JPH081871B2 - Method and apparatus for stacking magnetic green sheets - Google Patents

Method and apparatus for stacking magnetic green sheets

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JPH081871B2
JPH081871B2 JP3013644A JP1364491A JPH081871B2 JP H081871 B2 JPH081871 B2 JP H081871B2 JP 3013644 A JP3013644 A JP 3013644A JP 1364491 A JP1364491 A JP 1364491A JP H081871 B2 JPH081871 B2 JP H081871B2
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magnetic
laminating
green sheet
green sheets
head
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巨浩 田中
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正巳 島方
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁性体セラミックスを
含有する磁性体グリーンシートを積層する磁性体グリー
ンシート積層方法及び装置に関し、チップ状磁性体セラ
ミックス体内部にインダクタを構成する導体が埋装され
てなる積層チップインダクタの製造に適用できるグリー
ンシート積層方法及び装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic green sheet laminating method and apparatus for laminating magnetic green sheets containing magnetic ceramics, in which a conductor forming an inductor is embedded inside a chip-shaped magnetic ceramic body. The present invention relates to a green sheet laminating method and apparatus applicable to the production of the laminated chip inductor.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁性体セラミックスを含有する磁性体グ
リーンシートを積層し、その内部に導体を埋装して積層
チップインダクタを製造する方法は、例えば特開平2−
151403号公報等によって知られている。この種の
積層チップインダクタを製造する一般的な方法として
は、例えば、以下にあげるような一連の工程からなる。
まず、例えばフェライト等の磁性体粉末と有機バインダ
ーとからなるグリーンシートを形成する。次に、前記グ
リーンシート上の所定の位置にスルホールを形成する。
さらに、前記グリーンシートの一表面上に導電ペースト
を用いて、円弧状またはコ字状等のコイルパターンを印
刷する。このとき、コイルパターンが印刷される位置
は、同コイルパターンの一方の端部と前記スルホールと
が重なり、両者が短絡される位置に選択される。そし
て、前記コイルパターンが前記スルホールを通じて各層
間で接続されるようにグリーンシートを積層し、これを
熱圧着して一体化する。ここで、上記の工程の結果得ら
れた積層体をチップ状に切断、分離し、その後、焼成す
る。その後、得られたチップ毎に外部電極を形成するこ
とにより、積層チップインダクタが完成する。
2. Description of the Related Art A method for producing a laminated chip inductor by laminating magnetic green sheets containing magnetic ceramics and embedding conductors inside the green sheets is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei.
It is known from Japanese Patent No. 151403. A general method for manufacturing this type of laminated chip inductor is, for example, the following series of steps.
First, a green sheet made of magnetic powder such as ferrite and an organic binder is formed. Next, through holes are formed at predetermined positions on the green sheet.
Further, an arc-shaped or U-shaped coil pattern is printed on one surface of the green sheet by using a conductive paste. At this time, the position where the coil pattern is printed is selected at a position where one end of the coil pattern and the through hole overlap each other and both are short-circuited. Then, the green sheets are laminated so that the coil patterns are connected between the layers through the through holes, and the green sheets are thermocompression bonded to be integrated. Here, the laminate obtained as a result of the above steps is cut into chips, separated, and then fired. Then, an external electrode is formed on each of the obtained chips to complete the multilayer chip inductor.

【0003】一方、グリーンシートを所定の形状に裁断
して積層する装置及び方法が、例えば特公平2−158
306号公報により知られている。このグリーンシート
を積層する工程について詳説すると、まず、有機バイン
ダー等を混合して得られたグリーンシートがコンベヤ装
置に載せられ搬送させられる。次に、このグリーンシー
トが所定の位置で所定の形状に切断され、同時に真空吸
着機構の働きにより積層ヘッドの下面に吸着され、切断
されたグリーンシートを所定の順番で積層する積層プレ
ートまで移送され保持される。
On the other hand, an apparatus and method for cutting and stacking green sheets into a predetermined shape are disclosed in, for example, Japanese Patent Publication No. 2-158.
It is known from publication 306. The step of laminating the green sheets will be described in detail. First, a green sheet obtained by mixing an organic binder and the like is placed on a conveyor device and conveyed. Next, this green sheet is cut into a predetermined shape at a predetermined position, and at the same time, it is adsorbed on the lower surface of the laminating head by the action of a vacuum adsorption mechanism, and is transferred to a laminating plate for laminating the cut green sheets in a prescribed order. Retained.

