JP3111657B2 - 窒化ケイ素焼結体の製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、窒化ケイ素（Ｓｉ
₃Ｎ₄）焼結体の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】窒化ケイ素焼結体の製造においては、原
料の窒化ケイ素粉末にＹ₂Ｏ₃、Ａｌ₂Ｏ₃、ＭｇＯ等の焼
結助剤を添加混合し、混合粉末を成形した後、その成形
体をＮ₂ガス又はＮ₂ガスを含む不活性ガス雰囲気中にお
いて、１８００℃程度の高温で焼結している。又、上記
のごとく高温で焼結が行われるため、焼結に用いる焼成
炉は断熱材等の炉材、加熱ヒーター等の加熱源、並びに
成形体を保持する治具等は、炭素系材料で構成するのが
通常である。

【０００３】最近では、緻密で且つ強度等の特性に優れ
た窒化ケイ素焼結体を得るため、原料粉末や焼結条件等
について各種の検討がなされている。その中で焼成雰囲
気に関しては、例えば特公昭５８−４９５０９号公報に
おいて、高温での窒化ケイ素の熱分解を抑制するため
に、Ｎ₂ガス雰囲気を加圧して窒素圧１.５〜５０ｋｇ／
ｃｍ²で焼結する方法が開示されている。

【０００４】又、特公平３−１２７０号公報には、原料
である窒化ケイ素粉末の表面に含まれるＳｉＯ₂の蒸発
や窒化を防ぎ焼結体の表面特性を改善するため、Ｎ₂ガ
ス雰囲気にＣＯ₂ガス又はＣＯ₂ガスとＣＯガスを混合
し、このＣＯ₂ガスの分離反応によりＯ₂を発生させて酸
素分圧を高めることにより、窒化ケイ素粉末に含まれる
ＳｉＯ₂の蒸発や窒化を抑制する方法が開示されてい
る。

【０００５】一方、成形体を窒化ケイ素粉末中か又は成
形体と同一組成の粉末等の中に埋没させた状態で焼結す
る方法も行われているが、この方法においても焼成雰囲
気が成形体に接することに変わりはないので、上記のよ
うな焼成雰囲気の検討が必要であった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来の方法に
より製造される窒化ケイ素焼結体は、いずれの場合にも
焼成ガス雰囲気に接している焼結体の表面が少なからず
変質し、機械的特性を劣化させていると言う問題があっ
た。

【０００７】そこで従来は、この変質層を研削加工等に
より除去していたが、窒化ケイ素焼結体は難加工性であ
るため変質層の除去が容易ではなかった。又、変質状態
や変質層の厚さが焼結バッチにより異なる上、変質層が
厚い程又変質層の厚さのバラツキが大きい程加工取り代
を多くしなければならないため、コストの上昇及び生産
性の大幅な低下を招いていた。

【０００８】又、従来の方法では、前記のごとく焼成雰
囲気の加圧や雰囲気成分の制御のため焼成炉として一般
に真空・加圧型のバッチ式焼成炉が使用されていたが、
炉内の温度分布及び雰囲気ガスの不均一滞留等の問題か
ら炉の大型化や成形体の投入量が制限され、生産性の向
上に対して大きな障害となっていた。

【０００９】本発明はかかる従来の事情に鑑み、表面の
変質層が殆どなく、高密度で機械的特性に優れた窒化ケ
イ素焼結体を安定して製造する方法、特に連続焼成炉を
使用して従来より低温低圧で実施することが可能な上記
窒化ケイ素焼結体の製造方法を提供することを目的とす
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の窒化ケイ素焼結体の製造方法においては、
窒化ケイ素粉末と焼結助剤の混合粉末よりなる成形体
を、少なくとも内側の面が炭素系材料以外の耐熱性材料
で構成された焼成ケース内に直接装填するか、又は該焼
成ケース内に炭素系材料以外の耐熱性材料で構成された
治具に保持して装填し、該焼成ケース内の雰囲気をＮ_２
ガス又はＮ_２ガスを含む不活性ガスで置換した後、成形
体に焼成炉内の雰囲気が接触しないようにして、１３０
０〜１８００℃の温度で焼成ケースごと成形体を焼結す
ることを特徴とする。

