JP3141803B2 - 蛍光ｘ線のスペクトル線強度算出方法 - Google Patents
蛍光ｘ線のスペクトル線強度算出方法Info
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- JP3141803B2 JP3141803B2 JP09000663A JP66397A JP3141803B2 JP 3141803 B2 JP3141803 B2 JP 3141803B2 JP 09000663 A JP09000663 A JP 09000663A JP 66397 A JP66397 A JP 66397A JP 3141803 B2 JP3141803 B2 JP 3141803B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、蛍光Ｘ線分析装置
において、試料から得られる蛍光Ｘ線のスペクトル線強
度を算出する方法に係り、詳しくは、同一のピークに含
まれる異なる元素のスペクトル線のそれぞれの強度値を
求める方法に関する。
において、試料から得られる蛍光Ｘ線のスペクトル線強
度を算出する方法に係り、詳しくは、同一のピークに含
まれる異なる元素のスペクトル線のそれぞれの強度値を
求める方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】蛍光Ｘ線分析装置で分析を行う場合、ま
ず得られるのは、蛍光Ｘ線のスペクトル波形である。ス
ペクトル波形には波長位置に沿って多数のピークがあ
る。
ず得られるのは、蛍光Ｘ線のスペクトル波形である。ス
ペクトル波形には波長位置に沿って多数のピークがあ
る。
【０００３】このスペクトル波形に対しては、スムージ
ング、バックグランド除去、ピーク検出等の処理を行
い、各ピークについてその波長位置(ピーク位置)と強度
(ピーク強度)とのデータを得る。
ング、バックグランド除去、ピーク検出等の処理を行
い、各ピークについてその波長位置(ピーク位置)と強度
(ピーク強度)とのデータを得る。
【０００４】一方、各々の元素については、その理論上
の波長位置(ピーク位置)と、その波長位置での標準化さ
れた相対的な強度(ピーク強度)とが予め求められてお
り、これらのデータがたとえばＲＯＭ等の記憶装置にテ
ーブル化されて格納されている。なお、ここでは、各元
素について理論上の波長位置(ピーク位置)のデータを波
長テーブル、各元素について理論上の波長位置での標準
化されたピーク強度のデータをスペクトル線強度比テー
ブルと称する。
の波長位置(ピーク位置)と、その波長位置での標準化さ
れた相対的な強度(ピーク強度)とが予め求められてお
り、これらのデータがたとえばＲＯＭ等の記憶装置にテ
ーブル化されて格納されている。なお、ここでは、各元
素について理論上の波長位置(ピーク位置)のデータを波
長テーブル、各元素について理論上の波長位置での標準
化されたピーク強度のデータをスペクトル線強度比テー
ブルと称する。
【０００５】そして、上記のように測定された各ピーク
に対しては、ピーク強度の高いものから順に、予め記憶
されている波長テーブルを参照することで、どの元素の
スペクトル線が含まれているか、元素名とスペクトル線
名とを同定していく。
に対しては、ピーク強度の高いものから順に、予め記憶
されている波長テーブルを参照することで、どの元素の
スペクトル線が含まれているか、元素名とスペクトル線
名とを同定していく。
【０００６】ところで、試料に含まれる元素についての
定量分析を行う場合には、上記の元素名とスペクトル線
名を同定するだけでは不十分で、その各元素についての
代表的なスペクトル線を特定し、その特定されたスペク
トル線の波長位置でのピーク強度を求める必要がある。
定量分析を行う場合には、上記の元素名とスペクトル線
名を同定するだけでは不十分で、その各元素についての
代表的なスペクトル線を特定し、その特定されたスペク
トル線の波長位置でのピーク強度を求める必要がある。
【０００７】ここで、スペクトル線が単独でピークを形
成している場合は、そのピーク強度がそのままスペクト
ル線の強度となる。
成している場合は、そのピーク強度がそのままスペクト
ル線の強度となる。
