JPH07164416A - Method and apparatus for laminating ceramic green sheet - Google Patents

Method and apparatus for laminating ceramic green sheet

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JPH07164416A
JPH07164416A JP19074893A JP19074893A JPH07164416A JP H07164416 A JPH07164416 A JP H07164416A JP 19074893 A JP19074893 A JP 19074893A JP 19074893 A JP19074893 A JP 19074893A JP H07164416 A JPH07164416 A JP H07164416A
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ceramic green
green sheet
laminating
base film
head
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政幸 吉田
Eisaku Miyauchi
栄作 宮内
Genichi Watanabe
源一 渡辺
Junichi Sudo
純一 須藤
Tomoyuki Sasaki
智之 佐々木
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Abstract

PURPOSE:To enhance productivity and product yield by laminating and bonding a plurality of ceramic green sheets fitted with base films to shorten a lead time. CONSTITUTION:A ceramic green sheet 1 is received and held on a green sheet side by a laminating head 13 and, in this state, the green sheet 1 is brought into contact with a heating flat plate 14 from a base film side under pressure and heating to peel a base film 2 and a next ceramic green sheet is successively received and held by the laminating head 13 by the mutual temporary bonding of the green sheets due to the softening of a binder. The above mentioned process is repeated to laminate and bond a plurality of the ceramic green sheets. In a front process separate from the laminating and bonding process, the positional shift of the ceramic green sheets is corrected by a loading table 11 and slits 3 demarcating a predetermined area are provided to the ceramic green sheets by a cutter 12 to arrange the end parts of the green sheets.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、樹脂フィルムをベース
フィルムとしてフィルム面に形成されたセラミックグリ
ーンシートをベースフィルム付きのままカード状に裁断
し、そのセラミックグリーンシートをベースフィルム付
きのまま用いて、セラミックグリーンシートを複数枚積
層接合するのに適用されるセラミックグリーンシートの
積層方法及び装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention uses a resin film as a base film to cut a ceramic green sheet formed on the film surface into a card shape with the base film attached, and uses the ceramic green sheet with the base film attached. The present invention relates to a method and apparatus for laminating ceramic green sheets, which is applied to laminate and join a plurality of ceramic green sheets.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、積層磁器コンデンサ等を製造す
るのにあたり、ポリエチレンテレフタレートフィルム等
をベースフィルムとし、誘電材粉末,バインダ,可塑
剤,有機溶剤等を成分とするセラミックスラリーをドク
ターブレード等で塗布することによりセラミックグリー
ンシートを作製し、そのセラミックグリーンシートを所
定の大きさに裁断しまたは裁断する前に所定パターンの
電極をグリーンシート面にスクリーン印刷等で形成し、
この電極が形成されたセラミックグリーンシート乃至は
電極の形成されていないセラミックグリーンシートを順
次に複数枚積層接合し、その積層セラミックグリーンシ
ートを内部電極に基づく部品単位のチップ状に裁断した
後焼成処理することにより積層セラミック部品として得
るシート法が適用されている。
2. Description of the Related Art Generally, in manufacturing a laminated ceramic capacitor or the like, a polyethylene terephthalate film or the like is used as a base film, and a ceramic slurry containing dielectric material powder, a binder, a plasticizer, an organic solvent or the like is applied by a doctor blade or the like. To produce a ceramic green sheet by cutting, to cut the ceramic green sheet to a predetermined size or to form an electrode of a predetermined pattern on the green sheet surface by screen printing or the like before cutting,
A plurality of ceramic green sheets on which the electrodes are formed or ceramic green sheets on which no electrodes are formed are sequentially laminated and joined, and the laminated ceramic green sheets are cut into chip-shaped parts based on the internal electrodes, and then fired. A sheet method for obtaining a laminated ceramic component by applying the above is applied.

【0003】そのシート法によるときには、積層磁器コ
ンデンサの場合セラミックグリーンシートの1層厚みを
薄くする程に容量を増大でき、また、容量が積層総数に
比例することからセラミックグリーンシートの1層厚み
を10μm以下と薄膜化することが望まれる。唯、この
薄膜なセラミックグリーンシートをベースフィルムのフ
ィルム面に形成した後、ベースフィルムより剥離させて
積層すると皺や捩れ等が生ずることから、焼成後に誘電
体層と内部電極間の剥離や積層グリーンシートの端部に
バラ付き等が発生する原因となる。
According to the sheet method, in the case of a laminated ceramic capacitor, the capacity can be increased as the thickness of one layer of the ceramic green sheet is reduced, and since the capacity is proportional to the total number of laminated layers, the thickness of the one layer of the ceramic green sheet can be reduced. It is desired to reduce the thickness to 10 μm or less. However, if this thin ceramic green sheet is formed on the film surface of the base film and then peeled and laminated from the base film, wrinkles and twists will occur. This may cause variations in the edges of the sheet.

【0004】この欠点を除去し、また、作業性,製品歩
留の向上等を図るべく、セラミックグリーンシートをベ
ースフィルム付きのまま用いて、複数枚積層接合するこ
とが既に提案されている(特開昭63−188926
号)。そのセラミックグリーンシートの積層方法はベー
スフィルム付きのセラミックグリーンシートをグリーン
シート相互で重ね合させ、上側に重ね合されたベースフ
ィルム側から加熱ローラでセラミックグリーンシートを
加熱圧締することによりバインダを軟化させて、グリー
ンシート相互を積層接合するようにされている。
In order to eliminate this defect and to improve workability and product yield, it has already been proposed to laminate and join a plurality of ceramic green sheets with the base film attached (special features). Kaisho 63-188926
issue). The method of laminating the ceramic green sheets is to stack the ceramic green sheets with base films on top of each other and soften the binder by heating and pressing the ceramic green sheets with the heating roller from the side of the base films overlaid on the upper side. Then, the green sheets are laminated and joined together.

【0005】然し、このセラミックグリーンシートの積
層方法ではセラミックグリーンシートをグリーンシート
相互で相対するようセラミックグリーンシートの向きを
交互に反転させて供給しなければならず、しかもセラミ
ックグリーンシートをグリーンシート相互で加熱圧締し
た後、上側のセラミックグリーンシートからベースフィ
ルムを剥離する作業を別途に行わなければならないた
め、工程的に繁雑であって積層作業を簡略に行うことか
ら鑑みると好ましくない。
However, in this method of laminating the ceramic green sheets, the ceramic green sheets must be supplied by inverting the directions of the ceramic green sheets alternately so that the ceramic green sheets face each other. Since the work of peeling off the base film from the upper ceramic green sheet has to be carried out separately after heating and pressurizing with, the process is complicated and the laminating work is simplified, which is not preferable.

【0006】また、上述したシート法によるときには精
密な内部パターンを有する内部電極を正確に位置合せさ
せて積層することが望まれる。そのため、セラミックグ
リーンシートを積層ヘッドで受取り保持した後積層金型
に圧接加熱する工程で、セラミックグリーンシートのス
ルーホールと積層金型の位置決め基準マークとのズレ量
を測定し、このズレ量に応じて金型を位置修正してか
ら、セラミックグリーンシートを積層ヘッドで積層金型
に圧接することが提案されている(特公平5−2540
0号)。
Further, when the above-mentioned sheet method is used, it is desired that the internal electrodes having a precise internal pattern be accurately aligned and laminated. Therefore, in the process of receiving and holding the ceramic green sheet with the laminating head and then heating it by pressure contact with the laminated die, the deviation amount between the through hole of the ceramic green sheet and the positioning reference mark of the laminated die is measured, and the deviation amount is measured according to this deviation amount. It has been proposed that the ceramic green sheet be pressed against the laminated die by the laminating head after the die is repositioned by pressing the die (see Japanese Patent Publication No. 5-2540).
No. 0).

