JP3111232B2 - Method and apparatus for laminating ceramic green sheets - Google Patents
Method and apparatus for laminating ceramic green sheetsInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、樹脂フィルムをベース
フィルムとしてフィルム面に形成されたセラミックグリ
ーンシートをベースフィルム付きのままカード状に裁断
し、そのセラミックグリーンシートをベースフィルム付
きのまま用いて、セラミックグリーンシートを複数枚積
層接合するのに適用されるセラミックグリーンシートの
積層方法及び装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a method for cutting a ceramic green sheet formed on a film surface from a resin film as a base film into a card shape with the base film, and using the ceramic green sheet with the base film. The present invention relates to a method and an apparatus for laminating ceramic green sheets, which are applied for laminating and joining a plurality of ceramic green sheets.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、積層磁器コンデンサ等を製造す
るのにあたり、ポリエチレンテレフタレートフィルム等
をベースフィルムとし、誘電材粉末，バインダ，可塑
剤，有機溶剤等を成分とするセラミックスラリーをドク
ターブレード等で塗布することによりセラミックグリー
ンシートを作製し、そのセラミックグリーンシートを所
定の大きさに裁断しまたは裁断する前に所定パターンの
電極をグリーンシート面にスクリーン印刷等で形成し、
この電極が形成されたセラミックグリーンシート乃至は
電極の形成されていないセラミックグリーンシートを順
次に複数枚積層接合し、その積層セラミックグリーンシ
ートを内部電極に基づく部品単位のチップ状に裁断した
後焼成処理することにより積層セラミック部品として得
るシート法が適用されている。2. Description of the Related Art In general, in manufacturing a laminated ceramic capacitor, a ceramic slurry containing a dielectric material powder, a binder, a plasticizer, an organic solvent, and the like as components is applied by a doctor blade or the like when a polyethylene terephthalate film or the like is used as a base film. To produce a ceramic green sheet, and cut the ceramic green sheet into a predetermined size or form a predetermined pattern of electrodes on the green sheet surface by screen printing or the like before cutting,
A plurality of ceramic green sheets on which the electrodes are formed or a plurality of ceramic green sheets on which no electrodes are formed are sequentially laminated and joined, and the laminated ceramic green sheets are cut into chips in a unit of component based on the internal electrodes, and then fired. Thus, a sheet method for obtaining a multilayer ceramic component is applied.
【０００３】そのシート法によるときには、積層磁器コ
ンデンサの場合セラミックグリーンシートの１層厚みを
薄くする程に容量を増大でき、また、容量が積層総数に
比例することからセラミックグリーンシートの１層厚み
を１０μｍ以下と薄膜化することが望まれる。唯、この
薄膜なセラミックグリーンシートをベースフィルムのフ
ィルム面に形成した後、ベースフィルムより剥離させて
積層すると皺や捩れ等が生ずることから、焼成後に誘電
体層と内部電極間の剥離や積層グリーンシートの端部に
バラ付き等が発生する原因となる。According to the sheet method, in the case of a laminated ceramic capacitor, the capacity can be increased as the thickness of one layer of the ceramic green sheet is reduced, and since the capacity is proportional to the total number of layers, the thickness of one layer of the ceramic green sheet can be reduced. It is desired to reduce the thickness to 10 μm or less. However, if this thin ceramic green sheet is formed on the film surface of the base film and then peeled off from the base film and laminated, wrinkles and twists may occur. This may cause a variation at the end of the sheet.
【０００４】この欠点を除去し、また、作業性，製品歩
留の向上等を図るべく、セラミックグリーンシートをベ
ースフィルム付きのまま用いて、複数枚積層接合するこ
とが既に提案されている（特開昭６３−１８８９２６
号）。そのセラミックグリーンシートの積層方法はベー
スフィルム付きのセラミックグリーンシートをグリーン
シート相互で重ね合させ、上側に重ね合されたベースフ
ィルム側から加熱ローラでセラミックグリーンシートを
加熱圧接することによりバインダを軟化させて、グリー
ンシート相互を積層接合するようにされている。In order to eliminate this drawback and to improve workability and product yield, it has already been proposed to laminate and join a plurality of ceramic green sheets with the base film attached. 63-188926
issue). The method of the laminated ceramic green sheets were superposed ceramic green sheets with the base film green sheets each other, softening the binder by heating pressure contact with the ceramic green sheet by the heating roller from the superposed together the base film side to the upper side Thus, the green sheets are laminated and joined together.
【０００５】然し、このセラミックグリーンシートの積
層方法ではセラミックグリーンシートをグリーンシート
相互で相対するようセラミックグリーンシートの向きを
交互に反転させて供給しなければならず、しかもセラミ
ックグリーンシートをグリーンシート相互で加熱圧接し
た後、上側のセラミックグリーンシートからベースフィ
ルムを剥離する作業を別途に行わなければならないた
め、工程的に繁雑であって積層作業を簡略に行うことか
ら鑑みると好ましくない。However, in this method of laminating ceramic green sheets, the direction of the ceramic green sheets must be alternately reversed so that the ceramic green sheets face each other. in after it was heated pressure contact with <br/>, since it must perform the work of peeling the base film from the upper side of the ceramic green sheet separately, considering the fact that a process to complicated briefly perform lamination work Not preferred.
【０００６】また、上述したシート法によるときには精
密な内部パターンを有する内部電極を正確に位置合せさ
せて積層することが望まれる。そのため、セラミックグ
リーンシートを積層ヘッドで受取り保持した後積層金型
に圧接加熱する工程で、セラミックグリーンシートのス
ルーホールと積層金型の位置決め基準マークとのズレ量
を測定し、このズレ量に応じて金型を位置修正してか
ら、セラミックグリーンシートを積層ヘッドで積層金型
に圧接することが提案されている（特公平５−２５４０
０号）。In addition, when using the above-described sheet method, it is desired that the internal electrodes having a precise internal pattern be accurately aligned and laminated. Therefore, the ceramic green sheet is received and held by the laminating head, and then heated by pressing against the laminating mold.In the process, the misalignment between the through-hole of the ceramic green sheet and the positioning reference mark of the laminating mold is measured, It has been proposed to correct the position of the mold by pressing the ceramic green sheet against the laminated mold with a laminating head (Japanese Patent Publication No. 5-2540).
No. 0).