【０００８】ところが、各元素のスペクトル線は、常に
単独のピークとして現れるわけではなく、他の元素のス
ペクトル線が妨害スペクトル線として近接した波長位置
にあって、図２に示すように、同一のピークＰに異なる
元素Ａ，Ｂのスペクトル線ＰA，ＰBが重畳して含まれて
いることがある。
単独のピークとして現れるわけではなく、他の元素のス
ペクトル線が妨害スペクトル線として近接した波長位置
にあって、図２に示すように、同一のピークＰに異なる
元素Ａ，Ｂのスペクトル線ＰA，ＰBが重畳して含まれて
いることがある。
【０００９】このように同一のピーク内に複数のスペク
トル線ＰA，ＰBが重畳している場合には、各々の強度を
ピーク強度と一義的に結び付けることはできず、単独で
ピークを形成しているスペクトル線とは異なる仕方で強
度を求める必要がある。
トル線ＰA，ＰBが重畳している場合には、各々の強度を
ピーク強度と一義的に結び付けることはできず、単独で
ピークを形成しているスペクトル線とは異なる仕方で強
度を求める必要がある。
【００１０】すなわち、従来は、次のような方法によ
り、定量に必要な元素についての各スペクトル線の強度
を求めるようにしている。
り、定量に必要な元素についての各スペクトル線の強度
を求めるようにしている。
【００１１】いま、図２において、同一のピークＰに含
まれる一方の元素Ｂのスペクトル線ＰBについて定量分
析を行う必要がある場合、他方の元素Ａのスペクトル線
ＰAは妨害となる。
まれる一方の元素Ｂのスペクトル線ＰBについて定量分
析を行う必要がある場合、他方の元素Ａのスペクトル線
ＰAは妨害となる。
【００１２】そこで、まず、一方の元素Ａのスペクトル
線ＰAについて、予め記憶しているスペクトル線強度比
テーブルを使って、同じ元素Ａの他のスペクトル線の強
度と比較することで、その特定されたピークにおける強
度値ＩAを算出する。そして、このスペクトル線強度ＩA
をピーク強度ＩPから差し引き（ＩP−ＩA）、その残分
のピーク強度が他方の元素Ｂのスペクトル線ＰBの強度
値ＩBであるとして決定する。
線ＰAについて、予め記憶しているスペクトル線強度比
テーブルを使って、同じ元素Ａの他のスペクトル線の強
度と比較することで、その特定されたピークにおける強
度値ＩAを算出する。そして、このスペクトル線強度ＩA
をピーク強度ＩPから差し引き（ＩP−ＩA）、その残分
のピーク強度が他方の元素Ｂのスペクトル線ＰBの強度
値ＩBであるとして決定する。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、スペクトル
波形のうちの同一のピークＰに異なる元素のスペクトル
線が含まれている場合、これらのスペクトル線は、互い
に影響を及ぼし合い強め合っているのであって、その強
度は、実際よりも増加している。
波形のうちの同一のピークＰに異なる元素のスペクトル
線が含まれている場合、これらのスペクトル線は、互い
に影響を及ぼし合い強め合っているのであって、その強
度は、実際よりも増加している。
【００１４】これに対して、従来、同一のピークＰに重
畳して含まれる各元素のスペクトル線ＰA，ＰBの強度値
ＩA，ＩBを求める場合には、前述のスペクトル線強度比
テーブルを使用しているが、この強度比テーブルの値
は、スペクトル線が単独でピークを形成している状態で
求められたものであって、近接位置にある他のスペクト
ル線の影響までは考慮されていない。
畳して含まれる各元素のスペクトル線ＰA，ＰBの強度値
ＩA，ＩBを求める場合には、前述のスペクトル線強度比
テーブルを使用しているが、この強度比テーブルの値
は、スペクトル線が単独でピークを形成している状態で
求められたものであって、近接位置にある他のスペクト
ル線の影響までは考慮されていない。
【００１５】このようなスペクトル線強度比テーブルに
頼り、しかも単純に引き算をするだけの従来の方法で
は、求められたスペクトル線の強度値ＩA，ＩBに誤差が
含まれることになり、分析精度を高める上で問題があ
る。
頼り、しかも単純に引き算をするだけの従来の方法で
は、求められたスペクトル線の強度値ＩA，ＩBに誤差が
含まれることになり、分析精度を高める上で問題があ
る。
【００１６】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、スペ
