141
3、S1414、S1415、S1416、S1417、S1418、S1419、S142
0、S1421、S1422、S1423、S1424、S1425、S1426、S142
7、S1428、S1429、S1430、S1431と図39、図40のS1801、
S1802、S1803、S1804、S1806、S1807、S1808、S1809、S
1810、S1811、S1812、S1813、S1814、S1815、S1816、S1
818、S1819、S1820、S1821、S1822、S1823、S1824、S18
25、S1826、S1827、S1828、S1830、S1831、S1832、S183
3、S1834はそれぞれ同一の動作を示す。
【０１５４】以上説明した一連の動作はメインコントロ
ーラ104gにより制御される。この制御は制御プログラム
として記述しておいてもよく、その場合にはROMやフロ
ッピーディスク等に記録されて提供される。そして制御
プログラムをメインコントローラ104gにロードすること
で実行される。
【０１５５】
【発明の効果】本発明による効果は、リファレンスとし
ての故障のない完全に良品である集積回路の電源電流ス
ペクトルを事前に準備しなくても故障検査ができること
にある。
【０１５６】その理由は、従来手法に基づき選別された
集積回路の大半は完全に良品であり、不良品は少ない。
これらの集積回路の電源電流スペクトルの分布を解析す
ると完全に良品である集積回路の電源電流スペクトルは
平均値近傍に分布している。一方不良品の電源電流スペ
クトルは平均値からは大きくずれた分布をする。このず
れの大きい電源電流スペクトルを示す集積回路を不良と
判定することで、ことさらに良品のリファレンスを準備
しなくても不良検出が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第1の実施の形態の動作を示すフロー
チャートである。
【図２】本発明の第2の実施の形態の動作を示すフロー
チャートである。
【図３】本発明の第3の実施の形態の動作を示すフロー
チャートである。
【図４】本発明の第3の実施の形態の動作を示すフロー
チャートである。
【図５】本発明の第4の実施の形態の動作を示すフロー
チャートである。
【図６】本発明の第4の実施の形態の動作を示すフロー
チャートである。
【図７】本発明の第5の実施の形態の動作を示すフロー
チャートである。
【図８】本発明の第6の実施の形態の動作を示すフロー
チャートである。
【図９】本発明の第7の実施の形態の動作を示すフロー
チャートである。
【図１０】本発明の第7の実施の形態の動作を示すフロ
ーチャートである。
【図１１】本発明の第8の実施の形態の動作を示すフロ
ーチャートである。
【図１２】本発明の第8の実施の形態の動作を示すフロ
ーチャートである。
【図１３】本発明の第1の実施の形態の構成を示すブロ
ック図である。
【図１４】本発明の第2の実施の形態の構成を示すブロ
ック図である。
【図１５】本発明の第3の実施の形態の構成を示すブロ
ック図である。
【図１６】本発明の第4の実施の形態の構成を示すブロ
ック図である。
【図１７】本発明の第5の実施の形態の構成を示すブロ
ック図である。
【図１８】本発明の第6の実施の形態の構成を示すブロ
ック図である。
【図１９】本発明の第7の実施の形態の構成を示すブロ
ック図である。
【図２０】本発明の第8の実施の形態の構成を示すブロ
ック図である。
【図２１】本発明の第1の実施の形態の1実施例の構成を
示すブロック図である。
【図２２】本発明の第2の実施の形態の1実施例の構成を
示すブロック図である。
【図２３】本発明の第3の実施の形態の1実施例の構成を
示すブロック図である。
【図２４】本発明の第4の実施の形態の1実施例の構成を
示すブロック図である。
【図２５】本発明の第5の実施の形態の1実施例の構成を
示すブロック図である。
【図２６】本発明の第6の実施の形態の1実施例の構成を
示すブロック図である。
【図２７】本発明の第7の実施の形態の1実施例の構成を
示すブロック図である。
【図２８】本発明の第8の実施の形態の1実施例の構成を
示すブロック図である。
【図２９】本発明の第1の実施の形態の1実施例の動作を
示すフローチャートである。
【図３０】本発明の第2の実施の形態の1実施例の動作を
示すフローチャートである。
【図３１】本発明の第3の実施の形態の1実施例の動作を
示すフローチャートである。
【図３２】本発明の第3の実施の形態の1実施例の動作を
示すフローチャートである。
【図３３】本発明の第4の実施の形態の1実施例の動作を
示すフローチャートである。
【図３４】本発明の第4の実施の形態の1実施例の動作を
示すフローチャートである。
【図３５】本発明の第5の実施の形態の1実施例の動作を
示すフローチャートである。
【図３６】本発明の第6の実施の形態の1実施例の動作を
示すフローチャートである。
【図３７】本発明の第7の実施の形態の1実施例の動作を
示すフローチャートである。
【図３８】本発明の第7の実施の形態の1実施例の動作を
示すフローチャートである。
【図３９】本発明の第8の実施の形態の1実施例の動作を
示すフローチャートである。
【図４０】本発明の第8の実施の形態の1実施例の動作を
示すフローチャートである。
【符号の説明】
１ 従来手法選別手段 ２ 検査対象集積回路集合 ３ 電源電流スペクトル測定手段 ４ 主制御手段 ５ 規格値格納手段 ６ 演算手段 ７ 記憶手段 ８ 検査対象集積回路 ９ 良品集積回路集合 １０ 不良品集積回路集合 １１ 規格化手段 １２ 未検査集積回路集合 １０１ ロジックテスタ １０２ 検査対象集積回路集合 １０３ 電源電流スペクトル測定ユニット １０４ メインコントローラ １０５ 規格値メモリ １０６ 計算ユニット １０７ データメモリ １０８ 検査対象集積回路 １０９ 良品集積回路保存容器 １１０ 不良品集積回路保存容器 １１１ 規格化ユニット １１２ 検査対象集積回路準備容器

