JP3119178B2 - 磁気ヘッドの加工制御方法 - Google Patents
磁気ヘッドの加工制御方法Info
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- JP3119178B2 JP3119178B2 JP30468696A JP30468696A JP3119178B2 JP 3119178 B2 JP3119178 B2 JP 3119178B2 JP 30468696 A JP30468696 A JP 30468696A JP 30468696 A JP30468696 A JP 30468696A JP 3119178 B2 JP3119178 B2 JP 3119178B2
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/048—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces of sliders and magnetic heads of hard disc drives or the like
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、コンピューターの
ハードディスクドライブに使用する磁気ヘッドのスライ
ダー加工工程において、ラップ加工によって素子高さの
加工量を精密に制御する方法に関する。
ハードディスクドライブに使用する磁気ヘッドのスライ
ダー加工工程において、ラップ加工によって素子高さの
加工量を精密に制御する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】インダクティブ型薄膜ヘッドあるいはＭ
Ｒヘッドなど電磁変換素子が薄膜で形成される磁気ヘッ
ドでは、スロートハイト（Throat Height）あるいはＭ
Ｒ素子高さと呼ばれる電磁変換素子の高さ寸法が磁気ヘ
ッドの特性の上で重要な寸法である。通常それらの寸法
出しは磁気ヘッドの浮上面（Air Bearing Surface，以
下ＡＢＳ面と称す）をラップ加工することで行われてお
り、高い加工精度が要求される工程である。これらの磁
気ヘッドの素子はセラミックの基盤上に磁性材や絶縁材
の薄膜を積層することで形成され、１枚の基盤上に多数
個の素子を作ることができる。基盤上に素子を形成した
状態をウェハーと呼ぶ。加工工程では複数個の磁気ヘッ
ドを一度に加工して生産能率を上げるために、磁気ヘッ
ドが一列に複数個並んだバー（以下ローと呼ぶ）をウェ
ハーから切り出して、そのローの状態で加工を行うのが
一般的である。しかしウェハーからローを切り出す時に
発生する加工歪みや、ローをラップ治具へ接着する時の
加圧むらなどにより、ローに反り（以下ローボーと呼
ぶ）が生じ、これがラップ加工後の素子高さ寸法ばらつ
きの原因となる。
Ｒヘッドなど電磁変換素子が薄膜で形成される磁気ヘッ
ドでは、スロートハイト（Throat Height）あるいはＭ
Ｒ素子高さと呼ばれる電磁変換素子の高さ寸法が磁気ヘ
ッドの特性の上で重要な寸法である。通常それらの寸法
出しは磁気ヘッドの浮上面（Air Bearing Surface，以
下ＡＢＳ面と称す）をラップ加工することで行われてお
り、高い加工精度が要求される工程である。これらの磁
気ヘッドの素子はセラミックの基盤上に磁性材や絶縁材
の薄膜を積層することで形成され、１枚の基盤上に多数
個の素子を作ることができる。基盤上に素子を形成した
状態をウェハーと呼ぶ。加工工程では複数個の磁気ヘッ
ドを一度に加工して生産能率を上げるために、磁気ヘッ
ドが一列に複数個並んだバー（以下ローと呼ぶ）をウェ