クトル波形の同一のピークに異なる元素のスペクトル線
が含まれている場合、各元素のスペクトル線の強度がよ
り正確に算出されるようにして、分析精度を高めること
を課題とする。
クトル波形の同一のピークに異なる元素のスペクトル線
が含まれている場合、各元素のスペクトル線の強度がよ
り正確に算出されるようにして、分析精度を高めること
を課題とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を達
成するために、蛍光Ｘ線分析装置において、測定された
蛍光Ｘ線のスペクトル波形に現れるピークのうち、同一
のピークに異なる元素のスペクトル線が重畳して含まれ
ている場合、それぞれのスペクトル線の強度を算出する
方法として、前記ピークについてピーク位置およびピー
ク強度を求めるステップと、そのピークに含まれる各元
素のスペクトル線が、理論上の波長位置において有する
強度を求めるステップと、前記理論上の波長位置とその
位置での強度とから、各元素のスペクトル線の形状を所
要の関数に近似して関数化するステップと、各スペクト
ル線の形状を示す関数から、ピーク位置での各スペクト
ル線の強度を推定するステップと、ピーク位置での各ス
ペクトル線の推定強度について、相互の比率を一定とし
て、その和がピーク強度と一致するようそれぞれ補正
し、その補正値を各スペクトル線の強度値として出力す
るステップとを含む方法を構成した。
成するために、蛍光Ｘ線分析装置において、測定された
蛍光Ｘ線のスペクトル波形に現れるピークのうち、同一
のピークに異なる元素のスペクトル線が重畳して含まれ
ている場合、それぞれのスペクトル線の強度を算出する
方法として、前記ピークについてピーク位置およびピー
ク強度を求めるステップと、そのピークに含まれる各元
素のスペクトル線が、理論上の波長位置において有する
強度を求めるステップと、前記理論上の波長位置とその
位置での強度とから、各元素のスペクトル線の形状を所
要の関数に近似して関数化するステップと、各スペクト
ル線の形状を示す関数から、ピーク位置での各スペクト
ル線の強度を推定するステップと、ピーク位置での各ス
ペクトル線の推定強度について、相互の比率を一定とし
て、その和がピーク強度と一致するようそれぞれ補正
し、その補正値を各スペクトル線の強度値として出力す
るステップとを含む方法を構成した。
【００１８】
【発明の実施の形態】本発明の実施形態について、図１
を参照して説明する。
を参照して説明する。
【００１９】図１には２つの元素のスペクトル線Ａ，Ｂ
が重畳して一つのピークＰが形成されている状態を示し
ている。
が重畳して一つのピークＰが形成されている状態を示し
ている。
【００２０】（１）まず、測定により得られたピークＰ
の波長位置(ピーク位置)ＣPと、その位置での強度(ピー
ク強度)ＩPとを求める。これらの値ＣP，ＩPは、スペク
トル波形に対して、スムージング、バックグランド除去
等を行った後、ピーク検出処理を行うことで得られる。
の波長位置(ピーク位置)ＣPと、その位置での強度(ピー
ク強度)ＩPとを求める。これらの値ＣP，ＩPは、スペク
トル波形に対して、スムージング、バックグランド除去
等を行った後、ピーク検出処理を行うことで得られる。
【００２１】(２) 一方、分析対象となる試料に含まれ
る元素Ａ，Ｂが既に同定されておれば、定量分析に必要
な各元素についての代表的なスペクトル線の線名を特定
する。
る元素Ａ，Ｂが既に同定されておれば、定量分析に必要
な各元素についての代表的なスペクトル線の線名を特定
する。
【００２２】すると、これに応じて、各スペクトル線Ｐ
A，ＰBについて、理論上の波長位置ＣA，ＣBと、その位
置でのピーク強度値ＩA，ＩBが算出される。この場合の
各元素Ａ，Ｂの理論上のピークの波長位置ＣA，ＣBは、
波長テーブルを参照することによって得られる。また、
そのピーク位置での強度ＩA，ＩBは、スペクトル線強度
比テーブルを参照し、同じ元素Ａ，Ｂの他のスペクトル
線(このスペクトル線は単独でピークを形成している)と
比較することで算出される。
A，ＰBについて、理論上の波長位置ＣA，ＣBと、その位
置でのピーク強度値ＩA，ＩBが算出される。この場合の