Claims (32)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 集積回路にテスト信号を印加したときに
    前記集積回路に流れる電源電流の周波数解析結果である
    電源電流スペクトルから前記集積回路の故障を検出する
    集積回路の故障検査方法において、同一種類の多くの集
    積回路を検査対象とし、統計的に解析することで少数の
    不良集積回路を検出する集積回路の故障検査方法におい
    て、(a) 検査対象集積回路全体を検査対象集積回路集合
    とし、各検査対象集積回路を検査するステップと、(b)
    ステップ(a)で不良判定された検査対象集積回路を前記
    検査対象集積回路集合から除外するステップと、(c) 検
    査対象集積回路集合の各集積回路の電源電流スペクトル
    を測定するステップと、(d) 前記電源電流スペクトルの
    前記検査対象集積回路集合についての平均値、標準偏差
    を求めるステップと、(e) 検査対象集積回路集合の各集
    積回路の電源電流スペクトルを前記平均値と前記標準偏
    差で評価し、定められた規格値を超過した場合に前記集
    積回路を不良と判定するステップと、(f) ステップ(e)
    で不良が検出された場合ステップ(g)に進み、不良が検
    出されない場合ステップ(h)に進むステップと、(g) 不
    良と判定された集積回路を検査対象集積回路集合から除
    外し、ステップ(d)に進むステップと、(h) 検査対象集
    積回路集合は良品であると判定するステップと、を含む
    ことを特徴とする集積回路の故障検出方法。
  2. 【請求項２】 集積回路にテスト信号を印加したときに
    前記集積回路に流れる電源電流の周波数解析結果である
    電源電流スペクトルから前記集積回路の故障を検出する
    集積回路の故障検査方法において、同一種類の多くの集
    積回路を検査対象とし、統計的に解析することで少数の
    不良集積回路を検出する集積回路の故障検査方法におい
    て、(a) 検査対象集積回路全体を検査対象集積回路集合
    とし、各検査対象集積回路を検査するステップと、(b)
    ステップ(a)で不良判定された検査対象集積回路を前記
    検査対象集積回路集合から除外するステップと、(c) 検
    査対象集積回路集合の各集積回路の電源電流スペクトル
    を測定するステップと、(d) 前記電源電流スペクトルの
    前記検査対象集積回路集合についての平均値、標準偏差
    を求めるステップと、(e) 前記標準偏差の値が、定めら
    れた規格値以下かどうかを判定し、以下ならばステップ
    (g)に進み、そうでないならばステップ(f)に進むステッ
    プと、(f) 検査対象集積回路集合の各集積回路の電源電
    流スペクトルを前記平均値と前記標準偏差で評価し、最
    大の値を示す集積回路を前記検査対象集積回路集合から
    除外し、ステップ(d)に進むステップと、(g) 検査対象
    集積回路集合は良品であると判定するステップと、を含
    むことを特徴とする集積回路の故障検出方法。
  3. 【請求項３】 集積回路にテスト信号を印加したときに
    前記集積回路に流れる電源電流の周波数解析結果である
    電源電流スペクトルから前記集積回路の故障を検出する
    集積回路の故障検査方法において、(a) 新たな検査対象
    集積回路を検査するステップと、(b) 不良ならばステッ
    プ(c)に進み、良ならばステップ(d)に進むステップと、
    (c) 前記検査対象集積回路を不良判定し、ステップ(a)
    に進むステップと、(d) 前記検査対象集積回路の電源電
    流スペクトルを観測するステップと、(e) 前記検査対象
    集積回路を不良判定するステップと、(f) 電源電流スペ
    クトルを測定した検査対象集積回路が予め定められたN
    個に達っしていなければステップ(a)に進むステップ
    と、(g) 前記N個の電源電流スペクトルについて、各周
    波数毎に平均値、標準偏差を求めるステップと、(h) 前
    記電源電流スペクトルを前記平均値と前記標準偏差で評
    価し、予め定められた規格値を超えた場合、前記電源電
    流スペクトルを異常と判定するステップと、(i) ステッ
    プ(h)で異常と判定された場合ステップ(j)に進み、異常
    と判定されない場合ステップ(k)に進むステップと、(j)
    ステップ(h)で異常と判定された電源電流スペクトルの
    データを削除しステップ(a)に進むステップと、(k) 前
    記平均値と前記標準偏差を以ってリファレンスとするス
    テップと、(l) より新たな検査対象集積回路を検査する
    ステップと、(m) ステップ(l)で前記検査対象集積回路
    が不良であった場合、前記検査対象集積回路を不良判定
    するとともに、ステップ(l)に進むステップと、(n) 前
    記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを観測するス
    テップと、(o) 前記電源電流スペクトルを前記リファレ
    ンスの平均値と標準偏差で評価し、規格値と比較するス
    テップと、(p) ステップ(o)で電源電流スペクトルに異
    常が無ければ、前記検査対象集積回路を良品と判定し、
    異常があれば前記検査対象集積回路を不良と判定するス
    テップと、(q) 未検査の検査対象集積回路が残っていた
    らステップ(l)に進むステップと、(r) これまでに不良
    と判定された検査対象集積回路を全てまだ検査が終了し
    ていない検査対象集積回路とするステップと、(s) 新た
    な検査対象集積回路を従来手法で検査するステップと、
    (t) 前記検査で不良ならば、前記検査対象集積回路を不
    良判定し、ステップ(s)に進むステップと、(u) 前記検
    査対象集積回路の電源電流スペクトルを観測するステッ
    プと、(v) 前記電源電流スペクトルを前記リファレンス
    の平均値と標準偏差で評価し、規格値と比較するステッ
    プと、(w) ステップ(v)で電源電流スペクトルに異常が
    無ければ、前記検査対象集積回路を良品と判定し、異常
    があれば前記検査対象集積回路を不良と判定するステッ
    プと、(x) 未検査の検査対象集積回路が残っていたらス
    テップ(s)に進むステップと、を含むことを特徴とする
    集積回路の故障検出方法。
  4. 【請求項４】 請求項３記載の集積回路の故障検出方法
    において、(p) ステップ(o)で電源電流スペクトルに異
    常が無ければ、前記検査対象集積回路を良品と判定し、
    異常があれば前記検査対象集積回路を不良と判定するス
    テップと、の代りに、ステップ(o)で電源電流スペクト
    ルに異常が無ければ前記検査対象集積回路を良品と判定
    し、前記電源電流スペクトルのデータから前記リファレ
    ンスを更新し、異常があれば前記検査対象集積回路を不
    良と判定するステップを含むことを特徴とする集積回路
    の故障検査方法。
  5. 【請求項５】 請求項１記載の集積回路の故障検査方法
    において、(c) 検査対象集積回路集合の各集積回路の電
