JPH11863A - 磁気ヘッドの加工制御方法 - Google Patents

磁気ヘッドの加工制御方法

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JPH11863A
JPH11863A JP15469297A JP15469297A JPH11863A JP H11863 A JPH11863 A JP H11863A JP 15469297 A JP15469297 A JP 15469297A JP 15469297 A JP15469297 A JP 15469297A JP H11863 A JPH11863 A JP H11863A
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row
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polynomial
magnetic head
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JP15469297A
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Toshiyuki Baba
敏之 馬場
Kazuo Suzuki
和生 鈴木
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Hitachi Metals Ltd
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/048Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces of sliders and magnetic heads of hard disc drives or the like

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数の磁気ヘッドが一列に並んだ状態である
バーを取り付け、磁気ヘッドの素子高さを計測算出して
素子高さを加工する磁気ヘッドの加工制御方法におい
て、目標値に対する素子高さのばらつきを小さくして精
度良く加工する方法を提供する。 【解決手段】 バーの取り付け部に作用させる荷重と変
形を表す数次多項中の係数の関係式を求めておき、加工
中に計測された複数の素子高さをもとに算出した数次多
項式に対し、前記関係式を用いて素子高さが所定範囲内
になるようにバーの矯正荷重を求めて加工する。この
時、全ての素子の加工開始までは実際の曲がり形状と合
致しない数次多項式中の係数を無視して矯正荷重を求
め、また全ての素子の加工開始後で数次多項式の係数を
全て用いて矯正荷重を求める。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、コンピューターの
ハードディスクドライブに使用する磁気ヘッドのスライ
ダー加工工程において、ラップ加工によって素子高さの
加工量を精密に制御する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】インダクティブ型薄膜ヘッドあるいはM
Rヘッドなど電磁変換素子が薄膜で形成される磁気ヘッ
ドでは、スロートハイト(Throat Height)あるいはM
R素子高さと呼ばれる電磁変換素子の高さ寸法が磁気ヘ
ッドの特性の上で重要な寸法である。通常それらの寸法
出しは磁気ヘッドの浮上面(Air Bearing Surface,
以下ABS面と称す)をラップ加工することで行われて
おり、高い加工精度が要求される工程である。これらの
磁気ヘッドの素子はセラミックの基盤上に磁性材や絶縁
材の薄膜を積層することで形成され、1枚の基盤上に多
数個の素子を作ることができる。基盤上に素子を形成し
た状態をウェハーと呼ぶ。加工工程では複数個の磁気ヘ
ッドを一度に加工して生産能率を上げるために、磁気ヘ
ッドが一列に複数個並んだバー(以下ローと呼ぶ)をウ
ェハーから切り出して、そのローの状態で加工を行うの
が一般的である。しかしウェハーからローを切り出す時
に発生する加工歪みや、ローをラップ治具へ接着する時
の加圧むらなどにより、ローに反り(以下ローボーと呼
ぶ)が生じ、これがラップ加工後の素子高さ寸法ばらつ
きの原因となる。
【0003】そこで、基盤上に素子を成膜する時にEL
G(Electrical Lapping Guide)と呼ばれる抵抗体を
素子に対して一定位置に形成しておき、ローのABS面
のラップを行いながらELGの抵抗値あるいはMR素子
自体の抵抗値を測定し、その結果に基づいた荷重の制御
によりローを保持している治具を変形させ、ローボーを
