JP3154262B2 - 洗浄槽における整流板の構造及び基板の製造方法 - Google Patents
洗浄槽における整流板の構造及び基板の製造方法Info
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- JP3154262B2 JP3154262B2 JP08807893A JP8807893A JP3154262B2 JP 3154262 B2 JP3154262 B2 JP 3154262B2 JP 08807893 A JP08807893 A JP 08807893A JP 8807893 A JP8807893 A JP 8807893A JP 3154262 B2 JP3154262 B2 JP 3154262B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、洗浄液を使用して被洗
浄物の洗浄処理を行う際に用いられる洗浄槽において、
槽内の洗浄液の流れを整える整流板の構造及び基板の製
造方法に関するものである。
浄物の洗浄処理を行う際に用いられる洗浄槽において、
槽内の洗浄液の流れを整える整流板の構造及び基板の製
造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、薬液、溶剤、純水などの洗浄液
をオーバーフローさせながら、液中に浸した被洗浄物の
洗浄処理を行う方式としては、単純流出方式、噴出管方
式、整流板方式の３つが挙げられる。
をオーバーフローさせながら、液中に浸した被洗浄物の
洗浄処理を行う方式としては、単純流出方式、噴出管方
式、整流板方式の３つが挙げられる。
【０００３】単純流出方式は、図７（ａ）に示すように
洗浄槽１の底板２に接続した配管３から直接槽内に洗浄
液を噴き出させるようにしたものである。この方式で
は、配管３の接続部分、つまり洗浄液の噴出孔の近傍で
は大きな液流が得られるが、噴出孔から離れるにしたが
って液流が小さくなり、洗浄槽１の上層部やコーナー部
分では洗浄液の置換効率が著しく低下してしまうという
欠点があった。
洗浄槽１の底板２に接続した配管３から直接槽内に洗浄
液を噴き出させるようにしたものである。この方式で
は、配管３の接続部分、つまり洗浄液の噴出孔の近傍で
は大きな液流が得られるが、噴出孔から離れるにしたが
って液流が小さくなり、洗浄槽１の上層部やコーナー部
分では洗浄液の置換効率が著しく低下してしまうという
欠点があった。
【０００４】噴出管方式は、図７（ｂ）に示すように洗
浄槽１の底部に噴出管７を配置して、各々の噴出管７に
接続した配管３から槽内に洗浄液を供給して、噴出管７
に周壁に明けた噴出孔から洗浄液を噴き出させるように
したものである。この方式は、上述した単純流出方式の
欠点を補うために提案されたものであるが、この場合で
も槽内の液中に乱流箇所が発生して洗浄液の滞留部分が
みられ、洗浄液の置換効率としては満足できるものでは
なかった。
浄槽１の底部に噴出管７を配置して、各々の噴出管７に
接続した配管３から槽内に洗浄液を供給して、噴出管７
に周壁に明けた噴出孔から洗浄液を噴き出させるように
したものである。この方式は、上述した単純流出方式の
欠点を補うために提案されたものであるが、この場合で
も槽内の液中に乱流箇所が発生して洗浄液の滞留部分が
みられ、洗浄液の置換効率としては満足できるものでは
なかった。
【０００５】整流板方式は、図７（ｃ）に示すように洗
浄槽１の底部に整流板８を配置して、バルブ４の開閉に
より配管３から洗浄槽１に供給した洗浄液を、さらに複
数の噴出孔を有する整流板８を通して噴き出させるよう
にしたものである。この方式は、洗浄槽１に供給された
洗浄液の流れが整流板８を通すことによって層流となる
ため、洗浄液の置換効率としては上記二つの方式に比べ
てかなり高い値が得られる。なお、上記いずれの方式
も、被洗浄物の洗浄効果を上げるため、バルブ４の開閉
により配管３から供給した洗浄液を洗浄槽１の上面から
オーバーフローさせて受皿５に流し込み、そのまま配管
６を通して排水する構成になっている。
浄槽１の底部に整流板８を配置して、バルブ４の開閉に
より配管３から洗浄槽１に供給した洗浄液を、さらに複
数の噴出孔を有する整流板８を通して噴き出させるよう
にしたものである。この方式は、洗浄槽１に供給された
