JP3116984B2 - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
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- JP3116984B2 JP3116984B2 JP7758593A JP7758593A JP3116984B2 JP 3116984 B2 JP3116984 B2 JP 3116984B2 JP 7758593 A JP7758593 A JP 7758593A JP 7758593 A JP7758593 A JP 7758593A JP 3116984 B2 JP3116984 B2 JP 3116984B2
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- pressure
- transmitting member
- ink chamber
- pressure transmitting
- ink
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、印字信号に応じてノズ
ルからインク滴を吐出して記録媒体上にインク像を形成
する形式のインクジェットヘッドに関し、より詳しくは
インク室の一面を覆う加圧板に対する圧力伝達機構に関
する。
ルからインク滴を吐出して記録媒体上にインク像を形成
する形式のインクジェットヘッドに関し、より詳しくは
インク室の一面を覆う加圧板に対する圧力伝達機構に関
する。
【０００２】
【従来の技術】印字信号に応じて圧電素子を長手方向に
伸縮させてインク室内のインクを加圧する形式のインク
ジェットヘッドは、ノズルをきわめて高密度に配列する
ことができる利点を有しているため、これまでに多くの
提案がなされているが、反面においてこの種のものは、
圧電素子の長手方向の変位量がきわめて小さいため、こ
の変位をいかにインク室に効率よく伝達するかといった
点に問題を残している。
伸縮させてインク室内のインクを加圧する形式のインク
ジェットヘッドは、ノズルをきわめて高密度に配列する
ことができる利点を有しているため、これまでに多くの
提案がなされているが、反面においてこの種のものは、
圧電素子の長手方向の変位量がきわめて小さいため、こ
の変位をいかにインク室に効率よく伝達するかといった
点に問題を残している。
【０００３】もとより、このような問題に対しては、イ
ンク室の他面を覆う加圧板をインク室の占める領域内で
最大限にタワませ得るように、圧電素子の厚みをインク
室の巾より薄くすればよいが、ノズル配列をより高密度
化すべくインク室の巾をさらに縮めていったような場合
には、圧電素子の厚みもこれに伴って薄くしてゆかねば
ならず、その強度上の問題が派生する。
ンク室の他面を覆う加圧板をインク室の占める領域内で
最大限にタワませ得るように、圧電素子の厚みをインク
室の巾より薄くすればよいが、ノズル配列をより高密度
化すべくインク室の巾をさらに縮めていったような場合
には、圧電素子の厚みもこれに伴って薄くしてゆかねば
ならず、その強度上の問題が派生する。
【０００４】米国特許第４，４１８，３５５号明細書に
おいて開示されたインクジェットヘッドはこのような問
題を解消するために、インク室の巾より狭い圧力伝達部
材を介して圧電素子の変位を加圧板に伝えるように構成
し、これによって、圧電素子の厚みをインク室の配列ピ
ッチに相当する程度にまで厚くすることを可能となした
ものであるが、逆にこのように構成したために、組付け
の際に巾方向に僅かなズレが生じた場合には、圧力伝達
部材と圧電素子が偏って当接してしまう結果、加圧板を
水平に変位させることができなくなって、圧電素子の変
位を効率よくインク室に伝達することができなくなると
いった問題が派生する。
おいて開示されたインクジェットヘッドはこのような問
題を解消するために、インク室の巾より狭い圧力伝達部
材を介して圧電素子の変位を加圧板に伝えるように構成
し、これによって、圧電素子の厚みをインク室の配列ピ
ッチに相当する程度にまで厚くすることを可能となした
ものであるが、逆にこのように構成したために、組付け
の際に巾方向に僅かなズレが生じた場合には、圧力伝達
部材と圧電素子が偏って当接してしまう結果、加圧板を
水平に変位させることができなくなって、圧電素子の変