【０００７】このセラミックグリーンシートの積層方法
に依ると、内部電極を正確に位置合せさせて積層できる
ところから好ましいが、積層金型に対するセラミックグ
リーンシートの加熱圧接工程で金型による位置ズレ修正
も共に行うため、セラミックグリーンシートの積層接合
に時間を要することから生産スピード乃至は生産性を向
上するには限界がある。[0007] According to the method of laminating the ceramic green sheet is preferable from the point where the internal electrodes can be laminated by precisely aligned, the position deviation correction by the mold in the heating pressure contact step of the ceramic green sheets for stacked die Since they are performed together, it takes time to laminate and join the ceramic green sheets, and there is a limit in improving the production speed or productivity.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、所定なパタ
ーンの電極がシート面に形成されたセラミックグリーン
シート，電極の形成されていないセラミックグリーンシ
ート（以下、両者を含めて、単に「セラミックグリーン
シート」という。）をベースフィルム付きのまま用い、
その積層接合工程を簡略化すると共にリードタイムを短
縮できて、生産性を向上できるよう改良したセラミック
グリーンシートの積層方法及び装置を提供することを目
的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a ceramic green sheet having a predetermined pattern of electrodes formed on a sheet surface and a ceramic green sheet having no electrodes formed thereon (hereinafter, simply referred to as "ceramic green"). Sheet) is used with the base film,
It is an object of the present invention to provide a method and apparatus for laminating ceramic green sheets that can simplify the laminating and joining process, shorten the lead time, and improve productivity.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
セラミックグリーンシートの積層方法においては、ベー
スフィルム付きのセラミックグリーンシートを昇降動す
る積層ヘッドでグリーンシート側から受取り保持し、こ
のセラミックグリーンシートを積層ヘッドの下降動に伴
ってベースフィルム側から加熱平盤に圧接させて加熱
し、且つ、当該セラミックグリーンシートを保持した積
層ヘッドの上昇動に伴ってベースフィルムをセラミック
グリーンシートから剥離するようにされている。In the method for laminating ceramic green sheets according to the first aspect of the present invention, a ceramic green sheet with a base film is received and held from the green sheet side by a laminating head which moves up and down. The green sheet is heated by being pressed against the heating flat plate from the base film side as the laminating head descends, and the base film is peeled off from the ceramic green sheet as the laminating head holding the ceramic green sheet rises. Have been to be.
【００１０】本発明の請求項２に係るセラミックグリー
ンシートの積層方法においては、セラミックグリーンシ
ートの積層開始当初はベースフィルム付きのセラミック
グリーンシートを昇降動する積層シートでグリーンシー
ト側から吸着保持し、このセラミックグリーンシートを
積層ヘッドの下降動でベースフィルム側から加熱平盤に
圧接加熱し、且つ、当該セラミックグリーンシートを吸
着保持した積層ヘッドの上昇動に伴ってベースフィルム
をセラミックグリーンシートから剥離し、以後はベース
フィルムが剥離されたセラミックグリーンシートの軟化
したバインダでグリーンシート相互を仮付けさせて、次
のベースフィルム付きのセラミックグリーンシートを積
層ヘッドで受取り保持し、その積層ヘッドによるベース
フィルム付きのセラミックグリーンシートの受取り毎
に、加熱平盤に対するセラミックグリーンシートの圧接
からベースフィルムの剥離までを繰返し行い、複数枚順
次に仮付けされるセラミックグリーンシートを積層ヘッ
ドと加熱平盤とによる加熱圧接で接合するようにされて
いる。In the method for laminating ceramic green sheets according to a second aspect of the present invention, at the beginning of the lamination of the ceramic green sheets, the ceramic green sheets with the base film are adsorbed and held from the green sheet side by the laminating sheets moving up and down. This ceramic green sheet is pressed against the heating flat plate from the base film side by the downward movement of the laminating head, and the base film is peeled off from the ceramic green sheet with the upward movement of the laminating head holding the ceramic green sheet by suction. After that, the base sheets are temporarily attached to each other with the softened binder of the ceramic green sheet from which the base film has been peeled, and the next ceramic green sheet with the base film is received and held by the lamination head, and the base film is attached by the lamination head. No Each receiving Mick green sheet, is repeatedly performed from the pressure of the ceramic green sheet to the peeling of the base film to the heating platen, heated pressure contact with the ceramic green sheet to be plural sequentially tack by the laminating head and the heated platen To be joined.
【００１１】本発明の請求項３に係るセラミックグリー
ンシートの積層方法においては、ベースフィルム付きの
セラミックグリーンシートを載置テーブルのテーブル面
上で位置ズレ修正した後、当該テーブル面に対して所定
位置で昇降動する積層ヘッドにより位置ズレ修正された
セラミックグリーンシートを受取り保持するようにされ
ている。In the method for laminating ceramic green sheets according to a third aspect of the present invention, the position of the ceramic green sheet with the base film is corrected on the table surface of the mounting table, and then the predetermined position with respect to the table surface is corrected. The ceramic green sheet, whose position has been corrected by the laminating head which moves up and down, is received and held.
【００１２】本発明の請求項４に係るセラミックグリー
ンシートの積層方法においては、ベースフィルム付きの
セラミックグリーンシートを載置テーブルのテーブル面
上で位置ズレ修正した後、当該テーブル面に対して所定
位置で昇降動するカッターによりセラミックグリーンシ
ートのシート面を所定面積に区画する切れ目をセラミッ
クグリーンシートに付け、更に、当該テーブル面に対し
て所定位置で昇降動する積層ヘッドにより切れ目の付け
られたベースフィルム付きのセラミックグリーンシート
をグリーンシート側から受取り保持し、このセラミック
グリーンシートを積層ヘッドの下降動に伴ってベースフ
ィルム側から加熱平盤に圧接させて加熱し、且つ、当該
セラミックシートを保持した積層ヘッドの上昇降に伴っ
てベースフィルムをセラミックグリーンシートに付けら
れた切れ目から剥離するようにされている。In the method of laminating ceramic green sheets according to a fourth aspect of the present invention, after the ceramic green sheets with the base film are misaligned on the table surface of the mounting table, a predetermined position with respect to the table surface is corrected. A cut is made on the ceramic green sheet to divide the sheet surface of the ceramic green sheet into a predetermined area by a cutter that moves up and down in the ceramic green sheet, and further, the base film is cut by a laminating head that moves up and down at a predetermined position with respect to the table surface. The ceramic green sheet is received and held from the green sheet side, and the ceramic green sheet is heated by being pressed against a heating flat plate from the base film side as the laminating head moves down, and the ceramic sheet is held. Base film as head moves up and down It is adapted to peel the cut attached to the ceramic green sheet.
【００１３】本発明の請求項５に係るセラミックグリー
ンシートの積層装置においては、ベースフィルム付きの
セラミックグリーンシートをグリーンシート側から受取
り保持する昇降動可能な積層ヘッドと、このセラミック
グリーンシートを積層ヘッドの下降動に伴って圧接加熱
する加熱平盤とを備えると共に、該積層ヘッドは加熱平
盤で加熱処理されたセラミックグリーンシートを上昇動
に伴ってベースフィルムから剥離するセラミックグリー
ンシートの剥取り手段として備えることにより構成され
ている。In the ceramic green sheet laminating apparatus according to a fifth aspect of the present invention, a vertically movable laminating head for receiving and holding a ceramic green sheet with a base film from a green sheet side, and a laminating head for laminating the ceramic green sheet. A heating flat plate that presses and heats with the downward movement of the ceramic green sheet, and wherein the laminating head peels off the ceramic green sheet heated by the heating flat plate from the base film with the upward movement. It is constituted by having as.
