JP3138788B2 - 異材質部を有するセラミックグリーンシートの製造方法 - Google Patents
異材質部を有するセラミックグリーンシートの製造方法Info
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- JP3138788B2 JP3138788B2 JP05089368A JP8936893A JP3138788B2 JP 3138788 B2 JP3138788 B2 JP 3138788B2 JP 05089368 A JP05089368 A JP 05089368A JP 8936893 A JP8936893 A JP 8936893A JP 3138788 B2 JP3138788 B2 JP 3138788B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミック積層体部品
を構成するのに用いられる異材質部を有するセラミック
グリーンシートの製造方法に関するものである。
を構成するのに用いられる異材質部を有するセラミック
グリーンシートの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、異材質部を有するセラミックグ
リーンシートを製造するには印刷法が適用されている。
その印刷法を適用しては、まず、部品の機能に応じて磁
性材または誘電材のセラミック材でなる第１のペースト
材料を所定面内に印刷し、この第１のペースト材料を乾
燥した後、第１のペースト材料と異質なセラミック材で
なる第２のペースト材料を第１のペースト材料による印
刷面外に印刷し、その第２のペースト材料を乾燥した
後、導電材のペースト材料を異材質部に合せて印刷する
ことにより内部電極を形成する如き工程が採られてい
る。
リーンシートを製造するには印刷法が適用されている。
その印刷法を適用しては、まず、部品の機能に応じて磁
性材または誘電材のセラミック材でなる第１のペースト
材料を所定面内に印刷し、この第１のペースト材料を乾
燥した後、第１のペースト材料と異質なセラミック材で
なる第２のペースト材料を第１のペースト材料による印
刷面外に印刷し、その第２のペースト材料を乾燥した
後、導電材のペースト材料を異材質部に合せて印刷する
ことにより内部電極を形成する如き工程が採られてい
る。
【０００３】そのセラミックグリーンシートの製造方法
によると、全工程を印刷手段に頼って行うことから工程
的に極めて繁雑なものになり、また、製造時間も長く要
するところから生産性に劣る。
によると、全工程を印刷手段に頼って行うことから工程
的に極めて繁雑なものになり、また、製造時間も長く要
するところから生産性に劣る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、異材質部を
有するセラミックグリーンシートを簡略な工程で能率よ
く製造すると共に、同シートの薄層化を図れ、また、異
材質部をファインなパターンに形成するセラミックグリ
ーンシートの製造方法を提供することを目的とする。
有するセラミックグリーンシートを簡略な工程で能率よ
く製造すると共に、同シートの薄層化を図れ、また、異
材質部をファインなパターンに形成するセラミックグリ
ーンシートの製造方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
異材質部を有するセラミックグリーンシートの製造方法
においては、第１のペースト材料から一定厚みを有する
シート状物をベーステープ上に形成し、そのシート状物
の乾燥後に、所定の縁取りパターンをシート状物のシー
ト面に付形すると共に、この縁取りパターン以外の不要
部分をシート状物から吸引除去して所定パターンの抜き
穴をシート状物のシート面に形成し、次に、第１のペー
スト材料と異質な第２のペースト材料を印刷により該抜
き穴の内部に埋め込んで、第２のペースト材料による異
材質部を第１のペースト材料によるシート状物の同一面
内に形成するようにされている。
異材質部を有するセラミックグリーンシートの製造方法
においては、第１のペースト材料から一定厚みを有する
シート状物をベーステープ上に形成し、そのシート状物
の乾燥後に、所定の縁取りパターンをシート状物のシー
ト面に付形すると共に、この縁取りパターン以外の不要
部分をシート状物から吸引除去して所定パターンの抜き
穴をシート状物のシート面に形成し、次に、第１のペー
スト材料と異質な第２のペースト材料を印刷により該抜
き穴の内部に埋め込んで、第２のペースト材料による異
材質部を第１のペースト材料によるシート状物の同一面
内に形成するようにされている。
【０００６】
【作用】本発明の異材質部を有するセラミックグリーン
シートの製造方法では、第１のペースト材料からシート
状物を形成すると共に、所定パターンの抜き穴をシート
状物のシート面に設け、次に、異材質部を形成する第２
のペースト材料を印刷により抜き穴の内部に埋め込む工
程を採用するものであるから、第２のペースト材料によ
る異材質部を第１のペースト材料によるシート状物の同
一面内に簡略な工程で能率よく形成できる。また、所定
の縁取りパターンをシート状物のシート面に付形すると
共に、この縁取りパターン以外の不要部分をシート状物
から吸引除去して所定パターンの抜き穴をシート状物の
シート面に形成し、第２のペースト材料を印刷により抜