矯正しながら所定の素子高さまで加工を行う方法が用い
られる。
【0004】この方法で使用されるラップ装置の従来例
として特公平7−112672がある。この従来例の原
理を図7と図8により説明する。
【0005】図7はラップ装置全体構成図である。ロー
15は保治具51に接着されており、定盤17上でAB
S面18がラップされる。この従来例では加工量の制御
にロー15の両端に形成されたELG52、53の抵抗
値とMR素子54の抵抗値を用いている。ABS面18
がラップされるとELG52、53とMR素子54の高
さが小さくなるため、それらの抵抗値が徐々に高くな
る。すなわちELG52、53とMR素子54の抵抗値
はMR素子高さを表す。そこで制御装置55はラップ加
工中にディジタルオームメータ56でELG52、53
と複数個のMR素子54の抵抗値を測定し、得られた抵
抗値からローボーの状態求め、これに基づいてアクチュ
エータ57、58、59が保治具51にかける荷重を制
御する。
【0006】図8はこの従来例における保治具51の形
状である。保持具51にはH型スロット61が設けられ
ており、これにより両端支持の梁材62が形成されてい
る。ロー15は梁材62の下面63に接着されている。
さらにH型スロット61の形状寸法F,G,H,Iは、
アクチュエータ58が押し棒64を介して梁材62の中
央部を押したとき、梁材62のたわみ曲線が2次多項式
となるように設計されている。アクチュエータ57、5
8、59が梁材62にかける荷重はELG52,53と
MR素子54の抵抗値から求められたローボーの平衡度
と湾曲度に基づいて制御される。アクチュエータ57、
58、59の荷重をそれぞれPL,PC,PRとする
と、平衡度に関してロー15の図面に向かって右側の加
工量が足りない場合にはPL<PR、左側の加工量が足
りない場合にはPL>PRとなるように制御される。ま
た湾曲度に関してロー15の中央部の加工量が足りない
場合にはPC>PL,PR、両端の加工量が足りない場
合にはPC<PL,PRとなるように制御される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来例では、梁
材62のたわみ曲線が2次多項式で近似できるようにH
型スロット形状を設計しておき、ロー15の平衡度と湾
曲度に基づいて保治具51に加える荷重を制御してい
る。しかし保治具51へロー15を接着した後、あるい
はロー15をラップ加工している最中のローボー形状は
必ずしも2次多項式になるとは限らず、荷重制御によっ
て変形させた梁材62の形状と実際のロー15の形状の
差が加工後の素子高さバラツキの原因となる。今後さら
に厳しくなるMR素子高さの公差に対して加工合格率を
向上させるには、ローの形状により近い変形の制御が必
要となる。本発明は、素子高さの電気的測定機能を有す
るラップ装置を用いたラップ方法において、ローの変形
を数次多項式の形状となるような荷重の制御方法を提供
することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数の磁気ヘ
ッドが一列に並んだ状態であるバーを加工治具に取り付
け、磁気ヘッドの素子高さを計測算出して各磁気ヘッド
の素子高さを所定寸法になるように加工する磁気ヘッド
の加工制御方法において、バーを取り付けた梁材に作用
させる荷重に対しその変形を数次多項式化し、荷重と数
次多項式中の係数の関係を行列式で求め、これから梁材
の曲がり形状を示す係数に対する部分行列の逆行列を求
めておき、加工中に計測算出された複数の素子高さをも
とに算出した数次多項式のうち、曲がり形状を示す係数
を前記逆行列と掛けることで曲がりを矯正する荷重を算
出するとともに、傾きを示す係数の和をもとに傾きを矯
正する荷重を算出して、その荷重を加工治具に作用させ
て加工する磁気ヘッドの加工制御方法であって、全ての
素子が加工開始されるまでは、実際の曲がり形状と合致
しない多項式中の係数は無視して曲がり矯正荷重を求め
てその荷重を加工治具に作用させ、全ての素子が加工開
始された後に、全ての多項式の係数を考慮した曲がり矯
正荷重を求めてその荷重を加工治具に作用させることを
特徴としている。望ましくは、バーは中間を2点支持さ
れ両端部と中央部に荷重作用点を有する梁材に取り付け
られており、数次多項式を4次多項式とすると良い。こ
の時、加工の初期段階でバーの中央から加工が始まった
場合にはバー両端の加工が始まるまで4次の係数を無視
し、あるいは加工の初期段階でバーの両端から加工が始
まった場合にはバー中央の加工が始まるまで2次の係数
を無視して上記の逆行列を使って曲がり矯正荷重を求め
ることで、より早くバーの曲がりを矯正することができ
る。
【0009】
