JP3148387B2 - Manufacturing method of multilayer ceramic capacitor - Google Patents

Manufacturing method of multilayer ceramic capacitor

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JP3148387B2 JP21853992A JP21853992A JP3148387B2 JP 3148387 B2 JP3148387 B2 JP 3148387B2 JP 21853992 A JP21853992 A JP 21853992A JP 21853992 A JP21853992 A JP 21853992A JP 3148387 B2 JP3148387 B2 JP 3148387B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、種々の電子機器に用い
られる積層セラミックコンデンサの製造方法に関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor used for various electronic devices.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の積層セラミックコンデンサは、ド
クターブレード工法やロール工法により、セラミック粉
末を有機バインダと混合したセラミックスラリーをセラ
ミックグリーンシート(以下、単にシートと称す)に成
形し、前記シートの上に内部電極用ペーストを印刷し
て、内部電極印刷層を形成したシートを複数枚重ね合わ
せて内部電極層を有する誘電体層を形成し、前記誘電体
層の上下に内部電極ペーストを印刷していないシートを
複数枚重ね合わせグリーンシートのみのダミー層を圧着
する方法や、セラミック粉末と有機バインダとからなる
セラミック粉末ペースト印刷を繰り返してダミー層を形
成した後に、内部電極ペースト印刷とセラミック粉末ペ
ースト印刷を交互に繰り返して誘電体層を形成し、更に
その上に、ダミー層としてセラミック粉末ペーストを繰
り返し印刷する方法により積層体を得、これを脱バイン
ダ、焼結し、端子電極を形成する等の加工を加えて製造
していた。
2. Description of the Related Art A conventional multilayer ceramic capacitor is formed by forming a ceramic slurry obtained by mixing a ceramic powder with an organic binder into a ceramic green sheet (hereinafter simply referred to as a sheet) by a doctor blade method or a roll method, and forming the sheet on the sheet. A plurality of sheets on which an internal electrode print layer is formed to form a dielectric layer having an internal electrode layer, and the internal electrode paste is printed above and below the dielectric layer. A method of bonding a dummy layer consisting of only green sheets by laminating a plurality of sheets that do not have a sheet, or a method of repeatedly printing a ceramic powder paste composed of a ceramic powder and an organic binder to form a dummy layer, and then printing an internal electrode paste and a ceramic powder paste Are alternately repeated to form a dielectric layer, and a dummy layer is further formed thereon. To obtain a laminate by a method of repeatedly printing a ceramic powder paste, which binder removal, sintering, it was prepared by adding processing such as forming the terminal electrodes.

