JP3152074B2 - 非破壊検査装置 - Google Patents
非破壊検査装置Info
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- JP3152074B2 JP3152074B2 JP18288394A JP18288394A JP3152074B2 JP 3152074 B2 JP3152074 B2 JP 3152074B2 JP 18288394 A JP18288394 A JP 18288394A JP 18288394 A JP18288394 A JP 18288394A JP 3152074 B2 JP3152074 B2 JP 3152074B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、非破壊検査装置に関す
る。より詳細には、本発明は、被検査物に含まれる異物
や欠陥を極めて高感度に検出でき、且つ、その検出動作
を連続的に行うことができる新規な非破壊検査装置の構
成に関する。
る。より詳細には、本発明は、被検査物に含まれる異物
や欠陥を極めて高感度に検出でき、且つ、その検出動作
を連続的に行うことができる新規な非破壊検査装置の構
成に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ、ケーブル、ワイヤ等の線
材、あるいは、航空機や宇宙機器の躯体等で使用される
金属あるいはセラミックスの板材等の部材は、それ自体
は大きな長さあるいは面積を有している一方で、極めて
微細な異物の混入や欠陥の発生が重大な障害につなが
る。従って、この種の部材に対しては厳重な品質管理が
要求される。
材、あるいは、航空機や宇宙機器の躯体等で使用される
金属あるいはセラミックスの板材等の部材は、それ自体
は大きな長さあるいは面積を有している一方で、極めて
微細な異物の混入や欠陥の発生が重大な障害につなが
る。従って、この種の部材に対しては厳重な品質管理が
要求される。
【０００３】また、例えば、信号導体、絶縁体、抗張力
体等を組み合わせて構成された信号ケーブル等では、個
々の材料の段階で試験を行うことはできても、組立後に
内部の欠陥や異物の混入を検出できる方法は知られてい
ない。従って、製造後の一部の抜取り試料による部分的
な破壊試験に頼る他はない。
体等を組み合わせて構成された信号ケーブル等では、個
々の材料の段階で試験を行うことはできても、組立後に
内部の欠陥や異物の混入を検出できる方法は知られてい
ない。従って、製造後の一部の抜取り試料による部分的
な破壊試験に頼る他はない。
【０００４】更に、この種の線材または棒材は工業的に
は連続した長尺の製品として生産され、長尺のまま使用
される。長尺部材は一般にその一部にでも欠陥があると
全体の機能に極めて深刻な影響を与えるので、生産工程
上や使用中にその全長に渡って検査を行うことが望まし
い。しかしながら、実際には、長尺材料の製造工程で全
長にわたって精度よく内部の欠陥を検出できるような能
率の高い非破壊検査手段はまだ実現されていない。
は連続した長尺の製品として生産され、長尺のまま使用
される。長尺部材は一般にその一部にでも欠陥があると
全体の機能に極めて深刻な影響を与えるので、生産工程
上や使用中にその全長に渡って検査を行うことが望まし
い。しかしながら、実際には、長尺材料の製造工程で全
長にわたって精度よく内部の欠陥を検出できるような能
率の高い非破壊検査手段はまだ実現されていない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、長尺あ
るいは大型の材料に内在する微小な異物や欠陥を効率良
く検出する手段が求められているが、実際に製品の製造
工程上でこのような要求に対応できる検査装置は開発さ
れていない。そこで、本発明は、これらの要求に答えら
れる新規な検査装置を提供することをその目的としてい
る。
るいは大型の材料に内在する微小な異物や欠陥を効率良
く検出する手段が求められているが、実際に製品の製造
工程上でこのような要求に対応できる検査装置は開発さ
れていない。そこで、本発明は、これらの要求に答えら
れる新規な検査装置を提供することをその目的としてい
