JP2002270459A - Manufacturing method for laminated ceramic electronic component - Google Patents

Manufacturing method for laminated ceramic electronic component

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JP2002270459A
JP2002270459A JP2001062226A JP2001062226A JP2002270459A JP 2002270459 A JP2002270459 A JP 2002270459A JP 2001062226 A JP2001062226 A JP 2001062226A JP 2001062226 A JP2001062226 A JP 2001062226A JP 2002270459 A JP2002270459 A JP 2002270459A
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green sheet
laminated
manufacturing
laminated green
conductor layer
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Japanese (ja)
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Masanori Ogawara
雅則 大河原
Hirotoshi Tanaka
博敏 田中
Koichi Ando
功一 安藤
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Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method for a laminated ceramic electronic component which can shorten the time needed to divide a laminated green sheet into individual chips after thermocompression bonding. SOLUTION: Parting lines 4a and 4b consisting of dotted holes, dotted recessed parts, or recessed streaks are previously formed an green sheets 2-1 to 2-3 before thermocompression bonding. After the green sheets 2-1 to 2-3 are stacked and bonded by thermocompression, the laminated green sheet 5 is divided along the parting lines 4a and 4b in the laminating direction. The laminated green sheet after the thermocompression bonding has the parting lines 4a and 4b in the lamination direction and is much less in strength where the parting lines 4a and 4b are present than at other parts, so the laminated green sheet 5 after the thermocompression bonding is applied with pressure by using a proper dividing device and can easily be divided along the parting lines 4a and 4b.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、積層セラミックコ
ンデンサ等に有用な積層セラミック電子部品の製造方法
に関する。
The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component useful for a multilayer ceramic capacitor and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】積層セラミック電子部品の1種であると
ころの同時焼成タイプ(チップと内部電極用導体層と外
部電極用導体層の焼成を同時に行うタイプ)の積層セラ
ミックコンデンサは、下記(a)〜(j)の工程を経て
製造されている。 (a)グリーンシートの形成工程:予め用意されたスラ
リーをドクターブレード法等の塗工手法によってPET
等から成るベースフィルム上に所定厚で塗工する。 (b)内部電極用導体層の形成工程:予め用意された導
体ペーストをスクリーン印刷法等の印刷手法によってグ
リーンシート上に所定厚,所定形状及び所定配列で印刷
する。 (c)積層工程:印刷後のグリーンシートを所定の単位
寸法でカットしてベースフィルムから取り出し、取り出
されたグリーンシートを必要枚数積み重ねる。 (d)圧着工程:積み重ねられたグリーンシートを仮圧
着し、さらに本圧着する。 (e)分断工程:本圧着後の積層グリーンシートを回転
ブレードや昇降ブレード等のブレードによって切断して
個々のチップに分断する。 (f)研磨工程:分断後のチップをバレル研磨機等の研
磨機に投入して、所定時間研磨する。 (g)脱バインダー工程:研磨後のチップを脱バイ炉に
投入して、所定の温度及び時間等の条件下でチップに含
まれているバインダーを除去する。 (h)外部電極用導体層の形成工程:予め用意された導
体ペーストをローラ塗布法やディップ法等の塗布手法に
よって脱バイ後のチップ両端部に所定厚及び所定形状で
塗布する。 (i)焼成工程:外部電極用導体層が形成された後のチ
ップを焼成炉に投入して、所定の温度及び時間等の条件
下でチップ,内部電極用導体層及び外部電極用導体層を
同時焼成する。 (j)メッキ工程:焼成後のチップの外部電極の表面に
電気メッキによってNi等から成る第1メッキ層と、S
nや半田等から成る第2メッキ層を形成する。
2. Description of the Related Art A multi-layer ceramic capacitor of the simultaneous firing type (a type in which a chip, a conductor layer for internal electrodes and a conductor layer for external electrodes are simultaneously fired), which is one type of multilayer ceramic electronic components, is described in the following (a). To (j). (A) Green sheet forming process: PET prepared by applying a slurry prepared in advance by a doctor blade method or the like.
Is applied to a predetermined thickness on a base film made of the same. (B) Step of forming conductor layer for internal electrode: A conductor paste prepared in advance is printed on a green sheet in a predetermined thickness, a predetermined shape and a predetermined arrangement by a printing method such as a screen printing method. (C) Laminating step: The printed green sheet is cut into a predetermined unit size, taken out of the base film, and a required number of the taken out green sheets are stacked. (D) Crimping step: The stacked green sheets are temporarily crimped, and then fully crimped. (E) Dividing step: The laminated green sheet after the final pressure bonding is cut by a blade such as a rotating blade or a lifting blade to divide it into individual chips. (F) Polishing step: The divided chips are put into a polishing machine such as a barrel polishing machine and polished for a predetermined time. (G) Binder removal step: The chip after polishing is put into a de-bubbling furnace, and the binder contained in the chip is removed under predetermined conditions such as temperature and time. (H) Step of forming conductor layer for external electrode: A conductor paste prepared in advance is applied to both ends of the chip after de-buying with a predetermined thickness and a predetermined shape by a coating method such as a roller coating method or a dipping method. (I) Firing step: The chip after the external electrode conductor layer is formed is put into a firing furnace, and the chip, the internal electrode conductor layer and the external electrode conductor layer are subjected to a predetermined temperature and time condition. Simultaneous firing. (J) plating step: a first plating layer made of Ni or the like on the surface of the external electrode of the fired chip by electroplating;
A second plating layer made of n, solder, or the like is formed.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】前記のスラリーは、一
般に、BaTiO3 系やPb系等の誘電体材料粉にバイ
ンダーと可塑剤と分散剤と溶剤等を加えてこれを撹拌,
混合することによって作られている。ちなみに、前記バ
インダーにはポリビニルブチラール樹脂やセルロース樹
脂やアクリル樹脂等が用いられ、前記可塑剤にはジオク
チルフタレートやジエチルフタレート等のエステル系可
塑剤等が用いられ、前記分散剤にはノニオン界面活性剤
やアニオン界面活性剤等が用いられ、前記溶剤にはケト
ン類や炭化水素類やアルコールやエステルやエーテルア
ルコールや塩化炭化水素類等が用いられている。
Generally, the above slurry is prepared by adding a binder, a plasticizer, a dispersant, a solvent and the like to a dielectric material powder such as BaTiO 3 or Pb and stirring the mixture.
Made by mixing. Incidentally, a polyvinyl butyral resin, a cellulose resin, an acrylic resin, or the like is used for the binder, an ester-based plasticizer such as dioctyl phthalate or diethyl phthalate is used for the plasticizer, and a nonionic surfactant is used for the dispersant. And an anionic surfactant. Ketones, hydrocarbons, alcohols, esters, ether alcohols, chlorinated hydrocarbons and the like are used as the solvent.