ハーから切り出して、そのローの状態で加工を行うのが
一般的である。しかしウェハーからローを切り出す時に
発生する加工歪みや、ローをラップ治具へ接着する時の
加圧むらなどにより、ローに反り（以下ローボーと呼
ぶ）が生じ、これがラップ加工後の素子高さ寸法ばらつ
きの原因となる。
【０００３】そこで、基盤上に素子を成膜する時にＥＬ
Ｇ（Electrical Lapping Guide）と呼ばれる抵抗体を素
子に対して一定位置に形成しておき、ローのＡＢＳ面の
ラップを行いながらＥＬＧの抵抗値あるいはＭＲ素子自
体の抵抗値を測定し、その結果に基づいた荷重の制御に
よりローを保持している治具を変形させ、ローボーを矯
正しながら所定の素子高さまで加工を行う方法が用いら
れる。
Ｇ（Electrical Lapping Guide）と呼ばれる抵抗体を素
子に対して一定位置に形成しておき、ローのＡＢＳ面の
ラップを行いながらＥＬＧの抵抗値あるいはＭＲ素子自
体の抵抗値を測定し、その結果に基づいた荷重の制御に
よりローを保持している治具を変形させ、ローボーを矯
正しながら所定の素子高さまで加工を行う方法が用いら
れる。
【０００４】この方法で使用されるラップ装置の従来例
として特公平７−１１２６７２がある。この従来例の原
理を図５と図６により説明する。
として特公平７−１１２６７２がある。この従来例の原
理を図５と図６により説明する。
【０００５】図５はラップ装置全体構成図である。ロー
１５は保治具５１に接着されており、定盤１７上でＡＢ
Ｓ面１８がラップされる。この従来例では加工量の制御
にロー１５の両端に形成されたＥＬＧ５２，５３の抵抗
値とＭＲ素子５４の抵抗値を用いている。ＡＢＳ面１８
がラップされるとＥＬＧ５２，５３とＭＲ素子５４の高
さが小さくなるため、それらの抵抗値が徐々に高くな
る。すなわちＥＬＧ５２，５３とＭＲ素子５４の抵抗値
はＭＲ素子高さを表す。そこで制御装置５５はラップ加
工中にディジタルオームメータ５６でＥＬＧ５２，５３
と複数個のＭＲ素子５４の抵抗値を測定し、得られた抵
抗値からローボーの状態求め、これに基づいてアクチュ
エータ５７，５８，５９が保治具５１にかける荷重を制
御する。
１５は保治具５１に接着されており、定盤１７上でＡＢ
Ｓ面１８がラップされる。この従来例では加工量の制御
にロー１５の両端に形成されたＥＬＧ５２，５３の抵抗
値とＭＲ素子５４の抵抗値を用いている。ＡＢＳ面１８
がラップされるとＥＬＧ５２，５３とＭＲ素子５４の高
さが小さくなるため、それらの抵抗値が徐々に高くな
る。すなわちＥＬＧ５２，５３とＭＲ素子５４の抵抗値
はＭＲ素子高さを表す。そこで制御装置５５はラップ加
工中にディジタルオームメータ５６でＥＬＧ５２，５３
と複数個のＭＲ素子５４の抵抗値を測定し、得られた抵
抗値からローボーの状態求め、これに基づいてアクチュ
エータ５７，５８，５９が保治具５１にかける荷重を制
御する。
【０００６】図６はこの従来例における保治具５１の形
状である。保持具５１にはＨ型スロット６１が設けられ
ており、これにより両端支持の梁材６２が形成されてい
る。ロー１５は梁材６２の下面６３に接着されている。
さらにＨ型スロット６１の形状寸法Ｆ，Ｇ，Ｈ，Ｉは、
アクチュエータ５８が押し棒６４を介して梁材６２の中
央部を押したとき、梁材６２のたわみ曲線が２次多項式
となるように設計されている。アクチュエータ５７，５
８，５９が梁材６２にかける荷重はＥＬＧ５２，５３と
ＭＲ素子５４の抵抗値から求められたローボーの平衡度
と湾曲度に基づいて制御される。アクチュエータ５７，
５８，５９の荷重をそれぞれＰＬ，ＰＣ，ＰＲとする
と、平衡度に関してロー１５の図面に向かって右側の加