【００１４】本発明の請求項６に係るセラミックグリー
ンシートの積層装置においては、加熱平盤に対するセラ
ミックグリーンシートの積層ヘッドによる圧接加熱工程
前に、ベースフィルム付きのセラミックグリーンシート
をテーブル面上で位置ズレ修正するセラミックグリーン
シートの載置テーブルを配設し、その位置ズレ修正され
たセラミックグリーンシートを載置する載置テーブルの
所定位置で昇降動する積層ヘッドを装備することにより
構成されている。In the ceramic green sheet laminating apparatus according to a sixth aspect of the present invention, the ceramic green sheet with the base film is positioned on the table surface before the step of pressing and heating the ceramic green sheet on the heating flat plate by the laminating head. It is configured such that a mounting table for a ceramic green sheet to be corrected for misalignment is provided, and a stacking head that moves up and down at a predetermined position on the mounting table for mounting the ceramic green sheet for which the misalignment has been corrected is provided.
【００１５】本発明の請求項７に係るセラミックグリー
ンシートの積層装置においては加熱平盤に対するセラミ
ックグリーンシートの積層ヘッドによる圧接加熱工程前
に、ベースフィルム付きのセラミックグリーンシートを
テーブル面上で位置ズレ修正するセラミックグリーンシ
ートの載置テーブルを配設し、その位置ズレ修正された
セラミックグリーンシートのシート面を所定面積に区画
する切れ目を入れるカッターを載置テーブルのテーブル
面に対して所定位置で昇降動可能に装備すると共に、こ
の切れ目の入れられたセラミックグリーンシートを載置
する載置テーブルの所定位置で昇降動する積層ヘッドを
装備することにより構成されている。In the ceramic green sheet laminating apparatus according to a seventh aspect of the present invention, the ceramic green sheet with the base film is displaced on the table surface before the pressure welding heating step by the laminating head of the ceramic green sheet on the heating flat plate. A placement table for the ceramic green sheet to be corrected is arranged, and a cutter for cutting the sheet surface of the corrected ceramic green sheet into a predetermined area is moved up and down at a predetermined position with respect to the table surface of the mounting table. It is configured to be movably mounted and to be equipped with a lamination head that moves up and down at a predetermined position on a mounting table on which the cut ceramic green sheets are mounted.
【００１６】[0016]
【作用】本発明の請求項１に係るセラミックグリーンシ
ートの積層方法では、セラミックグリーンシートをグリ
ーンシート側から積層ヘッドで受取り保持すると共に、
そのセラミックグリーンシートをベースフィルム側から
加熱平盤に圧接加熱することから、セラミックグリーン
シートのシート面を一定向きで積層ヘッドに順次供給で
きるばかりでなく、セラミックグリーンシートのバイン
ダを加熱平盤で加熱軟化させると共に、当該セラミック
グリーンシートを保持する積層ヘッドの上昇に伴ってセ
ラミックグリーンシートをベースフィルムより剥離でき
ることから、ベースフィルムを加熱平盤の盤面から廃棄
すれば、セラミックグリーンシートを積層ヘッドと加熱
平盤とによる加熱圧接で順次に積層接合することができ
る。In the method for laminating ceramic green sheets according to the first aspect of the present invention, the ceramic green sheets are received and held by the laminating head from the green sheet side.
Since the ceramic green sheets are pressed from the base film side to the heating flat plate, the sheet surface of the ceramic green sheets can be sequentially supplied to the laminating head in a fixed direction, and the ceramic green sheet binder is heated by the heating flat plate. Since the ceramic green sheet can be peeled off from the base film as the laminating head holding the ceramic green sheet rises while being softened, if the base film is discarded from the surface of the heating flat plate, the ceramic green sheet is heated with the laminating head. it can be sequentially stacked joined by heating pressure contact by the Tairaban.
【００１７】本発明の請求項２に係るセラミックグリー
ンシートの積層方法では、先にベースフィルムが剥離さ
れたセラミックグリーンシートの軟化したバインダでグ
リーンシート相互を仮付けさせて、次のセラミックグリ
ーンシートを積層ヘッドで受取り保持することによりセ
ラミックグリーンシートを複数枚積層接合するから、皺
や捩れ等を発生させないでセラミックグリーンシートを
簡略な工程で能率よく積層接合することができる。In the method for laminating ceramic green sheets according to a second aspect of the present invention, the green sheets are temporarily attached to each other with a softened binder of the ceramic green sheet from which the base film has been peeled off, and the next ceramic green sheet is formed. Since a plurality of ceramic green sheets are laminated and joined by receiving and holding by the laminating head, the ceramic green sheets can be efficiently laminated and joined in a simple process without generating wrinkles or twists.
【００１８】本発明の請求項３に係るセラミックグリー
ンシートの積層方法では、セラミックグリーンシートを
位置ズレ修正した後、そのセラミックグリーンシートの
載置テーブルに対する所定位置で昇降動する積層ヘッド
により受取り保持することから、内部電極を正確に位置
合せさせてセラミックグリーンシートを順次に積層接合
できると共に、セラミックグリーンシートを積層接合す
る間にセラミックグリーンシートの位置ズレ修正を積層
接合の前工程で予め行うため、リードタイムを短縮でき
て生産性を向上することができる。In the method for laminating ceramic green sheets according to the third aspect of the present invention, after correcting the misalignment of the ceramic green sheets, the ceramic green sheets are received and held by the laminating head which moves up and down at a predetermined position with respect to the mounting table. From this, it is possible to sequentially align and bond the ceramic green sheets by accurately aligning the internal electrodes, and to perform the misalignment correction of the ceramic green sheets in advance of the stacking and bonding beforehand while stacking and bonding the ceramic green sheets, The lead time can be shortened and the productivity can be improved.
【００１９】本発明の請求項４に係るセラミックグリー
ンシートの積層方法では、セラミックグリーンシートを
位置ズレ修正すると共に、そのセラミックグリーンシー
トのシート面を所定面積に区画する切れ目を入れること
から、内部電極の正確な位置合せと同時に、積層グリー
ンシートの端部合せも正確に行えることにより積層グリ
ーンシートを高精度に接合成形することができる。In the method of laminating ceramic green sheets according to a fourth aspect of the present invention, the position of the ceramic green sheets is corrected, and at the same time, a cut is made to divide the sheet surface of the ceramic green sheets into a predetermined area. In addition to the accurate alignment, the end of the laminated green sheet can also be accurately aligned, so that the laminated green sheet can be joined and formed with high precision.
【００２０】本発明の請求項５に係るセラミックグリー
ンシートの積層装置では、グリーンシート側から積層ヘ
ッドで受取り保持したセラミックグリーンシートをベー
スフィルム側から加熱平盤に圧接加熱し、当該セラミッ
クグリーンシートを保持したまま積層ヘッドを上昇動す
ることによりセラミックグリーンシートをベースフィル
ムから剥離できると同時にセラミックグリーンシートを
複数枚積層接合できるため、皺や捩れ等を発生させない
でセラミックグリーンシートを簡略な手段で能率よく積
層接合することができる。In the ceramic green sheet laminating apparatus according to a fifth aspect of the present invention, the ceramic green sheet received and held by the laminating head from the green sheet side is pressed and heated from the base film side to a heating flat plate, and the ceramic green sheet is heated. The ceramic green sheet can be peeled off from the base film by raising and moving the lamination head while holding it, and at the same time, a plurality of ceramic green sheets can be laminated and bonded. Good lamination bonding is possible.
