JP3160286B2 - 樹脂封止部の薄ばり除去方法及びこれを用いた薄ばり除去装置 - Google Patents
樹脂封止部の薄ばり除去方法及びこれを用いた薄ばり除去装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は樹脂封止部の薄ばり除去方法及びこれを用い
た薄ばり除去装置に関する。
た薄ばり除去装置に関する。
(従来の技術) 一般の樹脂モールドによるIC製品ではリードフレーム
の型クランプされる部位で製品には不要な部分にエアベ
ント部を設けてリードフレームに薄ばりを出すが、トラ
ンジスタ等の樹脂封止製品では金型のパーティング面に
エアベント部を設けて樹脂封止するのがふつうである。
このようにエアベント部を設けて樹脂封止した場合は樹
脂封止後にパーティング面のエアベント部に樹脂ばりが
生じる場合がある。
の型クランプされる部位で製品には不要な部分にエアベ
ント部を設けてリードフレームに薄ばりを出すが、トラ
ンジスタ等の樹脂封止製品では金型のパーティング面に
エアベント部を設けて樹脂封止するのがふつうである。
このようにエアベント部を設けて樹脂封止した場合は樹
脂封止後にパーティング面のエアベント部に樹脂ばりが
生じる場合がある。
第4図はトランジスタ製品を樹脂封止した状態を示
す。トランジスタ製品のような小型製品を樹脂封止する
場合は、リードフレーム10にチップ搭載部を一定間隔で
配置し、図のように、樹脂封止部12が連続的に連らなる
ようにして樹脂封止することが多い。
す。トランジスタ製品のような小型製品を樹脂封止する
場合は、リードフレーム10にチップ搭載部を一定間隔で
配置し、図のように、樹脂封止部12が連続的に連らなる
ようにして樹脂封止することが多い。
第5図は樹脂封止部12を拡大して示している。14はダ
ムバー、16はリードである。18は樹脂封止後の樹脂封止
部12に生じた樹脂ばりである。この例では隣接する樹脂
封止部12の間にエアベント部を設け、各樹脂封止部12の
対向壁面間に樹脂ばり18が生じるようにしている。
ムバー、16はリードである。18は樹脂封止後の樹脂封止
部12に生じた樹脂ばりである。この例では隣接する樹脂
封止部12の間にエアベント部を設け、各樹脂封止部12の
対向壁面間に樹脂ばり18が生じるようにしている。
(発明が解決しようとする課題) 上記の第5図に示す樹脂ばりを除去する場合、従来は
リードフレーム10のダムバーをカットする際に、同時に
樹脂ばり18を除去しており、リードフレーム10面に垂直
にパンチを入れて樹脂ばり18を除去するようにしてい
る。
リードフレーム10のダムバーをカットする際に、同時に
樹脂ばり18を除去しており、リードフレーム10面に垂直
にパンチを入れて樹脂ばり18を除去するようにしてい
る。
しかし、上記の樹脂ばり18は薄いためパンチを入れて
もパンチと樹脂封止部12の間の隙間(約0.05mm)にばり
がはいり込んでしまうだけで、的確に樹脂ばり18が除去
できないといった問題点があった。すなわち、樹脂ばり
18が薄いため柔軟性が生じ、ある程度の厚みのあるばり
の場合にはパンチで割って除去できるものが通常の方法
では除去できなくなっている。
もパンチと樹脂封止部12の間の隙間(約0.05mm)にばり
がはいり込んでしまうだけで、的確に樹脂ばり18が除去
できないといった問題点があった。すなわち、樹脂ばり
18が薄いため柔軟性が生じ、ある程度の厚みのあるばり
の場合にはパンチで割って除去できるものが通常の方法
では除去できなくなっている。
そこで、本発明は上記問題点を解消すべくなされたも
のであり、その目的とするところは、樹脂封止後に樹脂
封止部に生じた薄ばりを的確に除去することのできる樹
脂封止製品の薄ばり除去方法およびこれを用いた薄ばり
除去装置を提供するにある。
のであり、その目的とするところは、樹脂封止後に樹脂
封止部に生じた薄ばりを的確に除去することのできる樹
脂封止製品の薄ばり除去方法およびこれを用いた薄ばり
除去装置を提供するにある。
(課題を解決するための手段) 本発明は上記目的を達成するため次の構成をそなえ
る。
る。
すなわち、樹脂封止部が一方向に所定間隔をあけて連
なって配置され、樹脂封止時に金型のパーティング面で
生じた薄ばりが隣接する樹脂封止部の対向する側壁に付
着した樹脂封止品から前記薄ばりを削除する樹脂封止部