き穴の内部に埋め込むことから異材質部をファインなパ
ターンに形成できる。
シートの製造方法では、第１のペースト材料からシート
状物を形成すると共に、所定パターンの抜き穴をシート
状物のシート面に設け、次に、異材質部を形成する第２
のペースト材料を印刷により抜き穴の内部に埋め込む工
程を採用するものであるから、第２のペースト材料によ
る異材質部を第１のペースト材料によるシート状物の同
一面内に簡略な工程で能率よく形成できる。また、所定
の縁取りパターンをシート状物のシート面に付形すると
共に、この縁取りパターン以外の不要部分をシート状物
から吸引除去して所定パターンの抜き穴をシート状物の
シート面に形成し、第２のペースト材料を印刷により抜
き穴の内部に埋め込むことから異材質部をファインなパ
ターンに形成できる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して説明す
れば、図１は本発明に係る異材質部を有するセラミック
グリーンシートの製造工程を示す。その製造工程は、各
工程の所定な処理により所定のセラミックグリーンシー
トを形成した後、最終的に剥離されるポリエチレンテレ
フタレート等のベーステープＴを用いて行われる。この
ベーステープＴは、前工程処理後に巻き取って次工程に
送り込み、或いは各工程を連続処理するキャリアテープ
として用いられる。
れば、図１は本発明に係る異材質部を有するセラミック
グリーンシートの製造工程を示す。その製造工程は、各
工程の所定な処理により所定のセラミックグリーンシー
トを形成した後、最終的に剥離されるポリエチレンテレ
フタレート等のベーステープＴを用いて行われる。この
ベーステープＴは、前工程処理後に巻き取って次工程に
送り込み、或いは各工程を連続処理するキャリアテープ
として用いられる。
【０００８】その製造工程においては、まず、磁性材ま
たは低誘電率材料を含む誘電材のセラミックペーストを
第１のペースト材料とし、一定厚みのシート状物１とし
て形成する。この第１のペースと材料には、可撓性，強
靱性をセラミックグリーンシートから形成される部品基
体に付与するべく、アクリル系またはブチラール系のバ
インダーを混合するとよい。そのシート状物１は、ドク
ターブレード等を備える吐出ノズルＮから第１のペース
ト材料をベーステープＴのテープ面上に吐出することに
より形成できる。
たは低誘電率材料を含む誘電材のセラミックペーストを
第１のペースト材料とし、一定厚みのシート状物１とし
て形成する。この第１のペースと材料には、可撓性，強
靱性をセラミックグリーンシートから形成される部品基
体に付与するべく、アクリル系またはブチラール系のバ
インダーを混合するとよい。そのシート状物１は、ドク
ターブレード等を備える吐出ノズルＮから第１のペース
ト材料をベーステープＴのテープ面上に吐出することに
より形成できる。
【０００９】そのセラミックグリーンシート１を乾燥処
理した後、所定なパターンの抜き穴１ａを形成するパタ
ーン成形工程に送り込む。このパターン成形は、レーザ
加工やパンチング加工を適用することにより、抜き穴１
ａに相当する所定の縁取りパターンをシート状物１のシ
ート面に容易に付形できる。そのパターン付形後に、所
定の縁取りパターン以外の不要部分１ｂをバキュームＶ
等による真空吸着で取り除くことにより抜き穴１ａとし
て形成できる。
理した後、所定なパターンの抜き穴１ａを形成するパタ
ーン成形工程に送り込む。このパターン成形は、レーザ
加工やパンチング加工を適用することにより、抜き穴１
ａに相当する所定の縁取りパターンをシート状物１のシ
ート面に容易に付形できる。そのパターン付形後に、所
定の縁取りパターン以外の不要部分１ｂをバキュームＶ
等による真空吸着で取り除くことにより抜き穴１ａとし
て形成できる。
【００１０】その抜き穴１ａをシート状物１のシート面
に形成した後、第２のペースト材料の印刷工程に送り込
む。第２のペースト材料の印刷工程には、図２で示すよ
うにスクリーン印刷機Ｓを備え、第２のペースト材料を
所定パターンの抜き穴１ａに合せて印刷する。これによ
り、第２のペースト材料は所定パターンの抜き穴１ａに
合せて正確に印刷形成できる。
に形成した後、第２のペースト材料の印刷工程に送り込
む。第２のペースト材料の印刷工程には、図２で示すよ
うにスクリーン印刷機Ｓを備え、第２のペースト材料を
所定パターンの抜き穴１ａに合せて印刷する。これによ
り、第２のペースト材料は所定パターンの抜き穴１ａに
合せて正確に印刷形成できる。
【００１１】その第２のペースト材料には、非磁性材ま
たは高誘電率材のセラミック材でなるペースト材料が用
いられる。この第２のペースト材料は、異材質部２とし
てセラミックグリーンシートをシート状部１と共に形成
する。なお、その第２のペースト材料にも第１のペース
ト材料と共通したバインダーを混入するとよい。
たは高誘電率材のセラミック材でなるペースト材料が用
いられる。この第２のペースト材料は、異材質部２とし
てセラミックグリーンシートをシート状部１と共に形成
する。なお、その第２のペースト材料にも第１のペース
ト材料と共通したバインダーを混入するとよい。
【００１２】その印刷工程を終了すると、図３で示す如
くベーステープＴの面上には部品外部層を形成するシー
ト状物１と、部品内部層を形成する異材質部２とが同一
面内に位置する一枚のセラミックグリーンシートとして