【0004】前記圧着工程後の積層グリーンシートには
前記のバインダーや可塑剤等が含まれシート自体に粘り
があるため、前記分断工程時に積層グリーンシートを切
断するときに回転ブレードや昇降ブレード等のブレード
にかかる負荷が大きく、この負荷の影響で切断速度を速
めることができず、分断工程に要する時間を短縮するこ
とが難しいといった不具合がある。
[0004] The laminated green sheet after the pressure bonding step contains the binder and the plasticizer and the like and has stickiness. Therefore, when the laminated green sheet is cut in the dividing step, a rotating blade, a lifting blade or the like is used. The load applied to the blade is large, and the cutting speed cannot be increased due to the influence of the load, so that it is difficult to reduce the time required for the cutting step.

【0005】前記の不具合は同時焼成タイプの積層セラ
ミックコンデンサの製造に限らず、外部電極用導体層の
形成工程(h)と外部電極用導体層の焼成を工程(i)
と工程(j)との間で行うようにした非同時焼成タイプ
(チップと内部電極用導体層の焼成と外部電極用導体層
の焼成とを別々に行うタイプ)の積層セラミックコンデ
ンサの製造や、非同時焼成タイプの積層セラミックコン
デンサと同様の製造工程を有する積層セラミックインダ
クタ等の他の積層セラミック電子部品の製造においても
同様に生じ得る。
[0005] The above problems are not limited to the production of the co-fired type multilayer ceramic capacitor. The step (h) of forming the conductor layer for external electrodes and the step (i) of firing the conductor layer for external electrodes are performed.
Production of a non-simultaneous firing type (type in which firing of the chip and the conductor layer for the internal electrode and firing of the conductor layer for the external electrode are performed separately) between the step (j) and the step (j); The same can occur in the manufacture of other multilayer ceramic electronic components such as multilayer ceramic inductors having the same manufacturing steps as non-co-fired multilayer ceramic capacitors.

【0006】本発明は前記事情に鑑みて創作されたもの
で、その目的とするところは、圧着後の積層グリーンシ
ートを個々のチップに分断する時間を短縮できる積層セ
ラミック電子部品の製造方法を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a laminated ceramic electronic component which can reduce the time required to divide a laminated green sheet after compression into individual chips. Is to do.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項1に記載の発明は、導体層が形成されたグリ
ーンシートを積み重ねて圧着する工程の後に、圧着後の
積層グリーンシートを個々のチップに分断する工程を備
えた積層セラミック電子部品の製造方法において、圧着
前のグリーンシートに点線状孔,点線状凹部または凹条
から成る分断ラインを予め形成し、グリーンシートを積
み重ねて圧着した後に積層方向に並ぶ分断ラインに沿っ
て積層グリーンシートを分割するか或いは切断して個々
のチップに分断する、ことをその特徴とする。
In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, after a step of stacking and crimping green sheets having a conductor layer formed thereon, the laminated green sheets after crimping are individually formed. In the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component provided with a step of cutting into chips, a cutting line composed of a dotted line-shaped hole, a dotted line-shaped concave portion or a concave strip is formed in a green sheet before crimping, and the green sheets are stacked and crimped. This is characterized in that the laminated green sheet is divided or cut into individual chips along a dividing line arranged in the laminating direction later.

【0008】この製造方法によれば、圧着後の積層グリ
ーンシートには前記分断ラインが積層方向に並んだ状態
となっており、分断ラインが存する部分の強度が他の部
分に比べて格段弱くなっているため、圧着後の積層グリ
ーンシートを積層方向に並ぶ分断ラインに沿って簡単に
分割或いは切断することができる。
According to this manufacturing method, the cut lines are arranged in the stacking direction in the laminated green sheet after the pressure bonding, and the strength of the portion where the cut line exists is much lower than that of the other portions. Therefore, the laminated green sheet after the pressure bonding can be easily divided or cut along the dividing lines arranged in the laminating direction.

【0009】また、請求項2に記載の発明は、導体層が
形成されたグリーンシートを積み重ねて圧着する工程の
後に、圧着後の積層グリーンシートを個々のチップに分
断する工程を備えた積層セラミック電子部品の製造方法
において、圧着前のグリーンシートに容燃材料から成る
分断ラインを予め形成し、グリーンシートを積み重ねて
圧着した後に積層グリーンシートを熱処理して分断ライ
ンの少なくとも一部を除去して分断ライン存在箇所に線
状空洞を形成し、積層グリーンシートを熱処理した後に
積層方向に並ぶ線状空洞に沿って積層グリーンシートを
分割するか或いは切断して個々のチップに分断する、こ
とをその特徴とする。
Further, the invention according to claim 2 is a multilayer ceramic comprising a step of stacking green sheets on which a conductor layer is formed and compressing them, and then dividing the laminated green sheets after compression into individual chips. In the method for manufacturing an electronic component, a cutting line made of a combustible material is formed in advance on a green sheet before pressing, and at least a part of the cutting line is removed by heat-treating the laminated green sheet after stacking and pressing the green sheets. Forming a linear cavity in the location where the dividing line exists, heat-treating the laminated green sheet, and then dividing or cutting the laminated green sheet along the linear cavity arranged in the laminating direction to separate the individual chips. Features.

【0010】この製造方法によれば、熱処理後の積層グ
リーンシートには前記線状空洞が積層方向に並んだ状態
となっており、線状空洞が存する部分の強度が他の部分
に比べて格段弱くなっているため、圧着後の積層グリー
ンシートを積層方向に並ぶ線状空洞に沿って簡単に分割
或いは切断することができる。
According to this manufacturing method, the linear cavities are arranged in the laminating direction in the laminated green sheet after the heat treatment, and the strength of the portion where the linear cavities exist is much higher than that of the other portions. Since the laminated green sheet is weakened, the laminated green sheet after the pressure bonding can be easily divided or cut along the linear cavities arranged in the laminating direction.

【0011】本発明の前記目的とそれ以外の目的と、構
成特徴と、作用効果は、以下の説明と添付図面によって
明らかとなる。
The above and other objects, constitutional features, and operational effects of the present invention will become apparent from the following description and the accompanying drawings.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】[第1実施形態]以下に、本発明
を、同時焼成タイプ(チップと内部電極用導体層と外部
電極用導体層の焼成を同時に行うタイプ)の積層セラミ
ックコンデンサの製造に適用した第1実施形態について
図1〜図8を参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [First Embodiment] The present invention is described below in connection with the manufacture of a multilayer ceramic capacitor of the simultaneous firing type (type in which the chip, the internal electrode conductor layer and the external electrode conductor layer are simultaneously fired). A first embodiment applied to the first embodiment will be described with reference to FIGS.

