JPH08244019A - Lamination of ceramic green sheet - Google Patents
Lamination of ceramic green sheetInfo
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- JPH08244019A JPH08244019A JP8180495A JP8180495A JPH08244019A JP H08244019 A JPH08244019 A JP H08244019A JP 8180495 A JP8180495 A JP 8180495A JP 8180495 A JP8180495 A JP 8180495A JP H08244019 A JPH08244019 A JP H08244019A
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- ceramic green
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28B—SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS; SHAPING SLAG; SHAPING MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
- B28B17/00—Details of, or accessories for, apparatus for shaping the material; Auxiliary measures taken in connection with such shaping
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- Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、積層チップコンデンサ
ーや積層チップインダクター等の積層電子部品を製造す
るためのセラミックグリーンシートであって、キャリア
フィルムに保持された状態のものを積層し、その都度キ
ャリアフィルムを剥離しながら、複数枚のセラミックグ
リーンシートを積層する方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceramic green sheet for manufacturing a laminated electronic component such as a laminated chip capacitor and a laminated chip inductor, which is laminated in a state of being held by a carrier film. The present invention relates to a method of laminating a plurality of ceramic green sheets while peeling a carrier film each time.
【０００２】[0002]
【従来の技術】積層電子部品の最も代表的な例である積
層セラミックコンデンサは、内部電極を有する誘電体セ
ラミック層が多数積み重ねられ、内部電極が積層体の端
面に交互に引き出されている。そして、これらの内部電
極が引き出された積層体の端面に外部電極が形成されて
いる。2. Description of the Related Art A monolithic ceramic capacitor, which is the most typical example of a monolithic electronic component, has a large number of dielectric ceramic layers each having an internal electrode, and the internal electrodes are alternately drawn out to the end face of the laminated body. Then, external electrodes are formed on the end faces of the stacked body from which these internal electrodes are drawn out.
【０００３】このような積層セラミックコンデンサの従
来の製造方法は、誘電体セラミック粉末を有機バインダ
ーに分散させたセラミックスラリーをシート状に成形し
てグリーンシートを作り、スクリーン印刷法等により、
このグリーンシートの上に導電ペーストで内部電極パタ
ーンを印刷する。そして、この内部電極パターンが印刷
されたグリーンシートを所定の順序で積層し、さらにそ
の両側に内部電極パターンが印刷されてないグリーンシ
ートを複数枚積み重ねる。こうして得られた積層体を内
部電極が端面に露出するようにしてチップ状に切断し、
これを焼成する。これにより、焼結された積層体が得ら
れる。そして、この焼結された積層体の内部電極が露出
した端面に導電ペーストを塗布し、これを焼き付けて外
部電極を形成することにより、積層チップコンデンサが
完成する。The conventional manufacturing method of such a monolithic ceramic capacitor is to form a green sheet by molding a ceramic slurry in which a dielectric ceramic powder is dispersed in an organic binder into a sheet, and by a screen printing method or the like.
An internal electrode pattern is printed on this green sheet with a conductive paste. Then, the green sheets on which the internal electrode patterns are printed are stacked in a predetermined order, and a plurality of green sheets on which the internal electrode patterns are not printed are stacked on both sides thereof. The laminated body thus obtained is cut into chips so that the internal electrodes are exposed at the end faces,
This is fired. As a result, a sintered laminate is obtained. Then, a conductive paste is applied to the end surface of the sintered multilayer body where the internal electrodes are exposed, and this is baked to form external electrodes, whereby the multilayer chip capacitor is completed.
【０００４】多くの回路部品が小型化される中で、この
ような積層セラミックコンデンサについても、小型化、
大容量化が要求されている。このような背景の中で、厚
さ１０μｍ以下の極めて薄いグリーンシートを積層して
積層セラミックコンデンサを製造することが行なわれる
ようになった。このようなコンデンサを歩留り良く製造
するためには、前記のような極めて薄いグリーンシート
に精度良く印刷し、これを積層する技術が必要である。
この場合、セラミックグリーンシートが極端に薄いの
で、それを搬送し、印刷し、積層する際に、同グリーン
シートが伸びたり歪んだりしないよう、その取扱いに慎
重を要する。While many circuit components are miniaturized, such monolithic ceramic capacitors are also miniaturized,
Larger capacity is required. Against this background, it has become common practice to manufacture laminated ceramic capacitors by laminating extremely thin green sheets having a thickness of 10 μm or less. In order to manufacture such a capacitor with a high yield, it is necessary to have a technique of printing on the extremely thin green sheet with high precision and stacking it.
In this case, since the ceramic green sheet is extremely thin, it must be handled carefully so that the green sheet will not be stretched or distorted when it is transported, printed or laminated.
【０００５】セラミックグリーンシートは、ポリエチレ
ンテレフタレートフィルム等のキャリアフィルム上にセ
ラミックスラリーを一定の膜厚に塗布し、乾燥して形成
される。従来、薄いセラミックグリーンシートについて
は、前記のようにしてキャリアフィルム上に形成した
後、それを同キャリアフィルムごと所定の大きさに打ち
抜き、内部電極パターンの印刷を印刷し、さらにこれを
順次積層しながら、キャリアフィルムを剥離していく方
法が採用されている。The ceramic green sheet is formed by coating a carrier film such as a polyethylene terephthalate film with a ceramic slurry to a constant thickness and drying. Conventionally, a thin ceramic green sheet is formed on a carrier film as described above, punched out into a predetermined size together with the carrier film, printed with an internal electrode pattern, and further laminated in sequence. However, a method of peeling the carrier film is adopted.
【０００６】この方法において、セラミックグリーンシ
ートからキャリアフィルムを剥離する場合は、キャリア
フィルムの表面の縁に近い部分に吸盤を吸着し、この吸
盤によりキャリアフィルムの端をセラミックグリーンシ
ートから剥し、続いて他方の端に向かってキャリアフィ
ルムの全体をセラミックグリーンシートから剥していく
という方法が一般にとられていた。In this method, when the carrier film is peeled from the ceramic green sheet, a suction cup is adsorbed on a portion of the surface of the carrier film close to the edge, and the edge of the carrier film is peeled off from the ceramic green sheet by this suction cup. A method of peeling the entire carrier film from the ceramic green sheet toward the other end was generally used.
