JPH1071611A - Method of and apparatus for laminating ceramic green sheets - Google Patents

Method of and apparatus for laminating ceramic green sheets

Info

Publication number
JPH1071611A
JPH1071611A JP8248931A JP24893196A JPH1071611A JP H1071611 A JPH1071611 A JP H1071611A JP 8248931 A JP8248931 A JP 8248931A JP 24893196 A JP24893196 A JP 24893196A JP H1071611 A JPH1071611 A JP H1071611A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic green
green sheet
green sheets
laminating
cut
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8248931A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Naoyuki Ishizaka
尚之 石坂
Yoshiji Sekiguchi
義二 関口
Yoshiaki Koike
義明 小池
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Taiyo Yuden Co Ltd filed Critical Taiyo Yuden Co Ltd
Priority to JP8248931A priority Critical patent/JPH1071611A/en
Publication of JPH1071611A publication Critical patent/JPH1071611A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28BSHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS; SHAPING SLAG; SHAPING MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
    • B28B11/00Apparatus or processes for treating or working the shaped or preshaped articles
    • B28B11/14Apparatus or processes for treating or working the shaped or preshaped articles for dividing shaped articles by cutting
    • B28B11/16Apparatus or processes for treating or working the shaped or preshaped articles for dividing shaped articles by cutting for extrusion or for materials supplied in long webs
    • B28B11/168Apparatus or processes for treating or working the shaped or preshaped articles for dividing shaped articles by cutting for extrusion or for materials supplied in long webs in which the material is cut-out from a strand or web by means of a frame-shaped knife

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Press-Shaping Or Shaping Using Conveyers (AREA)
  • Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To laminate ceramic green sheets in a shortened time and with a high precision even if there are many layers of ceramic green sheets to be laminated, and to perform lamination in a simplified manner and under an optimum laminating condition even if a ceramic green sheet laminated product comprises different materials such as a dielectric ceramic green sheet and a magnet ceramic green sheet. SOLUTION: An apparatus for laminating ceramic green sheets comprises a plurality of cutters 11 capable of cutting an elongate ceramic green sheet (a) into smaller pieces each having a predetermined shape and capable of stacking the smaller ceramic green sheets (a) one above the other and the moving them; a ceramic green sheet supply means capable of supplying an elongate ceramic green sheet (a) to be cut in the above cutters; a press machine 23 capable of receiving a pile of smaller ceramic green sheets (a) cut by the above cutters and stacked in a desired manner and capable of pressing the pile of smaller ceramic green sheets (a) in a laminating direction.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】本発明は、一部に電極パターンを有するセ
ラミックグリーンシートを積層して、積層セラミックコ
ンデンサーや積層セラミックインダクター等の電子部品
を製造するに当り、セラミックグリーンシートを裁断
し、積層し、圧着する方法と装置に関する。
The present invention provides a method for manufacturing electronic components such as multilayer ceramic capacitors and multilayer ceramic inductors by laminating ceramic green sheets partially having electrode patterns, cutting and laminating the ceramic green sheets. The present invention relates to a method and an apparatus for crimping.

【0002】[0002]

【従来の技術】積層電子部品の最も代表的な例である積
層セラミックコンデンサは、内部電極を有する誘電体か
らなるセラミック層が多数層に積層され、この積層体の
互いに対向する端面に内部電極が交互に引き出されてい
る。そして、これらの内部電極が引き出された積層体の
端面に外部電極が形成され、この外部電極が各々前記内
部電極に接続されている。
2. Description of the Related Art A multilayer ceramic capacitor, which is the most typical example of a multilayer electronic component, has a multi-layered ceramic layer made of a dielectric material having internal electrodes, and has internal electrodes on opposite end faces of the multilayer body. It is drawn out alternately. External electrodes are formed on the end surfaces of the stacked body from which the internal electrodes are drawn out, and the external electrodes are connected to the internal electrodes.

【0003】このような積層セラミックコンデンサの前
記積層体3は、例えば、図5示すような層構造を有す
る。すなわち、内部電極5、6を有する誘電体からなる
セラミック層7、7…が図5に示す順序に積層され、さ
らにその両側に内部電極5、6が形成されてないセラミ
ック層7、7…が各々複数層積み重ねられる。そして、
このような層構造を有する積層体3の端面には、内部電
極5、6が露出しており、この積層体3の端部に前記の
外部電極が形成される。
The multilayer body 3 of such a multilayer ceramic capacitor has, for example, a layer structure as shown in FIG. Are laminated in the order shown in FIG. 5, and the ceramic layers 7, 7,... On which the internal electrodes 5, 6 are not formed on both sides thereof are arranged. Each is stacked in multiple layers. And
The internal electrodes 5 and 6 are exposed on the end surfaces of the laminate 3 having such a layer structure, and the above-mentioned external electrodes are formed at the end of the laminate 3.

【0004】このような積層電子部品は、通常図5に示
すような部品1個単位が個々に製造される訳ではなく、
実際は次に示すような製造方法がとられる。まず微細化
したセラミック粉末と有機バインダーとを混練してスラ
リーを作り、これをドクターブレード法によってポリエ
チレンテレフタレートフィルム等からなるキャリアフィ
ルム上に薄く展開し、乾燥し、セラミックグリーンシー
トを作る。次に、このセラミックグリーンシートを支持
フィルムの上に載ったままカッティングヘッドで所望の
大きさに切断し、その片面にスクリーン印刷法によって
導電ペーストを印刷し、乾燥する。これにより、図6で
示すように、縦横に複数組分の内部電極パターン2a、
2bが配列されたセラミックグリーンシート1a、1b
が得られる。
[0004] Such a laminated electronic component is not usually manufactured individually as one component as shown in FIG.
In practice, the following manufacturing method is employed. First, a finely divided ceramic powder and an organic binder are kneaded to form a slurry, which is thinly spread on a carrier film made of a polyethylene terephthalate film or the like by a doctor blade method and dried to form a ceramic green sheet. Next, the ceramic green sheet is cut into a desired size with a cutting head while being placed on the support film, and a conductive paste is printed on one surface thereof by a screen printing method and dried. Thereby, as shown in FIG. 6, a plurality of sets of internal electrode patterns 2a,
Ceramic green sheets 1a and 1b on which 2b are arranged
Is obtained.

