JP3117170B2

JP3117170B2 - 排気装置

Info

Publication number: JP3117170B2
Application number: JP05164636A
Authority: JP
Inventors: 健司三谷
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1993-07-02
Filing date: 1993-07-02
Publication date: 2000-12-11
Anticipated expiration: 2015-12-11
Also published as: JPH0719744A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は排気装置に係り、特に、
宇宙船，潜水艦，航空機などの有限の閉鎖空間や、家庭
や飲食店などで、生ゴミ等を乾燥処理するための真空加
熱乾燥装置に用いて好適な排気装置、あるいは、上記し
た場所などで、溶液中の有機物（食料を含む）や無機物
を乾燥処理するための真空加熱乾燥装置に用いて好適な
排気装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のマイクロ波を使用した真空加熱乾
燥装置としては、例えば、特開昭６１−２１１２０１号
公報，特開昭６１−２１１２０２号公報，特開昭６２−
１９４１８１号公報，特開平４−８０５８５号公報に記
載された技術が挙げられる。

【０００３】これらの先願に開示された装置において
は、マイクロ波遮蔽容器内でマグネトロンによって加熱
された被乾燥物から出る水蒸気を含む排気は、真空ポン
プによって吸い出されるようになっているが、この真空
ポンプからの排気は、そのまま大気中に放出されるか、
あるいは、脱臭器を通して脱臭した後、大気中に放出さ
れるようになっていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記したよ
うに真空ポンプを用いた場合には、真空ポンプから例え
ば「ポコポコ」といった感じの打鼓音に似た耳障りな排
気騒音が出ることが指摘されていたが、上記した従来技
術においては、真空ポンプからの騒音に対する配慮が何
らなされておらず、騒音対策の点で問題のあるものであ
った。

【０００５】また、真空ポンプからの排気をそのまま大
気中に放出する従来技術においては、排気の臭気成分が
鼻につくという問題や、水蒸気を大量に含んだ排気が大
気中に放出されるため、周囲湿度が上昇するという問題
点があった。

【０００６】また、脱臭器を用いる従来技術において
は、脱臭器の寿命に対する配慮がなされておらず、排気
中の臭気を長期間除去するためには、脱臭器を大型化す
るか、頻繁に交換する必要があるという問題点があっ
た。

【０００７】従って、本発明の解決すべき技術的課題は
上記した従来技術のもつ問題点を解消することにあり、
その目的とするところは、大気中に排気を放出する前に
排気中の水蒸気を凝縮させて除去すると共に、真空ポン
プの出す排気騒音を消音可能な排気装置を、少ない部品
点数の簡易な構成で実現することにある。また、本発明
の他の目的とするところは、排気中の臭気成分を可及的
に除去可能で、しかも、脱臭器を長寿命化することが可
能な排気装置を実現することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ため、端的にいえば本発明による排気装置は、真空ポン
プなどの排気吹き出し手段の後段に（排気口側に）、消
音機能を具備する（消音器と兼用される）復水器を設け
たものである。すなわち、真空ポンプから出た排気（水
蒸気を含む）が導入される復水器の中に、排気流路に沿
って排気が膨張と収縮を繰り返しながら通過する複数の
膨張収縮室を設け、該膨張収縮室を形成するための仕切
り壁を排気中の水蒸気が冷却・凝縮される凝縮壁として
用いると共に、排気の膨張収縮の繰り返しによって排気
音を消音するようにして、復水器を消音器と兼用させる
ように構成したものである。

【０００９】また、本発明による排気装置は、上記した
復水器の排気出口に凝縮水槽を設け、該凝縮水槽の中に
復水器で凝縮した水を滴下させると共に、この滴下した
水の中に復水器からの排気管の出口部（先端開口部）が
常時位置するように設定し、復水器からの排気を常時水
の中を通すことによって臭気成分を溶解させるように
し、さらに、凝縮水槽上部の空間からの空気出口に脱臭
器を接続し、水洗した排気をさらに脱臭するように構成
したものである。