【０００７】ところが、このようなキャリアフィルムの
剥離手段の場合、キャリアフィルムと共に上側のセラミ
ックグリーンシートが下側のセラミックグリーンシート
から剥がれて浮き上がりやすい。このため、折角仮圧着
したセラミックグリーンシートの間に空気が入ってしま
ったり、積層したセラミックグリーンシートがずれてし
まうという問題があった。However, in the case of such a carrier film peeling means, the upper ceramic green sheet is easily peeled off from the lower ceramic green sheet together with the carrier film. Therefore, there is a problem in that air enters between the ceramic green sheets temporarily bent and the laminated ceramic green sheets are displaced.
【０００８】そこで、特開平６−２５５８８０号公報に
示されたように、円周面の一部に平坦な吸着面を有する
ドラムを使用し、キャリアフィルム付セラミックグリー
ンシートを積層台の上に順次積み重ねながら、その都度
キャリアフィルムを剥離し、セラミックグリーンシート
を積層する方法が提案されている。この方法では、前記
のドラムの吸着面を負圧として、そこにセラミックグリ
ーンシート上のキャリアフィルムの端縁部を吸着し、そ
の後ドラムをキャリアフィルムの他方の端縁部に向かっ
て移動させると共に、回転さてキャリアフィルムを剥離
する。Therefore, as disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 6-255880, a drum having a flat suction surface on a part of its circumferential surface is used, and a ceramic green sheet with a carrier film is sequentially placed on a stacking stand. A method has been proposed in which a carrier film is peeled off each time while being stacked, and a ceramic green sheet is laminated. In this method, the suction surface of the drum is set to a negative pressure, and the edge portion of the carrier film on the ceramic green sheet is attracted thereto, and then the drum is moved toward the other edge portion of the carrier film, Rotate and peel the carrier film.
【０００９】しかし、前記のようなドラムを使用したキ
ャリアフィルムの剥離方法では、キャリアフィルムをセ
ラミックグリーンシートから剥離するときにセラミック
グリーンシートに与えられるストレスにより、その歪が
一方に偏ってしまい、セラミックグリーンシートの積層
体全体の印刷パターンが変形してしまうという課題があ
った。そこで、本発明は、前記の課題に鑑み、キャリア
フィルム付セラミックグリーンシートを積層しながら、
その都度キャリアフィルムを剥離する方法において、積
層体全体の印刷パターンの歪が起こりにくいセラミック
グリーンシートの積層方法を提供することを目的とす
る。However, in the carrier film peeling method using the drum as described above, the strain applied to the ceramic green sheet when the carrier film is peeled from the ceramic green sheet causes the strain to be biased to one side, and There has been a problem that the printing pattern of the entire stack of green sheets is deformed. Therefore, the present invention, in view of the above problems, while laminating the ceramic green sheet with a carrier film,
An object of the present invention is to provide a method for laminating a ceramic green sheet in which distortion of the printed pattern of the entire laminate is unlikely to occur in the method of peeling the carrier film each time.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明では、前記の目的
を達成するため、セラミックグリーンシート１４を積層
しながら、そのセラミックグリーンシート１４からその
都度キャリアフィルム１３を剥離していく場合に、ドラ
ム２を交互に反対方向に移動し、回転させながらキャリ
アフィルム１３を剥離するようにした。これにより、セ
ラミックグリーンシート１４の歪を交互に相殺し、積層
体全体の印刷パターンの歪をキャンセルできるようにし
たものである。According to the present invention, in order to achieve the above-mentioned object, a drum is used when the carrier film 13 is peeled from the ceramic green sheet 14 while laminating the ceramic green sheets 14 each time. 2 was alternately moved in the opposite direction, and the carrier film 13 was peeled off while rotating. As a result, the distortion of the ceramic green sheet 14 is canceled out alternately, and the distortion of the printing pattern of the entire laminated body can be canceled.
【００１１】すなわち、本発明によるセラミックグリー
ンシートの積層方法は、キャリアフィルム１３を上側に
して積層台６上にキャリアフィルム付セラミックグリー
ンシート１１を載せた後、上側のキャリアフィルム１３
をセラミックグリーンシート１４から剥離し、次にこの
セラミックグリーンシート１４の上に同様にしてキャリ
アフィルム付セラミックグリーンシート１１を載せた
後、同様にしてそのキャリアフィルム１３を剥離し、以
下これを適当な回数繰り返して、積層台６上にセラミッ
クグリーンシート１１を積層する。この場合に、円筒面
状の外周面が負圧とされるドラム２を用いる。まず、こ
のドラム２の外周面を負圧として、そこにセラミックグ
リーンシート１４上のキャリアフィルム１３の端縁部を
吸着し、その後ドラム２をキャリアフィルム１３の他方
の端縁部に向かって移動させると共に、回転させるなが
ら、キャリアフィルム１３を剥離する。以下、その上の
キャリアフィルム付セラミックグリーンシート１１につ
いて、ドラム２の移動方向を交互に変えながらキャリア
フィルム１３を順次剥離していく。That is, in the method for laminating a ceramic green sheet according to the present invention, the carrier green 13 with the carrier film is placed on the laminating stand 6 with the carrier film 13 on the upper side, and then the upper carrier film 13 is placed.
Is peeled off from the ceramic green sheet 14, the ceramic green sheet 11 with a carrier film is placed on the ceramic green sheet 14 in the same manner, and then the carrier film 13 is peeled off in the same manner. The ceramic green sheets 11 are stacked on the stacking base 6 by repeating the number of times. In this case, the drum 2 in which the cylindrical outer peripheral surface has a negative pressure is used. First, a negative pressure is applied to the outer peripheral surface of the drum 2, and the edge portion of the carrier film 13 on the ceramic green sheet 14 is attracted thereto, and then the drum 2 is moved toward the other edge portion of the carrier film 13. At the same time, the carrier film 13 is peeled off while rotating. Thereafter, the carrier film 13 on the ceramic green sheet 11 with the carrier film thereon is sequentially peeled while alternately changing the moving direction of the drum 2.