【００２１】本発明の請求項６に係るセラミックグリー
ンシートの積層装置では、セラミックグリーンシートを
積層ヘッドで加熱平盤に圧接加熱する間にセラミックグ
リーンシートの位置ズレを前工程で修正することから、
セラミックグリーンシートのシート面に形成され電極を
正確に位置合せするよう積層ヘッドで受取り保持できる
ばかりでなく、セラミックグリーンシートの積層接合を
セラミックグリーンシートの位置合せと別に行うことに
よりリードタイムを短縮できて生産性を向上することが
できる。In the apparatus for laminating ceramic green sheets according to claim 6 of the present invention, the positional deviation of the ceramic green sheets is corrected in the preceding process while the ceramic green sheets are pressed against the heating flat plate by the laminating head.
Not only can the stacking head be formed on the sheet surface of the ceramic green sheet to receive and hold the electrodes accurately, but also the lead time can be reduced by performing the stacking of the ceramic green sheets separately from the alignment of the ceramic green sheets. Productivity can be improved.
【００２２】本発明の請求項７に係るセラミックグリー
ンシートの積層装置では、位置ズレ修正したセラミック
グリーンシートのシート面を所定面積に区画する切れ目
を入れた後、そのセラミックグリーンシートを位置ズレ
修正された所定位置から積層ヘッドで正確に受取り保持
し、このセラミックグリーンシートをベースフィルムか
ら切れ目で剥離することによりセラミックグリーンシー
トを複数枚積層接合できるから、セラミックグリーンシ
ートの端部合せも正確に行える。In the ceramic green sheet laminating apparatus according to a seventh aspect of the present invention, after a cut is made to divide the sheet surface of the corrected ceramic green sheet into a predetermined area, the position of the ceramic green sheet is corrected. A plurality of ceramic green sheets can be laminated and joined by accurately receiving and holding the ceramic green sheet from the base film at a predetermined position, and peeling the ceramic green sheet from the base film at a cut, so that the edge alignment of the ceramic green sheet can also be performed accurately.
【００２３】[0023]
【実施例】以下、添付図面を参照して説明すれば、図１
で示すセラミックグリーンシートの積層装置はセラミッ
クグリーンシート１をベースフィルム２のフィルム面に
形成した後カード状に裁断し、そのセラミックグリーン
シート１をベースフィルム２の付きのままで用いて、セ
ラミックグリーンシートを複数枚積層接合するものとし
て構成されている。セラミックグリーンシート１はポリ
エチレンテレフタレートフィルム等をベースフィルム２
とし、誘電材粉末，バインダ，可塑剤，有機溶剤等を成
分とするセラミックスラリーをドクターブレード等で塗
布することにより薄膜状に形成したものを用いることが
できる。また、このセラミックグリーンシート２は積層
磁器コンデンサを構成する場合、一層厚み１０数μｍ，
好ましくは１０μｍ以下に形成するとよい。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG.
The ceramic green sheet laminating apparatus shown in FIG. 3 forms the ceramic green sheet 1 on the film surface of the base film 2 and then cuts the card into a card shape, and uses the ceramic green sheet 1 with the base film 2 attached thereto. Are laminated and joined. The ceramic green sheet 1 is made of a base film 2 such as a polyethylene terephthalate film.
A thin film formed by applying a ceramic slurry containing components such as a dielectric material powder, a binder, a plasticizer, and an organic solvent with a doctor blade or the like can be used. When forming a laminated ceramic capacitor, the ceramic green sheet 2 has a thickness of more than 10 μm,
Preferably, the thickness is set to 10 μm or less.
【００２４】そのセラミックグリーンシートの積層装置
は、カード状に裁断されたセラミックグリーンシート１
をベースフィルム側が下になるよう複数枚重ねて収容す
るカセット１０を備え、このカセット１０からセラミッ
クグリーンシート１を一枚づつ後工程に送り出すことに
より複数枚順次に積層接合するよう構成されている。そ
の後工程にはセラミックグリーンシート１がベースフィ
ルム側からテーブル面に載置される載置テーブル１１
と、この載置テーブル１１のテーブル面に載置されたセ
ラミックグリーンシート１のシート面を所定面積に区画
する切れ目３を入れる昇降動可能なカツター１２と、切
れ目３の入れられたセラミックグリーンシート１をグリ
ーンシート側から受取り保持する昇降動可能な積層ヘッ
ド１３と、その積層ヘッド１３が受取り保持したセラミ
ックグリーンシート１をベースフィルム側から盤面に圧
接させて加熱する加熱平盤１４とが順次に配設されてい
る。The laminating apparatus of the ceramic green sheet is a ceramic green sheet 1 cut into a card shape.
And a cassette 10 for stacking a plurality of ceramic green sheets 1 one by one from the cassette 10 one by one in a subsequent process. In a subsequent step, a placing table 11 on which the ceramic green sheet 1 is placed on the table surface from the base film side.
And a cutter 12 capable of moving up and down into a cut 3 for dividing the sheet surface of the ceramic green sheet 1 placed on the table surface of the mounting table 11 into a predetermined area, and a ceramic green sheet 1 having the cut 3 A stackable head 13 that receives and holds the ceramic green sheet 1 from the green sheet side and a heating flat plate 14 that presses the ceramic green sheet 1 received and held by the stacking head 13 from the base film side to the board surface and heats the ceramic green sheet 1 are sequentially arranged. Has been established.
【００２５】セラミックグリーンシート１の載置テーブ
ル１１としては、水平方向前後乃至は左右に移動し、ま
た、縦軸を中心としてテーブル面を必要角回転させるＸ
Ｙθテーブルを装備することができる。このＸＹθテー
ブル１１はテーブル面上に載置されたセラミックグリー
ンシート１を位置ズレ修正するものであり、そのテーブ
ル面上の所定位置には画像位置決め用カメラ１５を備え
てセラミックグリーンシート１の位置ズレ量を画像処理
で測定し、この位置ズレ量に応じてＸＹθテーブル１１
を駆動制御するよう装備することができる。また、セラ
ミックグリーンシート１或いはベースフィルム２に設け
られたスルーホール（図示せず）と、ＸＹθテーブル１
１のテーブル面に設けられた位置決め用基準マーク（図
示せず）とを画像位置決め用カメラ１５で捉えて両者の
位置ズレを画像処理することにより、ＸＹθテーブル１
１を移動制御する位置ズレ修正データとして測定するこ
とができる。The mounting table 11 for the ceramic green sheet 1 is moved in the front-rear direction or left and right in the horizontal direction, and the table surface is rotated by a required angle about the vertical axis.
A Yθ table can be provided. The XYθ table 11 corrects the positional deviation of the ceramic green sheet 1 placed on the table surface. The XYθ table 11 is provided with an image positioning camera 15 at a predetermined position on the table surface. The amount is measured by image processing, and the XYθ table 11
Can be equipped to drive control. Further, a through hole (not shown) provided in the ceramic green sheet 1 or the base film 2 and an XYθ table 1
The XYθ table 1 is obtained by capturing a positioning reference mark (not shown) provided on the table surface of the first XY table 1 with the image positioning camera 15 and processing the positional deviation between the two.
1 can be measured as displacement correction data for movement control.