【0004】続いて、前記積層ヘッドに保持されたグリ
ーンシートが、前記積層プレート上へ降ろされ、その上
面から圧着(5〜15 ton)される。ここで圧着される
のは、後述の積層プレートの移動の際、積み重なったグ
リーンシートがずれないようにするためである。以上の
動作を繰り返し、所定の枚数のグリーンシートを積層し
た後、得られたグリーンシートの積層体は仮圧着(20
〜30 ton)され、その後、再び高圧下で圧着され一体
化される。
Subsequently, the green sheet held by the laminating head is lowered onto the laminating plate and pressure-bonded (5 to 15 tons) from its upper surface. The pressing is performed here so that the stacked green sheets do not shift when the laminated plates described later are moved. The above operation is repeated to stack a predetermined number of green sheets, and then the obtained green sheet stack is temporarily pressed (20
~ 30 ton), and then pressed again under high pressure to be integrated.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとしている課題】ところが、上記の
従来技術では、グリーンシートを所定形状に裁断した
後、これを積層プレート上に移送する際、グリーンシー
トが真空装置により吸着して移送されるため、一枚毎に
積層しなければなない。そして、その度毎に精密な位置
決めが行われなければならない。そのため、停止位置決
め精度の高い精密な移送装置が必要となると共に、工程
数も多くなり、それに係る時間も増大し、製造される積
層チップインダクタの製造コストが上昇してしまうとい
う問題点があった。また、上記の従来技術によれば、真
空装置でグリーンシートを吸着する際、その表面に凹凸
が形成されて、グリーンシートの積層面が均一にならな
い。また、切断したグリーンシートを積層プレート上に
載置して積層する際、積み重なったグリーンシートがず
れるのを防止するために一旦圧着されるが、下層側のグ
リーンシート程数多く繰り返し潰されるため、薄く且つ
横に広くなる。そのため、得られた積層チップインダク
タの特性が劣化し、そのインダクタンスが所期の値から
外れてしまうという不具合があった。
However, in the above prior art, when the green sheet is cut into a predetermined shape and then transferred onto the laminated plate, the green sheet is adsorbed and transferred by the vacuum device. , Must be stacked one by one. Then, precise positioning must be performed each time. Therefore, there is a problem that a precise transfer device with high stop positioning accuracy is required, the number of steps is increased, the time required for the increase is increased, and the manufacturing cost of the manufactured multilayer chip inductor is increased. . Further, according to the above-mentioned conventional technique, when the green sheet is adsorbed by the vacuum device, unevenness is formed on the surface thereof, and the laminated surface of the green sheet is not uniform. In addition, when the cut green sheets are placed on the stacking plate and stacked, they are once pressure-bonded to prevent the stacked green sheets from being displaced. And it becomes wide laterally. Therefore, the characteristics of the obtained multilayer chip inductor are deteriorated, and the inductance thereof deviates from a desired value.

【0006】さらに、積層ヘッドによってグリーンシー
トを吸着、保持する力の源として、真空系による負圧を
用いているため、積層装置自体が大型になってしまい、
さらにその運用コストも大きくなるという不都合もあっ
た。本発明の目的は、上記の従来技術における問題点に
鑑み、比較的簡単な構成により、切断された磁性体グリ
ーンシートを均一かつ正確に積層することが可能な磁性
体グリーンシート積層方法及び装置を提供することにあ
る。
Further, since the negative pressure by the vacuum system is used as the source of the force for adsorbing and holding the green sheet by the laminating head, the laminating apparatus itself becomes large,
Further, there is also an inconvenience that the operation cost becomes large. In view of the above-mentioned problems in the prior art, an object of the present invention is to provide a magnetic green sheet laminating method and apparatus capable of laminating cut magnetic green sheets uniformly and accurately with a relatively simple structure. To provide.