位を効率よくインク室に伝達することができなくなると
いった問題が派生する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、
巾方向に僅かなズレが生じても、圧電素子の変位を効率
よくインク室に伝達することのできる新たなインクジェ
ットヘッドを提案することにある。
題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、
巾方向に僅かなズレが生じても、圧電素子の変位を効率
よくインク室に伝達することのできる新たなインクジェ
ットヘッドを提案することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明はかか
る課題を達成するためのインクジェットヘッドとして、
インク室の一面を覆う加圧板の背面に、インク室に向け
て加圧板をほぼ水平に撓ませることができる程度の巾の
狭い突部を設ける一方、この加圧板に対向して張設した
支持膜に、インク室の配列ピッチに相当する巾を限度と
する巾の広い圧力伝達部材を一体的に支持し、インク室
に対応させて配設した各圧電素子と各突部をこれらの圧
力伝達部材を介して接合させるようにしたものである。
る課題を達成するためのインクジェットヘッドとして、
インク室の一面を覆う加圧板の背面に、インク室に向け
て加圧板をほぼ水平に撓ませることができる程度の巾の
狭い突部を設ける一方、この加圧板に対向して張設した
支持膜に、インク室の配列ピッチに相当する巾を限度と
する巾の広い圧力伝達部材を一体的に支持し、インク室
に対応させて配設した各圧電素子と各突部をこれらの圧
力伝達部材を介して接合させるようにしたものである。
【０００７】
【実施例】そこで以下に図示した実施例について説明す
る。図１は、本発明の一実施例をなす圧力伝達機構部分
を示したものであり、また、図６は、このような機構を
備えたインクジェットヘッドの一例を分解して示したも
のである。
る。図１は、本発明の一実施例をなす圧力伝達機構部分
を示したものであり、また、図６は、このような機構を
備えたインクジェットヘッドの一例を分解して示したも
のである。
【０００８】はじめに、図６をもとにインクジェットヘ
ッドの全体構成について説明すると、符号１は、複数の
ノズル２を有するノズルプレートで、このノズルプレー
ト１の背面には、各ノズル２に対応するインク室３と共
通のリザーバ部７を有するキャビティ形成板４が積層さ
れ、またこのキャビティ形成板４の背面には、印字信号
に応じて各インク室３内のインクに圧力を加えるべく変
形する加圧板６が積層されていて、その背面には、図示
しない凸部と接合する圧力伝達部材１６を介して圧電素
子８が一体的に接合されている。
ッドの全体構成について説明すると、符号１は、複数の
ノズル２を有するノズルプレートで、このノズルプレー
ト１の背面には、各ノズル２に対応するインク室３と共
通のリザーバ部７を有するキャビティ形成板４が積層さ
れ、またこのキャビティ形成板４の背面には、印字信号
に応じて各インク室３内のインクに圧力を加えるべく変
形する加圧板６が積層されていて、その背面には、図示
しない凸部と接合する圧力伝達部材１６を介して圧電素
子８が一体的に接合されている。
【０００９】一方、上記した圧電素子８はその長手方向
下半部を固定板９に固定され、またこの固定板９は、ヘ
ッドフレーム６０内を貫通する取付け孔６１に、圧電素
子８を面方向前後左右に位置決めすべく支持されてい
る。
下半部を固定板９に固定され、またこの固定板９は、ヘ
ッドフレーム６０内を貫通する取付け孔６１に、圧電素
子８を面方向前後左右に位置決めすべく支持されてい
る。
【００１０】このヘッドフレーム６０には、図示しない
インク溜めに延びるインク供給管６２が接続されてお
り、またこのインク供給管６２に連なるインク通路６３
は、ヘッドフレーム６０内を上方に延び上って、中間部
材１０及び加圧板６に穿設した各連通孔１０ａ、６ａを
介してキャビティ形成板４に設けたリザーバ部７にイン
クを供給するように構成されている。
インク溜めに延びるインク供給管６２が接続されてお
り、またこのインク供給管６２に連なるインク通路６３
は、ヘッドフレーム６０内を上方に延び上って、中間部
材１０及び加圧板６に穿設した各連通孔１０ａ、６ａを
介してキャビティ形成板４に設けたリザーバ部７にイン
クを供給するように構成されている。