    源電流スペクトルを測定するステップの次に、前記電源
    電流スペクトルを規格化するステップを設けたことを特
    徴とする集積回路の故障検査方法。
  6. 【請求項６】 請求項２記載の集積回路の故障検査方法
    において、(c) 検査対象集積回路集合の各集積回路の電
    源電流スペクトルを測定するステップの次に、前記電源
    電流スペクトルを規格化するステップと、を新たに設け
    たことを特徴とする集積回路の故障検査方法。
  7. 【請求項７】 請求項３記載の集積回路の故障検査方法
    において、(d) 前記検査対象集積回路の電源電流スペク
    トルを観測するステップの次に、前記電源電流スペクト
    ルを規格化するステップを設け、(n) 前記検査対象集積
    回路の電源電流スペクトルを観測するステップの次に、
    前記電源電流スペクトルを規格化するステップを設け、
    (u) 前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを観測
    するステップの次に、前記電源電流スペクトルを規格化
    するステップを設けたことを特徴とする集積回路の故障
    検査方法。
  8. 【請求項８】 請求項４記載の集積回路の故障検査方法
    において、(d) 前記検査対象集積回路の電源電流スペク
    トルを観測するステップの次に、前記電源電流スペクト
    ルを規格化するステップを設け、(n) 前記検査対象集積
    回路の電源電流スペクトルを観測するステップの次に、
    前記電源電流スペクトルを規格化するステップを設け、
    (u) 前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを観測
    するステップの次に、前記電源電流スペクトルを規格化
    するステップを設けたことを特徴とする集積回路の故障
    検査方法。
  9. 【請求項９】 集積回路にテスト信号を印加したときに
    前記集積回路に流れる電源電流の周波数解析結果である
    電源電流スペクトルから前記集積回路の故障を検出する
    集積回路の故障検査装置において、同一種類の多くの集
    積回路を検査対象とし、統計的に解析することで参照基
    準としての良品データ無しで少数の不良集積回路の検出
    を可能とする集積回路の故障検査装置において、集積回
    路の故障検査方法で検査対象集積回路の検査を実施する
    選別手段と、前記検査対象集積回路の電源電流スペクト
    ルを観測する電源電流スペクトル測定手段と、前記電源
    電流スペクトルや各種作業データを記憶する記憶手段
    と、前記記憶手段に記憶された前記電源電流スペクトル
    から対象とする検査対象集積回路全体の電源電流スペク
    トルの平均値、標準偏差を求め、前記検査対象集積回路
    の良不良を評価する数値を求める演算手段と、前記検査
    対象集積回路の良不良を判定するための規格値を記憶し
    ている規格値格納手段と、前記検査対象集積回路の電源
    電流スペクトルの前記平均値からのずれを前記標準偏差
    で除した値と前記規格値とから前記検査対象集積回路の
    良不良を判定するとともに、故障検査装置全体の制御を
    司どる主制御手段と、を有することを特徴とする集積回
    路の故障検査装置。
  10. 【請求項１０】 請求項９記載の前記主制御手段の代り
    に、前記標準偏差の値が前記規格値を超過した場合に、
    前記電源電流スペクトルの前記平均値からのずれを前記
    標準偏差で除した値が最大となる前記検査対象集積回路
    を不良と判定するとともに、故障検査装置全体の制御を
    司どる主制御手段を有することを特徴とする集積回路の
    故障検査装置。
  11. 【請求項１１】 集積回路にテスト信号を印加したとき
    に前記集積回路に流れる電源電流の周波数解析結果であ
    る電源電流スペクトルから前記集積回路の故障を検出す
    る集積回路の故障検査装置において、検査の対象となる
    集積回路である検査対象集積回路と、集積回路の故障検
    査方法で前記検査対象集積回路の検査を実施する選別手
    段と、前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを観
    測する電源電流スペクトル測定手段と、前記電源電流ス
    ペクトルや各種作業データを記憶する記憶手段と、検査
    前の前記検査対象集積回路の集合である未検査集積回路
    集合と、良品と判定された前記査対象集積回路の集合で
    ある良品集積回路集合と、不良品と判定された前記検査
    対象集積回路の集合である不良品集積回路集合と、各種
    演算を行なう演算手段と、検査対象集積回路の判定基準
    となる規格値を保持する規格値格納手段と、予め定めら
    れた個数の検査対象集積回路の電源電流スペクトルから
    リファレンスを作成し、このリファレンスに基づいて検
    査対象集積回路の電源電流スペクトルを評価すること
    で、前記検査対象集積回路の良不良を判定すると共に、
    装置全体の制御を司どる主制御手段と、を有することを
    特徴とする集積回路の故障検査装置。
  12. 【請求項１２】 請求項１１記載の集積回路の故障検査
    装置において、予め定められた個数の検査対象集積回路
    の電源電流スペクトルからリファレンスを作成し、この
    リファレンスに基づいて検査対象集積回路の電源電流ス
    ペクトルを評価することで、前記検査対象集積回路の良
    不良を判定すると共に、装置全体の制御を司どる主制御
    手段の代わりに、予め定められた個数の検査対象集積回
    路の電源電流スペクトルからリファレンスを作成し、こ
    のリファレンスに基づいて検査対象集積回路の電源電流
    スペクトルを評価し前記検査対象集積回路の良不良を判
    定し、良品であれば前記電源電流スペクトルを基に前記
    リファレンスを更新すると共に、装置全体の制御を司ど
    る主制御手段を有することを特徴とする集積回路の故障
    検査装置。
  13. 【請求項１３】 請求項９記載の集積回路の故障検査装
    置において、電源電流スペクトルを規格化し、規格化し
    た電源電流スペクトルを新たに電源電流スペクトルとす
    る規格化手段を有することを特徴とする集積回路の故障
    検査装置。
  14. 【請求項１４】 請求項１０記載の集積回路の故障検査
    装置において、電源電流スペクトルを規格化し、規格化
    した電源電流スペクトルを新たに電源電流スペクトルと
    する規格化手段を有することを特徴とする集積回路の故
    障検査装置。
  15. 【請求項１５】 請求項１１記載の集積回路の故障検査
    装置において、電源電流スペクトルを規格化し、規格化
    した電源電流スペクトルを新たに電源電流スペクトルと
    する規格化手段を有することを特徴とする集積回路の故
    障検査装置。
  16. 【請求項１６】 請求項１２記載の集積回路の故障検査
    装置において、電源電流スペクトルを規格化し、規格化
    した電源電流スペクトルを新たに電源電流スペクトルと
    する規格化手段を有することを特徴とする集積回路の故
    障検査装置。