の薄ばり除去方法において、ばり削除用のパンチとし
て、前記隣接する樹脂封止部の側壁間間隔の刃幅に形成
された刃を有するパンチを使用し、隣接する樹脂封止部
の側壁間に前記パンチの刃を配置し、前記樹脂封止部の
側壁に付着する薄ばりの付着基部に沿って、薄ばりが付
着する長手方向に刃を動かして隣接する樹脂封止部の双
方の側壁から張り出している薄ばりを同時に除去するこ
とを特徴とする。
なって配置され、樹脂封止時に金型のパーティング面で
生じた薄ばりが隣接する樹脂封止部の対向する側壁に付
着した樹脂封止品から前記薄ばりを削除する樹脂封止部
の薄ばり除去方法において、ばり削除用のパンチとし
て、前記隣接する樹脂封止部の側壁間間隔の刃幅に形成
された刃を有するパンチを使用し、隣接する樹脂封止部
の側壁間に前記パンチの刃を配置し、前記樹脂封止部の
側壁に付着する薄ばりの付着基部に沿って、薄ばりが付
着する長手方向に刃を動かして隣接する樹脂封止部の双
方の側壁から張り出している薄ばりを同時に除去するこ
とを特徴とする。
また、薄ばり除去装置において、リードフレーム等の
インサート材が樹脂封止され一方向に所定間隔をあけて
連なるように樹脂封止部が形成され、樹脂封止時に金型
のパーティング面で生じた薄ばりが隣接する樹脂封止部
の対向する側壁に付着した樹脂封止品を樹脂封止部が連
なる方向と同方向に位置決めして移動させる移動機構
と、隣接する樹脂封止部の側壁間間隔の刃幅に形成され
た刃を有する薄ばり削除用のパンチと、前記移動機構に
より、前記樹隣接する樹脂封止部の側壁間に前記パンチ
の刃を位置合わせした状態で、前記パンチの刃を樹脂封
止部の側壁に付着する薄ばりの付着基部に沿って前記移
動機構による前記樹脂封止品の移動方向と略直交する方
向に動かして、隣接する樹脂封止部の双方の側壁から張
り出している薄ばりを同時に除去する駆動機構とを備え
たことを特徴とする。
インサート材が樹脂封止され一方向に所定間隔をあけて
連なるように樹脂封止部が形成され、樹脂封止時に金型
のパーティング面で生じた薄ばりが隣接する樹脂封止部
の対向する側壁に付着した樹脂封止品を樹脂封止部が連
なる方向と同方向に位置決めして移動させる移動機構
と、隣接する樹脂封止部の側壁間間隔の刃幅に形成され
た刃を有する薄ばり削除用のパンチと、前記移動機構に
より、前記樹隣接する樹脂封止部の側壁間に前記パンチ
の刃を位置合わせした状態で、前記パンチの刃を樹脂封
止部の側壁に付着する薄ばりの付着基部に沿って前記移
動機構による前記樹脂封止品の移動方向と略直交する方
向に動かして、隣接する樹脂封止部の双方の側壁から張
り出している薄ばりを同時に除去する駆動機構とを備え
たことを特徴とする。
(作用) 樹脂封止部に付着する薄ばりの付着基部に沿って、薄
ばりが付着する長手方向に、隣接する樹脂封止部の側壁
間間隔の刃幅に形成された刃を有するパンチを動かすこ
とによって、隣接する樹脂封止部の双方の側壁から張り
出している薄ばりを同時に除去することができる。
ばりが付着する長手方向に、隣接する樹脂封止部の側壁
間間隔の刃幅に形成された刃を有するパンチを動かすこ
とによって、隣接する樹脂封止部の双方の側壁から張り
出している薄ばりを同時に除去することができる。
薄ばり除去装置では、リードフレーム等のインサート
材を樹脂封止した樹脂封止品を移動機構によって移送し
つつ、駆動機構により前記パンチの刃を樹脂封止部の側
壁に付着する薄ばりの付着基部に沿って前記移動機構に
よる前記樹脂封止品の移動方向と略直交する方向に動か
して、隣接する樹脂封止部の双方の側壁から張り出して
いる薄ばりを同時に除去する。
材を樹脂封止した樹脂封止品を移動機構によって移送し
つつ、駆動機構により前記パンチの刃を樹脂封止部の側
壁に付着する薄ばりの付着基部に沿って前記移動機構に
よる前記樹脂封止品の移動方向と略直交する方向に動か
して、隣接する樹脂封止部の双方の側壁から張り出して
いる薄ばりを同時に除去する。
(実施例) 以下本発明の好適な実施例を添付図面に基づいて詳細
に説明する。
に説明する。
本実施例の薄ばり除去装置は第4図に示すトランジス
タ製品の樹脂ばりを除去するための装置でダムバーカッ
ト工程とは独立させて設置するものである。実施例では
ダムバーカット工程の前工程で薄ばり除去工程を入れて
いる。
タ製品の樹脂ばりを除去するための装置でダムバーカッ
ト工程とは独立させて設置するものである。実施例では