【００１１】なお、図中符号６４はノズルプレート１を
保護する枠体、６５は、この枠体６４を接地電位に保持
すべく、制御基板６６を貫通して基体に接続させたアー
ス板を示している。
保護する枠体、６５は、この枠体６４を接地電位に保持
すべく、制御基板６６を貫通して基体に接続させたアー
ス板を示している。
【００１２】つぎに、図１によって本発明の一実施例を
なす圧力伝達機構について説明すると、インク室３に圧
力を加える加圧板６は、ニッケル材を用いた電鋳加工に
よってインク室３内のインクが滲み出すことがない程度
に、かつ圧電素子８の縦方向伸縮動を可能な限り効率よ
くインク室３内に伝えることができるように、肉厚が例
えば１乃至２０μｍ程度の薄い板材として形成され、さ
らにその背面には、インク室３の巾よりも狭く、かつそ
の長さよりも短い形状の突部１２が電鋳加工により一体
的に突出形成されていて、区画壁５の内面と突部１２と
の間に形成されたギャップＧにより、加圧板６に過度の
応力を作用させることなくこれをインク室３に向けて水
平に撓ませることができるように形成されている。
なす圧力伝達機構について説明すると、インク室３に圧
力を加える加圧板６は、ニッケル材を用いた電鋳加工に
よってインク室３内のインクが滲み出すことがない程度
に、かつ圧電素子８の縦方向伸縮動を可能な限り効率よ
くインク室３内に伝えることができるように、肉厚が例
えば１乃至２０μｍ程度の薄い板材として形成され、さ
らにその背面には、インク室３の巾よりも狭く、かつそ
の長さよりも短い形状の突部１２が電鋳加工により一体
的に突出形成されていて、区画壁５の内面と突部１２と
の間に形成されたギャップＧにより、加圧板６に過度の
応力を作用させることなくこれをインク室３に向けて水
平に撓ませることができるように形成されている。
【００１３】一方図中符号１６は、圧電素子８の変位を
突部１２に伝えるべく両者の間に介在させた圧力伝達部
材で、この圧力伝達部材１６は、可能な限りインク室３
の配列ピッチＰに近い巾Ｗを持つように形成されてい
て、突部１２と圧電素子８との間に成形上の誤差や組付
け上の位置ズレがあっても両者間で正しく圧力伝達が行
えるように構成されている。
突部１２に伝えるべく両者の間に介在させた圧力伝達部
材で、この圧力伝達部材１６は、可能な限りインク室３
の配列ピッチＰに近い巾Ｗを持つように形成されてい
て、突部１２と圧電素子８との間に成形上の誤差や組付
け上の位置ズレがあっても両者間で正しく圧力伝達が行
えるように構成されている。
【００１４】これらの各圧力伝達部材１６‥‥は、フィ
ルム状の支持膜１８とともに、インク室３の配列ピッチ
Ｐに対応するよう配列された状態で電鋳加工により一体
的に形成されていて、上記した各突部１２‥‥の上に正
しく接合される一方、その背面には支持膜１８を介して
各圧電素子８の先端が接着される。
ルム状の支持膜１８とともに、インク室３の配列ピッチ
Ｐに対応するよう配列された状態で電鋳加工により一体
的に形成されていて、上記した各突部１２‥‥の上に正
しく接合される一方、その背面には支持膜１８を介して
各圧電素子８の先端が接着される。
【００１５】この薄い支持膜１８は、個々の圧力伝達部
材１６がばらばらにならないように結合しておくもので
あり、各圧力伝達部材１６の間には切欠き１７を設けて
おいてもよく、特に、インク室３の両側やその周囲に切
欠き入れておくことにより、圧電素子８への負荷を軽減
してより効率的に加圧板６を変位させることができる。
材１６がばらばらにならないように結合しておくもので
あり、各圧力伝達部材１６の間には切欠き１７を設けて
おいてもよく、特に、インク室３の両側やその周囲に切
欠き入れておくことにより、圧電素子８への負荷を軽減
してより効率的に加圧板６を変位させることができる。
【００１６】このように構成されたインクジェットヘッ
ドは、加圧板６と圧電素子８とが、可能な限り巾広く形
成された圧力伝達部材１６を介して結合されるため、加
工上の誤差や組付け上の位置ズレによって両者間に巾方
向のズレが生じても、加圧板６に偏った荷重を作用させ
ることなく、インク室３内のインクに効率的な圧力を加
えることができる。
ドは、加圧板６と圧電素子８とが、可能な限り巾広く形
成された圧力伝達部材１６を介して結合されるため、加
工上の誤差や組付け上の位置ズレによって両者間に巾方
向のズレが生じても、加圧板６に偏った荷重を作用させ