  17. 【請求項１７】 集積回路にテスト信号を印加したとき
    に前記集積回路に流れる電源電流の周波数解析結果であ
    る電源電流スペクトルから前記集積回路の故障を検出す
    る集積回路の故障検査装置において、同一種類の多くの
    集積回路を検査対象とし、統計的に解析することで参照
    基準としての良品データ無しで少数の不良集積回路の検
    出を可能とする集積回路の故障検査装置において、機能
    試験やDC試験により検査対象集積回路のテストを実施す
    るロジックテスタと、 前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを観測する
    電源電流スペクトル測定ユニットと、前記電源電流スペ
    クトル値や計算結果等の数値を記憶するデータメモリ
    と、前記データメモリに記憶された前記電源電流スペク
    トル値から対象とする検査対象集積回路全体の電源電流
    スペクトルの各周波数毎の平均値、標準偏差を計算した
    り、前記検査対象集積回路の良不良を評価する数値を求
    める計算ユニットと、前記検査対象集積回路の良不良を
    判定するための規格値を記憶している規格値メモリと、
    前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルの前記平均
    値からのずれを前記標準偏差で除した値が前記規格値の
    範囲内に含まれているかどうかを調査し、前記検査対象
    集積回路の良不良を判定するとともに、故障検査装置全
    体の制御を司どるメインコントローラとを有することを
    特徴とする集積回路の故障検査装置。
  18. 【請求項１８】 請求項１７記載の集積回路の故障検査
    装置において、前記検査対象集積回路の電源電流スペク
    トルの前記平均値からのずれを前記標準偏差で除した値
    が前記規格値の範囲内に含まれているかどうかを調査
    し、前記検査対象集積回路の良不良を判定するととも
    に、故障検査装置全体の制御を司どるメインコントロー
    ラ、の代りに、前記標準偏差が前記規格値を超過してい
    る場合に、前記検査対象集積回路の電源電流スペクトル
    の前記平均値からのずれを前記標準偏差で除した値が最
    大となる検査対象集積回路を不良と判定し、前記標準偏
    差を再計算し規格値の範囲内になるまで不良集積回路を
    除去すると共に、故障検査装置全体の制御を司どるメイ
    ンコントローラを有することを特徴とする集積回路の故
    障検査装置。
  19. 【請求項１９】 集積回路にテスト信号を印加したとき
    に前記集積回路に流れる電源電流の周波数解析結果であ
    る電源電流スペクトルから前記集積回路の故障を検出す
    る集積回路の故障検査装置において、故障検査の対象と
    なる集積回路である検査対象集積回路と、機能試験やDC
    試験により前記検査対象集積回路のテストを実施するロ
    ジックテスタと、前記検査対象集積回路の電源電流スペ
    クトルを観測する電源電流スペクトル測定ユニットと、
    前記電源電流スペクトル値や計算結果等の数値を記憶す
    るデータメモリと、検査前の前記検査対象集積回路を収
    容する検査対象集積回路準備容器と、良品と判定された
    検査対象集積回路を収容する良品集積回路保存容器と、
    不良品と判定された検査対象集積回路を収容する不良品
    集積回路保存容器と、前記データメモリに記憶された前
    記電源電流スペクトル値から対象とする検査対象集積回
    路全体の電源電流スペクトルの各周波数毎の平均値、標
    準偏差を計算したり、前記検査対象集積回路の良不良を
    評価する数値を求める計算ユニットと、前記検査対象集
    積回路の良不良を判定するための規格値を記憶している
    規格値メモリと、予め定められた個数の検査対象集積回
    路の電源電流スペクトルからリファレンスを作成し、こ
    のリファレンスに基づいて検査対象集積回路の電源電流
    スペクトルを評価することで、前記検査対象集積回路の
    良不良を判定すると共に、装置全体の制御を司どるメイ
    ンコントローラとを有することを特徴とする集積回路の
    故障検査装置。
  20. 【請求項２０】 請求項１９記載の集積回路の故障検査
    装置において、予め定められた個数の検査対象集積回路
    の電源電流スペクトルからリファレンスを作成し、この
    リファレンスに基づいて検査対象集積回路の電源電流ス
    ペクトルを評価することで、前記検査対象集積回路の良
    不良を判定すると共に、装置全体の制御を司どるメイン
    コントローラの代りに、予め定められた個数の検査対象
    集積回路の電源電流スペクトルからリファレンスを作成
    し、このリファレンスに基づいて検査対象集積回路の電
    源電流スペクトルを評価し、前記検査対象集積回路が良
    品と判定された場合前記電源電流スペクトルデータをも
    って前記リファレンスを更新すると共に、装置全体の制
    御を司どるメインコントローラを有することを特徴とす
    る集積回路の故障検査装置。
  21. 【請求項２１】 請求項１７記載の故障検査装置におい
    て、前記電源電流スペクトルを規格化し、規格化した電
    源電流スペクトルを新たに電源電流スペクトルとする規
    格化ユニットと、を有することを特徴とする集積回路の
    故障検査装置。
  22. 【請求項２２】 請求項１８記載の故障検査装置におい
    て、前記電源電流スペクトルを規格化し、規格化した電
    源電流スペクトルを新たに電源電流スペクトルとする規
    格化ユニットとを有することを特徴とする集積回路の故
    障検査装置。
  23. 【請求項２３】 請求項１９記載の故障検査装置におい
    て、前記電源電流スペクトルを規格化し、規格化した電
    源電流スペクトルを新たに電源電流スペクトルとする規
    格化ユニットとを有することを特徴とする集積回路の故
    障検査装置。
  24. 【請求項２４】 請求項２０記載の故障検査装置におい
    て、前記電源電流スペクトルを規格化し、規格化した電
    源電流スペクトルを新たに電源電流スペクトルとする規
    格化ユニットと、を有することを特徴とする集積回路の
    故障検査装置。
  25. 【請求項２５】 集積回路にテスト信号を印加したとき
    に前記集積回路に流れる電源電流の周波数解析結果であ
    る電源電流スペクトルから前記集積回路の故障を検出す
    る集積回路の故障検査方法において、同一種類の多くの
    集積回路を検査対象とし、統計的に解析することで少数
    の不良集積回路を検出する集積回路の故障検査装置を制
    御する制御プログラムを記録した記憶媒体において、
    (a) 検査対象集積回路全体を検査対象集積回路集合と
    し、各検査対象集積回路を選別手段で検査させるステッ
    プと、(b) ステップ(a)で不良判定された検査対象集積
    回路を前記検査対象集積回路集合から除外させるステッ
    プと、(c) 検査対象集積回路集合の各集積回路の電源電
    流スペクトルを電源電流スペクトル測定(d) 前記電源電
    流スペクトルの前記検査対象集積回路集合についての平