ダムバーカット工程の前工程で薄ばり除去工程を入れて
いる。
第1図は薄ばり除去装置の一実施例の平面図、第2図
は正面図、第3図は側面図を示す。
は正面図、第3図は側面図を示す。
同図で20は樹脂封止後のリードフレーム10をセットす
るセット部、30は樹脂封止後のリードフレームを移送す
る送り駆動部、40は樹脂封止部のばり取り部である。
るセット部、30は樹脂封止後のリードフレームを移送す
る送り駆動部、40は樹脂封止部のばり取り部である。
セット部20はリードフレーム10を支持するためのベー
ス21を備え、ベース21にはリードフレー10を長手方向に
移動ガイドするガイド溝22と、ベース21上でリードフレ
ーム10を位置決めするための位置決めピン23を設ける。
位置決めピン23は第2図および第3図に示すようにベー
ス21下方においてエア駆動によって出入するように設
け、リードフレーム10に設けたサイドレール部10aに設
けた透孔に嵌入してリードフレーム10を位置決めする。
ス21を備え、ベース21にはリードフレー10を長手方向に
移動ガイドするガイド溝22と、ベース21上でリードフレ
ーム10を位置決めするための位置決めピン23を設ける。
位置決めピン23は第2図および第3図に示すようにベー
ス21下方においてエア駆動によって出入するように設
け、リードフレーム10に設けたサイドレール部10aに設
けた透孔に嵌入してリードフレーム10を位置決めする。
また、ベース21のほぼ中央部には樹脂封止部から削除
された樹脂ばりを吸引する集塵機構に連通する開口部24
を設ける。開口部24は薄ばりが発生する樹脂封止部位置
で開口するよう設ける。
された樹脂ばりを吸引する集塵機構に連通する開口部24
を設ける。開口部24は薄ばりが発生する樹脂封止部位置
で開口するよう設ける。
25は前記送り駆動部30によって搬送されるリードフレ
ームを所定位置で停止させるブレーキ部である。このブ
レーキ部25は第2図に示すようにリードフレーム10をロ
ーラ25aでベース21側に押圧することによりリードフレ
ーム10にブレーキをかけるものである。
ームを所定位置で停止させるブレーキ部である。このブ
レーキ部25は第2図に示すようにリードフレーム10をロ
ーラ25aでベース21側に押圧することによりリードフレ
ーム10にブレーキをかけるものである。
送り駆動部30はベース21の側方にリードフレーム10の
送り方向と平行に設置したロッド31にヒッチレバー32を
取り付けたもので、ロッド31はエアシリンダに連結して
リードフレーム10の送り方向に平行に往復動する。ロッ
ド31の往復動範囲はリードフレーム10を間欠的に送る際
の送りピッチに相当する。
送り方向と平行に設置したロッド31にヒッチレバー32を
取り付けたもので、ロッド31はエアシリンダに連結して
リードフレーム10の送り方向に平行に往復動する。ロッ
ド31の往復動範囲はリードフレーム10を間欠的に送る際
の送りピッチに相当する。
上記ヒッチレバー32の先端にはリードフレーム10のサ
イドレール部に設けた透孔に嵌入するヒッチピン33を設
ける。ヒッチピン33はスプリングによって常時リードフ
レーム10のサイドレールの上面を押圧するよう付勢して
設けるとともに、先端が透孔に嵌入する側面三角形状に
設けて、ヒッチレバー32が前方に移動する際には透孔に
係合してリードフレーム10を前送し、ヒッチレバー32が
後方に移動する際には透孔から外れてサイドレール上を
すべるようにして元位置に戻るようにしている。すなわ
ち、ヒッチピン33はリードフレーム10を一方向に送るよ
う透孔に係合させる。
イドレール部に設けた透孔に嵌入するヒッチピン33を設
ける。ヒッチピン33はスプリングによって常時リードフ
レーム10のサイドレールの上面を押圧するよう付勢して
設けるとともに、先端が透孔に嵌入する側面三角形状に
設けて、ヒッチレバー32が前方に移動する際には透孔に
係合してリードフレーム10を前送し、ヒッチレバー32が
後方に移動する際には透孔から外れてサイドレール上を
すべるようにして元位置に戻るようにしている。すなわ
ち、ヒッチピン33はリードフレーム10を一方向に送るよ
う透孔に係合させる。
ばり取り部40は、ベース21の手前側の側方に設置した
駆動機構たる駆動シリンダ41と、駆動シリンダ41の駆動
部に取り付けたパンチ42と、集塵ダクト43とを有する。