形成できる。このセラミックグリーンシートは、ベース
テープＴから剥ぎ取ることによりセラミック積層体部品
を構成するのに用いられる。
くベーステープＴの面上には部品外部層を形成するシー
ト状物１と、部品内部層を形成する異材質部２とが同一
面内に位置する一枚のセラミックグリーンシートとして
形成できる。このセラミックグリーンシートは、ベース
テープＴから剥ぎ取ることによりセラミック積層体部品
を構成するのに用いられる。
【００１３】上述した工程によると、少なくとも異材質
部２をシート状物１の同一面内に埋め込むことにより一
枚ものとして形成するから、セラミックグリーンシート
の薄層化を図れる。また、シート状物１を形成後に、抜
き穴１ａを設けて異材質部２を形成する第２のペースト
材料を印刷するだけであるから簡略な工程で能率よく製
造でき、しかも部品内部層となる異材質部２を印刷によ
り所定パターンの抜き穴１ａの内部に埋込み形成するこ
とからファインなパターンに形成できる。
部２をシート状物１の同一面内に埋め込むことにより一
枚ものとして形成するから、セラミックグリーンシート
の薄層化を図れる。また、シート状物１を形成後に、抜
き穴１ａを設けて異材質部２を形成する第２のペースト
材料を印刷するだけであるから簡略な工程で能率よく製
造でき、しかも部品内部層となる異材質部２を印刷によ
り所定パターンの抜き穴１ａの内部に埋込み形成するこ
とからファインなパターンに形成できる。
【００１４】そのセラミックグリーンシートを用いて
は、図３で示すように部品基体の部品外部層１０をフェ
ライト等の磁性材で形成し、異材質部による部品基体の
部品内部層１１を非磁性フェライト，酸化チタン，アル
ミナ等の非磁性材で形成することによりチップインダク
タの如き電子部品を構成することができる。この場合、
異材質部による部品内部層１１は内部電極１２の間に介
在させるものとして形成されている。
は、図３で示すように部品基体の部品外部層１０をフェ
ライト等の磁性材で形成し、異材質部による部品基体の
部品内部層１１を非磁性フェライト，酸化チタン，アル
ミナ等の非磁性材で形成することによりチップインダク
タの如き電子部品を構成することができる。この場合、
異材質部による部品内部層１１は内部電極１２の間に介
在させるものとして形成されている。
【００１５】その部品内部層１１は、低透磁率層として
磁路を制御できると共に、漏れ磁束を抑え得ることか
ら、チップインダクタのＬ，Ｑ，温度特性，ＩＤＣ，結
合係数等を向上できる。また、内部電極１２を非磁性材
の部品内部層１１上に重ねて印刷形成しても、少なくと
も部品内部層１１の非磁性材層が部品基体の部品外部層
１０を形成する磁性材の同一面内に設けられているか
ら、セラミックグリーンシートを薄層化できて部品全体
の小型化も図れる。
磁路を制御できると共に、漏れ磁束を抑え得ることか
ら、チップインダクタのＬ，Ｑ，温度特性，ＩＤＣ，結
合係数等を向上できる。また、内部電極１２を非磁性材
の部品内部層１１上に重ねて印刷形成しても、少なくと
も部品内部層１１の非磁性材層が部品基体の部品外部層
１０を形成する磁性材の同一面内に設けられているか
ら、セラミックグリーンシートを薄層化できて部品全体
の小型化も図れる。
【００１６】また、上述したと同様に、部品内部層とな
る異材質部を高誘電率材のチタン酸バリウム，酸化チタ
ン，アルミナ等で形成し、部品基体の部品外部層を相対
的に低い誘電率材のチタン酸バリウム，酸化チタン，ア
ルミナ，ガラス（ＳｉＯ２）等で形成することにより、
Ｃネットワーク等の誘電体部品を構成もできる。
る異材質部を高誘電率材のチタン酸バリウム，酸化チタ
ン，アルミナ等で形成し、部品基体の部品外部層を相対
的に低い誘電率材のチタン酸バリウム，酸化チタン，ア
ルミナ，ガラス（ＳｉＯ２）等で形成することにより、
Ｃネットワーク等の誘電体部品を構成もできる。
【００１７】そのセラミック誘電体部品によると、高誘
電率材の異材質部を電極間に介在させることにより浮遊
容量を排除できると共に、部品基体を部品外部層となる
低誘電率材で形成することから機械的強度を向上でき
る。
電率材の異材質部を電極間に介在させることにより浮遊
容量を排除できると共に、部品基体を部品外部層となる
低誘電率材で形成することから機械的強度を向上でき
る。
【００１８】上述した実施例では、異材質部を非磁性材
または高誘電率材のセラミック材料で形成する場合で説
明したが、部品基体をセラミック材料で形成し、異質材
部を内部電極となる導電材のペースト材料で形成するの
にも適用できる。この場合には、当該導電材による異材
質部を有するセラミックグリーンシートとセラミック材
料のみによるセラミックグリーンシートとを交互に積層
することにより積層体を形成すればよい。
または高誘電率材のセラミック材料で形成する場合で説
明したが、部品基体をセラミック材料で形成し、異質材
部を内部電極となる導電材のペースト材料で形成するの
にも適用できる。この場合には、当該導電材による異材
質部を有するセラミックグリーンシートとセラミック材
料のみによるセラミックグリーンシートとを交互に積層
することにより積層体を形成すればよい。
【００１９】なお、各電子部品の内部電極間を接続し或
いはＬＣ複合部品等の他の部品間を接続するには、上述
した工程中でスルーホールを設けて導電材料を充填する
ことにより相互の電気的接続を図れる。