【0005】次に、図6に示すように、前記内部電極パ
ターン2a、2bを有する複数枚のセラミックグリーン
シート1a、1bを積層し、さらに、内部電極パターン
2a、2bを有しない何枚かのセラミックグリーンシー
ト1、1を上下に積み重ね、さらにこれらを圧着し、積
層体を作る。ここで、前記セラミックグリーンシート1
a、1bは、内部電極パターン2a、2bが長手方向に
半分の長さ分だけずれたもの1a、1bを交互に積み重
ねる。その後、この積層体を所望のサイズに切断して、
積層生チップを製作し、この生チップを焼成する。こう
して図5に示すような層構造を有する積層体が得られ
る。次に、この焼成済みの積層体3の両端に導電ペース
トを塗布し、焼付けることにより、両端に外部電極2、
2が形成された積層電子部品である積層セラミックコン
デンサが完成する。
Next, as shown in FIG. 6, a plurality of ceramic green sheets 1a and 1b having the internal electrode patterns 2a and 2b are laminated, and some ceramic green sheets 1a and 1b having no internal electrode patterns 2a and 2b are stacked. The ceramic green sheets 1 and 1 are stacked one on top of the other, and they are pressed together to form a laminate. Here, the ceramic green sheet 1
As for a and 1b, those 1a and 1b in which the internal electrode patterns 2a and 2b are shifted by a half length in the longitudinal direction are alternately stacked. Then, this laminate is cut into a desired size,
A laminated green chip is manufactured, and the green chip is fired. Thus, a laminate having a layer structure as shown in FIG. 5 is obtained. Next, a conductive paste is applied to both ends of the fired laminate 3 and baked, so that the external electrodes 2
Thus, a multilayer ceramic capacitor, which is a multilayer electronic component on which the composite 2 is formed, is completed.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】近年、このような積層
電子部品について、高機能化が要求されるようになって
きている。例えば、積層セラミックコンデンサーの小型
化、大容量化、或は積層LC部品のような複合化等が進
められている。そのため、セラミックグリーンシートの
積層枚数の著しい増加や、誘電体セラミックグリーンシ
ートと磁性体セラミックグリーンシート等の異種材料か
らなるセラミックグリーンシートの積層が行なわれるよ
うになってきている。
In recent years, such multilayer electronic components have been required to have higher functions. For example, a multilayer ceramic capacitor has been reduced in size and capacity, or a composite such as a multilayer LC component has been developed. Therefore, the number of laminated ceramic green sheets has increased remarkably, and ceramic green sheets made of different materials such as dielectric ceramic green sheets and magnetic ceramic green sheets have been laminated.

【0007】セラミックグリーンシートに積層枚数が増
大すると、1層当りの積層精度の誤差が小さくても、こ
れが蓄積されて誤差が大きくなり、全体としての積層精
度が低下してしまう。さらに、セラミックグリーンシー
トの積層枚数が多くなることで、1つの積層体を作る工
程に多くの時間がかかるようにもなる。また、誘電体セ
ラミックグリーンシートと磁性体セラミックグリーンシ
ートの積層のような異種材料からなるセラミックグリー
ンシートの積層の場合、各々のセラミックグリーンシー
トの密度や伸び等の性質が違うため、積層時の加熱温度
や加圧圧力等の条件を各々の材料に応じて最適に設定し
なおす必要がある。このため、積層工程に面倒な積層条
件の設定変えが必要となる。
When the number of laminated ceramic green sheets increases, even if the error in the lamination accuracy per layer is small, the error is accumulated and the error increases, and the overall lamination accuracy is reduced. Further, as the number of laminated ceramic green sheets increases, a lot of time is required for the process of forming one laminated body. In the case of laminating ceramic green sheets made of different materials, such as laminating a dielectric ceramic green sheet and a magnetic ceramic green sheet, since the properties such as density and elongation of each ceramic green sheet are different, heating during lamination is performed. It is necessary to optimally set conditions such as temperature and pressurizing pressure according to each material. Therefore, it is necessary to change the setting of the laminating conditions, which is troublesome in the laminating step.

【0008】本発明は、前記のようなセラミックグリー
ンシート積層工程における従来の課題に鑑み、セラミッ
クグリーンシートの積層枚数が多くても、短時間で且つ
精度よくセラミックグリーンシートの積層を可能とする
と共に、誘電体セラミックグリーンシートと磁性体セラ
ミックグリーンシートのような異種材料からなるセラミ
ックグリーンシートの積層においても、最適な積層条件
にて簡便に積層が行えるセラミックグリーンシート積層
方法と装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems in the ceramic green sheet laminating step, and enables the ceramic green sheets to be laminated in a short time and accurately even if the number of laminated ceramic green sheets is large. It is an object of the present invention to provide a ceramic green sheet laminating method and apparatus that can easily laminate under optimal laminating conditions even in laminating ceramic green sheets made of different materials such as dielectric ceramic green sheets and magnetic ceramic green sheets. Aim.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明では、前記の目的
を達成するため、長尺なセラミックグリーンシートaを
カッター11で所定の形状に裁断しながら、積層し、こ
れを積層方向に加圧して圧着するに当り、複数のカッタ
ー11で所定の形状に裁断しながら、積層し、これら積
層された複数組の積層体をさらに積み重ねて圧着するよ
うにした。これにより、多くの枚数のセラミックグリー
ンシートbを全体として短い時間で裁断し、積層するこ
とが出来るようにすると共に、各カッター11におい
て、積層条件を各々のセラミックグリーンシートの種類
等に合わせて各別に設定することが出来るようにした。
According to the present invention, in order to achieve the above object, a long ceramic green sheet a is laminated while being cut into a predetermined shape by a cutter 11, and this is pressed in the laminating direction. In press-fitting, the sheets were stacked while being cut by a plurality of cutters 11 into a predetermined shape, and a plurality of sets of the stacked bodies were further stacked and pressed. Thus, a large number of ceramic green sheets b can be cut and laminated in a short time as a whole, and the lamination conditions of each cutter 11 can be adjusted according to the type of each ceramic green sheet. It can be set separately.