駆動機構たる駆動シリンダ41と、駆動シリンダ41の駆動
部に取り付けたパンチ42と、集塵ダクト43とを有する。
上記パンチ42は前記トランジスタ製品の樹脂封止部12
の設置間隔に一致させ、かつ隣接する樹脂封止部12の側
壁間間隔の刃幅のくし刃状に所定厚で形成したものであ
る。実施例のパンチ42は5枚のくし刃を有する。駆動シ
リンダ41の駆動部はリードフレーム10の長手方向とは直
交する方向にパンチ42を前後動させるものである。
の設置間隔に一致させ、かつ隣接する樹脂封止部12の側
壁間間隔の刃幅のくし刃状に所定厚で形成したものであ
る。実施例のパンチ42は5枚のくし刃を有する。駆動シ
リンダ41の駆動部はリードフレーム10の長手方向とは直
交する方向にパンチ42を前後動させるものである。
続いて、上記実施例の作用について説明する。
樹脂封止されたリードフレーム10はベース21のガイド
溝22にガイドされるとともに、送り駆動部30のヒッチレ
バー32の往復動により間欠的に前送される。
溝22にガイドされるとともに、送り駆動部30のヒッチレ
バー32の往復動により間欠的に前送される。
リードフレーム10の樹脂封止部12の先頭位置がパンチ
42位置と一致する位置までリードフレーム10が移送され
ると、位置決めピン23が下方から突き上げられてサイド
レール部10aの透孔に嵌入してリードフレーム10を正規
位置に位置合わせする。
42位置と一致する位置までリードフレーム10が移送され
ると、位置決めピン23が下方から突き上げられてサイド
レール部10aの透孔に嵌入してリードフレーム10を正規
位置に位置合わせする。
リードフレーム10が位置決めされたところで、駆動シ
リンダ41が駆動されパンチ42のくし刃がリードフレーム
10の側方から樹脂封止部12間に進入する。パンチ42は樹
脂封止部12の端面から内側に向けて進入し、隣接する樹
脂封止部12間で樹脂封止時のパーティング面位置から張
り出している樹脂ばり18を削り取るようにして削除す
る。
リンダ41が駆動されパンチ42のくし刃がリードフレーム
10の側方から樹脂封止部12間に進入する。パンチ42は樹
脂封止部12の端面から内側に向けて進入し、隣接する樹
脂封止部12間で樹脂封止時のパーティング面位置から張
り出している樹脂ばり18を削り取るようにして削除す
る。
パンチ42は樹脂封止部12から張り出している樹脂ばり
18の基部をパーティングラインの線方向に刃を移動させ
て削り取るから、樹脂ばり18が薄くてもくし刃から樹脂
ばりが逃げたりせずに確実にばり除去することができ
る。
18の基部をパーティングラインの線方向に刃を移動させ
て削り取るから、樹脂ばり18が薄くてもくし刃から樹脂
ばりが逃げたりせずに確実にばり除去することができ
る。
削除された樹脂ばり18は開口部24から集塵ダクト43で
吸引されて除去される。
吸引されて除去される。
樹脂封止部12間に側方から進入したパンチ42は樹脂ば
り18を削除した後、元位置まで後退する。また、位置決
めピン23が下降してリードフレームとの係合が解除さ
れ、送り駆動部30によってリードフレーム10が前送りさ
れる。
り18を削除した後、元位置まで後退する。また、位置決
めピン23が下降してリードフレームとの係合が解除さ
れ、送り駆動部30によってリードフレーム10が前送りさ
れる。
送り駆動部30によるリードフレーム10の送り距離は、
パンチ42によるばり取りの個数に応じて設定する。実施
例では1回のばり取り操作で5個の樹脂封止部12のばり
取りを行うから、送り駆動部30は1回に樹脂封止部で5
個分だけリードフレーム10を前送する。前記ブレーキ部
25は送り駆動部30でリードフレーム10を移送する際に慣
性力でリードフレーム10が送り過ぎにならないようブレ
ーキをかけてリードフレーム10を所定位置で停止させ
る。リードフレーム10が停止したところで位置決めピン
23が突き上げられてリードフレーム10が位置決めされ、
パンチ42が側方から樹脂封止部12間に進入して樹脂ばり
18を削除する。
パンチ42によるばり取りの個数に応じて設定する。実施
例では1回のばり取り操作で5個の樹脂封止部12のばり
取りを行うから、送り駆動部30は1回に樹脂封止部で5
個分だけリードフレーム10を前送する。前記ブレーキ部
25は送り駆動部30でリードフレーム10を移送する際に慣