洗浄液の流れが整流板８を通すことによって層流となる
ため、洗浄液の置換効率としては上記二つの方式に比べ
てかなり高い値が得られる。なお、上記いずれの方式
も、被洗浄物の洗浄効果を上げるため、バルブ４の開閉
により配管３から供給した洗浄液を洗浄槽１の上面から
オーバーフローさせて受皿５に流し込み、そのまま配管
６を通して排水する構成になっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで図８に示すよ
うに、実際に被洗浄物である基板９を搬送ケース１０に
収納した状態で洗浄槽１の中に投入し、洗浄槽１の底部
に配置した整流板８を通して洗浄液を噴き出させると、
槽内の洗浄液の流れは図９に示すような状態となる。こ
こで図中の矢印は、洗浄液の流れ方向を示すとともに槽
内の各箇所における洗浄液の流速も示している。すなわ
ち、矢印の長さは洗浄液の流速に比例しており、矢印の
長さが長いほど洗浄液の流速も大きい。図から明らかな
ように、槽内に基板（被洗浄物）９を投入した状態で
は、基板９の存在によって洗浄液が洗浄槽１の側壁側に
廻り込むようになり、また基板９の表面部分を通過する
洗浄液の流速は洗浄槽１の側壁近傍を通過する洗浄液の
流速に比べて極端に小さくなる。そして、同じ基板９の
表面上でも特にその中央寄りになるほど洗浄液の流速は
小さくなる。
うに、実際に被洗浄物である基板９を搬送ケース１０に
収納した状態で洗浄槽１の中に投入し、洗浄槽１の底部
に配置した整流板８を通して洗浄液を噴き出させると、
槽内の洗浄液の流れは図９に示すような状態となる。こ
こで図中の矢印は、洗浄液の流れ方向を示すとともに槽
内の各箇所における洗浄液の流速も示している。すなわ
ち、矢印の長さは洗浄液の流速に比例しており、矢印の
長さが長いほど洗浄液の流速も大きい。図から明らかな
ように、槽内に基板（被洗浄物）９を投入した状態で
は、基板９の存在によって洗浄液が洗浄槽１の側壁側に
廻り込むようになり、また基板９の表面部分を通過する
洗浄液の流速は洗浄槽１の側壁近傍を通過する洗浄液の
流速に比べて極端に小さくなる。そして、同じ基板９の
表面上でも特にその中央寄りになるほど洗浄液の流速は
小さくなる。
【０００７】そこで従来では、整流板８に明けられる噴
出孔８ａ（図８参照）の大きさや形状を板上の各箇所で
変えることで槽内における洗浄液の流速を調整してい
た。すなわち、基板９の真下に位置する部分では噴出孔
８ａの形状を例えば長孔にして孔径を大きく設定し、そ
の周辺部分では噴出孔８ａの形状を丸穴にして孔径を小
さく設定していた。これにより、槽内の洗浄液の流速は
基板９の真下に位置する箇所が最も大きくなるため、実
際に基板９を投入した状態では基板９が抵抗となって槽
内の洗浄液の流れはほぼ均一になる。
出孔８ａ（図８参照）の大きさや形状を板上の各箇所で
変えることで槽内における洗浄液の流速を調整してい
た。すなわち、基板９の真下に位置する部分では噴出孔
８ａの形状を例えば長孔にして孔径を大きく設定し、そ
の周辺部分では噴出孔８ａの形状を丸穴にして孔径を小
さく設定していた。これにより、槽内の洗浄液の流速は
基板９の真下に位置する箇所が最も大きくなるため、実
際に基板９を投入した状態では基板９が抵抗となって槽
内の洗浄液の流れはほぼ均一になる。
【０００８】しかしながら、一般に整流板８の素材とし
ては不純物の析出がなくしかも耐薬品性、耐熱性に優れ
た石英が採用されるため、現状では石英板への孔加工の
難しさから整流板８の製作にかなりの時間とコストを費
やすことになり、これに加えて噴出孔８ａの相互ピッチ
をあまり小さく設定すると孔明け加工の段階で整流板８
に割れや欠けなどが発生するため、実際の洗浄処理の中
で整流板８から密に洗浄液を噴き出させることは非常に
困難とされていた。このため従来の整流板８では、洗浄
槽１における洗浄液の流れとして最適な流速分布（後
述）を得ることができず、これが洗浄液の置換効率や被
洗浄物に対する洗浄効果の向上を図るうえで大きな障害
になっていた。
ては不純物の析出がなくしかも耐薬品性、耐熱性に優れ
た石英が採用されるため、現状では石英板への孔加工の
難しさから整流板８の製作にかなりの時間とコストを費
やすことになり、これに加えて噴出孔８ａの相互ピッチ
をあまり小さく設定すると孔明け加工の段階で整流板８