【0007】このセラミックグリーンシートの積層方法
に依ると、内部電極を正確に位置合せさせて積層できる
ところから好ましいものの、積層金型に対するセラミッ
クグリーンシートの加熱圧締工程で金型による位置ズレ
修正も共に行うため、セラミックグリーンシートの積層
接合に時間を要することから生産スピード乃至は生産性
を向上するには限界がある。
According to this method of laminating the ceramic green sheets, it is preferable because the internal electrodes can be accurately aligned and laminated, but the positional deviation due to the mold is also corrected in the heating and pressing process of the ceramic green sheets to the laminated mold. Since they are carried out together, it takes time to laminate and join the ceramic green sheets, so there is a limit to improving the production speed or productivity.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、所定なパタ
ーンの電極がシート面に形成されたセラミックグリーン
シート,電極の形成されていないセラミックグリーンシ
ート(以下、両者を含めて、単に「セラミックグリーン
シート」という。)をベースフィルム付きのまま用い、
その積層接合工程を簡略化すると共にリードタイムを短
縮できて、生産性を向上できるよう改良したセラミック
グリーンシートの積層方法及び装置を提供することを目
的とする。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention is directed to a ceramic green sheet having electrodes having a predetermined pattern formed on a sheet surface, a ceramic green sheet having no electrodes (hereinafter, both are simply referred to as "ceramic green sheet"). Sheet)) is used with the base film attached,
An object of the present invention is to provide a method and apparatus for laminating a ceramic green sheet, which can improve the productivity by simplifying the laminating and joining process and shortening the lead time.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
セラミックグリーンシートの積層方法においては、ベー
スフィルム付きのセラミックグリーンシートを昇降動す
る積層ヘッドでグリーンシート側から受取り保持し、こ
のセラミックグリーンシートを積層ヘッドの下降動に伴
ってベースフィルム側から加熱平盤に圧接させて加熱
し、且つ、当該セラミックグリーンシートを保持した積
層ヘッドの上昇動に伴ってベースフィルムをセラミック
グリーンシートから剥離するようにされている。
In the method of laminating a ceramic green sheet according to claim 1 of the present invention, a ceramic green sheet with a base film is received and held from the side of the green sheet by a laminating head that moves up and down, and the ceramic green sheet is held. The green sheet is pressed against the heating flat plate from the base film side with the lowering movement of the laminating head to heat, and the base film is peeled from the ceramic green sheet with the ascending movement of the laminating head holding the ceramic green sheet. It is supposed to do.

【0010】本発明の請求項2に係るセラミックグリー
ンシートの積層方法においては、セラミックグリーンシ
ートの積層開始当初はベースフィルム付きのセラミック
グリーンシートを昇降動する積層シートでグリーンシー
ト側から吸着保持し、このセラミックグリーンシートを
積層ヘッドの下降動でベースフィルム側から加熱平盤に
圧接加熱し、且つ、当該セラミックグリーンシートを吸
着保持した積層ヘッドの上昇動に伴ってベースフィルム
をセラミックグリーンシートから剥離し、以後はベース
フィルムが剥離されたセラミックグリーンシートの軟化
したバインダでグリーンシート相互を仮付けさせて、次
のベースフィルム付きのセラミックグリーンシートを積
層ヘッドで受取り保持し、その積層ヘッドによるベース
フィルム付きのセラミックグリーンシートの受取り毎
に、加熱平盤に対するセラミックグリーンシートの圧接
からベースフィルムの剥離までを繰返し行い、複数枚順
次に仮付けされるセラミックグリーンシートを積層ヘッ
ドと加熱平盤とによる加熱圧締で接合するようにされて
いる。
In the method for laminating ceramic green sheets according to the second aspect of the present invention, at the beginning of the lamination of the ceramic green sheets, the ceramic green sheet with the base film is adsorbed and held from the side of the green sheet by the vertically moving laminated sheet, This ceramic green sheet is pressed and heated from the base film side to the heating platen by the downward movement of the laminating head, and the base film is peeled from the ceramic green sheet with the upward movement of the laminating head that adsorbs and holds the ceramic green sheet. After that, the green sheets are temporarily attached with the softened binder of the ceramic green sheet from which the base film has been peeled off, and the next ceramic green sheet with the base film is received and held by the laminating head. The Each time the Mick green sheet is received, the pressing of the ceramic green sheet to the heating flat plate and the peeling of the base film are repeated, and multiple ceramic green sheets that are temporarily attached in sequence are heated and pressed by the stacking head and the heating flat plate. It is designed to be joined with.

【0011】本発明の請求項3に係るセラミックグリー
ンシートの積層方法においては、ベースフィルム付きの
セラミックグリーンシートを載置テーブルのテーブル面
上で位置ズレ修正した後、当該テーブル面に対して所定
位置で昇降動する積層ヘッドにより位置ズレ修正された
セラミックグリーンシートを受取り保持するようにされ
ている。
In the method for laminating a ceramic green sheet according to a third aspect of the present invention, the ceramic green sheet with the base film is positionally corrected on the table surface of the mounting table, and then the predetermined position is set with respect to the table surface. The stacking head that moves up and down in order to receive and hold the ceramic green sheet whose position has been corrected.

【0012】本発明の請求項4に係るセラミックグリー
ンシートの積層方法においては、ベースフィルム付きの
セラミックグリーンシートを載置テーブルのテーブル面
上で位置ズレ修正した後、当該テーブル面に対して所定
位置で昇降動するカッターによりセラミックグリーンシ
ートのシート面を所定面積に区画する切れ目をセラミッ
クグリーンシートに付け、更に、当該テーブル面に対し
て所定位置で昇降動する積層ヘッドにより切れ目の付け
られたベースフィルム付きのセラミックグリーンシート
をグリーンシート側から受取り保持し、このセラミック
グリーンシートを積層ヘッドの下降動に伴ってベースフ
ィルム側から加熱平盤に圧接させて加熱し、且つ、当該
セラミックシートを保持した積層ヘッドの上昇降に伴っ
てベースフィルムをセラミックグリーンシートに付けら
れた切れ目から剥離するようにされている。
In the method for laminating a ceramic green sheet according to a fourth aspect of the present invention, after the ceramic green sheet with the base film is positionally corrected on the table surface of the mounting table, it is placed at a predetermined position with respect to the table surface. A base film with a slit that divides the surface of the ceramic green sheet into a predetermined area by a cutter that moves up and down on the ceramic green sheet, and that is cut by a stacking head that moves up and down at a predetermined position with respect to the table surface. The ceramic green sheet with a mark is received and held from the side of the green sheet, and the ceramic green sheet is pressed against the heating flat plate from the base film side with the downward movement of the laminating head and heated, and the laminated ceramic sheet is held. Base film as the head moves up and down It is adapted to peel the cut attached to the ceramic green sheet.