【0012】[0012]

【課題を解決する手段】上記の目的を達成するため、本
発明では第一に、磁性体セラミックスを含有するグリー
ンシートを所定の形状に切断し、これを複数積層する磁
性体グリーンシート積層方法であって、前記グリーンシ
ートを積層ヘッドに取り付けられたカッターにより所定
の形状に切断すると同時に、切断された磁性体グリーン
シートを積層ヘッドの保持面に保持し、これを複数回繰
り返し、前記積層ヘッドの保持面上に前記所定の形状に
切断した磁性体グリーンシートを複数積層することを特
徴とする磁性体グリーンシート積層方法を提供する。第
二に、平面上に移動可能なステージと、前記ステージに
取り付けられた昇降機構と、前記昇降機構に取り付けら
れ、カッターを備えた積層ヘッドとを備え、磁性体セラ
ミックスを含有するグリーンシートを所定の形状に切断
して複数積層する動作を行う磁性体グリーンシート積層
装置において、前記積層ヘッドの下部に、磁性体グリー
ンシートを複数枚吸着して保持するための磁気を発生す
る磁気発生手段が設けられていることを特徴とする磁性
体グリーンシート積層装置を提案する。
In order to achieve the above object, first of all, the present invention provides a magnetic green sheet laminating method in which a green sheet containing magnetic ceramics is cut into a predetermined shape and a plurality of the green sheets are laminated. Then, the green sheet is cut into a predetermined shape by a cutter attached to the stacking head, and at the same time, the cut magnetic green sheet is held on the holding surface of the stacking head, and this is repeated a plurality of times to make the stacking head of the stacking head. There is provided a magnetic green sheet laminating method, which comprises laminating a plurality of magnetic green sheets cut into the predetermined shape on a holding surface. Second, a green sheet containing magnetic ceramics is provided, which includes a stage movable on a plane, an elevating mechanism attached to the stage, and a laminating head attached to the elevating mechanism and including a cutter. In a magnetic material green sheet laminating apparatus which performs an operation of cutting a plurality of magnetic green sheets and laminating a plurality of magnetic green sheets, magnetic generation means for generating magnetism for adsorbing and holding a plurality of magnetic green sheets is provided below the laminating head. A magnetic material green sheet laminating apparatus is proposed.

【0013】[0013]

【作用】上記の本発明によれば、磁性体セラミックスを
含有する磁性体グリーンシートを、積層ヘッドに設けら
れたカッターにより所定の形状に切断し、同時にこれを
積層ヘッドの保持部に設けられた磁気発生手段により磁
気を利用して吸着保持し、これを複数回繰り返すことに
より、所定の形状に切断された磁性体グリーンシートを
前記積層ヘッドの保持部上にずれないで、複数積層して
保持することが出来る。このため、従来の様に積層の度
に正確な位置決めを行い、圧着を行う必要もないため、
圧縮や横ずれ等による積層状態の不安定や不均一を解消
し、正確に磁性体グリーンシートを積層することが可能
になる。
According to the present invention described above, a magnetic green sheet containing magnetic ceramics is cut into a predetermined shape by a cutter provided on the laminating head, and at the same time, this is provided on a holding portion of the laminating head. By magnetically attracting and holding by the magnetism generating means and repeating this a plurality of times, a plurality of magnetic green sheets cut into a predetermined shape are stacked and held on the holding portion of the stacking head without being displaced. You can do it. For this reason, there is no need to perform accurate positioning and crimping every time stacking, unlike the conventional method.
Instability and non-uniformity of the laminated state due to compression, lateral displacement, etc. can be eliminated, and the magnetic green sheets can be laminated accurately.

