JP3489445B2 - Laminated body manufacturing method and laminated body manufacturing apparatus - Google Patents

Laminated body manufacturing method and laminated body manufacturing apparatus

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JP3489445B2 JP18145398A JP18145398A JP3489445B2 JP 3489445 B2 JP3489445 B2 JP 3489445B2 JP 18145398 A JP18145398 A JP 18145398A JP 18145398 A JP18145398 A JP 18145398A JP 3489445 B2 JP3489445 B2 JP 3489445B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本願発明は、積層体の製造方
法及び製造装置に関し、詳しくは、キャリアフィルムに
支持されたグリーンシートを積み重ねることにより積層
体を製造する方法及びそれに用いられる製造装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a laminated body, and more particularly to a method for manufacturing a laminated body by stacking green sheets supported by a carrier film and a manufacturing apparatus used therefor.

【0002】[0002]

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】代表的
な積層電子部品の一つである積層セラミックコンデンサ
は、通常、グリーンシート(セラミックグリーンシー
ト)に内部電極となる導電ペーストを所定のパターンで
印刷した電極印刷シートと、導電ペーストの印刷されて
いないグリーンシート(カバーシート)を所定枚数積層
し、圧着することにより、積層圧着体を形成し、この積
層圧着体を所定の位置でカットし、個々のセラミック素
子を切り出し、これを焼成した後、セラミック素子の端
面を含む両端部に導電ペーストを塗布、焼き付けして、
内部電極と導通する外部電極を形成することにより製造
されている。
2. Description of the Related Art A monolithic ceramic capacitor, which is one of typical monolithic electronic components, usually has a green sheet (ceramic green sheet) and a conductive paste serving as an internal electrode formed in a predetermined pattern. A predetermined number of printed electrode-printed sheets and green sheets (cover sheets) on which no conductive paste is printed are laminated and pressure-bonded to form a laminated pressure-bonded body, which is cut at a predetermined position. After cutting out each ceramic element and firing it, conductive paste is applied to both ends including the end surface of the ceramic element and baked,
It is manufactured by forming an external electrode that is electrically connected to the internal electrode.

【0003】ところで、このような積層電子部品の製造
に用いられるグリーンシートは、機械的強度が小さく、
慎重な取扱が必要であるが、近年、電子部品の小型化へ
の要求が大きくなるにつれて、極めて薄く、機械的な強
度がさらに小さいグリーンシートが用いられるようにな
っている。そのため、取扱中にグリーンシートが損傷し
ないように、グリーンシートをキャリアフィルムに支持
させた状態で取り扱う種々の方法が提案、実施されるに
至っている。
By the way, a green sheet used for manufacturing such a laminated electronic component has a small mechanical strength,
Although careful handling is required, in recent years, as the demand for miniaturization of electronic components has increased, extremely thin green sheets having even lower mechanical strength have been used. Therefore, various methods have been proposed and implemented in which the green sheet is handled while being supported by a carrier film so that the green sheet is not damaged during handling.

【0004】そして、キャリアフィルムに支持させたグ
リーンシートを積層、圧着して積層体を製造する方法と
しては、例えば、図6に示すように、キャリアフィルム
51の一方の面(図6では下面)に支持されたグリーン
シート(被積層シート)52aをテーブル53の上方に
位置させた後、図7に示すように、プレスヘッド54a
を下降させてプレスすることにより、被積層シート52
aをテーブル53あるいはテーブル53上のグリーンシ
ート52bの上面に圧着した後、図8に示すように、キ
ャリアフィルム51を上方に持ち上げて被積層シート5
2aから引き剥がし、再び、次の被積層シートを積層、
圧着することにより積層体を製造している。
As a method for manufacturing a laminated body by laminating and pressing the green sheets supported on the carrier film, for example, as shown in FIG. 6, one surface of the carrier film 51 (the lower surface in FIG. 6). After the green sheet (sheets to be laminated) 52a supported on the table 53 is positioned above the table 53, as shown in FIG.
By pressing and lowering the laminated sheet 52
After a is pressure-bonded to the upper surface of the table 53 or the green sheet 52b on the table 53, the carrier film 51 is lifted up to raise the laminated sheet 5 as shown in FIG.
Peel off from 2a, stack the next laminated sheet again,
The laminate is manufactured by pressure bonding.

【0005】しかし、上記従来の方法では、被積層シー
ト52aを、下面が平坦なプレスヘッド54aにより、
キャリアフィルム51を介してグリーンシート52bに
押圧して圧着するようにしているため、ときとして被積
層シート52aとグリーンシート52bの間に空気が入
り込んで、被積層シート52aとグリーンシート52b
を圧着した後にも層間に残留し、デラミネーションや接
着不良の原因になるという問題点がある。
However, in the above-mentioned conventional method, the laminated sheet 52a is pressed by the press head 54a having a flat lower surface.
Since the green sheet 52b is pressed and pressure-bonded via the carrier film 51, air sometimes enters between the laminated sheet 52a and the green sheet 52b, and the laminated sheet 52a and the green sheet 52b.
There is a problem in that even after pressure bonding, it remains between layers, causing delamination and poor adhesion.