【００２６】このセラミックグリーンシート１の載置テ
ーブル１１に対し、カッター１２は所定位置で昇降動す
るよう装備されている。そのカッター１２はセラミック
グリーンシート１を載置テーブル１のテーブル面で位置
ズレ修正した後下降動し、四辺形の切れ目３をセラミッ
クグリーンシート１のシート面に入れることにより、セ
ラミックグリーンシート１のシート面を所定面積に区画
する刃型を有する。The cutter 12 is equipped to move up and down at a predetermined position with respect to the table 11 on which the ceramic green sheets 1 are placed. The cutter 12 corrects the misalignment of the ceramic green sheet 1 on the table surface of the mounting table 1 and then moves downward, and cuts a quadrilateral cut 3 into the sheet surface of the ceramic green sheet 1, so that the sheet of the ceramic green sheet 1 is removed. It has a blade mold that partitions the surface into a predetermined area.
【００２７】積層ヘッド１３はセラミックグリーンシー
ト１をグリーンシート側から吸着保持し、また、所定層
数積層接合した後エアーを吹出すことにより積層セラミ
ックグリーンシートを吸着面から離す真空吸着ヘッドと
して或いは吸着パッド等を備えて構成することができ
る。この積層ヘッド１３は、セラミックグリーンシート
の載置テーブル１１と加熱平盤１４との間を往復動する
と共に、夫々の所定位置で昇降動するよう装備されてい
る。The laminating head 13 sucks and holds the ceramic green sheets 1 from the green sheet side, and as a vacuum suction head which separates the laminated ceramic green sheets from the suction surface by blowing air after laminating and bonding a predetermined number of layers, or as a suction head. It can be configured with a pad or the like. The laminating head 13 is equipped to reciprocate between the ceramic green sheet mounting table 11 and the heating flat plate 14 and to move up and down at respective predetermined positions.
【００２８】加熱平盤１４はヒーター等を内蔵した平金
型でなり、後述する如くセラミックグリーンシート１か
ら剥離されたベースフィルム２を盤面上から廃棄するチ
ャック等の摘出手段を備えて構成することができる。こ
の他、複数層接合された積層セラミックグリーンシート
を積層ヘッド１３から送込み載置するスタッカ台（図示
せず）を備えることができる。The heating flat plate 14 is a flat mold including a heater and the like, and is provided with extracting means such as a chuck for discarding the base film 2 peeled from the ceramic green sheet 1 from the surface of the plate as described later. Can be. In addition, a stacker table (not shown) for feeding and mounting the multilayer ceramic green sheets joined in a plurality of layers from the multilayer head 13 can be provided.
【００２９】このように構成するセラミックグリーンシ
ートの積層装置では、ベースフィルム２の付いたまま
で、セラミックグリーンシート１をカセット１０から一
枚づつ載置テーブル１１のテーブル面上に送り出し、複
数枚を後工程で順次に積層接合するようにできる。その
セラミックグリーンシート１が送り込まれる毎に、載置
テーブル１１ではセラミックグリーンシート１の位置ズ
レを画像位置決め用カメラ１５による撮像，画像処理で
測定し、このズレ量に応じて載置テーブル１１をＸＹθ
方向に移動させて位置ズレ修正を行う。その位置ズレ修
正終了後、載置テーブル１１はテーブル面を所定位置に
保ったままカッター１２の昇降動位置下にまで移動す
る。In the ceramic green sheet laminating apparatus configured as described above, the ceramic green sheets 1 are sent out one by one from the cassette 10 onto the table surface of the mounting table 11 while the base film 2 is attached, and a plurality of sheets are fed back. Lamination joining can be performed sequentially in the process. Each time the ceramic green sheet 1 is fed, the mounting table 11 measures the positional deviation of the ceramic green sheet 1 by imaging and image processing by the image positioning camera 15, and moves the mounting table 11 in accordance with the amount of the deviation.
To correct the misalignment. After the correction of the positional deviation, the mounting table 11 moves to a position below the vertical movement position of the cutter 12 while keeping the table surface at the predetermined position.
【００３０】載置テーブル１１がカッター１２の昇降動
位置下に移動すると、カッター１２が載置テーブル１１
のテーブル面上に載置されたセラミックグリーンシート
１のシート面に向けて下降動し、位置ズレ修正されたセ
ラミックグリーンシート１のシート面を所定面積に区画
する切れ目３をセラミックグリーンシート１に入れる。
その切れ目３の付設後はカッター１２は直ちに上昇動
し、載置テーブル１１は切れ目３の入れられたセラミッ
クグリーンシート１を所定位置に保って積層ヘッド１３
が移動するまで待機する。この載置テーブル１１から
は、図２で示すように積層ヘッド１３が下降動し、セラ
ミックグリーンシート１をグリーンシート側から吸着保
持する。そのセラミックグリーンシート１の吸着時には
積層ヘッド１３が所定位置で下降動することから、セラ
ミックグリーンシート１は位置ズレ修正された正規な位
置を保って積層ヘッド１３で受取り保持される。When the mounting table 11 moves below the position where the cutter 12 moves up and down, the cutter 12
The ceramic green sheet 1 is moved downward toward the sheet surface of the ceramic green sheet 1 placed on the table surface, and a cut 3 that divides the sheet surface of the ceramic green sheet 1 whose position has been corrected into a predetermined area is formed in the ceramic green sheet 1. .
After the cut 3 is provided, the cutter 12 immediately moves upward, and the placing table 11 holds the ceramic green sheet 1 with the cut 3 at a predetermined position while holding the laminating head 13.
Wait for the to move. As shown in FIG. 2, the laminating head 13 moves downward from the mounting table 11 to suck and hold the ceramic green sheet 1 from the green sheet side. When the ceramic green sheet 1 is attracted, the laminating head 13 moves down at a predetermined position, so that the ceramic green sheet 1 is received and held by the laminating head 13 while maintaining the correct position where the displacement has been corrected.
【００３１】積層ヘッド１３はセラミックグリーンシー
ト１をグリーンシート側から吸着保持すると直ちに上昇
動し、加熱平盤１４の配設位置上に復帰動することによ
り加熱平盤１４に向けて下降動する。その積層ヘッド１
３の下降動に伴って、セラミックグリーンシート１はベ
ースフィルム側から加熱平盤１４に圧接されて加熱処理
される。このセラミックグリーンシート１がベースフィ
ルム側から加熱されると、セラミックグリーンシート１
のバインダが軟化し、ベースフィルム２がセラミックグ
リーンシート１から剥れる状態になる。その加熱処理後
に、積層ヘッド１３が上昇動するのに伴って、図３で示
すように切れ目３で区画された所定面積のセラミックグ
リーンシート１が積層ヘッド１３で吸着保持されたまま
でベースフィルム２から剥し取られる。またベースフィ
ルム２はセラミックグリーンシートから剥離されて加熱
平盤１４の盤面上に残る。The laminating head 13 immediately rises as soon as the ceramic green sheet 1 is sucked and held from the green sheet side, and returns to the position where the heating flat plate 14 is disposed, thereby descending toward the heating flat plate 14. The lamination head 1
With the downward movement of 3, the ceramic green sheet 1 is pressed against the heating flat plate 14 from the base film side and is heated. When the ceramic green sheet 1 is heated from the base film side, the ceramic green sheet 1
Is softened, and the base film 2 is peeled off from the ceramic green sheet 1. After the heat treatment, as the laminating head 13 moves upward, as shown in FIG. 3, the ceramic green sheet 1 having a predetermined area defined by the cuts 3 is removed from the base film 2 while being sucked and held by the laminating head 13. Stripped off. The base film 2 is peeled off from the ceramic green sheet and remains on the surface of the heated flat plate 14.