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明に従う
と、磁気的に安定した検査領域を画成する磁気遮蔽容器
と、該磁気遮蔽容器により画成された検査領域内の磁界
変動をＳＱＵＩＤを用いて検出する磁気センサとを備
え、該検査領域内で移動する被検査物により生じる磁界
の変動を検出して、該被検査物に含まれる異物または欠
陥を検出するように構成されていることを特徴とする非
破壊検査装置が提供される。
と、磁気的に安定した検査領域を画成する磁気遮蔽容器
と、該磁気遮蔽容器により画成された検査領域内の磁界
変動をＳＱＵＩＤを用いて検出する磁気センサとを備
え、該検査領域内で移動する被検査物により生じる磁界
の変動を検出して、該被検査物に含まれる異物または欠
陥を検出するように構成されていることを特徴とする非
破壊検査装置が提供される。
【０００７】
【作用】本発明に係る検査装置は、被検査物に内在する
異物や欠陥により生じる微小な磁界の変化を、ＳＱＵＩ
Ｄを用いた高感度な磁気センサで検出して、非破壊で精
密な検査を迅速に行うことができる。
異物や欠陥により生じる微小な磁界の変化を、ＳＱＵＩ
Ｄを用いた高感度な磁気センサで検出して、非破壊で精
密な検査を迅速に行うことができる。
【０００８】即ち、磁気遮蔽容器により外部磁界の影響
を遮断した検査領域内に被検査物を置くと、被検査物の
磁化率に応じて磁界には変化が生じる。また、被検査物
が磁化していれば、被検査物の周囲に磁界が発生するの
で、検査領域内に被検査物が進入したときには磁界が変
化する。ここで、その被検査物に異物または欠陥が含ま
れていると、その異物または欠陥の存在により磁界の変
動に特異な変動が生じる。また、被検査物が検査領域内
で移動している場合も、被検査物中に存在する異物また
は欠陥により、磁界に特異な変動が生じる。従って、高
感度な磁気センサにより、その特異的な磁界の変動を検
出することにより、被検査物を破壊することなく迅速且
つ精密な検査を行うことができる。
を遮断した検査領域内に被検査物を置くと、被検査物の
磁化率に応じて磁界には変化が生じる。また、被検査物
が磁化していれば、被検査物の周囲に磁界が発生するの
で、検査領域内に被検査物が進入したときには磁界が変
化する。ここで、その被検査物に異物または欠陥が含ま
れていると、その異物または欠陥の存在により磁界の変
動に特異な変動が生じる。また、被検査物が検査領域内
で移動している場合も、被検査物中に存在する異物また
は欠陥により、磁界に特異な変動が生じる。従って、高
感度な磁気センサにより、その特異的な磁界の変動を検
出することにより、被検査物を破壊することなく迅速且
つ精密な検査を行うことができる。
【０００９】本発明に係る非破壊検査装置においては、
検査領域の磁界が外部磁界およびその変動により擾乱さ
れないように、磁気遮蔽機能を有する磁気遮蔽容器によ
り検査領域が画成されている。この磁気遮蔽容器は、例
えばパーマロイ等の容器として構成することができ、具
体的に後述するように、磁気遮蔽容器の形状を適切に設
計することにより、線材や板材等の長尺材料を連続的に
装入あるいは搬出することが可能になる。
検査領域の磁界が外部磁界およびその変動により擾乱さ
れないように、磁気遮蔽機能を有する磁気遮蔽容器によ
り検査領域が画成されている。この磁気遮蔽容器は、例
えばパーマロイ等の容器として構成することができ、具
体的に後述するように、磁気遮蔽容器の形状を適切に設
計することにより、線材や板材等の長尺材料を連続的に
装入あるいは搬出することが可能になる。
【００１０】尚、本発明の一実施態様に従うと、上記磁
束センサとしてのＳＱＵＩＤは、酸化物超電導薄膜によ
り形成されたものを使用することが好ましい。この種の
超電導材料は廉価な液体窒素で有効な超電導特性を発揮
するので、低いランニングコストで使用することができ
る。また、稼働中の取扱いも容易である。
束センサとしてのＳＱＵＩＤは、酸化物超電導薄膜によ
り形成されたものを使用することが好ましい。この種の
超電導材料は廉価な液体窒素で有効な超電導特性を発揮
するので、低いランニングコストで使用することができ
る。また、稼働中の取扱いも容易である。
【００１１】本発明のひとつの態様に従うと、上記磁束
センサとしてのＳＱＵＩＤを被検査物の移動方向と直角
