JP2504276B2 - Method and apparatus for laminating ceramic green sheets - Google Patents

Method and apparatus for laminating ceramic green sheets

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JP2504276B2
JP2504276B2 JP2101022A JP10102290A JP2504276B2 JP 2504276 B2 JP2504276 B2 JP 2504276B2 JP 2101022 A JP2101022 A JP 2101022A JP 10102290 A JP10102290 A JP 10102290A JP 2504276 B2 JP2504276 B2 JP 2504276B2
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ceramic green
contact surface
laminated
sheet
pickup device
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俊彦 小亀
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、たとえば積層セラミックコンデンサのよ
うな積層型セラミック電子部品の製造工程において遭遇
するセラミックグリーンシートの積層を行なうための方
法および装置に関するもので、特に、高い精度の積層を
可能にするための改良に関するものである。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for stacking ceramic green sheets encountered in a manufacturing process of a multilayer ceramic electronic component such as a multilayer ceramic capacitor. In particular, the present invention relates to an improvement for enabling highly accurate stacking.

[従来の技術] 従来、セラミックグリーンシートを積層するには、次
のような方法および装置が適用されていた。
[Prior Art] Conventionally, the following methods and devices have been applied to stack ceramic green sheets.

まず、積層されるべきセラミックグリーンシートをそ
こから取り出すマザーシートが、たとえばポリエステル
からなるキャリアフィルム上に形成されたものが用意さ
れる。この段階で、必要に応じて、マザーシートの表面
に、スクリーン印刷等により、内部電極等の導電膜が形
成される。
First, a mother sheet, from which a ceramic green sheet to be laminated is taken out, is formed on a carrier film made of polyester, for example. At this stage, if necessary, a conductive film such as internal electrodes is formed on the surface of the mother sheet by screen printing or the like.

次に、第2図の左側に示すように、マザーシート1
が、キャリアフィルム2上に保持された状態で、打抜き
テーブル3上に搬送される。打抜きテーブル3には、複
数個の吸引穴4が設けられている。吸引穴4には、負圧
が与えられ、それによって、キャリアフィルム2を介し
て、マザーシート1が、打抜きテーブル3に対して位置
決めされる。
Next, as shown on the left side of FIG. 2, the mother sheet 1
Is conveyed to the punching table 3 while being held on the carrier film 2. The punching table 3 is provided with a plurality of suction holes 4. Negative pressure is applied to the suction holes 4, whereby the mother sheet 1 is positioned with respect to the punching table 3 via the carrier film 2.

打抜きテーブル3の上方には、矢印5で示すように、
テーブル3に対して近接・離隔可能なピックアップ装置
6が配置される。ピックアップ装置6は、これから積層
されようとするセラミックグリーンシート7の一方主面
に接触する接触面8を与えるヘッド9、および接触面8
を取り囲みかつ接触面8から突出するようにヘッド9の
周囲に配置される切断刃10を備える。ヘッド9は、接触
面8に開口する複数個の空気穴11を形成している。ま
た、切断刃10は、ヘッド9の周面上において所定の範囲
だけ上下方向にスライド可能なスライダ12に固定的に取
付けられている。スライダ12に対しては、圧縮ばね13に
よって、常に下方へ向く力が与えられている。
Above the punching table 3, as indicated by arrow 5,
A pick-up device 6 that can approach and separate from the table 3 is arranged. The pickup device 6 includes a head 9 that provides a contact surface 8 that contacts one main surface of the ceramic green sheet 7 that is about to be stacked, and the contact surface 8.
A cutting blade 10 arranged around the head 9 so as to surround and project from the contact surface 8. The head 9 has a plurality of air holes 11 that open to the contact surface 8. Further, the cutting blade 10 is fixedly attached to a slider 12 which is vertically slidable on a peripheral surface of the head 9 within a predetermined range. A compression spring 13 constantly applies a downward force to the slider 12.