【0003】前者のシートを積層する方法は、積層のス
ピードが速く、高能率で生産できるが、シート厚みが2
0μm以下になると、シート及びキャリアフィルムの静
電気によりシート剥離で膜割れが生じたり、ハンドリン
グ性が極度に悪くなるため、積層が困難になってしま
う。一方、スクリーン印刷による後者の方法は、印刷厚
みを容易に10μm以下とすることができるので、内部
電極ペースト印刷とセラミック粉末ペースト印刷を交互
にラミネートする誘電体層を薄くでき、誘電体層の実効
体積層当りの静電容量を大きくすることができる。しか
し、内部電極ペースト印刷とセラミック粉末ペースト印
刷とを交互にラミネートする方法で印刷を繰り返すた
め、セラミック粉末からなる印刷層による内部電極ペー
スト印刷の厚み部分に20〜50μmの段差が生じ、内
部電極パターンに沿ってセラミック割れが発生したり、
内部電極のうねりが発生し、前記段差を解消するには数
十回もの繰り返し印刷が必要となり、極端に積層のスピ
ードが遅く、生産コストが高くなってしまう欠点があっ
た。
In the former method of laminating sheets, the laminating speed is high and the production can be performed with high efficiency.
When the thickness is 0 μm or less, film cracking occurs due to sheet peeling due to static electricity of the sheet and the carrier film, and handling properties are extremely deteriorated, so that lamination becomes difficult. On the other hand, in the latter method by screen printing, since the printing thickness can be easily reduced to 10 μm or less, the dielectric layer in which the internal electrode paste printing and the ceramic powder paste printing are alternately laminated can be thinned, and the effective dielectric layer can be reduced. The capacitance per body stack can be increased. However, since the printing is repeated by a method of alternately laminating the internal electrode paste printing and the ceramic powder paste printing, a step of 20 to 50 μm is generated in a thickness portion of the internal electrode paste printing by the printing layer made of the ceramic powder, and the internal electrode pattern is formed. Ceramic cracks occur along the
The undulation of the internal electrode occurs, and several tens of times of repeated printing are required to eliminate the step, which has a disadvantage that the laminating speed is extremely slow and the production cost is increased.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】以上述べたように、本
発明は、内部電極ペースト印刷の厚み分による段差発生
という課題を解決し、生産性が良く、低コストの積層セ
ラミックコンデンサの製造方法を提供するものである。
As described above, the present invention solves the problem of the occurrence of steps due to the thickness of the internal electrode paste printing, and provides a method of manufacturing a low-cost multilayer ceramic capacitor with good productivity. To provide.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に、本発明は、二種類以上の異なる開口率を有する印刷
スクリーンを用いて、強誘電体のセラミック粉末と有機
バインダとからなるセラミック粉末ペーストを繰り返し
印刷し、第1の印刷層を形成し、さらに、該印刷層の上
面に、前記セラミック粉末ペーストと金属成分からなる
内部電極ペ−ストとを交互に繰り返し印刷し、内部電極
を有する誘電体層を形成した後、該誘電体層の上面に、
前記セラミック粉末ペーストを繰り返し印刷し、第2の
印刷層を形成して積層体を作製する工程を有することを
特徴とする積層セラミックコンデンサの製造方法を提供
するものである。
In order to solve this problem, the present invention provides a ceramic powder comprising a ferroelectric ceramic powder and an organic binder by using two or more types of printing screens having different aperture ratios. The paste is repeatedly printed to form a first printed layer. Further, the ceramic powder paste and the internal electrode paste made of a metal component are alternately and repeatedly printed on the upper surface of the printed layer to have internal electrodes. After forming the dielectric layer, on the upper surface of the dielectric layer,
It is another object of the present invention to provide a method for manufacturing a laminated ceramic capacitor, comprising a step of repeatedly printing the ceramic powder paste to form a second printed layer to produce a laminate.

【0006】[0006]

【作用】本発明の製造方法によれば、図2に示すよう
に、43%の開口率A9を有するステンレスメッシュ8
に印刷パターンをスクリーン乳剤12によって形成し、
前記ステンレスメッシュにメッキ層11を10μmの厚
さに施して、その後、不要な乳剤を溶剤で溶かして、ス
クリーン乳剤12を残すと、43%の開口率A9と10
%の開口率B10を有するステンレスメッシュの印刷ス
クリーンができる。この二種類の開口率A9と開口率B
10を持つ印刷スクリーンで積層セラミックコンデンサ
の積層体を形成すると、43%の開口率A9から供給さ
れるペーストは多く、10%の開口率B10から供給さ
れるペーストは少なくなる。この印刷スクリーンで印刷
される印刷面の端部はペーストの供給量が少ないために
薄くなり、43%の開口率A9を持つ部分はペーストの
供給量が多くなって厚くなる。この二種類の開口率を有
する印刷スクリーンを使用することにより、セラミック
粉末からなる印刷層による内部電極ペースト印刷の厚み
部分の20〜50μmの段差がなくなる。この場合、用
いられるペーストや印刷条件に応じて1スクリーン内の
異なる開口率は、二種類以上を有してもかまわない。以
上の如く、セラミック粉末ペースト印刷、及び内部電極
ペースト印刷に二種類の開口率を有する印刷スクリーン
を用いることにより、厚い部分を薄くして平坦にするこ
とができるので、内部電極ペーストの印刷厚み分の段差
も一度の印刷で解消でき、かつ段差解消のための数十回
の印刷も必要なくなるため、生産性が極めて高くなり、
生産コストが必然的に低減する。
According to the manufacturing method of the present invention, as shown in FIG. 2, a stainless mesh 8 having an opening ratio A9 of 43% is used.
A printing pattern is formed by the screen emulsion 12,
A plating layer 11 is applied to the stainless mesh to a thickness of 10 μm, and then unnecessary emulsion is dissolved with a solvent to leave the screen emulsion 12, leaving an aperture ratio A9 and 43% of 43%.
% Of the aperture screen B10. These two types of aperture ratio A9 and aperture ratio B
When the multilayer body of the multilayer ceramic capacitor is formed by using a printing screen having the number 10, the paste supplied from the aperture ratio A9 of 43% is large, and the paste supplied from the aperture ratio B10 of 10% is small. The end portion of the printing surface printed by this printing screen becomes thin because the supply amount of the paste is small, and the portion having the aperture ratio A9 of 43% becomes large because the supply amount of the paste increases. By using a printing screen having these two types of aperture ratios, a step of 20 to 50 μm in the thickness portion of the internal electrode paste printing by the printing layer made of ceramic powder is eliminated. In this case, two or more different aperture ratios in one screen may be used depending on the paste used and printing conditions. As described above, by using a printing screen having two types of aperture ratios for ceramic powder paste printing and internal electrode paste printing, a thick portion can be thinned and flattened. Can be eliminated with a single print, and dozens of prints are not required to eliminate the unevenness, resulting in extremely high productivity.
Production costs are inevitably reduced.