な方向に複数配列してもよい。このような構成とするこ
とにより、幅の広い被検査物を連続的に検査することが
可能になる。また、被検査物が管材あるいは棒材の場合
は、その被検査物の周囲を複数のセンサにより包囲でき
るように構成することが望ましい。この場合は、冷却媒
体と共にセンサを収容する容器に、被検査物を通過させ
るための貫通孔を形成すればよい。
センサとしてのＳＱＵＩＤを被検査物の移動方向と直角
な方向に複数配列してもよい。このような構成とするこ
とにより、幅の広い被検査物を連続的に検査することが
可能になる。また、被検査物が管材あるいは棒材の場合
は、その被検査物の周囲を複数のセンサにより包囲でき
るように構成することが望ましい。この場合は、冷却媒
体と共にセンサを収容する容器に、被検査物を通過させ
るための貫通孔を形成すればよい。
【００１２】以下、実施例を挙げて本発明をより具体的
に説明するが、以下の開示は本発明の一実施例に過ぎ
ず、本発明の技術的範囲を何ら限定するものではない。
に説明するが、以下の開示は本発明の一実施例に過ぎ
ず、本発明の技術的範囲を何ら限定するものではない。
【００１３】
【実施例】図１は、本発明に係る検査装置の基本的な構
成を模式的に示す図である。
成を模式的に示す図である。
【００１４】同図に示すように、この検査装置は、走行
する長尺の被検査物１の走行経路に沿って配置したＳＱ
ＵＩＤを用いた磁気センサ３を、全体として筒状をなす
磁気遮蔽容器４に収容して構成されている。即ち、磁気
遮蔽容器４は、その両端に導入部４Ａと導出部４Ｂとを
備えており、線材等の長尺の被検査物を連続して装入し
また搬出することができる。尚、磁気センサ３は、ケー
ブル11を介して外部の計測装置10に接続されている。
する長尺の被検査物１の走行経路に沿って配置したＳＱ
ＵＩＤを用いた磁気センサ３を、全体として筒状をなす
磁気遮蔽容器４に収容して構成されている。即ち、磁気
遮蔽容器４は、その両端に導入部４Ａと導出部４Ｂとを
備えており、線材等の長尺の被検査物を連続して装入し
また搬出することができる。尚、磁気センサ３は、ケー
ブル11を介して外部の計測装置10に接続されている。
【００１５】図２は、図１に示した本発明に係る検査装
置で使用できるＳＱＵＩＤを用いた磁気センサの基本的
な構成を示す図である。
置で使用できるＳＱＵＩＤを用いた磁気センサの基本的
な構成を示す図である。
【００１６】ＳＱＵＩＤは単体でも磁束センサとして機
能するが、図２に示すように、電磁気的にＳＱＵＩＤと
結合した磁束トランス31を付加することにより実用上の
感度を向上させることができる。即ち、磁束トランス31
は、巻き数の少ないピックアップコイル31Ａと巻き数の
多いインプットコイル31Ｂとを結合して構成されてお
り、インプットコイル31Ｂは、ＳＱＵＩＤ32の近傍に配
置されている。尚、磁束トランス31およびＳＱＵＩＤ32
を収容した断熱容器34には、例えば液体窒素などの冷却
媒体33が満たされている。
能するが、図２に示すように、電磁気的にＳＱＵＩＤと
結合した磁束トランス31を付加することにより実用上の
感度を向上させることができる。即ち、磁束トランス31
は、巻き数の少ないピックアップコイル31Ａと巻き数の
多いインプットコイル31Ｂとを結合して構成されてお
り、インプットコイル31Ｂは、ＳＱＵＩＤ32の近傍に配
置されている。尚、磁束トランス31およびＳＱＵＩＤ32
を収容した断熱容器34には、例えば液体窒素などの冷却
媒体33が満たされている。
【００１７】更に、磁束トランス31のピックアップコイ
ルを互いに逆巻きの複数のコイルにより形成して、この
磁気センサをグラジオメータとして構成してもよい。こ
のような構成にすれば、環境磁界の変動などの、一様な
磁界の変化は打ち消され、精密な検査を実施することが
できる。
ルを互いに逆巻きの複数のコイルにより形成して、この
磁気センサをグラジオメータとして構成してもよい。こ
のような構成にすれば、環境磁界の変動などの、一様な
磁界の変化は打ち消され、精密な検査を実施することが
できる。
【００１８】図３は、図１に示した非破壊検査装置の動
作原理を説明するための模式図である。
作原理を説明するための模式図である。
【００１９】図３(a) に示すように、何らかの磁界発生
手段により発生した一様な磁界あるいは環境磁界等によ
