JP3113089B2 - 配線基板 - Google Patents

配線基板

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JP3113089B2 JP04244872A JP24487292A JP3113089B2 JP 3113089 B2 JP3113089 B2 JP 3113089B2 JP 04244872 A JP04244872 A JP 04244872A JP 24487292 A JP24487292 A JP 24487292A JP 3113089 B2 JP3113089 B2 JP 3113089B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、配線基板に係り、特
に、外部基板との接続に一つあるいは複数の集積回路お
よび回路部品を搭載する多層配線基板と外部基板との接
続に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、集積回路は、取扱を容易にして、
かつ特性を損なうことのないように、単独あるいはいく
つかの部品と共にパッケージと呼ばれる容器に格納され
ている。こうしたパッケージと外部基板との接続には、
ピングリッドアレイやフラットリードまたはフレキシブ
ル配線基板が用いられている。例えば、ピングリッドア
レイやフラットリードを用いたパッケージは、既に市販
されている。
【0003】ところで、一つの容器中に複数の集積回路
や回路部品を搭載した基板を格納する実装形態は、マル
チチップモジュール(MCM)と呼ばれる。これは、部
品の実装密度を上げ、小型で高性能の装置の実現のため
に用いら、限られた領域の中に、いかに多くの部品を効
率よく配置するかが、MCMの大きな課題となる。従
来、MCMと外部基板との接続には、パッケージの場合
と同様に、ピングリッドアレイやフラットリードまたは
フレキシブル配線基板が用いられている。
【0004】例えば、特開平1−272140号公報に
は、AlNのパッケージにSi配線基板を固着したMC
Mが示されている。ここでは、リードフレームによる信
号入出力が示されている。また、特開平2−18405
2号公報には、セラミック基板にサファイア基板を搭載
したMCMが示されている。ここでは、コンタクトピン
による接続方法が示されている。MCMの構成には、上
述した様な複数の素子を装着した基板と容器を用いる方
法の他に次のような方法も考えられる。
【0005】例えば、シリコン・オン・シリコンMCM
(IBM(株))は、シリコン基板にチップを直接マウ
ントしたものである(IMC、1992、Procee
ding,P533)。入出力にはフレキシブル配線基
板が使用されている。
【0006】また、有機高分子を絶縁層とする配線部を
窒化アルミニウム焼結体からなるセラミック多層配線基
板上に形成し、集積回路や回路部品などを配線部上やセ
ラミック基板上に搭載したMCMもある。これは、セラ
ミック基板にキャップを施し、外部への配線のための端
子を設けて基板ごとパッケージとするものである。この
ようなMCMにおいては、窒化アルミニウム焼結体から
なるセラミック多層配線基板の大きさがMCMのとりう
る最大値となる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】以上説明したいずれの
方式であっても、限られた領域の中に、いかに多くの部
品を効率よく配置するかが、MCMの大きな課題とな
る。
【0008】しかしながら、部品を実装する面側から信
号を取り出す場合には、ピンやリードを取り付ける部品
の占める面積が、部品実装面積を制限してしまう。接続
すべき信号の数が増加すると、特にピンを用いる方式で
は、パッケージの大きさや配線のためのピン間隔を変え
ないとすると、そのままピン部分の面積の増加につなが
り、部品実装部分の面積が一層小さくなる。
【0009】一方、窒化アルミニウムや窒化アルミニウ
ム焼結体からなるセラミック配線基板あるいはその他の
絶縁体による配線基板上に、有機高分子を絶縁層とする
多層配線部を備えたMCMにおいては次のような問題点
がある。
【0010】即ち、一般に、ピンあるいはリードの取り
付けは、ろう付けにより行われる。このろう付けには、
ピンやリード取り付け部分をおよそ800℃程度に加熱
する工程が含まれる。従って、ろう付け工程は、有機高
分子を絶縁層とする多層配線部を形成する以前に行う必
要がある。そのため、有機高分子を絶縁層とする多層配
線膜の作製プロセスにおけるエッチング等の処理によっ
て、リードやピンがダメージを受ける可能性が有り、溶
液からリードやピンを保護するための特別な治具が必要
になる。また、基板面からピンやリードが突出するため
に、有機高分子を絶縁層とする多層配線膜形成プロセス
や集積回路を取り付ける工程では、従来の基板取り付け