【００１０】

【作用】真空ポンプから復水器の中に導入された排気中
の水蒸気は、排気流路に沿って設けられた多数の膨張収
縮室を形成するための仕切り壁（凝縮壁）と接触して冷
却・凝縮されて水滴となり、この水滴は下向きに傾斜し
た凝縮壁に沿って凝縮水槽へ滴下し、排気中から水蒸気
が除去される。また、復水器の中に導入された排気は、
多数の膨張収縮室を通過する際に膨張と収縮を繰り返
し、膨張収縮室の仕切り壁（凝縮壁）に拡がって当たる
ことによって、音を低減される（消音される）。従っ
て、復水器が消音器を兼用するので、水蒸気の除去と消
音とを、同時に１つの部材で達成することが可能とな
り、排気騒音のない静かな、また、外部へ放出される排
気を可及的に低湿度にできる排気装置を、簡易な構成
で、且つ比較的安価に構築することが可能となる。

【００１１】また、凝縮水槽の中に復水器で凝縮した水
を滴下させ、滴下して溜った水の中に復水器からの排気
を常に通すことによって、排気中の水溶性の臭気成分を
溶解・除去させるので、凝縮水を排気洗浄用水として再
利用できる。また、凝縮水槽からの空気出口に脱臭器を
接続し、上記のように水洗した排気をさらに脱臭するの
で、凝縮水槽で脱臭しきれなかった臭気成分も脱臭器で
除去でき、より確実な脱臭を行うことが可能となる。し
かも、脱臭器は水洗後の排気を脱臭するので、脱臭器へ
の負担が軽減でき、脱臭器の長寿命化を図ることが可能
となる。

【００１２】

【実施例】以下、本発明を図１〜図７に示した各実施例
によって説明する。なお、以下の各実施例は、真空加熱
乾燥装置の排気装置としての適用例である。

【００１３】図１は、本発明の１実施例に係る排気装置
を具備した真空加熱乾燥装置を示す構成図である。同図
において、１は真空ポンプ、２は復水器、３は凝縮水
槽、４は脱臭器、５は水位計、６は弁、７は排水口、１
０はマグネトロン、１１は処理容器、１２は被乾燥物で
ある。上記真空ポンプ１の吸気口１ａは、密閉されたマ
イクロ波遮蔽容器からなる処理容器１１に接続され、他
方、真空ポンプ１の排気口１ｂは、復水器２に接続さ
れ、復水器２は排気管路９を介して凝縮水槽３に接続さ
れている。そして、この凝縮水槽３上部の空気出口に
は、脱臭器４が接続されている。また、上記処理容器１
１にはマグネトロン１０が取り付けられ、処理容器１１
の中には被乾燥物１２が入れられている。また、上記凝
縮水槽３には水位計５が取り付けられ、凝縮水槽３と外
部排出用の排水口７との間の排水管路１３には、図示せ
ぬバルブコントローラで制御される弁６が設置されてい
る。。

【００１４】ここで図１に示すように、上記した復水器
２内には、多数の仕切り壁（凝縮壁）２１が設けられ、
復水器２の外壁には放熱フィン２３が設けられている。
上記各仕切り壁２１は、排気中の水蒸気が冷却・凝縮さ
れる凝縮壁として用いられ、付着した水滴が滴下し易い
ように、略中央部の排気流路穴に向かって斜め下に傾斜
した形状となっている。また、この仕切り壁（凝縮壁）
２１によって、真空ポンプ１から出た排気が排気流路に
沿って膨張と収縮を繰り返しながら通過する多数の膨張
収縮室２２が形成されている。そして、復水器２の中に
導入された排気が、多数の膨張収縮室２２を順次通過す
る際に膨張と収縮を繰り返し、仕切り壁（凝縮壁）２１
に拡がって当たることによって、排気音（吹き出し音）
を消音させ得るように構成されている。

【００１５】上記した構成において、処理容器１１に収
納された被乾燥物１２は、マグネトロン１０により加熱
され、主として水蒸気、及び他の揮発成分を発生する。
この水蒸気は他の揮発成分などとともに、真空ポンプ１
の働きにより処理容器１１外に吸い出される。そして、
処理容器１１から出された排気は、真空ポンプ１を経由
して復水器２に入り、膨張収縮室２２の中で膨張と収縮
を繰り返しながら、排気音を除去され、排気管路９を経
由して凝縮水槽３に送り込まれる。またこの際、排気中
の水蒸気は、放熱フィン２３から凝縮潜熱を放出するこ
とにより、仕切り壁（凝縮壁）２１で冷却されて凝縮
し、排気管路９を経由して凝縮水槽３に滴下する。