に割れや欠けなどが発生するため、実際の洗浄処理の中
で整流板８から密に洗浄液を噴き出させることは非常に
困難とされていた。このため従来の整流板８では、洗浄
槽１における洗浄液の流れとして最適な流速分布（後
述）を得ることができず、これが洗浄液の置換効率や被
洗浄物に対する洗浄効果の向上を図るうえで大きな障害
になっていた。
【０００９】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたもので、最適な洗浄液の流速分布を容易に得ること
ができる整流板の構造及び基板の製造方法を提供するこ
とを目的とする。
れたもので、最適な洗浄液の流速分布を容易に得ること
ができる整流板の構造及び基板の製造方法を提供するこ
とを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するためになされたもので、搬送ケース内に収納され
た被洗浄物を洗浄液によって洗浄処理する際に用いられ
る洗浄槽において、洗浄槽の底部に配置されてその洗浄
槽に供給される洗浄液の流れを整える整流板の構造であ
って、所定の大きさをなす複数の球形部材を板状に敷き
詰めて配列し、球形部材の相互間に形成される孔を洗浄
液の噴出孔としたものである。
成するためになされたもので、搬送ケース内に収納され
た被洗浄物を洗浄液によって洗浄処理する際に用いられ
る洗浄槽において、洗浄槽の底部に配置されてその洗浄
槽に供給される洗浄液の流れを整える整流板の構造であ
って、所定の大きさをなす複数の球形部材を板状に敷き
詰めて配列し、球形部材の相互間に形成される孔を洗浄
液の噴出孔としたものである。
【００１１】また、本発明は、搬送ケース内に収納され
た基板を洗浄槽における洗浄液によって洗浄処理する工
程を含む基板の製造方法において、洗浄槽の底部に配置
されて洗浄槽に供給される洗浄液の流れを整える整流板
の構造として、所定の大きさをなす複数の球形部材を板
状に敷き詰めて配列し、その球形部材の相互間に形成さ
れる孔を洗浄液の噴出口としたものを用いるものであ
る。
た基板を洗浄槽における洗浄液によって洗浄処理する工
程を含む基板の製造方法において、洗浄槽の底部に配置
されて洗浄槽に供給される洗浄液の流れを整える整流板
の構造として、所定の大きさをなす複数の球形部材を板
状に敷き詰めて配列し、その球形部材の相互間に形成さ
れる孔を洗浄液の噴出口としたものを用いるものであ
る。
【００１２】
【作用】本発明の洗浄槽における整流板の構造及び本発
明の基板の製造方法に用いれる整流板の構造では、複数
の球形部材を板状に敷き詰めて配列することにより構成
されているので、これらの球形部材の相互間に形成され
る噴出孔の孔径は球形部材の大きさに応じて可変する。
したがって、大きさの異なる球形部材を縦横又は千鳥状
に適宜配列することにより、整流板の各箇所には孔径の
異なる噴出孔が多数形成されるようになるため、球形部
材の大きさや配列を変えるだけで被洗浄物の配置状態に
応じた最適な洗浄液の流速分布を得ることができる。
明の基板の製造方法に用いれる整流板の構造では、複数
の球形部材を板状に敷き詰めて配列することにより構成
されているので、これらの球形部材の相互間に形成され
る噴出孔の孔径は球形部材の大きさに応じて可変する。
したがって、大きさの異なる球形部材を縦横又は千鳥状
に適宜配列することにより、整流板の各箇所には孔径の
異なる噴出孔が多数形成されるようになるため、球形部
材の大きさや配列を変えるだけで被洗浄物の配置状態に
応じた最適な洗浄液の流速分布を得ることができる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら詳細に説明する。図１は本発明に係わる整流板の
一実施例を示す平面図である。本実施例の整流板１１
は、図示せぬ洗浄槽の底部に配置されてその洗浄槽に供
給される洗浄液の流れを整えるものであり、全体的には
所定の大きさをなす複数の球形部材１２によって構成さ
れている。そして、これら複数の球形部材１２は板状に
敷き詰めて配列されており、この配列状態で球形部材１
２の相互間に形成される孔を洗浄液の噴出孔１３として
いる。
ながら詳細に説明する。図１は本発明に係わる整流板の
一実施例を示す平面図である。本実施例の整流板１１
は、図示せぬ洗浄槽の底部に配置されてその洗浄槽に供