工量が足りない場合にはＰＬ＜ＰＲ、左側の加工量が足
りない場合にはＰＬ＞ＰＲとなるように制御される。ま
た湾曲度に関してロー１５の中央部の加工量が足りない
場合にはＰＣ＞ＰＬ，ＰＲ、両端の加工量が足りない場
合にはＰＣ＜ＰＬ，ＰＲとなるように制御される。
状である。保持具５１にはＨ型スロット６１が設けられ
ており、これにより両端支持の梁材６２が形成されてい
る。ロー１５は梁材６２の下面６３に接着されている。
さらにＨ型スロット６１の形状寸法Ｆ，Ｇ，Ｈ，Ｉは、
アクチュエータ５８が押し棒６４を介して梁材６２の中
央部を押したとき、梁材６２のたわみ曲線が２次多項式
となるように設計されている。アクチュエータ５７，５
８，５９が梁材６２にかける荷重はＥＬＧ５２，５３と
ＭＲ素子５４の抵抗値から求められたローボーの平衡度
と湾曲度に基づいて制御される。アクチュエータ５７，
５８，５９の荷重をそれぞれＰＬ，ＰＣ，ＰＲとする
と、平衡度に関してロー１５の図面に向かって右側の加
工量が足りない場合にはＰＬ＜ＰＲ、左側の加工量が足
りない場合にはＰＬ＞ＰＲとなるように制御される。ま
た湾曲度に関してロー１５の中央部の加工量が足りない
場合にはＰＣ＞ＰＬ，ＰＲ、両端の加工量が足りない場
合にはＰＣ＜ＰＬ，ＰＲとなるように制御される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来例では、梁
材６２のたわみ曲線が２次多項式で近似できるようにＨ
型スロット形状を設計しておき、ロー１５の平衡度と湾
曲度に基づいて保治具５１に加える荷重を制御してい
る。しかし保治具５１へロー１５を接着した後、あるい
はロー１５をラップ加工している最中のローボー形状は
必ずしも２次多項式になるとは限らず、荷重制御によっ
て変形させた梁材６２の形状と実際のロー１５の形状の
差が加工後の素子高さバラツキの原因となる。今後さら
に厳しくなるＭＲ素子高さの公差に対して加工合格率を
向上させるには、ローの形状により近い変形の制御が必
要となる。本発明は、素子高さの電気的測定機能を有す
るラップ装置を用いたラップ方法において、ローの変形
を数次多項式の形状となるような荷重の制御方法を提供
することを目的としている。
材６２のたわみ曲線が２次多項式で近似できるようにＨ
型スロット形状を設計しておき、ロー１５の平衡度と湾
曲度に基づいて保治具５１に加える荷重を制御してい
る。しかし保治具５１へロー１５を接着した後、あるい
はロー１５をラップ加工している最中のローボー形状は
必ずしも２次多項式になるとは限らず、荷重制御によっ
て変形させた梁材６２の形状と実際のロー１５の形状の
差が加工後の素子高さバラツキの原因となる。今後さら
に厳しくなるＭＲ素子高さの公差に対して加工合格率を
向上させるには、ローの形状により近い変形の制御が必
要となる。本発明は、素子高さの電気的測定機能を有す
るラップ装置を用いたラップ方法において、ローの変形
を数次多項式の形状となるような荷重の制御方法を提供
することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数の磁気ヘ
ッドが一列に並んだ状態であるバーを梁材に取り付け、
磁気ヘッドの素子高さを計測算出して素子高さを加工す
る磁気ヘッドの加工制御方法において、予め、梁材に作
用させる荷重に対しバーの変形を数次多項式化して荷重
と数次多項式中の係数の関係を表す関係式を求めてお
き、加工中に計測算出された複数の素子高さをもとにバ
ーの変形を数次多項式で表し、その係数と前記関係式を
もとにして素子高さが所定範囲内になるような矯正荷重
を求め、その荷重を梁材に作用させてバーを加工するこ
とを特徴としている。特に、バーは、中間を２点支持さ