【0010】すなわち、本発明によるセラミックグリー
ンシート積層方法は、長尺なセラミックグリーンシート
aを所定の形状に裁断すると共に、裁断されたセラミッ
クグリーンシートaを順次積み重ねる裁断積層工程と、
積層されたセラミックグリーンシートaをその積層方向
に加圧して圧着する圧着工程とを有し、前記裁断積層工
程が複数個所で同時に行なわれ、これら複数個所で積層
されたセラミックグリーンシートaが1個所の圧着工程
において加圧され、圧着されることを特徴とする。
That is, the method for laminating ceramic green sheets according to the present invention comprises the steps of: cutting a long ceramic green sheet a into a predetermined shape; and stacking the cut ceramic green sheets a sequentially.
A pressing step of pressing the laminated ceramic green sheets a in the laminating direction and press-bonding them, wherein the cutting and laminating step is performed simultaneously at a plurality of locations, and the ceramic green sheets a laminated at the plurality of locations are provided at one location. And pressurized in the pressing step.

【0011】さらに、本発明によるセラミックグリーン
シート積層装置は、長尺なセラミックグリーンシートa
を所定の形状に裁断すると共に、これらセラミックグリ
ーンシートaを積み重ね、搬送する複数のカッター11
と、これらカッター11に裁断すべき長尺なセラミック
グリーンシートaを供給するセラミックグリーンシート
の供給機構と、前記複数のカッター11により裁断さ
れ、積層されたセラミックグリーンシートaの供給を受
け、それらセラミックグリーンシートaを積層方向に加
圧するプレス機23とを有することを特徴とする。ここ
で、プレス機23は、加圧すべきセラミックグリーンシ
ートaの積層体を収納する下金型22を有する。
Further, the ceramic green sheet laminating apparatus according to the present invention provides a long ceramic green sheet a.
And a plurality of cutters 11 for stacking and transporting the ceramic green sheets a
A ceramic green sheet supply mechanism for supplying a long ceramic green sheet a to be cut to the cutters 11; and a supply of the stacked ceramic green sheets a cut and laminated by the plurality of cutters 11; And a press machine 23 for pressing the green sheet a in the laminating direction. Here, the press machine 23 has a lower mold 22 for storing a laminate of ceramic green sheets a to be pressed.

【0012】このような本発明によるセラミックグリー
ンシートの積層方法と装置では、複数個所の裁断積層工
程或は複数のカッター11により長尺なセラミックグリ
ーンシートaを所定の形状に裁断すると共に、積層し、
これらを1個所の圧着工程或は1つのプレス機23で加
圧し、圧着するため、時間がかかる裁断積層工程の時間
を全体として短縮することができる。これにより、多量
枚数のセラミックグリーンシートを全体として短時間に
裁断し、積層することができる。また、各々の裁断積層
工程或はカッター11では、比較的少ない枚数のセラミ
ックグリーンシートbを裁断し、積層すればよいので、
積層誤差の累積が小さく、全体として積層誤差を小さく
抑えることが出来る。
In the method and apparatus for laminating ceramic green sheets according to the present invention, a long ceramic green sheet a is cut into a predetermined shape by a plurality of cutting lamination steps or a plurality of cutters 11 and laminated. ,
Since these are pressurized and pressed by one press bonding step or one press machine 23, the time required for the time-consuming cutting and laminating step can be shortened as a whole. Thereby, a large number of ceramic green sheets can be cut and laminated as a whole in a short time. In each of the cutting and laminating steps or the cutter 11, a relatively small number of ceramic green sheets b may be cut and laminated, so that
The accumulation of the stacking errors is small, and the stacking errors can be suppressed as a whole.

【0013】さらに、各々の裁断積層工程或はカッター
11において、各々のセラミックグリーンシートの種類
に応じて独自に積層条件を設定することができるため、
裁断積層工程の最中に、積層条件の設定変えを行なう必
要も無くなる。従って、前記カッター11は、セラミッ
クグリーンシートaの積層時の積層条件を各々各別に調
整、設定可能であることが好ましい。前記の積層装置に
おいて、アンダーシート供給部29から下金型22の型
内にアンダーシートcを供給することもできる。このア
ンダーシートcは、その表面が粗面であったり、或はそ
の表面が粘着面であると、セラミックグリーンシートb
の圧着時の滑りを防止することができ、セラミックグリ
ーンシートbの延び等の圧着誤差を最小限に抑えること
ができる。
Furthermore, in each of the cutting and laminating steps or the cutter 11, the laminating conditions can be set independently according to the type of each ceramic green sheet.
During the cutting and laminating step, there is no need to change the lamination conditions. Therefore, it is preferable that the cutter 11 be capable of individually adjusting and setting the lamination conditions when laminating the ceramic green sheets a. In the above-described laminating apparatus, the undersheet c can be supplied from the undersheet supply unit 29 into the lower mold 22. If the undersheet c has a rough surface or an adhesive surface, the ceramic green sheet b
Can be prevented from slipping at the time of pressing, and a pressing error such as extension of the ceramic green sheet b can be minimized.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】次に、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態について具体的且つ詳細に説明する。図
1は、本発明によるセラミックグリーンシート積層装置
の例であって、長尺なセラミックグリーンシートaを所
定の形状に裁断し、積層する工程部分の側面図であり、
図2は、同積層装置の例の全体的なレイアウトを示して
いる。
Embodiments of the present invention will now be described specifically and in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is an example of a ceramic green sheet laminating apparatus according to the present invention, and is a side view of a process portion for cutting and laminating a long ceramic green sheet a into a predetermined shape,
FIG. 2 shows an overall layout of an example of the laminating apparatus.

【0015】セラミックグリーンシートaは、長尺なポ
リエチレンテレフタレートフィルム等のキャリアフィル
ム上にセラミックスラリーを所定の幅で均一な厚さに薄
く塗布し、乾燥した状態で形成されている。このような
キャリアフィルム上に形成された長尺なセラミックグリ
ーンシートaは、各々ロール16に巻かれ、このロール
16から繰り出されて供給される。
The ceramic green sheet a is formed by applying a thin ceramic slurry to a predetermined width and a uniform thickness on a long carrier film such as a long polyethylene terephthalate film and drying. Each of the long ceramic green sheets a formed on such a carrier film is wound around a roll 16 and fed out from the roll 16 and supplied.

【0016】長尺なセラミックグリーンシートaを巻い
たロール16は、図1及び図2において左右に2つ設け
られている。ここで、積層セラミックコンデンサーを製
造するためのセラミックグリーンシートの積層体を作る
場合を例とすると、図1及び図2において左側のロール
16から供給されるセラミックグリーンシートaには、
その上に所定の内部電極パターンが印刷され、図1及び
図2において右側のロール16から供給されるセラミッ
クグリーンシートaには、そのような内部電極パターン
は印刷されていない。
In FIG. 1 and FIG. 2, two rolls 16 around which a long ceramic green sheet a are wound are provided. Here, taking a case where a laminate of ceramic green sheets for producing a multilayer ceramic capacitor is taken as an example, a ceramic green sheet a supplied from a roll 16 on the left side in FIGS.
A predetermined internal electrode pattern is printed thereon, and such an internal electrode pattern is not printed on the ceramic green sheet a supplied from the right roll 16 in FIGS. 1 and 2.