給される洗浄液の流れを整えるものであり、全体的には
所定の大きさをなす複数の球形部材１２によって構成さ
れている。そして、これら複数の球形部材１２は板状に
敷き詰めて配列されており、この配列状態で球形部材１
２の相互間に形成される孔を洗浄液の噴出孔１３として
いる。
【００１４】また本実施例では、整流板１１を構成する
球形部材１２に、不純物の析出がなくしかも耐薬品性、
耐熱性に優れた素材として石英球を採用している。そし
て、球形部材１２同士の接合手段としては、洗浄液の汚
染源となり得る接着剤等を使用することなく、所定の平
面状態に配列した複数の球形部材１２に対し、横方向か
ら適度な圧力を加えながら加熱処理を施すことで、球面
部分の溶着作用により球形部材１２同士を接合してい
る。
球形部材１２に、不純物の析出がなくしかも耐薬品性、
耐熱性に優れた素材として石英球を採用している。そし
て、球形部材１２同士の接合手段としては、洗浄液の汚
染源となり得る接着剤等を使用することなく、所定の平
面状態に配列した複数の球形部材１２に対し、横方向か
ら適度な圧力を加えながら加熱処理を施すことで、球面
部分の溶着作用により球形部材１２同士を接合してい
る。
【００１５】ここで、参考までに球形部材１２の大きさ
の違いによる開孔率の格差について説明しておく。ここ
では開孔率の算出例として、図２（ａ）〜（ｃ）に示す
ように、Ｌ＝１５ｍｍ四方の枠内にそれぞれΦ＝５ｍ
ｍ、７．５ｍｍ、１５ｍｍの球形部材１２を敷き詰めて
配列した場合について述べる。これらの各寸法を数値パ
ラメータとして開孔率の算出式に当てはめると、いずれ
の場合も開孔率は２１．５％と算出される。ところが、
同じ開孔率でも球形部材１２の直径が大きくなる程、噴
出孔１３の孔径は大きくなり反対にその数は減少する。
つまり、ここで留意すべき点は、球形部材１２の大きさ
を変えるだけで噴出孔１３の数や大きさを自由に可変で
きるという点である。
の違いによる開孔率の格差について説明しておく。ここ
では開孔率の算出例として、図２（ａ）〜（ｃ）に示す
ように、Ｌ＝１５ｍｍ四方の枠内にそれぞれΦ＝５ｍ
ｍ、７．５ｍｍ、１５ｍｍの球形部材１２を敷き詰めて
配列した場合について述べる。これらの各寸法を数値パ
ラメータとして開孔率の算出式に当てはめると、いずれ
の場合も開孔率は２１．５％と算出される。ところが、
同じ開孔率でも球形部材１２の直径が大きくなる程、噴
出孔１３の孔径は大きくなり反対にその数は減少する。
つまり、ここで留意すべき点は、球形部材１２の大きさ
を変えるだけで噴出孔１３の数や大きさを自由に可変で
きるという点である。
【００１６】ところで、上記従来例でも説明したよう
に、洗浄槽の中に被洗浄物（本例では基板）を投入する
と基板の表面を流れる洗浄液の流速が周辺部分に比べて
小さくなり、特に基板の中央寄りではその傾向が顕著に
現れる。よって、最適な洗浄液の流速分布としては、図
３に示すように基板９の中央部分に向かう箇所が流速が
最も大きく、そこから周辺にいくほど流速が小さくなる
ような状態が望ましい。
に、洗浄槽の中に被洗浄物（本例では基板）を投入する
と基板の表面を流れる洗浄液の流速が周辺部分に比べて
小さくなり、特に基板の中央寄りではその傾向が顕著に
現れる。よって、最適な洗浄液の流速分布としては、図
３に示すように基板９の中央部分に向かう箇所が流速が
最も大きく、そこから周辺にいくほど流速が小さくなる
ような状態が望ましい。
【００１７】これを踏まえて図１に示す整流板１１の構
成を見てみると、洗浄槽に投入される基板の中央部分に
あたる箇所には最も大きな球形部材１２が配置されてお
り、そこから周辺にいくほど段階的に球形部材１２の球
径が小さくなっている。また、こうした球形部材１１の
配列によって噴出孔１３の孔径は上述した基板の中央部
分にあたる箇所が最も大きくそこから段階的に小さくな
るため、実際の洗浄処理では基板の中央部分に近い箇所
ほど洗浄液の流速が大きくなる。このように本実施例の
整流板１１においては、大きさの異なる複数の球形部材
１２を槽内における被洗浄物の配置状態に応じて適宜配
列することにより、洗浄槽での洗浄液の流速分布として
は上述の図３に示すような最適な分布状態を容易に得る
ことができる。
成を見てみると、洗浄槽に投入される基板の中央部分に