【0006】そこで、被積層シート52aとグリーンシ
ート52bの間に空気が入り込むことを防止するため
に、例えば、図9に示すような積層体の製造方法が提案
されている。すなわち、この方法は、キャリアフィルム
51の一方の面(図9では下面)に支持されたグリーン
シート(被積層シート)52aを、テーブル53上の、
グリーンシート52bの上面側に積み重ね、ローラ54
により、キャリアフィルム51を介して被積層シート5
2aをグリーンシート52bに押し付けながら、ローラ
54を略水平方向(矢印Aの方向)に移動させ、被積層
シート52aとグリーンシート52bの間の空気を追い
出しつつ、シート間に空気を入り込ませることなく被積
層シート52aをグリーンシート52bに圧着しようと
するものであり、その後、キャリアフィルム51を剥離
して、所定の方向(この例では矢印Bの方向)に移動さ
せ、次の被積層シートを積み重ねることにより、積層体
を形成しようとするものである。なお、この方法では、
ローラによりグリーンシートを圧着して形成した積層体
を、最終的にもう一度プレスする場合もある。
Therefore, in order to prevent air from entering between the laminated sheet 52a and the green sheet 52b, for example, a method of manufacturing a laminated body as shown in FIG. 9 has been proposed. That is, in this method, the green sheet (sheets to be laminated) 52 a supported on one surface (lower surface in FIG. 9) of the carrier film 51 is placed on the table 53,
Stacked on the upper surface side of the green sheet 52b, the roller 54
The laminated sheet 5 through the carrier film 51.
While pressing the 2a against the green sheet 52b, the roller 54 is moved in a substantially horizontal direction (the direction of arrow A) to expel the air between the laminated sheets 52a and the green sheet 52b without causing air to enter between the sheets. The laminated sheet 52a is to be pressure-bonded to the green sheet 52b, and then the carrier film 51 is peeled off and moved in a predetermined direction (the direction of arrow B in this example) to stack the next laminated sheet. This intends to form a laminated body. In this method,
In some cases, the laminate formed by pressing the green sheet with a roller is finally pressed again.

【0007】しかし、この方法の場合、積層体を構成す
るグリーンシート間に空気が入り込むことを防止するこ
とは可能になるが、ローラ54をキャリアフィルム51
に押し付けた状態で、被積層シート52aの積み重ね方
向と直交する方向(矢印Aの方向に移動させながら圧着
を行うようにしているため(すなわち、ローラ54を移
動させることにより空気を除去するだけではなく、ロー
ラ54により、被積層シート52aをグリーンシート5
2bに圧着するようにしているため)、ローラ54を比
較的強くキャリアフィルム51に押し付けることが必要
になる。したがって、それに起因してグリーンシートの
積み重ねずれが発生し、所望の電気的特性が得られなく
なるというような問題点がある。
However, in the case of this method, it is possible to prevent air from entering between the green sheets forming the laminated body, but the roller 54 and the carrier film 51 are prevented.
In the state of being pressed against, the pressure is applied while moving in the direction orthogonal to the stacking direction of the laminated sheets 52a (moving in the direction of arrow A) (that is, by removing the air by moving the roller 54). Instead, the laminated sheet 52a is transferred to the green sheet 5 by the roller 54.
It is necessary to press the roller 54 against the carrier film 51 comparatively strongly, because the roller 54 is pressed against the carrier film 51. Therefore, there arises a problem that stacking deviation of the green sheets occurs due to this, and desired electrical characteristics cannot be obtained.

【0008】本願発明は、上記問題点を解決するもので
あり、グリーンシートの積みずれを引き起こすことな
く、積層体を構成する各グリーンシート間に空気が入り
込んで積層体中に残留することを防止し、デラミネーシ
ョンや接着不良などがなく、所望の特性を備えた信頼性
の高い積層体を効率よく製造することが可能な積層体の
製造方法及び積層体の製造装置を提供することを目的と
する。
The present invention solves the above problems and prevents air from entering between the green sheets forming the laminate and remaining in the laminate without causing stacking of the green sheets. However, it is an object of the present invention to provide a laminated body manufacturing method and a laminated body manufacturing apparatus capable of efficiently manufacturing a highly reliable laminated body having desired characteristics without delamination or poor adhesion. To do.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明(請求項1)の積層体の製造方法は、キャ
リアフィルムに支持されたグリーンシートを積み重ねて
積層体を製造する方法において、キャリアフィルムの一
方の面に支持されたグリーンシート(被積層シート)
を、該被積層シートが積層、圧着されるべきグリーンシ
ートと対向するように位置させる工程と、前記キャリア
フィルムを介して被積層シートをグリーンシートに押し
付ける一次プレス(予備プレス)手段を、積みずれが生
じない程度にキャリアフィルムに押し付けながら略水平
方向に移動させ、被積層シートとグリーンシートの間の
空気を追い出しつつ、被積層シートをグリーンシートに
予備的に圧着する一次プレス(予備プレス)工程と、
直方向に動作する二次プレス手段を下降させることによ
り、前記一次プレス(予備プレス)工程で形成された被
積層シートとグリーンシートの予備圧着体を、キャリア
フィルムを介してプレスして、被積層シートをグリーン
シートに圧着する二次プレス工程と、二次プレス工程で
グリーンシートに圧着された被積層シートからキャリア
フィルムを剥離する剥離工程と、を具備し、かつ、被積
層シート一層ごとに、前記一次プレス(予備プレス)工
程、前記二次プレス工程及び前記剥離工程を実施して積
層体を形成することを特徴としている。
In order to achieve the above object, the method for producing a laminate of the present invention (claim 1) is a method for producing a laminate by stacking green sheets supported by a carrier film. , Green sheet supported on one side of carrier film (laminated sheet)
A該被laminated sheet is laminated, a step to position to the green sheet and the facing to be crimped, the primary press (pre-press) means for pressing the object to be laminated sheet on the green sheet through the carrier film, displacement pile Raw
It is almost horizontal while pressing it against the carrier film so that it does not twist
It is moved in a direction, while expelling air between the stacked sheets and green sheets, a primary press preliminarily crimp the the stacked sheet on the green sheet (pre-press) process, vertical
By lowering the secondary pressing means operating in the straight direction,
Ri, the primary press (pre-press) the stacked sheet formed in the step and the preliminary pressure-bonded body of the green sheets, and less up through the carrier film, the secondary pressing step for crimping the stacked sheet on the green sheet , In the secondary pressing process
It includes a peeling step of peeling away the carrier film from the laminated sheet that is pressed against the green sheet, a, and the product
The primary press (preliminary press) work for each layer sheet
After performing the secondary pressing step and the peeling step,
It is characterized by forming a layered body .