このようなピックアップ装置6が、打抜きテーブル3
上のマザーシート1に適用される。これによって、切断
刃10が、マザーシート1の所定の領域に閉ループをなす
切断線14を形成する。このとき、切断刃10は、圧縮ばね
13の弾性に抗したスライダ12のスライドに伴なって、接
触面8からの突出度合を、マザーシート1に切断線14を
形成するに足りる程度にまで小さくするように、ヘッド
9に対して上方へ相対的に移動する。
Such a pickup device 6 is used for the punching table 3
Applies to Mother Sheet 1 above. As a result, the cutting blade 10 forms a closed loop cutting line 14 in a predetermined area of the mother sheet 1. At this time, the cutting blade 10 is a compression spring.
As the slider 12 slides against the elasticity of 13, the upper side of the head 9 is adjusted so that the degree of protrusion from the contact surface 8 is small enough to form the cutting line 14 on the mother sheet 1. Move relative to.

次に、ピックアップ装置6が、マザーシート1から退
避される。これによって、切断線14で囲まれた領域が与
えるセラミックグリーンシート7が、第2図の左側に示
すように、ピックアップ装置6の退避に伴なってマザー
シート1から切り出される。このとき、ヘッド9に設け
られた空気穴11には、負圧が与えられており、これから
積層されようとするセラミックグリーンシート7は、接
触面8に吸着される。
Next, the pickup device 6 is retracted from the mother sheet 1. As a result, the ceramic green sheet 7 provided by the area surrounded by the cutting line 14 is cut out from the mother sheet 1 as the pickup device 6 retracts, as shown on the left side of FIG. At this time, a negative pressure is applied to the air hole 11 provided in the head 9, and the ceramic green sheet 7 to be stacked is adsorbed to the contact surface 8.

次に、矢印15で示すように、ピックアップ装置6が、
積重ねテーブル16の上方へ移動される。
Next, as shown by the arrow 15, the pickup device 6
It is moved above the stacking table 16.

積重ねテーブル16は、ヒータ17を内蔵しており、加圧
装置を兼ねた上下動駆動装置18により、矢印19で示すよ
うに、上下方向に移動可能である。また、積重ねテーブ
ル16上には、積層台20が配置される。
The stacking table 16 has a heater 17 built-in, and can be moved in the vertical direction by an up-and-down drive device 18 that also functions as a pressurizing device, as shown by an arrow 19. Further, the stacking table 20 is arranged on the stacking table 16.

前述のようにピックアップ装置6が積重ねテーブル16
の上方へ移動されてきたとき、積重ねテーブル16は、上
方へ移動される。これによって、積層台20に既に置かれ
ているセラミックグリーンシート7とピックアップ装置
6によって搬送されてきたセラミックグリーンシート7
とが、ヒータ17によって加熱されながら、互いに圧着さ
れる。なお、このような熱も圧力も加えることなく、溶
剤による接着により、セラミックグリーンシート7相互
の積層状態を固定する場合もある。
As described above, the pickup device 6 is used for the stacking table 16
When it is moved upward, the stacking table 16 is moved upward. As a result, the ceramic green sheet 7 already placed on the stacking table 20 and the ceramic green sheet 7 that has been conveyed by the pickup device 6.
While being heated by the heater 17, they are pressed against each other. Note that the laminated state of the ceramic green sheets 7 may be fixed by adhesion with a solvent without applying such heat and pressure.

次いで、積重ねテーブル16が下降され、ピックアップ
装置6側に保持されていたセラミックグリーンシート7
が、積重ねテーブル16側に保持される状態とされる。こ
のとき、セラミックグリーンシート7とピックアップ装
置6の接触面8との分離を容易にするため、空気穴11に
正圧を与えてもよい。
Next, the stacking table 16 is lowered, and the ceramic green sheet 7 held on the pickup device 6 side.
Are held on the stacking table 16 side. At this time, a positive pressure may be applied to the air hole 11 in order to facilitate the separation of the ceramic green sheet 7 and the contact surface 8 of the pickup device 6.

以後、同様のステップが所望の回数だけ繰返され、積
層台20上に、セラミックグリーンシート7が所望の積層
数だけ積層される。
After that, the same steps are repeated a desired number of times, and the ceramic green sheets 7 are stacked on the stacking table 20 a desired number of times.