    均値、標準偏差を演算手段に求めさせるステップと、
    (e) 演算手段に対し、検査対象集積回路集合の各集積回
    路の電源電流スペクトルを前記平均値と前記標準偏差で
    評価させ、定められた規格値を超過した場合に前記集積
    回路を不良と判定させるステップと、(f) ステップ(e)
    で不良が検出された場合ステップ(g)に進み、不良が検
    出されない場合ステップ(h)に進むステップと、(g) 不
    良と判定された集積回路を検査対象集積回路集合から除
    外させ、ステップ(d)に進むステップと、(h) 検査対象
    集積回路集合は良品であると判定させるステップと、を
    含むことを特徴とする集積回路の故障検出装置を制御す
    る制御プログラムを記録した記憶媒体。
  26. 【請求項２６】 集積回路にテスト信号を印加したとき
    に前記集積回路に流れる電源電流の周波数解析結果であ
    る電源電流スペクトルから前記集積回路の故障を検出す
    る集積回路の故障検査方法において、同一種類の多くの
    集積回路を検査対象とし、統計的に解析することで少数
    の不良集積回路を検出する集積回路の故障検査装置を制
    御する制御プログラムを記録した記憶媒体において、
    (a) 未検査集積回路集合から新たに検査対象集積回路を
    選び、前記検査対象集積回路を選別手段で検査させるス
    テップと、(b) ステップ(a)で不良判定された検査対象
    集積回路を前記検査対象集積回路集合から除外させるス
    テップと、(c) 検査対象集積回路集合の各集積回路の電
    源電流スペクトルを電源電流スペクトル測定手段に測定
    させるステップと、(d) 前記電源電流スペクトルの前記
    検査対象集積回路集合についての平均値、標準偏差を演
    算手段に求めさせるステップと、(e) 演算手段に対し、
    前記標準偏差の値が、定められた規格値以下かどうかを
    判定させ、以下ならばステップ(g)に進み、そうでない
    ならばステップ(f)に進むステップと、(f) 演算手段に
    対し、検査対象集積回路集合の各集積回路の電源電流ス
    ペクトルを前記平均値と前記標準偏差で評価させ、最大
    の値を示す集積回路を前記検査対象集積回路集合から除
    外させ、ステップ(d)に進むステップと、(g) 検査対象
    集積回路集合は良品であると判定させるステップと、を
    含むことを特徴とする集積回路の故障検出装置を制御す
    る制御プログラムを記録した記憶媒体。
  27. 【請求項２７】 集積回路にテスト信号を印加したとき
    に前記集積回路に流れる電源電流の周波数解析結果であ
    る電源電流スペクトルから前記集積回路の故障を検出す
    る集積回路の故障検査装置を制御する制御プログラムを
    記録した記憶媒体において、(a) 新たな検査対象集積回
    路を未検査集積回路集合から選び、選別手段に検査させ
    るステップと、(b) 前記検査対象集積回路が不良ならば
    ステップ(c)に進み、良ならばステップ(d)に進むステッ
    プと、(c) 前記検査対象集積回路を不良品集積回路集合
    に入れ、ステップ(a)に進むステップと、(d) 前記検査
    対象集積回路の電源電流スペクトルを電源電流スペクト
    ル測定手段に観測させ、前記電源電流スペクトル情報を
    記憶手段に記憶させるステップと、(e) 前記検査対象集
    積回路を不良品集積回路集合に入れさせるステップと、
    (f) 電源電流スペクトルを測定した検査対象集積回路が
    予め定められたN個に達っしていなければステップ(a)に
    進むステップと、(g) 記憶手段の情報から前記N個の電
    源電流スペクトルについて、各周波数毎に平均値、標準
    偏差を演算手段に求めさせるステップと、(h) 演算手段
    に対し、前記電源電流スペクトルを前記平均値と前記標
    準偏差で評価させ、規格値格納手段に納められている予
    め定められた規格値を超えた場合、前記電源電流スペク
    トルを異常と判定させるステップと、(i) ステップ(h)
    で異常と判定された場合ステップ(j)に進み、異常と判
    定されない場合ステップ(k)に進むステップと、(j) 記
    憶手段に対し、ステップ(h)で異常と判定された電源電
    流スペクトルのデータを記憶手段から削除させステップ
    (a)に進むステップと、(k) 前記平均値と前記標準偏差
    を以ってリファレンスとし、記憶手段に記憶させるステ
    ップと、(l) 未検査集積回路集合から新たに検査対象集
    積回路を選び、選別手段に対し、検査させるステップ
    と、(m) ステップ(l)で前記検査対象集積回路が不良で
    あった場合、前記検査対象集積回路を不良品集積回路集
    合に入れさせ、ステップ(l)に進むステップと、(n) 電
    源電流スペクトル測定手段に、前記検査対象集積回路の
    電源電流スペクトルを観測させるステップと、(o) 演算
    手段に前記電源電流スペクトルを前記リファレンスの平
    均値と標準偏差で評価させせ、規格値と比較させるステ
    ップと、(p) ステップ(o)で電源電流スペクトルに異常
    が無ければ、前記検査対象集積回路を良品集積回路集合
    に入れ、異常があれば前記検査対象集積回路を不良品集
    積回路集合に入れさせるステップと、(q) 未検査集積回
    路集合が空でなければステップ(l)に進むステップと、
    (r) 不良品集積回路集合の全集積回路を未検査集積回路
    集合に移させるステップと、(s) 未検査集積回路集合か
    ら新たな検査対象集積回路を選択し、選別手段に対し検
    査させるステップと、(t) ステップ(s)で不良ならば、
    前記検査対象集積回路を不良品集積回路集合に入れ、ス
    テップ(s)に進むステップと、(u) 前記検査対象集積回
    路の電源電流スペクトルを電源電流スペクトル測定手段
    に対し観測させるステップと、(v) 演算手段に対し前記
    電源電流スペクトルを前記リファレンスの平均値と標準
    偏差で評価させ、規格値と比較させるステップと、(w)
    ステップ(v)で電源電流スペクトルに異常が無ければ、
    前記検査対象集積回路を良品集積回路集合に入れ、異常
    があれば前記検査対象集積回路を不良品集積回路集合に
    入れさせるステップと、(x) 未検査集積回路集合が空で
    なければステップ(s)に進むステップと、を含むことを
    特徴とする集積回路の故障検出装置を制御する制御プロ
    グラムを記録した記憶媒体。
  28. 【請求項２８】 請求項２８記載の集積回路の故障検出
    装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体にお
    いて、(p) ステップ(o)で電源電流スペクトルに異常が
    無ければ、前記検査対象集積回路を良品集積回路集合に
    入れ、異常があれば前記検査対象集積回路を不良品集積
    回路集合に入れさせるステップとの代りに、(p) ステッ
    プ(o)で電源電流スペクトルに異常が無ければ、前記検
    査対象集積回路を良品集積回路集合に入れ、かつ、前記
    電源電流スペクトルを用いて前記リファレンスを演算手