治具を使用できない等の不都合が生じることもある。こ
れらの不都合はコストの上昇につながる。
【0011】そこで、リードの取り付けを、有機高分子
を絶縁層とする多層配線膜プロセスの後、あるいは部品
やキャップ等を取り付けた後、加熱を伴わない方法で行
なうことが考えられるが、これもコストの上昇を招いて
しまう。
【0012】更に、他に悪影響を及ぼさないような低い
温度でリードの取り付けを行う方法もあるが、この場合
にはMCMを外部に取り付ける際に、リードを取り付け
た温度よりもさらに低い温度で取り付けるなどの特別の
取扱が必要になり、この場合もまたコストの上昇を招
く。
【0013】更にまた、シリコン基板の裏面にフレキシ
ブル配線基板を取り付ける場合、シリコン基板表面と裏
面をつなぐ特別の工夫が必要になる。例えば、シリコン
基板に微細な穴をあけ、導体柱を形成したり、シリコン
基板の側面にメタライズを施すなどの方法があるが、い
ずれの方法も表面の電極が不可欠であり、チップ実装面
の面積を制限する事になる。加えて、コストの上昇も否
めない。本発明は、上記事情の下になされ、部品取付け
部分の面積を制限することがなく、かつ取扱いが容易な
配線基板を提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明は、表面及び裏面
にそれぞれ第1及び第2の接続パタ−ンを有するセラミ
ック基板と、このセラミック基板の表面に前記第1の接
続パタ−ンを介して設けられた、集積回路及び/又は回
路部品を搭載した有機高分子を絶縁層とする多層配線部
と、前記第2の接続パタ−ンに接続された、前記集積回
路及び/又は回路部品と外部とを接続するためのフレキ
シブル配線基板とを具備することを特徴とする配線基板
を提供する。
【0015】本発明の配線基板において、外部との接続
に使用されるフレキシブル配線基板は、複数に分割した
ものであってもよい。また、フレキシブル配線基板の端
部の配線パタ−ンの幅を、中央部の配線パタ−ンの幅よ
りも広くすることにより、接続の位置ずれの許容度を緩
和することが出来る。セラミック基板としては、窒化ア
ルミニウム又は窒化アルミニウム焼結体を用いることが
可能である。また、フレキシブル配線基板と外部、例え
ば外部基板との接続は、ハンダやコネクタにより行なう
ことが可能である。
【0016】
【作用】本発明の配線基板では、セラミック基板の表面
に、集積回路や他の回路部を搭載する有機高分子を絶縁
層とする配線部が設けられ、裏面にこれら回路と外部と
を接続するためのフレキシブル配線基板が取付けされて
いる。即ち、フレキシブル配線基板取り付け用の接続パ
ターンは、集積回路や他の回路部が設けられていないセ
ラミック基板の裏面に形成されている。そのため、この
接続パタ−ンは、集積回路の取り付けなどの工程に於て
なんら妨げになることはなく、かつ部品取り付け部分の
面積を制限することもない。また、本発明により取扱が
容易なMCMを実現できる。
【0017】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の具体的実施
例について説明する。
【0018】図1は、本発明の第1の実施例を示す断面
図である。図1において、窒化アルミニウム焼結体から
なるセラミック多層配線基板1の下面には、多層配線部
接続パタ−ン2を介して、有機高分子を絶縁層とする多
層配線部3が形成され、この多層配線部3には、集積回
路4及び他の回路部品5が設けられている。多層配線部
3は、キャップ6により覆われている。セラミック多層
配線基板1の端部上面には、フレキシブル配線基板取り
付け用パターン7が設けられ、これを介してフレキシブ
ル配線基板8の一端が接続され、その他端は外部基板9
と接続されている。なお、セラミック多層配線基板1の
上面にはヒ−トシンク10が取り付けられている。
【0019】セラミック多層配線基板1と多層配線部3
とは、セラミック多層配線基板1の表面に形成された多
層配線部接続パタ−ン2によって電気的に接続されてい
る。更に、多層配線部接続パタ−ン2は、セラミック多
層配線基板1の内部に形成された導体を通して、又はセ
ラミック多層配線基板1の側面に施されたメタライズに
よって、端部上面に設けられたフレキシブル配線基板取
り付け用パターン7に接続されている。このようにし
て、集積回路4及び他の回路部品5と外部基板9との間
で、信号又は電源がやりとりされる。フレキシブル配線
基板取り付け用パターン7とフレキシブル配線基板8と
は、ハンダ付け等によって電気的に接続される。フレキ
シブル配線基板8と外部基板9とは、一般にハンダ付け
やコネクタを介して行なわれる。このようにして、内部
回路と外部回路との接続が行なわれる。
【0020】図1に示す配線基板では、セラミック多層
配線基板1の裏面にフレキシブル配線基板取り付け用パ
ターン7が形成され、これにフレキシブル配線基板8が
取り付けられている。このようにフレキシブル配線基板