【0017】ロール16から繰り出されたセラミックグ
リーンシートaは、ローラー18を含む送り機構によ
り、テンションを調整されながら、カッターベース17
上を通過するように送られる。この送りに際しては、カ
ッターベース14の下に設けられたセンサー19によ
り、キャリアフィルムの下面に設けた位置決めマークが
検知され、セラミックグリーンシートaの表面に印刷さ
れた内部電極パターンを基準としてセラミックグリーン
シートaが位置決めされながら搬送、停止される。
The ceramic green sheet a fed from the roll 16 is adjusted in tension by a feed mechanism including a roller 18 while the cutter base 17 is adjusted.
Sent over the top. At the time of this feeding, a positioning mark provided on the lower surface of the carrier film is detected by a sensor 19 provided below the cutter base 14, and the ceramic green sheet is printed on the basis of the internal electrode pattern printed on the surface of the ceramic green sheet a. The sheet is conveyed and stopped while a is positioned.

【0018】前記カッターベース17の上には、セラミ
ックグリーンシートaを所定の形状に裁断し、これをキ
ャリアフィルムから剥離して積層するカッター11が各
々設けられている。このカッター11は、下面に裁断し
たセラミックグリーンシートbを吸着し、保持する吸着
ヘッド12と、その吸着ヘッド12の周囲を囲むように
配置されたカッターブレード13とを有する。吸着ヘッ
ド12は、底壁に多数の吸引孔を設け、図示してない真
空源から空気を吸引することで底面を負圧とし、そこに
裁断したセラミックグリーンシートbを吸着し、保持す
る。この吸着ヘッド12は、エアシリンダー14により
上下動され、その内部には図示していないヒーターが内
蔵されている。カッターブレード13は、吸着ヘッド1
2を囲んでその4つの側面に配置され、エアシリンダー
15により上下動される。
On the cutter base 17, there are provided cutters 11 for cutting the ceramic green sheet a into a predetermined shape, peeling the cut green sheet from the carrier film and laminating it. The cutter 11 has a suction head 12 that sucks and holds the cut ceramic green sheet b on the lower surface, and a cutter blade 13 that is arranged so as to surround the periphery of the suction head 12. The suction head 12 has a large number of suction holes in the bottom wall, and suctions air from a vacuum source (not shown) to make the bottom surface a negative pressure, and sucks and holds the cut ceramic green sheet b. The suction head 12 is moved up and down by an air cylinder 14, and a heater (not shown) is built therein. The cutter blade 13 includes the suction head 1.
It is arranged on its four sides surrounding 2 and is moved up and down by an air cylinder 15.

【0019】このカッター11は、駆動部20によって
その全体が図1において左右及び前後方向、すなわちX
−Y方向に移動すると共に、水平方向にその角度を変え
ることができる。さらに、このカッター11の上には、
CCDカメラ等の撮像器21が各々配置され、これによ
ってカッターベース17上に搬送されてきたセラミック
グリーンシートaの電極パターン等が撮像され、画像処
理によりその位置が認識される。
The cutter 11 is entirely driven by a drive unit 20 in the horizontal and vertical directions in FIG.
While moving in the −Y direction, the angle can be changed in the horizontal direction. Furthermore, on this cutter 11,
An image pickup device 21 such as a CCD camera or the like is arranged, whereby the electrode pattern or the like of the ceramic green sheet a conveyed on the cutter base 17 is imaged, and its position is recognized by image processing.

【0020】前記ロール16からローラー18を含む送
り機構により、長尺なキャリアフィルム上に保持された
セラミックグリーンシートaがカッターベース17上に
搬送されてくる。そして、センサー19によりセラミッ
クグリーンシートaの位置が認識され、停止される。ま
た、前記の撮像器21により、内部電極パターンと共に
セラミックグリーンシートaに印刷されたマークが撮像
され、これを画像処理することにより、セラミックグリ
ーンシートa上の内部電極パターンの位置ずれなどが認
識される。
The ceramic green sheet a held on the long carrier film is conveyed onto the cutter base 17 by the feed mechanism including the roll 16 and the roller 18. Then, the position of the ceramic green sheet a is recognized by the sensor 19 and stopped. Further, the mark printed on the ceramic green sheet a together with the internal electrode pattern is picked up by the image pickup device 21, and image processing is performed on the mark to recognize the misalignment of the internal electrode pattern on the ceramic green sheet a. You.

【0021】このようにして認識された内部電極パター
ンのずれにより、前記カッター11のX−Y方向の位置
及び角度が調整され、内部電極パターンに対してカッタ
ー11による切断位置が決められる。これにより、セラ
ミックグリーンシートaの微細な蛇行送り等に伴う位置
ずれが補正される。その後、吸着ヘッド12が下降し、
その下面が負圧とされてセラミックグリーンシートaが
吸着され、保持される。次に、カッターブレード13が
下降され、その刃先でセラミックグリーンシートaが裁
断される。その後、カッター11が上昇することで、裁
断されたセラミックグリーンシートbが吸着ヘッド12
に下面に保持されたままキャリアフィルムから剥離され
る。次に、キャリアフィルムが所定の長さ分だけ送ら
れ、以下同様にしてセラミックグリーンシートaの位置
決め、カッター11の位置決め、セラミックグリーンシ
ートaの裁断、裁断されたセラミックグリーンシートb
のキャリアフィルムからの剥離が繰り返される。この動
作を繰り返すことで、カッターブレード13の間に複数
枚のセラミックグリーンシートbが積み重ねられてい
く。
The position and angle of the cutter 11 in the X-Y direction are adjusted by the displacement of the internal electrode pattern recognized in this manner, and the cutting position of the internal electrode pattern by the cutter 11 is determined. As a result, the misalignment due to the fine meandering of the ceramic green sheet a is corrected. After that, the suction head 12 descends,
The lower surface is set to a negative pressure, and the ceramic green sheet a is sucked and held. Next, the cutter blade 13 is lowered, and the ceramic green sheet a is cut at the cutting edge. Thereafter, as the cutter 11 moves up, the cut ceramic green sheet b is attached to the suction head 12.
While being held on the lower surface. Next, the carrier film is fed by a predetermined length, and thereafter, similarly, positioning of the ceramic green sheet a, positioning of the cutter 11, cutting of the ceramic green sheet a, and cutting of the cut ceramic green sheet b
Is repeated from the carrier film. By repeating this operation, a plurality of ceramic green sheets b are stacked between the cutter blades 13.