[発明が解決しようとする課題] しかしながら、上述したような従来の方法および装置
には、次のような解決されるべき問題があった。
[Problems to be Solved by the Invention] However, the conventional methods and apparatuses described above have the following problems to be solved.

すなわち、積層されようとするセラミックグリーンシ
ート7は、打抜きテーブル3上でマザーシート1から打
抜かれ、次いで、ピックアップ装置6によって搬送さ
れ、別の場所に位置された積重ねテーブル16上で積層さ
れる。したがって、このようなセラミックグリーンシー
ト7の移動には必然的に誤差を伴なうので、積重ねテー
ブル16上でのセラミックグリーンシート7の積層精度が
どうしても低下してしまう。
That is, the ceramic green sheets 7 to be stacked are punched from the mother sheet 1 on the punching table 3, then transported by the pickup device 6 and stacked on the stacking table 16 located at another place. Therefore, such movement of the ceramic green sheets 7 inevitably involves an error, so that the stacking accuracy of the ceramic green sheets 7 on the stacking table 16 is inevitably lowered.

また、前に触れたように、セラミックグリーンシート
7の積層に際して、溶剤による接着を用いる場合、キャ
リアフィルム2からセラミックグリーンシート7を剥離
したときに発生する静電気により、セラミックグリーン
シート7の積層において不良が発生する場合がある。
Further, as mentioned above, when the adhesion by the solvent is used in stacking the ceramic green sheets 7, static electricity generated when the ceramic green sheets 7 are peeled from the carrier film 2 causes a failure in stacking the ceramic green sheets 7. May occur.

また、ピックアップ装置6を矢印15で示すように移動
させる機構が必要となるので、装置の構造が複雑にな
る。
Further, since a mechanism for moving the pickup device 6 as shown by the arrow 15 is required, the structure of the device becomes complicated.

それゆえに、この発明の目的は、上述したような問題
を解消し得る、セラミックグリーンシートの積層方法お
よび装置を提供しようとすることである。
Therefore, an object of the present invention is to provide a method and apparatus for laminating ceramic green sheets, which can solve the above-mentioned problems.

[課題を解決するための手段] この発明にかかるセラミックグリーンシートの積層方
法は、上述した技術的課題を解決するため、次のような
ステップを備えることを特徴としている。
[Means for Solving the Problems] The ceramic green sheet laminating method according to the present invention is characterized by including the following steps in order to solve the above-mentioned technical problems.

すなわち、積層されるべきセラミックグリーンシート
をそこから取出すマザーシートが準備される。
That is, a mother sheet from which the ceramic green sheets to be laminated are taken out is prepared.

他方、積層されるべき最初のセラミックグリーンシー
トの一方主面に接触する接触面、およびこの接触面を取
囲みかつこの接触面から突出するように配置される切断
刃を備えるピックアップ装置が準備される。
On the other hand, a pickup device is provided which comprises a contact surface for contacting one main surface of the first ceramic green sheet to be laminated, and a cutting blade arranged to surround the contact surface and project from the contact surface. .

また積層されるセラミックグリーンシート同士を熱圧
着させるためのヒータが準備される。
Further, a heater for thermocompressing the laminated ceramic green sheets is prepared.

次いで、ピックアップ装置をマザーシートに対して移
動させることにより、マザーシートにピックアップ装置
を適用し、切断刃によってマザーシートの所定の領域に
閉ループをなす切断線が形成される。
Then, the pickup device is moved to the mother sheet to apply the pickup device to the mother sheet, and a cutting line forms a closed loop in a predetermined region of the mother sheet by the cutting blade.

接触面に積層されたセラミックグリーンシートと、切
断線によって囲まれた領域が与えるセラミックグリーン
シートとがヒータからの熱と接触面により与えられる圧
力とにより熱圧着される。
The ceramic green sheet laminated on the contact surface and the ceramic green sheet provided by the area surrounded by the cutting line are thermocompression bonded by heat from the heater and pressure applied by the contact surface.