8を用いることにより、外部回路との接続の自由度が増
す。即ち、ハンダやコネクタの選択、両者の組合せ、接
続方法の選択を適宜行なうことが可能である。また、接
続位置が必ずしもMCMに近接しなくてもよい場合に
は、他の回路の都合により適切な位置までフレキシブル
配線基板8を延長して接続することが可能である。更
に、フレキシブル配線基板8を交換することにより、1
つのMCMをいくつかの用途に使用することも可能であ
る。
【0021】フレキシブル配線基板8を用いた接続方法
は、セラミック多層配線基板1におけるフレキシブル配
線基板8の取り付け部分、即ち裏面の外周部にはヒ−ト
シンクを取付けられないという制限があるものの、セラ
ミック多層配線基板1の表面の中心部分に主要な発熱部
材、通常は集積回路を配置する等の方法により、この問
題は解決される。なお、フレキシブル配線基板8を用い
た接続方法によると、特性インピ−ダンスの制御も可能
であり、高速信号にも適用可能である。
【0022】図2は、フレキシブル配線基板8と外部と
の接続にコネクタ11を用いた実施例を示す図である。
この実施例によると、MCMの交換が容易になるという
利点に加え、MCMの裏面とコネクタ11の接続部分の
高さをほぼ等しくすることでフレキシブル配線基板の屈
曲を低減させることができ、屈曲によるフレキシブル配
線基板の断線を未然に防ぐという効果もある。なお、図
中、参照数字12はシ−ルリング、13はリッドをそれ
ぞれ示す。なお、図1におけるキャップ、図2における
シ−ルリングは、基板表面に固着されているが、側面に
固着する方法をとってもよい。例えば、基板側面にメタ
ライズを施せば容易に実現できる。
【0023】図2では、フレキシブル配線基板8がほぼ
平面状に接続されているが、接続部分のバラ付き、コネ
クタ11の位置ずれ、コネクタ11の抜き差し等のため
に、余裕をもって接続することが好ましいのは勿論であ
る。また、有機高分子を絶縁層とする多層配線膜や他の
配線部分の特性インピーダンスと合致する特性インピー
ダンスを持つコネクタを用い、フレキシブル配線基板8
の特性インピーダンスを適切に制御すれば、より理想的
である。
【0024】図3は、2個のフレキシブル配線基板8
a,8bを近接して取り付けた実施例を示す。この実施
例は、例えば多数の配線を有するフレキシブル配線基板
を分割して取り付けることにも相当する。この利点は次
のような場合に顕著である。即ち、フレキシブル配線基
板の作製精度、パターン位置の誤差は全体の長さに対し
て相対的に決定される。例えば、0.5mmピッチ、
0.25mm幅のパターンが150本連続したフレキシ
ブル配線基板を考えた場合、フレキシブル配線基板の端
部分ではパターンの絶対位置の誤差が大きくなる。フレ
キシブル配線基板の全体の幅が約75mmで、たとえ
ば、誤差が±1%であったとすると、パターンの一方を
基準にすると他方のパターンにおける位置ずれはおよそ
±0.75mmとなる。そのため、セラミック基板のフ
レキシブル配線基板との位置ずれが生ずることになる。
これは、最悪の場合には、接続が出来ないだけでなく、
誤った信号を接続してしまう可能性もあることを意味す
る。そこで、図3に示す実施例のように、フレキシブル
配線基板を2つに分割して用いれば、一つのフレキシブ
ル配線基板の全体の幅が約38mmで、たとえば、先と
同様に誤差が±1%であったとすると、パターンの一方
を基準にした場合、他方のパターンにおける位置ずれは
およそ±0.38mmとなり、フレキシブル配線基板中
央を基準におけば、両端で±0.19mmのずれである
から、正しく接続することが可能になる。この様に、複
数のフレキシブル配線基板8a,8bを近接して用いる
ことにより、相対誤差の増大を防ぎ、接続を確実に行な
うことが可能となる。
【0025】図4は、フレキシブル配線基板8の端の部
分のパターン7aを中央部分のパターン7bに比べて幅
広にした実施例を示す。この場合、フレキシブル配線基
板8やセラミック基板1の作製精度にバラツキが生じ、
基板の端部で絶対的な位置のずれが起きても、パターン
の幅が広ければ、取り付け位置ずれの許容量が大きいの
で、誤った信号の接続等の不都合が防止される。この様
な幅広のパターン7aをフレキシブル配線基板8の両端
にもうけ、一方を電源線、他方を接地線として用いれ
ば、フレキシブル配線基板によってMCMに供給可能な
電流容量を増大させることが可能である。フレキシブル
配線基板8の両端に2つづつの幅広パターンを設け、そ
れぞれの端に電源線と接地線のペアを配置してもよい。
また、フレキシブル配線基板8を多層化した場合には、
電源線と接地線を表裏に配し、2つの導体間でコンデン
サを形成すれば、電源の対接地容量を増加させることが
でき、効果的である。
【0026】図5に本発明の他の実施例を示す。ある窒
化アルミニウム焼結体からなるセラミック多層配線基板