【００３２】このセラミックグリーンシート１の圧接加
熱処理中、前工程に配置されたセラミックグリーンシー
トの載置テーブル１１では上述したセラミックグリーン
シート１の位置ズレ修正，切れ目３の付設処理を順次継
続的に行うことにより積層ヘッド１３が次に下降動する
まで所定位置で待機する。また、加熱平盤１４の盤面上
に残存するベースフィルム２は次に積層ヘッド１３が復
帰動するまでの間に加熱平盤１４の盤面上から取り除か
れて廃棄処分される。During the pressing and heating treatment of the ceramic green sheet 1, the above-described processing of correcting the positional deviation of the ceramic green sheet 1 and providing the cut 3 is sequentially and continuously performed on the ceramic green sheet mounting table 11 arranged in the preceding step. By doing so, it waits at a predetermined position until the laminating head 13 moves down next time. Further, the base film 2 remaining on the surface of the heated flat plate 14 is removed from the surface of the heated flat plate 14 and discarded until the laminating head 13 returns to the next operation.
【００３３】積層ヘッド１３は所定面積のセラミックグ
リーンシート１を吸着保持したまま、次の位置ズレ修正
されて切れ目３の付けられたベースフィルム付きのセラ
ミックグリーンシート１’が待機する載置テーブル１１
に向けて移動する。その積層ヘッド１３が載置テーブル
１１に向けて下降動すると、図４で示すように積層ヘッ
ド１３で吸着保持されたセラミックグリーンシート１の
バインダが軟化状態に保たれていることから、次のセラ
ミックグリーンシート１’はグリーンシート相互がバイ
ンダで仮付けされてベースフィルム３’の付いたまま積
層ヘッド１３で受取り保持される。The laminating head 13 holds the ceramic green sheet 1 having a predetermined area by suction, and the mounting table 11 on which the next position-corrected ceramic green sheet 1 ′ with the base film 1 ′ with the cut 3 is on standby is held.
Move towards. When the laminating head 13 moves down toward the mounting table 11, the binder of the ceramic green sheet 1 sucked and held by the laminating head 13 is kept in a softened state as shown in FIG. The green sheets 1 'are received and held by the laminating head 13 while the green sheets are temporarily attached to each other with a binder and the base film 3' is attached.
【００３４】この積層ヘッド１３では、上述した如く積
層開始当初はセラミックグリーンシート１を１層分だけ
吸着することにより受取り保持し、以後は先に加熱処理
されたセラミックグリーンシート１のバインダで仮付け
することによりセラミックグリーンシート１，１’…を
順次に受取り保持する。また、そのグリーンシート相互
の仮付け時には上述した如く積層ヘッド１３が所定位置
で昇降動することから、先に所定面積のセラミックグリ
ーンシート１と次のセラミックグリーンシート１’…と
切れ目３，３’…で区画された所定面積と正確に面合せ
され積層ヘッド１３で受取り保持することができる。In the laminating head 13, as described above, at the beginning of lamination, the ceramic green sheet 1 is received and held by adsorbing only one layer, and thereafter, the ceramic green sheet 1 is temporarily attached with the binder of the previously heated ceramic green sheet 1. .. Are sequentially received and held. When the green sheets are temporarily attached to each other, the laminating head 13 moves up and down at a predetermined position as described above, so that the ceramic green sheet 1 having a predetermined area, the next ceramic green sheet 1 '... Are accurately aligned with a predetermined area defined by the... And can be received and held by the lamination head 13.
【００３５】積層ヘッド１３は次のセラミックグリーン
シート１’を受取り保持すると加熱平盤１４の配置位置
に復帰動し、次のセラミックグリーンシート１’を加熱
平盤１４の盤面に圧接するよう下降動する。その下降動
に伴っては、次のセラミックグリーンシート１’も加熱
平盤１４で加熱処理されてバインダの軟化によるベース
フィルム２’の剥離が行われると共に、図５で示すよう
に先のセラミックグリーンシート１とグリーンシート相
互で加熱圧接させて積層接合できるようになる。ここま
での繰返しで、ベースフィルム２，２’…の付いたまま
で用いられるセラミックグリーンシート１，１’…は複
数枚積層接合することにより所定数層の積層セラミック
グリーンシートとして形成することができる。その積層
セラミックグリーンシートは、積層ヘッド１３からスタ
ッカ台等に転送することにより部品単位の切断，焼成等
の事後処理を行うべく後工程に供給することができる。
なお、上述したセラミックグリーンシート１，１’…の
加熱圧接は加熱温度６０℃，圧力４０ｋｇ／ｃｍ2 ，時
間２〜４秒程度で行える。When receiving and holding the next ceramic green sheet 1 ′, the laminating head 13 returns to the position where the heating flat plate 14 is disposed, and moves downward so as to press the next ceramic green sheet 1 ′ against the surface of the heating flat plate 14. I do. Along with the downward movement, the next ceramic green sheet 1 'is also heated by the heating flat plate 14, so that the base film 2' is peeled off by the softening of the binder, and as shown in FIG. heated pressure contact with the sheet 1 and the green sheet each other will be able to laminate joined. By repeating the above, the ceramic green sheets 1, 1 'to be used with the base films 2, 2', etc. attached thereto can be formed as a predetermined number of laminated ceramic green sheets by laminating and joining a plurality of sheets. The multilayer ceramic green sheet can be supplied to a post-process in order to perform post-processing such as cutting and baking for each component by transferring from the lamination head 13 to a stacker table or the like.
Incidentally, the ceramic green sheets 1, 1 '... heating pressure contact heating temperature 60 ° C. of the above, pressure 40 kg / cm @ 2, performed in time about 2-4 seconds.
【００３６】このセラミックグリーンシートの積層方法
は積層磁器コンデンサ等の誘電体部品に限らず、磁性体
部品を製造する磁性材粉末を主成分とするスラリーによ
るグリーンシートの積層にも適用することができる。そ
のセラミックグリーンシート１，１’…はカセット１０
にストックすることにより用いられるから、多種のスク
リーンマスクで異なるパターンの内部電極を形成したセ
ラミックグリーンシートでも順次に供給することができ
る。このため、多品種のセラミック積層部品を製造する
のに容易に対応することができる。また、各セラミック
グリーンシート１，１’…を切れ目３，３’…で端部合
せすることにより積層するから、１．５ｍｍ以上の厚膜
シートでも仮接着時に外形を揃える必要がなくしかも油
圧プレス等の大掛りな設備も要せずに積層接合すること
ができる。This method of laminating ceramic green sheets is not limited to dielectric parts such as laminated ceramic capacitors, but can also be applied to lamination of green sheets using a slurry mainly composed of a magnetic material powder for producing magnetic parts. . The ceramic green sheets 1, 1 '...