各元素Ａ，Ｂの理論上のピークの波長位置ＣA，ＣBは、
波長テーブルを参照することによって得られる。また、
そのピーク位置での強度ＩA，ＩBは、スペクトル線強度
比テーブルを参照し、同じ元素Ａ，Ｂの他のスペクトル
線(このスペクトル線は単独でピークを形成している)と
比較することで算出される。
【００２３】この場合、図１に示したように、定量に必
要として特定された一方の元素Ｂのスペクトル線ＰBに
対して、他の元素Ａのスペクトル線ＰAが近接した波長
位置にあるときには、このスペクトル線ＰAは妨害とな
る。
要として特定された一方の元素Ｂのスペクトル線ＰBに
対して、他の元素Ａのスペクトル線ＰAが近接した波長
位置にあるときには、このスペクトル線ＰAは妨害とな
る。
【００２４】（３） そこで、次のステップとしては、
上記(２)のステップで、各スペクトル線Ａ，Ｂについて
理論上の波長位置ＣA，ＣBとその位置での強度ＩA，ＩB
とが得られたので、これらの値に基づいて、各スペクト
ル線Ａ，Ｂの形状を関数化する。ここでは、ガウス関数
に近似するものとする。
上記(２)のステップで、各スペクトル線Ａ，Ｂについて
理論上の波長位置ＣA，ＣBとその位置での強度ＩA，ＩB
とが得られたので、これらの値に基づいて、各スペクト
ル線Ａ，Ｂの形状を関数化する。ここでは、ガウス関数
に近似するものとする。
【００２５】このように関数化された各スペクトル線
Ａ，Ｂの形状は、言うまでもなく、理論上の波長位置Ｃ
A，ＣBを中心にして、その中心で極大値をとる波形であ
り、しかも、その半値幅Ｗは、蛍光Ｘ線を分光する分光
結晶のような分光手段により一義的に決まる値となる。
Ａ，Ｂの形状は、言うまでもなく、理論上の波長位置Ｃ
A，ＣBを中心にして、その中心で極大値をとる波形であ
り、しかも、その半値幅Ｗは、蛍光Ｘ線を分光する分光
結晶のような分光手段により一義的に決まる値となる。
【００２６】（４） 各スペクトル線Ａ，Ｂの形状を示
す関数にピーク位置ＣPの値を代入して、そのピーク位
置ＣPにおける各スペクトル線ＰA，ＰBの強度ＩPA，Ｉ
PBを求める。
す関数にピーク位置ＣPの値を代入して、そのピーク位
置ＣPにおける各スペクトル線ＰA，ＰBの強度ＩPA，Ｉ
PBを求める。
【００２７】その場合の各強度値ＩPA，ＩPBの算出の仕
方は、ガウス関数としたとき、次式のように示すことが
できる。
方は、ガウス関数としたとき、次式のように示すことが
できる。
【００２８】スペクトル線Ａのピーク位置ＣPにおける
強度ＩPAは、 ＩPA＝ＩA・Ｅxp[−４・log２・{(ＣP−ＣA)／Ｗ}2] (イ) スペクトル線Ｂのピーク位置ＣPにおける強度ＩPBは、 ＩPB＝ＩB・Ｅxp[−４・log２・{(ＣP−ＣB)／Ｗ}2] (ロ) となる。
強度ＩPAは、 ＩPA＝ＩA・Ｅxp[−４・log２・{(ＣP−ＣA)／Ｗ}2] (イ) スペクトル線Ｂのピーク位置ＣPにおける強度ＩPBは、 ＩPB＝ＩB・Ｅxp[−４・log２・{(ＣP−ＣB)／Ｗ}2] (ロ) となる。
【００２９】（５）これらスペクトル線Ａ，Ｂのピーク
位置ＣPでの強度ＩPA，ＩPBは、互いに加算しても、そ
の和は通常、ピーク強度ＩPには一致しない。これは、
各スペクトル線Ａ，Ｂについての強度ＩPA，ＩPBの算出
の基礎となった関数自体が理論的に推測したものである
ためで、実際のスペクトル線は、近接することで互いに
強め合っている。
位置ＣPでの強度ＩPA，ＩPBは、互いに加算しても、そ
の和は通常、ピーク強度ＩPには一致しない。これは、
各スペクトル線Ａ，Ｂについての強度ＩPA，ＩPBの算出
の基礎となった関数自体が理論的に推測したものである
ためで、実際のスペクトル線は、近接することで互いに
強め合っている。
【００３０】そこで、両スペクトル線Ａ，Ｂのピーク位
置ＣPでの強度ＩPA，ＩPBの和が、ピーク強度ＩPの値に
一致するように、各スペクトル線Ａ，Ｂのピーク位置Ｃ
Pでの強度ＩPA，ＩPBの値を補正する。
置ＣPでの強度ＩPA，ＩPBの和が、ピーク強度ＩPの値に
一致するように、各スペクトル線Ａ，Ｂのピーク位置Ｃ
Pでの強度ＩPA，ＩPBの値を補正する。
【００３１】その補正は、ピーク強度ＩPの値を、各ス
ペクトル線Ａ，Ｂのピーク位置ＣPでの強度ＩPA，ＩPB