【0007】[0007]

【実施例】以下、実施例に基づき本発明の製造方法を詳
細に説明する。
EXAMPLES The production method of the present invention will be described in detail below with reference to examples.

【0008】鉛系ペロブスカイト誘電体粉末にエチルセ
ロソルブ、ブチルカルビトール、ブチルフタリルグリコ
ール酸ブチル等の溶剤、及びポリビニルブチラールのバ
インダと混合し、セラミック粉末ペーストを準備した。
又、内部電極用ペーストとしては、市販の銀−パラジウ
ムペーストを準備した。内部電極ペースト、及びセラミ
ック粉末ペーストの印刷スクリーンとして、図2に示す
ように、スクリーン乳剤12を残し、メッキ層11を形
成した、二種類の43%の開口率A9、10%の開口率
B10を施した#400のステンレスメッシュを使用し
た。他方、内部電極ペーストの印刷スクリーンとしても
前記二種類の開口率を有する#400のステンレスメッ
シュ8を使用した。なお、内部電極ペーストの印刷され
ていないセラミック粉末ペーストのみのダミー層5(図
1参照)にも、内部電極の印刷同様に、メッキを施した
二種類の開口率を有する#400のステンレスメッシュ
を使用した。
A ceramic powder paste was prepared by mixing a lead-based perovskite dielectric powder with a solvent such as ethyl cellosolve, butyl carbitol, or butyl butyl phthalyl glycolate, and a binder of polyvinyl butyral.
A commercially available silver-palladium paste was prepared as the internal electrode paste. As a printing screen of the internal electrode paste and the ceramic powder paste, as shown in FIG. 2, two types of 43% aperture ratios A9 and 10% aperture ratios B10 in which the screen emulsion 12 was left and the plating layer 11 was formed were formed. The applied # 400 stainless mesh was used. On the other hand, a stainless mesh # 400 having the above two types of aperture ratios was also used as a printing screen for the internal electrode paste. In addition, similarly to the printing of the internal electrode, a plated # 400 stainless mesh having two types of aperture ratios is also applied to the dummy layer 5 (see FIG. 1) only of the ceramic powder paste on which the internal electrode paste is not printed. used.