【0014】[0014]

【実施例】以下、本発明による実施例について、添付の
図面を参照しながら、詳細に説明する。まず、図2に、
積層チップインダクタの製造装置の概略構成が示されて
おり、図中の符号1は、コンベア装置を示しており、そ
のコンベアベルト11上に磁性体グリーンシート100
が連続的に供給されている。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, in FIG.
A schematic configuration of a manufacturing apparatus for a laminated chip inductor is shown, and reference numeral 1 in the drawing denotes a conveyor device, and a magnetic material green sheet 100 is provided on the conveyor belt 11.
Is continuously supplied.

【0015】この磁性体グリーンシート100は、Fe
23、ZnO、NiO、CuOを主成分とするNi−Z
n−Cuフェライト粉末に、ポリビニルブチラールをバ
インダーとして用いて、ドクターブレード法により厚さ
100μmの長尺なフェライトグリーンシートとして形
成されたものである。このグリーンシート100は、図
7にも示すように、所定の寸法に切断されて矩形のグリ
ーンシートにされ、さらに、このグリーンシートの所定
の位置にスルーホール101が穿設され、続いて、その
表面に導体ペーストを用いてコイルパターン102が形
成されているている。さらに、磁性体グリーンシート1
00としては、上記の様なグリーンシートの他、上記の
スルーホールを形成せず、コイルパターンを印刷してい
ない磁性体グリーンシート、カバーグリーンシート10
0Cも用意されている。これらのカバーグリーンシート
100Cが後の説明によっても明らかになるが、複数積
層した上記磁性体グリーンシート100の両端面に積層
されるものである。
The magnetic green sheet 100 is made of Fe.
Ni-Z containing 2 O 3 , ZnO, NiO and CuO as main components
Polyvinyl butyral is used as a binder in n-Cu ferrite powder to form a long ferrite green sheet having a thickness of 100 μm by the doctor blade method. As shown in FIG. 7, the green sheet 100 is cut into a predetermined size to form a rectangular green sheet, and a through hole 101 is further formed at a predetermined position of the green sheet. The coil pattern 102 is formed on the surface by using a conductor paste. Furthermore, magnetic green sheet 1
In addition to the green sheets as described above, the reference numeral 00 indicates a magnetic green sheet not forming the through holes and not having a coil pattern printed thereon, and a cover green sheet 10.
0C is also available. These cover green sheets 100C are to be laminated on both end faces of the above-mentioned magnetic green sheets 100, which will be clarified in the later description.

【0016】上述の様にして製造された磁性体グリーン
シート100が、図2に示された上記コンベア装置1の
搬送路に載せられ、本発明の磁性体グリーンシート積層
装置を採用してなる積層部2に搬送される。この積層部
2は、図3に示すように、コンベア装置1のコンベアベ
ルト11の下側に配置された基台20と、その上方に配
置された積層ヘッド21と、上記積層ヘッドを上下方向
に昇降する昇降機構22と、上記積層ヘッドをX、Y方
向に移動するために上記昇降機構を取り付けた移動ステ
ージ装置23とを備えている。また、図中の符号12は
ベルトレールを示している。
The magnetic green sheet 100 manufactured as described above is placed on the conveying path of the conveyor device 1 shown in FIG. 2 and laminated using the magnetic green sheet laminating apparatus of the present invention. It is conveyed to the part 2. As shown in FIG. 3, the stacking unit 2 includes a base 20 arranged below the conveyor belt 11 of the conveyor device 1, a stacking head 21 arranged above the base 20, and the stacking head in the vertical direction. An elevating mechanism 22 for elevating and lowering, and a moving stage device 23 attached with the elevating mechanism for moving the stacking head in the X and Y directions are provided. Further, reference numeral 12 in the drawing indicates a belt rail.