【００１１】

【作用】本発明者らは、従来の製造方法により得られる
窒化ケイ素焼結体の表面が変質する原因について研究を
重ねた結果、焼結中の焼成ガス雰囲気成分の分析、炉内
の析出物の分析、焼結体の減量率等の検討から、焼成ガ
ス雰囲気に含まれるＣＯが表面変質層の形成に大きくか
かわっていることを突き止めた。

【００１２】即ち、従来の焼成炉は通常ヒーターや炉材
として黒鉛や炭素繊維等の炭素系材料を使用し、成形体
を焼成ケースに装填して焼結する場合でも炭素系材料の
焼結ケースを使用しているので、吸着等により炉内に残
存している水分や空気中の酸素とこれら炭素系材料とが
高温で反応してＣＯが生成する。このＣＯがＹ₂Ｏ₃やＡ
ｌ₂Ｏ₃等の酸化物である焼結助剤及び窒化ケイ素粉末に
含まれ焼結助剤としてＳｉＯ₂を還元し、ガス化させ
る。その結果、雰囲気ガスと接触している成形体の表面
で焼結助剤やＳｉＯ₂の量や組成が変化し、得られる焼
結体の表面に変質層が形成されるのである。

【００１３】例えばＳｉ₃Ｎ₄粉末中のＳｉＯ₂の場合、
下記化１に示す反応により雰囲気中のＣＯと反応してＳ
ｉＯとなって気化し、これが化２の反応により炉内の炭
素系材料により還元されて再びＣＯを生成する：

【化１】ＳｉＯ₂＋ＣＯ→ＳｉＯ↑＋ＣＯ₂↑

【化２】ＳｉＯ＋２Ｃ→ＳｉＣ＋ＣＯ↑

【００１４】又、上記化１の反応で生成されたＣＯ₂も
下記化３のごとく炭素系材料により還元されて再びＣＯ
を生成する。更に成形体を炭素系材料の治具に接触させ
て焼結した場合も、下記化４の反応によりＳｉＯ₂が炭
素により直接還元されてＳｉＯとＣＯを生成する：

【化３】ＣＯ₂＋Ｃ→２ＣＯ↑

【化４】ＳｉＯ₂＋Ｃ→ＳｉＯ↑＋ＣＯ↑

【００１５】この様に一旦焼結助剤やＳｉＯ₂の揮散が
生じると、連鎖的に雰囲気中のＣＯ量が増加して行くた
め、ＣＯと焼結助剤等との反応が成形体の内部にまで進
行し易い。又、焼成炉中の水分や残留空気の量、雰囲気
ガスの流量、成形体の量等により、焼成炉中に生成する
ＣＯ濃度が変化するため、焼成ロット毎に表面変質層の
厚さや状態が変わり、機械的特性が変動する結果とな
る。

【００１６】そこで本発明者らは、焼結中にＣＯを含む
焼成雰囲気と成形体との接触を断つことにより、得られ
る焼結体表面における変質層の生成が大幅に抑制される
ことを見いだし、本発明に至ったものである。即ち、成
形体の周囲を取り囲む焼成ケース及び必要に応じて焼成
ケース内で成形体を保持するために用いる治具を、炭素
系材料以外のＣＯ生成の原因とならない耐熱性材料で構
成することにより、焼成炉内には相当濃度のＣＯが存在
しても、焼成ケース内の成形体は炉内の雰囲気と遮断さ
れてＣＯと接することがなく、従って成形体からＳｉＯ
₂や焼結助剤の揮散が抑制される結果、表面変質層の極
めて少ない窒化ケイ素焼結体を得ることができる。

【００１７】本発明の焼成ケースは、焼結温度以上の耐
熱性を有する材料であれば良いが、少なくとも焼成ケー
スの内側の面は炭素系材料以外の耐熱性材料とする必要
があり、かかる耐熱性材料としては例えば窒化ケイ素や
焼結助剤に対する安定性から炭化ケイ素、窒化ケイ素、
窒化ホウ素等が好ましい。尚、焼成ケースの構成自体は
公知であり、例えば成形体を挿入するための開口部を有
する容器又はサヤと、開口部を閉鎖する蓋又はカバーと
からなり、通常は容器と蓋の隙間を通して強制的な雰囲
気置換が可能であるが、焼成ケースの内外に余り圧力差
がない場合には内外の雰囲気の流通混合は殆どおこらな
い。