れ両端部と中央部に荷重作用点を有する梁材に取り付け
られており、数次多項式を４次多項式とすると良い。
ッドが一列に並んだ状態であるバーを梁材に取り付け、
磁気ヘッドの素子高さを計測算出して素子高さを加工す
る磁気ヘッドの加工制御方法において、予め、梁材に作
用させる荷重に対しバーの変形を数次多項式化して荷重
と数次多項式中の係数の関係を表す関係式を求めてお
き、加工中に計測算出された複数の素子高さをもとにバ
ーの変形を数次多項式で表し、その係数と前記関係式を
もとにして素子高さが所定範囲内になるような矯正荷重
を求め、その荷重を梁材に作用させてバーを加工するこ
とを特徴としている。特に、バーは、中間を２点支持さ
れ両端部と中央部に荷重作用点を有する梁材に取り付け
られており、数次多項式を４次多項式とすると良い。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１はカートリッジにローが接着
された状態を表す図である。本カートリッジ１１は、左
右両側に設けられた切り欠き１３と長方形のスロット１
４によって２点支持された梁材１２が形成されている構
造のものを用いている。梁材１２にはロー１５が接着さ
れており、ロー１５の浮上面１８は定盤１７によってラ
ップ加工される。ここで、梁材１２と切り欠き１３およ
び長方形スロット１４の寸法Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅは、梁
材１２の３ヶ所に荷重ＬＢ，ＣＢ，ＲＢをかけたときの
変形形状が４次多項式で近似できるように設計されてい
る。カートリッジ１１には５ヶ所に荷重をかけることが
できる。ＬＢ，ＣＢ，ＲＢは梁材１２にかかる荷重であ
り、ロー１５の曲がり形状の矯正を行う。またＬＴ，Ｒ
Ｔはロー１５全体に対してラップ加工のための荷重を与
えると同時に、左右の荷重バランスを変えることでロー
１５の傾きも矯正する。
された状態を表す図である。本カートリッジ１１は、左
右両側に設けられた切り欠き１３と長方形のスロット１
４によって２点支持された梁材１２が形成されている構
造のものを用いている。梁材１２にはロー１５が接着さ
れており、ロー１５の浮上面１８は定盤１７によってラ
ップ加工される。ここで、梁材１２と切り欠き１３およ
び長方形スロット１４の寸法Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅは、梁
材１２の３ヶ所に荷重ＬＢ，ＣＢ，ＲＢをかけたときの
変形形状が４次多項式で近似できるように設計されてい
る。カートリッジ１１には５ヶ所に荷重をかけることが
できる。ＬＢ，ＣＢ，ＲＢは梁材１２にかかる荷重であ
り、ロー１５の曲がり形状の矯正を行う。またＬＴ，Ｒ
Ｔはロー１５全体に対してラップ加工のための荷重を与
えると同時に、左右の荷重バランスを変えることでロー
１５の傾きも矯正する。
【００１０】ロー１５は素子成膜時に形成された複数個
のＥＬＧ１６を有する。ＥＬＧ１６は素子に対して高さ
方向で一定位置に形成されているので、その抵抗値は素
子高さを表す。本発明ではラップ加工中に測定したＥＬ
Ｇ１６の抵抗値に基づいて荷重ＬＢ，ＣＢ，ＲＢ，Ｌ
Ｔ，ＲＴの制御を行う。ここで、ロー１５がＭＲヘッド
の場合にはＥＬＧ１６の抵抗値の代わりにＭＲ素子自体
の抵抗値を使用することも可能である。
のＥＬＧ１６を有する。ＥＬＧ１６は素子に対して高さ
方向で一定位置に形成されているので、その抵抗値は素
子高さを表す。本発明ではラップ加工中に測定したＥＬ
Ｇ１６の抵抗値に基づいて荷重ＬＢ，ＣＢ，ＲＢ，Ｌ
Ｔ，ＲＴの制御を行う。ここで、ロー１５がＭＲヘッド
の場合にはＥＬＧ１６の抵抗値の代わりにＭＲ素子自体