【0013】同時焼成タイプの積層セラミックコンデン
サを製造するときには、まず、予め用意されたスラリー
をドクターブレード法等の塗工手法によってPET等か
ら成るベースフィルム1上に所定厚で塗工してグリーン
シート2を形成する(図1参照)。前記スラリーの成分
は従来技術欄で説明したものと同様である。
When manufacturing a co-fired type multilayer ceramic capacitor, first, a slurry prepared in advance is applied to a base film 1 made of PET or the like with a predetermined thickness by a coating method such as a doctor blade method to form a green sheet. 2 (see FIG. 1). The components of the slurry are the same as those described in the section of the prior art.

【0014】次に、予め用意された導体ペーストをスク
リーン印刷法等の印刷手法によってグリーンシート2上
に所定厚,所定形状及び所定配列で印刷して内部電極用
導体層3を形成する(図1参照)。ちなみに、前記導体
ペーストは、Pd,Ag−Pd等の貴金属系またはN
i,Cu等の卑金属系の金属粉末にポリビニルブチラー
ル樹脂やセルロース樹脂やアクリル樹脂等のバインダー
等を加えてこれを撹拌,混合することによって作られて
いる。
Next, a conductor paste prepared in advance is printed in a predetermined thickness, a predetermined shape and a predetermined arrangement on the green sheet 2 by a printing method such as a screen printing method to form a conductor layer 3 for internal electrodes (FIG. 1). reference). Incidentally, the conductive paste is made of a noble metal such as Pd, Ag-Pd, or N.
It is made by adding a binder such as polyvinyl butyral resin, cellulose resin or acrylic resin to a base metal-based metal powder such as i, Cu, etc., and stirring and mixing the binder.

【0015】次に、印刷後のグリーンシート2の各導体
層3の上下両側に点線状孔,点線状凹部または凹条から
成る分断ライン4aを形成すると共に、各導体層3の中
央及び左右両側に同様の分断ライン4bを形成する(図
2参照)。また、内部電極用導体層3を形成していない
グリーンシート2にも、前記同様の分断ライン4a及び
4bを同一の上下左右間隔で形成する(図5参照)。
Next, on the upper and lower sides of each conductor layer 3 of the printed green sheet 2, a dividing line 4a composed of a dotted line hole, a dotted line concave portion or a concave line is formed. Then, a similar dividing line 4b is formed (see FIG. 2). Also, on the green sheet 2 where the internal electrode conductor layer 3 is not formed, the same dividing lines 4a and 4b as described above are formed at the same vertical, horizontal, and vertical intervals (see FIG. 5).

【0016】図2及び図5に示した分断ライン4a及び
4bは、印刷後のグリーンシート2を90度異なる2方
向に直線移動させながらグリーンシート2に向かってY
AG等のレーザビームを断続的に照射する方法、或い
は、孔,凹部または凹条に対応する凸部を備えた薄肉板
をグリーンシート2に食い込ませる方法等によって形成
されている。ちなみに、各分断ライン4a及び4bの幅
は20〜300μmである。
The dividing lines 4a and 4b shown in FIG. 2 and FIG. 5 correspond to the Y direction toward the green sheet 2 while linearly moving the printed green sheet 2 in two directions different by 90 degrees.
It is formed by a method of intermittently irradiating a laser beam such as AG or a method of making a thin sheet having a convex portion corresponding to a hole, a concave portion or a concave streak bite into the green sheet 2. Incidentally, the width of each dividing line 4a and 4b is 20 to 300 μm.

【0017】次に、分断ライン4a及び4bが形成され
た後のグリーンシート2(図2参照)を矩形枠状の刃に
よって所定の単位寸法でカットして、導体層3の配列パ
ターンが異なる2種類の印刷グリーンシート2-1及び2
-2(図3及び図4参照)をベースフィルム1から取り出
し、また、分断ライン4a及び4bが形成された後のグ
リーンシート2(図5参照)を矩形枠状の刃によって前
記と同じ単位寸法でカットして、導体層3を有しない非
印刷グリーンシート2-3(図6参照)をベースフィルム
1から取り出しながら、複数枚積み重ねられた非印刷グ
リーンシート2-3の上に印刷グリーンシート2-1及び2
-2を交互に必要枚数積み重ね、その上に複数枚の非印刷
グリーンシート2-3を積み重ねるようにしてシート積層
を行う。
Next, the green sheet 2 (see FIG. 2) after the dividing lines 4a and 4b are formed is cut into a predetermined unit size by a rectangular frame-shaped blade, so that the arrangement pattern of the conductor layers 3 is different. Types of printed green sheets 2-1 and 2
-2 (see FIGS. 3 and 4) is taken out of the base film 1, and the green sheet 2 (see FIG. 5) after the dividing lines 4a and 4b are formed is cut by a rectangular frame-shaped blade to have the same unit dimensions as described above. To remove the non-printing green sheet 2-3 having no conductor layer 3 (see FIG. 6) from the base film 1, and printing the non-printing green sheet 2-3 on the stacked non-printing green sheets 2-3. -1 and 2
-2 are stacked alternately on the required number of sheets, and a plurality of non-printing green sheets 2-3 are stacked thereon.

【0018】次に、積み重ねられたグリーンシート2-1
〜2-3を仮圧着し、さらに本圧着する。前記の仮圧着は
グリーンシート2-1〜2-3を所定枚数積み重ねる毎に実
施するようにしても構わない。図7は本圧着後の状態を
示す部分縦断面図であり、積層グリーンシート5には前
記分断ライン4a及び4b(4bは図示せず)が積層方
向に並んだ状態で存在する。
Next, the stacked green sheets 2-1
22-3 are temporarily press-bonded and then fully press-bonded. The above-mentioned temporary pressure bonding may be performed every time a predetermined number of green sheets 2-1 to 2-3 are stacked. FIG. 7 is a partial longitudinal sectional view showing a state after the final pressure bonding. In the laminated green sheet 5, the dividing lines 4a and 4b (4b are not shown) are arranged in a laminating direction.

【0019】次に、本圧着後の積層グリーンシート5
を、適当な分割装置(図示省略)、例えば、2つの回転
ローラーの間に積層グリーンシート5を挿入してローラ
ーから積層グリーンシート5の表面に圧力を加える装置
や、弾性板の上に載置された積層グリーンシート5の表
面に圧力を加える装置等を用いて、積層グリーンシート
5を個々のチップ6に分割する(図8参照)。
Next, the laminated green sheet 5 after the final pressure bonding
Is placed on a suitable splitting device (not shown), for example, a device in which the laminated green sheet 5 is inserted between two rotating rollers to apply pressure from the roller to the surface of the laminated green sheet 5, or placed on an elastic plate. The laminated green sheet 5 is divided into individual chips 6 using a device or the like that applies pressure to the surface of the laminated green sheet 5 (see FIG. 8).