【００１８】成形体は焼成ケースに１個又は複数個装填
するが、治具を用いずに直接装填しても良いし、又は炭
素系材料以外の耐熱性材料で構成された治具に保持して
装填しても良い。その後又は同時に、焼成ケース内の雰
囲気をＮ₂ガス又はＮ₂ガスを含む不活性ガスで強制的に
置換する。焼成ケース内部の雰囲気の置換は、焼成ケー
スの蓋を閉じてから蓋の隙間を通して行っても良いし、
蓋を開けたまま周囲の雰囲気を置換してから蓋を閉じて
も良い。かくして焼成ケース内に装填された成形体は、
そのまま通常の焼成炉に入れ、焼成ケースごと焼結され
る。

【００１９】本発明方法によれば、成形体から焼結助剤
やＳｉＯ₂の揮散がなくなるので、従来方法に比べて低
温での焼結が可能である。即ち、従来は焼結助剤等の揮
散による焼結性の低下を補うため１７００〜１９００℃
程度の高い焼結温度が一般的であり、且つ高温になる程
窒化ケイ素の熱分解を防ぐためＮ₂雰囲気の加圧が必要
であったが、本発明方法での焼結温度は１３００〜１８
００℃が適当であり、更には１４００〜１７５０℃が好
ましく、この温度範囲内で焼結体の相対密度が９６％以
上となるように焼結助剤の種類や添加量に応じて焼結温
度を設定すればよい。尚、焼結温度が１３００℃未満で
は、焼結助剤による液相の形成がないため焼結が進行せ
ず、１８００℃を越えると窒化ケイ素の熱分解が生じる
ので好ましくない。

【００２０】更に、本発明方法では窒化ケイ素の熱分解
が始まる１８００℃以下の温度で焼結を行うので、焼成
ケース内及び焼成炉内の雰囲気の圧力は大気圧で良く、
若しくは１.０〜１.１気圧の範囲であって良い。このた
め、従来一般的であった加圧Ｎ₂ガス雰囲気を使用する
場合に比べ、雰囲気を加圧するための設備や操作が不要
となるばかりか、加熱の均一性及び焼成速度や焼成効率
に優れるトレープッシャー式、ベルト搬送式、ローラー
ハース式等の解放型連続焼成炉を用いることが可能とな
り、コスト及び生産性の点で非常に有利である。

【００２１】尚、焼成ケースの蓋は外部からのガスの流
入がない程度に封止することが好ましいが、焼成ケース
内の圧力が焼成炉内の圧力とほぼ同じか又は高い場合に
は、焼成ケースを特に封止しなくても焼成炉内の雰囲気
が焼成ケース内に流入することは殆ど無いので、成形体
と焼成炉内雰囲気との接触を防止できる。従って、焼成
炉内に供給する炉内雰囲気ガスを焼成ケース内に置換充
填した雰囲気ガスと同じにし、且つ焼成ケース内の圧力
を炉内雰囲気の圧力よりも高くして焼結することが好ま
しい。

【００２２】上記方法により得られた窒化ケイ素焼結体
は、更に１０気圧以上のＮ₂ガス雰囲気中において１３
００〜１８００℃の温度で２次焼結することにより、一
層緻密化を図り機械的特性を向上させることができる。
この２次焼結において、温度が１３００℃未満あるいは
Ｎ₂ガス雰囲気が１０気圧未満の場合は緻密化の効果が
得られず、温度が１８００℃を越えると緻密化と同時に
結晶粒の不均一成長が生じ、微細組織が変化するので好
ましくない。

【００２３】

【実施例】実施例１ 平均粒径０.４μｍのＳｉ₃Ｎ₄粉末（α結晶化率９６
％）９１重量％に、焼結助剤として平均粒径０.８μｍ
のＹ₂Ｏ₃粉末４.５重量％、平均粒径０.４μｍのＡｌ₂
Ｏ₃粉末２.５重量％、平均粒径０.５μｍのＡｌＮ粉末
１.０重量％及び平均粒径０.５μｍのＭｇＯ粉末１.０
重量％を添加し、ナイロン製ボールミルによりエタノー
ル中で１００時間の湿式混合を行い、乾燥して混合粉末
とした。得られた混合粉末を３０００ｋｇ／ｃｍ²でＣ
ＩＰ成形して、縦横６５ｍｍで厚さ６.２ｍｍの成形体
を作製した。