【発明の実施の形態】図1はカートリッジにローが接着
された状態を表す図である。本カートリッジ11は、左
右両側に設けられた切り欠き13と長方形のスロット1
4によって2点支持された梁材12が形成されている構
造のものを用いている。梁材12にはロー15が接着さ
れており、ロー15の浮上面18は定盤17によってラ
ップ加工される。ここで、梁材12と切り欠き13およ
び長方形スロット14の寸法A,B,C,D,Eは、梁
材12の3ヶ所に荷重LB,CB,RBをかけたときの
変形形状が4次多項式で近似できるように設計されてい
る。カートリッジ11には5ヶ所に荷重をかけることが
できる。LB,CB,RBは梁材12にかかる荷重であ
り、ロー15の曲がり形状の矯正を行う。またLT,R
Tはロー15全体に対してラップ加工のための荷重を与
えると同時に、左右の荷重バランスを変えることでロー
15の傾きも矯正する。
【0010】ロー15は素子成膜時に形成された複数個
のELG16を有する。ELG16は素子に対して高さ
方向で一定位置に形成されているので、その抵抗値は素
子高さを表す。本発明ではラップ加工中に測定したEL
G16の抵抗値に基づいて荷重LB,CB,RB,L
T,RTの制御を行う。ここで、ロー15がMRヘッド
の場合にはELG16の抵抗値の代わりにMR素子自体
の抵抗値を使用することも可能である。
【0011】図2は本発明を用いたラップ装置の荷重制
御に関する構成図である。定盤17でロー15のラップ
加工を行いながら、制御装置22はマルチチャンネルの
ディジタルオームメータ21によってELG16の抵抗
値Riを測定する。ここでiはi番目のELGを意味す
る添字である。つぎに制御装置は各Riに対応した素子
高さhiを順次算出して、素子高さを連ねた線を4次多
項式h=ax4+bx3+cx2+dx+eで近似する。
ここでx軸は梁材12にロー15が接着されている部分
の長手方向の座標である。そしてロー15の中の素子高
さを揃えるために、この4次多項式の曲がり形状が直線
に矯正される方向に荷重LB,CB,RBをかけて梁材
12を変形させ、かつ傾きが0になるように荷重LT,
RTを制御する。
【0012】次に図3と図4をもとに、前記算出した4
次多項式h=ax4+bx3+cx2+dx+eから、曲
がり形状を直線形状に矯正するような荷重LB,CB,
RBを求める方法を説明する。図3は梁材12を4次多
項式の形状で曲げるための荷重を算出する方法を示す図
である。まず予め、梁材12に荷重F1,F2,F3を
かけたときの梁材12の変形量yを構造解析の変形シミ
ュレーションで求め、その変形を4次多項式y=ax4
+bx3+cx2+dx+eで近似して荷重F1,F2,
F3と各次数の係数a,b,c,dの関係を表す行列K
を求める。ここで、梁材12の曲がり形状を表している
のは4次,3次,2次の係数であるから、各係数a,
b,cを決定する部分行列の逆行列K’を計算してお
く。ここで梁材12の変形量を求める手段として、変形
シミュレーションを使用する代わりに、実物のカートリ
ッジに既知の荷重F1,F2,F3をかけて、その時の
変形量を電気マイクロ等で実測する方法も使用可能であ
る。これにより、ラップ加工中に算出される素子高さの
4次近似式h=ax4+bx3+cx2+dx+eの中の
曲がり形状を表す係数a,b,cに、前記のK’を掛け
ることで、梁材12をその形状で変形させるための荷重
F1,F2,F3を求めることができる。
【0013】図4は図3に示した荷重の算出方法を実際
のラップ荷重制御に適用する場合の荷重制御例のブロッ
ク図である。ラップ加工のための荷重LT,RTはラッ
プ荷重FLにロー12の傾き矯正荷重FTを補正して求め
る。ここで、FLはロー12の加工に適した所定の荷重
を用いるが、FTは素子高さの4次近似式h=ax4+b
3+cx2+dx+eの3次と1次の係数b,dによる
比例制御により求める。すなわち、3次形状h=bx3
の傾き成分b’を最小自乗法で求め、b’と1次項の係
数dとの和に適当な比例定数GTをかけてFTを算出す
る。
【0014】ラップ加工中のロー12の曲がり形状の矯
正については、全ての素子の高さが等しくなる荷重方
向、すなわち素子高さの4次近似式の4次,3次,2次
の係数a,b,cがすべて0になる荷重方向に係数a,
b,cに基づく矯正荷重LB,CB,RBを積分制御す
る。係数a,b,cに上記の逆行列K’を掛けて求めた
荷重F1,F2,F3に適当な定数GBをかけて求めた
矯正荷重LB,CB,RBを徐々に調整していき、4
次,3次,2次の係数a,b,cがすべて0になったと
きには、そのときの荷重LB,CB,RBを保持する。
【0015】ところで、加工前のロー15の曲がり形状
はロー15中央部が定盤17に対して凸または凹となっ