【0013】本発明の請求項5に係るセラミックグリー
ンシートの積層装置においては、ベースフィルム付きの
セラミックグリーンシートをグリーンシート側から受取
り保持する昇降動可能な積層ヘッドと、このセラミック
グリーンシートを積層ヘッドの下降動に伴って圧接加熱
する加熱平盤とを備えると共に、該積層ヘッドは加熱平
盤で加熱処理されたセラミックグリーンシートを上昇動
に伴ってベースフィルムから剥離するセラミックグリー
ンシートの剥取り手段として備えることにより構成され
ている。
In a ceramic green sheet laminating apparatus according to a fifth aspect of the present invention, a vertically movable laminating head for receiving and holding a ceramic green sheet with a base film from the green sheet side, and a laminating head for this ceramic green sheet. And a heating flat plate for press-contact heating with the downward movement of the ceramic green sheet, and the stacking head peels the ceramic green sheet heat-treated by the heating flat plate from the base film with the upward movement. It is configured by providing as.

【0014】本発明の請求項6に係るセラミックグリー
ンシートの積層装置においては、加熱平盤に対するセラ
ミックグリーンシートの積層ヘッドによる圧接加熱工程
前に、ベースフィルム付きのセラミックグリーンシート
をテーブル面上で位置ズレ修正するセラミックグリーン
シートの載置テーブルを配設し、その位置ズレ修正され
たセラミックグリーンシートを載置する載置テーブルの
所定位置で昇降動する積層ヘッドを装備することにより
構成されている。
In the ceramic green sheet laminating apparatus according to the sixth aspect of the present invention, the ceramic green sheet with the base film is positioned on the table surface before the pressure heating process of the ceramic green sheet laminating head to the heating flat plate. A ceramic green sheet mounting table for misalignment is disposed, and a stacking head that moves up and down at a predetermined position of the mounting table on which the misaligned ceramic green sheet is mounted is provided.

【0015】本発明の請求項7に係るセラミックグリー
ンシートの積層装置においては加熱平盤に対するセラミ
ックグリーンシートの積層ヘッドによる圧接加熱工程前
に、ベースフィルム付きのセラミックグリーンシートを
テーブル面上で位置ズレ修正するセラミックグリーンシ
ートの載置テーブルを配設し、その位置ズレ修正された
セラミックグリーンシートのシート面を所定面積に区画
する切れ目を入れるカッターを載置テーブルのテーブル
面に対して所定位置で昇降動可能に装備すると共に、こ
の切れ目の入れられたセラミックグリーンシートを載置
する載置テーブルの所定位置で昇降動する積層ヘッドを
装備することにより構成されている。
In the ceramic green sheet laminating apparatus according to the seventh aspect of the present invention, the ceramic green sheet with the base film is misaligned on the table surface before the pressure heating process by the laminating head of the ceramic green sheet to the heating platen. Dispose the mounting table of the ceramic green sheet to be corrected, and shift the position of the corrected ceramic green sheet. A cutter that cuts the surface of the ceramic green sheet into a predetermined area is moved up and down at a predetermined position with respect to the table surface of the mounting table. It is configured to be movable and equipped with a stacking head that moves up and down at a predetermined position of a mounting table on which the cut ceramic green sheets are mounted.

【0016】[0016]

【作用】本発明の請求項1に係るセラミックグリーンシ
ートの積層方法では、セラミックグリーンシートをグリ
ーンシート側から積層ヘッドで受取り保持すると共に、
そのセラミックグリーンシートをベースフィルム側から
加熱平盤に圧接加熱することから、セラミックグリーン
シートのシート面を一定向きで積層ヘッドに順次供給で
きるばかりでなく、セラミックグリーンシートのバイン
ダを加熱平盤で加熱軟化させると共に、当該セラミック
グリーンシートを保持する積層ヘッドの上昇に伴ってセ
ラミックグリーンシートをベースフィルムより剥離でき
ることから、ベースフィルムを加熱平盤の盤面から廃棄
すれば、セラミックグリーンシートを積層ヘッドと加熱
平盤とによる加熱圧締で順次に積層接合することができ
る。
In the method of laminating the ceramic green sheets according to the first aspect of the present invention, the ceramic green sheets are received and held by the laminating head from the side of the green sheets, and
Since the ceramic green sheets are pressed against the heating flat plate from the base film side, not only can the ceramic green sheets be sequentially fed to the stacking head in a fixed direction, but the binder of the ceramic green sheets can also be heated by the heating flat plate. Since the ceramic green sheet can be softened and peeled off from the base film as the laminating head holding the ceramic green sheet rises, the ceramic green sheet can be heated with the laminating head by discarding the base film from the surface of the heating flat board. It is possible to sequentially laminate and bond by heating and pressing with a flat plate.

【0017】本発明の請求項2に係るセラミックグリー
ンシートの積層方法では、先にベースフィルムが剥離さ
れたセラミックグリーンシートの軟化したバインダでグ
リーンシート相互を仮付けさせて、次のセラミックグリ
ーンシートを積層ヘッドで受取り保持することによりセ
ラミックグリーンシートを複数枚積層接合するから、皺
や捩れ等を発生させないでセラミックグリーンシートを
簡略な工程で能率よく積層接合することができる。
In the method for laminating ceramic green sheets according to the second aspect of the present invention, the green sheets are temporarily attached to each other with the softened binder of the ceramic green sheets from which the base film has been peeled off first, and the next ceramic green sheet is formed. Since a plurality of ceramic green sheets are laminated and joined by receiving and holding them with a laminating head, the ceramic green sheets can be efficiently laminated and joined in a simple process without generating wrinkles or twists.

【0018】本発明の請求項3に係るセラミックグリー
ンシートの積層方法では、セラミックグリーンシートを
位置ズレ修正した後、そのセラミックグリーンシートの
載置テーブルに対する所定位置で昇降動する積層ヘッド
により受取り保持することから、内部電極を正確に位置
合せさせてセラミックグリーンシートを順次に積層接合
できると共に、セラミックグリーンシートを積層接合す
る間にセラミックグリーンシートの位置ズレ修正を積層
接合の前工程で予め行うため、リードタイムを短縮でき
て生産性を向上することができる。
In the method for laminating ceramic green sheets according to the third aspect of the present invention, after the ceramic green sheets are misaligned, they are received and held by the laminating head which moves up and down at a predetermined position with respect to the mounting table of the ceramic green sheets. Therefore, the internal electrodes can be accurately aligned and the ceramic green sheets can be sequentially laminated and joined.Because the positional deviation of the ceramic green sheets is corrected in advance during the laminated joining while the ceramic green sheets are laminated and joined, Lead time can be shortened and productivity can be improved.

【0019】本発明の請求項4に係るセラミックグリー
ンシートの積層方法では、セラミックグリーンシートを
位置ズレ修正すると共に、そのセラミックグリーンシー
トのシート面を所定面積に区画する切れ目を入れること
から、内部電極の正確な位置合せと同時に、積層グリー
ンシートの端部合せも正確に行えることにより積層グリ
ーンシートを高精度に接合成形することができる。
In the method for laminating ceramic green sheets according to the fourth aspect of the present invention, since the positional deviation of the ceramic green sheets is corrected and a cut for dividing the sheet surface of the ceramic green sheets into a predetermined area is made, the internal electrodes are formed. Since the end portions of the laminated green sheets can be accurately aligned at the same time as the accurate positioning of the laminated green sheets, the laminated green sheets can be joined and formed with high accuracy.