【００１２】ここで、前記ドラム２の回転による外周面
の周速と、同ドラム２のセラミックグリーンシート１４
の表面に沿う移動速度とを互いに等しくする。前記ドラ
ム２の外周面は、全面が円筒面状となっているもので
も、また、その外周面の一部縦方向に平坦面３を有し、
この平坦面３にキャリアフィルム１３の端縁部を吸着す
るものであってもよい。これらのドラム２の外周面は、
その全面が負圧とされるものであってもよいが、特に後
者のドラム２の場合は、その平坦面３のみが負圧とされ
る。Here, the peripheral speed of the outer peripheral surface due to the rotation of the drum 2 and the ceramic green sheet 14 of the drum 2
And the moving speed along the surface of are equal to each other. The outer peripheral surface of the drum 2 has a cylindrical surface as a whole, and also has a flat surface 3 in a part of the outer peripheral surface in the vertical direction,
The flat surface 3 may adsorb the edge portion of the carrier film 13. The outer peripheral surfaces of these drums 2 are
The entire surface may be a negative pressure, but particularly in the latter drum 2, only the flat surface 3 is a negative pressure.
【００１３】[0013]
【作用】前記本発明によるセラミックグリーンシートの
キャリアフィルム剥離方法では、ドラム２の外周面を負
圧として、そこにセラミックグリーンシート１４上のキ
ャリアフィルム１３を吸着するため、キャリアフィルム
１３を、その広い範囲で確実に吸着することができる。
そして、ドラム２をキャリアフィルム１３の他方の端縁
部に向かって移動させると共に、回転させることによ
り、セラミックグリーンシート１４をドラム２の周面で
上から押えた状態で、前記外周面に吸着したキャリアフ
ィルム１３を、その一方の端縁部から他方の端縁部へ向
けてセラミックグリーンシート１４から剥すことができ
る。これにより、セラミックグリーンシート１４の層間
剥がれを防止しながら、キャリアフィルム１３のみを確
実に剥すことができる。In the method for peeling a carrier film of a ceramic green sheet according to the present invention, the outer peripheral surface of the drum 2 is set to a negative pressure and the carrier film 13 on the ceramic green sheet 14 is adsorbed to the negative pressure. It can be surely adsorbed within the range.
Then, while the drum 2 is moved toward the other edge of the carrier film 13 and rotated, the ceramic green sheet 14 is adsorbed to the outer peripheral surface while being pressed from above by the peripheral surface of the drum 2. The carrier film 13 can be peeled off from the ceramic green sheet 14 from one edge thereof toward the other edge. Thereby, only the carrier film 13 can be reliably peeled off while preventing interlayer peeling of the ceramic green sheet 14.
【００１４】さらに、前記ドラム２を交互に反対側に移
動させながら、上下のセラミックグリーンシート１４に
ついて、そのキャリアフィルム１３を交互に反対方向か
ら剥離するため、セラミックグリーンシート１４の歪が
交互に逆方向となり、上下のセラミックグリーンシート
１４の歪が互いに相殺される。このため、積層体全体と
ては、歪がキャンセルされ、印刷パターンのずれが起ら
ない。さらに、前記ドラム２の回転による外周面の周速
と、同ドラム２のセラミックグリーンシート１４の表面
に沿う移動速度とを互いに等しくすることにより、キャ
リアフィルム１３を巻き込んだドラム２は、セラミック
グリーンシート１４の表面を転がりながら移動すること
になり、セラミックグリーンシート１４に平面方向の歪
を与えない。Further, while the drum 2 is alternately moved to the opposite side, the carrier films 13 of the upper and lower ceramic green sheets 14 are peeled alternately from the opposite directions, so that the strain of the ceramic green sheets 14 is alternately reversed. The strains of the upper and lower ceramic green sheets 14 cancel each other out. Therefore, the distortion is canceled and the printing pattern is not displaced in the entire laminated body. Further, the peripheral speed of the outer peripheral surface due to the rotation of the drum 2 and the moving speed along the surface of the ceramic green sheet 14 of the drum 2 are made equal to each other, so that the drum 2 in which the carrier film 13 is wound is a ceramic green sheet. Since it moves while rolling on the surface of 14, the ceramic green sheet 14 is not strained in the plane direction.
【００１５】なお、ドラム２の外周面の全面が円筒面状
となっている場合は、キャリアフィルム１３を介してセ
ラミックグリーンシート１４に局部的な圧力がかかりに
くく、セラミックグリーンシート１４の厚み方向の変形
も防げる。さらに、このドラム２の外周面の全面が負圧
とされる場合は、ドラム２の外周面に当たるキャリアフ
ィルム１３を、その広い範囲で吸着し、保持することが
できるので、キャリアフィルム１３をセラミックグリー
ンシート１４から確実に剥すことができる。When the entire outer peripheral surface of the drum 2 has a cylindrical surface shape, local pressure is less likely to be applied to the ceramic green sheet 14 via the carrier film 13, and the ceramic green sheet 14 in the thickness direction thereof is Deformation can also be prevented. Further, when the entire outer peripheral surface of the drum 2 is negatively pressured, the carrier film 13 that contacts the outer peripheral surface of the drum 2 can be adsorbed and held in a wide range, so that the carrier film 13 is made of ceramic green. It can be reliably peeled off from the sheet 14.
【００１６】他方、ドラム２の外周面の一部縦方向に平
坦面３を有し、この平坦面３のみを負圧として、そこに
キャリアフィルム１３の端縁部を吸着する場合は、キャ
リアフィルム１３の端縁部のみを吸着するので、ドラム
２を移動させながら回転させると、キャリアフィルム１
３の他の部分はドラム２の外周面に巻き込まれるだけと
なる。このため、セラミックグリーンシート１４からキ
ャリアフィルム１３を剥離した後、ドラム２からキャリ
アフィルム１３をスムーズに離すことができる。On the other hand, when the outer peripheral surface of the drum 2 has a flat surface 3 in a part of the longitudinal direction and only the flat surface 3 is used as a negative pressure to adsorb the edge portion of the carrier film 13, the carrier film is used. Since only the edge of 13 is adsorbed, when the drum 2 is rotated while being moved, the carrier film 1
The other part of 3 is only wound around the outer peripheral surface of the drum 2. Therefore, after peeling the carrier film 13 from the ceramic green sheet 14, the carrier film 13 can be smoothly separated from the drum 2.