の値に応じて比例配分するものである。すなわち、スペ
クトル線Ａのピーク位置ＣPにおける補正後の強度ＩPA'
は、 ＩPA'＝ＩP・{ＩPA／(ＩPA＋ＩPB)} （ハ） スペクトル線Ｂのピーク位置ＣPにおける補正後の強度
ＩPB'は、 ＩPB'＝ＩP・{ＩPB／(ＩPA＋ＩPB)} （ニ） となる。当然ながら、(ハ)，(ニ)から分かるように、Ｉ
PA'＋ＩPB'＝ＩPである。
ペクトル線Ａ，Ｂのピーク位置ＣPでの強度ＩPA，ＩPB
の値に応じて比例配分するものである。すなわち、スペ
クトル線Ａのピーク位置ＣPにおける補正後の強度ＩPA'
は、 ＩPA'＝ＩP・{ＩPA／(ＩPA＋ＩPB)} （ハ） スペクトル線Ｂのピーク位置ＣPにおける補正後の強度
ＩPB'は、 ＩPB'＝ＩP・{ＩPB／(ＩPA＋ＩPB)} （ニ） となる。当然ながら、(ハ)，(ニ)から分かるように、Ｉ
PA'＋ＩPB'＝ＩPである。
【００３２】（６） (５)のステップで得られた補正値
ＩPA'，ＩPB'は、２つのスペクトル線Ａ，Ｂの重なり具
合に応じてピーク強度ＩPを分け合う量であり、実際の
各スペクトル線の最大強度にごく近い値と見ることがで
き、これらの補正値ＩPA'，ＩPB'を各スペクトル線Ａ，
Ｂの強度値として出力する。
ＩPA'，ＩPB'は、２つのスペクトル線Ａ，Ｂの重なり具
合に応じてピーク強度ＩPを分け合う量であり、実際の
各スペクトル線の最大強度にごく近い値と見ることがで
き、これらの補正値ＩPA'，ＩPB'を各スペクトル線Ａ，
Ｂの強度値として出力する。
【００３３】なお、上記の実施形態では、各スペクトル
線Ａ，Ｂの形状をガウス関数に近似しているが、より精
密な近似関数として、ＶＯＩＧＨＴ関数を用いてもよ
い。
線Ａ，Ｂの形状をガウス関数に近似しているが、より精
密な近似関数として、ＶＯＩＧＨＴ関数を用いてもよ
い。
【００３４】この関数で近似した各スペクトル線ＰA，
ＰBの形状について、ピーク位置ＣPでの強度ＩPAは、次
式で与えられる。
ＰBの形状について、ピーク位置ＣPでの強度ＩPAは、次
式で与えられる。
【００３５】 ＩPA＝ＩA・[Ｇ・Ｅxp〔−４・log２・{(ＣP−ＣA)／Ｗ}2〕＋ＨA] ＨA＝(１−Ｇ)／[１＋４・〔(ＣP−ＣA)／Ｗ〕2] ＩPB＝ＩB・[Ｇ・Ｅxp〔−４・log２・{(ＣP−ＣB)／Ｗ}2〕＋ＨB] ＨB＝(１−Ｇ)／[１＋４・〔(ＣP−ＣB)／Ｗ〕2] ただし、Ｇはガウス率(０＜Ｇ＜１)である。 （ホ） このようにして求められたスペクトル線Ａ，Ｂのピーク
位置ＣPにおける強度ＩPA，ＩPBを、前記（５）に記し
たような仕方で補正し、その補正値をスペクトル線
ＰA，ＰBの強度値ＩPA，ＩPBとして出力してもよいこと
は言うまでもない。
位置ＣPにおける強度ＩPA，ＩPBを、前記（５）に記し
たような仕方で補正し、その補正値をスペクトル線
ＰA，ＰBの強度値ＩPA，ＩPBとして出力してもよいこと
は言うまでもない。
【００３６】また、この実施形態では、２つの元素Ａ，
Ｂのスペクトル線ＰA，ＰBが重畳して一つのピークピー
クが形成されている場合について説明しているが、これ
に限定されるものではなく、３つ以上のスペクトル線が
重畳して一つのピークが形成されている場合にも同様に
本発明を適用することが可能である。
Ｂのスペクトル線ＰA，ＰBが重畳して一つのピークピー
クが形成されている場合について説明しているが、これ
に限定されるものではなく、３つ以上のスペクトル線が
重畳して一つのピークが形成されている場合にも同様に
本発明を適用することが可能である。
【００３７】
【発明の効果】本発明の方法によれば、同一のピークに
異なる元素のスペクトル線が重畳して含まれている場
合、複数のスペクトル線の重なり具合に応じてピーク強
度を分け合う形で、各スペクトル線の強度が求められ、
従来のように単純な引き算で求める場合よりも、正確で
真値に近い強度値を得ることができ、定量分析を行う場
合に一段と分析精度が向上する。
異なる元素のスペクトル線が重畳して含まれている場
合、複数のスペクトル線の重なり具合に応じてピーク強
度を分け合う形で、各スペクトル線の強度が求められ、
従来のように単純な引き算で求める場合よりも、正確で
真値に近い強度値を得ることができ、定量分析を行う場