【0020】本発明の請求項5に係るセラミックグリー
ンシートの積層装置では、グリーンシート側から積層ヘ
ッドで受取り保持したセラミックグリーンシートをベー
スフィルム側から加熱平盤に圧接加熱し、当該セラミッ
クグリーンシートを保持したまま積層ヘッドを上昇動す
ることによりセラミックグリーンシートをベースフィル
ムから剥離できると同時にセラミックグリーンシートを
複数枚積層接合できるため、皺や捩れ等を発生させない
でセラミックグリーンシートを簡略な手段で能率よく積
層接合することができる。
In the ceramic green sheet laminating apparatus according to the fifth aspect of the present invention, the ceramic green sheet received and held by the laminating head from the green sheet side is pressed from the base film side to the heating flat plate to heat the ceramic green sheet. The ceramic green sheet can be separated from the base film by raising the laminating head while holding it, and at the same time, multiple ceramic green sheets can be laminated and joined, so that wrinkles, twists, etc. do not occur and the ceramic green sheet can be efficiently operated by simple means. Can be well laminated and joined.

【0021】本発明の請求項6に係るセラミックグリー
ンシートの積層装置では、セラミックグリーンシートを
積層ヘッドで加熱平盤に圧接加熱する間にセラミックグ
リーンシートの位置ズレを前工程で修正することから、
セラミックグリーンシートのシート面に形成され電極を
正確に位置合せするよう積層ヘッドで受取り保持できる
ばかりでなく、セラミックグリーンシートの積層接合を
セラミックグリーンシートの位置合せと別に行うことに
よりリードタイムを短縮できて生産性を向上することが
できる。
In the ceramic green sheet laminating apparatus according to the sixth aspect of the present invention, the positional deviation of the ceramic green sheet is corrected in the previous step while the ceramic green sheet is pressed against the heating flat plate by the laminating head and heated.
Not only can the stacking head be formed on the sheet surface of the ceramic green sheet to receive and hold the electrodes so that the electrodes are accurately aligned, but the lead time can be shortened by performing the lamination and joining of the ceramic green sheets separately from the alignment of the ceramic green sheets. Productivity can be improved.

【0022】本発明の請求項7に係るセラミックグリー
ンシートの積層装置では、位置ズレ修正したセラミック
グリーンシートのシート面を所定面積に区画する切れ目
を入れた後、そのセラミックグリーンシートを位置ズレ
修正された所定位置から積層ヘッドで正確に受取り保持
し、このセラミックグリーンシートをベースフィルムか
ら切れ目で剥離することによりセラミックグリーンシー
トを複数枚積層接合できるから、セラミックグリーンシ
ートの端部合せも正確に行える。
In the ceramic green sheet laminating apparatus according to the seventh aspect of the present invention, after making a cut for dividing the sheet surface of the position-corrected ceramic green sheet into a predetermined area, the position-corrected ceramic green sheet is corrected. Further, the ceramic green sheets are accurately received and held by the laminating head from a predetermined position, and a plurality of the ceramic green sheets can be laminated and joined by peeling the ceramic green sheets from the base film at the cuts, so that the end portions of the ceramic green sheets can be accurately aligned.

【0023】[0023]

【実施例】以下、添付図面を参照して説明すれば、図1
で示すセラミックグリーンシートの積層装置はセラミッ
クグリーンシート1をベースフィルム2のフィルム面に
形成した後カード状に裁断し、そのセラミックグリーン
シート1をベースフィルム2の付きのままで用いて、セ
ラミックグリーンシートを複数枚積層接合するものとし
て構成されている。セラミックグリーンシート1はポリ
エチレンテレフタレートフィルム等をベースフィルム2
とし、誘電材粉末,バインダ,可塑剤,有機溶剤等を成
分とするセラミックスラリーをドクターブレード等で塗
布することにより薄膜状に形成したものを用いることが
できる。また、このセラミックグリーンシート2は積層
磁器コンデンサを構成する場合、一層厚み10数μm,
好ましくは10μm以下に形成するとよい。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT Referring to the accompanying drawings, FIG.
The ceramic green sheet laminating apparatus shown in (1) forms the ceramic green sheet 1 on the film surface of the base film 2 and then cuts it into a card shape, and the ceramic green sheet 1 is used with the base film 2 attached. Are laminated and joined. The ceramic green sheet 1 is made of polyethylene terephthalate film or the like as the base film 2
It is possible to use a thin film formed by applying a ceramic slurry containing dielectric powder, a binder, a plasticizer, an organic solvent and the like with a doctor blade or the like. When the ceramic green sheet 2 constitutes a laminated porcelain capacitor, the thickness is 10 μm or more,
The thickness is preferably 10 μm or less.

【0024】そのセラミックグリーンシートの積層装置
は、カード状に裁断されたセラミックグリーンシート1
をベースフィルム側が下になるよう複数枚重ねて収容す
るカセット10を備え、このカセット10からセラミッ
クグリーンシート1を一枚づつ後工程に送り出すことに
より複数枚順次に積層接合するよう構成されている。そ
の後工程にはセラミックグリーンシート1がベースフィ
ルム側からテーブル面に載置される載置テーブル11
と、この載置テーブル11のテーブル面に載置されたセ
ラミックグリーンシート1のシート面を所定面積に区画
する切れ目3を入れる昇降動可能なカツター12と、切
れ目3の入れられたセラミックグリーンシート1をグリ
ーンシート側から受取り保持する昇降動可能な積層ヘッ
ド13と、その積層ヘッド13が受取り保持したセラミ
ックグリーンシート1をベースフィルム側から盤面に圧
接させて加熱する加熱平盤14とが順次に配設されてい
る。
The ceramic green sheet laminating apparatus uses a ceramic green sheet 1 cut into a card shape.
A cassette 10 for accommodating a plurality of sheets of the above is placed so that the base film side faces down, and the ceramic green sheets 1 are sent one by one from the cassette 10 to a subsequent step so that a plurality of sheets are sequentially laminated and joined. In the subsequent step, the mounting table 11 on which the ceramic green sheet 1 is mounted on the table surface from the base film side.
And a cutter 12 that can move up and down to insert a cut 3 that divides the surface of the ceramic green sheet 1 placed on the table surface of the mounting table 11 into a predetermined area, and a ceramic green sheet 1 that has the cut 3 A stacking head 13 capable of moving up and down for receiving and holding the ceramic green sheet from the side of the green sheet, and a heating flat plate 14 for sequentially heating the ceramic green sheet 1 received and held by the stacking head 13 from the side of the base film to the board surface are sequentially arranged. It is set up.