次いで、マザーシートからピックアップ装置を退避さ
せ、それによって、接触面に積層されたセラミックグリ
ーンシートに熱圧接された切断線によって囲まれた領域
が与えるセラミックグリーンシートがピックアップ装置
の退避に伴ってマザーシートから切り出される。
Then, the pickup device is retracted from the mother sheet, whereby the ceramic green sheet provided by the area surrounded by the cutting line that is heat-pressed to the ceramic green sheet laminated on the contact surface is provided as the pickup sheet retracts the mother sheet. Cut out from.

そして、このような切断線を形成するステップと熱圧
着させるステップとセラミックグリーンシートを切り出
すステップとが繰り返され、それによって、複数のセラ
ミックグリーンシートはヒータによりその各々が熱圧着
されることにより切断刃に囲まれた接触面上で積層され
る。
Then, the step of forming such a cutting line, the step of thermocompression-bonding, and the step of cutting out the ceramic green sheet are repeated, whereby a plurality of ceramic green sheets are thermocompressed by a heater, thereby cutting blades. Are laminated on the contact surface surrounded by.

この発明は、また、上述したような積層方法を実施す
るのに適した積層装置も提供する。
The present invention also provides a laminating apparatus suitable for carrying out the laminating method as described above.

この発明に係る積層装置は、積層されるべきセラミッ
クグリーンシートをそこから取出すマザーシートをその
上に載置するテーブルと、このテーブルの上方におい
て、テーブルに対して近接・隔離可能に設けられるピッ
クアップ装置と、積層されるセラミックグリーンシート
同士を熱圧着させるためのヒータとを備える。ピックア
ップ装置は、積層されるべき最初のセラミックグリーン
シートの一方主面に接触する接触面を与えるヘッド、お
よび接触面を取囲みかつ接触面から突出するようにヘッ
ドの周囲に配置される切断刃を備える。また、この切断
刃の、接触面からの突出度合いは、この突出度合いの範
囲内で、接触面上に所望の積層数のセラミックグリーン
シートのすべてをヒータによりその各々を熱圧着するこ
とにより積層することが可能になるように選ばれてい
る。
A laminating apparatus according to the present invention includes a table on which a mother sheet for taking out ceramic green sheets to be laminated is placed, and a pickup device provided above the table so as to be close to and separable from the table. And a heater for thermocompressing the laminated ceramic green sheets. The pickup device includes a head that provides a contact surface that contacts one main surface of the first ceramic green sheet to be laminated, and a cutting blade that surrounds the contact surface and that is disposed around the head so as to protrude from the contact surface. Prepare Further, the degree of protrusion of this cutting blade from the contact surface is within the range of the degree of protrusion, and all of the desired number of laminated ceramic green sheets are laminated on the contact surface by thermocompression bonding with a heater. It is chosen to be possible.

[作用] この発明によれば、マザーシートから切断刃をもって
打ち抜かれた積層されるべきセラミックグリーンシート
は、切断後においても、セラミックグリーンシートの各
々が熱圧着されることにより切断刃によって取囲まれた
空間内に留まり、この空間内において、所望の積層数の
セラミックグリーンシートのすべてが熱圧着されること
により積層される。
[Operation] According to the present invention, the ceramic green sheets to be laminated, which are punched from the mother sheet with the cutting blades, are surrounded by the cutting blades by thermocompression bonding of the ceramic green sheets even after cutting. In the space, all of the desired number of the ceramic green sheets are laminated by thermocompression bonding.

[発明の効果] このように、この発明によれば、積層されるべきセラ
ミックグリーンシートを打抜いた切断刃の内部におい
て、セラミックグリーンシートの積層が行なわれるの
で、セラミックグリーンシートの打抜き時の精度がその
ままセラミックグリーンシートの積層において反映され
る。したがって、高い精度でセラミックグリーンシート
を積層することができる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, since the ceramic green sheets are laminated inside the cutting blade punched with the ceramic green sheets to be laminated, the accuracy at the time of punching the ceramic green sheets is improved. Is directly reflected in the lamination of the ceramic green sheets. Therefore, the ceramic green sheets can be stacked with high accuracy.