【0022】このようなセラミックグリーンシートaの
裁断と裁断されたセラミックグリーンシートbの積み重
ねとは、2つのカッター11により同時に並行して行な
われ、その後、所定枚数のセラミックグリーンシートb
が積層されると、カッター11が所定の順序で移動し、
後述するように積層されたセラミックグリーンシートb
を、2つのカッター11の間に搬送されてきた下金型2
2の型内に加圧、加熱しながら押し込み、収納する。
The cutting of the ceramic green sheets a and the stacking of the cut ceramic green sheets b are simultaneously performed by two cutters 11 at the same time.
Are stacked, the cutter 11 moves in a predetermined order,
Ceramic green sheet b laminated as described later
To the lower mold 2 transported between the two cutters 11.
Press into the mold of No. 2 while applying pressure and heat and store.

【0023】このようにして2つのカッター11で同時
にセラミックグリーンシートaが裁断され、積層され、
それらが1つの下金型22に送られるので、単位時間に
裁断、積層されるセラミックグリーンシートbの枚数
は、1つのカッター11でセラミックグリーンシートb
を裁断し、積層する場合に比べて2倍となる。また、2
つのカッター11における積層条件、例えば、積層する
ときの吸着ヘッド12の温度の設定等を、裁断するセラ
ミックグリーンシートcに応じて違わせることもでき
る。カッター11を3つ以上使用することで、単位時間
に裁断、積層できるセラミックグリーンシートbの枚数
をさらに増やすこともできる。
In this manner, the ceramic green sheets a are cut and laminated simultaneously by the two cutters 11.
Since they are sent to one lower mold 22, the number of ceramic green sheets b cut and laminated in a unit time can be reduced by one cutter 11.
Is doubled as compared with the case of cutting and laminating. Also, 2
The lamination conditions of the three cutters 11, for example, the setting of the temperature of the suction head 12 at the time of lamination and the like can be changed according to the ceramic green sheet c to be cut. By using three or more cutters 11, the number of ceramic green sheets b that can be cut and laminated in a unit time can be further increased.

【0024】下金型22は、図2に示されたコンベア2
4により、搬送され、圧着されたセラミックグリーンシ
ートbの積層体を取り出す取出ステージ27、プレス機
23及びカッター11の間の位置を往復移動される。後
述するように、取出ステージ27側で下金型22の型内
の底面にアンダーシートcが予め敷かれる。その後、下
金型22はカッター11の間に搬送され、図1に示すよ
うに、仮圧着台31の上に載せられ、位置決めピン25
により固定される。ここで、前述のようにしてカッター
11で裁断され、積層された所定枚数のセラミックグリ
ーンシートbが下金型22内に収納され、前記のアンダ
ーシートcの上に載せられ、加圧される。このとき、吸
着ヘッド12に内蔵したヒーターにより、セラミックグ
リーンシートbが所定の温度で加熱される。
The lower mold 22 is provided on the conveyor 2 shown in FIG.
4 reciprocates the position between the take-out stage 27, the press machine 23, and the cutter 11 for taking out the stacked body of the ceramic green sheet b that has been transported and pressed. As will be described later, an undersheet c is previously laid on the bottom surface of the lower die 22 on the takeout stage 27 side. Thereafter, the lower mold 22 is transported between the cutters 11 and is placed on the temporary crimping table 31 as shown in FIG.
Is fixed by Here, a predetermined number of ceramic green sheets b cut and laminated by the cutter 11 as described above are housed in the lower mold 22, placed on the under sheet c, and pressed. At this time, the ceramic green sheet b is heated at a predetermined temperature by a heater built in the suction head 12.

【0025】例えば、積層セラミックコンデンサーを得
るためのセラミックグリーンシートbの積層体を得る場
合、まず図1において右側のカッター11が裁断し、積
層したセラミックグリーンシートbが下金型22内に押
し込まれ、次に図1において左側のカッター11が裁断
し、積層したセラミックグリーンシートbが下金型22
内に押し込まれ、さらに図1において右側のカッター1
1が裁断し、積層したセラミックグリーンシートbが下
金型22内に押し込まれる。これにより、内部電極パタ
ーンを有しないセラミックグリーンシートbの層、内部
電極パターンを有するセラミックグリーンシートbの層
及び内部電極パターンを有しないセラミックグリーンシ
ートbの層が下金型22内で順次積み重ねられ、仮圧着
されることになる。
For example, when obtaining a laminated body of ceramic green sheets b for obtaining a laminated ceramic capacitor, first, the cutter 11 on the right side in FIG. 1 cuts and the laminated ceramic green sheets b are pushed into the lower mold 22. Next, in FIG. 1, the left cutter 11 cuts and the laminated ceramic green sheet b is
The cutter 1 on the right side in FIG.
1 is cut and the laminated ceramic green sheet b is pushed into the lower mold 22. Thereby, the layer of the ceramic green sheet b having no internal electrode pattern, the layer of the ceramic green sheet b having the internal electrode pattern, and the layer of the ceramic green sheet b having no internal electrode pattern are sequentially stacked in the lower mold 22. Tentatively.

【0026】その後、この下金型22は、コンベア24
により油圧プレス等のプレス機23側に搬送される。図
3は、このプレス機23の部分を示しており、プレス機
23は上金型の部分のみを示している。コンベア24で
搬送されてきた下金型22は、位置決めピン26により
位置決めされ、加圧テーブル33上に固定される。ここ
で、加圧テーブル33及びプレス機23の上金型に内蔵
したヒーターでそれらを所定の温度に加熱しながら、プ
レス機23の上金型を下降させ、下金型22の型内に積
み重ねられたセラミックグリーンシートbをその積層方
向に加圧し、圧着する。その後、プレス機23の上金型
が上昇し、下金型22は、次の取出ステージ27へと移
動する。
Thereafter, the lower mold 22 is moved to a conveyor 24.
To the press machine 23 side such as a hydraulic press. FIG. 3 shows a portion of the press machine 23, and the press machine 23 shows only an upper mold portion. The lower mold 22 conveyed by the conveyor 24 is positioned by the positioning pins 26 and fixed on the pressing table 33. Here, the upper mold of the press machine 23 is lowered while heating them to a predetermined temperature by a heater built in the upper mold of the press table 33 and the press machine 23, and is stacked in the mold of the lower mold 22. The obtained ceramic green sheet b is pressed in the laminating direction and pressed. After that, the upper die of the press machine 23 rises, and the lower die 22 moves to the next unloading stage 27.