【0025】セラミックグリーンシート1の載置テーブ
ル11としては、水平方向前後乃至は左右に移動し、ま
た、縦軸を中心としてテーブル面を必要角回転させるX
Yθテーブルを装備することができる。このXYθテー
ブル11はテーブル面上に載置されたセラミックグリー
ンシート1を位置ズレ修正するものであり、そのテーブ
ル面上の所定位置には画像位置決め用カメラ15を備え
てセラミックグリーンシート1の位置ズレ量を画像処理
で測定し、この位置ズレ量に応じてXYθテーブル11
を駆動制御するよう装備することができる。また、セラ
ミックグリーンシート1或いはベースフィルム2に設け
られたスルーホール(図示せず)と、XYθテーブル1
1のテーブル面に設けられた位置決め用基準マーク(図
示せず)とを画像位置決め用カメラ15で捉えて両者の
位置ズレを画像処理することにより、XYθテーブル1
1を移動制御する位置ズレ修正データとして測定するこ
とができる。
The mounting table 11 for the ceramic green sheet 1 moves in the front-rear direction or the left-right direction in the horizontal direction, and the table surface is rotated by a necessary angle X about the vertical axis.
It can be equipped with a Yθ table. The XYθ table 11 corrects the positional deviation of the ceramic green sheet 1 placed on the table surface, and an image positioning camera 15 is provided at a predetermined position on the table surface to displace the ceramic green sheet 1. The amount is measured by image processing, and the XYθ table 11 is determined according to the amount of positional deviation.
Can be equipped to drive control. Also, a through hole (not shown) provided in the ceramic green sheet 1 or the base film 2, and the XYθ table 1
The positioning reference mark (not shown) provided on the table surface of No. 1 is captured by the image positioning camera 15 and the positional deviation between the two is image-processed.
1 can be measured as positional deviation correction data for movement control.

【0026】このセラミックグリーンシート1の載置テ
ーブル11に対し、カッター12は所定位置で昇降動す
るよう装備されている。そのカッター12はセラミック
グリーンシート1を載置テーブル1のテーブル面で位置
ズレ修正した後下降動し、四辺形の切れ目3をセラミッ
クグリーンシート1のシート面に入れることにより、セ
ラミックグリーンシート1のシート面を所定面積に区画
する刃型を有する。
A cutter 12 is mounted on the mounting table 11 for the ceramic green sheet 1 so as to move up and down at a predetermined position. The cutter 12 moves the ceramic green sheet 1 after the position of the ceramic green sheet 1 is corrected on the table surface of the mounting table 1 and moves downward, and the quadrilateral cut 3 is inserted in the sheet surface of the ceramic green sheet 1. It has a blade mold that divides the surface into a predetermined area.

【0027】積層ヘッド13はセラミックグリーンシー
ト1をグリーンシート側から吸着保持し、また、所定層
数積層接合した後エアーを吹出すことにより積層セラミ
ックグリーンシートを吸着面から離す真空吸着ヘッドと
して或いは吸着パッド等を備えて構成することができ
る。この積層ヘッド13は、セラミックグリーンシート
の載置テーブル11と加熱平盤14との間を往復動する
と共に、夫々の所定位置で昇降動するよう装備されてい
る。
The laminated head 13 holds the ceramic green sheet 1 by suction from the side of the green sheet, and as a vacuum suction head or a suction device which separates the laminated ceramic green sheet from the suction surface by blowing air after laminating and bonding a predetermined number of layers. It can be configured by including a pad or the like. The laminating head 13 is equipped so as to reciprocate between the placing table 11 of the ceramic green sheets and the heating flat plate 14 and to move up and down at respective predetermined positions.

【0028】加熱平盤14はヒーター等を内蔵した平金
型でなり、後述する如くセラミックグリーンシート1か
ら剥離されたベースフィルム2を盤面上から廃棄するチ
ャック等の摘出手段を備えて構成することができる。こ
の他、複数層接合された積層セラミックグリーンシート
を積層ヘッド13から送込み載置するスタッカ台(図示
せず)を備えることができる。
The heating flat plate 14 is a flat mold having a built-in heater and the like, and is provided with a extracting means such as a chuck for discarding the base film 2 separated from the ceramic green sheet 1 from the plate surface as described later. You can In addition, a stacker base (not shown) may be provided for feeding and mounting a laminated ceramic green sheet having a plurality of layers bonded thereto from the laminating head 13.

【0029】このように構成するセラミックグリーンシ
ートの積層装置では、ベースフィルム2の付いたまま
で、セラミックグリーンシート1をカセット10から一
枚づつ載置テーブル11のテーブル面上に送り出し、複
数枚を後工程で順次に積層接合するようにできる。その
セラミックグリーンシート1が送り込まれる毎に、載置
テーブル11ではセラミックグリーンシート1の位置ズ
レを画像位置決め用カメラ15による撮像,画像処理で
測定し、このズレ量に応じて載置テーブル11をXYθ
方向に移動させて位置ズレ修正を行う。その位置ズレ修
正終了後、載置テーブル11はテーブル面を所定位置に
保ったままカッター12の昇降動位置下にまで移動す
る。
In the ceramic green sheet laminating apparatus thus constructed, the ceramic green sheets 1 are sent out one by one from the cassette 10 onto the table surface of the mounting table 11 with the base film 2 still attached, and a plurality of sheets are rearwardly transferred. The layers may be sequentially laminated and joined in the process. Each time the ceramic green sheet 1 is fed, the position shift of the ceramic green sheet 1 is measured on the mounting table 11 by image pickup and image processing by the image positioning camera 15, and the mounting table 11 is adjusted in XYθ according to the displacement amount.
Move it in the direction to correct the positional deviation. After the completion of the positional deviation correction, the mounting table 11 moves to below the vertical movement position of the cutter 12 while keeping the table surface at a predetermined position.

【0030】載置テーブル11がカッター12の昇降動
位置下に移動すると、カッター12が載置テーブル11
のテーブル面上に載置されたセラミックグリーンシート
1のシート面に向けて下降動し、位置ズレ修正されたセ
ラミックグリーンシート1のシート面を所定面積に区画
する切れ目3をセラミックグリーンシート1に入れる。
その切れ目3の付設後はカッター12は直ちに上昇動
し、載置テーブル11は切れ目3の入れられたセラミッ
クグリーンシート1を所定位置に保って積層ヘッド13
が移動するまで待機する。この載置テーブル11から
は、図2で示すように積層ヘッド13が下降動し、セラ
ミックグリーンシート1をグリーンシート側から吸着保
持する。そのセラミックグリーンシート1の吸着時には
積層ヘッド13が所定位置で下降動することから、セラ
ミックグリーンシート1は位置ズレ修正された正規な位
置を保って積層ヘッド13で受取り保持される。
When the mounting table 11 is moved below the vertical movement position of the cutter 12, the cutter 12 is moved to the mounting table 11.
The ceramic green sheet 1 placed on the table surface is moved downward toward the sheet surface of the ceramic green sheet 1 and the cut 3 for dividing the sheet surface of the corrected ceramic green sheet 1 into a predetermined area is inserted in the ceramic green sheet 1. .
After the cut 3 is attached, the cutter 12 immediately moves upward, and the mounting table 11 keeps the ceramic green sheet 1 with the cut 3 in a predetermined position and stacks it on the laminating head 13.
Wait until moves. As shown in FIG. 2, the laminating head 13 descends from the mounting table 11 to adsorb and hold the ceramic green sheet 1 from the green sheet side. When the ceramic green sheet 1 is adsorbed, the laminating head 13 moves down at a predetermined position, so that the ceramic green sheet 1 is received and held by the laminating head 13 while maintaining the proper position after the positional deviation is corrected.