    段によって更新させ、記憶手段に記憶させ、一方異常が
    あれば前記検査対象集積回路を不良品集積回路集合に入
    れさせるステップを含むことを特徴とする集積回路の故
    障検査装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒
    体。
  29. 【請求項２９】 請求項２５記載の集積回路の故障検査
    装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体にお
    いて、(c) 検査対象集積回路集合の各集積回路の電源電
    流スペクトルを電源電流スペクトル測定手段に測定させ
    るステップの次に、前記電源電流スペクトルを規格化手
    段に規格化させ、新たに電源電流スペクトルとするステ
    ップと、を有することを特徴とする集積回路の故障検査
    装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体。
  30. 【請求項３０】 請求項２６記載の集積回路の故障検査
    装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体にお
    いて、(c) 検査対象集積回路集合の各集積回路の電源電
    流スペクトルを電源電流スペクトル測定手段に測定させ
    るステップの次に、前記電源電流スペクトルを規格化手
    段に規格化させ、新たに電源電流スペクトルとするステ
    ップを有することを特徴とする集積回路の故障検査装置
    を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体。
  31. 【請求項３１】 請求項２７記載の集積回路の故障検査
    装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体にお
    いて、(d) 前記検査対象集積回路の電源電流スペクトル
    を電源電流スペクトル測定手段に観測させ、前記電源電
    流スペクトル情報を記憶手段に記憶させるステップの代
    りに、前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを電
    源電流スペクトル測定手段に観測させ、前記電源電流ス
    ペクトル情報を規格化手段に規格化させ、新たに電源電
    流スペクトルとし、記憶手段に記憶させるステップを設
    け、(n) 電源電流スペクトル測定手段に、前記検査対象
    集積回路の電源電流スペクトルを観測させるステップの
    次に、前記電源電流スペクトルを規格化手段に規格化さ
    せ、新たに電源電流スペクトルとするステップ、を設
    け、(u) 前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを
    電源電流スペクトル測定手段に対し観測させるステップ
    の次に、前記電源電流スペクトルを規格化手段に規格化
    させ、新たに電源電流スペクトルとするステップを設け
    たことを特徴とする集積回路の故障検出装置を制御する
    制御プログラムを記録した記憶媒体。
  32. 【請求項３２】 請求項２８記載の集積回路の故障検出
    装置を制御する制御プログラムを記録した記憶媒体にお
    いて、(d) 前記検査対象集積回路の電源電流スペクトル
    を電源電流スペクトル測定手段に観測させ、前記電源電
    流スペクトル情報を記憶手段に記憶させるステップの代
    りに、前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを電
    源電流スペクトル測定手段に観測させ、前記電源電流ス
    ペクトル情報を規格化手段に規格化させ、新たに電源電
    流スペクトルとし、記憶手段に記憶させるステップを設
    け、(n) 電源電流スペクトル測定手段に、前記検査対象
    集積回路の電源電流スペクトルを観測させるステップの
    次に、前記電源電流スペクトルを規格化手段に規格化さ
    せ、新たに電源電流スペクトルとするステップを設け、
    (u) 前記検査対象集積回路の電源電流スペクトルを電源
    電流スペクトル測定手段に対し観測させるステップ、の
    次に、前記電源電流スペクトルを規格化手段に規格化さ
    せ、新たに電源電流スペクトルとするステップ、を設け
    たことを特徴とする集積回路の故障検出装置を制御する
    制御プログラムを記録した記憶媒体。
JP18272699A 1999-06-29 1999-06-29 集積回路の故障検出方法及び故障検出装置及びその制御プログラムを記録した記憶媒体 Expired - Fee Related JP3164106B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18272699A JP3164106B2 (ja) 1999-06-29 1999-06-29 集積回路の故障検出方法及び故障検出装置及びその制御プログラムを記録した記憶媒体
US09/605,978 US6704675B1 (en) 1999-06-29 2000-06-29 Method of detecting an integrated circuit in failure among integrated circuits, apparatus of doing the same, and recording medium storing program for doing the same
US10/320,499 US6684170B2 (en) 1999-06-29 2002-12-17 Method of detecting an integrated circuit in failure among integrated circuits, apparatus of doing the same, and recording medium storing program for doing the same
US10/320,441 US6694274B2 (en) 1999-06-29 2002-12-17 Method of detecting an integrated circuit in failure among integrated circuits, apparatus of doing the same, and recording medium storing program for doing the same
US10/320,500 US6931336B2 (en) 1999-06-29 2002-12-17 Method of detecting an integrated circuit in failure among integrated circuits, apparatus of doing the same, and recording medium storing program for doing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18272699A JP3164106B2 (ja) 1999-06-29 1999-06-29 集積回路の故障検出方法及び故障検出装置及びその制御プログラムを記録した記憶媒体