るほぼ一様な磁界Ｂ内に被検査物が静止して存在すると
き、被検査物１の磁化または磁化率に応じて、磁界Ｂは
一定の状態で安定する。ここで、被検査物がこの磁界内
を一定の速度で移動すると、磁界は一定の状態で安定す
るか、あるいは一定の周期で定常的に変動する。更に、
図３(b) に示すように被検査物に欠陥Ｘが生じたり、図
３(c) に示すように被検査物内に異物Ｙが含まれていた
場合、欠陥Ｘまたは異物Ｙの磁化または磁化率に応じて
特異な変動を示す。これに対して、ＳＱＵＩＤを用いた
鋭敏な磁気センサは、この磁界の変動を検出して電圧信
号として出力することができる。
手段により発生した一様な磁界あるいは環境磁界等によ
るほぼ一様な磁界Ｂ内に被検査物が静止して存在すると
き、被検査物１の磁化または磁化率に応じて、磁界Ｂは
一定の状態で安定する。ここで、被検査物がこの磁界内
を一定の速度で移動すると、磁界は一定の状態で安定す
るか、あるいは一定の周期で定常的に変動する。更に、
図３(b) に示すように被検査物に欠陥Ｘが生じたり、図
３(c) に示すように被検査物内に異物Ｙが含まれていた
場合、欠陥Ｘまたは異物Ｙの磁化または磁化率に応じて
特異な変動を示す。これに対して、ＳＱＵＩＤを用いた
鋭敏な磁気センサは、この磁界の変動を検出して電圧信
号として出力することができる。
【００２０】図４は、本発明に係る検査装置の第２の構
成例を模式的に示す図である。尚、図４において、図１
と共通の構成要素には共通の参照番号を付している。
成例を模式的に示す図である。尚、図４において、図１
と共通の構成要素には共通の参照番号を付している。
【００２１】同図に示すように、この非破壊検査装置
は、図１に示した検査装置の構成に対して、更に、導入
部４Ａの直前に配置された磁界発生手段５を付加されて
いる。この磁界発生手段５は、磁気遮蔽容器４に装入さ
れる被検査物１を磁化する機能を担っている。このよう
な構成とすることにより、検査に供される被検査物を均
一に磁化することができる。この検査装置も、図２に示
した磁気センサを用いて構成することができる。
は、図１に示した検査装置の構成に対して、更に、導入
部４Ａの直前に配置された磁界発生手段５を付加されて
いる。この磁界発生手段５は、磁気遮蔽容器４に装入さ
れる被検査物１を磁化する機能を担っている。このよう
な構成とすることにより、検査に供される被検査物を均
一に磁化することができる。この検査装置も、図２に示
した磁気センサを用いて構成することができる。
【００２２】図５は、本発明に係る検査装置の第３の構
成例を模式的に示す図である。尚、図５において、図１
および図４と共通の構成要素には共通の参照番号を付し
ている。
成例を模式的に示す図である。尚、図５において、図１
および図４と共通の構成要素には共通の参照番号を付し
ている。
【００２３】同図に示すように、この検査装置は、図１
に示した検査装置の構成に対して、更に、磁気遮蔽容器
４の内部に配置された磁界発生手段２を付加されてい
る。この磁界発生手段５は磁気センサ３自身を含む検査
領域に所定の磁界を形成する。この磁界は、被検査物１
およびそれに含まれる欠陥または異物の磁化率または磁
化に応じて変化するので、被検査物１が非磁性体である
ような場合でも有効な検査を行うことができる。尚、こ
の検査装置も、図２に示した磁気センサを使用して構成
することができる。
に示した検査装置の構成に対して、更に、磁気遮蔽容器
４の内部に配置された磁界発生手段２を付加されてい
る。この磁界発生手段５は磁気センサ３自身を含む検査
領域に所定の磁界を形成する。この磁界は、被検査物１
およびそれに含まれる欠陥または異物の磁化率または磁
化に応じて変化するので、被検査物１が非磁性体である
ような場合でも有効な検査を行うことができる。尚、こ
の検査装置も、図２に示した磁気センサを使用して構成
することができる。
【００２４】尚、実際には、被検査物が磁性体である場
合には、被検査物自体が不均一に磁化されていて、欠陥
や異物が無いにもかかわらず磁気遮蔽容器内での磁界を
擾乱する場合がある。このような恐れがある場合は、磁
気遮蔽容器の導入部に被検査物を消磁する手段を設ける
ことが好ましい。一方、検査装置に設けられた磁界発生
手段が、被検査物が磁気的に飽和するまで充分に磁化し