【0027】この取出ステージ27に移動した下金型2
2から、前述のようにして圧着されたセラミックグリー
ンシートbの積層体が取り出されるが、その両側にアン
ダーシート供給部29と使用済みのアンダーシートcを
保管するアンダーシート回収部31が配置されている。
図4では、取出ステージ27とその片側のアンダーシー
ト供給部29のみが示されている。このアンダーシート
供給部29には、前述のようにして下金型22の型内底
面に敷かれるアンダーシートcがストックされ、このア
ンダーシートcがシートチャック30により搬送され
る。他方、図2にのみ示したアンダーシート保管部31
には、前述のようにして下金型22の型内底面に敷かれ
た使用済みのアンダーシートcがストックされ、このア
ンダーシートcがシートチャック32により搬送され
る。
The lower mold 2 moved to the take-out stage 27
2, the laminate of the ceramic green sheets b pressed as described above is taken out, and an undersheet supply unit 29 and an undersheet collection unit 31 for storing the used undersheet c are arranged on both sides thereof. I have.
FIG. 4 shows only the unloading stage 27 and the undersheet supply unit 29 on one side thereof. As described above, the under sheet supply section 29 stocks the under sheet c laid on the inner bottom surface of the lower mold 22, and the under sheet c is conveyed by the sheet chuck 30. On the other hand, the undersheet storage unit 31 shown only in FIG.
The used undersheet c laid on the inner bottom surface of the lower mold 22 as described above is stocked, and the undersheet c is conveyed by the sheet chuck 32.

【0028】取出ステーション27に下金型22が到着
すると、その型内からセラミックグリーンシートbの積
層体が取り出され、図示してない次の工程或は一時保管
場所に保管される。さらに、下金型22の型内に残った
使用済みのアンダーシートcがシートチャック32で取
り出され、アンダーシート保管部31にストックされ
る。同時に、アンダーシート供給部29からシートチャ
ック30によってアンダーシートが取り出され、下金型
22の型内底面に敷かれる。その後、下金型22が前記
カッター11の間の積層位置へと戻り、以下同様の動作
を繰り返す。
When the lower mold 22 arrives at the take-out station 27, the laminate of ceramic green sheets b is taken out of the mold and stored in the next step or a temporary storage location (not shown). Further, the used undersheet c remaining in the lower mold 22 is taken out by the sheet chuck 32 and stored in the undersheet storage unit 31. At the same time, the undersheet is taken out from the undersheet supply unit 29 by the sheet chuck 30 and laid on the bottom surface of the lower mold 22. Thereafter, the lower mold 22 returns to the lamination position between the cutters 11, and the same operation is repeated thereafter.

【0029】アンダーシートcは、下金型22の型内底
面へのセラミックグリーンシートbの材料の付着を防止
し、常に下金型22の型面の清浄性を保つものである
が、セラミックグリーンシートbの積層時や圧着時の滑
りや延びを防止する機能を有する。そのため、粗面のも
のや粘着面のものなど、摩擦係数が大きいものが使用さ
れる。なお、以上の例では、セラミックグリーンシート
bを四角形に裁断したが、その裁断形状は特に四角形に
限定されず、円形等に裁断してもよい。
The under sheet c prevents the material of the ceramic green sheet b from adhering to the inner bottom surface of the lower mold 22 and keeps the mold surface of the lower mold 22 clean at all times. It has a function of preventing slippage and elongation at the time of laminating the sheets b and at the time of pressing. Therefore, a material having a large friction coefficient such as a rough surface or an adhesive surface is used. In the above example, the ceramic green sheet b is cut into a square, but the cut shape is not particularly limited to a square and may be cut into a circle or the like.

【0030】また以上の例は、積層セラミックコンデン
サーを製造するためのセラミックグリーンシートの積層
を主として説明したが、本発明によるセラミックグリー
ンシート積層方法と装置は、例えば、LC複合部品を製
造するためのセラミックグリーンシートを積層するのに
も好適である。このような複合部品では、誘電体セラミ
ックグリーンシートと磁性体セラミックグリーンシート
とを積層するため、各々で積層条件を異ならせる必要が
ある。このような場合は、一方のカッター11で誘電体
セラミックグリーンシートを積層し、他方のカッター1
1で磁性体セラミックグリーンシートを積層し、各々で
積層条件を異ならせる。例えば、前者の誘電体セラミッ
クグリーンシートを積層する側のカッター11では、積
層したセラミックグリーンシートbを下金型22内に収
納し、加圧するときの加熱温度を70℃とし、加圧圧力
を0.6Kg/mm2 とする。また、後者の磁性体セラ
ミックグリーンシートを積層する側のカッター11で
は、加熱温度を60℃とし、加圧圧力を0.4Kg/m
2 とする。
In the above examples, the lamination of ceramic green sheets for producing a laminated ceramic capacitor has been mainly described. However, the method and apparatus for laminating ceramic green sheets according to the present invention are, for example, for producing an LC composite component. It is also suitable for laminating ceramic green sheets. In such a composite component, since the dielectric ceramic green sheet and the magnetic ceramic green sheet are laminated, the lamination conditions need to be different for each. In such a case, the dielectric ceramic green sheets are laminated by one cutter 11 and the other
In 1, the magnetic ceramic green sheets are laminated, and the laminating conditions are different for each. For example, in the former cutter 11 for laminating the dielectric ceramic green sheets, the laminated ceramic green sheets b are housed in the lower mold 22, the heating temperature when pressurizing is set to 70 ° C., and the pressurizing pressure is set to 0. 0.6 kg / mm 2 . In the latter cutter 11 on which the magnetic ceramic green sheets are to be laminated, the heating temperature is 60 ° C., and the pressing pressure is 0.4 kg / m 2.
and m 2.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上説明した通り、本発明によるセラミ
ックグリーンシート積層方法と装置では、セラミックグ
リーンシートの積層枚数が多くても、短時間で且つ精度
よくセラミックグリーンシートの積層を可能とすると共
に、誘電体セラミックグリーンシートと磁性体セラミッ
クグリーンシートの積層のような異種材料からなるセラ
ミックグリーンシートの積層においても、最適な積層条
件にて簡便に積層が行える。
As described above, in the method and apparatus for laminating ceramic green sheets according to the present invention, even if the number of laminated ceramic green sheets is large, lamination of ceramic green sheets can be performed in a short time and with high accuracy. Even in the case of laminating ceramic green sheets made of different materials, such as laminating a dielectric ceramic green sheet and a magnetic ceramic green sheet, lamination can be easily performed under optimum lamination conditions.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明によるセラミックグリーンシート積層装
置の例を示す積層工程部分の概略側面図である。
FIG. 1 is a schematic side view of a laminating step showing an example of a ceramic green sheet laminating apparatus according to the present invention.