の抵抗値を使用することも可能である。
【００１１】図２は本発明を用いたラップ装置の荷重制
御に関する構成図である。定盤１７でロー１５のラップ
加工を行いながら、制御装置２２はマルチチャンネルの
ディジタルオームメータ２１によってＥＬＧ１６の抵抗
値Ｒiを測定する。ここでｉはｉ番目のＥＬＧを意味す
る添字である。つぎに制御装置は各Ｒiに対応した素子
高さｈiを順次算出して、素子高さを連ねた線を４次多
項式ｈ＝ａｘ4＋ｂｘ3＋ｃｘ2＋ｄｘ＋ｅで近似する。
ここでｘ軸は梁材１２にロー１５が接着されている部分
の長手方向の座標である。そしてロー１５の中の素子高
さを揃えるために、この４次多項式の曲がり形状が直線
に矯正される方向に荷重ＬＢ，ＣＢ，ＲＢをかけて梁材
１２を変形させ、かつ傾きが０になるように荷重ＬＴ，
ＲＴを制御する。
御に関する構成図である。定盤１７でロー１５のラップ
加工を行いながら、制御装置２２はマルチチャンネルの
ディジタルオームメータ２１によってＥＬＧ１６の抵抗
値Ｒiを測定する。ここでｉはｉ番目のＥＬＧを意味す
る添字である。つぎに制御装置は各Ｒiに対応した素子
高さｈiを順次算出して、素子高さを連ねた線を４次多
項式ｈ＝ａｘ4＋ｂｘ3＋ｃｘ2＋ｄｘ＋ｅで近似する。
ここでｘ軸は梁材１２にロー１５が接着されている部分
の長手方向の座標である。そしてロー１５の中の素子高
さを揃えるために、この４次多項式の曲がり形状が直線
に矯正される方向に荷重ＬＢ，ＣＢ，ＲＢをかけて梁材
１２を変形させ、かつ傾きが０になるように荷重ＬＴ，
ＲＴを制御する。
【００１２】次に図３と図４をもとに、前記算出した４
次多項式ｈ＝ａｘ4＋ｂｘ3＋ｃｘ2＋ｄｘ＋ｅから、曲
がり形状を直線形状に矯正するような荷重ＬＢ，ＣＢ，
ＲＢを求める方法を説明する。図３は梁材１２を４次多
項式の形状で曲げるための荷重を算出する方を示す図で
ある。まず予め、梁材１２に荷重Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３をか
けたときの梁材１２の変形量ｙを構造解析の変形シミュ
レーションで求め、その変形を４次多項式ｙ＝ａｘ4＋
ｂｘ3＋ｃｘ2＋ｄｘ＋ｅで近似して荷重Ｆ１，Ｆ２，Ｆ
３と各次数の係数ａ，ｂ，ｃ，ｄの関係を表す行列Ｋを
求める。ここで、梁材１２の曲がり形状を表しているの
は４次，３次，２次の係数であるから、各係数ａ，ｂ，
ｃを決定する部分行列の逆行列Ｋ’を計算しておく。こ
こで梁材１２の変形量を求める手段として、変形シミュ
レーションを使用する代わりに、実物のカートリッジに
既知の荷重Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３をかけて、その時の変形量
を電気マイクロ等で実測する方法も使用可能である。こ
れにより、ラップ加工中に算出される素子高さの４次近
似式ｈ＝ａｘ4＋ｂｘ3＋ｃｘ2＋ｄｘ＋ｅの中の曲がり
形状を表す係数ａ，ｂ，ｃに、前記のＫ’を掛けること
で、梁材１２をその形状で変形させるための荷重Ｆ１，
Ｆ２，Ｆ３を求めることができる。
次多項式ｈ＝ａｘ4＋ｂｘ3＋ｃｘ2＋ｄｘ＋ｅから、曲
がり形状を直線形状に矯正するような荷重ＬＢ，ＣＢ，
ＲＢを求める方法を説明する。図３は梁材１２を４次多
項式の形状で曲げるための荷重を算出する方を示す図で
ある。まず予め、梁材１２に荷重Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３をか
けたときの梁材１２の変形量ｙを構造解析の変形シミュ
レーションで求め、その変形を４次多項式ｙ＝ａｘ4＋
ｂｘ3＋ｃｘ2＋ｄｘ＋ｅで近似して荷重Ｆ１，Ｆ２，Ｆ
３と各次数の係数ａ，ｂ，ｃ，ｄの関係を表す行列Ｋを