ることなく、インク室３内のインクに効率的な圧力を加
えることができる。
【００１７】いま、ノズル３の密度を１８０ｄｐｉとし
た場合、ノズル３の配列ピッチＰを１４１μｍ、インク
室３の巾Ｗを１００μｍ程度にする必要があり、さら
に、加圧板６の背面に設ける突部１２の巾の３０μｍ程
度にする必要があるが、これらの突部１２の頂面に接合
させる圧力伝達部材１６については、ノズル２の配列ピ
ッチＰにのみ制約を受けるだけで済むため、例えば巾６
０μｍの圧電素子８に対して１２０μｍ程度の巾を採る
ことが可能となって、組付けの際の両者のズレを３０μ
ｍ程度まで許容することが可能になる。
た場合、ノズル３の配列ピッチＰを１４１μｍ、インク
室３の巾Ｗを１００μｍ程度にする必要があり、さら
に、加圧板６の背面に設ける突部１２の巾の３０μｍ程
度にする必要があるが、これらの突部１２の頂面に接合
させる圧力伝達部材１６については、ノズル２の配列ピ
ッチＰにのみ制約を受けるだけで済むため、例えば巾６
０μｍの圧電素子８に対して１２０μｍ程度の巾を採る
ことが可能となって、組付けの際の両者のズレを３０μ
ｍ程度まで許容することが可能になる。
【００１８】図２は本発明の第２の実施例を示したもの
で、複数の圧力伝達部材２６を、その両側に設けた帯状
の支持部材２８によってノズル４のピッチ間隔毎に結合
支持した状態で支持部材２８とともに電鋳加工により一
体的に形成し、ついで、これらの圧力伝達部材２６を対
応する各突部２２に接合させるようにしたものである。
で、複数の圧力伝達部材２６を、その両側に設けた帯状
の支持部材２８によってノズル４のピッチ間隔毎に結合
支持した状態で支持部材２８とともに電鋳加工により一
体的に形成し、ついで、これらの圧力伝達部材２６を対
応する各突部２２に接合させるようにしたものである。
【００１９】この実施例は、各突部２２の頂面に金属プ
レートを接合させた上、圧力伝達部材２６を除く他の不
要部分をエッチングにより除去するようにして構成する
こともできる。
レートを接合させた上、圧力伝達部材２６を除く他の不
要部分をエッチングにより除去するようにして構成する
こともできる。
【００２０】また、図３乃至図５は、本発明のさらに別
の実施例を製造工程順に示したものである。図３に示し
た第３の実施例は、加圧板６の背面に光により硬化する
ネガ型の感光性樹脂フィルム３１を貼着し、これをマス
クＭ1 を介して照射した光により突部３２に相当する部
分を硬化させ（同図（ａ））、ついで、未露光部分３３
を適宜の溶剤により溶解除去した上、その上に第２の感
光性樹脂フィルム３５を貼着し、マスクＭ2 を介してこ
れに光を照射して圧力伝達部材３６に相当する部分を硬
化させ（同図（ｂ））、最後に、未露光部分３７を溶剤
により除去することによって、同図（ｃ）に示したよう
に、加圧板６の背面に、圧力伝達部材２６を突部２２と
一体に形成する。
の実施例を製造工程順に示したものである。図３に示し
た第３の実施例は、加圧板６の背面に光により硬化する
ネガ型の感光性樹脂フィルム３１を貼着し、これをマス
クＭ1 を介して照射した光により突部３２に相当する部
分を硬化させ（同図（ａ））、ついで、未露光部分３３
を適宜の溶剤により溶解除去した上、その上に第２の感
光性樹脂フィルム３５を貼着し、マスクＭ2 を介してこ
れに光を照射して圧力伝達部材３６に相当する部分を硬
化させ（同図（ｂ））、最後に、未露光部分３７を溶剤
により除去することによって、同図（ｃ）に示したよう
に、加圧板６の背面に、圧力伝達部材２６を突部２２と
一体に形成する。
【００２１】他方、図４に示した第４の実施例は、第３
の実施例とは逆に、加圧板６に貼着した感光性樹脂フィ
ルム４１に、露光、現像処理を施して、突部４２に相当
する部分を除去し（同図（ａ））、その上に貼着した第
２の感光性樹脂フィルム４５に同じく露光、現像処理を
施して、圧力伝達部材を４６に相当する部分を除去した
上（同図（ｂ））、この面にニッケルメッキ処理４７を
施し（同図（ｃ））、最後に感光性樹脂フィルム４１、
４５を溶解除去して、加圧板１上に圧力伝達部材４６と
一体の突部４２を形成するようにしたものである（同図
（ｄ））。
の実施例とは逆に、加圧板６に貼着した感光性樹脂フィ
ルム４１に、露光、現像処理を施して、突部４２に相当
する部分を除去し（同図（ａ））、その上に貼着した第
２の感光性樹脂フィルム４５に同じく露光、現像処理を