【0017】一方、図1に示されるように、上記積層部
2の基台20の外周部に、これ取り囲むようにウレタン
ゴムの枠体201が取り付けられている。また、積層ヘ
ッド21に、その下端の側辺にカッターブレード211
が、上記基台20のウレタンゴム枠体201に対応する
位置に取り付けられていると共に、その下面が磁性体グ
リーンシートの保持部212となっている。すなわち、
この積層ヘッド21の下面の、保持部212としての平
面に、図4にも示すように、電磁石213、213…が
複数個配列されている。この電磁石213は、図5に示
すように、コア2131の周囲に巻き回された電磁コイ
ル2132と、コア2131から円環状に引き出された
磁路部材2133とから構成されている。
On the other hand, as shown in FIG. 1, a urethane rubber frame 201 is attached to the outer periphery of the base 20 of the laminated portion 2 so as to surround it. Further, the laminating head 21 has a cutter blade 211 on the side of the lower end thereof.
Is attached to the base 20 at a position corresponding to the urethane rubber frame 201, and the lower surface thereof serves as a holding portion 212 for the magnetic green sheet. That is,
As shown in FIG. 4, a plurality of electromagnets 213, 213, ... Are arranged on the bottom surface of the laminated head 21 as the holding portion 212. As shown in FIG. 5, the electromagnet 213 is composed of an electromagnetic coil 2132 wound around the core 2131 and a magnetic path member 2133 drawn out in an annular shape from the core 2131.

【0018】再び、図3に戻り、上記積層ヘッド21に
隣接して、積層プレート24が配置されている。この積
層プレート24は、図6にも示すように、その表面に複
数の磁石241、241…がストライプ状に、N極とS
極が交互に配置されている。さらに、図2において、上
記の積層部2の搬送先側に、積層された磁性体グリーン
シートを押圧して圧着するためのプレス装置3が、さら
にその搬送先側に、圧着された積層磁性体グリーンシー
トをチップ状に切断分割するための切断装置4、そし
て、切断分割されたチップ状の磁性体積層グリーンシー
トを焼成する焼成炉5が設けられている。
Returning to FIG. 3 again, a laminating plate 24 is arranged adjacent to the laminating head 21. As shown in FIG. 6, this laminated plate 24 has a plurality of magnets 241, 241 ...
The poles are arranged alternately. Further, in FIG. 2, a pressing device 3 for pressing and press-bonding the laminated magnetic material green sheets on the conveyance destination side of the laminated portion 2 is further provided on the conveyance destination side. A cutting device 4 for cutting and dividing the green sheet into chips and a firing furnace 5 for firing the cut and divided chip-shaped magnetic material laminated green sheets are provided.

【0019】以上に説明した積層チップインダクタの製
造装置の動作について、図1により、以下に詳細に説明
する。まず、図1の(a)において、上述の様にして得
られた積層チップインダクタ用の磁性体グリーンシート
100が、上記コンベア装置1のコンベアベルト11上
に搬送されて上記積層部2の基台20上に位置する。こ
の時、上記コンベアベルト11を支持するベルトレール
12、12が下降し、磁性体グリーンシート100が基
台20上に固定される。そこで、図1の(b)に示すよ
うに、基台の上方に配置された積層ヘッド21が下降し
て、上記磁性体グリーンシート100を所定の形状及び
寸法(例えば、本実施例では15×15cmの正方形)
に押し切られ、同時に、この所定の形状に切断された磁
性体グリーンシート100は上記積層ヘッド21の下面
の、保持部212に吸着保持される。すなわち、この
時、上記積層ヘッドの保持部212平面に複数配置され
た電磁石213、213…(図5を参照)に通電が行わ
れ、磁力線が発生される。この磁力線が磁性体グリーン
シート100を通り、磁気的に磁性体グリーンシート1
00を保持部212の平面に密着して保持する。なお、
この時、最初にコンベアベルト11によって供給される
磁性体グリーンシートは、上記のカバーグリーンシート
100Cである。
The operation of the laminated chip inductor manufacturing apparatus described above will be described in detail below with reference to FIG. First, in (a) of FIG. 1, the magnetic green sheet 100 for a laminated chip inductor obtained as described above is conveyed onto the conveyor belt 11 of the conveyor device 1 to be the base of the laminating unit 2. Located on 20. At this time, the belt rails 12, 12 supporting the conveyor belt 11 are lowered, and the magnetic green sheet 100 is fixed on the base 20. Therefore, as shown in FIG. 1B, the stacking head 21 disposed above the base is lowered to move the magnetic green sheet 100 into a predetermined shape and size (for example, 15 × in this embodiment). 15 cm square)
At the same time, the magnetic green sheet 100 cut into a predetermined shape is sucked and held by the holding portion 212 on the lower surface of the stacking head 21. That is, at this time, the plurality of electromagnets 213, 213 ... (See FIG. 5) arranged on the plane of the holding portion 212 of the stacking head are energized to generate lines of magnetic force. These magnetic lines of force pass through the magnetic green sheet 100, and magnetically magnetic green sheet 1
00 is held in close contact with the flat surface of the holding portion 212. In addition,
At this time, the magnetic green sheet initially supplied by the conveyor belt 11 is the cover green sheet 100C.