【0031】積層ヘッド13はセラミックグリーンシー
ト1をグリーンシート側から吸着保持すると直ちに上昇
動し、加熱平盤14の配設位置上に復帰動することによ
り加熱平盤14に向けて下降動する。その積層ヘッド1
3の下降動に伴って、セラミックグリーンシート1はベ
ースフィルム側から加熱平盤14に圧接されて加熱処理
される。このセラミックグリーンシート1がベースフィ
ルム側から加熱されると、セラミックグリーンシート1
のバインダが軟化し、ベースフィルム2がセラミックグ
リーンシート1から剥れる状態になる。その加熱処理後
に、積層ヘッド13が上昇動するのに伴って、図3で示
すように切れ目3で区画された所定面積のセラミックグ
リーンシート1が積層ヘッド13で吸着保持されたまま
でベースフィルム2から剥し取られる。またベースフィ
ルム2はセラミックグリーンシートから剥離されて加熱
平盤14の盤面上に残る。
The laminating head 13 immediately moves up when the ceramic green sheet 1 is adsorbed and held from the side of the green sheet, and returns to the position where the heating flat plate 14 is arranged to move downward toward the heating flat plate 14. The laminating head 1
Along with the downward movement of 3, the ceramic green sheet 1 is pressed against the heating platen 14 from the side of the base film and heat-treated. When this ceramic green sheet 1 is heated from the base film side, the ceramic green sheet 1
The binder is softened, and the base film 2 is peeled off from the ceramic green sheet 1. After the heat treatment, as the laminating head 13 moves upward, as shown in FIG. 3, the ceramic green sheet 1 having a predetermined area divided by the cut 3 is adsorbed and held by the laminating head 13 from the base film 2. Stripped off. The base film 2 is peeled off from the ceramic green sheet and remains on the plate surface of the heating flat plate 14.

【0032】このセラミックグリーンシート1の圧接加
熱処理中、前工程に配置されたセラミックグリーンシー
トの載置テーブル11では上述したセラミックグリーン
シート1の位置ズレ修正,切れ目3の付設処理を順次継
続的に行うことにより積層ヘッド13が次に下降動する
まで所定位置で待機する。また、加熱平盤14の盤面上
に残存するベースフィルム2は次に積層ヘッド13が復
帰動するまでの間に加熱平盤14の盤面上から取り除か
れて廃棄処分される。
During the pressure contact heating process of the ceramic green sheet 1, the above-mentioned processing for correcting the positional deviation of the ceramic green sheet 1 and the process for providing the cut 3 are successively successively performed on the placing table 11 of the ceramic green sheet arranged in the previous step. By doing so, the stacking head 13 waits at a predetermined position until it moves down next. The base film 2 remaining on the plate surface of the heating platen 14 is removed from the plate surface of the heating platen 14 until the next laminating head 13 returns, and is discarded.

【0033】積層ヘッド13は所定面積のセラミックグ
リーンシート1を吸着保持したまま、次の位置ズレ修正
されて切れ目3の付けられたベースフィルム付きのセラ
ミックグリーンシート1’が待機する載置テーブル11
に向けて移動する。その積層ヘッド13が載置テーブル
11に向けて下降動すると、図4で示すように積層ヘッ
ド13で吸着保持されたセラミックグリーンシート1の
バインダが軟化状態に保たれていることから、次のセラ
ミックグリーンシート1’はグリーンシート相互がバイ
ンダで仮付けされてベースフィルム3’の付いたまま積
層ヘッド13で受取り保持される。
The stacking head 13 holds the ceramic green sheet 1 having a predetermined area by suction, and the ceramic green sheet 1'with a base film on which the next positional deviation is corrected and the slit 3 is attached is on standby.
Move towards. When the laminating head 13 descends toward the mounting table 11, the binder of the ceramic green sheet 1 adsorbed and held by the laminating head 13 is kept in a softened state as shown in FIG. The green sheets 1'are temporarily attached to each other with a binder, and are received and held by the laminating head 13 with the base film 3'attached.

【0034】この積層ヘッド13では、上述した如く積
層開始当初はセラミックグリーンシート1を1層分だけ
吸着することにより受取り保持し、以後は先に加熱処理
されたセラミックグリーンシート1のバインダで仮付け
することによりセラミックグリーンシート1,1’…を
順次に受取り保持する。また、そのグリーンシート相互
の仮付け時には上述した如く積層ヘッド13が所定位置
で昇降動することから、先に所定面積のセラミックグリ
ーンシート1と次のセラミックグリーンシート1’…と
切れ目3,3’…で区画された所定面積と正確に面合せ
され積層ヘッド13で受取り保持することができる。
In the stacking head 13, as described above, at the beginning of stacking, only one layer of the ceramic green sheet 1 is adsorbed and held, and thereafter, the ceramic green sheet 1 is temporarily attached with the binder of the heat-treated ceramic green sheet 1. By doing so, the ceramic green sheets 1, 1 '... Are sequentially received and held. Further, when the green sheets are temporarily attached to each other, the laminating head 13 moves up and down at a predetermined position as described above. Therefore, the ceramic green sheet 1 having the predetermined area, the next ceramic green sheet 1 '... It can be precisely face-aligned with a predetermined area partitioned by and can be received and held by the laminating head 13.

【0035】積層ヘッド13は次のセラミックグリーン
シート1’を受取り保持すると加熱平盤14の配置位置
に復帰動し、次のセラミックグリーンシート1’を加熱
平盤14の盤面に圧接するよう下降動する。その下降動
に伴っては、次のセラミックグリーンシート1’も加熱
平盤14で加熱処理されてバインダの軟化によるベース
フィルム2’の剥離が行われると共に、図5で示すよう
に先のセラミックグリーンシート1とグリーンシート相
互で加熱圧締させて積層接合できるようになる。ここま
での繰返しで、ベースフィルム2,2’…の付いたまま
で用いられるセラミックグリーンシート1,1’…は複
数枚積層接合することにより所定数層の積層セラミック
グリーンシートとして形成することができる。その積層
セラミックグリーンシートは、積層ヘッド13からスタ
ッカ台等に転送することにより部品単位の切断,焼成等
の事後処理を行うべく後工程に供給することができる。
なお、上述したセラミックグリーンシート1,1’…の
加熱圧締は加熱温度60℃,圧力40kg/cm2 ,時
間2〜4秒程度で行える。
When the stacking head 13 receives and holds the next ceramic green sheet 1 ', it returns to the position where the heating flat plate 14 is arranged, and descends so that the next ceramic green sheet 1'is brought into pressure contact with the plate surface of the heating flat plate 14. To do. Along with the downward movement, the next ceramic green sheet 1'is also heat-treated by the heating flat plate 14 to peel off the base film 2'by softening the binder, and as shown in FIG. The sheet 1 and the green sheet can be laminated by heating and pressing. By repeating the steps so far, the ceramic green sheets 1, 1 ′, which are used with the base films 2, 2 ′, attached, can be formed as a laminated ceramic green sheet having a predetermined number of layers by laminating and bonding a plurality of sheets. By transferring the laminated ceramic green sheet from the laminating head 13 to a stacker stand or the like, the laminated ceramic green sheet can be supplied to a post-process so as to be subjected to post-processing such as cutting and firing of component units.
The ceramic green sheets 1, 1 '... can be heated and clamped at a heating temperature of 60 ° C., a pressure of 40 kg / cm 2 , and a time of about 2 to 4 seconds.