得る性能を備えていれば消磁手段を設ける必要はない。
合には、被検査物自体が不均一に磁化されていて、欠陥
や異物が無いにもかかわらず磁気遮蔽容器内での磁界を
擾乱する場合がある。このような恐れがある場合は、磁
気遮蔽容器の導入部に被検査物を消磁する手段を設ける
ことが好ましい。一方、検査装置に設けられた磁界発生
手段が、被検査物が磁気的に飽和するまで充分に磁化し
得る性能を備えていれば消磁手段を設ける必要はない。
【００２５】図６は、図１、図４および図５に示した非
破壊検査装置で使用できる磁気センサの他の構成例を示
す図である。尚、この図は、いずれも被検査物１の進行
方向に直角な断面で示されている。
破壊検査装置で使用できる磁気センサの他の構成例を示
す図である。尚、この図は、いずれも被検査物１の進行
方向に直角な断面で示されている。
【００２６】図６(a) に示すセンサ３は、幅のある板材
の連続検査を行うために好ましく使用することができ、
板状の被検査物１の進行方向とは直角な方向に複数のＳ
ＱＵＩＤ32が配列されている。各ＳＱＵＩＤ32は、それ
ぞれ磁束トランス31を備えており、容器34内には冷却媒
体33が満たされている。このような構成により、被検査
物１である板材の全幅にわたって同時に検査ができると
共に欠陥または異物の位置または分布も検出することが
できる。
の連続検査を行うために好ましく使用することができ、
板状の被検査物１の進行方向とは直角な方向に複数のＳ
ＱＵＩＤ32が配列されている。各ＳＱＵＩＤ32は、それ
ぞれ磁束トランス31を備えており、容器34内には冷却媒
体33が満たされている。このような構成により、被検査
物１である板材の全幅にわたって同時に検査ができると
共に欠陥または異物の位置または分布も検出することが
できる。
【００２７】また、図６(b) に示すセンサは、管材また
は棒材の検査を行うための非破壊検査装置の構成例を示
す図であり、被検査物１を通過させるための通路をほぼ
中央に備えた容器34の内部に、この通路を包囲するよう
に複数のＳＱＵＩＤ32が収容されている。各ＳＱＵＩＤ
32は、それぞれ磁束トランス31を備えており、容器34内
には冷却媒体33が満たされている。
は棒材の検査を行うための非破壊検査装置の構成例を示
す図であり、被検査物１を通過させるための通路をほぼ
中央に備えた容器34の内部に、この通路を包囲するよう
に複数のＳＱＵＩＤ32が収容されている。各ＳＱＵＩＤ
32は、それぞれ磁束トランス31を備えており、容器34内
には冷却媒体33が満たされている。
【００２８】図７は、図１、図４または図５に示す非破
壊検査装置で使用することができる磁気遮蔽容器の好ま
しい構成例を示す図である。
壊検査装置で使用することができる磁気遮蔽容器の好ま
しい構成例を示す図である。
【００２９】同図に示すように、この磁気遮蔽容器40
は、実際に検査領域を画成する主要部41と、この主要部
41に対して被検査物を導入するための導入部42と、主要
部41から被検査物を導出するための導出部43とから主に
構成されている。また、この磁気遮蔽容器４は、全体に
パーマロイ層44を備えており外部磁界の内部への影響を
遮断している。
は、実際に検査領域を画成する主要部41と、この主要部
41に対して被検査物を導入するための導入部42と、主要
部41から被検査物を導出するための導出部43とから主に
構成されている。また、この磁気遮蔽容器４は、全体に
パーマロイ層44を備えており外部磁界の内部への影響を
遮断している。
【００３０】更に、この磁気遮蔽容器４の導出部43およ
び導入部42は充分長く、また、被検査物の進行経路が屈
曲するような形状を有している。従って、導出部43また
は導入部42の外側の先端から主要部41の内部、殊に主要
部41に内蔵されたセンサを直接に見通すことはできな
い。このような構成により、主要部41の内部へ被検査物
を連続的に搬入または搬出できると同時に、主要部41の
内部はほぼ完全に外部磁界から遮断される。従って、例
えば、線材の製造ラインにおいて、ライン上にこの被検
査装置を配設して連続的に稼働させることができる。
尚、の実施例では、屈曲した導入部42および導出部43の
内部で非検査物１を案内するために、複数のガイドロー
ラ45が設けられている。