また、この発明によれば、従来のようにピックアップ
装置を打抜きテーブルの上方と積重ねテーブルの上方と
の間で移動させるための機構が必要でないので、積層装
置の構造を簡単にすることができる。
Further, according to the present invention, a mechanism for moving the pickup device between the upper side of the punching table and the upper side of the stacking table, which is required in the prior art, is not required, so that the structure of the laminating apparatus can be simplified.

また、この発明によれば、セラミックグリーンシート
を打抜いた後、これを積重ねテーブル上にまで搬送する
必要がないので、セラミックグリーンシートの積層を能
率的に行なうことができる。
Further, according to the present invention, it is not necessary to punch the ceramic green sheets and then convey them to the stacking table, so that the ceramic green sheets can be stacked efficiently.

[実施例] 第1図は、この発明の一実施例によるセラミックグリ
ーンシートの積層装置を示す断面図である。
[Embodiment] FIG. 1 is a sectional view showing a ceramic green sheet laminating apparatus according to an embodiment of the present invention.

積層されるべきセラミックグリーンシートをそこから
取り出すマザーシート21が、たとえばポリエステルから
なるキャリアフィルム22上に形成された状態で用意され
る。マザーシート21の表面には、図示しないが、内部電
極のような導電膜が必要に応じてスクリーン印刷等によ
り形成されている。
A mother sheet 21 from which a ceramic green sheet to be laminated is taken out is prepared in a state of being formed on a carrier film 22 made of polyester, for example. Although not shown, a conductive film such as an internal electrode is formed on the surface of the mother sheet 21 by screen printing or the like, if necessary.

マザーシート21は、キャリアフィルム22に伴なわれ
て、テーブル23にまで搬送される。テーブル23には、ヒ
ータ24が内蔵される。また、テーブル23には、複数個の
吸引穴25が設けられる。したがって、吸引穴25に負圧が
与えられたとき、キャリアフィルム22に吸引力が及ぼさ
れ、それによって、マザーシート21は、テーブル23に対
して位置決めされる。
The mother sheet 21 is carried by the carrier film 22 to the table 23. A heater 24 is built in the table 23. Further, the table 23 is provided with a plurality of suction holes 25. Therefore, when a negative pressure is applied to the suction holes 25, a suction force is exerted on the carrier film 22, whereby the mother sheet 21 is positioned with respect to the table 23.

テーブル23の上方には、テーブル23に対して、矢印26
で示すように、近接・離隔可能すなわち上下方向に移動
可能に、ピックアップ装置27が配置される。
Above the table 23, there is an arrow 26 against the table 23.
As shown by, the pickup device 27 is arranged so as to be close to and away from each other, that is, movable in the vertical direction.

ピックアップ装置27は、積層されるべき最初のセラミ
ックグリーンシート28(a)の一方主面に接触する接触
面29を与えるヘッド30、および接触面29を取囲みかつ接
触面29から突出するようにヘッド30の周囲に配置される
切断刃31を備える。
The pickup device 27 includes a head 30 that provides a contact surface 29 that contacts one main surface of the first ceramic green sheet 28 (a) to be laminated, and a head that surrounds the contact surface 29 and projects from the contact surface 29. A cutting blade 31 arranged around 30 is provided.

より詳細には、ヘッド30には、複数個の空気穴32が、
接触面29において開口するように設けられる。他方、切
断刃31は、ヘッド30の外周上において上下方向に所定の
距離だけスライド可能なスライダ33に取付けられる。ス
ライダ33は、圧縮ばね34によって、常に下方へ変位する
ように付勢される。切断刃31の、接触面29からの突出度
合は、後述する理由から、前述した従来の切断刃10の、
接触面8からの突出度合より大きく選ばれている。
More specifically, the head 30 has a plurality of air holes 32.
It is provided so as to open at the contact surface 29. On the other hand, the cutting blade 31 is attached to a slider 33 which is slidable on the outer periphery of the head 30 in the vertical direction by a predetermined distance. The slider 33 is biased by the compression spring 34 so as to always be displaced downward. The degree of protrusion of the cutting blade 31 from the contact surface 29 is, for the reason described below, of the conventional cutting blade 10 described above,
It is selected to be larger than the degree of protrusion from the contact surface 8.