【0020】先に述べたように、本圧着後の積層グリー
ンシート5には前記分断ライン4a及び4bが積層方向
に並んだ状態となっており、分断ライン4a及び4bが
存する部分の強度が他の部分に比べて格段弱くなってい
るため、前記分割装置によって積層グリーンシート5に
圧力を加えると、積層グリーンシート5は積層方向に並
ぶ分割ライン4a及び4bに沿って簡単、且つ、瞬時に
分割される。
As described above, in the laminated green sheet 5 after the final pressure bonding, the dividing lines 4a and 4b are arranged in the laminating direction, and the strength of the portion where the dividing lines 4a and 4b exist is different. When the pressure is applied to the laminated green sheet 5 by the dividing device, the laminated green sheet 5 is easily and instantly divided along the dividing lines 4a and 4b arranged in the laminating direction. Is done.

【0021】次に、分割後のチップ6をバレル研磨機等
の研磨機に投入して、所定時間研磨する。この研磨工程
では、チップ6のエッジが丸みをおびるように研磨され
ると同時に、分割面の凹凸が均されて導体層3aの端縁
が分割面に綺麗に露出する。
Next, the divided chips 6 are put into a polishing machine such as a barrel polishing machine and polished for a predetermined time. In this polishing step, the edge of the chip 6 is polished so as to be rounded, and at the same time, the unevenness of the divided surface is leveled, so that the edge of the conductor layer 3a is clearly exposed on the divided surface.

【0022】次に、研磨後のチップ6を脱バイ炉に投入
して、所定の温度及び時間等の条件下でチップ6に含ま
れているバインダーを除去する。
Next, the polished chip 6 is put into a de-bubbling furnace, and the binder contained in the chip 6 is removed under predetermined conditions such as temperature and time.

【0023】次に、予め用意された導体ペーストをロー
ラ塗布法やディップ法等の塗布手法によって脱バイ後の
チップ6の両端部に所定厚及び所定形状で塗布して外部
電極用導体層(図示省略)を形成する。ここで用いられ
る導体ペーストは内部電極用導体層3を形成する際に用
いた導体ペーストと同じである。
Next, a conductor paste prepared in advance is applied in a predetermined thickness and a predetermined shape to both ends of the chip 6 after de-buying by a coating method such as a roller coating method or a dip method, and the conductive layer for external electrodes (shown in the drawing). (Omitted). The conductive paste used here is the same as the conductive paste used when forming the internal electrode conductive layer 3.

【0024】次に、外部電極用導体層が形成された後の
チップ6を焼成炉に投入して、所定の温度及び時間等の
条件下でチップ6,内部電極用導体層3及び外部電極用
導体層を同時焼成する。
Next, the chip 6 after the formation of the external electrode conductor layer is put into a firing furnace, and the chip 6, the internal electrode conductor layer 3 and the external electrode The conductor layers are co-fired.

【0025】次に、焼成後のチップ6の外部電極の表面
に電気メッキによってNi等から成る第1メッキ層(図
示省略)と、Snや半田等から成る第2メッキ層(図示
省略)を形成する。
Next, a first plating layer made of Ni or the like (not shown) and a second plating layer made of Sn, solder, or the like (not shown) are formed on the surface of the external electrode of the fired chip 6 by electroplating. I do.

【0026】このように、前述の製造方法によれば、本
圧着後の積層グリーンシート5には点線状孔,点線状凹
部または凹条から成る分割ライン4a及び4bが積層方
向に並んだ状態となっており、分割ライン4a及び4b
が存する部分の強度が他の部分に比べて格段弱くなって
いるので、本圧着後の積層グリーンシート5に適当な分
割装置を用いて圧力を加えることにより、本圧着後の積
層グリーンシート5を積層方法に並ぶ分割ライン4a及
び4bに沿って簡単に分割することができる。
As described above, according to the above-described manufacturing method, the laminated green sheet 5 after the final pressure bonding is such that the dividing lines 4a and 4b formed of the dotted line holes, the dotted line concave portions or the concave lines are arranged in the laminating direction. And the dividing lines 4a and 4b
Since the strength of the part where is present is much weaker than the other parts, the laminated green sheet 5 after the final compression is applied by applying pressure to the laminated green sheet 5 after the final compression by using an appropriate dividing device. Division can be easily performed along the division lines 4a and 4b arranged in the stacking method.

【0027】つまり、前述の製造方法によれば、本圧着
後の積層グリーンシート5をブレードによって個々のチ
ップに切断する工程が不要であり、圧着後の積層グリー
ンシート5を個々のチップに分断する時間を大幅に短縮
して製造コスト及び部品単価の低減に大きく貢献でき
る。
In other words, according to the above-described manufacturing method, the step of cutting the laminated green sheet 5 after the final pressure bonding into individual chips by a blade is unnecessary, and the laminated green sheet 5 after the pressure bonding is divided into individual chips. The time can be greatly reduced, which can greatly contribute to a reduction in manufacturing costs and unit costs.

【0028】また、圧着後の積層グリーンシート5には
前記分断ライン4a及び4bが積層方向に並んだ状態と
なっているため、回転ブレードや昇降ブレード等のブレ
ードによって本圧着後の積層グリーンシート5を分断ラ
イン4a及び4bに沿って切断するようにすれば、ブレ
ードによって積層グリーンシート5の切断を行う場合で
もブレードによる切断速度を向上させて分断工程に要す
る時間の短縮が可能である。
Since the cutting lines 4a and 4b are arranged in the laminating direction in the laminated green sheet 5 after the compression, the laminated green sheet 5 after the final compression by a blade such as a rotating blade or a lifting blade. Is cut along the dividing lines 4a and 4b, even when the laminated green sheet 5 is cut by the blade, the cutting speed by the blade can be improved and the time required for the dividing step can be reduced.

【0029】尚、前述の説明では、圧着後の積層グリー
ンシートを個々のチップに分断してから脱バインダー工
程を実施するものを示したが、圧着工程と分断工程との
間で脱バインダー工程を実施するようにしても前記同様
の作用効果を得ることができる。
In the above description, the debinding step is performed after the laminated green sheet after the compression is divided into individual chips, but the debinding step is performed between the compression step and the division step. Even if it is implemented, the same operation and effect as described above can be obtained.