【００１６】ここで、凝縮水槽３に溜った水の水位８
は、水位計５で検知され、水位計５による検知情報に基
づき図示せぬバルブコントローラが弁６を開閉制御する
ことによって、凝縮水槽３に溜った水を選択的に排水管
路１３を通して排水口７から排出するようになってい
る。すなわち、水が凝縮水槽３から溢れる手前の所定水
位を超えたら、バルブコントローラは弁を開いて排水を
行い、また、排気管路９の出口部（先端開口部）９ａが
水面上に出る手前の所定水位となると、バルブコントロ
ーラは弁を閉じて排水を停止させ、これによって、排気
管路９の出口部９ａが常に溜った凝縮水の中に位置する
ように制御するようになっている。斯様にすることによ
って、復水器２で凝縮した水が凝縮水槽３から溢れ、脱
臭器４に流入することが確実に防止される。また、排気
管路９の出口部９ａが常に溜った凝縮水の中に位置する
ので、水蒸気と共に被乾燥物１２から発生した臭気成分
が、凝縮水槽３に溜った水により常時水洗されることに
なる（排気中の水溶性の臭気成分が水に溶解されること
になる）。さらに、復水器２で凝縮しきれなかった水蒸
気も、このときに凝縮することが出来る。

【００１７】そして、排気管路９の出口部９ａから凝縮
水槽３を経て排出された排気（水洗後の排気）は、凝縮
水槽３の上部から脱臭器４に入り、水洗により除去しき
れなかった臭気成分がさらに脱臭・除去される。

【００１８】以上のように本実施例では、復水器２が消
音器としても機能するので、水蒸気の除去と消音とを、
同時に１つの部材で達成することが可能となり、排気騒
音のない静かな、また、外部へ放出される排気を可及的
に低湿度にできる排気装置を、簡易な構成で、且つ比較
的安価に構築することが可能となる。また、凝縮水槽３
の中に復水器２で凝縮した水を滴下させ、滴下した水の
中に復水器２からの排気を常に通すことによって、排気
中の水溶性の臭気成分を溶解・除去させているので、凝
縮水を排気洗浄用水として再利用できる。また、凝縮水
槽３からの空気出口に脱臭器４を接続し、上記のように
水洗した排気をさらに脱臭するので、凝縮水槽３で脱臭
しきれなかった臭気成分も脱臭器４で除去でき、より確
実な脱臭を行うことが可能となる。しかも、脱臭器４は
水洗後の排気を脱臭するので、脱臭器４への負担が軽減
でき、脱臭器４の長寿命化を図ることが可能となる。さ
らに、真空ポンプ１の排気口１ｂ側に復水器２などによ
って空間を確保させることにより（真空ポンプ１の排気
口１ｂが閉塞された状態となることが無い構成とするこ
とにより）、真空ポンプ１の起動時の過負荷を軽減でき
る効果もある。

【００１９】なお、本実施例では、脱臭器４を凝縮水槽
３の排気出口に接続したが、排気中の成分が全て水溶性
であり、水洗によりすべての成分が基準値以下となる場
合は、脱臭器４を省略することができる。また、前記弁
６は、電磁弁，空圧弁，油圧弁等の外部信号により開閉
するものであれば、どのような弁でも使用可能である。

【００２０】次に、前記復水器２の具体的な構成例の幾
つかを、図２〜図５を用いて説明する。図２は、復水器
２の第１具体例を示す図である。本例の復水器２には、
排気入口２４と排気出口２５との間に、その中央の排気
流路穴を交互に小径穴と大径穴とした、多数の仕切り壁
（凝縮壁）２１によって、多数の膨張収縮室２２が形成
されており、復水器２の外壁には流路に沿った縦方向
に、複数の放熱フィン２３が設けられている。なお、各
仕切り壁（凝縮壁）２１は、放熱フィン２３との間の熱
抵抗を小さくするように、その肉厚を厚めに設定された
ものとなっている。

【００２１】上記した構成において、排気入口２４から
入った水蒸気を含む排気（水蒸気を主体とする排気）
は、各膨張収縮室２２に順次入り、前述したように膨張
及び収縮を繰り返すことにより、真空ポンプ１の排気音
が消去される。またこのとき、放熱フィン２３により冷
却された凝縮壁（仕切り壁）２１は、水蒸気の温度に比
較して十分低い温度とすることができるため、排気中に
含まれる水蒸気は、凝縮壁２１の表面で凝縮する。凝縮
した水は、傾斜した凝縮壁２１から滴下し、水蒸気が減
少した排気とともに、排気出口２５から流出する。

