JP3350205B2 - 超音波洗浄ノズル - Google Patents
超音波洗浄ノズルInfo
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- JP3350205B2 JP3350205B2 JP2409294A JP2409294A JP3350205B2 JP 3350205 B2 JP3350205 B2 JP 3350205B2 JP 2409294 A JP2409294 A JP 2409294A JP 2409294 A JP2409294 A JP 2409294A JP 3350205 B2 JP3350205 B2 JP 3350205B2
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- Japan
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- cleaning liquid
- ultrasonic
- cleaning
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- flow
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- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は被洗浄物に付着した塵
埃（微粒子）を洗浄する洗浄液に超音波振動を付与する
ための超音波振動ノズルに関する。
埃（微粒子）を洗浄する洗浄液に超音波振動を付与する
ための超音波振動ノズルに関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば液晶表示装置や半導体装置の製
造工程においては、被洗浄物としての液晶用ガラス基板
や半導体ウエハを高い清浄度で洗浄することが要求され
る工程がある。このような被洗浄基板を洗浄する方式と
しては、洗浄液中に複数枚の被洗浄物を浸漬するデイッ
プ方式や被洗浄物に向けて洗浄液を噴射して一枚づつ洗
浄する枚葉方式があり、最近では高い清浄度が得られる
とともに、コスト的に有利な枚葉方式が採用されること
が多くなってきている。
造工程においては、被洗浄物としての液晶用ガラス基板
や半導体ウエハを高い清浄度で洗浄することが要求され
る工程がある。このような被洗浄基板を洗浄する方式と
しては、洗浄液中に複数枚の被洗浄物を浸漬するデイッ
プ方式や被洗浄物に向けて洗浄液を噴射して一枚づつ洗
浄する枚葉方式があり、最近では高い清浄度が得られる
とともに、コスト的に有利な枚葉方式が採用されること
が多くなってきている。
【０００３】枚葉方式の１つとして被洗浄物に噴射され
る洗浄液に振動を付与し、その振動作用によって上記被
洗浄物から微粒子を効率よく除去するようにした洗浄方
式が実用化されている。
る洗浄液に振動を付与し、その振動作用によって上記被
洗浄物から微粒子を効率よく除去するようにした洗浄方
式が実用化されている。
【０００４】このような洗浄方式においては超音波洗浄
ノズルが用いられている。この超音波洗浄ノズルには、
洗浄液が流通する流路が形成され、この流路には洗浄液
に超音波振動を付与する超音波振動子が設けられてい
る。したがって、上記流路を流通する洗浄液に超音波振
動子によって振動を付与することができる構成となって
いる。
ノズルが用いられている。この超音波洗浄ノズルには、
洗浄液が流通する流路が形成され、この流路には洗浄液
に超音波振動を付与する超音波振動子が設けられてい
る。したがって、上記流路を流通する洗浄液に超音波振
動子によって振動を付与することができる構成となって
いる。
【０００５】洗浄液に振動を付与する洗浄方式におい
て、従来は20〜50ｋＨｚ程度の超音波が用いられていた
が、最近では600 〜1.5 ＭＨｚ程度の極超音波帯域の音
波を用いる超音波洗浄が開発されている。
て、従来は20〜50ｋＨｚ程度の超音波が用いられていた
が、最近では600 〜1.5 ＭＨｚ程度の極超音波帯域の音
波を用いる超音波洗浄が開発されている。
【０００６】振動が付与された洗浄液を被洗浄物に噴射
すると、その振動の作用によって被洗浄物に付着した微
粒子の結合力が低下するため、振動を付与しない場合に
比べて洗浄効果を向上させることができる。
すると、その振動の作用によって被洗浄物に付着した微
粒子の結合力が低下するため、振動を付与しない場合に
比べて洗浄効果を向上させることができる。
【０００７】ところで、超音波振動が付与された洗浄液
によって微粒子の結合力を低下させることができても、
その微粒子を被洗浄物上から確実に流出させることがで
きなければ、その微粒子は被洗浄物上に残留してしまう
から、洗浄効果を十分に向上させることができない。