ているものが多い。図5は加工前のロー15中央部が定
盤17に対して凸の場合を示す。図5(a)に示すよう
に、ロー15の中央付近から定盤17に当たり始めるた
め、加工初期段階ではロー中央付近から加工が始める。
このときの素子高さをプロットすると図5(b)に示す
ようになり、まだ定盤17と当たっていないロー15の
両端部では初期高さH0のままであるのに対し、ロー1
5の中央付近では初期高さH0より小さくなっている。
ここでx軸はロー15の長手方向位置を表し、ロー15
の中央が原点0である。このような状態の素子高さを4
次多項式h=ax4+bx3+cx2+dx+eで近似す
ると、その係数の符号は、4次係数a<0であり2次係
数c>0となる。2次係数c>0は実際のロー15の曲
がり形状と同じく定盤17に対して凸であることを表し
ているが、4次係数a<0は実際のロー15の曲がり形
状とは反対に定盤17に対して凹であることを表してい
る。従って、この4次係数aから算出される荷重分は曲
がりを矯正する方向とは逆向きに作用することになり、
望ましい矯正荷重が得られない。そこで、加工初期段階
で上述したような素子高さ状態を呈するものに対して
は、両端の素子高さがH0より小さくなるまでは4次係
数aを無視して曲がり矯正荷重を算出するようにする。
これにより、逆方向に荷重をかけることなくロー15の
曲がりを効率的に矯正することが可能となる。
【0016】一方、図6は加工前のロー15中央部が定
盤17に対して凹の場合を示す。図6(a)に示すよう
に、ロー15の両端から定盤17に当たり始めるため、
加工初期段階ではロー両端から加工が始まる。このとき
の素子高さをプロットすると図6(b)に示すようにな
る。素子高さは、まだ定盤17と当たっていないロー1
5の中央付近で初期高さH0のままであるのに対し、ロ
ー15の両端部では初期高さH0より小さくなってい
る。この素子高さを4次多項式h=ax4+bx3+cx2
dx+eで近似すると、その係数の符号は、4次係数a
<0であり2次係数c>0となる。4次係数a<0は実
際のロー15の曲がり形状と同じく定盤17に対して凹
であることを表しているが、2次係数c>0は、実際の
ロー15の形状とは反対に定盤17に対して凸であるこ
とを表している。従って上述したと同様に、この2次係
数cから算出される荷重分は曲がりを矯正する方向とは
逆向きに作用することになり、望ましい矯正荷重が得ら
れない。そこで前記したと同様に、加工初期段階で上述
したような素子高さ状態を呈するものに対しては、中央
付近の素子高さがH0より小さくなるまでは2次係数c
を無視して曲がり矯正荷重を算出するようにする。これ
により、逆方向に荷重をかけることなくロー15の曲が
りを効率的に矯正することが可能となる。即ち、全ての
素子が加工開始されるまでは、実際の曲がり形状と合致
しない4次多項式の係数は無視して曲がり矯正荷重L
B,CB,RBを求めて効率的に加工をすすめ、全ての
素子が加工開始された後に、全ての4次多項式の係数を
考慮した曲がり矯正荷重LB,CB,RBを求めて精度
良く加工するのである。
【0017】なお、ローの変形を4次近似で説明した
が、これは用いたカートリッジの梁形状及び梁を変形さ
せるための荷重点から規制されるものであり、カートリ
ッジの梁形状を3点支持及び荷重点を4点とする等自由
度を増せば、これにあわせて本発明の思想をもとにロー
の変形近似次数を増やすことができる。また、同様にし
て合理的な曲がり矯正荷重を求めることができる。
【0018】
【発明の効果】以上の制御方法を用いることにより、ロ
ーに掲載された磁気ヘッドの素子高さを、ローが曲がっ
ていても効率よく、かつ高精度にラップ加工をすること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を説明するためのカートリッジにローが
接着された状態を表す図
【図2】本発明を説明するためのラップ装置の荷重制御
に関する構成図
【図3】本発明を説明するための4次多項式から矯正荷
重を求める方法を示す図
【図4】本発明を説明するための荷重制御例のブロック
【図5】加工前のローの反りが定盤に対して凸の場合の
素子高さを示す図
【図6】加工前のローの反りが定盤に対して凹の場合の
素子高さを示す図
【図7】従来例のローの反りを修正する機能を有するラ
ップ装置の概念図
【図6】上記従来例で使用されるローの保治具の形状図
【符号の説明】
11 カートリッジ 12 梁材 13 切り欠き 14 スロット 15 ロー 16 ELG 17 定盤 18 ABS面
【手続補正書】
【提出日】平成9年9月18日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を説明するためのカートリッジにローが