【００１７】[0017]
【実施例】次に、図面を参照しながら、本発明の実施例
について具体的且つ詳細に説明する。図１〜図４に示す
ように、セラミックグリーンシート１４を積層する積層
台６が設けられ、この積層台６は、その内部を真空状態
とすることにより、その上面を負圧とすることができ
る。また、積層台６の内部を大気圧またはそれより高い
気圧とすることにより、前記上面の負圧を解除しまたは
正圧とすることができるようになっている。この積層台
６の上にガイドレール４が架設され、このガイドレール
４に沿って移動自在にスライダー１が取り付けられてい
る。このスライダー１は、図３に示すリニア駆動モータ
ー９により、ガイドレール４に沿って走行される。Embodiments of the present invention will now be described specifically and in detail with reference to the drawings. As shown in FIGS. 1 to 4, a stacking stand 6 for stacking the ceramic green sheets 14 is provided, and the stacking stand 6 can have a negative pressure on its upper surface by making the inside thereof a vacuum state. . Further, by setting the inside of the stacking table 6 to atmospheric pressure or higher atmospheric pressure, the negative pressure on the upper surface can be released or made positive. A guide rail 4 is installed on the stacking base 6, and a slider 1 is attached movably along the guide rail 4. The slider 1 is run along the guide rail 4 by the linear drive motor 9 shown in FIG.
【００１８】スライダー１にエアシリンダーからなる上
下動機構７が取り付けられ、この上下動機構７を介して
スライダー１からベアリング８が吊り下げられている。
このベアリング８には、ドラム２が回転自在に軸支さ
れ、このドラム２は、モーター１０により回転される。
このドラム２を回転させるモーター１０とスライダー１
を移動させる前記リニア駆動モーター９とは、ドラム２
の周速とスライダー１の速度とが互いに等しくなるよう
相互に制御される。A vertical movement mechanism 7 composed of an air cylinder is attached to the slider 1, and a bearing 8 is suspended from the slider 1 via the vertical movement mechanism 7.
A drum 2 is rotatably supported on the bearing 8, and the drum 2 is rotated by a motor 10.
Motor 10 for rotating this drum 2 and slider 1
The linear drive motor 9 for moving the drum 2
The peripheral speed and the speed of the slider 1 are controlled to be equal to each other.
【００１９】ドラム２の外周面は、全体が通気性を有す
る円筒面であり、図示しない真空配管路を介してドラム
２内部を真空状態とすることにより、ドラム２の外周面
が負圧とすることができる。また、ドラム２の内部を大
気圧またはそれより高い気圧とすることにより、負圧を
解除し、または正圧とすることができるようになってい
る。これにより、ドラム２の外周面にキャリアフィルム
付セラミックグリーンシート１１のキャリアフィルム１
３を吸着し、或はその吸着を解除することができる。な
お、図示の実施例では、ドラム２の片側だけがベアリン
グ８により軸支されているが、ガイドレール４を平行に
２本架設して、ドラム２をその両端側から軸支すること
ももちろん可能である。The outer peripheral surface of the drum 2 is a cylindrical surface having air permeability as a whole, and a negative pressure is applied to the outer peripheral surface of the drum 2 by bringing the inside of the drum 2 into a vacuum state through a vacuum pipe passage (not shown). be able to. Further, by setting the inside of the drum 2 to atmospheric pressure or higher atmospheric pressure, the negative pressure can be released or the positive pressure can be obtained. As a result, the carrier film 1 of the ceramic green sheet 11 with the carrier film is formed on the outer peripheral surface of the drum 2.
3 can be adsorbed or the adsorption can be released. In the illustrated embodiment, only one side of the drum 2 is rotatably supported by the bearing 8. However, it is also possible to erected two guide rails 4 in parallel so that the drum 2 is rotatably supported from both ends thereof. Is.
【００２０】次ぎに、この装置を用いた本発明によるセ
ラミックグリーンシート１４の積層方法について説明す
る。例えば、積層セラミックコンデンサを製造するた
め、セラミックグリーンシート１４の積層体を作る場
合、まず誘電体セラミック粉末を有機バインダーに分散
させたセラミックスラリーを、ドクターブレード法等の
既知の塗工法により、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルム等からなる長尺なキャリアフィルム１３上に均一な
厚みで薄く塗布し、キャリアフィルム付セラミックグリ
ーンシート１１を作る。図４（ａ）は、このキャリアフ
ィルム付セラミックグリーンシート１１を示している。Next, a method of laminating the ceramic green sheets 14 according to the present invention using this apparatus will be described. For example, in the case of making a laminated body of ceramic green sheets 14 in order to manufacture a laminated ceramic capacitor, first, a ceramic slurry in which a dielectric ceramic powder is dispersed in an organic binder is prepared by a known coating method such as a doctor blade method and polyethylene terephthalate. A ceramic green sheet 11 with a carrier film is produced by thinly applying it with a uniform thickness on a long carrier film 13 made of a film or the like. FIG. 4A shows this ceramic green sheet 11 with a carrier film.
【００２１】次に、このキャリアフィルム付セラミック
グリーンシート１４を所定の矩形状に打ち抜く。このと
き同時に、四角に位置決孔１５を穿孔する。図４（ｂ）
は、同図（ａ）で示すような長尺なキャリアフィルム付
セラミックグリーンシート１１から矩形状に打ち抜いた
キャリアフィルム付セラミックグリーンシート１１を示
す。次に、こうして打ち抜いたキャリアフィルム付セラ
ミックグリーンシート１１のセラミックグリーンシート
１４の表面に、スクリーン印刷法等により、導電ペース
トで内部電極パターン１６を印刷する。次に、この内部
電極パターン１６が印刷されたキャリアフィルム付セラ
ミックグリーンシート１１を、セラミックグリーンシー
ト１４側を下にして図３に示すような積層台６の上に載
せる。このとき、前記位置決孔１５を基準として搭載位
置の位置決めをする。Next, the ceramic green sheet 14 with a carrier film is punched into a predetermined rectangular shape. At this time, at the same time, the positioning holes 15 are punched in a square shape. Figure 4 (b)
Shows a ceramic green sheet 11 with a carrier film punched in a rectangular shape from a long ceramic green sheet 11 with a carrier film as shown in FIG. Next, the internal electrode pattern 16 is printed with a conductive paste on the surface of the ceramic green sheet 14 of the ceramic green sheet 11 with a carrier film thus punched by a screen printing method or the like. Next, the ceramic green sheet 11 with a carrier film on which the internal electrode patterns 16 are printed is placed on the stacking table 6 as shown in FIG. 3 with the ceramic green sheet 14 side facing down. At this time, the mounting position is positioned with the positioning hole 15 as a reference.