Since it is used by stocking ceramic green sheets, it is possible to sequentially supply even ceramic green sheets in which internal electrodes of different patterns are formed with various types of screen masks. Therefore, it is possible to easily cope with the production of various types of ceramic laminated parts. In addition, since the ceramic green sheets 1, 1 '... are laminated by aligning the ends at the cuts 3, 3' ..., even a thick film sheet of 1.5 mm or more does not need to have the same outer shape at the time of temporary bonding, and a hydraulic press. Laminate joining can be performed without requiring large-scale facilities such as those described above.
【００３７】[0037]
【発明の効果】以上の如く、本発明に係るセラミックグ
リーンシートの積層方法及び装置に依れば、セラミック
グリーンシートをベースフィルム付きのまま用いても、
ベースフィルムを簡略な工程で確実に剥ぎ取れ、また、
セラミックグリーンシートを位置ズレ修正した後積層接
合することから内部電極を高精度に位置合せすることが
できる。その位置ズレ修正はセラミックグリーンシート
の積層接合と別に前工程で行うから、リードタイムを短
縮化できて生産性を向上することができると共に、セラ
ミックグリーンシートを切れ目で所定面積に区画するこ
とにより複数枚を積層接合することから、外形の揃った
積層セラミックグリーンシートが得られる。従って、セ
ラミックグリーンシートの皺や捩れ等は勿論、電極ズレ
や端部のバラ付き等の発生を避けられることにより製品
歩留りの向上も図ることができる。As described above, according to the method and apparatus for laminating a ceramic green sheet according to the present invention, even if the ceramic green sheet is used with a base film attached,
The base film can be reliably peeled off in a simple process.
After the misalignment of the ceramic green sheets has been corrected, the internal electrodes can be aligned with high precision because they are laminated and joined. Since the misalignment is corrected in a pre-process separately from the lamination and joining of the ceramic green sheets, the lead time can be shortened and the productivity can be improved. Since the sheets are laminated and joined, a laminated ceramic green sheet having a uniform outer shape can be obtained. Therefore, it is possible to avoid the occurrence of wrinkles and twists of the ceramic green sheet, as well as the occurrence of electrode misalignment and uneven end portions, thereby improving the product yield.
【図１】本発明に係るセラミックグリーンシートの積層
装置全体を概略的に示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory view schematically showing an entire ceramic green sheet laminating apparatus according to the present invention.
【図２】同積層装置に装備された積層ヘッドによるセラ
ミックグリーンシートの受取り開始当初における説明図
である。FIG. 2 is an explanatory diagram at the beginning of the reception of a ceramic green sheet by a lamination head provided in the lamination apparatus.
【図３】同積層ヘッドで保持されたセラミックグリーン
シートのベースフィルム剥離後における説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a ceramic green sheet held by the lamination head after a base film is peeled off.
【図４】同積層ヘッドによるセラミックグリーンシート
の二層目以降の受取り時における説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram at the time of receiving the second and subsequent layers of the ceramic green sheet by the lamination head.
【図５】同積層ヘッドで受取り保持されたセラミックグ
リーンシートの二層目以降のベースフィルム剥離後にお
ける説明図である。FIG. 5 is an explanatory view of a ceramic green sheet received and held by the lamination head after a base film is peeled from a second layer onward.
１，１’… セラミックグリーンシート ２，２’… ベースフィルム ３，３’… 切れ目 １１ セラミックグリーンシートの載置
テーブル １２ カッター １３ 積層ヘッド １４ 加熱平盤1, 1 '... ceramic green sheet 2, 2' ... base film 3, 3 '... cut 11 mounting table for ceramic green sheet 12 cutter 13 lamination head 14 heated flat plate
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｇ 4/30 ３１１ Ｂ２８Ｂ 11/00 Ｚ (72)発明者 須藤 純一 東京都中央区日本橋一丁目13番１号 テ ィーディーケイ株式会社内 (72)発明者 佐々木 智之 東京都中央区日本橋一丁目13番１号 テ ィーディーケイ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−32909（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−53030（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−254315（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−299841（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−227205（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−2196（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−114531（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−102216（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B28B 1/30 101 B28B 11/00 - 11/22 H01G 4/30 311 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI H01G 4/30 311 B28B 11/00 Z (72) Inventor Junichi Sudo 1-13-1 Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo TDK Corporation (72) Inventor Tomoyuki Sasaki 1-1-13 Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo TDK Corporation (56) References JP-A-63-32909 (JP, A) JP-A-63-53030 (JP, A JP-A-4-254315 (JP, A) JP-A-5-299841 (JP, A) JP-A-3-227205 (JP, A) JP-A-4-2196 (JP, A) JP-A-5-Japanese 114531 (JP, A) JP-A-63-102216 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) B28B 1/30 101 B28B 11/00-11/22 H01G 4/30 311
Claims (7)
ィルム面に形成されたセラミックグリーンシートをベー
スフィルム付きのままカード状に裁断し、そのセラミッ
クグリーンシートをベースフィルム付きのまま用いて、
セラミックグリーンシートを複数枚積層接合するのに適
用されるセラミックグリーンシートの積層方法であっ
て、 上記ベースフィルム付きのセラミックグリーンシートを
昇降動する積層ヘッドでグリーンシート側から受取り保
持し、このセラミックグリーンシートを積層ヘッドの下
降動に伴ってベースフィルム側から加熱平盤に圧接させ
て加熱し、且つ、当該セラミックグリーンシートを保持
した積層ヘッドの上昇動に伴ってベースフィルムをセラ
ミックグリーンシートから剥離するようにしたことを特
徴とするセラミックグリーンシートの積層方法。1. A ceramic green sheet formed on a film surface using a resin film as a base film is cut into a card shape with the base film attached, and the ceramic green sheet is used with the base film attached.
A method for laminating a plurality of ceramic green sheets, wherein the ceramic green sheet with a base film is received and held from a green sheet side by a laminating head that moves up and down, and the ceramic green sheet is provided. The sheet is pressed against the heating flat plate from the base film side with the descending movement of the laminating head and heated, and the base film is peeled off from the ceramic green sheet with the ascending movement of the laminating head holding the ceramic green sheet. A method for laminating ceramic green sheets, characterized in that:
初はベースフィルム付きのセラミックグリーンシートを
昇降動する積層ヘッドでグリーンシート側から吸着保持
し、このセラミックグリーンシートを積層ヘッドの下降
動に伴ってベースフィルム側から加熱平盤に圧接させて
加熱し、且つ、当該セラミックグリーンシートを吸着保
持した積層ヘッドの上昇動に伴ってベースフィルムをセ
ラミックグリーンシートから剥離し、 以後はベースフィルムが剥離されたセラミックグリーン
シートの軟化したバインダでグリーンシート相互を仮付
けさせて、次のベースフィルム付きのセラミックグリー
ンシートを積層ヘッドで受取り保持し、 その積層ヘッドによるベースフィルム付きのセラミック
グリーンシートの受取り毎に、加熱平盤に対するセラミ
ックグリーンシートの圧接からベースフィルムの剥離ま
でを繰返し行い、複数枚順次に仮付けされるセラミック
グリーンシートを積層ヘッドと加熱平盤とによる加熱圧
接で接合するようにしたことを特徴とする請求項１のセ
ラミックグリーンシートの積層方法。2. At the beginning of lamination of ceramic green sheets, a ceramic green sheet with a base film is sucked and held from the green sheet side by a laminating head which moves up and down, and this ceramic green sheet is moved downward by the laminating head. The base film is peeled off from the ceramic green sheet with the ascending movement of the laminating head holding the ceramic green sheet by suction while being pressed against the heating flat plate from the side, and thereafter, the ceramic green from which the base film has been peeled off The green sheets are temporarily attached to each other with the softened binder, the next ceramic green sheet with the base film is received and held by the laminating head, and each time the ceramic green sheet with the base film is received by the laminating head, the heating flat is performed. Set against the board Repeated from pressure Mick green sheet to the peeling of the base film, heating pressure the ceramic green sheet to be plural sequentially tack by the laminating head and the heated platen
2. The method for laminating ceramic green sheets according to claim 1, wherein the ceramic green sheets are joined by contact .