いはＬＣ複合部品等の他の部品間を接続するには、上述
した工程中でスルーホールを設けて導電材料を充填する
ことにより相互の電気的接続を図れる。
【００２０】
【発明の効果】以上の如く、本発明に係る異材質部を有
するセラミックグリーンシートの製造方法に依れば、異
材質部を有するセラミックグリーンシートを簡略な工程
で能率よく製造できて薄層化も図れ、また、異材質部を
ファインなパターンに形成できることにより電気的特性
の向上も図ることができる。
するセラミックグリーンシートの製造方法に依れば、異
材質部を有するセラミックグリーンシートを簡略な工程
で能率よく製造できて薄層化も図れ、また、異材質部を
ファインなパターンに形成できることにより電気的特性
の向上も図ることができる。
【図１】本発明に係る異材質部を有するセラミックグリ
ーンシートの製造工程を示す説明図である。
ーンシートの製造工程を示す説明図である。
【図２】同工程における異材質部の印刷工程を示す説明
図である。
図である。
【図３】同セラミックグリーンシートを部分平面で示す
説明図である
説明図である
【図４】本発明に係る異材質部を有するセラミックグリ
ーンシートを用いて構成されたセラミック積層体部品の
一例を示す説明図である。
ーンシートを用いて構成されたセラミック積層体部品の
一例を示す説明図である。
Ｔ ベーステープ １ シート状物（第１のペースト材料） １ａ 所定なパターンの抜き穴 ２ 異材質部（第２のペースト材料）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉田 政幸 東京都中央区日本橋一丁目13番１号 テ ィーディーケイ株式会社内 (72)発明者 須藤 純一 東京都中央区日本橋一丁目13番１号 テ ィーディーケイ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭64−66927（ＪＰ，Ａ) 実開 昭56−110644（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01G 4/00 - 4/40 H01G 13/00 - 13/06
Claims (1)
- 【請求項１】 セラミック積層体部品を構成するセラミ
ックグリーンシートの製造方法であって、第１のペース
ト材料から一定厚みを有するシート状物をベーステープ
上に形成し、そのシート状物の乾燥後に、所定の縁取り
パターンをシート状物のシート面に付形すると共に、こ
の縁取りパターン以外の不要部分をシート状物から吸引
除去して所定パターンの抜き穴をシート状物のシート面
に形成し、次に、第１のペースト材料と異質な第２のペ
ースト材料を印刷により該抜き穴の内部に埋め込んで、
第２のペースト材料による異材質部を第１のペースト材
料によるシート状物の同一面内に形成するようにしたこ
とを特徴とする異材質部を有するセラミックグリーンシ
ートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05089368A JP3138788B2 (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | 異材質部を有するセラミックグリーンシートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05089368A JP3138788B2 (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | 異材質部を有するセラミックグリーンシートの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06283373A JPH06283373A (ja) | 1994-10-07 |
| JP3138788B2 true JP3138788B2 (ja) | 2001-02-26 |
Family
ID=13968761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05089368A Expired - Lifetime JP3138788B2 (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | 異材質部を有するセラミックグリーンシートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3138788B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009069387A1 (ja) * | 2007-11-29 | 2009-06-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 積層型電子部品 |
-
1993
- 1993-03-24 JP JP05089368A patent/JP3138788B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06283373A (ja) | 1994-10-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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