によって微粒子の結合力を低下させることができても、
その微粒子を被洗浄物上から確実に流出させることがで
きなければ、その微粒子は被洗浄物上に残留してしまう
から、洗浄効果を十分に向上させることができない。
【０００８】そこで、結合力が低下した微粒子を被洗浄
物上から確実に流出させるため、洗浄液の流量を増大さ
せるということが行われる。しかしながら、洗浄液の流
量を増大させると、超音波洗浄ノズルの流路を流通する
上記洗浄液の流れに乱れが生じ易くなる。
物上から確実に流出させるため、洗浄液の流量を増大さ
せるということが行われる。しかしながら、洗浄液の流
量を増大させると、超音波洗浄ノズルの流路を流通する
上記洗浄液の流れに乱れが生じ易くなる。
【０００９】洗浄液の流れが乱れると、その乱れによっ
て洗浄液に付与された超音波振動が打ち消され、その振
動強度が低下するということがあるため、超音波振動に
よる洗浄効果も低下するということがある。
て洗浄液に付与された超音波振動が打ち消され、その振
動強度が低下するということがあるため、超音波振動に
よる洗浄効果も低下するということがある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】このように、超音波振
動が付与された洗浄水によって被洗浄物から遊離された
微粒子を確実に流出させるために洗浄液の流量を増大さ
せると、洗浄液の流れが乱れることで洗浄液に付与され
た超音波振動の強度が低下するから、それによって洗浄
効果も低下するということがあった。
動が付与された洗浄水によって被洗浄物から遊離された
微粒子を確実に流出させるために洗浄液の流量を増大さ
せると、洗浄液の流れが乱れることで洗浄液に付与され
た超音波振動の強度が低下するから、それによって洗浄
効果も低下するということがあった。
【００１１】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、洗浄液の流量を増大させ
ても、その洗浄液に付与された超音波振動の強度が低下
することがないようにした超音波洗浄ノズルを提供する
ことにある。
で、その目的とするところは、洗浄液の流量を増大させ
ても、その洗浄液に付与された超音波振動の強度が低下
することがないようにした超音波洗浄ノズルを提供する
ことにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明は、洗浄液を流通させる流路が形成されたノ
ズル本体と、上記流路に流入する洗浄液に超音波振動を
付与する超音波振動子と、超音波振動が付与された洗浄
液を整流する整流手段とを具備したことを特徴とし、上
記整流手段は上記流路に設けることが可能であり、さら
に上記整流手段と上記超音波振動子との間にさらに整流
用メッシュを設けることも可能である。
にこの発明は、洗浄液を流通させる流路が形成されたノ
ズル本体と、上記流路に流入する洗浄液に超音波振動を
付与する超音波振動子と、超音波振動が付与された洗浄
液を整流する整流手段とを具備したことを特徴とし、上
記整流手段は上記流路に設けることが可能であり、さら
に上記整流手段と上記超音波振動子との間にさらに整流
用メッシュを設けることも可能である。
【００１３】
【作用】上記構成によれば、超音波振動が付与された洗
浄水は整流手段によって整流されて流路から流出するか
ら、流量が増大しても、その流れに乱れが生じずらい。
浄水は整流手段によって整流されて流路から流出するか
ら、流量が増大しても、その流れに乱れが生じずらい。
【００１４】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照して
説明する。図１に示す超音波洗浄ノズル１はノズル本体
２を備えている。このノズル本体２は上部ブロック３と
下部ブロック４とを接合してなり、下部ブロック４には
洗浄液Ｌの流路５が形成されている。この流路５は下部
ブロック４の上端面から下端面にゆくにしたがって幅寸
法が狭くなるよう形成されたテ−パ状をなしていて、先
端は上記下部ブロック４の下端面に開口した流出口６と
なっている。
説明する。図１に示す超音波洗浄ノズル１はノズル本体
２を備えている。このノズル本体２は上部ブロック３と
下部ブロック４とを接合してなり、下部ブロック４には
洗浄液Ｌの流路５が形成されている。この流路５は下部
ブロック４の上端面から下端面にゆくにしたがって幅寸
法が狭くなるよう形成されたテ−パ状をなしていて、先
端は上記下部ブロック４の下端面に開口した流出口６と
なっている。
【００１５】上記下部ブロック４の上部には連通路７の
一端が接続されている。この連通路７の他端は上記ノズ
ル本体２の一側面に形成された供給口８に連通してい
る。したがって、上記洗浄液Ｌは上記供給口８から供給
され、流路５を通過して流出口６から流出するようにな