【図2】同セラミックグリーンシート積層装置の例を示
す概略平面図である。
FIG. 2 is a schematic plan view showing an example of the ceramic green sheet laminating apparatus.

【図3】同セラミックグリーンシート積層装置の例を示
す圧着工程部分の概略斜視図である。
FIG. 3 is a schematic perspective view of a pressure bonding part showing an example of the ceramic green sheet laminating apparatus.

【図4】同セラミックグリーンシート積層装置の例を示
す積層体取出工程部分の概略斜視図である。
FIG. 4 is a schematic perspective view of a laminated body removing process part showing an example of the ceramic green sheet laminating apparatus.

【図5】セラミックグリーンシートを積層して作られる
部品の例としての積層セラミックコンデンサーの積層体
の各層を分離して示した分解斜視図である。
FIG. 5 is an exploded perspective view showing separated layers of a multilayer body of a multilayer ceramic capacitor as an example of a component made by laminating ceramic green sheets.

【図6】同積層セラミックコンデンサーの積層体を得る
ためのセラミックグリーンシートの積層体の各層を分離
して示した斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing layers of a ceramic green sheet laminate for obtaining a laminate of the multilayer ceramic capacitor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 カッター 22 金型 23 プレス機 29 アンダーシート供給部 a 長尺なセラミックグリーンシート b 裁断されたセラミックグリーンシート c アンダーシート Reference Signs List 11 cutter 22 mold 23 press machine 29 undersheet supply section a long ceramic green sheet b cut ceramic green sheet c undersheet

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 裁断された複数枚のセラミックグリーン
シート(b)を積み重ね、これらセラミックグリーンシ
ート(b)をその積層方向に加圧して圧着させるセラミ
ックグリーンシート積層方法において、長尺なセラミッ
クグリーンシート(a)を所定の形状に裁断すると共
に、裁断されたセラミックグリーンシート(a)を順次
積み重ねる裁断積層工程と、積層されたセラミックグリ
ーンシート(a)をその積層方向に加圧して圧着する圧
着工程とを有し、前記裁断積層工程が複数個所で同時に
行なわれ、これら複数個所で積層されたセラミックグリ
ーンシート(a)が1個所の圧着工程において加圧さ
れ、圧着されることを特徴とするセラミックグリーンシ
ート積層方法。
1. A ceramic green sheet laminating method in which a plurality of cut ceramic green sheets (b) are stacked, and the ceramic green sheets (b) are pressed in the laminating direction and pressure-bonded. (A) is cut into a predetermined shape, and a cutting and laminating step of sequentially stacking the cut ceramic green sheets (a), and a crimping step of pressing the stacked ceramic green sheets (a) in the laminating direction and press-bonding them. Wherein the cutting and laminating step is performed simultaneously at a plurality of places, and the ceramic green sheets (a) laminated at the plurality of places are pressed and crimped in one crimping step. Green sheet lamination method.
【請求項2】 裁断された複数枚のセラミックグリーン
シート(b)を積み重ね、これらセラミックグリーンシ
ート(b)をその積層方向に加圧して圧着させるセラミ
ックグリーンシート積層装置において、長尺なセラミッ
クグリーンシート(a)を所定の形状に裁断すると共
に、これらセラミックグリーンシート(a)を積み重
ね、搬送する複数のカッター(11)と、これらカッタ
ー(11)に裁断すべき長尺なセラミックグリーンシー
ト(a)を供給するセラミックグリーンシートの供給機
構と、前記複数のカッター(11)により裁断され、積
層されたセラミックグリーンシート(a)の供給を受
け、それらセラミックグリーンシート(a)を積層方向
に加圧するプレス機(23)とを有することを特徴とす
るセラミックグリーンシート積層装置。
2. A ceramic green sheet laminating apparatus in which a plurality of cut ceramic green sheets (b) are stacked, and these ceramic green sheets (b) are pressed in the laminating direction and pressure-bonded. (A) is cut into a predetermined shape, a plurality of cutters (11) for stacking and transporting these ceramic green sheets (a), and a long ceramic green sheet (a) to be cut into these cutters (11). And a press for receiving the supply of the laminated ceramic green sheets (a) cut by the plurality of cutters (11) and pressing the ceramic green sheets (a) in the laminating direction. Ceramic green sea characterized by having a machine (23) G stacking device.
【請求項3】 プレス機(23)は、加圧すべきセラミ
ックグリーンシート(a)の積層体を収納する下金型
(22)を有することを特徴とする請求項2に記載のセ
ラミックグリーンシート積層装置。
3. The ceramic green sheet lamination according to claim 2, wherein the pressing machine (23) has a lower mold (22) for storing a laminate of the ceramic green sheets (a) to be pressed. apparatus.
【請求項4】 下金型(22)の型内にアンダーシート
(c)を供給するアンダーシート供給部(29)を有す
ることを特徴とする請求項3に記載のセラミックグリー
ンシート積層装置。
4. The ceramic green sheet laminating apparatus according to claim 3, further comprising an undersheet supply section (29) for supplying an undersheet (c) in the lower mold (22).
【請求項5】 アンダーシート(c)は、その表面が粗
面であることを特徴とする請求項4に記載のセラミック
グリーンシート積層装置。
5. The ceramic green sheet laminating apparatus according to claim 4, wherein the undersheet (c) has a rough surface.
【請求項6】 アンダーシート(c)は、その表面が粘
着面であることを特徴とする請求項4に記載のセラミッ
クグリーンシート積層装置。
6. The ceramic green sheet laminating apparatus according to claim 4, wherein the undersheet (c) has an adhesive surface.
【請求項7】 カッター(11)は、セラミックグリー
ンシート(a)の積層時の積層条件を各々各別に調整、
設定可能であることを特徴とする請求項2〜6の何れか
に記載のセラミックグリーンシート積層装置。
7. The cutter (11) adjusts laminating conditions for laminating the ceramic green sheets (a) individually.
The ceramic green sheet laminating apparatus according to any one of claims 2 to 6, wherein the apparatus can be set.
【請求項8】 カッター(11)は、水平方向にその角
度が調整可能であることを特徴とする請求項2〜7の何
れかに貴台のセラミックグリーンシート積層装置。
8. The ceramic green sheet laminating apparatus according to claim 2, wherein the angle of the cutter (11) is adjustable in a horizontal direction.
JP8248931A 1996-08-31 1996-08-31 Method of and apparatus for laminating ceramic green sheets Pending JPH1071611A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8248931A JPH1071611A (en) 1996-08-31 1996-08-31 Method of and apparatus for laminating ceramic green sheets