求める。ここで、梁材１２の曲がり形状を表しているの
は４次，３次，２次の係数であるから、各係数ａ，ｂ，
ｃを決定する部分行列の逆行列Ｋ’を計算しておく。こ
こで梁材１２の変形量を求める手段として、変形シミュ
レーションを使用する代わりに、実物のカートリッジに
既知の荷重Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３をかけて、その時の変形量
を電気マイクロ等で実測する方法も使用可能である。こ
れにより、ラップ加工中に算出される素子高さの４次近
似式ｈ＝ａｘ4＋ｂｘ3＋ｃｘ2＋ｄｘ＋ｅの中の曲がり
形状を表す係数ａ，ｂ，ｃに、前記のＫ’を掛けること
で、梁材１２をその形状で変形させるための荷重Ｆ１，
Ｆ２，Ｆ３を求めることができる。
【００１３】図４は図３に示した荷重の算出方法を実際
のラップ荷重制御に適用する場合の荷重制御例のブロッ
ク図である。ラップ加工のための荷重ＬＴ，ＲＴはラッ
プ荷重ＦLにロー１２の傾き矯正荷重ＦTを補正して求め
る。ここで、ＦLはロー１２の加工に適した所定の荷重
を用いるが、ＦTは素子高さの４次近似式ｈ＝ａｘ4＋ｂ
ｘ3＋ｃｘ2＋ｄｘ＋ｅの３次と１次の係数ｂ，ｄによる
比例制御により求める。すなわち、３次形状ｈ＝ｂｘ3
の傾き成分ｂ’を最小自乗法で求め、ｂ’と１次項の係
数ｂの和に適当な比例定数ＧTをかけてＦTを算出する。
のラップ荷重制御に適用する場合の荷重制御例のブロッ
ク図である。ラップ加工のための荷重ＬＴ，ＲＴはラッ
プ荷重ＦLにロー１２の傾き矯正荷重ＦTを補正して求め
る。ここで、ＦLはロー１２の加工に適した所定の荷重
を用いるが、ＦTは素子高さの４次近似式ｈ＝ａｘ4＋ｂ
ｘ3＋ｃｘ2＋ｄｘ＋ｅの３次と１次の係数ｂ，ｄによる
比例制御により求める。すなわち、３次形状ｈ＝ｂｘ3
の傾き成分ｂ’を最小自乗法で求め、ｂ’と１次項の係
数ｂの和に適当な比例定数ＧTをかけてＦTを算出する。
【００１４】ラップ加工中のロー１２の曲がり形状の矯
正については、全ての素子の高さが等しくなる荷重方
向、すなわち素子高さの４次近似式の４次，３次，２次
の係数ａ，ｂ，ｃがすべて０になる荷重方向に矯正荷重
ＬＢ，ＣＢ，ＲＢを徐々に調整していき、４次，３次，
２次の係数ａ，ｂ，ｃがすべて０になったときには、そ
のときの荷重ＬＢ，ＣＢ，ＲＢを保持する必要がある。
そこでロー１２の曲がり形状矯正荷重ＬＢ，ＣＢ，ＲＢ
に関しては、４次，３次，２次の項の係数ａ，ｂ，ｃに
基づく積分制御を行う。係数ａ，ｂ，ｃに上記の逆行列
Ｋ’を掛けて求めた荷重Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３に適当な定数
ＧTをかけ、それをラップ時間で積分して荷重ＬＢ，Ｃ
Ｂ，ＲＢを算出する。なお、ローの変形を４次近似で説
明したが、これは用いたカートリッジの梁形状及び梁を
変形させるための荷重点から規制されるものであり、カ
ートリッジの梁形状を３点支持及び荷重点を４点とする
等自由度を増せば、これにあわせて本発明の思想をもと
にローの変形近似次数を増やすことができることは言う
までもない。
正については、全ての素子の高さが等しくなる荷重方
向、すなわち素子高さの４次近似式の４次，３次，２次
の係数ａ，ｂ，ｃがすべて０になる荷重方向に矯正荷重
ＬＢ，ＣＢ，ＲＢを徐々に調整していき、４次，３次，
２次の係数ａ，ｂ，ｃがすべて０になったときには、そ
のときの荷重ＬＢ，ＣＢ，ＲＢを保持する必要がある。
そこでロー１２の曲がり形状矯正荷重ＬＢ，ＣＢ，ＲＢ
に関しては、４次，３次，２次の項の係数ａ，ｂ，ｃに
基づく積分制御を行う。係数ａ，ｂ，ｃに上記の逆行列