性力でリードフレーム10が送り過ぎにならないようブレ
ーキをかけてリードフレーム10を所定位置で停止させ
る。リードフレーム10が停止したところで位置決めピン
23が突き上げられてリードフレーム10が位置決めされ、
パンチ42が側方から樹脂封止部12間に進入して樹脂ばり
18を削除する。
こうして、リードフレーム10を間欠的に移送しつつ、
パンチ42を側方から樹脂封止品に進入させてすべての樹
脂封止部12について樹脂ばり18を除去する。
パンチ42を側方から樹脂封止品に進入させてすべての樹
脂封止部12について樹脂ばり18を除去する。
上述したように、本実施例の薄ばり除去装置は樹脂封
止部の側壁に生じる樹脂ばりを除去する際に、樹脂封止
時のパーティング面位置に沿ってパンチを移動させて樹
脂ばりを削除するから、通常のばり除去方法では除去し
にくい薄ばりであっても確実に除去できるという利点が
ある。
止部の側壁に生じる樹脂ばりを除去する際に、樹脂封止
時のパーティング面位置に沿ってパンチを移動させて樹
脂ばりを削除するから、通常のばり除去方法では除去し
にくい薄ばりであっても確実に除去できるという利点が
ある。
このようにパーティング面位置に沿ってパンチを移動
させて樹脂ばりを除去する方法は上記のトランジスタ製
品のばり取りに限らず、種々製品に適用できる。また、
エアベントを設けたことによって生じるばりに限らずパ
ーティング面位置に生じるばりについて同様に適用する
ことができる。
させて樹脂ばりを除去する方法は上記のトランジスタ製
品のばり取りに限らず、種々製品に適用できる。また、
エアベントを設けたことによって生じるばりに限らずパ
ーティング面位置に生じるばりについて同様に適用する
ことができる。
以上、本発明について好適な実施例を挙げて種々説明
したが、本発明はこの実施例に限定されるものではな
く、本発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施
し得るのはもちろんのことである。
したが、本発明はこの実施例に限定されるものではな
く、本発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施
し得るのはもちろんのことである。
(発明の効果) 本発明に係る樹脂封止部の薄ばり除去方法およびこの
方法を用いた薄ばり除去装置によれば、樹脂封止部に生
じた薄ばりの付着基部位置に沿ってパンチを動かしてば
りを除去するから、通常のばり除去方法では除去しにく
い薄ばりであっても確実にかつきれいに除去することが
できる。また、隣接する樹脂封止部の側壁間間隔の刃幅
に形成された刃を有するパンチを使用することによっ
て、隣接する樹脂封止部の双方の側壁から張り出してい
る薄ばりを容易にかつ効率的に除去することができる。
方法を用いた薄ばり除去装置によれば、樹脂封止部に生
じた薄ばりの付着基部位置に沿ってパンチを動かしてば
りを除去するから、通常のばり除去方法では除去しにく
い薄ばりであっても確実にかつきれいに除去することが
できる。また、隣接する樹脂封止部の側壁間間隔の刃幅
に形成された刃を有するパンチを使用することによっ
て、隣接する樹脂封止部の双方の側壁から張り出してい
る薄ばりを容易にかつ効率的に除去することができる。
これによって、トランジスタ製品等のように小型の樹
脂封止部を多数個設けた製品の薄ばり除去が容易にで
き、薄ばり除去作業の確実性を向上させることができて
良品生産を容易にする等の著効を奏する。
脂封止部を多数個設けた製品の薄ばり除去が容易にで
き、薄ばり除去作業の確実性を向上させることができて
良品生産を容易にする等の著効を奏する。
第1図は本発明に係る樹脂封止部の薄ばり除去装置の一
実施例を示す平面図、第2図は正面図、第3図は側面
図、第4図は樹脂封止装置の一例を示す平面図、第5図
は樹脂封止部を拡大して示す説明図である。 10……リードフレーム、10a……サイドレール部、12…
…樹脂封止部、18……樹脂ばり、20……セット部、21…
…ベース、23……位置決めピン、24……開口部、30……
送り駆動部、32……ヒッチレバー、40……ばり取り部、
41……駆動シリンダ、42……パンチ、43……集塵ダク
ト。
実施例を示す平面図、第2図は正面図、第3図は側面
図、第4図は樹脂封止装置の一例を示す平面図、第5図