【0010】本願発明(請求項1)の積層体の製造方法
は、一次プレス(予備プレス)工程で、一次プレス(予
備プレス)手段を、積みずれが生じない程度にキャリア
フィルムに押し付けながら略水平方向に移動させ、被積
層シートとグリーンシートの間の空気を追い出しつつ、
被積層シートをグリーンシートに予備的に圧着した後、
二次プレス工程で、垂直方向に動作する二次プレス手段
を下降させることにより、被積層シートとグリーンシー
トの予備圧着体を、キャリアフィルムを介してプレスし
て、被積層シートをグリーンシートに圧着した後、圧着
された被積層シートからキャリアフィルムを剥離するよ
うにしており、被積層シート一層ごとに、一次プレス
(予備プレス)工程、二次プレス工程及び剥離工程を実
施して積層体を形成するようにしているので、グリーン
シートの積みずれを引き起こすことなく、各シート間に
空気が入り込むことを防止し、デラミネーションや接着
不良などがなく、所望の特性を備えた信頼性の高い積層
体を効率よく製造することができるようになる。すなわ
ち、予備プレス工程では、両者の間の空気を追い出しつ
つ、予備的に圧着することを目的としていることから、
一次プレス(予備プレス)手段によって積みずれを生じ
るほど強くプレスする必要がないため、従来の方法にお
いて生じるようなローラによるプレス工程での積みずれ
の発生を防止することができるとともに、その後の二次
プレスにより、各シートが確実に圧着されることにな
り、デラミネーションや接着不良などがなく、所望の特
性を備えた信頼性の高い積層体を得ることが可能にな
る。
A method for manufacturing a laminated body according to the present invention (claim 1)
In the primary pressing (preliminary pressing) step, the primary pressing (preliminary pressing) means is moved in a substantially horizontal direction while being pressed against the carrier film to the extent that stacking does not occur, and the air between the laminated sheet and the green sheet is removed. While kicking out
After pre-pressing the laminated sheet to the green sheet,
Secondary pressing means that operates vertically in the secondary pressing process
By lowering the preliminary compression of the stacked sheets and green sheets, and less up through the carrier film, after crimping the stacked sheet on the green sheet, peeling off the carrier film from the laminated sheet is crimped I will do it
The primary press for each layer of laminated sheets
Performs (preliminary pressing) process, secondary pressing process and peeling process
Since it is applied to form a laminated body, it does not cause stacking of the green sheets, prevents air from entering between the sheets, has no delamination or adhesion failure, and has desired characteristics. A highly reliable laminated body can be efficiently manufactured. That is, in the preliminary pressing step, the purpose is to preliminarily crimp while expelling the air between them,
Since it is not necessary to press so strongly as to cause stacking by the primary pressing (preliminary pressing) means, it is possible to prevent the stacking from occurring in the pressing process by the roller that occurs in the conventional method, and to perform the secondary pressing after that. By pressing, the respective sheets are reliably pressure-bonded, and it is possible to obtain a highly reliable laminated body having desired characteristics without delamination or defective adhesion.

【0011】また、請求項2の積層体の製造方法は、前
記一次プレス(予備プレス)工程で用いられる一次プレ
ス(予備プレス)手段が、回転させながらキャリアフィ
ルム上を所定の方向に移動させることが可能なローラで
あることを特徴としている。
Further, in the method for manufacturing a laminated body according to a second aspect, the primary pressing (preliminary pressing) means used in the primary pressing (preliminary pressing) step moves the carrier film in a predetermined direction while rotating. It is characterized by being a roller that can.

【0012】一次プレス工程で用いられる一次プレス手
段として、回転させながらキャリアフィルム上を所定の
方向に移動させることが可能なローラを用いることによ
り、一次プレス手段をキャリアフィルムに押し付けなが
ら円滑に移動させ、積みずれを生じることなく、効率よ
く被積層シートとグリーンシートの間の空気を追い出す
ことが可能になり、本願発明をより実効あらしめること
ができる。
As the primary pressing means used in the primary pressing step, by using a roller capable of moving in a predetermined direction on the carrier film while rotating, the primary pressing means is smoothly moved while being pressed against the carrier film. The air between the laminated sheet and the green sheet can be efficiently expelled without causing stacking, and the present invention can be more effectively realized.

【0013】また、請求項3の積層体の製造方法は、所
定枚数のグリーンシートを積層、圧着した後に、全体を
プレスして各グリーンシートを最終的に圧着する最終プ
レス(三次プレス)工程を備えていることを特徴として
いる。
The method for manufacturing a laminated body according to a third aspect of the present invention is such that a predetermined number of green sheets are laminated and pressure-bonded, and then the whole is pressed to finally pressure-bond each green sheet. It is characterized in that it is equipped with a third pressing process.

【0014】定枚数のグリーンシートを積層、圧着し
た後に、全体を最終的にプレスするようにした場合、各
シートの密着性をさらに向上させることが可能になり、
信頼性の高い積層体を得ることが可能になる。
[0014] stacking the green sheets of Jo Tokoro number, after crimping, if you choose to press the entire Finally, it is possible to further improve the adhesion of the sheet,
It becomes possible to obtain a highly reliable laminated body.