接着された状態を表す図
【図2】本発明を説明するためのラップ装置の荷重制御
に関する構成図
【図3】本発明を説明するための4次多項式から矯正荷
重を求める方法を示す図
【図4】本発明を説明するための荷重制御例のブロック
【図5】加工前のローの反りが定盤に対して凸の場合の
素子高さを示す図
【図6】加工前のローの反りが定盤に対して凹の場合の
素子高さを示す図
【図7】従来例のローの反りを修正する機能を有するラ
ップ装置の概念図
【図8】上記従来例で使用されるローの保治具の形状図
【符号の説明】 11 カートリッジ 12 梁材 13 切り欠き 14 スロット 15 ロー 16 ELG 17 定盤 18 ABS面

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の磁気ヘッドが一列に並んだ状態で
    あるバーを加工治具に取り付け、磁気ヘッドの素子高さ
    を計測算出して各磁気ヘッドの素子高さを所定寸法にな
    るように加工する磁気ヘッドの加工制御方法において、 バーを取り付けた梁材に作用させる荷重に対しその変形
    を数次多項式化し、荷重と数次多項式中の係数の関係を
    行列式で求め、これから梁材の曲がり形状を示す係数に
    対する部分行列の逆行列を求めておき、加工中に計測算
    出された複数の素子高さをもとに算出した数次多項式の
    うち、曲がり形状を示す係数を前記逆行列と掛けること
    で曲がりを矯正する荷重を算出するとともに、傾きを示
    す係数の和をもとに傾きを矯正する荷重を算出して、そ
    の荷重を加工治具に作用させて加工する磁気ヘッドの加
    工制御方法であって、 全ての素子が加工開始されるまでは、実際の曲がり形状
    と合致しない多項式中の係数は無視して曲がり矯正荷重
    を求めてその荷重を加工治具に作用させ、全ての素子が
    加工開始された後に、全ての多項式の係数を考慮した曲
    がり矯正荷重を求めてその荷重を加工治具に作用させる
    ことを特徴とする磁気ヘッドの加工制御方法。
JP15469297A 1997-06-12 1997-06-12 磁気ヘッドの加工制御方法 Withdrawn JPH11863A (ja)

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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4855514A (en) * 1988-08-17 1989-08-08 Eastman Kodak Company Oxidative iodination of phenol
WO2000056502A1 (fr) * 1999-03-19 2000-09-28 Fujitsu Limited Machine de rodage, procede de rodage et procede de fabrication de tete magnetique
US6348601B2 (en) 2000-02-04 2002-02-19 Basf Aktiengesellschaft Preparation of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP)
US6347975B2 (en) 2000-01-13 2002-02-19 Tdk Corporation Apparatus and method for processing thin-film magnetic head material
US6409575B2 (en) 2000-01-13 2002-06-25 Tdk Corporation Processing apparatus and method
JP2002181626A (ja) * 2000-12-15 2002-06-26 Nippon Avionics Co Ltd 赤外線熱画像装置
WO2004012249A1 (ja) * 2002-07-26 2004-02-05 Nikon Corporation 研磨装置
US6859678B1 (en) 1999-06-21 2005-02-22 Tdk Corporation Method and apparatus for manufacturing magnetoresistive element, software and system for controlling manufacturing of magnetoresistive element, software for estimating resistance value of magnetoresistive element, and computer system