【００２２】次に、この積層台６上において、キャリア
フィルム付セラミックグリーンシート１１からキャリア
フィルム１３が剥離される。図１は、最も上のセラミッ
クグリーンシート１４からそのキャリアフィルム１３を
剥離する状態を示しており、図２は、さらに図１におい
て最も上のセラミックグリーンシート１４の上に重ねら
れたセラミックグリーンシート１４からキャリアフィル
ム１３を剥離する状態を示している。Next, the carrier film 13 is peeled off from the ceramic green sheet 11 with the carrier film on the stacking table 6. 1 shows a state in which the carrier film 13 is peeled from the uppermost ceramic green sheet 14, and FIG. 2 further shows the ceramic green sheet 14 stacked on the uppermost ceramic green sheet 14 in FIG. It shows a state in which the carrier film 13 is peeled from.
【００２３】まず、図１（ａ）に示すように、ドラム２
の外周面の最も低い部分がキャリアフィルム１３の端縁
部の真上に位置するようにスライダー１が移動し、上下
動機構７によりドラム２が下降される。これにより、ド
ラム２の外周面がキャリアフィルム１３の端縁部に当た
る。ここで、ドラム２の外周面が負圧とされ、キャリア
フィルム１３の端縁部が同外周面に吸着される。続い
て、ドラム２が矢印で示す方向に回転すると共に、スラ
イダー１が矢印で示す方向にドラム２の外周面の周速と
同じ速度で移動する。これにより、図１（ｂ）で示され
たように、ドラム２はキャリアフィルム１３上を転がり
ながら回転し、キャリアフィルム１３を巻き込んだドラ
ム２の周面がセラミックグリーンシートを擦らない。そ
して、ドラム２は、その外周面が常にキャリアフィルム
１３の表面に上から接触した状態で回転しながら矢印方
向に移動する。このため、積層されたセラミックグリー
ンシート１４が浮き上がらないように上から押えなが
ら、平坦な吸着面３に吸着したキャリアフィルム１３を
一方の端縁部から他方の端縁部に向かってセラミックグ
リーンシート１４から剥していく。First, as shown in FIG. 1A, the drum 2
The slider 1 is moved so that the lowest portion of the outer peripheral surface of the carrier film 13 is located right above the edge of the carrier film 13, and the vertical movement mechanism 7 moves the drum 2 downward. As a result, the outer peripheral surface of the drum 2 contacts the edge portion of the carrier film 13. Here, the outer peripheral surface of the drum 2 is made negative pressure, and the edge portion of the carrier film 13 is adsorbed to the outer peripheral surface. Subsequently, the drum 2 rotates in the direction indicated by the arrow, and the slider 1 moves in the direction indicated by the arrow at the same speed as the peripheral speed of the outer peripheral surface of the drum 2. As a result, as shown in FIG. 1B, the drum 2 rotates while rolling on the carrier film 13, and the peripheral surface of the drum 2 in which the carrier film 13 is wound does not rub the ceramic green sheet. Then, the drum 2 moves in the direction of the arrow while rotating while the outer peripheral surface thereof is always in contact with the surface of the carrier film 13 from above. Therefore, while holding the laminated ceramic green sheets 14 from above so as not to float, the carrier film 13 adsorbed on the flat adsorption surface 3 is pushed from one edge portion to the other edge portion of the ceramic green sheet 14. Peel it off.
【００２４】セラミックグリーンシート１４からキャリ
アフィルム１３が完全に剥された後、ドラム２の吸着面
３の負圧が解除され、剥したキャリアフィルム１３がド
ラム２から離れ、廃棄される。次に、キャリアフィルム
１３が剥離されたセラミックグリーンシート１４の上
に、別のキャリアフィルム付セラミックグリーンシート
１１が載せられる。このキャリアフィルム付セラミック
グリーンシート１１は、セラミックグリーンシート１４
側を下にして載せられ、これによりセラミックグリーン
シート１４同士が重ね合わせられる。After the carrier film 13 is completely peeled off from the ceramic green sheet 14, the negative pressure on the suction surface 3 of the drum 2 is released, and the peeled carrier film 13 is separated from the drum 2 and discarded. Next, another ceramic green sheet 11 with a carrier film is placed on the ceramic green sheet 14 from which the carrier film 13 is peeled off. This ceramic green sheet 11 with a carrier film is a ceramic green sheet 14
The ceramic green sheets 14 are placed side down, and the ceramic green sheets 14 are superposed on each other.
【００２５】その後、図２（ａ）に示すように、ドラム
２の外周面の最も低い部分がキャリアフィルム１３の前
記とは反対側の端縁部の真上に位置するようにスライダ
ー１が移動し、上下動機構７によりドラム２が下降され
る。これにより、ドラム２の外周面がキャリアフィルム
１３の端縁部に当たる。ここで、ドラム２の外周面が負
圧とされ、キャリアフィルム１３の端縁部が同外周面に
吸着される。After that, as shown in FIG. 2A, the slider 1 is moved so that the lowest portion of the outer peripheral surface of the drum 2 is located right above the edge of the carrier film 13 on the opposite side. Then, the drum 2 is lowered by the vertical movement mechanism 7. As a result, the outer peripheral surface of the drum 2 contacts the edge portion of the carrier film 13. Here, the outer peripheral surface of the drum 2 is made negative pressure, and the edge portion of the carrier film 13 is adsorbed to the outer peripheral surface.