Ｋ’を掛けて求めた荷重Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３に適当な定数
ＧTをかけ、それをラップ時間で積分して荷重ＬＢ，Ｃ
Ｂ，ＲＢを算出する。なお、ローの変形を４次近似で説
明したが、これは用いたカートリッジの梁形状及び梁を
変形させるための荷重点から規制されるものであり、カ
ートリッジの梁形状を３点支持及び荷重点を４点とする
等自由度を増せば、これにあわせて本発明の思想をもと
にローの変形近似次数を増やすことができることは言う
までもない。
【００１５】
【発明の効果】以上の制御方法を用いることにより、従
来発生していた実際のローの形状と２次近似の多項式と
の誤差に起因する素子高さばらつきを小さくすることが
でき、高精度なラップ加工を実現することができる。
来発生していた実際のローの形状と２次近似の多項式と
の誤差に起因する素子高さばらつきを小さくすることが
でき、高精度なラップ加工を実現することができる。
【図１】本発明で使用されるカートリッジにローが接着
された状態を表す図
された状態を表す図
【図２】本発明を用いたラップ装置の荷重制御に関する
構成図
構成図
【図３】本発明における４次多項式から矯正荷重を求め
る方法を示す図
る方法を示す図
【図４】本発明を用いた荷重制御例のブロック図
【図５】ローの反りの機能を有するラップ装置全体構成
図の従来例
図の従来例
【図６】上記従来例で使用されるローの保治具の形状図
１１ カートリッジ １５ ロー １２ 梁材 １６ ＥＬＧ １３ 切り欠き １７ 定盤 １４ スロット １８ ＡＢＳ面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−95572（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−115618（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−69162（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B24B 49/10 B24B 37/04
Claims (3)
- 【請求項１】 複数の磁気ヘッドが一列に並んだ状態で
あるバーを梁材に取り付け、磁気ヘッドの素子高さを計
測算出して素子高さを加工する磁気ヘッドの加工制御方
法において、 予め、梁材に作用させる荷重に対しバーの変形を数次多
項式化して荷重と数次多項式中の係数の関係を表す関係
式を求めておき、加工中に計測算出された複数の素子高
さをもとにバーの変形を数次多項式で表し、その係数と
前記関係式をもとにして素子高さが所定範囲内になるよ
うな矯正荷重を求め、その荷重を梁材に作用させてバー
を加工することを特徴とする磁気ヘッドの加工制御方
法。 - 【請求項２】 バーは、中間を２点支持され両端部と中
央部に荷重作用点を有する梁材に取り付けられており、
数次多項式を４次多項式とするような請求項１に記載の
磁気ヘッドの加工制御方法。 - 【請求項３】 梁材に作用する荷重と数次多項式の係数
の関係式は行列式であり、これから梁材の曲がり形状を
示す係数に対する部分行列の逆行列を求めておき、加工
中に計測算出された複数の素子高さをもとに算出した数
次多項式のうち、曲がり形状を示す係数を前記逆行列と
掛けることで曲がりを矯正する荷重を算出するととも
に、傾きを示す係数の和をもとに傾きを矯正する荷重を
算出する請求項１又は２に記載の磁気ヘッドの加工制御
方法。
Priority Applications (1)
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