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8248931A JPH1071611A (en) 1996-08-31 1996-08-31 Method of and apparatus for laminating ceramic green sheets

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1071611A true JPH1071611A (en) 1998-03-17

Family

ID=17185554

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8248931A Pending JPH1071611A (en) 1996-08-31 1996-08-31 Method of and apparatus for laminating ceramic green sheets

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1071611A (en)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010106249A (en) * 2000-05-16 2001-11-29 가와다 미쓰구 Method and apparatus for manufacturing laminated electronic components, and a green sheet laminator and an under sheet for lamination
JP2003068566A (en) * 2001-08-23 2003-03-07 Seiken:Kk Method for laminating laminated ceramic component and device therefor
KR100475344B1 (en) * 2001-03-19 2005-03-10 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 Device for laminating green sheets, method for laminating green sheets and method of manufacturing monolithic ceramic electronic component
US7211164B2 (en) * 2003-05-13 2007-05-01 Murata Manufacturing Co., Ltd. Lamination apparatus for ceramic green sheet and lamination method
JP2009076491A (en) * 2007-09-18 2009-04-09 Tdk Corp Production method of multilayer electronic component
JP2009212527A (en) * 2009-05-22 2009-09-17 Murata Mfg Co Ltd Method of manufacturing multilayer ceramic electronic capacitor
CN112571584A (en) * 2020-12-15 2021-03-30 孙黎明 Electronic ceramic die-casting forming equipment
JP2022113194A (en) * 2021-01-25 2022-08-04 Teem株式会社 Ceramic green sheet lamination method and lamination device

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010106249A (en) * 2000-05-16 2001-11-29 가와다 미쓰구 Method and apparatus for manufacturing laminated electronic components, and a green sheet laminator and an under sheet for lamination
KR100475344B1 (en) * 2001-03-19 2005-03-10 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 Device for laminating green sheets, method for laminating green sheets and method of manufacturing monolithic ceramic electronic component
JP2003068566A (en) * 2001-08-23 2003-03-07 Seiken:Kk Method for laminating laminated ceramic component and device therefor
JP4655289B2 (en) * 2001-08-23 2011-03-23 Oppc株式会社 Lamination method and apparatus for laminated ceramic parts
US7211164B2 (en) * 2003-05-13 2007-05-01 Murata Manufacturing Co., Ltd. Lamination apparatus for ceramic green sheet and lamination method
JP2009076491A (en) * 2007-09-18 2009-04-09 Tdk Corp Production method of multilayer electronic component
JP4702342B2 (en) * 2007-09-18 2011-06-15 Tdk株式会社 Manufacturing method of laminated electronic component
JP2009212527A (en) * 2009-05-22 2009-09-17 Murata Mfg Co Ltd Method of manufacturing multilayer ceramic electronic capacitor
CN112571584A (en) * 2020-12-15 2021-03-30 孙黎明 Electronic ceramic die-casting forming equipment
JP2022113194A (en) * 2021-01-25 2022-08-04 Teem株式会社 Ceramic green sheet lamination method and lamination device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2504277B2 (en) Method and apparatus for manufacturing ceramic green sheet for laminated ceramic electronic component
KR100828488B1 (en) Manufacturing method and manufacturing apparatus of thin film laminated article
JPH03142910A (en) Lamination of ceramic green sheet and device therefor
JP2704562B2 (en) Manufacturing method of multilayer ceramic capacitor
JPH1071611A (en) Method of and apparatus for laminating ceramic green sheets
JP3086385B2 (en) Method and apparatus for laminating laminated electronic components
JP3740991B2 (en) Green sheet laminating apparatus, green sheet laminating method, and multilayer ceramic electronic component manufacturing method
JP2001326135A (en) Method and device for manufacturing laminated electronic component
JP3227482B2 (en) Method and apparatus for manufacturing ceramic multilayer substrate
JP3283091B2 (en) Ceramic green sheet laminating method and apparatus
JP3435060B2 (en) Ceramic green sheet laminating apparatus and laminating method
JPH09283360A (en) Method for manufacturing green sheet for laminated part
JP3417376B2 (en) Manufacturing method and manufacturing apparatus for multilayer ceramic electronic component
JP2021028966A (en) Manufacturing method for electronic component, and electronic component manufacturing apparatus
JPS6331104A (en) Manufacture of laminated ceramic capacitor
JPH0256802B2 (en)
JP4261854B2 (en) Multilayer ceramic capacitor manufacturing method and ceramic sheet laminating apparatus
JP4261848B2 (en) Multilayer ceramic electronic component manufacturing method and ceramic sheet laminating apparatus
JPH071428A (en) Method and apparatus for manufacturing laminated ceramic part
JPH1015929A (en) Method and apparatus for laminating ceramic green sheet
JP4780132B2 (en) Multilayer ceramic electronic component manufacturing apparatus and method
JP2001044072A (en) Method and device for manufacture of ceramic laminate body for multilayer ceramic electronic component
JPH08244019A (en) Lamination of ceramic green sheet
JPH0536568A (en) Manufacture of laminated ceramic electronic component
JP4347858B2 (en) Method and apparatus for pressing ceramic green sheet laminate

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20060522

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060711

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060721

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20060808

A912 Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912

Effective date: 20070608