【0036】このセラミックグリーンシートの積層方法
は積層磁器コンデンサ等の誘電体部品に限らず、磁性体
部品を製造する磁性材粉末を主成分とするスラリーによ
るグリーンシートの積層にも適用することができる。そ
のセラミックグリーンシート1,1’…はカセット10
にストックすることにより用いられるから、多種のスク
リーンマスクで異なるパターンの内部電極を形成したセ
ラミックグリーンシートでも順次に供給することができ
る。このため、多品種のセラミック積層部品を製造する
のに容易に対応することができる。また、各セラミック
グリーンシート1,1’…を切れ目3,3’…で端部合
せすることにより積層するから、1.5mm以上の厚膜
シートでも仮接着時に外形を揃える必要がなくしかも油
圧プレス等の大掛りな設備も要せずに積層接合すること
ができる。
This method of laminating ceramic green sheets is not limited to dielectric components such as laminated ceramic capacitors, but can also be applied to laminating green sheets with a slurry containing magnetic material powder as a main component for producing magnetic components. . The ceramic green sheets 1, 1 '... are cassettes 10.
Since it is used by stocking it in the same manner, it is possible to sequentially supply even ceramic green sheets having internal electrodes of different patterns formed by various screen masks. Therefore, it is possible to easily deal with the production of various types of ceramic laminated components. Further, since the ceramic green sheets 1, 1 '... are laminated by aligning the ends at the cuts 3, 3' ..., it is not necessary to align the outer shape even for a thick film sheet of 1.5 mm or more at the time of temporary bonding and the hydraulic press It is possible to carry out layered joining without requiring large-scale equipment such as.

【0037】[0037]

【発明の効果】以上の如く、本発明に係るセラミックグ
リーンシートの積層方法及び装置に依れば、セラミック
グリーンシートをベースフィルム付きのまま用いても、
ベースフィルムを簡略な工程で確実に剥ぎ取れ、また、
セラミックグリーンシートを位置ズレ修正した後積層接
合することから内部電極を高精度に位置合せすることが
できる。その位置ズレ修正はセラミックグリーンシート
の積層接合と別に前工程で行うから、リードタイムを短
縮化できて生産性を向上することができると共に、セラ
ミックグリーンシートを切れ目で所定面積に区画するこ
とにより複数枚を積層接合することから、外形の揃った
積層セラミックグリーンシートが得られる。従って、セ
ラミックグリーンシートの皺や捩れ等は勿論、電極ズレ
や端部のバラ付き等の発生を避けられることにより製品
歩留りの向上も図ることができる。
As described above, according to the method and apparatus for laminating ceramic green sheets according to the present invention, even if the ceramic green sheets are used with the base film attached,
The base film can be reliably peeled off by a simple process,
Since the ceramic green sheets are misaligned and then laminated and joined, the internal electrodes can be aligned with high accuracy. Since the misalignment is corrected in the previous process separately from the ceramic green sheet stacking and joining, the lead time can be shortened and the productivity can be improved. By laminating and joining the sheets, a laminated ceramic green sheet having a uniform outer shape can be obtained. Therefore, not only wrinkles and twists of the ceramic green sheets but also occurrence of electrode displacement and edge variation can be avoided, so that the product yield can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係るセラミックグリーンシートの積層
装置全体を概略的に示す説明図である。
FIG. 1 is an explanatory view schematically showing an entire ceramic green sheet laminating apparatus according to the present invention.

【図2】同積層装置に装備された積層ヘッドによるセラ
ミックグリーンシートの受取り開始当初における説明図
である。
FIG. 2 is an explanatory diagram at the beginning of receiving a ceramic green sheet by a laminating head equipped in the laminating apparatus.

【図3】同積層ヘッドで保持されたセラミックグリーン
シートのベースフィルム剥離後における説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram of the ceramic green sheet held by the laminating head after the base film is peeled off.

【図4】同積層ヘッドによるセラミックグリーンシート
の二層目以降の受取り時における説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram when the second and subsequent layers of the ceramic green sheet are received by the same laminating head.

【図5】同積層ヘッドで受取り保持されたセラミックグ
リーンシートの二層目以降のベースフィルム剥離後にお
ける説明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram after the base films of the second and subsequent layers of the ceramic green sheet received and held by the laminating head are peeled off.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,1’… セラミックグリーンシート 2,2’… ベースフィルム 3,3’… 切れ目 11 セラミックグリーンシートの載置
テーブル 12 カッター 13 積層ヘッド 14 加熱平盤
1, 1 '... Ceramic green sheet 2, 2' ... Base film 3, 3 '... Cut 11 Ceramic green sheet mounting table 12 Cutter 13 Laminating head 14 Heating flat plate

フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 B65H 31/08 H01G 4/30 311 F 9174−5E (72)発明者 須藤 純一 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 ティ ーディーケイ株式会社内 (72)発明者 佐々木 智之 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 ティ ーディーケイ株式会社内Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Reference number within the agency FI Technical display location B65H 31/08 H01G 4/30 311 F 9174-5E (72) Inventor Junichi Sudo 1-chome, Nihonbashi 1-chome, Chuo-ku, Tokyo No. 1 in TDK Corporation (72) Inventor Tomoyuki Sasaki 1-13-1 Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo Inside TDC Corporation