【００２６】続いて、ドラム２が矢印で示す方向、すな
わち前回とは逆方向に回転すると共に、スライダー１が
矢印で示す方向、すなわち前回とは逆方向にドラム２の
周速と同じ速度で移動する。これにより、図２（ｂ）で
示されたように、ドラム２は、その外周面が常にキャリ
アフィルム１３の表面に上から接触した状態で回転しな
がら矢印方向に移動する。このため、前回と同様に、キ
ャリアフィルム１３のみを一方の端縁部から他方の端縁
部に向かってセラミックグリーンシート１４から剥して
いく。その剥離していく方向は、前回とは逆である。Subsequently, the drum 2 rotates in the direction indicated by the arrow, that is, in the direction opposite to the previous one, and the slider 1 moves in the direction indicated by the arrow, that is, in the opposite direction, the same as the peripheral speed of the drum 2. To do. As a result, as shown in FIG. 2B, the drum 2 moves in the direction of the arrow while rotating with the outer peripheral surface thereof constantly contacting the surface of the carrier film 13 from above. Therefore, similarly to the previous time, only the carrier film 13 is peeled from the ceramic green sheet 14 from one edge portion toward the other edge portion. The direction of peeling is opposite to that of the previous time.
【００２７】こうしてキャリアフィルム１３を剥した
後、ドラム２の吸着面３の負圧が解除され、剥したキャ
リアフィルム１３がドラム２から離れ、廃棄される。以
下、これを繰り返すことにより、セラミックグリーンシ
ート１４が積層される。図４（ｄ）は、こうして得られ
たセラミックグリーンシート１４の積層体１７を示す。
なお、前述の実施例では、積層セラミックコンデンサー
の積層体を得るための積層体を作る工程を中心に述べた
が、多層印刷配線基板や積層セラミックインダクター等
を得るための積層体を作る工程について前記の工程をそ
のまま実施することができるのはもちろんである。After peeling the carrier film 13 in this way, the negative pressure on the suction surface 3 of the drum 2 is released, and the peeled carrier film 13 is separated from the drum 2 and discarded. Hereinafter, by repeating this, the ceramic green sheets 14 are laminated. FIG. 4D shows the laminated body 17 of the ceramic green sheets 14 thus obtained.
In the above-mentioned embodiment, the process of making a laminated body for obtaining a laminated body of a laminated ceramic capacitor was mainly described, but about the process of making a laminated body for obtaining a multilayer printed wiring board, a laminated ceramic inductor, etc. Of course, the above steps can be carried out as they are.
【００２８】次に、図７と図８の実施例について説明す
ると、この実施例では、ドラム２として、その外周面の
一部縦方向に平坦となった平坦面３を有するものを使用
している。また、このドラム２は、その全外周面が負圧
とされるのではなく、前記平坦面３のみが負圧とされ
る。この実施例では、図７（ａ）に示すように、前記平
坦面３を積層体６上のキャリアフィルム１４の端縁部に
当て、この状態で同平坦面３を負圧として、そこにキャ
リアフィルム１３の端縁部を吸引保持する。その後上下
動機構７によりドラム２を僅かに上昇させ、続いて、矢
印で示すように、ドラム２を図７において右方向に移動
させながら、矢印で示す方向に回転させる。これによっ
て、図７（ｂ）で示すように、キャリアフィルム１３が
ドラム２の外周面に巻き込まれながら、セラミックグリ
ーンシート１４から剥離されていく。Next, the embodiment shown in FIGS. 7 and 8 will be described. In this embodiment, as the drum 2, a drum 2 having a flat surface 3 which is partially flat in the longitudinal direction is used. There is. In addition, the entire outer peripheral surface of the drum 2 is not negatively pressured, but only the flat surface 3 is negatively pressured. In this embodiment, as shown in FIG. 7A, the flat surface 3 is applied to the edge of the carrier film 14 on the laminate 6, and in this state, the flat surface 3 is applied with a negative pressure, and the carrier is applied thereto. The edge portion of the film 13 is suction-held. Thereafter, the vertical movement mechanism 7 raises the drum 2 slightly, and subsequently, as indicated by the arrow, while rotating the drum 2 in the right direction in FIG. 7, the drum 2 is rotated in the direction indicated by the arrow. As a result, as shown in FIG. 7B, the carrier film 13 is separated from the ceramic green sheet 14 while being wound around the outer peripheral surface of the drum 2.
【００２９】さらに、その上に載せられた次のキャリア
フィルム付セラミックグリーンシート１１については、
図７と反対方向にドラム２を移動させながらキャリアフ
ィルム１３をセラミックグリーンシート１４から剥離し
ていくのは、前述の実施例と全く同様である。次に、具
体的数値等をあげながら、本発明の具体例とその比較例
について説明する。Further, regarding the following ceramic green sheet 11 with a carrier film mounted thereon,
The carrier film 13 is separated from the ceramic green sheet 14 while moving the drum 2 in the direction opposite to that shown in FIG. Next, specific examples of the present invention and comparative examples thereof will be described by giving specific numerical values and the like.
【００３０】（実施例）誘電体セラミック粉末を、同粉
末に対して９重量％のポリビニルブチラールに分散した
セラミックスラリーを用い、これをポリエチレンテレフ
タレートからなるキャリアフィルム上に塗布し、厚さ５
０μｍのセラミックグリーンシート１４を有するキャリ
アフィルム付セラミックグリーンシート１１を得た。こ
のキャリアフィルム付セラミックグリーンシート１１を
縦１０５ｍｍ、横８０ｍｍの矩形に打ち抜いた。(Example) A ceramic slurry in which 9 wt% of polyvinyl butyral was dispersed in a dielectric ceramic powder was applied onto a carrier film made of polyethylene terephthalate, and a thickness of 5 was obtained.
A ceramic green sheet 11 with a carrier film having a ceramic green sheet 14 of 0 μm was obtained. This ceramic green sheet with carrier film 11 was punched into a rectangle having a length of 105 mm and a width of 80 mm.
【００３１】次に、打ち抜いたキャリアフィルム付セラ
ミックグリーンシート１１のセラミックグリーンシート
１４の表面に、図５に示すようなパターンでＰｄペース
トを印刷し、乾燥した。この乾燥した状態において、キ
ャリアフィルム上の印刷済みセラミックグリーンシート
１４の厚さは、５０μｍであった。セラミックグリーン
シート１４側を下にして、このキャリアフィルム付セラ
ミックグリーンシート１１を加湿した積層台６の上に載
せ、吸着、保持した。その後、キャリアフィルム１３の
上からセラミックグリーンシート１４を２００Ｋｇ／ｃ
ｍ2 の圧力で加圧した後、前述の図１に示す方法でキャ
リアフィルム１３を剥離した。Next, a Pd paste was printed on the surface of the ceramic green sheet 14 of the punched ceramic green sheet 11 with a carrier film in a pattern as shown in FIG. 5 and dried. In this dried state, the thickness of the printed ceramic green sheet 14 on the carrier film was 50 μm. The ceramic green sheet 14 side was faced down, and the ceramic green sheet 11 with a carrier film was placed on the humidified pedestal 6 and adsorbed and held. Then, the ceramic green sheet 14 is put on the carrier film 13 at 200 kg / c.