【0009】図1の(b)は、本発明の積層セラミック
コンデンサ及びその製造方法の積層工程を示す概略構成
図である。但し、図1の(b)の中の(A),(B),
(C)は、積層の順を示してある。図1の(b)の
(A)部については、ステンレス製定盤4の平滑な面上
にセラミック粉末ペーストを二種類の開口率を有する#
400のステンレスメッシュを用いて印刷し、100℃
で1分間乾燥する。なお、セラミック粉末からなる印刷
層の一層の厚みは約数μm程度で、厚くても10μm程
度である。更に、前記作業を繰り返し行い、印刷を14
回行って100〜140μm程度の厚さのダミー層5を
形成した工程を示している。次に、図1の(b)の
(B)部は、前記セラミック粉末ペーストのダミー層5
の上に厚さ約1μm程度の内部電極ペースト印刷と、厚
さ約数μm程度で厚くとも10μm程度のセラミック粉
末ペースト印刷とを交互にラミネートして、厚さ約10
00〜1200μm程度の誘電体層を形成するが、まず
内部電極ペーストを印刷し、100℃で1分間乾燥した
後、セラミック粉末ペーストをその上に印刷し、100
℃で同様に1分間乾燥する。更に、前記作業を繰り返し
行い、内部電極ペースト印刷を76回、セラミック粉末
ペースト印刷を75回行った。このようにして内部電極
印刷層6とセラミック粉末からなる印刷層7の内部電極
層を有する誘電体層を形成した工程を示す。なお、図1
の(b)の(B)部の前記の工程では、内部電極ペース
ト印刷用スクリーンとしてメッキを施した二種類の開口
率を有する#400のステンレスメッシュの印刷スクリ
ーンを使用し、セラミック粉末ペースト印刷用として、
同様メッキにより二種類の43%の開口率A、及び10
%の開口率Bを施した印刷スクリーンを使用した。前記
の工程によって部分的にセラミック粉末ペーストの吐出
量を制御するため、43%の開口率Aから供給されるペ
ーストは多く、10%の開口率Bから供給されるペース
トは少なくなり、従って前記二種類の開口率を有する印
刷スクリーンで印刷される印刷面の端部はペーストの供
給量が少ないため薄くなり、43%の開口率Aの持つ部
分は供給量が多く厚くなるため、印刷面の厚くなる両端
部はこの二種類の開口率を有する印刷スクリーンによっ
て薄くなるため平坦な印刷面となるので、内部電極の印
刷厚み分の段差を緩和して平坦な面上が可能となる。従
来の製造方法ではセラミック粉末ペースト印刷としてダ
ミー層5を形成する場合と同じ#400のステンレスメ
ッシュの印刷スクリーンを使用していたので、内部電極
の印刷厚み分の段差を緩和できずセラミック割れが発生
した。次に、図1の(b)の(C)部に示すように、も
う一度セラミック粉末ペーストを前記二種類の開口率を
有する#400のステンレスメッシュで印刷し、100
℃で1分間乾燥し、更に、前記作業を繰り返し行い、印
刷を14回行って100〜140μm程度の厚さのダミ
ー層5を形成し、約1.5mm程度の厚さの積層体を形
成した。そして、この積層体を切断して幅寸法1〜2m
m、長さ寸法2mm、厚さ1.5〜1.6mm程度のグリ
ーンチップとし、その後400℃で脱バインダを行い、
1000℃で焼成を行い、セラミック焼結体を得た。図
1の(a)に示すように、このセラミック焼結体1の内
部電極層2の露出する端面部に銀ペーストを塗布し、6
00℃で焼結して端子電極3とし、1KHzで直流1V
にて静電容量を測定した結果、表1のようになった。
FIG. 1B is a schematic structural view showing a laminating step of the multilayer ceramic capacitor of the present invention and a method of manufacturing the same. However, (A), (B),
(C) shows the order of lamination. As for the part (A) of FIG. 1B, a ceramic powder paste having two types of aperture ratios is provided on a smooth surface of a stainless steel platen 4.
Printing using stainless steel mesh of 400, 100 ° C
And dry for 1 minute. The thickness of one layer of the printing layer made of ceramic powder is about several μm, and at most about 10 μm. Further, the above operation is repeated, and printing is performed for 14 hours.
This shows a step of forming the dummy layer 5 having a thickness of about 100 to 140 μm by performing the above steps. Next, part (B) of FIG. 1B shows a dummy layer 5 of the ceramic powder paste.
An internal electrode paste print having a thickness of about 1 μm and a ceramic powder paste print having a thickness of about several μm and a thickness of at most about 10 μm are alternately laminated on top of each other.
A dielectric layer having a thickness of about 00 to 1200 μm is formed. First, an internal electrode paste is printed, dried at 100 ° C. for 1 minute, and then a ceramic powder paste is printed thereon.
Dry at 1 ° C. for 1 minute in the same manner. Further, the above operation was repeated, and the internal electrode paste printing was performed 76 times and the ceramic powder paste printing was performed 75 times. A process of forming a dielectric layer having an internal electrode layer of the internal electrode printing layer 6 and the printing layer 7 made of ceramic powder in this manner will be described. FIG.
In the above step (B) of (B), a # 400 stainless mesh printing screen having two kinds of aperture ratios plated is used as an internal electrode paste printing screen, and a ceramic powder paste printing screen is used. As
Similarly, two types of 43% aperture ratio A and 10
A printing screen with a% aperture ratio B was used. Since the discharge amount of the ceramic powder paste is partially controlled by the above-described process, the paste supplied from the opening ratio A of 43% is large, and the paste supplied from the opening ratio B of 10% is small. The edge of the printing surface printed by the printing screen having various types of aperture ratios is thin because the supply amount of the paste is small, and the portion having the aperture ratio A of 43% is large because the supply amount is large and the printing surface is thick. Since both ends are thinned by the printing screens having these two types of aperture ratios, they have a flat printing surface. Therefore, the steps corresponding to the printing thickness of the internal electrodes are alleviated, and a flat surface can be formed. In the conventional manufacturing method, the same stainless steel mesh printing screen of # 400 as used when the dummy layer 5 is formed as the ceramic powder paste printing was used. did. Next, as shown in part (C) of FIG. 1 (b), the ceramic powder paste was printed once again with the # 400 stainless mesh having the above two types of aperture ratios,
After drying at 1 ° C. for 1 minute, the above operation was repeated, and printing was performed 14 times to form a dummy layer 5 having a thickness of about 100 to 140 μm, and a laminate having a thickness of about 1.5 mm was formed. . Then, the laminate is cut to a width of 1 to 2 m.
m, a green chip having a length of 2 mm and a thickness of about 1.5 to 1.6 mm, and then removing the binder at 400 ° C.
Sintering was performed at 1000 ° C. to obtain a ceramic sintered body. As shown in FIG. 1A, a silver paste is applied to the exposed end face of the internal electrode layer 2 of the ceramic sintered body 1, and 6
Sintered at 00 ° C to form terminal electrode 3, DC 1 V at 1 KHz
Table 1 shows the results of the measurement of the capacitance.