あたる箇所には最も大きな球形部材１２が配置されてお
り、そこから周辺にいくほど段階的に球形部材１２の球
径が小さくなっている。また、こうした球形部材１１の
配列によって噴出孔１３の孔径は上述した基板の中央部
分にあたる箇所が最も大きくそこから段階的に小さくな
るため、実際の洗浄処理では基板の中央部分に近い箇所
ほど洗浄液の流速が大きくなる。このように本実施例の
整流板１１においては、大きさの異なる複数の球形部材
１２を槽内における被洗浄物の配置状態に応じて適宜配
列することにより、洗浄槽での洗浄液の流速分布として
は上述の図３に示すような最適な分布状態を容易に得る
ことができる。
【００１８】また、球形部材１２の配列の仕方について
も、単に縦横に並べるだけでなく、例えば図４（ａ）に
示すように球形部材１２を千鳥状に配列したり、或いは
図１、図４（ｂ）に示すように大きさの異なる球形部材
１２を混合して縦横または千鳥状に配列すれば、洗浄液
の流速を一層細かく調整することが可能となる。こうし
た種々の配列状態を採用した整流板１１の構成を図５に
示す。
も、単に縦横に並べるだけでなく、例えば図４（ａ）に
示すように球形部材１２を千鳥状に配列したり、或いは
図１、図４（ｂ）に示すように大きさの異なる球形部材
１２を混合して縦横または千鳥状に配列すれば、洗浄液
の流速を一層細かく調整することが可能となる。こうし
た種々の配列状態を採用した整流板１１の構成を図５に
示す。
【００１９】さらに、上記実施例では３種類程度の球形
部材１２を組み合わせて配列しているが、大きさの異な
る球形部材１２を多種類組み合わせたり、それらの配列
状態を場所によって変えたりすることにより、被洗浄物
である基板の大きさや配置状態に対応してさらにきめ細
かく洗浄液の流速を調整することが可能であり、またそ
の実施も非常に容易である。
部材１２を組み合わせて配列しているが、大きさの異な
る球形部材１２を多種類組み合わせたり、それらの配列
状態を場所によって変えたりすることにより、被洗浄物
である基板の大きさや配置状態に対応してさらにきめ細
かく洗浄液の流速を調整することが可能であり、またそ
の実施も非常に容易である。
【００２０】加えて、従来の整流板８では図６（ａ）に
示すように噴出孔８ａを通過した部分で洗浄液の巻き込
み（矢印で示す）が顕著に見られたが、本実施例の整流
板１１を採用すれば図６（ｂ）に示すように洗浄液が球
形部材１２の球面に沿ってスムースに流れ出るようにな
るため、従来に比べて洗浄液の巻き込みを大幅に低減す
ることができる。
示すように噴出孔８ａを通過した部分で洗浄液の巻き込
み（矢印で示す）が顕著に見られたが、本実施例の整流
板１１を採用すれば図６（ｂ）に示すように洗浄液が球
形部材１２の球面に沿ってスムースに流れ出るようにな
るため、従来に比べて洗浄液の巻き込みを大幅に低減す
ることができる。
【００２１】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
整流板自体が複数の球形部材によって構成されているの
で、球形部材の大きさや配列状態を変えるだけで噴出孔
の数や孔径を自由に可変することができる。したがっ
て、球形部材の大きさや配列を被洗浄物の配置状態に応
じて適宜設定することにより、最適な洗浄液の流速分布
を容易に得ることができ、これによって洗浄液の置換効
率の向上、並びに被洗浄物に対する洗浄効果の向上が図
られる。
整流板自体が複数の球形部材によって構成されているの
で、球形部材の大きさや配列状態を変えるだけで噴出孔
の数や孔径を自由に可変することができる。したがっ
て、球形部材の大きさや配列を被洗浄物の配置状態に応
じて適宜設定することにより、最適な洗浄液の流速分布
を容易に得ることができ、これによって洗浄液の置換効
率の向上、並びに被洗浄物に対する洗浄効果の向上が図
られる。
【００２２】また本発明においては、洗浄液の噴出孔が
球形部材の球面で形成されているため、洗浄槽に供給さ
れる洗浄液は球形部材の球面に沿ってスムースに槽内に
流れ出るようになり、これによって整流板の噴出部分で
は従来よりも洗浄液の巻き込みが低減されることから、
さらなる洗浄液の置換効率の向上、並びに被洗浄物に対
する洗浄効果の向上が期待できる。
球形部材の球面で形成されているため、洗浄槽に供給さ
れる洗浄液は球形部材の球面に沿ってスムースに槽内に