After applying a pressure of m 2 , the carrier film 13 was peeled off by the method shown in FIG.
【００３２】その後、セラミックグリーンシート１４側
を下にして、別のキャリアフィルム付セラミックグリー
ンシート１１を前記セラミックグリーンシート１３の上
に載せた後、キャリアフィルム１３の上からセラミック
グリーンシート１４を２００Ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で加圧
した後、前述の図２に示す方法、すなわち前回とは逆方
向にドラム２を移動させながらキャリアフィルム１３を
剥離した。以下、これを５回繰り返し、セラミックグリ
ーンシート１４を１０枚積層し、図６に示すような積層
体を得た。Then, another ceramic green sheet 11 with a carrier film is placed on the ceramic green sheet 13 with the ceramic green sheet 14 side down, and then 200 kg / ceramic of the ceramic green sheet 14 is placed on the carrier film 13. After pressurizing with a pressure of cm 2, the carrier film 13 was peeled off by the method shown in FIG. 2, that is, the drum 2 was moved in the direction opposite to the previous direction. Hereinafter, this was repeated 5 times to laminate 10 ceramic green sheets 14 to obtain a laminate as shown in FIG.
【００３３】この積層体１７を、図５において各々ａ〜
ｅのように、内部電極パターン１６の配列に沿って切断
した。図６に示すように、切断面に露出した電極パター
ン１６を両側の２組に分け、その外側の距離Ｌ1、Ｌ2を
各々前記ａ〜ｅの切断面ごと測定した。この結果を、表
１に、またその平均と偏差を表２に示す。なお、距離Ｌ
1、Ｌ2の設計値は、何れも４０．１０ｍｍである。Each of the laminated bodies 17 in FIG.
As indicated by e, it was cut along the arrangement of the internal electrode patterns 16. As shown in FIG. 6, the electrode pattern 16 exposed on the cut surface was divided into two sets on both sides, and the outer distances L 1 and L 2 were measured for each of the cut surfaces a to e. The results are shown in Table 1, and the average and deviation thereof are shown in Table 2. Note that the distance L
The design values of 1 and L 2 are both 40.10 mm.
【００３４】（比較例）前記実施例において、ドラム２
の移動方向を図１に示す方向のみに限定し、キャリアフ
ィルム付セラミックグリーンシート１１からのキャリア
フィルム１３の剥離を行った以外は、前記実施例と同様
にしてセラミックグリーンシートの積層体１７を得た。
そして、前記実施例と同様にして、積層体１７を切断
し、切断面における内部電極パターンの前記距離Ｌ1、
Ｌ2を各々前記ａ〜ｅの切断面ごと測定した。この結果
を、表１に、またその平均と偏差を表２に示す。表１及
び表２から明かな通り、前記実施例では、比較例に比べ
て距離Ｌ1、Ｌ2の設計値との差が何れも小さく、また切
断位置ごとのばらつきも小さいことが分かる。すなわ
ち、積層体全体のセラミックグリーンシートの変形が小
さいことを示している。(Comparative Example) In the above embodiment, the drum 2 is used.
1 is limited to the direction shown in FIG. 1, and the carrier film 13 is peeled from the ceramic green sheet 11 with a carrier film. It was
Then, the laminate 17 is cut in the same manner as in the above embodiment, and the distance L 1 of the internal electrode pattern on the cut surface is
L 2 was measured for each of the cut surfaces a to e. The results are shown in Table 1, and the average and deviation thereof are shown in Table 2. As is clear from Table 1 and Table 2, in the above-described example, the difference between the design values of the distances L 1 and L 2 is smaller than that in the comparative example, and the variation between cutting positions is also small. That is, it shows that the ceramic green sheet of the entire laminated body is little deformed.
【００３５】[0035]
【表１】 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 距離Ｌ1（ｍｍ） 距離Ｌ2（ｍｍ） 切断位置 ａ ｂ ｃ ｄ ｅ ａ ｂ ｃ ｄ ｅ ─────────────────────────────────── 実施例 40.13 40.16 40.09 40.09 40.11 40.12 40.08 40.16 40.15 40.10 比較例 40.13 40.12 40.19 40.15 40.10 40.28 40.26 40.29 40.21 40.33 ───────────────────────────────────[Table 1] ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ Distance L 1 (mm) Distance L 2 (mm ) Cutting position a b c d e a b c d d e ──────────────────────────────────── Example 40.13 40.16 40.09 40.09 40.11 40.12 40.08 40.16 40.15 40.10 Comparative Example 40.13 40.12 40.19 40.15 40.10 40.28 40.26 40.29 40.21 40.33 ──────────────────────────── ───────
【００３６】[0036]
【表２】 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 切断位置ａ〜ｅの距離Ｌ1、Ｌ2の平均（ｍｍ） 偏差 ──────────────────────────── 実施例 40.10 0.028 比較例 40.33 0.077 ──────────────────────────── [Table 2] ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ The average (mm) deviation of the distances L 1 and L 2 between the cutting positions a to e ──────────────────────────── Example 40.10 0.028 Comparative example 40.33 0.077 ────────────── ──────────────
【００３７】[0037]
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、キ
ャリアフィルム付セラミックグリーンシート１１を積層
台６上に積層しながらキャリアフィルム１３を剥離して
いくに当り、剥離時のセラミックグリーンシート１３の
変形が小さく、従って内部電極パターン１６のずれの小
さな積層体が得られる。As described above, according to the present invention, when the carrier film 13 is peeled while the ceramic green sheet 11 with a carrier film is laminated on the laminating stand 6, the ceramic green sheet 13 at the time of peeling is peeled off. Of the internal electrode pattern 16 is small, so that a laminate having a small displacement of the internal electrode pattern 16 can be obtained.