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001013200A JP2001013200A (ja) 2001-01-19
JP3164106B2 true JP3164106B2 (ja) 2001-05-08

Family

ID=16123380

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18272699A Expired - Fee Related JP3164106B2 (ja) 1999-06-29 1999-06-29 集積回路の故障検出方法及び故障検出装置及びその制御プログラムを記録した記憶媒体

Country Status (2)

Country Link
US (4) US6704675B1 (ja)
JP (1) JP3164106B2 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003084036A (ja) * 2001-09-10 2003-03-19 Nec Corp 診断システム及び診断方法
JP2006200983A (ja) * 2005-01-19 2006-08-03 Denso Corp 半導体集積回路装置およびその試験方法
US7669100B2 (en) * 2007-03-08 2010-02-23 Freescale Semiconductor, Inc. System and method for testing and providing an integrated circuit having multiple modules or submodules
JP6166120B2 (ja) * 2013-08-01 2017-07-19 ラピスセミコンダクタ株式会社 データ処理装置、測定装置、選別装置、データ処理方法およびプログラム
US10393802B2 (en) * 2017-06-14 2019-08-27 Nuvoton Technology Corporation System and method for adaptive testing of semiconductor product
JP6439896B1 (ja) 2018-08-21 2018-12-19 富士通株式会社 メモリ書き込み制御装置及び不揮発性メモリの不良判定方法
CN117148124B (zh) * 2023-11-01 2024-02-20 杭州高坤电子科技有限公司 一种集成电路热阻测试方法、系统及存储介质