び導入部42は充分長く、また、被検査物の進行経路が屈
曲するような形状を有している。従って、導出部43また
は導入部42の外側の先端から主要部41の内部、殊に主要
部41に内蔵されたセンサを直接に見通すことはできな
い。このような構成により、主要部41の内部へ被検査物
を連続的に搬入または搬出できると同時に、主要部41の
内部はほぼ完全に外部磁界から遮断される。従って、例
えば、線材の製造ラインにおいて、ライン上にこの被検
査装置を配設して連続的に稼働させることができる。
尚、の実施例では、屈曲した導入部42および導出部43の
内部で非検査物１を案内するために、複数のガイドロー
ラ45が設けられている。
【００３１】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
る非破壊検査装置は、極めて微細な欠陥あるいは異物の
検出を迅速に行うことができる。また、この装置によれ
ば、欠陥の有無だけではなく、欠陥の位置や分布の検出
もできる。従って、通常の非破壊検査用途の他、製造工
程における全量検査等にも適用することができる。
る非破壊検査装置は、極めて微細な欠陥あるいは異物の
検出を迅速に行うことができる。また、この装置によれ
ば、欠陥の有無だけではなく、欠陥の位置や分布の検出
もできる。従って、通常の非破壊検査用途の他、製造工
程における全量検査等にも適用することができる。
【００３２】また、センサであるＳＱＵＩＤを超電導臨
界温度の高い酸化物超電導材料を用いて構成することに
より、廉価で供給の安定した液体窒素を用いて検査を実
施することができる。
界温度の高い酸化物超電導材料を用いて構成することに
より、廉価で供給の安定した液体窒素を用いて検査を実
施することができる。
【図１】本発明に係る非破壊検査装置の基本的な構成を
示す図である。
示す図である。
【図２】本発明に係る非破壊検査装置において好適に使
用することができるセンサの構造を示す図である。
用することができるセンサの構造を示す図である。
【図３】本発明に係る非破壊検査装置の動作を説明する
ための図である。
ための図である。
【図４】本発明に係る非破壊検査装置の第２の構成例を
示す図である。
示す図である。
【図５】本発明に係る非破壊検査装置の第３の構成例を
示す図である。
示す図である。
【図６】本発明に係る非破壊検査装置で好適に使用でき
る磁気センサの他の構成例を示す図である。
る磁気センサの他の構成例を示す図である。
【図７】本発明に係る非破壊検査装置において好適に使
用することができる磁気遮蔽容器の具体的な構成例を示
す図である。
用することができる磁気遮蔽容器の具体的な構成例を示
す図である。
１・・・被検査物、 ２・・・磁界発生手段、 ３・・・磁気センサ、 31・・・磁束トランス、 32・・・ＳＱＵＩＤ、 33・・・冷却媒体、 34・・・断熱容器、 ４・・・磁気遮蔽容器、 41・・・主要部、 42・・・導入部、 43・・・搬出部、 44・・・パーマロイ層、 45・・・ガイドローラ、 Ｘ・・・欠陥、 Ｙ・・・異物
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 27/72 - 27/90 H05K 9/00
Claims (7)
- 【請求項１】磁気的に安定した検査領域を画成する磁気
遮蔽容器と、該磁気遮蔽容器に装入される直前に被検査
物を磁化するための磁界発生手段と、該磁気遮蔽容器に
より画成された検査領域内の磁界変動をＳＱＵＩＤを用
いて検出する磁気センサとを備え、該検査領域内で移動
する該被検査物により生じる磁界の変動を検出して、該
被検査物に含まれる異物または欠陥を検出するように構
成されていることを特徴とする非破壊検査装置。 - 【請求項２】磁気的に安定した検査領域を画成する磁気
遮蔽容器と、該磁気遮蔽容器内に所定の磁界を発生する
磁界発生手段と、該磁気遮蔽容器により画成された検査
領域内の磁界変動をＳＱＵＩＤを用いて検出する磁気セ
ンサとを備え、該検査領域内で移動する該被検査物によ
り生じる磁界の変動を検出して、該被検査物に含まれる
異物または欠陥を検出するように構成されていることを
特徴とする非破壊検査装置。 - 【請求項３】請求項１または請求項２に記載された非破
壊検査装置が、前記被検査物が前記磁気遮蔽容器に装入