【0030】[第2実施形態]以下に、本発明を、同時
焼成タイプ(チップと内部電極用導体層と外部電極用導
体層の焼成を同時に行うタイプ)の積層セラミックコン
デンサの製造に適用した第2実施形態について図9〜図
17を参照して説明する。
[Second Embodiment] Hereinafter, the present invention is applied to the manufacture of a multilayer ceramic capacitor of the simultaneous firing type (type in which the chip, the internal electrode conductor layer and the external electrode conductor layer are simultaneously fired). Two embodiments will be described with reference to FIGS.

【0031】同時焼成タイプの積層セラミックコンデン
サを製造するときには、まず、予め用意されたスラリー
をドクターブレード法等の塗工手法によってPET等か
ら成るベースフィルム1上に所定厚で塗工してグリーン
シート2を形成する(図9参照)。前記スラリーの成分
は従来技術欄で説明したものと同様である。
When a co-fired type multilayer ceramic capacitor is manufactured, first, a slurry prepared in advance is coated on a base film 1 made of PET or the like with a predetermined thickness by a coating method such as a doctor blade method to form a green sheet. 2 (see FIG. 9). The components of the slurry are the same as those described in the section of the prior art.

【0032】次に、予め用意された導体ペーストをスク
リーン印刷法等の印刷手法によってグリーンシート2上
に所定厚,所定形状及び所定配列で印刷して内部電極用
導体層3を形成する(図9参照)。ちなみに、前記導体
ペーストは、Pd,Ag−Pd等の貴金属系またはN
i,Cu等の卑金属系の金属粉末にポリビニルブチラー
ル樹脂やセルロース樹脂やアクリル樹脂等のバインダー
等を加えてこれを撹拌,混合することによって作られて
いる。
Next, a conductive paste prepared in advance is printed on the green sheet 2 in a predetermined thickness, a predetermined shape and a predetermined arrangement on the green sheet 2 by a printing method such as a screen printing method to form the internal electrode conductive layer 3 (FIG. 9). reference). Incidentally, the conductive paste is made of a noble metal such as Pd, Ag-Pd, or N.
It is made by adding a binder such as polyvinyl butyral resin, cellulose resin or acrylic resin to a base metal-based metal powder such as i, Cu, etc., and stirring and mixing the binder.

【0033】次に、印刷後のグリーンシート2の各導体
層3の上下両側に容燃ペーストから成る分断ライン7a
を形成すると共に、各導体層3の中央及び左右両側に同
様の分断ライン7bを形成する(図10参照)。また、
内部電極用導体層3を形成していないグリーンシート2
にも、前記同様の分断ライン7a及び7bを同一の上下
左右間隔で形成する(図13参照)。
Next, on the upper and lower sides of each conductor layer 3 of the printed green sheet 2, dividing lines 7a made of combustible paste are formed.
And the same dividing line 7b is formed at the center and on both left and right sides of each conductor layer 3 (see FIG. 10). Also,
Green sheet 2 without conductor layer 3 for internal electrodes
Also, the same dividing lines 7a and 7b are formed at the same vertical, horizontal, and horizontal intervals (see FIG. 13).

【0034】図10及び図13に示した分断ライン7a
及び7bは、予め用意された容燃ペーストをスクリーン
印刷法等の印刷手法によって印刷後のグリーンシート2
上及び非印刷のグリーンシート2上に所定配列で印刷す
る方法等によって形成されている。ちなみに、前記容燃
ペーストは、カーボン粉末にポリビニルブチラール樹脂
やセルロース樹脂やアクリル樹脂等のバインダー等を加
えてこれを撹拌,混合することによって作られている。
ちなみに、各分断ライン7a及び7bの幅は20〜30
0μmである。
The dividing line 7a shown in FIGS. 10 and 13
And 7b are green sheets 2 obtained by printing a combustible paste prepared in advance by a printing method such as a screen printing method.
It is formed by printing on the upper and non-printing green sheets 2 in a predetermined arrangement. Incidentally, the combustible paste is made by adding a binder such as a polyvinyl butyral resin, a cellulose resin or an acrylic resin to carbon powder and stirring and mixing the binder.
Incidentally, the width of each dividing line 7a and 7b is 20-30.
0 μm.

【0035】次に、分断ライン7a及び7bが形成され
た後のグリーンシート2(図10参照)を矩形枠状の刃
によって所定の単位寸法でカットして、導体層3の配列
パターンが異なる2種類の印刷グリーンシート2-1及び
2-2(図11及び図12参照)をベースフィルム1から
取り出し、また、分断ライン7a及び7bが形成された
後のグリーンシート2(図13参照)を矩形枠状の刃に
よって前記と同じ単位寸法でカットして、導体層3を有
しない非印刷グリーンシート2-3(図14参照)をベー
スフィルム1から取り出しながら、複数枚積み重ねられ
た非印刷グリーンシート2-3の上に印刷グリーンシート
2-1及び2-2を交互に必要枚数積み重ね、その上に複数
枚の非印刷グリーンシート2-3を積み重ねるようしてシ
ート積層を行う。
Next, the green sheet 2 (see FIG. 10) after the division lines 7a and 7b are formed is cut into a predetermined unit size by a rectangular frame-shaped blade, so that the arrangement patterns of the conductor layers 3 are different. The types of printed green sheets 2-1 and 2-2 (see FIGS. 11 and 12) are taken out of the base film 1, and the green sheet 2 (see FIG. 13) after the dividing lines 7a and 7b are formed is rectangular. A plurality of non-printed green sheets are cut by the frame-shaped blade at the same unit size as described above, and the non-printed green sheets 2-3 (see FIG. 14) having no conductor layer 3 are taken out from the base film 1. The required number of printing green sheets 2-1 and 2-2 are alternately stacked on the 2-3, and a plurality of non-printing green sheets 2-3 are stacked thereon.

【0036】次に、積み重ねられたグリーンシート2-1
〜2-3を仮圧着し、さらに本圧着する。前記の仮圧着は
グリーンシート2-1〜2-3を所定枚数積み重ねる毎に実
施するようにしても構わない。図15は本圧着後の状態
を示す部分縦断面図であり、積層グリーンシート8には
前記分断ライン7a及び7b(7bは図示せず)が積層
方向で並んだ状態で存在する。
Next, the stacked green sheets 2-1
22-3 are temporarily press-bonded and then fully press-bonded. The above-mentioned temporary pressure bonding may be performed every time a predetermined number of green sheets 2-1 to 2-3 are stacked. FIG. 15 is a partial vertical cross-sectional view showing a state after the final pressure bonding. The laminating green sheet 8 has the dividing lines 7a and 7b (7b not shown) arranged in the laminating direction.