【００２４】この成形体を、図１、図２又は図３に示す
３種類の焼成ケースにそれぞれ１０枚づつ装填した。図
１と図２の焼成ケースはいずれも炭素製の箱型の容器２
と蓋３からなり、図３の焼成ケースは炭素製の容器２の
みからなる。又、図１の焼成ケースのみ内側面に厚さ３
ｍｍの窒化ホウ素の内張り４が施してある。成形体１を
各焼成ケースに装填するため、図１の焼成ケースの場合
は窒化ホウ素製の板状の治具５と柱状の治具６を用い、
図２と図３の焼成ケースの場合は炭素製の板状の治具７
と柱状の治具８を用いた。

【００２５】次に、成形体を装填した各焼成ケースを、
黒鉛質ヒーターと炭素系断熱材を使用した通常のバッチ
式焼成炉に入れ、室温で焼成炉内及び焼成ケース内を真
空排気した後Ｎ₂ガスを焼成炉内に導入することによ
り、焼成炉内と焼成ケース内の雰囲気をＮ₂ガスで置換
した。その後、焼成炉内及び焼成ケース内共に１.０気
圧のＮ₂ガス雰囲気中において、１４５０℃で４時間、
引き続き１５８０℃で２時間の焼結を実施した。

【００２６】得られた各焼結体の相対密度、焼結後の減
量率、及び室温での３点曲げ強度を測定し、結果を表１
に示した。尚、相対密度はアルキメデス法により求めた
嵩密度を理論密度で除した値であり、減量率は成形体重
量に対する焼結体重量の減量を成形体重量で除した値と
し、及び３点曲げ強度はＪＩＳ Ｒ１６０１に準じて測
定した。尚、３点曲げ強度については、引張面が焼結し
たままの焼結面である場合と、表面から０.１ｍｍ、０.
３ｍｍ及び１.０ｍｍの深さまでダイヤモンド砥粒（＃
８００）で研削加工した各研削面である場合について測
定した。

【００２７】

【表１】 焼成炉内 相対 ３点曲げ強度(kg／mm²) 焼成 のCO濃度 密度 減量率 未研削 研削面(研削加工取り代) 試料 ケース 最高値(ppm) (％) (％) 焼結面 0.1mm 0.3mm 1.0mm ａ 図１ 48 98.1 0.16 85.7 106.7 104.1 106.2 ｂ＊ 図２ 103 96.4 1.32 73.8 83.4 98.2 98.0 ｃ＊ 図３ 195 95.0 2.10 52.3 56.7 70.2 95.4 （注）表中の＊を付した試料は比較例である（以下同じ）。

【００２８】表１から明らかなように、本発明の試料ａ
では取り代０.１ｍｍの研削加工により強度が焼結体内
部とほぼ同等になり、表面の変質が極めて軽微であるこ
とが判る。しかも、本発明例の試料ａは比較例の試料ｂ
及びｃに比べ密度が高く、強度も優れている。これに対
して、比較例の場合は焼結中に焼成炉内のＣＯ濃度が著
しく増加したことが確認され、得られた試料ｂ及びｃは
表面の変質層が厚く、強度低下が内部にまで及び、密度
も低いことが判る。

【００２９】実施例２ 実施例１と同様に作製した成形体を、図１と図３の焼成
ケースに各１０枚づつ装填し、この２つの焼成ケースを
実施例１と同じ焼成炉に同時に投入し、実施例１と同様
に雰囲気の置換を行った後、実施例１と同じ条件で繰り
返し５回焼結を行い、それぞれロットの異なる５つの試
料ａ−１〜ａ−５（図１の焼成ケース使用）及びｃ−１
〜ｃ−５（図３の焼成ケース使用）を得た。各ロット毎
に焼結中に測定した炉内のＣＯ濃度と共に、得られた各
焼結体について実施例１と同様の測定を行って求めた結
果を表２に示した。