リーンシートを載置テーブルのテーブル面上で位置ズレ
修正した後、当該テーブル面に対して所定位置で昇降動
する積層ヘッドにより位置ズレ修正されたセラミックグ
リーンシートを受取り保持するようにしたことを特徴と
する請求項１または２のセラミックグリーンシートの積
層方法。3. A ceramic green sheet having a base film and a ceramic green sheet whose position has been corrected by a laminating head which moves up and down at a predetermined position with respect to the table surface after correcting the position of the ceramic green sheet with the table surface. 3. The method for laminating ceramic green sheets according to claim 1, wherein the sheets are received and held.
リーンシートを載置テーブルのテーブル面上で位置ズレ
修正した後、当該テーブル面に対して所定位置で昇降動
するカッターによりセラミックグリーンシートのシート
面を所定面積に区画する切れ目をセラミックグリーンシ
ートに付け、更に、当該テーブル面に対して所定位置で
昇降動する積層ヘッドにより切れ目の付けられたベース
フィルム付きのセラミックグリーンシートをグリーンシ
ート側から受取り保持し、このセラミックグリーンシー
トを積層ヘッドの下降動に伴ってベースフィルム側から
加熱平盤に圧接加熱し、且つ、当該セラミックシートを
保持した積層ヘッドの上昇降に伴ってベースフィルムを
セラミックグリーンシートに付けられた切れ目から剥離
するようにしたことを特徴とする請求項１または２のセ
ラミックグリーンシートの積層方法。4. After correcting the misalignment of the ceramic green sheet with the base film on the table surface of the mounting table, the sheet surface of the ceramic green sheet is moved up and down at a predetermined position with respect to the table surface. The ceramic green sheet is provided with a cut which is divided into areas, and the ceramic green sheet with the base film, which has been cut by the laminating head which moves up and down at a predetermined position with respect to the table surface, is received and held from the green sheet side, The ceramic green sheet is pressed against a heating flat plate from the base film side with the lowering movement of the laminating head, and the base film is attached to the ceramic green sheet with the raising and lowering of the laminating head holding the ceramic sheet. To separate from the cut The method for laminating ceramic green sheets according to claim 1 or 2, wherein:
ィルム面に形成されたセラミックグリーンシートをベー
スフィルム付きのままカード状に裁断し、そのセラミッ
クグリーンシートをベースフィルム付きのまま用いて、
セラミックグリーンシートを複数枚積層接合するのに適
用されるセラミックグリーンシートの積層装置であっ
て、 上記ベースフィルム付きのセラミックグリーンシートを
グリーンシート側から受取り保持する昇降動可能な積層
ヘッドと、このセラミックグリーンシートを積層ヘッド
の下降動に伴って圧接加熱する加熱平盤とを備えると共
に、該積層ヘッドは加熱平盤で加熱処理されたセラミッ
クグリーンシートを上昇動に伴ってベースフィルムから
剥離するセラミックグリーンシートの剥取り手段として
備えてなることを特徴とするセラミックグリーンシート
の積層装置。5. A ceramic green sheet formed on a film surface using a resin film as a base film is cut into a card shape with the base film attached, and the ceramic green sheet is used with the base film attached,
What is claimed is: 1. A ceramic green sheet laminating apparatus applied to laminate and join a plurality of ceramic green sheets, comprising: a vertically movable laminating head for receiving and holding the ceramic green sheet with a base film from a green sheet side; A heating flat plate that presses and heats the green sheet as the laminating head descends, and the laminating head separates the ceramic green sheet that has been heat-treated by the heating flat plate from the base film with the ascending movement. A ceramic green sheet laminating apparatus provided as a sheet peeling means.
ンシートの積層ヘッドによる圧接加熱工程前に、ベース
フィルム付きのセラミックグリーンシートをテーブル面
上で位置ズレ修正するセラミックグリーンシートの載置
テーブルを配設し、その位置ズレ修正されたセラミック
グリーンシートを載置する載置テーブルの所定位置で昇
降動する積層ヘッドを装備してなることを特徴とする請
求項５のセラミックグリーンシートの積層装置。6. A ceramic green sheet mounting table for correcting a displacement of a ceramic green sheet with a base film on a table surface before a pressure heating step of pressing a ceramic green sheet on a heating flat plate by a lamination head. 6. The ceramic green sheet laminating apparatus according to claim 5 , further comprising a laminating head that moves up and down at a predetermined position on a placing table on which the misaligned ceramic green sheet is placed.
ンシートの積層ヘッドによる圧接加熱工程前に、ベース
フィルム付きのセラミックグリーンシートをテーブル面
上で位置ズレ修正するセラミックグリーンシートの載置
テーブルを配設し、その位置ズレ修正されたセラミック
グリーンシートのシート面を所定面積に区画する切れ目
を入れるカッターを載置テーブルのテーブル面に対して
所定位置で昇降動可能に装備すると共に、この切れ目の
入れられたセラミックグリーンシートを載置する載置テ
ーブルの所定位置で昇降動する積層ヘッドを装備してな
ることを特徴とする請求項５のセラミックグリーンシー
トの積層装置。7. A ceramic green sheet mounting table for correcting a displacement of a ceramic green sheet with a base film on a table surface before a heating step of pressing a ceramic green sheet onto a heating flat plate by a lamination head. A cutter for forming a cut that divides the sheet surface of the ceramic green sheet whose position has been corrected into a predetermined area is provided so as to be able to move up and down at a predetermined position with respect to the table surface of the mounting table. 6. The ceramic green sheet laminating apparatus according to claim 5 , further comprising a laminating head that moves up and down at a predetermined position on a mounting table on which the ceramic green sheets are mounted.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19074893A JP3111232B2 (en) | 1993-07-02 | 1993-07-02 | Method and apparatus for laminating ceramic green sheets |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19074893A JP3111232B2 (en) | 1993-07-02 | 1993-07-02 | Method and apparatus for laminating ceramic green sheets |
Publications (2)
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| JPH07164416A JPH07164416A (en) | 1995-06-27 |
| JP3111232B2 true JP3111232B2 (en) | 2000-11-20 |
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ID=16263094
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