【0020】その後、上記の積層ヘッド11は、所定の
形状に切断した磁性体グリーンシートをその保持部21
2に吸着保持した状態のまま上昇して元の位置に戻る。
同時に、上記のベルトレール12、12も上昇し、所定
の形状が切断された残りの磁性体グリーンシート100
が基台20上から持ち上げられて側方に移動されて取り
除かれる。続いて、次の磁性体グリーンシート100が
コンベアベルト11上に移送供給され、上記と同様にし
て、基台20上に固定され、所定の形状に切断される。
それと同時に、この所定の形状に切断された磁性体グリ
ーンシート100は、前回の動作で積層ヘッド21の保
持部212に吸着保持されている磁性体グリーンシート
100上に、更に積層される。すなわち、上記の動作を
所定の回数だけ繰り返すことにより、積層ヘッド21の
保持部212に、所定の枚数の磁性体グリーンシート1
00が自動的に、かつ、正確な位置に自動的に積層され
る。
After that, the laminated head 11 holds the magnetic green sheet cut into a predetermined shape in its holding portion 21.
It rises and returns to the original position while it is adsorbed and held on 2.
At the same time, the above-mentioned belt rails 12 and 12 are also raised, and the remaining magnetic green sheet 100 having a predetermined shape cut.
Is lifted from the base 20 and moved to the side to be removed. Then, the next magnetic green sheet 100 is transferred and supplied onto the conveyor belt 11, fixed on the base 20 and cut into a predetermined shape in the same manner as described above.
At the same time, the magnetic green sheet 100 cut into the predetermined shape is further stacked on the magnetic green sheet 100 that has been sucked and held by the holding portion 212 of the stacking head 21 in the previous operation. That is, by repeating the above operation a predetermined number of times, a predetermined number of magnetic green sheets 1 are held in the holding portion 212 of the stacking head 21.
00 is automatically and automatically laminated at a correct position.

【0021】以上の様にして所定の枚数だけ積層された
積層磁性体グリーンシート100は、その後積層部2に
おいて上記積層ヘッド21に隣接して配置された積層プ
レート22上に載置される(図3を参照)。すなわち、
上記積層ヘッド21を昇降機構22により上昇した後、
X、Y方向の移動ステージ装置23によって上記積層プ
レート24の位置に移動し、これを下降して上記積層プ
レート24の表面上に置く。同時に、積層ヘッド21
は、その保持部212の電磁石213、213…に供給
していた電流を減少あるいは遮断する。一方、上記積層
プレート24の表面に複数の磁石241、241…が設
けられているため、磁性体から成る上記積層グリーンシ
ート100は、積層プレート24上に確実に載置され
る。
The laminated magnetic green sheets 100 laminated in a predetermined number as described above are then placed on the laminated plate 22 arranged adjacent to the laminated head 21 in the laminated portion 2 (see FIG. See 3). That is,
After the stacking head 21 is lifted by the lifting mechanism 22,
It is moved to the position of the laminated plate 24 by the moving stage device 23 in the X and Y directions, and is lowered and placed on the surface of the laminated plate 24. At the same time, the laminating head 21
Reduces or interrupts the current supplied to the electromagnets 213, 213 ... Of the holding part 212. On the other hand, since the plurality of magnets 241, 241 ... Are provided on the surface of the laminated plate 24, the laminated green sheet 100 made of a magnetic material is reliably placed on the laminated plate 24.