【００３０】

【表２】 CO濃度 相対 密度 減 量 率 ３点曲げ強度(kg／mm²) (ppm) （％） （％） 研削面(研削加工取り代) 試料 最高値 平 均 ハ゛ラツキ 平 均 ハ゛ラツキ 0.1mm 0.3mm 1.0mm ａ−1 180 98.2 0.42 0.15 0.06 106.8 104.7 105.6 ａ−2 125 98.1 0.43 0.15 0.05 105.9 103.0 109.4 ａ−3 83 98.1 0.40 0.16 0.04 106.0 108.9 107.0 ａ−4 205 98.2 0.50 0.17 0.05 103.3 104.9 106.5 ａ−5 96 98.1 0.52 0.14 0.04 104.2 105.0 103.0 ｃ−1＊ 180 95.5 1.23 1.97 0.37 58.5 68.9 94.6 ｃ−2＊ 125 96.4 1.06 1.49 0.12 65.8 76.1 95.1 ｃ−3＊ 83 97.0 1.10 0.91 0.08 80.4 97.0 98.7 ｃ−4＊ 205 95.0 1.53 2.10 0.31 57.6 65.8 93.3 ｃ−5＊ 96 96.7 1.07 1.22 0.15 78.2 96.5 97.2

【００３１】上記表２から、図３に示す焼成ケースを用
いた比較例の方法では、焼結ロット毎に得られる焼結体
の表面変質層の厚さに相当大きなバラツキが生じ、相対
密度、減量率、強度のいずれもバラツキが大きいのに対
し、本発明の方法ではロット間のバラツキが非常に小さ
く、高密度且つ高強度で安定した品質の焼結体が得られ
ることが判る。

【００３２】実施例３ 実施例１と同様に作製した成形体を、実施例１と同じく
図１、図２又は図３に示す３種類の焼成ケースにそれぞ
れ１０枚づつ装填した。成形体を装填した各焼成ケース
を、入口部に真空ガス置換室を設けたトレープッシャー
式焼成炉を用いて以下のごとく焼結した。尚、用いたト
レープッシャー式焼成炉は黒鉛質ヒーターを使用し、炉
材及び搬送トレーは炭素系材料を使用した通常の連続焼
成炉である。

【００３３】まず、成形体を装填した焼成ケースをトレ
ーに載せ、真空ガス置換室で焼成ケース内を真空排気し
た後Ｎ₂ガスで置換し、図１及び図２の焼成ケースにつ
いては内部圧力１.０５気圧とした。次に、各焼成ケー
スを炉内雰囲気が１.０気圧＋２００ｍｍＨ₂ＯのＮ₂ガ
ス雰囲気の焼成炉内に搬送し、昇温ゾーンを経て、１４
５０℃と１５８０℃の均熱ゾーン（ゾーン長さ比１４５
０℃：１５８０℃＝２：１）を６時間で通過するよう
に、一定速度で搬送して焼結を実施した。尚、焼成ケー
ス投入前の炉内雰囲気中のＣＯ濃度は１２０ｐｐｍであ
った。

【００３４】得られた各焼結体について、実施例１と同
様に相対密度、焼結後の減量率、及び室温での３点曲げ
強度を測定し、結果を表３に示した。下記表３から明ら
かなように、本発明（試料ｄ）によれば連続焼成炉にお
いてもバッチ式焼成炉の場合と同等の特性が得られ、更
に焼成ケース内での密度のバラツキが低下したのに対し
て、比較例（試料ｅ、ｆ）では焼結体の表面変質が顕著
であり、低強度且つ底密度の焼結体しか得られない。

【００３５】

【表３】 相対 密度 減 量 率 ３点曲げ強度(kg／mm²) 焼成 (％) (％) 研削面(研削加工取り代) 試料 ケース 平 均 ハ゛ラツキ 平 均 ハ゛ラツキ 0.1mm 0.3mm 1.0mm ｄ 図１ 98.2 0.21 0.18 0.03 107.5 106.2 109.3 ｅ＊ 図２ 95.8 1.00 1.46 0.15 78.9 97.6 98.3 ｆ＊ 図３ 94.0 1.68 2.48 0.42 49.2 63.5 94.8