【0037】次に、本圧着後の積層グリーンシート8を
加熱炉に投入して、分断ライン7a及び7bの少なくと
も一部を除去する。この熱処理により、分断ライン7a
及び7bに含まれるバインダーはその全部または殆どが
熱によって分解され、カーボンはCO2 ,H2O に分解
されて殆ど残らない。熱処理時の温度は前記分断ライン
7a及び7bに含まれるバインダーの沸点よりも高く、
且つ、焼成温度よりも低い範囲内で設定する。
Next, the laminated green sheet 8 after the pressure bonding is put into a heating furnace, and at least a part of the dividing lines 7a and 7b is removed. By this heat treatment, the dividing line 7a
And binder contained in 7b is decomposed by all or most of the heat, the carbon does not remain almost be decomposed into CO 2, H 2 O. The temperature during the heat treatment is higher than the boiling point of the binder contained in the dividing lines 7a and 7b,
In addition, it is set within a range lower than the firing temperature.

【0038】この熱処理の段階では、グリーンシート2
-1〜2-3及び内部電極用導体層3に含まれるバインダー
の一部が除去されても構わないが、同段階で分断ライン
7a及び7bを積極的に除去するときには、分断ライン
7a及び7bのバインダーとしてグリーンシート2-1〜
2-3及び内部電極用導体層3に含まれるバインダーより
も低沸点のものを用い、前記の熱処理時の温度を、グリ
ーンシート及び内部電極用導体層3に含まれるバインダ
ーの沸点と分断ライン7a及び7bに含まれるバインダ
ーの沸点との間に設定するとよい。
In this heat treatment stage, the green sheet 2
-1 to 2-3 and a part of the binder contained in the internal electrode conductor layer 3 may be removed. However, when the dividing lines 7a and 7b are positively removed at the same stage, the dividing lines 7a and 7b Green sheet 2-1 as binder for
2-3 and a binder having a boiling point lower than that of the binder contained in the internal electrode conductor layer 3 is used. The temperature at the time of the heat treatment is adjusted to the boiling point of the green sheet and the binder contained in the internal electrode conductor layer 3 and the dividing line 7a. And the boiling point of the binder contained in 7b.

【0039】前記の熱処理により、本圧着後の積層グリ
ーンシート8の分断ライン7a及び7bの少なくとも一
部が除去され、図16示すように分断ライン7a及び7
bが存在していた箇所に線状空洞9が積層方向に並んだ
状態で形成される。
By the heat treatment, at least a part of the dividing lines 7a and 7b of the laminated green sheet 8 after the final compression is removed, and as shown in FIG.
The linear cavities 9 are formed in a state where the linear cavities 9 are arranged in the laminating direction at the position where b was present.

【0040】次に、熱処理後の積層グリーンシート8
を、適当な分割装置(図示省略)、例えば、2つの回転
ローラーの間に積層グリーンシート8を挿入してローラ
ーから積層グリーンシート8の表面に圧力を加える装置
や、弾性板の上に載置された積層グリーンシート8の表
面に圧力を加える装置等を用いて、積層グリーンシート
8を個々のチップ6に分断する(図17参照)。
Next, the laminated green sheet 8 after the heat treatment
Is placed on a suitable splitting device (not shown), for example, a device in which the laminated green sheet 8 is inserted between two rotating rollers to apply pressure to the surface of the laminated green sheet 8 from the roller, or placed on an elastic plate. The laminated green sheet 8 is divided into individual chips 6 using a device or the like that applies pressure to the surface of the laminated green sheet 8 (see FIG. 17).

【0041】先に述べたように、熱処理後の積層グリー
ンシート5には前記線状空洞9が積層方向で並んだ状態
となっており、線状空洞9が存する部分の強度が他の部
分に比べて格段弱くなっているため、前記分割装置によ
って熱処理後の積層グリーンシート8に圧力を加える
と、積層グリーンシート8は積層方向に並ぶ線状空洞9
に沿って簡単、且つ、瞬時に分割される。
As described above, in the laminated green sheet 5 after the heat treatment, the linear cavities 9 are arranged in the laminating direction, and the strength of the portion where the linear cavities 9 exist is different from that of the other portions. When pressure is applied to the laminated green sheet 8 after the heat treatment by the above-mentioned dividing device, the laminated green sheet 8 becomes linear cavities 9 arranged in the laminating direction.
Is easily and instantaneously divided.

【0042】次に、分断後のチップ6をバレル研磨機等
の研磨機に投入して、所定時間研磨する。この研磨工程
では、チップ6のエッジが丸みをおびるように研磨され
ると同時に、分割面の凹凸が均されて導体層3aの端縁
が分割面に綺麗に露出する。
Next, the chip 6 after division is put into a polishing machine such as a barrel polishing machine and polished for a predetermined time. In this polishing step, the edge of the chip 6 is polished so as to be rounded, and at the same time, the unevenness of the divided surface is leveled, so that the edge of the conductor layer 3a is clearly exposed on the divided surface.

【0043】次に、研磨後のチップ6を脱バイ炉に投入
して、所定の温度及び時間等の条件下でチップ6に含ま
れているバインダーを除去する。
Next, the polished chip 6 is put into a de-built furnace, and the binder contained in the chip 6 is removed under predetermined conditions such as temperature and time.

【0044】次に、予め用意された導体ペーストをロー
ラ塗布法やディップ法等の塗布手法によって脱バイ後の
チップ6の両端部に所定厚及び所定形状で塗布して外部
電極用導体層(図示省略)を形成する。ここで用いられ
る導体ペーストは内部電極用導体層3を形成する際に用
いた導体ペーストと同じである。
Next, a conductor paste prepared in advance is applied in a predetermined thickness and a predetermined shape to both end portions of the chip 6 after de-buying by a coating method such as a roller coating method or a dip method, and the conductive layer for external electrodes (shown in the figure). (Omitted). The conductive paste used here is the same as the conductive paste used when forming the internal electrode conductive layer 3.

【0045】次に、外部電極用導体層が形成された後の
チップ6を焼成炉に投入して、所定の温度及び時間等の
条件下でチップ6,内部電極用導体層3及び外部電極用
導体層を同時焼成する。
Next, the chip 6 after the external electrode conductor layer is formed is put into a firing furnace, and the chip 6, the internal electrode conductor layer 3 and the external electrode The conductor layers are co-fired.

【0046】次に、焼成後のチップ6の外部電極の表面
に電気メッキによってNi等から成る第1メッキ層(図
示省略)と、Snや半田等から成る第2メッキ層(図示
省略)を形成する。
Next, a first plating layer made of Ni or the like (not shown) and a second plating layer made of Sn or solder (not shown) are formed on the surfaces of the external electrodes of the fired chip 6 by electroplating. I do.