【００２２】本例の復水器２は、膨張収縮室壁２１を厚
くすることにより熱効率向上の効果がある。なお本例に
おいては、凝縮壁（仕切り壁）２１の中央の排気流路穴
は、２種類の大きさとしたが、全て同一の大きさ、また
は、全て異なる大きさとすることも可能である。

【００２３】図３は、復水器２の第２具体例を示す図で
ある。本例が図２の第１具体例と相違するのは、凝縮壁
（仕切り壁）２１の排気流路穴の位置であり、本例で
は、隣接する凝縮壁（仕切り壁）２１の排気流路穴を交
互にずらしたものとして形成してある。本例における動
作は排気の通り道を除いて図２と同等である。

【００２４】本例によれば、排気が一直線に通過できな
いことから、消音効率が増大するという効果がある。な
お本例においては、排気流路穴の位置を２種類とした
が、すべての排気流路穴の位置を変えることも可能であ
る。

【００２５】図４は、復水器２の第３具体例を示す図で
ある。本例が図２の第１具体例と相違するのは、放熱フ
ィン２３の形状と設置個所であり、本例では、各凝縮壁
（仕切り壁）２１と対応する復水器２の外周位置に、リ
ング状の放熱フィン２３をそれぞれ設置してある。本例
における動作は図２と同等である。

【００２６】本例によれば、水の凝縮部と放熱部との対
応関係が熱的に密接になるため、熱効率が向上するとい
う効果がある。

【００２７】図５は、復水器２の第４具体例を示す図で
ある。本例が図２の第１具体例と相違するのは、放熱フ
ィン２３の代わりに冷却水循環流路２６を、凝縮壁（仕
切り壁）２１の下面、および各凝縮壁（仕切り壁）２１
と対応する復水器２の外周位置に設置した点である。本
例における動作は図２と同等である。

【００２８】本例によれば、放熱フィンの代わりに冷却
水循環流路としているため、装置が小型化するという効
果がある。なお、本例では、冷却水循環流路２６を復水
器２の外周および凝縮壁（仕切り壁）２１の裏面の両方
に設置したが、使用材料の熱効率により、どちらか一方
を割愛することも可能である。

【００２９】なお、図２ないし図５の復水器２の各具体
例において、各凝縮壁（仕切り壁）２１にあけた排気流
路穴は、作図の便宜上、代表的位置に円形の穴を開ける
構成としたが、実際には、排気入口２４と排気出口２５
との間を貫通するものであれば、位置および形状は任意
のものとすることができる。

【００３０】次に、前記凝縮水槽３の具体例を図６を用
いて説明する。同図に示すように、凝縮水槽３には、凝
縮水入口３１と、凝縮水出口３２と、排気出口３３とが
設けられ、さらに、フロート５１と上部水位リミットス
イッチ５２と下部水位リミットスイッチ５３とを持つ水
位計５が取り付けられている。凝縮水入口３１は、前記
した復水器２からの排気管路９における凝縮水槽３の直
上位置部位に相当し、凝縮水出口３２は、前記した弁６
を設けた排水管路１３に接続されている。また、排気管
路９の出口部９ａは、前述したように凝縮水槽３の水の
中に常時に浸されるように、凝縮水槽３内の底部に近い
位置に位置付けられている。さらにまた、凝縮水槽３の
上部に設けた排気出口３３には、前記脱臭器４が接続さ
れている。