【0022】その後、この積層プレート24上に載置さ
れた積層グリーンシート100は、プレス装置3によ
り、例えば温度100゜C、圧力300kg/cm2
熱圧着されて一体化され、次いで、切断装置4によりチ
ップ状に切断分割された後、焼成炉5で例えば900℃
の温度で焼成される。さらに、このチップ状焼成体の両
端面にAg等を主成分とする導電ペーストを塗布し、こ
れを例えば800℃の温度で焼き付けて外部電極を形成
し、積層チップインダクタを完成した。上記の実施例で
は、積層ヘッド21の保持部212平面に設けられた磁
気発生装置として電磁石が利用されているが、これに限
らず、例えば永久磁石を利用し、その後、吸着した積層
グリーンシートを離脱する時に、圧縮空気等を隙間に送
り込むようにするなど磁気による吸着力を任意に入切で
きる構成となっていればよい。また、積層プレート24
上の磁石も電磁石にすることが可能である。
Thereafter, the laminated green sheet 100 placed on the laminated plate 24 is thermocompression-bonded by the pressing device 3 at a temperature of 100 ° C. and a pressure of 300 kg / cm 2 , for example, and is then cut. After being cut and divided into chips by 4, the baking furnace 5 for example 900 ° C
It is baked at the temperature of. Further, a conductive paste containing Ag or the like as a main component was applied to both end faces of this chip-shaped fired body, and this was baked at a temperature of, for example, 800 ° C. to form external electrodes, thereby completing a multilayer chip inductor. In the above embodiment, an electromagnet is used as the magnetic generator provided on the plane of the holding portion 212 of the laminating head 21, but the present invention is not limited to this, and for example, a permanent magnet is used, and then the adsorbed laminated green sheet is used. It suffices if the magnetic attraction force can be turned on and off arbitrarily by sending compressed air or the like into the gap at the time of leaving. In addition, the laminated plate 24
The upper magnet can also be an electromagnet.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明による磁性体グリーンシート積層方法及び装置によれ
ば、従来の真空吸着手段に代えて、磁力を利用すること
により、比較的簡単な構成と動作で、切断された磁性体
グリーンシートを均一かつ正確な位置に積層することが
可能となる。
As is clear from the above description, according to the magnetic green sheet laminating method and apparatus of the present invention, magnetic force is utilized instead of the conventional vacuum suction means, so that it is relatively simple. With the configuration and the operation, it becomes possible to stack the cut magnetic green sheets at uniform and accurate positions.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明による磁性体グリーンシート積層方法を
説明するための積層装置の要部断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a main part of a laminating apparatus for explaining a magnetic green sheet laminating method according to the present invention.

【図2】上記図1の磁性体グリーンシート積層装置を採
用した積層チップインダクタ製造装置の概略を説明する
概略構成図である。
FIG. 2 is a schematic configuration diagram illustrating an outline of a multilayer chip inductor manufacturing apparatus that employs the magnetic green sheet stacking apparatus of FIG.

【図3】上記図1の磁性体グリーンシート積層装置を採
用した積層チップインダクタ製造装置の積層部の全体構
造を示す側面図である。
FIG. 3 is a side view showing an overall structure of a laminated portion of a laminated chip inductor manufacturing apparatus adopting the magnetic green sheet laminating apparatus of FIG.

【図4】上記図1に示す積層ヘッドの底面構造を示す底
面図である。
FIG. 4 is a bottom view showing the bottom structure of the laminated head shown in FIG. 1;

【図5】上記図4の積層ヘッド底面に設けられた電磁石
の詳細構造を示す一部拡大断面である。
5 is a partially enlarged cross-sectional view showing a detailed structure of an electromagnet provided on the bottom surface of the laminated head shown in FIG.

【図6】上記図3に示す積層プレートの積層表面の構造
を示す上面図である。
6 is a top view showing a structure of a laminated surface of the laminated plate shown in FIG.