このようなピックアップ装置27を用いて、セラミック
グリーンシート28の打抜きおよび積層が行なわれる。
Using such a pickup device 27, the ceramic green sheets 28 are punched and laminated.

より詳細には、まず、ピックアップ装置27がマザーシ
ート21に適用され、それによって、切断刃31によってマ
ザーシート21の所定の領域に閉ループをなす切断線35が
形成される。なお、このようにピックアップ装置27をマ
ザーシート21に適用するとき、ピックアップ装置27は、
マザーシート21ないしはその表面に形成された導電膜に
対して正確に位置合わせされていなければならない。そ
のため、図示しないが、ピックアップ装置27またはマザ
ーシート21をテーブル23上に搬送する機構の少なくとも
一方には、このような位置合わせを行なうための機構が
付加されていることが好ましい。また、上述のように、
マザーシート21に切断線35を切断刃31によって形成する
とき、切断刃31は、圧縮ばね34の弾性に抗したスライダ
33のスライド動作を伴ないながら、マザーシート21に切
断線35を形成するに足りる突出状態になるまで、ヘッド
30に対して相対的に上方へ変位する。
More specifically, first, the pickup device 27 is applied to the mother sheet 21, so that the cutting blade 31 forms a cutting line 35 forming a closed loop in a predetermined region of the mother sheet 21. When the pickup device 27 is applied to the mother sheet 21 as described above, the pickup device 27 is
It must be accurately aligned with the mother sheet 21 or the conductive film formed on the surface thereof. Therefore, although not shown, at least one of the mechanism for transporting the pickup device 27 and the mother sheet 21 onto the table 23 is preferably provided with a mechanism for performing such alignment. Also, as mentioned above,
When the cutting line 35 is formed on the mother sheet 21 by the cutting blade 31, the cutting blade 31 is a slider against the elasticity of the compression spring 34.
While performing the sliding operation of 33, head until the protruding state is sufficient to form the cutting line 35 on the mother sheet 21.
Displace upward relative to 30.

テーブル23は、ヒータ24により、たとえば、約90℃に
加熱されている。
The table 23 is heated to about 90 ° C. by the heater 24, for example.

次いで、ピックアップ装置27は、マザーシート21から
退避される。これによって、切断線35によって囲まれた
領域が与えるセラミックグリーンシート28が、ピックア
ップ装置27の退避に伴なってマザーシート21から切り出
される。このとき、ヘッド30に設けられた空気穴32に
は、負圧が与えられており、積層されるべき最初のセラ
ミックグリーンシート28(a)は、接触面29上に吸着さ
れるとともに、キャリアフィルム22から剥離される。
Then, the pickup device 27 is retracted from the mother sheet 21. As a result, the ceramic green sheet 28 provided by the area surrounded by the cutting line 35 is cut out from the mother sheet 21 as the pickup device 27 retracts. At this time, a negative pressure is applied to the air holes 32 provided in the head 30, and the first ceramic green sheet 28 (a) to be laminated is adsorbed on the contact surface 29 and also the carrier film. Stripped from 22.

その後、同様のステップが繰返され、切断刃31に囲ま
れた空間内において、所望の積層数のセラミックグリー
ンシート28のすべてが積層される。
Then, the same steps are repeated, and all of the desired number of laminated ceramic green sheets 28 are laminated in the space surrounded by the cutting blade 31.

なお、2番目以降のセラミックグリーンシート28をマ
ザーシート21から打抜くとき、より正確には、2番目以
降のセラミックグリーンシート28を打抜くためにマザー
シート21に切断線35を形成するため、ピックアップ装置
27をテーブル23に近接させるとき、ピックアップ装置27
とテーブル23との間に、たとえば、20kg/cm2程度の圧力
が加わるようにされる。これによって、積層されるセラ
ミックグリーンシート28相互が熱圧着される。なお、上
述したように加熱されたテーブル23は、セラミックグリ
ーンシート28を加熱する。この加熱は、セラミックグリ
ーンシート28中に含まれるバインダを溶融し、粘性を増
すように作用する。このようなバインダの溶融は、積層
されるセラミックグリーンシート28相互間の接合度合を
高める。
When the second and subsequent ceramic green sheets 28 are punched from the mother sheet 21, more accurately, the cutting line 35 is formed on the mother sheet 21 to punch the second and subsequent ceramic green sheets 28. apparatus
When the 27 is brought close to the table 23, the pickup device 27
A pressure of, for example, about 20 kg / cm 2 is applied between the table and the table 23. As a result, the laminated ceramic green sheets 28 are thermocompression bonded to each other. The table 23 heated as described above heats the ceramic green sheet 28. This heating acts to melt the binder contained in the ceramic green sheet 28 and increase its viscosity. Such melting of the binder enhances the degree of bonding between the laminated ceramic green sheets 28.