【００３６】又、上記と同様に作製した成形体を１０枚
づつ装填した図１の焼成ケース１０個を１ロットとし
て、上記と同様にして連続焼成炉で焼結し、計５ロット
の焼結体を得た。得られた本発明例の各焼結体につい
て、実施例１と同様に相対密度、及び取り代０.１ｍｍ
の研削面における室温での３点曲げ強度を測定し、結果
を焼成ロット毎に表４に示した。本発明によれば、特性
のバラツキが小さい焼結体を安定して製造できることが
判る。

【００３７】

【表４】 焼 成 ロ ッ ト １ ２ ３ ４ ５ 相対密度(％) 平 均 98.2 98.2 98.1 98.2 98.2 同 バラツキ 0.30 0.28 0.31 0.30 0.29 ３点曲げ強度(kg／mm²) 106.7 106.8 107.4 109.2 106.5 (0.1mm研削面)

【００３８】実施例４ 実施例１及び実施例３で得た本発明例の試料ａ及び試料
ｄの焼結体を、更に１００気圧のＮ₂ガス雰囲気中にお
いて１６５０℃で１時間の２次焼結を行い、それぞれ試
料ａ’及び試料ｄ’の焼結体を得た。各焼結体を実施例
１と同様の測定に供し、求めた相対密度及び取り代０.
１ｍｍの研削加工を行った研削面の３点曲げ強度を表５
に示した。下記表５の結果から、２次焼結により更に焼
結体の強度を向上させ得ることが判る。

【００３９】

【表５】

【００４０】

【発明の効果】本発明によれば、焼結中にＣＯが多量に
生成する炉内雰囲気と成形体の接触を防止し、且つ成形
体周囲の雰囲気とＣＯ生成の原因となる炭素系材料との
接触を避けることにより、機械的強度を低下させる原因
となる表面変質層が極めて少ない、高密度で高強度の窒
化ケイ素焼結体を安定して得ることができる。

【００４１】得られる焼結体は表面変質層が極めて少な
いので、これを除去するための研削加工に要する負荷が
大幅に低減され、しかも従来に比べて低温且つ低圧での
焼結が可能となるので、コストの削減及び生産性の向上
に多大な効果が得られる。

【００４２】更に、焼成ケースの材質や構造を変更する
だけの簡便な方法であるうえ、効率の高い連続焼成炉を
利用することができるので、一層生産性を高めることが
可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明方法の実施に用いる焼成ケースの一例を
示す概略断面図である。

【図２】実施例で比較のために用いた従来の焼成ケース
の概略断面図である。

【図３】実施例で比較のために用いた従来の別の焼成ケ
ースの概略断面図である。

【符号の説明】

１ 成形体 ２ 容器 ３ 蓋 ４ 内張り ５ 窒化ホウ素製の板状治具 ６ 窒化ホウ素製の柱状治具 ７ 炭素製の板状治具 ８ 炭素製の柱状治具

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−55263（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−190759（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−83837（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C04B 35/584

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 窒化ケイ素粉末と焼結助剤の混合粉末よ
   りなる成形体を、少なくとも内側の面が炭素系材料以外
   の耐熱性材料で構成された焼成ケース内に直接装填する
   か、又は該焼成ケース内に炭素系材料以外の耐熱性材料
   で構成された治具に保持して装填し、該焼成ケース内の
   雰囲気をＮ_２ガス又はＮ_２ガスを含む不活性ガスで置換
   した後、成形体に焼成炉内の雰囲気が接触しないように
   して、１３００〜１８００℃の温度で焼成ケースごと成
   形体を焼結することを特徴とする窒化ケイ素焼結体の製
   造方法。
2. 【請求項２】 焼成ケース内の雰囲気及び焼成炉内の雰
   囲気の圧力を大気圧若しくは１.０〜１.１気圧の範囲と
   し、１３００〜１８００℃の温度で焼結することを特徴
   とする、請求項１記載の窒化ケイ素焼結体の製造方法。
3. 【請求項３】 請求項１又は２の方法により得られた焼
   結体を、１０気圧以上のＮ₂ガス雰囲気中において１３
   ００〜１８００℃の温度で２次焼結することを特徴とす
   る窒化ケイ素焼結体の製造方法。