【図１】本発明の実施例によるセラミックグリーンシー
トの積層方法のキャリアフィルムの剥離工程を示す側面
図である。FIG. 1 is a side view showing a peeling process of a carrier film in a ceramic green sheet laminating method according to an embodiment of the present invention.
【図２】同実施例によるセラミックグリーンシートの積
層方法の別のキャリアフィルムの剥離工程を示す側面図
である。FIG. 2 is a side view showing another carrier film peeling step of the ceramic green sheet laminating method according to the embodiment.
【図３】同実施例によるセラミックグリーンシートの積
層方法に使用する装置を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing an apparatus used in the method for laminating ceramic green sheets according to the embodiment.
【図４】同実施例によるセラミックグリーンシートの積
層方法の各工程ごとのワークの状態を示す説明図であ
る。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a state of a work in each step of the method for laminating ceramic green sheets according to the embodiment.
【図５】本発明の具体的実施例におけるセラミックグリ
ーンシートの内部電極パターンを示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing an internal electrode pattern of a ceramic green sheet according to a specific example of the present invention.
【図６】同具体的実施例により得られた積層体を示す側
面図である。FIG. 6 is a side view showing a laminated body obtained by the same specific example.
【図７】本発明の他の実施例によるセラミックグリーン
シートの積層方法のキャリアフィルムの剥離工程を示す
側面図である。FIG. 7 is a side view showing a carrier film peeling process of a ceramic green sheet laminating method according to another embodiment of the present invention.
【図８】同実施例によるセラミックグリーンシートの積
層方法に使用する装置を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing an apparatus used in the method for laminating ceramic green sheets according to the embodiment.
１ スライダー ２ ドラム ３ ドラムの吸着面 ４ ガイドレール ７ 上下動機構 ８ ベアリング ９ リニア駆動モーター １０ ドラム回転用のモーター １１ キャリアフィルム付セラミックグリーンシート １３ キャリアフィルム １４ セラミックグリーンシート １６ 内部電極パターン １７ 積層体 1 Slider 2 Drum 3 Drum suction surface 4 Guide rail 7 Vertical movement mechanism 8 Bearing 9 Linear drive motor 10 Motor for drum rotation 11 Ceramic green sheet with carrier film 13 Carrier film 14 Ceramic green sheet 16 Internal electrode pattern 17 Laminated body
Claims (6)
積層台（６）上にキャリアフィルム付セラミックグリー
ンシート（１１）を載せた後、上側のキャリアフィルム
（１３）をセラミックグリーンシート（１４）から剥離
し、次にこのセラミックグリーンシート（１４）の上に
同様にしてキャリアフィルム付セラミックグリーンシー
ト（１１）を載せた後、同様にしてそのキャリアフィル
ム（１３）を剥離し、以下これを適当な回数繰り返し
て、積層台（６）上にセラミックグリーンシート（１
１）を積層する方法において、円筒面状の外周面が負圧
とされるドラム（２）を用い、このドラム（２）の外周
面を負圧として、そこにセラミックグリーンシート（１
４）上のキャリアフィルム（１３）の端縁部を吸着し、
その後ドラム（２）をキャリアフィルム（１３）の他方
の端縁部に向かって移動させると共に、回転させるなが
ら、キャリアフィルム（１３）を剥離することを、ドラ
ム（２）の移動方向を交互に変えながら順次行うことを
特徴とするセラミックグリーンシートの積層方法。1. A ceramic green sheet (11) with a carrier film is placed on a stacking stand (6) with the carrier film (13) facing upward, and then the upper carrier film (13) is removed from the ceramic green sheet (14). After peeling and then placing the ceramic green sheet (11) with a carrier film on the ceramic green sheet (14) in the same manner, the carrier film (13) is peeled off in the same manner. Repeat the number of times until the ceramic green sheet (1
In the method of laminating 1), a drum (2) whose cylindrical outer peripheral surface has a negative pressure is used, and the outer peripheral surface of the drum (2) has a negative pressure, and the ceramic green sheet (1
4) Adsorb the edge of the upper carrier film (13),
After that, the drum (2) is moved toward the other end edge of the carrier film (13), and peeling the carrier film (13) while rotating is performed by alternately changing the moving direction of the drum (2). A method for laminating ceramic green sheets, which is characterized in that the steps are sequentially carried out.
筒面状となっていることを特徴とする請求項１に記載の
セラミックグリーンシートの積層方法。2. The method for laminating ceramic green sheets according to claim 1, wherein the outer peripheral surface of the drum (2) has a cylindrical surface on the entire surface.
に平坦面（３）を有し、この平坦面（３）にキャリアフ
ィルム（１３）の端縁部を吸着することを特徴とする請
求項１に記載のセラミックグリーンシートの積層方法。3. An outer peripheral surface of the drum (2) has a flat surface (3) in a part of the longitudinal direction, and the flat surface (3) adsorbs an edge portion of the carrier film (13). The method for laminating a ceramic green sheet according to claim 1.
とされることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載
のセラミックグリーンシートの積層方法。4. The method for laminating a ceramic green sheet according to claim 1, wherein the entire outer peripheral surface of the drum (2) is negatively pressured.
負圧とされることを特徴とする請求項３に記載のセラミ
ックグリーンシートの積層方法。5. The method for laminating ceramic green sheets according to claim 3, wherein only the flat surface (3) of the drum (2) is negatively pressured.
周速と、同ドラム（２）のセラミックグリーンシート
（１４）の表面に沿う移動速度とを互いに等しくするこ
とを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載のセラミッ
クグリーンシートの積層方法。6. The peripheral speed of the outer peripheral surface due to the rotation of the drum (2) and the moving speed along the surface of the ceramic green sheet (14) of the drum (2) are made equal to each other. A method for laminating a ceramic green sheet according to any one of 1 to 5.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8180495A JPH08244019A (en) | 1995-03-13 | 1995-03-13 | Lamination of ceramic green sheet |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8180495A JPH08244019A (en) | 1995-03-13 | 1995-03-13 | Lamination of ceramic green sheet |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08244019A true JPH08244019A (en) | 1996-09-24 |
Family
ID=13756684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8180495A Withdrawn JPH08244019A (en) | 1995-03-13 | 1995-03-13 | Lamination of ceramic green sheet |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08244019A (en) |
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1995
- 1995-03-13 JP JP8180495A patent/JPH08244019A/en not_active Withdrawn
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