このように、ピックアップ装置27の接触面29上でセラ
ミックグリーンシート28が所望の積層数だけ積層された
後、セラミックグリーンシート28の積層体は、ピックア
ップ装置27から取出される。このとき、好ましくは、空
気穴32に正圧が与えられることによって、このような取
り出しがより容易にされる。
In this way, after the ceramic green sheets 28 are stacked on the contact surface 29 of the pickup device 27 by a desired number, the stacked body of the ceramic green sheets 28 is taken out from the pickup device 27. At this time, preferably, a positive pressure is applied to the air holes 32 to facilitate such extraction.

以上、この発明を、図示した好ましい実施例に関連し
て説明したが、この発明の範囲内において、その他、種
々の変形例が可能である。
Although the present invention has been described above with reference to the preferred embodiments shown in the drawings, various other modifications are possible within the scope of the present invention.

たとえば、切断刃31は、圧縮ばね34によってヘッド30
の接触面29から突出するように付勢されていたが、この
ようなばねによる切断刃31の保持は、必ずしも必要では
ない。たとえば、切断刃31の、接触面29からの突出度合
が、セラミックグリーンシート28の積層を進めてゆくに
つれて、徐々に大きくできるような構造のピックアップ
装置装置を用いてもよい。また、切断刃31がヘッド30に
対して変位する構成は、必ずしも必要ではなく、切断刃
31がヘッド30に対して固定的に設けられていてもよい。
For example, the cutting blade 31 is moved by the compression spring 34 to the head 30.
However, it is not always necessary to hold the cutting blade 31 with such a spring. For example, it is possible to use a pickup device having a structure in which the degree of protrusion of the cutting blade 31 from the contact surface 29 can be gradually increased as the stacking of the ceramic green sheets 28 progresses. Further, the configuration in which the cutting blade 31 is displaced with respect to the head 30 is not always necessary, and the cutting blade 31
31 may be fixedly provided to the head 30.

また、ヘッド30に備える空気穴32も、必ずしも必要で
はない。このような空気穴32から与えられる負圧がなく
ても、接触面29上においてセラミックグリーンシート28
が適正に保持される場合もあるからである。
Further, the air hole 32 provided in the head 30 is not always necessary. Even if there is no negative pressure applied from the air holes 32, the ceramic green sheet 28 can be formed on the contact surface 29.
Is sometimes held properly.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は、この発明の一実施例によるセラミックグリー
ンシートの積層装置を示す断面図である。 第2図は、従来のセラミックグリーンシートの積層方法
および装置を説明するための図解的断面図である。 図において、21はマザーシート、23はテーブル、27はピ
ックアップ装置、28はセラミックグリーンシート、29は
接触面、30はヘッド、31は切断刃、35は切断線である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a ceramic green sheet laminating apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic sectional view for explaining a conventional method and apparatus for laminating ceramic green sheets. In the figure, 21 is a mother sheet, 23 is a table, 27 is a pickup device, 28 is a ceramic green sheet, 29 is a contact surface, 30 is a head, 31 is a cutting blade, and 35 is a cutting line.