合に一段と分析精度が向上する。
【図１】本発明方法の一実施形態を説明するための波形
図である。
図である。
【図２】従来方法を説明するための波形図である。
Ｐ…ピーク、ＣP……ピーク位置、ＩP…ピーク強度、Ｐ
A，ＰB…スペクトル線、ＣA，ＣB…各スペクトル線
ＰA，ＰBの波長位置、ＩA，ＩB…各スペクトル線ＰA，
ＰBの強度、ＩPA，ＩPB…各スペクトル線ＰA，ＰBのピ
ーク位置ＣPでの強度、ＩPA'，ＩPB'…各強度ＩPA，Ｉ
PBの補正値。
A，ＰB…スペクトル線、ＣA，ＣB…各スペクトル線
ＰA，ＰBの波長位置、ＩA，ＩB…各スペクトル線ＰA，
ＰBの強度、ＩPA，ＩPB…各スペクトル線ＰA，ＰBのピ
ーク位置ＣPでの強度、ＩPA'，ＩPB'…各強度ＩPA，Ｉ
PBの補正値。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 23/22 - 23/227
Claims (1)
- 【請求項１】 蛍光Ｘ線分析装置において、測定された
蛍光Ｘ線のスペクトル波形に現れるピークのうち、同一
のピークに異なる元素のスペクトル線が重畳して含まれ
ている場合、それぞれのスペクトル線の強度を算出する
方法であって、 前記ピークについてピーク位置およびピーク強度を求め
るステップと、 そのピークに含まれる各元素のスペクトル線が、理論上
の波長位置において有する強度を求めるステップと、 前記理論上の波長位置とその位置での強度とから、各元
素のスペクトル線の形状を所要の関数に近似して関数化
するステップと、 各スペクトル線の形状を示す関数から、ピーク位置での
各スペクトル線の強度を推定するステップと、 ピーク位置での各スペクトル線の推定強度について、相
互の比率を一定として、その和がピーク強度と一致する
ようそれぞれ補正し、その補正値を各スペクトル線の強
度値として出力するステップと、 を含むことを特徴とする蛍光Ｘ線のスペクトル線強度算
出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09000663A JP3141803B2 (ja) | 1997-01-07 | 1997-01-07 | 蛍光ｘ線のスペクトル線強度算出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09000663A JP3141803B2 (ja) | 1997-01-07 | 1997-01-07 | 蛍光ｘ線のスペクトル線強度算出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10197457A JPH10197457A (ja) | 1998-07-31 |
| JP3141803B2 true JP3141803B2 (ja) | 2001-03-07 |
Family
ID=11479978
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09000663A Expired - Fee Related JP3141803B2 (ja) | 1997-01-07 | 1997-01-07 | 蛍光ｘ線のスペクトル線強度算出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3141803B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6581539B2 (ja) * | 2016-04-27 | 2019-09-25 | Ｔｏｙｏ Ｔｉｒｅ株式会社 | 高分子材料の硫黄架橋形態解析方法 |
| JP7307761B2 (ja) * | 2021-03-23 | 2023-07-12 | 日本電子株式会社 | スペクトル解析装置 |
-
1997
- 1997-01-07 JP JP09000663A patent/JP3141803B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10197457A (ja) | 1998-07-31 |
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