US7014532B2 (en) 2001-09-10 2006-03-21 Fujitsu Limited Lapping machine, lapping method, and method of manufacturing magnetic head
US7359152B2 (en) 2004-09-01 2008-04-15 Sae Magnetics, (H.K.) Ltd. Thin film magnetic head structure, method of manufacturing the same, and method of manufacturing thin film magnetic head
US7874063B2 (en) 2005-08-23 2011-01-25 Tdk Corporation Thin film magnetic head integrated structure

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4855514A (en) * 1988-08-17 1989-08-08 Eastman Kodak Company Oxidative iodination of phenol
WO2000056502A1 (fr) * 1999-03-19 2000-09-28 Fujitsu Limited Machine de rodage, procede de rodage et procede de fabrication de tete magnetique
US6722947B2 (en) 1999-03-19 2004-04-20 Fujitsu Limited Lapping machine, lapping method, and method of manufacturing magnetic head
US6859678B1 (en) 1999-06-21 2005-02-22 Tdk Corporation Method and apparatus for manufacturing magnetoresistive element, software and system for controlling manufacturing of magnetoresistive element, software for estimating resistance value of magnetoresistive element, and computer system
US6347975B2 (en) 2000-01-13 2002-02-19 Tdk Corporation Apparatus and method for processing thin-film magnetic head material
US6409575B2 (en) 2000-01-13 2002-06-25 Tdk Corporation Processing apparatus and method
US6348601B2 (en) 2000-02-04 2002-02-19 Basf Aktiengesellschaft Preparation of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP)
JP2002181626A (ja) * 2000-12-15 2002-06-26 Nippon Avionics Co Ltd 赤外線熱画像装置
US7014532B2 (en) 2001-09-10 2006-03-21 Fujitsu Limited Lapping machine, lapping method, and method of manufacturing magnetic head
WO2004012249A1 (ja) * 2002-07-26 2004-02-05 Nikon Corporation 研磨装置
US7359152B2 (en) 2004-09-01 2008-04-15 Sae Magnetics, (H.K.) Ltd. Thin film magnetic head structure, method of manufacturing the same, and method of manufacturing thin film magnetic head
US7874063B2 (en) 2005-08-23 2011-01-25 Tdk Corporation Thin film magnetic head integrated structure

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