施して、圧力伝達部材を４６に相当する部分を除去した
上（同図（ｂ））、この面にニッケルメッキ処理４７を
施し（同図（ｃ））、最後に感光性樹脂フィルム４１、
４５を溶解除去して、加圧板１上に圧力伝達部材４６と
一体の突部４２を形成するようにしたものである（同図
（ｄ））。
【００２２】さらに図５に示した第５の実施例は、ニッ
ケルの電鋳加工によるか、もしくはプラスチックスの射
出成形加工によって、加圧板６の背面に突部５２を一体
的に形成する一方、これらの突部５２と対応する円錐台
状の圧力伝達部材５６を薄い支持膜５８とともに射出成
形加工により一体的に形成し（同図（ａ））、最後に突
部５２と圧力伝達部材５６を接合させて一体となしたも
のである（同図（ｂ））。
ケルの電鋳加工によるか、もしくはプラスチックスの射
出成形加工によって、加圧板６の背面に突部５２を一体
的に形成する一方、これらの突部５２と対応する円錐台
状の圧力伝達部材５６を薄い支持膜５８とともに射出成
形加工により一体的に形成し（同図（ａ））、最後に突
部５２と圧力伝達部材５６を接合させて一体となしたも
のである（同図（ｂ））。
【００２３】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、巾の
広い圧力伝達部材を介して加圧板の背面に設けた巾の狭
い突部を押圧するようにしたので、製造上及び組付け上
の誤差により例え圧電素子に幅方向のズレが生じた場合
でも、その変位を正しくインク室に伝えることができる
ばかりでなく、加圧板に対向して張設した支持膜に圧力
伝達部材を一体的に支持させるようにしたので、インク
室に対応させて圧力伝達部材を位置決め案内する部材等
を必要とすることなく、単に支持膜上に微細な圧力伝達
部材を支着させるだけで、圧電素子の変位を突部に確実
に伝えて、インク室内のインクを正確に加圧させること
ができる。
広い圧力伝達部材を介して加圧板の背面に設けた巾の狭
い突部を押圧するようにしたので、製造上及び組付け上
の誤差により例え圧電素子に幅方向のズレが生じた場合
でも、その変位を正しくインク室に伝えることができる
ばかりでなく、加圧板に対向して張設した支持膜に圧力
伝達部材を一体的に支持させるようにしたので、インク
室に対応させて圧力伝達部材を位置決め案内する部材等
を必要とすることなく、単に支持膜上に微細な圧力伝達
部材を支着させるだけで、圧電素子の変位を突部に確実
に伝えて、インク室内のインクを正確に加圧させること
ができる。
【００２４】しかも、突部と圧力伝達部材をそれぞれ樹
脂材を用いて形成し一体化するようにしたので、狭巾の
突部の上に広巾の圧力伝達部材が位置するといったアン
ダーカット形状をなすこの種の部材をきわめて容易に成
形することができる。
脂材を用いて形成し一体化するようにしたので、狭巾の
突部の上に広巾の圧力伝達部材が位置するといったアン
ダーカット形状をなすこの種の部材をきわめて容易に成
形することができる。
【図１】本発明の一実施例を示すインクジェットヘッド
の断面図である。
の断面図である。
【図２】本発明の第２の実施例を示すインクジェットヘ
ッドの断面図である。
ッドの断面図である。
【図３】（ａ）乃至（ｃ）は本発明の第３の実施例を製
造工程順に示した図である。
造工程順に示した図である。
【図４】（ａ）乃至（ｄ）は本発明の第４の実施例を製
造工程順に示した図である。
造工程順に示した図である。
【図５】（ａ）（ｂ）は本発明の第５の実施例を製造工
程順に示した図である。
程順に示した図である。
【図６】インクジェットヘッドの全容を示した分解斜視
図である。
図である。
１ ノズルプレート ３ インク室 ６ 加圧板 ８ 圧電素子 １２、２２、３２、４２、５２ 突部 １６、２６、３６、４６、５６ 圧力伝達部材 ３１、３５、４１、４５ 感光性樹脂フィルム １８、５８ 支持膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−119872（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−25851（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/045 B41J 2/055
Claims (5)
- 【請求項１】 インク室の一面を覆う加圧板の背面に、