っている。流出口６から流出した洗浄液Ｌは、図示しな
い被洗浄物に向けて噴出されることになる。
一端が接続されている。この連通路７の他端は上記ノズ
ル本体２の一側面に形成された供給口８に連通してい
る。したがって、上記洗浄液Ｌは上記供給口８から供給
され、流路５を通過して流出口６から流出するようにな
っている。流出口６から流出した洗浄液Ｌは、図示しな
い被洗浄物に向けて噴出されることになる。
【００１６】上記上部ブロック４の流路５の上端開口に
対応する部分は薄い金属板からなる振動板９によって閉
塞されている。つまり、振動板９は上記上部ブロック３
と下部ブロック４とによって周辺部が挟持されて設けら
れている。
対応する部分は薄い金属板からなる振動板９によって閉
塞されている。つまり、振動板９は上記上部ブロック３
と下部ブロック４とによって周辺部が挟持されて設けら
れている。
【００１７】上記振動板９の上面には超音波振動子１１
が接合固定されている。この超音波振動子１１には駆動
源１０が接続されていて、この駆動源１０からの駆動信
号によって超音波振動を発生するようになっている。超
音波振動子１１が振動すれば、振動板９も振動する。し
たがって、この振動板９の振動が上記流路５を流通する
洗浄液Ｌに付与されることになる。
が接合固定されている。この超音波振動子１１には駆動
源１０が接続されていて、この駆動源１０からの駆動信
号によって超音波振動を発生するようになっている。超
音波振動子１１が振動すれば、振動板９も振動する。し
たがって、この振動板９の振動が上記流路５を流通する
洗浄液Ｌに付与されることになる。
【００１８】上記流路５の中途部の、上記振動板９より
も下流側の部分には、整流手段としてのハニカム状の整
流体１２が設けられている。この整流体１２は細分化さ
れた多数の通孔１３を有し、これら通孔１３を洗浄液Ｌ
の流れ方向と平行にして配置されている。それによっ
て、流路５を流れる洗浄液Ｌは、上記整流体１２によっ
て整流されて流出口６から流出することになる。
も下流側の部分には、整流手段としてのハニカム状の整
流体１２が設けられている。この整流体１２は細分化さ
れた多数の通孔１３を有し、これら通孔１３を洗浄液Ｌ
の流れ方向と平行にして配置されている。それによっ
て、流路５を流れる洗浄液Ｌは、上記整流体１２によっ
て整流されて流出口６から流出することになる。
【００１９】このような構成の超音波洗浄ノズル１によ
れば、供給口８から流路５に流入し、振動板９によって
超音波振動が付与された洗浄液Ｌは、整流体１２によっ
て整流されて流出口６から流出する。そのため、洗浄液
Ｌの流量を増大させても、流出口６から流出する洗浄液
Ｌの流れに乱れが生じずらいから、洗浄液Ｌに付与され
た超音波振動の強度が低下するのが防止される。
れば、供給口８から流路５に流入し、振動板９によって
超音波振動が付与された洗浄液Ｌは、整流体１２によっ
て整流されて流出口６から流出する。そのため、洗浄液
Ｌの流量を増大させても、流出口６から流出する洗浄液
Ｌの流れに乱れが生じずらいから、洗浄液Ｌに付与され
た超音波振動の強度が低下するのが防止される。
【００２０】つまり、洗浄液Ｌに付与された超音波振動
の強度を低下させずに、洗浄液Ｌの流量を増大させるこ
とができるから、被洗浄物に付着した微粒子の結合力を
弱める作用と、その微粒子を被洗浄物上から流出させる
作用とを両立させ、洗浄効果を高めることができる。
の強度を低下させずに、洗浄液Ｌの流量を増大させるこ
とができるから、被洗浄物に付着した微粒子の結合力を
弱める作用と、その微粒子を被洗浄物上から流出させる
作用とを両立させ、洗浄効果を高めることができる。
【００２１】なお、この発明は上記一実施例に限定され
ず、種々変形可能である。たとえば、上記一実施例に示
された整流体１２の上流側に、整流体１２に形成された
通孔１３よりも目の細かいメッシュ（金網などの網状
体）を配設すれば、洗浄液Ｌをさらに乱れの少ない流れ
に整流することができるから、流量をさらに増大させる
ことが可能となる。
ず、種々変形可能である。たとえば、上記一実施例に示
された整流体１２の上流側に、整流体１２に形成された
通孔１３よりも目の細かいメッシュ（金網などの網状
体）を配設すれば、洗浄液Ｌをさらに乱れの少ない流れ
に整流することができるから、流量をさらに増大させる
ことが可能となる。
【００２２】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明は、ノズル本
体の流路に整流体を設け、上記流路に流入して超音波振
動が付与された洗浄液を上記整流体によって整流してか
ら流出させるようにした。
体の流路に整流体を設け、上記流路に流入して超音波振
動が付与された洗浄液を上記整流体によって整流してか
ら流出させるようにした。
【００２３】そのため、洗浄液の流量を増大させても、