【0010】[0010]

【表1】 [Table 1]

【0011】なお、内部電極層を有する誘電体層の内部
電極ペースト印刷用、及びセラミック粉末ペースト印刷
用の印刷スクリーンは、本発明の実施例ではメッキを施
した二種類の異なる開口率を有する印刷スクリーンを使
用したが、内部電極ペーストの印刷、及びセラミック粉
末ペーストの印刷の内部電極層を有する誘電体層のみの
形成にメッキを施した二種類の異なる開口率を有する印
刷スクリーンを使用してもよい。又、メッキに限らずエ
ッチング、金型等で開口率を部分的に変化させたものを
用いてもよい。更に、積層セラミックコンデンサに限ら
ず、多層電子部品いずれにも用いてもよい。
In the embodiment of the present invention, the printing screen for printing the internal electrode paste of the dielectric layer having the internal electrode layer and the printing screen for printing the ceramic powder paste have two types of plated apertures having different aperture ratios. Although the screen was used, the printing of the internal electrode paste and the printing of the ceramic powder paste and the formation of only the dielectric layer having the internal electrode layer having the internal electrode layer may be performed by using a printing screen having two different aperture ratios plated. Good. In addition, not limited to plating, a material in which the aperture ratio is partially changed by etching, a mold, or the like may be used. Further, the present invention is not limited to the multilayer ceramic capacitor, and may be used for any of multilayer electronic components.