【0015】また、本願発明(請求項4)の積層体の製
造装置は、請求項1,2又は3記載の積層体の製造方法
を実施するために用いられる積層体の製造装置であっ
て、前記一次プレス(予備プレス)工程で用いられ、
みずれが生じない程度に前記キャリアフィルムに押し付
けられながら略水平方向に移動することにより、前記キ
ャリアフィルムを介して被積層シートをグリーンシート
に押し付けて、被積層シートとグリーンシートの間の空
気を追い出しつつ、前記被積層シートを前記グリーンシ
ートに予備的に圧着する一次プレス(予備プレス)手段
と、前記二次プレス工程で用いられ、垂直方向に動作す
ることにより、前記一次プレス工程で形成された被積層
シートとグリーンシートの予備圧着体を、キャリアフィ
ルムを介して二次プレスすることにより、被積層シート
をグリーンシートに圧着する二次プレス手段とを具備す
ることを特徴としている。
A laminated body manufacturing apparatus of the present invention (Claim 4) is a laminated body manufacturing apparatus used for carrying out the laminated body manufacturing method according to Claim 1, 2, or 3, the used in the primary press (pre-press) process, product
By moving in a substantially horizontal direction while being pressed against the carrier film to the extent that misregistration does not occur, the laminated sheet is pressed against the green sheet via the carrier film, and air between the laminated sheet and the green sheet is removed. A primary press (preliminary press) means for preliminarily press-bonding the laminated sheet to the green sheet while ejecting, and a vertical press used in the secondary pressing step .
By performing a secondary pressing of the pre-pressed body of the laminated sheet and the green sheet formed in the primary pressing step through a carrier film, a secondary pressing means for press-bonding the laminated sheet to the green sheet, and It is characterized by having.

【0016】本願発明(請求項4)の積層体の製造装置
は、上述のように、積みずれが生じない程度にキャリア
フィルムに押し付けられながら略水平方向に移動するこ
とにより、キャリアフィルムを介して被積層シートをグ
リーンシートに押し付けて、被積層シートとグリーンシ
ートの間の空気を追い出しつつ、被積層シートをグリー
ンシートに予備的に圧着する一次プレス(予備プレス)
手段と、垂直方向に動作することにより、一次プレス工
程で形成された被積層シートとグリーンシートの予備圧
着体を、キャリアフィルムを介して二次プレスすること
により、被積層 シートをグリーンシートに圧着する二次
プレス手段を備えており、上記本願発明の積層体の製造
方法を効率よく実施して、デラミネーションや接着不良
などがなく、且つ、所望の特性を備えた信頼性の高い積
層体を効率よく製造することが可能になる。
As described above, the laminated body manufacturing apparatus of the present invention (Claim 4) is such that the carrier does not become unstacked.
It can move in a substantially horizontal direction while being pressed against the film.
By doing so, the laminated sheet is guided through the carrier film.
By pressing it against the lean sheet, the laminated sheet and the green sheet
Glee the laminated sheet while expelling the air between the sheets.
Primary press (preliminary press) for preliminarily crimping the sheet
By means of vertical movement by means of
Pressure of laminated sheet and green sheet formed by
Secondary pressing the body through the carrier film
According to the present invention, the laminated sheet is provided with a secondary pressing means for press- bonding the laminated sheet to the green sheet, the method for producing a laminated body of the present invention is efficiently carried out, and there is no delamination or adhesion failure, and desired characteristics are obtained. It is possible to efficiently manufacture a highly reliable laminated body having the above.

【0017】また、請求項5の積層体の製造装置は、前
記一次プレス(予備プレス)工程で用いられる一次プレ
ス(予備プレス)手段が、回転させながらキャリアフィ
ルム上を所定の方向に移動させることが可能なローラで
あることを特徴としている。
Further, in the apparatus for manufacturing a laminated body according to a fifth aspect, the primary pressing (preliminary pressing) means used in the primary pressing (preliminary pressing) step moves the carrier film in a predetermined direction while rotating. It is characterized by being a roller that can.

【0018】一次プレス工程で用いられる一次プレス手
段として、回転させながらキャリアフィルム上を所定の
方向に移動させることが可能なローラを用いることによ
り、一次プレス手段をキャリアフィルムに押し付けなが
ら円滑に移動させ、積みずれを生じることなく、効率よ
く被積層シートとグリーンシートの間の空気を追い出す
ことが可能になり、本願発明をより実効あらしめること
ができる。
As a primary pressing means used in the primary pressing step, by using a roller capable of moving in a predetermined direction on the carrier film while rotating, the primary pressing means is smoothly moved while being pressed against the carrier film. The air between the laminated sheet and the green sheet can be efficiently expelled without causing stacking, and the present invention can be more effectively realized.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を示
して、その特徴とするところをさらに詳しく説明する。
なお、この実施形態では、キャリアフィルムの下面側に
支持されたグリーンシート(被積層シート)を積層、圧
着して積層体を製造するための装置を例にとって説明す
る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The features of the present invention will be described below in more detail with reference to the embodiments of the present invention.
In addition, in this embodiment, an apparatus for manufacturing a laminated body by laminating and press-bonding green sheets (sheets to be laminated) supported on the lower surface side of the carrier film will be described as an example.

【0020】図1はこの実施形態で用いた積層体の製造
装置の概略構成を示す図である。この実施形態の積層体
の製造装置は、図1〜図5に示すように、グリーンシー
ト(被積層シート)2aを支持したキャリアフィルム1
を搬送して、その下面側に支持されたグリーンシート
(被積層シート)2aを、テーブル(受圧板)3上に、
つまりテーブル3上のグリーンシート2bと対向するよ
うに位置させる搬送ローラ20a,20bと、一次プレ
ス(予備プレス)工程で用いられ、キャリアフィルム1
に押し付けられながら、その上面側を移動することによ
り、キャリアフィルム1を介して被積層シート2aをグ
リーンシート2bに押し付ける一次プレス(予備プレ
ス)手段であるローラ4と、一次プレス工程で形成され
たグリーンシート予備圧着体23(図5)を、キャリア
フィルム1を介して二次プレスする二次プレス手段であ
るプレスヘッド14とを備えている。
FIG. 1 is a diagram showing a schematic structure of a laminated body manufacturing apparatus used in this embodiment. As shown in FIG. 1 to FIG. 5, the laminated body manufacturing apparatus of this embodiment has a carrier film 1 supporting a green sheet (sheet to be laminated) 2a.
Is conveyed, and the green sheet (sheets to be laminated) 2a supported on the lower surface side thereof is placed on the table (pressure receiving plate) 3,
That is, the carrier rollers 20a and 20b positioned so as to face the green sheet 2b on the table 3 and the carrier film 1 used in the primary pressing (preliminary pressing) step.
The roller 4 which is a primary press (preliminary press) means for pressing the laminated sheet 2a against the green sheet 2b through the carrier film 1 by moving the upper surface side while being pressed against The green sheet preliminary press-bonded body 23 (FIG. 5) is provided with a press head 14 which is a secondary pressing means for secondary pressing through the carrier film 1.

【0021】なお、一次プレス手段であるローラ4は、
特に図示しない駆動手段により所定の方向に動作させる
ことができるように構成されており、また、二次プレス
手段であるプレスヘッド14は、特に図示しない駆動手
段により昇降させることができるように構成されてい
る。
The roller 4 as the primary pressing means is
It is constructed so that it can be operated in a predetermined direction by a driving means (not shown), and the press head 14 which is a secondary pressing means is constructed so that it can be moved up and down by a driving means (not shown). ing.

【0022】次に、上記積層体の製造装置を用いて、積
層体を製造する方法について説明する。図1〜図5は、
この実施形態の積層体の製造方法の各工程を模式的に示
す図である。
Next, a method of manufacturing a laminated body using the above laminated body manufacturing apparatus will be described. 1 to 5 are
It is a figure which shows typically each process of the manufacturing method of the laminated body of this embodiment.

【0023】なお、この実施形態では、図1〜5に示す
ように、キャリアフィルム1の下面側に支持されたグリ
ーンシート(被積層シート)2aを、テーブル3上のグ
リーンシート2bに積層、圧着して積層体を製造する場
合を例にとって説明する。
In this embodiment, as shown in FIGS. 1 to 5, a green sheet (sheets to be laminated) 2a supported on the lower surface side of the carrier film 1 is laminated on the green sheet 2b on the table 3 by pressure bonding. A case where the laminated body is manufactured by using the above will be described as an example.

【0024】(1)まず、図1に示すように、キャリアフ
ィルム1の下面に支持されたグリーンシート(被積層シ
ート)2aを、テーブル3上のグリーンシート2bの上
方に位置させる。
(1) First, as shown in FIG. 1, the green sheet (sheets to be laminated) 2a supported on the lower surface of the carrier film 1 is positioned above the green sheet 2b on the table 3.

【0025】(2)それから、図2に示すように、ローラ
4を下降させ、キャリアフィルム1の下面に支持された
被積層シート2aの端部を、グリーンシート2bの上面
の端部に当接させる。
(2) Then, as shown in FIG. 2, the roller 4 is lowered to bring the end of the laminated sheet 2a supported on the lower surface of the carrier film 1 into contact with the end of the upper surface of the green sheet 2b. Let

【0026】(3)それから、図3に示すように、ローラ
4を、キャリアフィルム1に押し付けながら、徐々に矢
印Aの方向(略水平方向)に移動させ、最終的には図4
に示すように、ローラ4を被積層シート2aの逆側の端
部にまで移動させることにより、一次プレス(予備プレ
ス)を行う。この一次プレス工程においては、ローラ4
が矢印A方向に移動する過程で、被積層シート2aとグ
リーンシート2bの間から空気が追い出され、被積層シ
ート2aの下面がグリーンシート2bの上面に密着す
る。その結果、被積層シート2aとグリーンシート2b
の間に空気が残留することを確実に防止することができ
る。
(3) Then, as shown in FIG. 3, while pressing the roller 4 against the carrier film 1, the roller 4 is gradually moved in the direction of arrow A (substantially horizontal direction), and finally, as shown in FIG.
As shown in, the roller 4 is moved to the opposite end of the laminated sheet 2a to perform the primary pressing (preliminary pressing). In this primary pressing process, the roller 4
In the process of moving in the direction of arrow A, air is expelled from between the laminated sheet 2a and the green sheet 2b, and the lower surface of the laminated sheet 2a adheres to the upper surface of the green sheet 2b. As a result, the laminated sheet 2a and the green sheet 2b
It is possible to reliably prevent air from remaining during the period.

【0027】(4)そして、この状態で、図5に示すよう
に、プレスヘッド14を下降させ、キャリアフィルム1
の上から、被積層シート2aとテーブル3上のグリーン
シートの予備圧着体23をプレス(二次プレス)して、
被積層シート2aをグリーンシート2bに圧着する。
(4) Then, in this state, as shown in FIG. 5, the press head 14 is lowered to remove the carrier film 1.
From above, the pre-pressed body 23 of the laminated sheet 2a and the green sheet on the table 3 is pressed (secondary press),
The laminated sheet 2a is pressure bonded to the green sheet 2b.

【0028】(5)それから、プレスヘッド14を上昇さ
せ、キャリアフィルム1を被積層シート2aの上面から
剥離した後、キャリアフィルム1を移動させて図1の状
態とし、上記(1)〜(4)の操作を繰り返すことにより、
グリーンシートを所定枚数積層した積層体を形成する。
(5) Then, the press head 14 is raised to separate the carrier film 1 from the upper surface of the laminated sheet 2a, and then the carrier film 1 is moved to the state shown in FIG. By repeating the operation of
A predetermined number of green sheets are laminated to form a laminate.

【0029】(6)それから、(5)で形成した積層体を最
終的にプレス(三次プレス)することにより、各シート
が確実に密着した積層体を得る。この三次プレスは、二
次プレス手段であるプレスヘッド14を用いて容易に行
うことができるが、他の既知のプレス手段を用いて行っ
てもよい。
(6) Then, the laminated body formed in (5) is finally pressed (tertiary press) to obtain a laminated body in which the respective sheets are firmly adhered. This tertiary pressing can be easily performed by using the press head 14 which is the secondary pressing means, but may be performed by using other known pressing means.

【0030】なお、上記実施形態では、ローラ4を矢印
Aの方向に移動させて予備プレスを行うようにした場合
について説明したが、各被積層シート2aごとに逆側に
移動させるようにして、ローラ4の移動距離を短くし
て、効率よく予備プレスを行うようにすることも可能に
なる。
In the above embodiment, the case where the roller 4 is moved in the direction of the arrow A to perform the preliminary pressing has been described. However, the roller 4 is moved to the opposite side for each laminated sheet 2a. It is also possible to shorten the moving distance of the roller 4 and efficiently perform the preliminary pressing.

【0031】また、上記実施形態では、一次プレス(予
備プレス)手段として、ローラを用いた場合について説
明したが、本願発明において、一次プレス手段はローラ
に限られるものではなく、特に回転しない板状や棒状の
押圧部材を一次プレス手段として用い、これらをキャリ
アフィルムに押し付けながらスライドさせるように構成
することも可能である。さらに、上記実施形態では、キ
ャリアフィルム1に支持された被積層シート2aを、グ
リーンシート2bに積み重ねる場合について説明した
が、テーブル上に直接被積層シート2aを圧着させても
もちろんよい。つまり、積層体を構成する全ての被積層
シートを同様に積み重ねてもよい。
Further, in the above embodiment, the case where the roller is used as the primary pressing (preliminary pressing) means has been described. It is also possible to use a bar-shaped pressing member as the primary pressing means and slide them while pressing them against the carrier film. Further, in the above embodiment, the case where the laminated sheets 2a supported by the carrier film 1 are stacked on the green sheet 2b has been described, but it goes without saying that the laminated sheets 2a may be directly pressure-bonded to the table. That is, all the laminated sheets that form the laminated body may be stacked in the same manner.

【0032】また、上記実施形態では、グリーンシート
だけを繰り返して積層、圧着するようにした場合を例に
とって説明したが、一枚のグリーンシートを積層、圧着
した後、その表面に電極を印刷し、その後再びグリーン
シートを積層、圧着するような場合にも本願発明の方法
及び装置を適用することが可能である。また、本願発明
は、任意の電極を備えたグリーンシートを積層、圧着す
るような場合にも適用することが可能であることはいう
までもない。
In the above embodiment, the case where only the green sheets are repeatedly laminated and pressure-bonded has been described as an example. However, after laminating and pressure-bonding one green sheet, an electrode is printed on the surface thereof. The method and apparatus of the present invention can be applied to the case where the green sheets are laminated and pressed again after that. Further, it goes without saying that the present invention can be applied to a case where green sheets having arbitrary electrodes are laminated and pressure-bonded.

【0033】本願発明は、さらにその他の点においても
上記実施形態に限定されるものではなく、二次プレス手
段の具体的な構成などに関し、発明の要旨の範囲内にお
いて、種々の応用、変形を加えることが可能である。
The invention of the present application is not limited to the above-mentioned embodiment in other points as well, and various applications and modifications are possible within the scope of the gist of the invention with respect to a specific structure of the secondary pressing means. It is possible to add.

【0034】[0034]

【発明の効果】上述のように、本願発明(請求項1)の
積層体の製造方法は、一次プレス(予備プレス)工程
で、一次プレス(予備プレス)手段を、積みずれが生じ
ない程度にキャリアフィルムに押し付けながら略水平方
向に移動させ、被積層シートとグリーンシートの間の空
気を追い出しつつ、被積層シートをグリーンシートに予
備的に圧着した後、二次プレス工程で、垂直方向に動作
する二次プレス手段を下降させることにより、被積層シ
ートとグリーンシートの予備圧着体をキャリアフィルム
を介してプレスして、被積層シートをグリーンシートに
圧着した後、圧着された被積層シートからキャリアフィ
ルムを剥離するようにしており、被積層シー ト一層ごと
に、一次プレス(予備プレス)工程、二次プレス工程及
び剥離工程を実施して積層体を形成するようにしている
ので、グリーンシートの積みずれを引き起こすことな
く、各シート間に空気が入り込むことを防止し、デラミ
ネーションや接着不良などがなく、所望の特性を備えた
信頼性の高い積層体を効率よく製造することができるよ
うになる。すなわち、予備プレス工程では、両者の間の
空気を追い出しつつ、予備的に圧着することを目的とし
ていることから、一次プレス(予備プレス)手段によっ
て積みずれを生じるほど強くプレスする必要がないた
め、従来の方法において生じるようなローラによるプレ
ス工程での積みずれの発生を防止することができるとと
もに、その後の二次プレスにより、各シートが確実に圧
着されることになり、デラミネーションや接着不良など
がなく、所望の特性を備えた信頼性の高い積層体を得る
ことが可能になる。
As described above, in the method for manufacturing a laminated body of the present invention (claim 1), stacking occurs in the primary pressing (preliminary pressing) means in the primary pressing (preliminary pressing) step.
Substantially horizontal direction while pressing the carrier film to an extent not
It moved countercurrently, while expelling air between the stacked sheets and green sheets, after preliminarily crimp the the stacked sheets in the green sheet, the secondary pressing process, the operation in the vertical direction
By lowering the secondary pressing means, the pre-pressed body of the laminated sheet and the green sheet is pressed through the carrier film, and the laminated sheet is pressure-bonded to the green sheet. film has to be peeled off, the stacked sheets each layer
First press (preliminary press) process, secondary press process and
And a peeling process are performed to form a laminated body.
Therefore, it does not cause stacking of the green sheets, prevents air from entering between the sheets, has no delamination or adhesion failure, and efficiently manufactures a highly reliable laminated body having desired characteristics. Will be able to. That is, in the preliminary pressing step, since the purpose is to preliminarily crimp while expelling the air between the two, it is not necessary to press so strongly that the primary pressing (preliminary pressing) means causes stacking. It is possible to prevent stacking from occurring in the pressing process by the roller that occurs in the conventional method, and the subsequent secondary pressing ensures that each sheet is pressed firmly, resulting in delamination, defective adhesion, etc. It is possible to obtain a highly reliable laminated body having desired characteristics.

【0035】また、請求項2の積層体の製造方法のよう
に、一次プレス工程で用いられる一次プレス手段とし
て、回転させながらキャリアフィルム上を所定の方向に
移動させることが可能なローラを用いることにより、一
次プレス手段をキャリアフィルムに押し付けながら円滑
に移動させ、積みずれを生じることなく、効率よく被積
層シートとグリーンシートの間の空気を追い出すことが
可能になり、本願発明をより実効あらしめることができ
る。
Further, as in the method for manufacturing a laminated body according to claim 2, as the primary pressing means used in the primary pressing step, a roller capable of moving in a predetermined direction on the carrier film while being rotated is used. This makes it possible to move the primary pressing means smoothly while pressing it against the carrier film, and efficiently expel the air between the laminated sheet and the green sheet without causing stacking error, which makes the present invention more effective. be able to.

【0036】また、請求項3の積層体の製造方法のよう
、所定枚数のグリーンシートを積層、圧着した後に、
全体を最終的にプレスするようにした場合、各シートの
密着性をさらに向上させることが可能になり、信頼性の
高い積層体を得ることが可能になる。
Further, as in the method for producing a laminate according to claim 3, the green sheet of Jo Tokoro number laminate, after bonding,
When the whole is finally pressed, the adhesion of each sheet can be further improved, and a highly reliable laminated body can be obtained.

【0037】また、本願発明(請求項4)の積層体の製
造装置は、上述のように、積みずれが生じない程度にキ
ャリアフィルムに押し付けられながら略水平方向に移動
することにより、キャリアフィルムを介して被積層シー
トをグリーンシートに押し付けて、被積層シートとグリ
ーンシートの間の空気を追い出しつつ、被積層シート
グリーンシートに予備的に圧着する一次プレス(予備プ
レス)手段と、垂直方向に動作することにより、一次プ
レス工程で形成された被積層シートとグリーンシートの
予備圧着体を、キャリアフィルムを介して二次プレスす
ることにより、被積層シートをグリーンシートに圧着す
二次プレス手段を備えているので、上記本願発明の積
層体の製造方法を効率よく実施して、デラミネーション
や接着不良などがなく、信頼性の高い積層体を効率よく
製造することが可能になる。
Further, as described above, the laminated body manufacturing apparatus of the present invention (Claim 4) has a key to such an extent that stacking does not occur.
Moves in a substantially horizontal direction while being pressed against the carrier film
By using the carrier film,
The green sheet against the laminated sheet and the green sheet.
While removing the air between the stack sheets ,
The primary press (preliminary press) means for preliminarily crimping to the green sheet and the primary press by operating in the vertical direction.
Of the laminated sheet and green sheet formed in the
Secondary press the pre-bonded body through the carrier film.
By pressing the laminated sheet to the green sheet
Since the secondary press means is provided, it is possible to efficiently carry out the method for producing a laminate of the present invention, and to produce a highly reliable laminate without delamination or defective adhesion. become.

【0038】また、請求項5の積層体の製造装置のよう
に、一次プレス工程で用いられる一次プレス手段とし
て、回転させながらキャリアフィルム上を所定の方向に
移動させることが可能なローラを用いることにより、一
次プレス手段をキャリアフィルムに押し付けながら円滑
に移動させ、積みずれを生じることなく、効率よく被積
層シートとグリーンシートの間の空気を追い出すことが
可能になり、本願発明をより実効あらしめることができ
る。
Further, as in the apparatus for manufacturing a laminated body according to claim 5, as the primary pressing means used in the primary pressing step, a roller capable of moving in a predetermined direction on the carrier film while being rotated is used. This makes it possible to move the primary pressing means smoothly while pressing it against the carrier film, and efficiently expel the air between the laminated sheet and the green sheet without causing stacking error, which makes the present invention more effective. be able to.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本願発明の一実施形態にかかる積層体の製造方
法を実施するのに用いた製造装置の概略構成を示す図で
ある。
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a manufacturing apparatus used for carrying out a method for manufacturing a laminated body according to an embodiment of the present invention.