流れ出るようになり、これによって整流板の噴出部分で
は従来よりも洗浄液の巻き込みが低減されることから、
さらなる洗浄液の置換効率の向上、並びに被洗浄物に対
する洗浄効果の向上が期待できる。
【図１】本発明に係わる整流板の一実施例を示す平面図
である。
である。
【図２】開孔率の算出例を説明するための図である。
【図３】最適な洗浄液の流速分布を説明する図である。
【図４】球形部材の配列状態を説明する図である。
【図５】整流板の他の実施態様を示す平面図である。
【図６】噴出孔からの洗浄液の流れを説明する図であ
る。
る。
【図７】洗浄方式の代表的な例を説明する図である。
【図８】従来の整流板方式の組込状態を示す斜視図であ
る。
る。
【図９】従来例における洗浄液の流れを説明するための
模式図である。
模式図である。
１１ 整流板 １２ 球形部材 １３ 噴出孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−57624（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−103645（ＪＰ，Ｕ) 実開 平５−95042（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/304 642 B08B 3/04 F15D 1/02
Claims (5)
- 【請求項１】 搬送ケース内に収納された被洗浄物を洗
浄液によって洗浄処理する際に用いられる洗浄槽におい
て、 前記洗浄槽の底部に配置されて前記洗浄槽に供給される
洗浄液の流れを整える整流板の構造であって、 所定の大きさをなす複数の球形部材を板状に敷き詰めて
配列し、前記球形部材の相互間に形成される孔を洗浄液
の噴出孔としたことを特徴とする洗浄槽における整流板
の構造。 - 【請求項２】 球形部材を千鳥状に配列したことを特徴
とする請求項１記載の洗浄槽における整流板の構造。 - 【請求項３】 大きさの異なる球形部材を混合して配列
したことを特徴とする請求項１記載の洗浄槽における整
流板の構造。 - 【請求項４】 球形部材を石英球で構成したことを特徴
とする請求項１記載の洗浄槽における整流板の構造。 - 【請求項５】 搬送ケース内に収納された基板を洗浄槽
における洗浄液によって洗浄処理する工程を含む基板の
製造方法において、 前記洗浄槽の底部に配置されて前記洗浄槽に供給される
洗浄液の流れを整える整流板の構造として、所定の大き
さをなす複数の球形部材を板状に敷き詰めて配列し、前
記球形部材の相互間に形成される孔を洗浄液の噴出口と
したものを用いることを特徴とする基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08807893A JP3154262B2 (ja) | 1993-03-23 | 1993-03-23 | 洗浄槽における整流板の構造及び基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08807893A JP3154262B2 (ja) | 1993-03-23 | 1993-03-23 | 洗浄槽における整流板の構造及び基板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06275595A JPH06275595A (ja) | 1994-09-30 |
| JP3154262B2 true JP3154262B2 (ja) | 2001-04-09 |
Family
ID=13932835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08807893A Expired - Fee Related JP3154262B2 (ja) | 1993-03-23 | 1993-03-23 | 洗浄槽における整流板の構造及び基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3154262B2 (ja) |
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1993
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