その流れに乱れが生じて洗浄液に付与された超音波振動
の強度が低下するということがないから、被洗浄物に対
する微粒子の結合力を弱め、その微粒子を被洗浄物上か
ら確実に排出させることができる。
その流れに乱れが生じて洗浄液に付与された超音波振動
の強度が低下するということがないから、被洗浄物に対
する微粒子の結合力を弱め、その微粒子を被洗浄物上か
ら確実に排出させることができる。
【図１】この発明の一実施例の全体構成を示す縦断面
図。
図。
【図２】同じく図１のＡ−Ａ線に沿う横断面図。
２…ノズル本体、５…流路、１１…超音波振動子、１２
…整流体、Ｌ…洗浄液。
…整流体、Ｌ…洗浄液。
Claims (3)
- 【請求項１】 洗浄液を流通させる流路が形成されたノ
ズル本体と、上記流路に流入する洗浄液に超音波振動を
付与する超音波振動子と、超音波振動が付与された洗浄
液を整流する整流手段とを具備したことを特徴とする超
音波洗浄ノズル。 - 【請求項２】 上記整流手段は、上記流路に設けられて
いることを特徴とする請求項１記載の超音波洗浄ノズ
ル。 - 【請求項３】 上記整流手段と上記超音波振動子との間
にさらに整流用メッシュを設けることを特徴とする請求
項１或いは請求項２記載の超音波洗浄ノズル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2409294A JP3350205B2 (ja) | 1994-02-22 | 1994-02-22 | 超音波洗浄ノズル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2409294A JP3350205B2 (ja) | 1994-02-22 | 1994-02-22 | 超音波洗浄ノズル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07232143A JPH07232143A (ja) | 1995-09-05 |
| JP3350205B2 true JP3350205B2 (ja) | 2002-11-25 |
Family
ID=12128743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2409294A Expired - Fee Related JP3350205B2 (ja) | 1994-02-22 | 1994-02-22 | 超音波洗浄ノズル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3350205B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101407619B1 (ko) | 2014-02-13 | 2014-06-13 | 최호성 | 경사구조로 이루어진 초박형 유리기판의 메가 초음파 세정장치 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3511441B2 (ja) * | 1996-11-29 | 2004-03-29 | 忠弘 大見 | 洗浄やエッチング、現像、剥離等を含むウエット処理に用いる省液型の液体供給ノズル、ウエット処理装置及びウエット処理方法 |
| CN108717251A (zh) * | 2018-04-19 | 2018-10-30 | 德淮半导体有限公司 | 清洗装置及方法，显影系统及方法 |
| GB202016750D0 (en) * | 2020-10-22 | 2020-12-09 | Lam Res Ag | Apparatus for processing a wafer-shaped article |
-
1994
- 1994-02-22 JP JP2409294A patent/JP3350205B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101407619B1 (ko) | 2014-02-13 | 2014-06-13 | 최호성 | 경사구조로 이루어진 초박형 유리기판의 메가 초음파 세정장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07232143A (ja) | 1995-09-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070913 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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|
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