【００３１】上記した構成において、凝縮水入口３１か
ら入った凝縮水は、凝縮水槽３に溜った水と同化する。
また、排気管路９の出口部９ａから凝縮水槽３に入った
排気は、水中を通過し、比重差により凝縮水槽３の上部
空間へ出て、排気出口３３から脱臭器４へ導かれる。こ
のとき、排気中に含まれる残余の水蒸気は凝縮して溜っ
た水と同化され、また、排気中に含まれる水溶性の臭気
成分は凝縮水槽３に溜った水に溶解する。この様にして
凝縮水槽３に水が流入することにより、凝縮水槽３内の
水位は上昇する。この水位の上昇に伴い、水位計５に付
けられたフロート５１が上昇し、予め定められた所定水
位に達すると、フロート５１が上部水位リミットスイッ
チ５２を作動させ信号を発生させる。この上部水位リミ
ットスイッチ５２からの信号は、図示せぬバルブコント
ローラに送出され、バルブコントローラは前記した弁６
に駆動信号を送って弁６を開放させ、凝縮水出口３２か
ら排水管路１３を経由して、凝縮水槽３に溜った水を外
部に排水させる。凝縮水槽３からの排水動作が進行する
と、凝縮水槽３内の水位は下降し、これに伴ってフロー
ト５１も降下する。そして、凝縮水槽３内の水位が予め
定められた所定水位まで下降すると、フロート５１が下
部水位リミットスイッチ５３を作動させ信号を発生させ
る。この下部水位リミットスイッチ５３からの信号は、
図示せぬバルブコントローラに送出され、バルブコント
ローラは弁６に駆動信号を送って弁６を閉塞させて、排
水動作を停止させる。これにより、凝縮水槽３内の水位
の降下は停止し、上記したように流入する凝縮水によっ
て再び水位は上昇を開始する。

【００３２】斯様な構成をとることによって、凝縮水槽
３に溜った水が溢れて脱臭器４に流入する前に、確実に
排水動作を行わせることができる。また、排気管路９の
出口部９ａを常に溜った凝縮水の中に位置させることが
できるので、水蒸気と共に前記被乾燥物１２から発生し
た排気中の臭気成分が、凝縮水槽３に溜った水により常
時水洗されることになる（排気中の水溶性の臭気成分が
溶解されることになる）。さらにまた、排気中の水蒸気
を凝縮して、これを排気の水洗に用いるので、別途水洗
用の水を供給することが不要となり、装置の小型化に貢
献するという効果もある。

【００３３】なお、図６に示した例においては、排気管
路９の出口部９ａから凝縮水の中に流入する排気は、泡
等となって水中を上昇し、更に、水面に波を発生させ
る。このため、フロート５１がこの影響を受けにくくす
るために、水位計５と排気管路９の出口部９ａとをでき
るだけ離すことが望ましい。

【００３４】なおまた、図６に示した例においては、水
位計５として２つのリミットスイッチとフロート５１と
を持つ方式のものとしたが、どちらか一方のリミットス
イッチだけを持つ２種類の水位計とすることも可能であ
る。また、水位計５として、フロート方式のほかに、磁
気検出方式等の任意の水位検出信号を発生するものを採
用することも可能である。

【００３５】次に、本発明の他の実施例に係る排気装置
を具備した真空加熱乾燥装置を図７によって説明する。
なお、図７において、前記図１と同等の構成要素には同
一符号を付し、その説明は重複を避けるため省略する。

【００３６】本実施例が図１の実施例と相違する点は、
図１の構成から水位計５及び弁６を除き、代わりに、凝
縮水槽３の側面から斜め上方に延びた凝縮水出口管６０
を、排水管路１３内に位置付けると共に、凝縮水出口管
６０の先端開口部を、予め定められた水位位置に置くよ
うにしたことである。すなわち、凝縮水出口管６０の先
端開口部は、凝縮水槽３に溜った水が溢れて脱臭器４に
流入することを確実に防止でき、且つ、排気管路９の出
口部９ａが常に溜った凝縮水の中に位置することを保証
する設定位置に位置付けられている。

【００３７】斯様な構成をとる本実施例においては、凝
縮水槽３に溜った所定水位以上の凝縮水は常時オーバー
フローして凝縮水出口管６０から排水管路１３へ排水さ
れ、凝縮水槽３における凝縮水の水位８は、凝縮水出口
管６０の先端開口部と常に等しくなる。従って、図１の
構成に比して水位計５や弁６等を必要としないので、部
品点数を削減することができ、装置の小型化に寄与でき
るという効果がある。