前記インク室に向けて該加圧板をほぼ水平に撓ませるこ
とができる程度の巾の狭い突部を設ける一方、該加圧板
に対向して張設した支持膜に、前記インク室の配列ピッ
チに相当する巾を限度とする巾の広い圧力伝達部材を一
体的に支持し、前記インク室に対応させて配設した各圧
電素子と前記各突部のそれぞれを前記圧力伝達部材を介
して接合させたことを特徴とするインクジェットヘッ
ド。 - 【請求項２】 前記突部を前記加圧板とともに電鋳加工
により一体的に形成したことを特徴とする請求項１記載
のインクジェットヘッド。 - 【請求項３】 前記圧力伝達部材を該圧力伝達部材を支
持する支持膜とともに電鋳加工により一体的に形成した
ことを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッ
ド。 - 【請求項４】 インク室の一面を覆う加圧板の背面に、
前記インク室に向けて該加圧板をほぼ水平に撓ませるこ
とができる程度の巾の狭い突部を樹脂材により形成する
とともに、該突部の頂面に樹脂材よりなる圧力伝達部材
を一体的に接合させたことを特徴とするインクジェット
ヘッド。 - 【請求項５】 前記突部と前記圧力伝達部材をかたちづ
くる雌型をもとに、前記加圧板の背面に前記突部と前記
圧力伝達部材を一体的に形成したことを特徴とする請求
項４記載のインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7758593A JP3116984B2 (ja) | 1992-06-22 | 1993-03-11 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4-162885 | 1992-06-22 | ||
| JP16288592 | 1992-06-22 | ||
| JP7758593A JP3116984B2 (ja) | 1992-06-22 | 1993-03-11 | インクジェットヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0671877A JPH0671877A (ja) | 1994-03-15 |
| JP3116984B2 true JP3116984B2 (ja) | 2000-12-11 |
Family
ID=26418665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7758593A Expired - Fee Related JP3116984B2 (ja) | 1992-06-22 | 1993-03-11 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3116984B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3109017B2 (ja) * | 1993-05-12 | 2000-11-13 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド |
| JPH09174836A (ja) * | 1995-12-22 | 1997-07-08 | Nec Corp | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
| WO2001072519A1 (fr) | 2000-03-27 | 2001-10-04 | Fujitsu Limited | Tete a jet d'encre a buses multiples et procede de fabrication de celle-ci |
| JP3994877B2 (ja) | 2001-03-01 | 2007-10-24 | 日本碍子株式会社 | 櫛歯型圧電アクチュエータ及びその製造方法 |
| JP2009073081A (ja) * | 2007-09-21 | 2009-04-09 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド |
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1993
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