は樹脂封止部を拡大して示す説明図である。 10……リードフレーム、10a……サイドレール部、12…
…樹脂封止部、18……樹脂ばり、20……セット部、21…
…ベース、23……位置決めピン、24……開口部、30……
送り駆動部、32……ヒッチレバー、40……ばり取り部、
41……駆動シリンダ、42……パンチ、43……集塵ダク
ト。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 実開 平1−74092(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B26D 1/04 B26D 5/20 B26D 7/06 H01L 21/56
Claims (2)
- 【請求項1】樹脂封止部が一方向に所定間隔をあけて連
なって配置され、樹脂封止時に金型のパーティング面で
生じた薄ばりが隣接する樹脂封止部の対向する側壁に付
着した樹脂封止品から前記薄ばりを削除する樹脂封止部
の薄ばり除去方法において、 ばり削除用のパンチとして、前記隣接する樹脂封止部の
側壁間間隔の刃幅に形成された刃を有するパンチを使用
し、 隣接する樹脂封止部の側壁間に前記パンチの刃を配置
し、前記樹脂封止部の側壁に付着する薄ばりの付着基部
に沿って、薄ばりが付着する長手方向に刃を動かして隣
接する樹脂封止部の双方の側壁から張り出している薄ば
りを同時に除去することを特徴とする樹脂封止部の薄ば
り除去方法。 - 【請求項2】リードフレーム等のインサート材が樹脂封
止され一方向に所定間隔をあけて連なるように樹脂封止
部が形成され、樹脂封止時に金型のパーティング面で生
じた薄ばりが隣接する樹脂封止部の対向する側壁に付着
した樹脂封止品を樹脂封止部が連なる方向と同方向に位
置決めして移動させる移動機構と、 隣接する樹脂封止部の側壁間間隔の刃幅に形成された刃
を有する薄ばり削除用のパンチと、 前記移動機構により、前記樹隣接する樹脂封止部の側壁
間に前記パンチの刃を位置合わせした状態で、前記パン
チの刃を樹脂封止部の側壁に付着する薄ばりの付着基部
に沿って前記移動機構による前記樹脂封止品の移動方向
と略直交する方向に動かして、隣接する樹脂封止部の双
方の側壁から張り出している薄ばりを同時に除去する駆
動機構とを備えたことを特徴とする薄ばり除去装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30761990A JP3160286B2 (ja) | 1990-11-13 | 1990-11-13 | 樹脂封止部の薄ばり除去方法及びこれを用いた薄ばり除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30761990A JP3160286B2 (ja) | 1990-11-13 | 1990-11-13 | 樹脂封止部の薄ばり除去方法及びこれを用いた薄ばり除去装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04176590A JPH04176590A (ja) | 1992-06-24 |
JP3160286B2 true JP3160286B2 (ja) | 2001-04-25 |
Family
ID=17971211
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30761990A Expired - Fee Related JP3160286B2 (ja) | 1990-11-13 | 1990-11-13 | 樹脂封止部の薄ばり除去方法及びこれを用いた薄ばり除去装置 |
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JP (1) | JP3160286B2 (ja) |
-
1990
- 1990-11-13 JP JP30761990A patent/JP3160286B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
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JPH04176590A (ja) | 1992-06-24 |
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