【0012】[0012]

【発明の効果】以上、実施例に基づき本発明の積層セラ
ミックコンデンサ及びその製造方法について述べたよう
に、内部電極層を有する誘電体層の内部電極ペースト印
刷及びセラミック粉末ペースト印刷に二種類の開口率を
有する印刷スクリーンを使用することにより、従来、内
部電極の印刷厚み分の段差による割れの発生、内部電極
のうねり発生をなくし、一回の印刷で平坦な面上にする
ことが可能となり、生産コストも低減し、品質のよい積
層セラミックコンデンサの製造方法を提供することが可
能となる。
As described above, the multilayer ceramic capacitor and the method of manufacturing the same according to the present invention have been described based on the embodiments. As described above, two types of openings are formed in the internal electrode paste printing and the ceramic powder paste printing of the dielectric layer having the internal electrode layer. By using the printing screen having the ratio, conventionally, it is possible to eliminate the occurrence of cracks due to the step of the printing thickness of the internal electrode, the occurrence of undulation of the internal electrode, and to make a flat surface on a single printing, The production cost can be reduced, and a method of manufacturing a high-quality multilayer ceramic capacitor can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1の(a)は、セラミック焼結体に端子電極
を塗布し、焼結させた積層セラミックコンデンサの断面
図。図1の(b)は、本発明の積層セラミックコンデン
サ及びその積層工程を示す概略構成を表す断面図。
FIG. 1A is a cross-sectional view of a multilayer ceramic capacitor in which a terminal electrode is applied to a ceramic sintered body and sintered. FIG. 1B is a cross-sectional view illustrating a schematic configuration illustrating a multilayer ceramic capacitor of the present invention and a lamination process thereof.

【図2】図2の(a)は、メッキによりメッキ層を形成
した、二種類の開口率を有する#400のステンレスメ
ッシュの平面図。図2の(b)は、図2の(a)のAA
断面図。
FIG. 2A is a plan view of a # 400 stainless mesh having two types of aperture ratios, in which a plating layer is formed by plating. FIG. 2B shows AA in FIG.
Sectional view.

【符号の説明】 (A) セラミック粉末のダミー層印刷部 (B) セラミック粉末、内部電極層を有する誘電体
層印刷部 (C) セラミック粉末のダミー層印刷部 1 セラミック焼結体(誘電体層) 2 内部電極層 3 端子電極 4 ステンレス製定盤 5 ダミー層 6 内部電極印刷層 7 セラミック粉末からなる印刷層 8 ステンレスメッシュ 9 開口率A 10 開口率B 11 メッキ層 12 スクリーン乳剤
[Description of References] (A) Dummy layer printing portion of ceramic powder (B) Dielectric layer printing portion having ceramic powder and internal electrode layer (C) Dummy layer printing portion of ceramic powder 1 Ceramic sintered body (dielectric layer) 2) Internal electrode layer 3 Terminal electrode 4 Stainless steel platen 5 Dummy layer 6 Internal electrode printing layer 7 Printing layer made of ceramic powder 8 Stainless steel mesh 9 Opening ratio A 10 Opening ratio B11 Plating layer 12 Screen emulsion

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01G 4/00 - 4/40 H01G 13/00 - 13/06 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01G 4/00-4/40 H01G 13/00-13/06

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 二種類以上の異なる開口率を有する印刷
スクリーンを用いて、強誘電体のセラミック粉末と有機
バインダとからなるセラミック粉末ペーストを繰り返し
印刷し、第1の印刷層を形成し、さらに、該印刷層の上
面に、前記セラミック粉末ペーストと金属成分からなる
内部電極ペ−ストとを交互に繰り返し印刷し、内部電極
を有する誘電体層を形成した後、該誘電体層の上面に、
前記セラミック粉末ペーストを繰り返し印刷し、第2の
印刷層を形成して積層体を作製する工程を有することを
特徴とする積層セラミックコンデンサの製造方法。
1. A first printing layer is formed by repeatedly printing a ceramic powder paste comprising a ferroelectric ceramic powder and an organic binder using two or more kinds of printing screens having different aperture ratios, On the upper surface of the printing layer, the ceramic powder paste and the internal electrode paste made of a metal component are alternately and repeatedly printed to form a dielectric layer having internal electrodes, and then on the upper surface of the dielectric layer,
A method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor, comprising a step of repeatedly printing the ceramic powder paste to form a second printed layer to produce a laminate.
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