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】積層されるべきセラミックグリーンシート
をそこから取り出すマザーシートを準備し、 積層されるべき最初のセラミックグリーンシートの一方
主面に接触する接触面、および前記接触面を取囲みかつ
前記接触面から突出するように配置される切断刃を備え
るピックアップ装置を準備し、 積層されるセラミックグリーンシート同士を熱圧着させ
るためのヒータを準備し、 前記ピックアップ装置を前記マザーシートに対して移動
させることにより、前記マザーシートに前記ピックアッ
プ装置を適用し、それによって、前記切断刃によって前
記マザーシートの所定の領域に閉ループをなす切断線を
形成し、 前記接触面に積層されたセラミックグリーンシートと、
前記切断線によって囲まれた領域が与えるセラミックグ
リーンシートとを、前記ヒータからの熱と前記接触面に
より与えられる圧力とにより熱圧着させ、 前記マザーシートから前記ピックアップ装置を退避さ
せ、それによって、前記接触面に積層されたセラミック
グリーンシートに熱圧着された前記切断線によって囲ま
れた領域が与えるセラミックグリーンシートを前記ピッ
クアップ装置の退避に伴なって前記マザーシートから切
り出し、 前記切断線を形成するステップと前記熱圧着させるステ
ップと前記セラミックグリーンシートを切り出すステッ
プとを繰返し、それによって、複数のセラミックグリー
ンシートを前記ヒータの電熱によりその各々を昇温させ
熱圧着させることにより、前記切断刃に囲まれた前記接
触面上で積層する、各ステップを備える、セラミックグ
リーンシートの積層方法。
1. A mother sheet is provided from which a ceramic green sheet to be laminated is prepared, a contact surface for contacting one main surface of the first ceramic green sheet to be laminated, and a surface surrounding and surrounding said contact surface. A pickup device having a cutting blade arranged to project from the contact surface is prepared, a heater for thermocompressing the laminated ceramic green sheets is prepared, and the pickup device is moved with respect to the mother sheet. By applying the pickup device to the mother sheet, thereby forming a cutting line forming a closed loop in a predetermined region of the mother sheet by the cutting blade, a ceramic green sheet laminated on the contact surface,
The ceramic green sheet provided by the area surrounded by the cutting line is thermocompression bonded by heat from the heater and pressure applied by the contact surface, and the pickup device is retracted from the mother sheet, thereby, Forming the cutting line by cutting out the ceramic green sheet provided by the area surrounded by the cutting line thermocompression bonded to the ceramic green sheet laminated on the contact surface from the mother sheet as the pickup device retracts. The step of thermocompression bonding and the step of cutting out the ceramic green sheet are repeated, whereby a plurality of ceramic green sheets are each heated by the electric heat of the heater to be thermocompression bonded, thereby being surrounded by the cutting blade. Stacked on the contact surface, each Provided with a step, ceramic green sheet method of stacking.
【請求項2】積層されるべきセラミックグリーンシート
をそこから取り出すマザーシートをその上に載置するテ
ーブルと、 前記テーブルの上方において、前記テーブルに対して近
接・離隔可能に設けられるピックアップ装置と、 積層されるセラミックグリーンシート同士を熱圧着させ
るためのヒータと、 を備え、 前記ピックアップ装置は、積層されるべき最初のセラミ
ックグリーンシートの一方主面に接触する接触面を与え
るヘッド、および接触面を取囲みかつ前記接触面から突
出するように前記ヘッドの周囲に配置される切断刃を備
え、かつ 前記切断刃の、前記接触面からの突出度合は、この突出
度合の範囲内で、前記接触面上に所望の積層数のセラミ
ックグリーンシートのすべてを前記ヒータの電熱により
その各々を昇温させ熱圧着させることにより積層するこ
とが可能なように選ばれている、 セラミックグリーンシートの積層装置。
2. A table on which a mother sheet for taking out the ceramic green sheets to be laminated is placed, and a pickup device provided above the table so as to be able to approach and separate from the table. A heater for thermocompressing the laminated ceramic green sheets to each other, and the pickup device includes a head that provides a contact surface that contacts one main surface of the first ceramic green sheet to be laminated, and a contact surface. A cutting blade surrounding and surrounding the head is provided so as to project from the contact surface, and the degree of projection of the cutting blade from the contact surface is within the range of the projection degree. All of the desired number of laminated ceramic green sheets are heated and thermo-compressed by electric heating of the heater. It is chosen such that it can be laminated by bringing the laminated device of the ceramic green sheet.
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