【0047】このように、前述の製造方法によれば、熱
処理後のグリーンシート8には線状空洞9が積層方向に
並んだ状態となっており、線状空洞9が存する部分の強
度が他の部分に比べて格段弱くなっているので、本圧着
後の積層グリーンシート8に適当な分割装置を用いて圧
力を加えることにより、熱処理後の積層グリーンシート
8を積層方法に並ぶ線状空洞9に沿って簡単に分割する
ことができる。
As described above, according to the manufacturing method described above, the linear cavities 9 are arranged in the stacking direction in the green sheet 8 after the heat treatment, and the strength of the portion where the linear cavities 9 exist is different. Since the pressure is applied to the laminated green sheet 8 after the final pressure bonding by using an appropriate dividing device, the laminated green sheet 8 after the heat treatment is linearly laid out in a line with the laminating method. Can be easily split along.

【0048】つまり、前述の製造方法によれば、本圧着
後の積層グリーンシート8をブレードによって個々のチ
ップに切断する工程が不要であり、圧着後の積層グリー
ンシート8を個々のチップに分断する時間を大幅に短縮
して製造コスト及び部品単価の低減に大きく貢献でき
る。
In other words, according to the above-described manufacturing method, the step of cutting the laminated green sheet 8 after the final pressure bonding into individual chips by a blade is unnecessary, and the laminated green sheet 8 after the pressure bonding is divided into individual chips. The time can be greatly reduced, which can greatly contribute to a reduction in manufacturing costs and unit costs.

【0049】また、熱処理後の積層グリーンシート8に
は前記線状空洞9が積層方向に並んだ状態となっている
ため、回転ブレードや昇降ブレード等のブレードによっ
て圧着後の積層グリーンシート8を線状空洞9に沿って
切断するようにすれば、ブレードによって積層グリーン
シート8の切断を行う場合でもブレードによる切断速度
を向上させて分断工程に要する時間の短縮が可能であ
る。
Further, since the linear cavities 9 are arranged in the laminating direction in the laminated green sheet 8 after the heat treatment, the laminated green sheet 8 after the compression is drawn by a blade such as a rotating blade or a lifting blade. By cutting the laminated green sheet 8 by using the blades 9, the cutting speed by the blades can be improved and the time required for the cutting step can be reduced even when the laminated green sheets 8 are cut by the blades.

【0050】尚、前述の説明では、カーボン粉末及びバ
インダーを含有した容燃ペーストによって分断ライン7
a及び7bを形成したものを示したが、ポリビニルブチ
ラール樹脂やセルロース樹脂やアクリル樹脂やポリビニ
ルアルコール等のバインダーの1種もしくは複数種の混
合物を容燃ペーストとして用いても前記同様の作用効果
を得ることができる。また、焼成温度よりも低い温度で
除去可能なものであれば、前記のような容燃ペースト以
外の材料を適宜採用することもできる。例えば、天然或
いは合成の繊維から成る線状物をグリーンシート2上に
前記同様の配列で付設しておき、この線状物を前記の熱
処理によって消失させるようにしても前記同様の作用効
果を得ることができる。
In the above description, the dividing line 7 is formed by a combustible paste containing carbon powder and a binder.
Although the case where a and 7b are formed is shown, the same operation and effect as described above can be obtained even when one or a mixture of binders such as polyvinyl butyral resin, cellulose resin, acrylic resin and polyvinyl alcohol is used as a combustible paste. be able to. Further, as long as the material can be removed at a temperature lower than the firing temperature, a material other than the above-described combustible paste can be appropriately used. For example, the same operation and effect as described above can be obtained even if a linear object made of natural or synthetic fibers is provided on the green sheet 2 in the same arrangement as described above, and this linear object is eliminated by the heat treatment. be able to.

【0051】また、前述の説明では、熱処理後の積層グ
リーンシートを個々のチップに分断してから脱バインダ
ー工程を実施するものを示したが、脱バインダー工程時
の熱処理条件で除去可能なものを前記容燃材料として用
いる場合には、熱処理工程の段階でその代わりに脱バイ
ンダー工程を実施するようにしても構わない。
In the above description, the laminated green sheet after the heat treatment is divided into individual chips and then the binder removal step is performed. However, the one that can be removed under the heat treatment conditions in the binder removal step is described. When used as the combustible material, a binder removal step may be performed instead of the heat treatment step.

【0052】以上、前述の第1〜第2実施形態では、本
発明を同時焼成タイプの積層セラミックコンデンサの製
造に適用したものを例示したが、外部電極用導体層の形
成工程と外部電極用導体層の焼成を、焼成工程とメッキ
工程の間で行うようにした非同時焼成タイプ(チップと
内部電極用導体層の焼成と外部電極用導体層の焼成とを
別々に行うタイプ)の積層セラミックコンデンサの製造
や、非同時焼成タイプの積層セラミックコンデンサと同
様の製造工程を有する積層セラミックインダクタ等の他
の積層セラミック電子部品の製造に対しても本発明は適
用でき、前記同様の作用効果を得ることができる。
As described above, in the first and second embodiments, the present invention is applied to the production of the co-fired type multilayer ceramic capacitor. However, the steps of forming the external electrode conductor layer and the external electrode conductor Non-simultaneous firing type (type in which firing of the chip and the conductive layer for the internal electrode and firing of the conductive layer for the external electrode are performed separately) in which the layers are fired between the firing step and the plating step. The present invention can be applied to the manufacture of a multilayer ceramic electronic component such as a multilayer ceramic inductor having the same manufacturing process as that of a non-co-fired multilayer ceramic capacitor, and the same operation and effect as described above can be obtained. Can be.