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5049811A (en) * 1990-07-02 1991-09-17 Motorola, Inc. Measuring integrity of semiconductor multi-layer metal structures
US5057441A (en) * 1990-10-29 1991-10-15 At&T Bell Laboratories Method for reliability testing integrated circuit metal films
US5798649A (en) * 1991-12-26 1998-08-25 Texas Instruments Incorporated Method for detecting defects in semiconductor insulators
US5648275A (en) * 1993-08-19 1997-07-15 Texas Instruments Incorporated Method for detecting defects in semiconductor insulators
US5483170A (en) * 1993-08-24 1996-01-09 New Mexico State University Technology Transfer Corp. Integrated circuit fault testing implementing voltage supply rail pulsing and corresponding instantaneous current response analysis
US5572160A (en) * 1994-12-01 1996-11-05 Teradyne, Inc. Architecture for RF signal automatic test equipment
JP2734416B2 (ja) 1995-07-24 1998-03-30 日本電気株式会社 故障モードの特定方法及び装置
US5719796A (en) * 1995-12-04 1998-02-17 Advanced Micro Devices, Inc. System for monitoring and analyzing manufacturing processes using statistical simulation with single step feedback
JP2783243B2 (ja) 1996-02-06 1998-08-06 日本電気株式会社 Ｃｍｏｓ集積回路の故障検出方法及び装置
JP3018996B2 (ja) * 1996-07-29 2000-03-13 日本電気株式会社 故障個所特定化方法
JPH10301843A (ja) 1997-04-23 1998-11-13 Kofu Nippon Denki Kk 情報処理装置
JP2962283B2 (ja) 1997-06-12 1999-10-12 日本電気株式会社 集積回路の故障検出方法及び故障検出装置
US6024831A (en) * 1997-08-20 2000-02-15 Vanguard International Semiconductor Corporation Method and apparatus for monitoring plasma chamber condition by observing plasma stability
JP3094969B2 (ja) 1997-09-19 2000-10-03 日本電気株式会社 半導体装置用試験方法及び装置
US6240372B1 (en) * 1997-11-14 2001-05-29 Arch Development Corporation System for surveillance of spectral signals
US6167401A (en) * 1998-02-09 2000-12-26 Ciena Corporation Manufacturing control network having a relational database
US6175812B1 (en) * 1998-02-26 2001-01-16 Micron Technology, Inc. Method and system for dynamic duration burn-in
US6139618A (en) * 1998-08-28 2000-10-31 Toda Kogyo Corporation Fine yellow composite iron oxide hydroxide pigment, and paint or resin composition using the same
JP2000074986A (ja) * 1998-08-31 2000-03-14 Ando Electric Co Ltd デバイス試験装置

Also Published As

Publication number Publication date
US6931336B2 (en) 2005-08-16
US6704675B1 (en) 2004-03-09
US20030182073A1 (en) 2003-09-25
US6694274B2 (en) 2004-02-17
US20030088380A1 (en) 2003-05-08
US20030093237A1 (en) 2003-05-15
JP2001013200A (ja) 2001-01-19
US6684170B2 (en) 2004-01-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Chen et al. Simultaneous fault isolation and estimation of lithium-ion batteries via synthesized design of Luenberger and learning observers
US11474153B2 (en) Battery pack maintenance system
US20140266229A1 (en) System and methods for detection of internal shorts in batteries
JP3164106B2 (ja) 集積回路の故障検出方法及び故障検出装置及びその制御プログラムを記録した記憶媒体
US20120330871A1 (en) Using values of prpd envelope to classify single and multiple partial discharge (pd) defects in hv equipment
WO2015076002A1 (ja) 蓄電池劣化検出システムおよびその方法、ならびにプログラム
JP6633006B2 (ja) 部分放電監視装置および部分放電監視方法
CN101592559A (zh) 一体化断路器机械特性测试系统
US10775449B2 (en) Mobile transformer test device and method for testing a power transformer
Wesley et al. Evaluation of statistical interpretation methods for frequency response analysis based winding fault detection of transformers
CN110703043A (zh) 一种无损检测多类型输电线路的验电方法及装置
CN202421448U (zh) 核电站继电器检测装置
US9880550B2 (en) Updating of a recipe for evaluating a manufacturing stage of an electrical circuit
CN116298719A (zh) 设备绝缘老化识别方法、装置、电子设备及存储介质
Gacek et al. Anusual application of partial discharges to diagnose of high voltage power transformers
CN206832935U (zh) 电动车装配线安全检测系统及电动车装配线
Thangavelan et al. Review on power transformer internal fault diagnosis
Lien et al. A test-per-clock LFSR reseeding algorithm for concurrent reduction on test sequence length and test data volume
CN110261725B (zh) 一种检测预测电池系统连接可靠性的方法
CN106291195A (zh) 一种智能化启动功能变压器综合测试装置
CN111308250A (zh) 一种基于振纹的变压器故障诊断方法和装置
Popp et al. Challenges in the Real-World Evaluation of Traction Batteries at the End of their First Life
JP2014032077A (ja) 二次電池検査装置及びその検査方法
CN109425773A (zh) 一种电流监测电路、方法及电源
Millman et al. Standard cell library characterization for setting current limits for I/sub DDQ/testing

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20010130

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080302

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090302

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100302

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100302

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110302

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110302

Year of fee payment: 10

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110302

Year of fee payment: 10

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110302

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120302

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130302

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130302

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140302

Year of fee payment: 13

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees