JP4347858B2 - Method and apparatus for pressing ceramic green sheet laminate - Google Patents

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Description

本発明は、セラミックグリーンシート積層体のプレス方法及びプレス装置に関する。   The present invention relates to a pressing method and a pressing apparatus for a ceramic green sheet laminate.

積層型電子部品の製造工程には、複数のセラミックシートを所定順に積層した積層体をプレスによって圧着する工程が含まれる。このようなプレスに関する技術として、例えば特許文献1に記載の積層セラミック電子部品の製造方法がある。この従来の積層セラミック電子部品の製造方法では、プレスに用いる金型の表面に例えばポリテトラフルオロエチレン樹脂からなる離型材層を接着し、この離型材層を介して積層体のプレスを行っている。
特開平10−214747号公報
The manufacturing process of the multilayer electronic component includes a process of pressing a laminated body in which a plurality of ceramic sheets are laminated in a predetermined order by pressing. As a technique related to such a press, for example, there is a method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component described in Patent Document 1. In this conventional method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, a release material layer made of, for example, polytetrafluoroethylene resin is bonded to the surface of a mold used for pressing, and the laminate is pressed through this release material layer. .
JP-A-10-214747

上述した離型材層のように、プレス時において積層体と金型との間に剥離性の高いフィルムを介在させる技術は、プレスした積層体と金型との剥離性を確保し、金型への付着による積層体の剥離や変形を抑止できる点で有意義な技術である。しかしながら、上述した従来の積層セラミック電子部品の製造方法のように、積層体と略同等の面積のフィルムを用いる場合、積層体とフィルムとの間に位置ずれが生じ易いという問題があった。このような位置ずれが生じると、プレス時に金型から積層体に加わる圧力の均一性が損なわれるため、プレス後の積層体の寸法ばらつきを増大させるおそれがある。   Like the mold release material layer described above, the technology of interposing a highly peelable film between the laminate and the mold during pressing ensures the peelability between the pressed laminate and the mold, to the mold. This is a significant technique in that it can suppress the peeling and deformation of the laminated body due to the adhesion. However, when a film having an area substantially equal to that of the multilayer body is used as in the conventional method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component described above, there has been a problem that misalignment easily occurs between the multilayer body and the film. When such a positional shift occurs, the uniformity of the pressure applied from the mold to the laminated body during pressing is impaired, and there is a risk of increasing the dimensional variation of the laminated body after pressing.

本発明は、上記課題の解決のためになされたものであり、積層体とプレス用型との剥離性を確保しつつ、プレス後の積層体の寸法ばらつきを抑制できるセラミックグリーンシート積層体のプレス方法及びプレス装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above problems, and is a press of a ceramic green sheet laminate that can suppress the dimensional variation of the laminate after pressing while ensuring the peelability between the laminate and the press die. It is an object to provide a method and a pressing device.

上記課題の解決のため、本発明に係るセラミックグリーンシート積層体のプレス方法は、互いのプレス面が対向するように配置された上型及び下型により、複数のセラミックグリーンシートを積層した積層体をプレスするセラミックグリーンシート積層体のプレス方法であって、上型のプレス面及び下型のプレス面に対向するように、長尺状をなす第1の可撓性フィルム及び第2の可撓性フィルムをそれぞれ搬送する工程と、上型のプレス面及び下型のプレス面の間において、積層体を第1の可撓性フィルム及び第2の可撓性フィルムの間に配置する工程と、各プレス面が相対的に接近するように上型及び下型の少なくとも一方を他方に向けて進出させ、第1の可撓性フィルム及び第2の可撓性フィルムを介して、積層体をセラミックグリーンシートの積層方向に加圧する工程とを備えたことを特徴としている。   In order to solve the above problems, a method for pressing a ceramic green sheet laminate according to the present invention is a laminate in which a plurality of ceramic green sheets are laminated by an upper die and a lower die that are arranged so that their press surfaces face each other. A method for pressing a ceramic green sheet laminate, wherein the first flexible film and the second flexible film are formed so as to be opposed to the upper mold press surface and the lower mold press surface. A step of transporting each of the adhesive films, a step of disposing the laminate between the first flexible film and the second flexible film between the upper mold press surface and the lower mold press surface; At least one of the upper die and the lower die is advanced toward the other so that the press surfaces are relatively close to each other, and the laminate is ceramic through the first flexible film and the second flexible film. Glee It is characterized in that a step of pressing the stacking direction of the sheet.

このセラミックグリーンシート積層体のプレス方法では、長尺状をなす第1の可撓性フィルム及び第2の可撓性フィルムを上型及び下型の間に介在させ、第1の可撓性フィルム及び第2の可撓性フィルムを介してセラミックグリーンシートの積層体のプレスを行う。このように、長尺状をなす可撓性フィルムを用いることにより、可撓性フィルムの長手方向に対する積層体の位置決めのトレランスが緩和され、可撓性フィルムと積層体との位置決めが容易なものとなる。したがって、プレス時にプレス用型から積層体に加わる圧力を均一化でき、上型及び下型と積層体との剥離性を確保しつつ、プレス後の積層体の寸法ばらつきを抑制できる。   In this method of pressing a ceramic green sheet laminate, a first flexible film and a second flexible film having a long shape are interposed between an upper mold and a lower mold, and the first flexible film And the laminated body of the ceramic green sheet is pressed through the second flexible film. Thus, by using a flexible film having a long shape, tolerance of positioning of the laminate with respect to the longitudinal direction of the flexible film is eased, and positioning of the flexible film and the laminate is easy. It becomes. Therefore, the pressure applied to the laminated body from the pressing mold during pressing can be made uniform, and the dimensional variation of the laminated body after pressing can be suppressed while ensuring the peelability between the upper mold and the lower mold and the laminated body.

また、積層体の側面を囲うように、第1の可撓性フィルム及び第2の可撓性フィルムの間に環状の枠体を配置する工程を更に備えたことが好ましい。この場合、プレス時の積層体の変形を環状の枠体によって規制できる。   Moreover, it is preferable to further include a step of arranging an annular frame body between the first flexible film and the second flexible film so as to surround the side surface of the laminate. In this case, the deformation of the laminated body during pressing can be regulated by the annular frame.

また、上型及び下型の配置位置よりも下流側において、第1の可撓性フィルム又は第2の可撓性フィルムの搬送方向をエッジ部によって折り返す工程を更に備えたことが好ましい。こうすると、プレス後の積層体から可撓性フィルムを剥離する際の剥離不良を防止できる。   Moreover, it is preferable to further include a step of turning back the conveying direction of the first flexible film or the second flexible film by the edge portion on the downstream side of the arrangement position of the upper mold and the lower mold. If it carries out like this, the peeling defect at the time of peeling a flexible film from the laminated body after a press can be prevented.

また、本発明に係るプレス装置は、互いのプレス面が対向するように配置された上型及び下型により、複数のセラミックグリーンシートを積層した積層体をプレスするプレス装置であって、上型のプレス面及び下型のプレス面に対向するように、長尺状をなす第1の可撓性フィルム及び第2の可撓性フィルムをそれぞれ搬送する第1のフィルム搬送手段及び第2のフィルム搬送手段と、各プレス面が相対的に接近するように、上型及び下型の少なくとも一方を他方に向けて進出させ、第1の可撓性フィルム及び第2の可撓性フィルムを介して、積層体をセラミックグリーンシートの積層方向に加圧する型制御手段とを備えたことを特徴としている。   The press device according to the present invention is a press device that presses a laminated body in which a plurality of ceramic green sheets are laminated by an upper die and a lower die arranged so that the press surfaces face each other. The first film conveying means and the second film for conveying the first flexible film and the second flexible film, respectively, which are long so as to face the pressing surface of the lower mold and the pressing surface of the lower mold At least one of the upper mold and the lower mold is advanced toward the other so that the press means and the pressing surface are relatively close to each other, and the first flexible film and the second flexible film are interposed. And a mold control means for pressing the laminate in the laminating direction of the ceramic green sheets.

このプレス装置では、長尺状をなす第1の可撓性フィルム及び第2の可撓性フィルムを上型及び下型の間に介在させ、第1の可撓性フィルム及び第2の可撓性フィルムを介してセラミックグリーンシートの積層体をプレスすることができる。このように、長尺状をなす可撓性フィルムを用いることにより、可撓性フィルムの長手方向に対する積層体の位置決めのトレランスが緩和され、可撓性フィルムと積層体との位置決めが容易なものとなる。したがって、プレス時にプレス用型から積層体に加わる圧力を均一化でき、上型及び下型と積層体との剥離性を確保しつつ、プレス後の積層体の寸法ばらつきを抑制できる。   In this press apparatus, the first flexible film and the second flexible film having a long shape are interposed between the upper mold and the lower mold, and the first flexible film and the second flexible film are interposed. The laminated body of ceramic green sheets can be pressed through the conductive film. Thus, by using a flexible film having a long shape, tolerance of positioning of the laminate with respect to the longitudinal direction of the flexible film is eased, and positioning of the flexible film and the laminate is easy. It becomes. Therefore, the pressure applied to the laminated body from the pressing mold during pressing can be made uniform, and the dimensional variation of the laminated body after pressing can be suppressed while ensuring the peelability between the upper mold and the lower mold and the laminated body.

また、積層体の側面を囲うように、第1の可撓性フィルム及び第2の可撓性フィルムの間に環状の枠体を配置する枠体配置手段を更に備えたことが好ましい。この場合、プレス時の積層体の変形を環状の枠体によって規制できる。   Moreover, it is preferable to further include a frame arrangement means for arranging an annular frame body between the first flexible film and the second flexible film so as to surround the side surface of the laminate. In this case, the deformation of the laminated body during pressing can be regulated by the annular frame.

上型及び下型の配置位置よりも下流側において、第1の可撓性フィルム又は第2の可撓性フィルムの搬送方向を折り返すエッジ部を更に備えたことが好ましい。こうすると、プレス後の積層体から可撓性フィルムを剥離する際の剥離不良を防止できる。   It is preferable to further include an edge portion that turns back the transport direction of the first flexible film or the second flexible film on the downstream side of the arrangement position of the upper mold and the lower mold. If it carries out like this, the peeling defect at the time of peeling a flexible film from the laminated body after a press can be prevented.

以上説明したように、本発明に係るセラミックグリーンシート積層体のプレス方法及びプレス装置によれば、積層体とプレス用型との剥離性を確保しつつ、プレス後の積層体の寸法ばらつきを抑制できる。   As described above, according to the method and apparatus for pressing a ceramic green sheet laminate according to the present invention, the dimensional variation of the laminate after pressing is suppressed while ensuring the peelability between the laminate and the press die. it can.

以下、図面を参照しながら、本発明に係るセラミックグリーンシート積層体のプレス方法、及びプレス装置の好適な実施形態について詳細に説明する。   Hereinafter, preferred embodiments of a method for pressing a ceramic green sheet laminate and a press apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1は、本発明の一実施形態に係るセラミックグリーンシート積層体のプレス方法を用いて製造されるセラミックコンデンサの構成を示す斜視図である。また、図2は、図1におけるII−II線断面図である。図1及び図2に示すように、セラミックコンデンサ1は、略直方体形状をなす素子部2と、素子部2の長手方向の両端部に形成された1対の端子電極3,3とを備えている。   FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a ceramic capacitor manufactured by using a method for pressing a ceramic green sheet laminate according to an embodiment of the present invention. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II in FIG. As shown in FIGS. 1 and 2, the ceramic capacitor 1 includes an element portion 2 having a substantially rectangular parallelepiped shape, and a pair of terminal electrodes 3 and 3 formed at both ends in the longitudinal direction of the element portion 2. Yes.

素子部2は、図2に示すように、誘電体層4と内部電極層5とが交互に積層されて構成されている。このような素子部2は、図3に示すように、矩形の内部電極層5が形成された誘電体層4を順次積層することによって形成される。また、素子部2の積層方向の両端には、内部電極層5が形成されていない誘電体層6が保護層としてそれぞれ積層されている。なお、図2では簡略化されているが、実際には誘電体層4は約300層程度積層されている。   As shown in FIG. 2, the element portion 2 is configured by alternately laminating dielectric layers 4 and internal electrode layers 5. As shown in FIG. 3, such an element portion 2 is formed by sequentially laminating dielectric layers 4 on which rectangular internal electrode layers 5 are formed. Further, dielectric layers 6 in which the internal electrode layer 5 is not formed are laminated as protective layers at both ends of the element unit 2 in the lamination direction. Although simplified in FIG. 2, in practice, about 300 dielectric layers 4 are laminated.

上下に隣り合う内部電極層5,5同士は、一定の面積で対向していると共に、誘電体層4によって互いに電気的に絶縁されている。また、内部電極層5,5は、誘電体層4の端まで延在し、互いに異なる一方の端子電極3,3に電気的に接続されている。したがって、端子電極3,3に所定の電圧を印加すると、上下で対向する内部電極層5,5間に、対向面積に比例する電荷が蓄えられる。   The internal electrode layers 5 and 5 adjacent to each other in the upper and lower sides face each other with a certain area and are electrically insulated from each other by the dielectric layer 4. The internal electrode layers 5 and 5 extend to the end of the dielectric layer 4 and are electrically connected to one terminal electrodes 3 and 3 different from each other. Therefore, when a predetermined voltage is applied to the terminal electrodes 3, 3, charges proportional to the facing area are stored between the internal electrode layers 5, 5 facing vertically.

続いて、上述したセラミックコンデンサ1の製造方法について説明する。   Then, the manufacturing method of the ceramic capacitor 1 mentioned above is demonstrated.

まず、BaTiOを主成分とする誘電体材料を用い、複数層のセラミックグリーンシート7,8を作製する。次に、例えばAgを主成分とする導電ペーストをスクリーン印刷し、所定の乾燥工程を行うことにより、セラミックグリーンシート7上に矩形の導電パターン6をマトリクス状に形成する。所定数のセラミックグリーンシート7を形成して順次積層した後、セラミックグリーンシート7における積層方向の両端面に、導電パターン6を有しないセラミックグリーンシート8を2層ずつ積層すると、図4に示すように、積層体30が形成される。なお、この時点では、グリーンシート7,8は、積層体30として一体的に取り扱うことが可能な程度に仮圧着する。 First, a plurality of layers of ceramic green sheets 7 and 8 are manufactured using a dielectric material mainly composed of BaTiO 3 . Next, for example, a conductive paste mainly composed of Ag is screen-printed, and a predetermined drying process is performed to form rectangular conductive patterns 6 in a matrix on the ceramic green sheet 7. After a predetermined number of ceramic green sheets 7 are formed and sequentially stacked, two ceramic green sheets 8 not having the conductive pattern 6 are stacked on both end surfaces in the stacking direction of the ceramic green sheets 7 as shown in FIG. Then, the laminate 30 is formed. At this time, the green sheets 7 and 8 are temporarily pressure-bonded to such an extent that they can be handled as a laminated body 30.

積層体30を形成した後、積層体30をプレスして圧着する圧着工程を行う。図5は、圧着工程に用いるプレス装置10の装置構成を示す図である。図5に示すように、プレス装置10は、上型11a及び下型11bからなるプレス用型11と、真空吸着板12と、上フィルム搬送機構(第1のフィルム搬送手段)13と、下フィルム搬送機構(第2のフィルム搬送手段)14と、環状の枠体15と、動作制御部(型制御手段、枠体配置手段)16とを備えている。   After the laminated body 30 is formed, a crimping process for pressing and laminating the laminated body 30 is performed. FIG. 5 is a diagram showing a device configuration of the press device 10 used in the crimping process. As shown in FIG. 5, the press apparatus 10 includes a press mold 11 including an upper mold 11a and a lower mold 11b, a vacuum suction plate 12, an upper film transport mechanism (first film transport means) 13, and a lower film. A transport mechanism (second film transport unit) 14, an annular frame 15, and an operation control unit (mold control unit, frame body arrangement unit) 16 are provided.

上型11a及び下型11bは、プレス位置Pにおいて、互いのプレス面20a,20bが対向するように上下1対に配置されている。上型11aは、動作制御部16からの制御により、プレス位置Pに積層体30、及び後述する可撓性フィルム24が搬送されたことに同期して下型11b側に下降し、プレス後は元の位置に上昇する。また、真空吸着板12は、積層体30をプレス位置Pに搬送し、後述する下フィルム24bを介して下型11b上に積層体30を載置する。真空吸着板12は、プレスが完了した後、積層体30を所定の取り出し位置(図示しない)に搬送する。   The upper mold 11a and the lower mold 11b are arranged in a pair at the press position P so that the press surfaces 20a and 20b face each other. The upper die 11a is lowered to the lower die 11b side in synchronization with the laminate 30 and the flexible film 24 described later being conveyed to the press position P under the control of the operation control unit 16, and after the press, Ascend to the original position. Moreover, the vacuum suction plate 12 conveys the laminated body 30 to the press position P, and mounts the laminated body 30 on the lower mold | type 11b via the lower film 24b mentioned later. After the press is completed, the vacuum suction plate 12 conveys the stacked body 30 to a predetermined take-out position (not shown).

上フィルム搬送機構13は、繰出ローラ21と、巻取ローラ22と、繰出ローラ21及び巻取ローラ22の間に配置された補助ローラ23,23とを備えている。繰出ローラ21からは、例えばPET(ポリエチレンテレフタラート)からなる長尺状の可撓性フィルム24(第1の可撓性フィルム、以下「上フィルム24a」と称す)が繰り出される。上フィルム24aは、積層体30の幅よりも若干小さい程度の幅を有している(図10参照)。繰り出された上フィルム24aは、補助ローラ23,23によって案内され、上型11aのプレス面20aに対向するようにプレス位置Pに搬送された後、巻取ローラ22によって巻き取られる。   The upper film transport mechanism 13 includes a feeding roller 21, a winding roller 22, and auxiliary rollers 23 and 23 arranged between the feeding roller 21 and the winding roller 22. From the supply roller 21, a long flexible film 24 (first flexible film, hereinafter referred to as “upper film 24a”) made of, for example, PET (polyethylene terephthalate) is supplied. The upper film 24a has a width that is slightly smaller than the width of the laminate 30 (see FIG. 10). The fed upper film 24a is guided by the auxiliary rollers 23 and 23, conveyed to the press position P so as to face the press surface 20a of the upper mold 11a, and then taken up by the take-up roller 22.

下フィルム搬送機構14は、上フィルム搬送機構13と同様に、繰出ローラ25と、巻取ローラ26と、繰出ローラ25及び巻取ローラ26の間に配置された補助ローラ27,27と、プレス位置Pの下流側に配置された補助ローラ28,28とを備えている。繰出ローラ25からは、上フィルム24aと同様の長尺状の可撓性フィルム24(第2の可撓性フィルム、以下「下フィルム24b」と称す)が繰り出される。下フィルム24bは、上フィルム24aよりも大きな幅を有している(図10参照)。繰り出された下フィルム24bは、補助ローラ27,27によって案内され、上フィルム24aと中心を合わせた状態で下型11bのプレス面20bに対向するようにプレス位置Pに搬送される。   Similarly to the upper film transport mechanism 13, the lower film transport mechanism 14 includes a feeding roller 25, a winding roller 26, auxiliary rollers 27 and 27 disposed between the feeding roller 25 and the winding roller 26, and a press position. And auxiliary rollers 28 and 28 arranged on the downstream side of P. A long flexible film 24 (second flexible film, hereinafter referred to as “lower film 24 b”) similar to the upper film 24 a is fed from the feeding roller 25. The lower film 24b has a larger width than the upper film 24a (see FIG. 10). The drawn-out lower film 24b is guided by auxiliary rollers 27 and 27 and conveyed to the press position P so as to face the press surface 20b of the lower mold 11b in a state where the center is aligned with the upper film 24a.

また、下フィルム搬送機構14において、プレス位置Pよりも下流側には、下フィルム24bを折り返すエッジ部29が設けられている。そして、下フィルム24bは、エッジ部29の先端に沿って下側に鋭角に折り返された後、補助ローラ28,28を介して巻取ローラ26に巻き取られる。   In the lower film transport mechanism 14, an edge portion 29 that folds the lower film 24 b is provided on the downstream side of the press position P. Then, the lower film 24 b is folded back at an acute angle along the tip of the edge portion 29, and is then wound around the winding roller 26 via the auxiliary rollers 28 and 28.

環状の枠体15は、図6に示すように、例えば金属によって略正方形状に形成されている。この環状の枠体15は、図5に示すように、例えば支持アーム(図示しない)により、プレス位置Pにおいて上フィルム24aと下フィルム24bとの間で支持されている。そして、環状の枠体15は、動作制御部16による支持アームの制御により、真空吸着板12によって積層体30がプレス位置Pに搬送されると下型11b側に下降し、積層体30の側面を囲うようにして下フィルム24b上に載置される。プレス後、環状の枠体15は、元の位置に上昇する。   As shown in FIG. 6, the annular frame 15 is formed in a substantially square shape with, for example, metal. As shown in FIG. 5, the annular frame 15 is supported between the upper film 24a and the lower film 24b at the press position P by, for example, a support arm (not shown). The annular frame 15 is lowered to the lower mold 11 b side when the stacked body 30 is conveyed to the press position P by the vacuum suction plate 12 by the control of the support arm by the operation control unit 16, and the side surface of the stacked body 30. Is placed on the lower film 24b. After pressing, the annular frame 15 is raised to the original position.

このようなプレス装置10を用いた圧着工程には、図7に示すように、フィルム搬送工程(ステップS01)、積層体搬送工程(ステップS02)、枠体配置工程(ステップS03)、加圧工程(ステップS04)、及び剥離工程(ステップS05)の5つの工程が含まれている。   As shown in FIG. 7, the press-bonding process using the press device 10 includes a film transport process (step S01), a laminate transport process (step S02), a frame body placement process (step S03), and a pressurizing process. Five steps of (Step S04) and a peeling step (Step S05) are included.

まず、フィルム搬送工程において、上フィルム搬送機構13及び下フィルム搬送機構14により、上型11aのプレス面20a及び下型11bのプレス面20bにそれぞれ対向するように、上フィルム24a及び下フィルム24bがプレス位置Pに搬送される。次に、積層体搬送工程において、図8(a)に示すように、真空吸着板12によって積層体30がプレス位置Pに向けて搬送される。そして、図8(b)に示すように、上フィルム24a及び下フィルム24bに挟まれた状態で、積層体30が下型11bのプレス面20b上に配置された後、真空吸着板12はプレス位置Pの下流側に退避する。   First, in the film transport process, the upper film transport mechanism 13 and the lower film transport mechanism 14 cause the upper film 24a and the lower film 24b to face the press surface 20a of the upper mold 11a and the press surface 20b of the lower mold 11b, respectively. It is conveyed to the press position P. Next, in a laminated body conveyance process, as shown to Fig.8 (a), the laminated body 30 is conveyed toward the press position P by the vacuum suction plate 12. FIG. And as shown in FIG.8 (b), after the laminated body 30 has been arrange | positioned on the press surface 20b of the lower mold | type 11b in the state pinched | interposed into the upper film 24a and the lower film 24b, the vacuum suction plate 12 is a press. Retreat to the downstream side of the position P.

さらに、枠体配置工程において、図9(a)に示すように、図示しない支持アームによって環状の枠体15が下型11bに向かって下降する。これにより、図9(a)及び図10に示すように、プレス位置Pにおいて、下型11bに載置された積層体30の上下には、上フィルム24a及び下フィルム24bがそれぞれ配置され、環状の枠体15は、積層体30の側面を囲うようにして、下フィルム24bを介して下型11bの上面に載置された状態となる。   Further, in the frame body arranging step, as shown in FIG. 9A, the annular frame body 15 is lowered toward the lower mold 11b by a support arm (not shown). Accordingly, as shown in FIGS. 9A and 10, the upper film 24 a and the lower film 24 b are respectively arranged above and below the laminated body 30 placed on the lower mold 11 b at the press position P. The frame body 15 is placed on the upper surface of the lower mold 11b through the lower film 24b so as to surround the side surface of the laminated body 30.

積層体30、上フィルム24a、下フィルム24b、及び環状の枠体15の配置が終了した後、加圧工程において、図9(b)に示すように、上型11aが下型11bに向けて下降する。これにより、積層体30は、上フィルム24a及び下フィルム24bを介し、上型11aのプレス面20a及び下型11bのプレス面20bで挟み込まれ、積層方向に一定の圧力でプレス圧着される。なお、プレス圧着時の上型11a及び下型11bの温度は、約50℃〜約70℃の範囲とすることが好ましく、プレス圧力は、約600kg/cm〜約800kg/cmの範囲とすることが好ましい。温度範囲及び圧力範囲が下限より低いと圧着不良が発生し易く、温度範囲及び圧力範囲が上限より高いと、積層体30の変形が発生し易くなるためである。 After the arrangement of the laminate 30, the upper film 24a, the lower film 24b, and the annular frame 15 is finished, in the pressurizing step, as shown in FIG. 9B, the upper mold 11a faces the lower mold 11b. Descend. Thus, the laminate 30 is sandwiched between the press surface 20a of the upper mold 11a and the press surface 20b of the lower mold 11b via the upper film 24a and the lower film 24b, and is press-bonded with a certain pressure in the stacking direction. The temperature of the upper die 11a and the lower die 11b during press bonding is preferably in the range of about 50 ° C. to about 70 ° C., and the press pressure is in the range of about 600 kg / cm 2 to about 800 kg / cm 2 . It is preferable to do. This is because when the temperature range and the pressure range are lower than the lower limit, poor press bonding is likely to occur, and when the temperature range and the pressure range are higher than the upper limit, the laminate 30 is likely to be deformed.

プレス圧着の後、図11(a)に示すように、上型11aと環状の枠体15とが元の位置に上昇すると、下流側に退避していた真空吸着板12がプレス位置Pに搬送される。真空吸着板12は、図11(b)に示すように、プレス後の積層体30を吸着し、下フィルム24bと共に積層体30をプレス位置Pの下流側に搬送する。   After press-bonding, as shown in FIG. 11A, when the upper mold 11a and the annular frame 15 are raised to their original positions, the vacuum suction plate 12 retracted downstream is conveyed to the press position P. Is done. As shown in FIG. 11B, the vacuum suction plate 12 sucks the laminated body 30 after pressing, and conveys the laminated body 30 to the downstream side of the press position P together with the lower film 24b.

剥離工程では、図12に示すように、プレス位置Pからエッジ部29を通過するまで、巻取ローラ26による下フィルム24bの搬送に追随させて真空吸着板12による積層体30の搬送を行う。そして、下フィルム24bの搬送方向をエッジ部29の先端に沿って鋭角に折り返すことにより、積層体30の下面から下フィルム24bを剥離する。下フィルム24bを剥離した後、真空吸着板12は、所定の取り出し位置(図示しない)まで積層体30を搬送し、圧着工程が終了する。   In the peeling process, as shown in FIG. 12, the laminated body 30 is conveyed by the vacuum suction plate 12 while following the conveyance of the lower film 24b by the take-up roller 26 until it passes through the edge portion 29 from the press position P. And the lower film 24b is peeled from the lower surface of the laminated body 30 by turning back the conveyance direction of the lower film 24b along the front-end | tip of the edge part 29 at an acute angle. After the lower film 24b is peeled off, the vacuum suction plate 12 transports the laminate 30 to a predetermined take-out position (not shown), and the crimping process is completed.

圧着工程が終了した後、積層体30をダイシングによって所定の形状・寸法に切断し、所定の温度で焼成を行うことにより、素子部2が完成する。その後、素子部2の両端部に導体ペーストを塗布・焼付けして端子電極3,3を形成し、端子電極3,3にめっき層(図示しない)を形成すると、図1〜図3に示したセラミックコンデンサ1が完成する。   After the crimping step is completed, the laminated body 30 is cut into a predetermined shape and size by dicing and fired at a predetermined temperature, whereby the element portion 2 is completed. Thereafter, a conductor paste is applied and baked on both ends of the element portion 2 to form the terminal electrodes 3 and 3, and a plating layer (not shown) is formed on the terminal electrodes 3 and 3, as shown in FIGS. The ceramic capacitor 1 is completed.

以上説明したように、このセラミックグリーンシート積層体のプレス方法及びプレス装置10では、長尺状をなす上フィルム24a及び下フィルム24bを上型11aのプレス面20a及び下型11bのプレス面20bに対向するようにそれぞれ配置することにより、上フィルム24a及び下フィルム24bを介して積層体30をプレスする。このように、長尺状をなす上フィルム24a及び下フィルム24bを用いることにより、各フィルム24a,24bの長手方向に対する積層体30の位置決めのトレランスが緩和され、各フィルム24a,24bと積層体30との位置決めが容易なものとなる。したがって、プレス時に上型11a及び下型11bから積層体30に加わる圧力を均一化でき、上型11a及び下型11bと積層体30との剥離性を確保しつつ、プレス後の積層体30の寸法ばらつきを抑制できる。   As described above, in this ceramic green sheet laminate pressing method and pressing apparatus 10, the upper film 24a and the lower film 24b, which are long, are used as the pressing surface 20a of the upper mold 11a and the pressing surface 20b of the lower mold 11b. The laminated body 30 is pressed via the upper film 24a and the lower film 24b by arrange | positioning so that it may oppose. Thus, the tolerance of positioning of the laminated body 30 with respect to the longitudinal direction of each film 24a, 24b is eased by using the long upper film 24a and the lower film 24b, and the respective films 24a, 24b and the laminated body 30 are relaxed. It becomes easy to position. Therefore, the pressure applied to the laminate 30 from the upper die 11a and the lower die 11b during pressing can be made uniform, and the peelability of the laminate 30 after pressing can be secured while ensuring the peelability between the upper die 11a and the lower die 11b and the laminate 30. Dimensional variation can be suppressed.

また、このセラミックグリーンシート積層体のプレス方法及びプレス装置10では、プレス位置Pに搬送された積層体30の側面を囲うように環状の枠体15を配置しているので、プレスの際の積層体30の変形を環状の枠体15によって規制できる。さらに、プレス後の積層体30と下フィルム24bとの剥離を行う際には、プレス位置Pの下流側において、下フィルム24bの搬送方向をエッジ部29によって鋭角に折り返し、プレス位置Pからエッジ部29を通過するまで、下フィルム24bに追随させて積層体30を搬送している。このような構成により、プレス後の積層体30から下フィルム24bを好適に剥離することが可能となり、下フィルム24bの剥離不良による積層体30の変形や破損等を抑止できる。   Moreover, in this ceramic green sheet laminate pressing method and press apparatus 10, the annular frame 15 is disposed so as to surround the side surface of the laminate 30 conveyed to the press position P. The deformation of the body 30 can be regulated by the annular frame 15. Furthermore, when peeling the laminated body 30 and the lower film 24b after pressing, the conveying direction of the lower film 24b is turned back to an acute angle by the edge portion 29 on the downstream side of the pressing position P, and the edge portion is moved from the pressing position P to the edge portion. The laminated body 30 is conveyed by following the lower film 24 b until it passes 29. With such a configuration, the lower film 24b can be suitably peeled off from the laminated body 30 after pressing, and deformation or breakage of the laminated body 30 due to poor peeling of the lower film 24b can be suppressed.

続いて、上述したセラミックグリーンシート積層体のプレス方法を用いた場合の積層体の寸法ばらつき抑制効果を検証するために行った実験について説明する。   Next, an experiment conducted for verifying the effect of suppressing the dimensional variation of the laminate when the above-described method for pressing the ceramic green sheet laminate is used will be described.

本実験は、長尺状をなす可撓性フィルムを介して積層体のプレス圧着を行った場合と、積層体の大きさに合わせてカットした可撓性フィルム(カットフィルム)を介して積層体のプレス圧着を行った場合とで、プレス後の積層体の各辺の寸法がどのように変化したかを調べたものである。積層体のサンプルとして、厚さが0.5mmのものと、0.3mmのものとを用意し、それぞれのサンプルについて、図13(a)に示す各辺a〜dの寸法の変化を測定した。   In this experiment, the laminated body was pressed through a flexible film (cut film) cut according to the size of the laminated body when the laminated body was press-bonded through a long flexible film. It was investigated how the dimension of each side of the laminated body after the press was changed in the case of performing the press-bonding. Samples of the laminate were prepared with thicknesses of 0.5 mm and 0.3 mm, and the changes in the dimensions of the sides a to d shown in FIG. 13A were measured for each sample. .

図13(b)は、その実験結果を示す図である。図13(b)に示すように、カットフィルムを使用した場合、厚さが0.5mmのサンプルでは、プレス後の各辺a〜dの変化量は0.062%〜0.145%であり、各辺a〜d間での寸法差は約0.08%となっている。また、厚さが0.3mmのサンプルでは、プレス後の各辺a〜dの変化量は0.098%〜0.280%であり、各辺a〜d間での寸法差は、約0.18%となっている。   FIG.13 (b) is a figure which shows the experimental result. As shown in FIG. 13 (b), when a cut film is used, in a sample having a thickness of 0.5 mm, the amount of change in each side a to d after pressing is 0.062% to 0.145%. The dimensional difference between the sides a to d is about 0.08%. In the sample having a thickness of 0.3 mm, the amount of change in each side a to d after pressing is 0.098% to 0.280%, and the dimensional difference between the sides a to d is about 0. 18%.

一方、長尺状のフィルムを使用した場合、厚さが0.5mmのサンプルでは、プレス後の各辺a〜dの変化量は0.020%〜0.053%であり、各辺a〜d間での寸法差は約0.03%となっている。また、厚さが0.3mmのサンプルでは、プレス後の各辺a〜dの変化量は0.008%〜0.028%であり、各辺a〜d間での寸法差は、約0.02%となっている。   On the other hand, when a long film is used, in a sample having a thickness of 0.5 mm, the amount of change of each side a to d after pressing is 0.020% to 0.053%, and each side a to The dimensional difference between d is about 0.03%. Further, in the sample having a thickness of 0.3 mm, the amount of change in each side a to d after pressing is 0.008% to 0.028%, and the dimensional difference between each side a to d is about 0. 0.02%.

このように、長尺状の可撓性フィルムを使用した場合、カットフィルムを使用した場合に比べて、プレス後の積層体の各辺の寸法差を低く抑えられている。これは、長尺状の可撓性フィルムを使用する場合に、積層体とフィルムとの位置決めが容易となり、プレスの際にプレス用型から積層体に加わる圧力の均一化が図れるためであり、本発明の有効性が確認できた。   Thus, when a long flexible film is used, the dimensional difference of each side of the laminated body after a press is suppressed low compared with the case where a cut film is used. This is because when a long flexible film is used, positioning of the laminate and the film is facilitated, and the pressure applied to the laminate from the pressing mold during pressing can be made uniform. The effectiveness of the present invention was confirmed.

本発明は、上記実施形態に限られるものではない。例えば、上述した実施形態では、下フィルム24bの幅は、上フィルム24aの幅よりも大きく、環状の枠体15とほぼ等幅としているが(図10参照)、下フィルム24bの幅は、上フィルム24aと等幅としてもよい。また、図14に示すように、環状の枠体15を設ける代わりに、環状の枠体15に対応する大きさの矩形の凹部40を下型11bの上面側に設け、この凹部40の底面を下型11bのプレス面20bとしてもよい。この場合、凹部40に沿って下フィルム24bを搬送し、凹部40に積層体30を嵌め込んだ後、上型11aを下型11bに向けて下降させれば。上述した実施形態と同様の作用効果を得ることが可能である。   The present invention is not limited to the above embodiment. For example, in the embodiment described above, the width of the lower film 24b is larger than the width of the upper film 24a and is substantially equal to the annular frame 15 (see FIG. 10), but the width of the lower film 24b is It may be the same width as the film 24a. Further, as shown in FIG. 14, instead of providing the annular frame 15, a rectangular recess 40 having a size corresponding to the annular frame 15 is provided on the upper surface side of the lower mold 11 b, and the bottom surface of the recess 40 is provided. It is good also as the press surface 20b of the lower mold | type 11b. In this case, if the lower film 24b is conveyed along the recessed part 40 and the laminated body 30 is fitted in the recessed part 40, then the upper mold 11a is lowered toward the lower mold 11b. It is possible to obtain the same effect as the above-described embodiment.

本発明の一実施形態に係るセラミックグリーンシート積層体のプレス方法を用いて製造されるセラミックコンデンサの斜視図である。It is a perspective view of the ceramic capacitor manufactured using the press method of the ceramic green sheet laminated body which concerns on one Embodiment of this invention. 図1におけるII−II線断面図である。It is the II-II sectional view taken on the line in FIG. 各誘電体層に形成される内部電極層の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the internal electrode layer formed in each dielectric material layer. 積層体の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of a laminated body. プレス装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of a press apparatus. 環状の枠型の斜視図である。It is a perspective view of an annular frame type. 図5に示したプレス装置を用いて行う圧着工程のフローチャートである。It is a flowchart of the crimping | compression-bonding process performed using the press apparatus shown in FIG. 図4に示した積層体の圧着工程を示す図である。It is a figure which shows the crimping | compression-bonding process of the laminated body shown in FIG. 図8の後続の工程を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a step subsequent to that in FIG. 8. プレスの際の積層体の状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state of the laminated body in the case of a press. 図9の後続の工程を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing a step subsequent to FIG. 9. エッジ部の近傍の構成を拡大して示す図である。It is a figure which expands and shows the structure of the vicinity of an edge part. 長尺状の可撓性フィルムを使用してプレス圧着した積層体と、カットフィルムを使用してプレス圧着した積層体とのプレス後の寸法ばらつきの差を検証した実験の実験結果を示す図である。It is a figure which shows the experimental result of the experiment which verified the difference of the dimensional dispersion after the press of the laminated body press-bonded using a long flexible film, and the laminated body press-pressed using a cut film. is there. 変形例に係るプレス装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the press apparatus which concerns on a modification.

符号の説明Explanation of symbols

1…セラミックコンデンサ、7,8…セラミックグリーンシート、10…プレス装置、11a…上型、11b…下型、13…上フィルム搬送機構(第1のフィルム搬送手段)、14…下フィルム搬送機構(第2のフィルム搬送手段)、15…環状の枠体、16…動作制御部(型制御手段、枠体配置手段)、20a…上型のプレス面、20b…下型のプレス面、24a…上フィルム(第1の可撓性フィルム)、24b…下フィルム(第2の可撓性フィルム)、29…エッジ部、30…積層体。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ceramic capacitor, 7, 8 ... Ceramic green sheet, 10 ... Press apparatus, 11a ... Upper mold | type, 11b ... Lower mold | type, 13 ... Upper film conveyance mechanism (1st film conveyance means), 14 ... Lower film conveyance mechanism ( (Second film conveying means), 15 ... annular frame, 16 ... operation control section (mold control means, frame body arranging means), 20a ... upper press surface, 20b ... lower die press surface, 24a ... upper Film (first flexible film), 24b ... lower film (second flexible film), 29 ... edge portion, 30 ... laminate.

Claims (4)

互いのプレス面が対向するように配置された上型及び下型により、複数のセラミックグリーンシートを積層した積層体をプレスするセラミックグリーンシート積層体のプレス方法であって、
前記上型のプレス面及び前記下型のプレス面に対向するように、長尺状をなす第1の可撓性フィルム及び第2の可撓性フィルムをそれぞれ搬送する工程と、
前記上型のプレス面及び前記下型のプレス面の間において、前記積層体を前記第1の可撓性フィルム及び前記第2の可撓性フィルムの間に配置する工程と、
前記積層体の側面を囲うように、前記第1の可撓性フィルム及び前記第2の可撓性フィルムの間に環状の枠体を配置する工程と、
前記各プレス面が相対的に接近するように前記上型及び前記下型の少なくとも一方を他方に向けて進出させ、前記第1の可撓性フィルム及び前記第2の可撓性フィルムを介して、前記積層体を前記セラミックグリーンシートの積層方向に加圧する工程とを備えたことを特徴とするセラミックグリーンシート積層体のプレス方法。
A method for pressing a ceramic green sheet laminate, in which a laminate in which a plurality of ceramic green sheets are laminated is pressed by an upper die and a lower die that are arranged so that the respective press surfaces face each other,
A step of conveying the first flexible film and the second flexible film having a long shape so as to face the press surface of the upper mold and the press surface of the lower mold, and
Disposing the laminate between the first flexible film and the second flexible film between the upper mold press surface and the lower mold press surface;
Disposing an annular frame between the first flexible film and the second flexible film so as to surround a side surface of the laminate;
At least one of the upper mold and the lower mold is advanced toward the other so that the press surfaces are relatively close to each other, and the first flexible film and the second flexible film are interposed therebetween. And a step of pressing the laminated body in the laminating direction of the ceramic green sheet.
前記上型及び前記下型の配置位置よりも下流側において、前記第1の可撓性フィルム又は前記第2の可撓性フィルムの搬送方向をエッジ部によって折り返す工程を更に備えたことを特徴とする請求項記載のセラミックグリーンシート積層体のプレス方法。 The method further comprises a step of turning back the conveying direction of the first flexible film or the second flexible film by an edge portion on the downstream side of the arrangement position of the upper mold and the lower mold. The method for pressing a ceramic green sheet laminate according to claim 1 . 互いのプレス面が対向するように配置された上型及び下型により、複数のセラミックグリーンシートを積層した積層体をプレスするプレス装置であって、
前記上型のプレス面及び前記下型のプレス面に対向するように、長尺状をなす第1の可撓性フィルム及び第2の可撓性フィルムをそれぞれ搬送する第1のフィルム搬送手段及び第2のフィルム搬送手段と、
前記積層体の側面を囲うように、前記第1の可撓性フィルム及び前記第2の可撓性フィルムの間に環状の枠体を配置する枠体配置手段と、
前記各プレス面が相対的に接近するように、前記上型及び前記下型の少なくとも一方を他方に向けて進出させ、前記第1の可撓性フィルム及び前記第2の可撓性フィルムを介して、前記積層体を前記セラミックグリーンシートの積層方向に加圧する型制御手段とを備えたことを特徴とするプレス装置。
A pressing device that presses a laminated body in which a plurality of ceramic green sheets are laminated by an upper die and a lower die that are arranged so that their press surfaces face each other,
A first film transporting means for transporting a first flexible film and a second flexible film, which are elongated, so as to face the press surface of the upper mold and the press surface of the lower mold, and A second film conveying means;
Frame body arrangement means for arranging an annular frame body between the first flexible film and the second flexible film so as to surround a side surface of the laminate;
At least one of the upper mold and the lower mold is advanced toward the other so that the press surfaces are relatively close to each other, and the first flexible film and the second flexible film are interposed therebetween. And a die control means for pressing the laminate in the laminating direction of the ceramic green sheets.
前記上型及び前記下型の配置位置よりも下流側において、前記第1の可撓性フィルム又は前記第2の可撓性フィルムの搬送方向を折り返すエッジ部を更に備えたことを特徴とする請求項記載のプレス装置。 The apparatus further comprises an edge portion that turns back a conveying direction of the first flexible film or the second flexible film on a downstream side of the arrangement position of the upper mold and the lower mold. Item 4. The pressing device according to item 3 .
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