21と他の窒化アルミニウム焼結体からなるセラミック
多層配線基板22が近接して配置される場合、各々を個
々にフレキシブル配線基板8によって外部基板9に接続
し、外部基板9を通して両者の接続を取る方法もある
が、図5に示すように、2つのセラミック多層配線基板
21,22を直接、フレキシブル配線基板8によって接
続することによって、接続箇所を減らし、外部基板9上
の実装密度を上げることができる。
【0027】図6(a),(b)は、一体化されたフレ
キシブル配線基板を用いた実施例を示す。即ちこの実施
例は、従来個別に窒化アルミニウム焼結体からなるセラ
ミック多層配線基板1に取り付けていた、複数のフレキ
シブル配線基板を一体化して、1つフレキシブル配線基
板23、24とした場合である。図6(a)は、セラミ
ック多層配線基板1の両端に接続される2つのフレキシ
ブル配線基板を一体化して、1つのフレキシブル配線基
板23とした例、図6(b)は、セラミック多層配線基
板1の4辺に接続される4つのフレキシブル配線基板を
一体化して、1つのフレキシブル配線基板24とした例
をそれぞれ示す。この実施例によると、取り付けに必要
な時間を低減することが可能である。
【0028】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の配線基板
によると、フレキシブル配線基板取り付け用の接続パタ
ーンは、集積回路や他の回路部が設けられていないセラ
ミック基板の裏面に形成されているため、集積回路の取
り付けなどの工程に於てなんら妨げになることはなく、
かつ部品取り付け部分の面積を制限することもない。ま
た、本発明により、取扱が容易なMCMを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施例に係る配線基板を示す
断面図。
【図2】 本発明の第2の実施例に係る配線基板を示す
断面図。
【図3】 本発明の第3の実施例に係るフレキシブル配
線基板を示す平面図。
【図4】 本発明の第4の実施例に係るフレキシブル配
線基板を示す平面図。
【図5】 本発明の第5の実施例に係る配線基板を示す
断面図。
【図6】 本発明の第6の実施例に係るフレキシブル配
線基板を示す平面図。
【符号の説明】
1…セラミック多層配線基板、 2…多層配線部接続パターン、 3…多層配線部、 4…集積回路、 5…他の回路部品、 6…キャップ、 7…フレキシブル配線基板取り付け用パターン、 8…フレキシブル配線基板、 9…他の配線基板、 10…ヒートシンク、 11…コネクタ、 12…シールリング、 13…リッド。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI H01L 23/12 H (72)発明者 遠岳 亜矢子 神奈川県川崎市幸区小向東芝町1番地 株式会社東芝総合研究所内 (72)発明者 福岡 義孝 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株式会社東芝生産技術研究所内 (56)参考文献 特開 平3−201471(JP,A) 特開 平6−61413(JP,A) 特開 平6−69414(JP,A) 特開 昭60−136356(JP,A) 特開 平6−338585(JP,A) 特開 平6−97362(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 23/12 H01L 23/50 H01L 21/60 H05K 1/18 H05K 3/46

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 表面および裏面にそれぞれ第1および第
    2の接続パターンを有するセラミック基板と、このセラ
    ミック基板の表面に前記第1の接続パターンを介して設
    けられた、集積回路及び/又は回路部品を搭載した有機
    高分子を絶縁層とする多層配線部と、前記第2の接続パ
    ターンにハンダにより接続された、前記集積回路及び/
    又は回路部品と外部とを接続するための、近接して配置
    された複数のフレキシブル配線基板とを具備することを
    特徴とする配線基板。
  2. 【請求項2】 表面および裏面にそれぞれ第1および第
    2の接続パターンを有するセラミック基板と、このセラ
    ミック基板の表面に前記第1の接続パターンを介して設
    けられた、集積回路及び/又は回路部品を搭載した有機
    高分子を絶縁層とする多層配線部と、前記第2の接続パ
    ターンにハンダにより接続された、前記集積回路及び/
    又は回路部品と外部とを接続するための、幅の異なる複
    数の配線パターンを含むフレキシブル配線基板とを具備
    することを特徴とする配線基板。
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