される直前に該被検査物を消磁する消磁手段を備えるこ
とを特徴とする非破壊検査装置。 - 【請求項４】請求項１から請求項３までのいずれか１項
に記載された非破壊検査装置において、前記磁気遮蔽容
器が実質的に筒状の形状を有し、前記被検査物を該磁気
遮蔽容器の一端から装入し他端から搬出することによ
り、前記検査領域において該被検査物を連続的に検査す
るように構成されていることを特徴とする非破壊検査装
置。 - 【請求項５】請求項１から請求項４までのいずれか１項
に記載された非破壊検査装置において、前記被検査物の
移動方向と直角に配列された複数の前記磁気センサを備
えることを特徴とする非破壊検査装置。 - 【請求項６】請求項１から請求項５までのいずれか１項
に記載された非破壊検査装置において、前記磁気センサ
が、前記被検査物が通過できる貫通孔を備えた冷却媒体
容器に該貫通孔を包囲するように複数収容されているこ
とを特徴とする非破壊検査装置。 - 【請求項７】請求項１から請求項６までのいずれか１項
に記載された非破壊検査装置において、前記磁気遮蔽容
器が、前記検査領域を画成する主要部と、該主要部に対
して装入する際に前記被検査物を通過させる導入部と、
該主要部から搬出する際に該被検査物を通過させる導出
部とを備え、該導入部および該導出部が、それぞれ、一
端から他端を見通すことができないように屈曲した該被
検査物の進行経路を有することを特徴とする非破壊検査
装置。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP18288394A JP3152074B2 (ja) | 1993-07-12 | 1994-07-12 | 非破壊検査装置 |
Applications Claiming Priority (3)
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|---|---|---|---|
| JP5-195124 | 1993-07-12 | ||
| JP19512493 | 1993-07-12 | ||
| JP18288394A JP3152074B2 (ja) | 1993-07-12 | 1994-07-12 | 非破壊検査装置 |
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|---|---|
| JPH0777516A JPH0777516A (ja) | 1995-03-20 |
| JP3152074B2 true JP3152074B2 (ja) | 2001-04-03 |
Family
ID=26501505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18288394A Expired - Lifetime JP3152074B2 (ja) | 1993-07-12 | 1994-07-12 | 非破壊検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3152074B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009110529A1 (ja) | 2008-03-05 | 2009-09-11 | 国立大学法人 豊橋技術科学大学 | Ｓｑｕｉｄ磁気センサを用いる非破壊検査装置 |
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-
1994
- 1994-07-12 JP JP18288394A patent/JP3152074B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009110529A1 (ja) | 2008-03-05 | 2009-09-11 | 国立大学法人 豊橋技術科学大学 | Ｓｑｕｉｄ磁気センサを用いる非破壊検査装置 |
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|---|---|
| JPH0777516A (ja) | 1995-03-20 |
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