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 樹脂フィルムをベースフィルムとしてフ
ィルム面に形成されたセラミックグリーンシートをベー
スフィルム付きのままカード状に裁断し、そのセラミッ
クグリーンシートをベースフィルム付きのまま用いて、
セラミックグリーンシートを複数枚積層接合するのに適
用されるセラミックグリーンシートの積層方法であっ
て、 上記ベースフィルム付きのセラミックグリーンシートを
昇降動する積層ヘッドでグリーンシート側から受取り保
持し、このセラミックグリーンシートを積層ヘッドの下
降動に伴ってベースフィルム側から加熱平盤に圧接させ
て加熱し、且つ、当該セラミックグリーンシートを保持
した積層ヘッドの上昇動に伴ってベースフィルムをセラ
ミックグリーンシートから剥離するようにしたことを特
徴とするセラミックグリーンシートの積層方法。
1. A ceramic green sheet formed on a film surface using a resin film as a base film is cut into a card shape with the base film attached, and the ceramic green sheet is used with the base film attached,
A method of laminating ceramic green sheets, which is applied for laminating and bonding a plurality of ceramic green sheets, wherein the ceramic green sheet with the base film is received and held from the green sheet side by a laminating head that moves up and down. The sheet is pressed against the heating flat plate from the base film side with the lowering movement of the laminating head to heat, and the base film is peeled from the ceramic green sheet with the ascending movement of the laminating head holding the ceramic green sheet. A method for laminating ceramic green sheets, characterized in that.
【請求項2】 セラミックグリーンシートの積層開始当
初はベースフィルム付きのセラミックグリーンシートを
昇降動する積層ヘッドでグリーンシート側から吸着保持
し、このセラミックグリーンシートを積層ヘッドの下降
動に伴ってベースフィルム側から加熱平盤に圧接させて
加熱し、且つ、当該セラミックグリーンシートを吸着保
持した積層ヘッドの上昇動に伴ってベースフィルムをセ
ラミックグリーンシートから剥離し、 以後はベースフィルムが剥離されたセラミックグリーン
シートの軟化したバインダでグリーンシート相互を仮付
けさせて、次のベースフィルム付きのセラミックグリー
ンシートを積層ヘッドで受取り保持し、 その積層ヘッドによるベースフィルム付きのセラミック
グリーンシートの受取り毎に、加熱平盤に対するセラミ
ックグリーンシートの圧接からベースフィルムの剥離ま
でを繰返し行い、複数枚順次に仮付けされるセラミック
グリーンシートを積層ヘッドと加熱平盤とによる加熱圧
締で接合するようにしたことを特徴とする請求項1のセ
ラミックグリーンシートの積層方法。
2. A ceramic green sheet having a base film is adsorbed and held from the side of the green sheet by a stacking head that moves up and down at the beginning of stacking of the ceramic green sheet, and the ceramic green sheet is moved downward as the stacking head descends. Side of the ceramic green sheet is pressed against the heating flat plate to heat it, and the base film is peeled off from the ceramic green sheet as the stacking head that holds the ceramic green sheet rises, and thereafter the base film is peeled off. Temporarily attach the green sheets to each other with the softened sheets of the sheets, receive and hold the next ceramic green sheet with the base film by the laminating head, and heat the flat sheet every time the laminating head receives the ceramic green sheet with the base film. To the board The process from pressure contact of the Mick green sheet to peeling of the base film is repeated, and a plurality of ceramic green sheets that are temporarily temporarily attached are joined by heating and pressing with a laminating head and a heating platen. Item 2. A method for laminating ceramic green sheets according to item 1.
【請求項3】 上記ベースフィルム付きのセラミックグ
リーンシートを載置テーブルのテーブル面上で位置ズレ
修正した後、当該テーブル面に対して所定位置で昇降動
する積層ヘッドにより位置ズレ修正されたセラミックグ
リーンシートを受取り保持するようにしたことを特徴と
する請求項1または2のセラミックグリーンシートの積
層方法。
3. A ceramic green sheet having a base film and a ceramic green sheet, the position of which is corrected on a table surface of a mounting table, and the position of which is corrected by a laminating head which moves up and down at a predetermined position with respect to the table surface. 3. The method for laminating ceramic green sheets according to claim 1, wherein the sheets are received and held.
【請求項4】 上記ベースフィルム付きのセラミックグ
リーンシートを載置テーブルのテーブル面上で位置ズレ
修正した後、当該テーブル面に対して所定位置で昇降動
するカッターによりセラミックグリーンシートのシート
面を所定面積に区画する切れ目をセラミックグリーンシ
ートに付け、更に、当該テーブル面に対して所定位置で
昇降動する積層ヘッドにより切れ目の付けられたベース
フィルム付きのセラミックグリーンシートをグリーンシ
ート側から受取り保持し、このセラミックグリーンシー
トを積層ヘッドの下降動に伴ってベースフィルム側から
加熱平盤に圧接加熱し、且つ、当該セラミックシートを
保持した積層ヘッドの上昇降に伴ってベースフィルムを
セラミックグリーンシートに付けられた切れ目から剥離
するようにしたことを特徴とする請求項1または2のセ
ラミックグリーンシートの積層方法。
4. The ceramic green sheet with the base film is positionally corrected on the table surface of the mounting table, and then the sheet surface of the ceramic green sheet is predetermined by a cutter that moves up and down at a predetermined position with respect to the table surface. Attach a cut to the ceramic green sheet that divides into an area, and further receive and hold from the green sheet side a ceramic green sheet with a base film that is cut by a laminating head that moves up and down at a predetermined position with respect to the table surface, This ceramic green sheet is pressure-heated from the base film side to a heating platen as the laminating head descends, and the base film is attached to the ceramic green sheet as the laminating head holding the ceramic sheet moves up and down. To be peeled off from the cut The method for laminating ceramic green sheets according to claim 1 or 2, characterized in that:
【請求項5】 樹脂フィルムをベースフィルムとしてフ
ィルム面に形成されたセラミックグリーンシートをベー
スフィルム付きのままカード状に裁断し、そのセラミッ
クグリーンシートをベースフィルム付きのまま用いて、
セラミックグリーンシートを複数枚積層接合するのに適
用されるセラミックグリーンシートの積層装置であっ
て、 上記ベースフィルム付きのセラミックグリーンシートを
グリーンシート側から受取り保持する昇降動可能な積層
ヘッドと、このセラミックグリーンシートを積層ヘッド
の下降動に伴って圧接加熱する加熱平盤とを備えると共
に、該積層ヘッドは加熱平盤で加熱処理されたセラミッ
クグリーンシートを上昇動に伴ってベースフィルムから
剥離するセラミックグリーンシートの剥取り手段として
備えてなることを特徴とするセラミックグリーンシート
の積層装置。
5. A ceramic green sheet formed on a film surface using a resin film as a base film is cut into a card shape with the base film attached, and the ceramic green sheet is used with the base film attached,
A ceramic green sheet laminating apparatus applied for laminating and bonding a plurality of ceramic green sheets, comprising: a vertically movable laminating head for receiving and holding the ceramic green sheet with the base film from the green sheet side; A heating flat plate that presses and heats the green sheet as the stacking head descends, and the stacking head separates the ceramic green sheet heat-treated by the heating flat plate from the base film as the stacking head moves upward. A ceramic green sheet laminating apparatus provided as means for stripping sheets.
【請求項6】 上記加熱平盤に対するセラミックグリー
ンシートの積層ヘッドによる圧接加熱工程前に、ベース
フィルム付きのセラミックグリーンシートをテーブル面
上で位置ズレ修正するセラミックグリーンシートの載置
テーブルを配設し、その位置ズレ修正されたセラミック
グリーンシートを載置する載置テーブルの所定位置で昇
降動する積層ヘッドを装備してなることを特徴とする請
求項1のセラミックグリーンシートの積層装置。
6. A ceramic green sheet mounting table for correcting the positional deviation of the ceramic green sheet with the base film on the table surface is provided before the pressure heating step of pressing the ceramic green sheet onto the heating flat plate by the laminating head. The apparatus for laminating a ceramic green sheet according to claim 1, further comprising a laminating head that moves up and down at a predetermined position of a placing table on which the misaligned ceramic green sheet is placed.
【請求項7】 上記加熱平盤に対するセラミックグリー
ンシートの積層ヘッドによる圧接加熱工程前に、ベース
フィルム付きのセラミックグリーンシートをテーブル面
上で位置ズレ修正するセラミックグリーンシートの載置
テーブルを配設し、その位置ズレ修正されたセラミック
グリーンシートのシート面を所定面積に区画する切れ目
を入れるカッターを載置テーブルのテーブル面に対して
所定位置で昇降動可能に装備すると共に、この切れ目の
入れられたセラミックグリーンシートを載置する載置テ
ーブルの所定位置で昇降動する積層ヘッドを装備してな
ることを特徴とする請求項1のセラミックグリーンシー
トの積層装置。
7. A ceramic green sheet mounting table for correcting the positional deviation of the ceramic green sheet with the base film on the table surface is provided before the pressure heating process of pressing the ceramic green sheet onto the heating flat plate by the laminating head. , The position of the ceramic green sheet whose position has been corrected is divided into a predetermined area, and a cutter for making a cut is provided so that the cutter can be moved up and down at a predetermined position with respect to the table surface of the mounting table. 2. The laminating apparatus for ceramic green sheets according to claim 1, further comprising a laminating head that moves up and down at a predetermined position of a placing table on which the ceramic green sheets are placed.
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