【００３８】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、復水器が
消音器を兼用するので、水蒸気の除去と消音とを、同時
に１つの部材で達成することが可能となり、排気騒音の
ない静かな、また、外部へ放出される排気を可及的に低
湿度にできる排気装置を、簡易な構成で、且つ比較的安
価に構築することが可能となる。また、凝縮水槽の中に
復水器で凝縮した水を滴下させ、滴下した水の中に復水
器からの排気を常に通すことによって、排気中の水溶性
の臭気成分を溶解・除去させるので、凝縮水を排気洗浄
用水として再利用できる。また、凝縮水槽からの空気出
口に脱臭器を接続し、上記のように水洗した排気をさら
に脱臭するので、凝縮水槽で脱臭しきれなかった臭気成
分も脱臭器で除去でき、より確実な脱臭を行うことが可
能となる。しかも、脱臭器は水洗後の排気を脱臭するの
で、脱臭器への負担が軽減でき、脱臭器の長寿命化を図
ることが可能となる。総じて、騒音の無い、また、外部
に放出される排気中に水蒸気や臭いの無い排気システム
を、効率のよいものとして構築でき、その価値は多大で
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施例に係る排気装置を具備した真
空加熱乾燥装置の構成を示す説明図である。

【図２】本発明の実施例で用いられる復水器の第１具体
例を示す説明図である。

【図３】本発明の実施例で用いられる復水器の第２具体
例を示す説明図である。

【図４】本発明の実施例で用いられる復水器の第３具体
例を示す説明図である。

【図５】本発明の実施例で用いられる復水器の第４具体
例を示す説明図である。

【図６】本発明の実施例で用いられる凝縮水槽の１具体
例を示す説明図である。

【図７】本発明の他の実施例に係る排気装置を具備した
真空加熱乾燥装置の構成を示す説明図である。

【符号の説明】

１真空ポンプ２復水器３凝縮水槽４脱臭器５水位計６弁７排水口８水位９排気管路９ａ出口部１０マグネトロン１１処理容器１２被乾燥物１３排水管路２１仕切り壁（凝縮壁）２２膨張収縮室２３放熱フィン２４排気入口２５排気出口２６冷却水循環流路３１凝縮水入口３２凝縮水出口３３排気出口５１フロート５２上部水位リミットスイッチ５３下部水位リミットスイッチ６０凝縮水出口管

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩＦ２６Ｂ 9/06 Ｇ１０Ｋ 11/16 ＺＧ１０Ｋ 11/16

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】水蒸気を含む排気が導入される復水器の
中に、排気流路に沿って排気が膨張と収縮を繰り返しな
がら通過する複数の膨張収縮室を設け、該膨張収縮室を
形成するための仕切り壁を排気中の水蒸気が冷却・凝縮
される凝縮壁として用いると共に、前記排気の膨張と収
縮の繰り返しによって排気音を消音するようにして、前
記復水器を消音器と兼用させ、また、前記復水器の排気出口側に凝縮水槽を設け、該凝
縮水槽の中に前記復水器で凝縮した水を滴下させると共
に、この滴下した水の中に前記復水器からの排気管の出
口部を位置付け、前記復水器からの排気を水の中を通す
ことによって臭気成分を溶解させるようにして、前記凝
縮水槽に排気水洗機能を具備させたことを特徴とする排
気装置。
【請求項２】請求項１記載において、前記凝縮水槽に水位検出手段を設けると共に、前記凝縮
水槽の水を外部に排出するための排水経路中に弁を設
け、前記凝縮水槽の水位が所定の値を超えたときに前記
弁を開いて排水を行い、前記凝縮水槽の水位が所定の値
を下回ったときに前記弁を閉じるように制御し、前記復
水器からの排気管の出口部を常に水の中に位置付けるよ
うにしたことを特徴とする排気装置。
【請求項３】請求項１記載において、前記凝縮水槽の水位が所定の値を超えるた分だけ、この
凝縮水槽内の水を、外部排出用の排水経路へオーバーフ
ローさせるようにして、前記復水器からの排気管の出口
部を常に水の中に位置付けるようにしたことを特徴とす
る排気装置。
【請求項４】請求項１乃至３の何れかに記載におい
て、前記凝縮水槽の空気出口に脱臭器を接続し、水洗した排
気をさらに脱臭するようにしたことを特徴とする排気装
置。
【請求項５】請求項１乃至３の何れかに記載におい
て、マイクロ波遮蔽容器と、真空ポンプと、マイクロ波加熱
器を基本構成とする真空加熱乾燥装置の前記真空ポンプ
の排気配管に、少なくとも前記復水器と前記凝縮水槽と
を順次接続したことを特徴とする排気装置。