【0053】[0053]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
圧着後の積層グリーンシートを個々のチップに分断する
時間を大幅に短縮して製造コスト及び部品単価の低減に
大きく貢献できる。
As described in detail above, according to the present invention,
The time required to divide the laminated green sheet after bonding into individual chips is greatly reduced, which can greatly contribute to a reduction in manufacturing cost and unit cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施形態に係る、グリーンシート
の形成工程及び内部電用導体層の形成工程を示す図
FIG. 1 is a view showing a step of forming a green sheet and a step of forming a conductor layer for an internal electrode according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1実施形態に係る、印刷グリーンシ
ートに対する分割ラインの形成工程を示す図
FIG. 2 is a diagram illustrating a process of forming a division line for a printing green sheet according to the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第1実施形態に係る、一方の印刷グリ
ーンシートの上面図
FIG. 3 is a top view of one printed green sheet according to the first embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第1実施形態に係る、他方の印刷グリ
ーンシートの上面図
FIG. 4 is a top view of the other printed green sheet according to the first embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第1実施形態に係る、非印刷グリーン
シートに対する分割ラインの形成工程を示す図
FIG. 5 is a diagram illustrating a process of forming a division line for a non-printing green sheet according to the first embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第1実施形態に係る、非印刷グリーン
シートの上面図
FIG. 6 is a top view of a non-printing green sheet according to the first embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第1実施形態に係る、本圧着後の積層
グリーンシートの状態を示す部分縦断面図
FIG. 7 is a partial vertical cross-sectional view showing a state of the laminated green sheet after the final pressure bonding according to the first embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第1実施形態に係る、本圧着後の積層
グリーンシートを分割した後のの状態を示す部分縦断面
FIG. 8 is a partial longitudinal sectional view showing a state after the laminated green sheet after the final pressure bonding is divided according to the first embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第2実施形態に係る、グリーンシート
の形成工程及び内部電用導体層の形成工程を示す図
FIG. 9 is a view showing a green sheet forming step and an internal electric conductor layer forming step according to a second embodiment of the present invention.

【図10】本発明の第2実施形態に係る、印刷グリーン
シートに対する分割ラインの形成工程を示す図
FIG. 10 is a diagram illustrating a process of forming a division line for a printed green sheet according to a second embodiment of the present invention.

【図11】本発明の第2実施形態に係る、一方の印刷グ
リーンシートの上面図
FIG. 11 is a top view of one printed green sheet according to a second embodiment of the present invention.

【図12】本発明の第2実施形態に係る、他方の印刷グ
リーンシートの上面図
FIG. 12 is a top view of the other printed green sheet according to the second embodiment of the present invention.

【図13】本発明の第2実施形態に係る、非印刷グリー
ンシートに対する分割ラインの形成工程を示す図
FIG. 13 is a diagram illustrating a process of forming a division line for a non-printing green sheet according to the second embodiment of the present invention.

【図14】本発明の第2実施形態に係る、非印刷グリー
ンシートの上面図
FIG. 14 is a top view of a non-printing green sheet according to a second embodiment of the present invention.

【図15】本発明の第2実施形態に係る、本圧着後の積
層グリーンシートの状態を示す部分縦断面図
FIG. 15 is a partial vertical cross-sectional view showing a state of a laminated green sheet after final press bonding according to a second embodiment of the present invention.

【図16】本発明の第2実施形態に係る、本圧着後の積
層グリーンシートを熱処理した後の状態を示す部分縦断
面図
FIG. 16 is a partial longitudinal sectional view showing a state after a heat treatment is performed on the laminated green sheet after the final pressure bonding according to the second embodiment of the present invention.

【図17】本発明の第2実施形態に係る、熱処理後の積
層グリーンシートを分割した後のの状態を示す部分縦断
面図
FIG. 17 is a partial longitudinal sectional view showing a state after the heat-treated laminated green sheet is divided according to the second embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…ベースフィルム、2…グリーンシート、2-1,2-2
…印刷グリーンシート、2-3…非印刷グリーンシート、
3,3a…内部電極用導体層、4a,4b…分割ライ
ン、5…積層グリーンシート、6…チップ、7a,7b
…分割ライン、8…積層グリーンシート、9…線状空
洞。
1. Base film, 2. Green sheet, 2-1 and 2-2
... printed green sheet, 2-3 ... non-printed green sheet,
3, 3a: conductor layer for internal electrode, 4a, 4b: dividing line, 5: laminated green sheet, 6: chip, 7a, 7b
... Division line, 8 ... Laminated green sheet, 9 ... Linear cavity.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安藤 功一 東京都台東区上野6丁目16番20号 太陽誘 電株式会社内 Fターム(参考) 4G055 AA08 AC01 AC09 BA22 BB05 BB16 BB18 5E001 AB03 AH00 AH05 AH06 AJ01 AJ02  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Koichi Ando 6-16-20 Ueno, Taito-ku, Tokyo Taiyo Denki Co., Ltd. F-term (reference) 4G055 AA08 AC01 AC09 BA22 BB05 BB16 BB18 5E001 AB03 AH00 AH05 AH06 AJ01 AJ02

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 導体層が形成されたグリーンシートを積
み重ねて圧着する工程の後に、圧着後の積層グリーンシ
ートを個々のチップに分断する工程を備えた積層セラミ
ック電子部品の製造方法において、 圧着前のグリーンシートに点線状孔,点線状凹部または
凹条から成る分断ラインを予め形成し、グリーンシート
を積み重ねて圧着した後に積層方向に並ぶ分断ラインに
沿って積層グリーンシートを分割するか或いは切断して
個々のチップに分断する、 ことを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。
1. A method for manufacturing a laminated ceramic electronic component, comprising: a step of stacking green sheets on which a conductor layer is formed and compressing the laminated sheets, and a step of dividing the laminated green sheets after the compression into individual chips. A cutting line composed of a dotted line hole, a dotted line concave portion or a concave line is formed in advance in the green sheet, the green sheets are stacked and pressed, and then the laminated green sheet is divided or cut along the dividing line arranged in the laminating direction. A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, comprising:
【請求項2】 導体層が形成されたグリーンシートを積
み重ねて圧着する工程の後に、圧着後の積層グリーンシ
ートを個々のチップに分断する工程を備えた積層セラミ
ック電子部品の製造方法において、 圧着前のグリーンシートに容燃材料から成る分断ライン
を予め形成し、グリーンシートを積み重ねて圧着した後
に積層グリーンシートを熱処理して分断ラインの少なく
とも一部を除去して分断ライン存在箇所に線状空洞を形
成し、積層グリーンシートを熱処理した後に積層方向に
並ぶ線状空洞に沿って積層グリーンシートを分割するか
或いは切断して個々のチップに分断する、 ことを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。
2. A method for manufacturing a laminated ceramic electronic component, comprising: a step of stacking green sheets on which a conductor layer is formed and pressing them, and a step of cutting the pressed green sheets into individual chips. In advance, a cutting line made of a combustible material is formed on the green sheet, and after stacking and pressing the green sheets, the laminated green sheet is heat-treated to remove at least a part of the cutting line, thereby forming a linear cavity at a position where the cutting line exists. Forming and heat-treating the laminated green sheet, and then dividing or cutting the laminated green sheet along linear cavities arranged in the laminating direction to divide the individual chips into individual chips. .
【請求項3】 前記容燃材料は、所定温度で分解可能な
成分を含む容燃ペーストから成る、 ことを特徴とする請求項2に記載の積層セラミック電子
部品の製造方法。
3. The method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 2, wherein the combustible material is made of a combustible paste containing a component decomposable at a predetermined temperature.
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