【図7】上記積層チップインダクタ製造装置によって積
層される磁性体グリーンシートの詳細を示す展開斜視図
である。
FIG. 7 is a developed perspective view showing details of a magnetic green sheet laminated by the laminated chip inductor manufacturing apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 コンベア装置 11 ベルトコンベア 2 積層部 20 基台 21 積層ヘッド 211 カッターブレード 212 保持部 213 電磁石 22 昇降装置 23 移動ステージ装置 24 積層プレート 241 磁石 3 プレス装置 4 切断装置 5 焼成炉 100 磁性体グリーンシート 101 スルーホール 102 コイルパターン 1 Conveyor Device 11 Belt Conveyor 2 Laminating Unit 20 Base 21 Laminating Head 211 Cutter Blade 212 Holding Unit 213 Electromagnet 22 Elevating Device 23 Moving Stage Device 24 Laminating Plate 241 Magnet 3 Pressing Device 4 Cutting Device 5 Baking Furnace 100 Magnetic Green Sheet 101 Through hole 102 coil pattern

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 島方 正巳 東京都台東区上野6丁目16番20号 太陽誘 電株式会社内 (72)発明者 星 健一 東京都台東区上野6丁目16番20号 太陽誘 電株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−102719(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued Front Page (72) Masami Shimakata, 6-16-20 Ueno, Taito-ku, Tokyo Within Taiyo Denki Co., Ltd. (72) Kenichi Hoshi, 6-16-20 Ueno, Taito-ku, Tokyo Within Taiyo Denki Co., Ltd. (56) Reference JP-A-61-102719 (JP, A)

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 磁性体セラミックスを含有するグリーン
シートを所定の形状に切断し、これを複数積層する磁性
体グリーンシート積層方法であって、前記グリーンシー
トを積層ヘッドに取り付けられたカッターにより所定の
形状に切断すると同時に、切断された磁性体グリーンシ
ートを積層ヘッドの保持面に保持し、これを複数回繰り
返し、前記積層ヘッドの保持面上に前記所定の形状に切
断した磁性体グリーンシートを複数積層することを特徴
とする磁性体グリーンシート積層方法。
1. A magnetic green sheet laminating method for cutting a green sheet containing magnetic ceramics into a predetermined shape and laminating a plurality of the green sheets, wherein the green sheets are formed into a predetermined shape by a cutter attached to a laminating head. Simultaneously with cutting into a shape, the cut magnetic green sheets are held on the holding surface of the stacking head, and this is repeated a plurality of times, and a plurality of magnetic green sheets cut into the predetermined shape are held on the holding surface of the stacking head. A method for laminating magnetic green sheets, which comprises laminating.
【請求項2】 平面上に移動可能なステージと、前記ス
テージに取り付けられた昇降機構と、前記昇降機構に取
り付けられ、カッターを備えた積層ヘッドとを備え、磁
性体セラミックスを含有するグリーンシートを所定の形
状に切断して複数積層する動作を行う磁性体グリーンシ
ート積層装置において、前記積層ヘッドの下部に、磁性
体グリーンシートを複数枚吸着して保持するための磁気
を発生する磁気発生手段が設けられていることを特徴と
する磁性体グリーンシート積層装置。
2. A green sheet containing a magnetic ceramics, comprising a stage movable on a plane, an elevating mechanism attached to the stage, and a laminating head attached to the elevating mechanism and having a cutter. In a magnetic material green sheet laminating apparatus which performs an operation of cutting a predetermined shape and laminating a plurality of layers, a magnetic generation unit for generating a magnetism for adsorbing and holding a plurality of magnetic green sheets is provided below the laminating head. A magnetic material green sheet laminating apparatus characterized by being provided.
【請求項3】 前記請求項2において、積層ヘッド表面
上において互いに極性の異なる磁極が一定距離をおいて
配置されている積層装置。
3. The laminating apparatus according to claim 2, wherein magnetic poles having different polarities are arranged at a constant distance on the surface of the laminating head.
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