【図2】本願発明の一実施形態にかかる積層体の製造方
法の一次プレス(予備プレス)工程を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a primary pressing (preliminary pressing) step of the method for manufacturing a laminate according to the embodiment of the present invention.

【図3】本願発明の一実施形態にかかる積層体の製造方
法の一次プレス(予備プレス)工程を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a primary pressing (preliminary pressing) step of the method for manufacturing a laminate according to the embodiment of the present invention.

【図4】本願発明の一実施形態にかかる積層体の製造方
法の一次プレス(予備プレス)工程を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a primary pressing (preliminary pressing) step of the method for manufacturing a laminate according to the embodiment of the present invention.

【図5】本願発明の一実施形態にかかる積層体の製造方
法の二次プレス(予備プレス)工程を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a secondary pressing (preliminary pressing) step of the method for manufacturing a laminate according to the embodiment of the present invention.

【図6】従来の積層体の製造方法の一工程を示す図であ
る。
FIG. 6 is a diagram showing one step of a conventional method for manufacturing a laminated body.

【図7】従来の積層体の製造方法の他の工程を示す図で
ある。
FIG. 7 is a diagram showing another step of the conventional method for manufacturing a laminated body.

【図8】従来の積層体の製造方法のさらに他の工程を示
す図である。
FIG. 8 is a diagram showing still another step of the conventional method for manufacturing a laminated body.

【図9】従来の積層体の製造方法の他の例を示す図であ
る。
FIG. 9 is a diagram showing another example of a conventional method for manufacturing a laminated body.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 キャリアフィルム 2a グリーンシート(被積層シート) 2b グリーンシート 3 テーブル(受圧板) 4 ローラ(一次プレス手段) 14 プレスヘッド(二次プレス手段) 20a,20b 搬送ローラ 23 予備圧着体 1 carrier film 2a Green sheet (laminated sheet) 2b green sheet 3 table (pressure plate) 4 rollers (primary pressing means) 14 Press head (secondary press means) 20a, 20b transport rollers 23 Pre-bonded body

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】キャリアフィルムに支持されたグリーンシ
ートを積み重ねて積層体を製造する方法において、 キャリアフィルムの一方の面に支持されたグリーンシー
ト(被積層シート)を、該被積層シートが積層、圧着さ
れるべきグリーンシートと対向するように位置させる工
程と、 前記キャリアフィルムを介して被積層シートをグリーン
シートに押し付ける一次プレス(予備プレス)手段を
積みずれが生じない程度にキャリアフィルムに押し付け
ながら略水平方向に移動させ、被積層シートとグリーン
シートの間の空気を追い出しつつ、被積層シートをグリ
ーンシートに予備的に圧着する一次プレス(予備プレ
ス)工程と、垂直方向に動作する二次プレス手段を下降させることに
より、 前記一次プレス(予備プレス)工程で形成された
被積層シートとグリーンシートの予備圧着体を、キャリ
アフィルムを介してプレスして、被積層シートをグリー
ンシートに圧着する二次プレス工程と、二次プレス工程でグリーンシートに圧着された被積層シ
ートから キャリアフィルムを剥離する剥離工程と、を具備し、かつ、 被積層シート一層ごとに、前記一次プレス(予備プレ
ス)工程、前記二次プレス工程及び前記剥離工程を実施
して積層体を形成 することを特徴とする積層体の製造方
法。
1. A method for producing a laminate by stacking green sheets supported on a carrier film, comprising: laminating a green sheet (a laminated sheet) supported on one surface of a carrier film, A step of positioning so as to face the green sheet to be pressure-bonded, and a primary press (preliminary press) means for pressing the laminated sheet against the green sheet via the carrier film ,
The degree of stacking deviation is not caused to move in a substantially horizontal direction while pressed against the carrier film while expelling air between the stacked sheets and green sheets, primary press preliminarily crimp the the stacked sheet on the green sheet (prepress ) Step and lowering the secondary pressing means operating vertically
More, the primary press (pre-press) the stacked sheet formed in the step and the preliminary pressure-bonded body of the green sheets, and less up through the carrier film, the secondary pressing step for crimping the stacked sheet on the green sheet , The laminated sheet that is pressure-bonded to the green sheet in the secondary pressing process
Includes a peeling step of peeling away the carrier film from over preparative, a, and, for each the stacked sheets one layer, said primary press (pre-pre
Process), the secondary pressing process, and the peeling process
A method of manufacturing a laminated body, comprising:
【請求項2】前記一次プレス(予備プレス)工程で用い
られる一次プレス(予備プレス)手段が、回転させなが
らキャリアフィルム上を所定の方向に移動させることが
可能なローラであることを特徴とする請求項1記載の積
層体の製造方法。
2. The primary pressing (preliminary pressing) means used in the primary pressing (preliminary pressing) step is a roller capable of moving in a predetermined direction on a carrier film while rotating. The method for manufacturing a laminate according to claim 1.
【請求項3】定枚数のグリーンシートを積層、圧着し
た後に、全体をプレスして各グリーンシートを最終的に
圧着する最終プレス(三次プレス)工程を備えているこ
とを特徴とする請求項1又は2記載の積層体の製造方
法。
3. A stacking the green sheets of Jo Tokoro number, the claims after crimping, characterized in that it comprises a final press (tertiary Press) a step of bonding the green sheets across and pressed finally 1. The method for producing a laminate according to 1 or 2.
【請求項4】請求項1,2又は3記載の積層体の製造方
法を実施するために用いられる積層体の製造装置であっ
て、 前記一次プレス(予備プレス)工程で用いられ、積みず
れが生じない程度に前記キャリアフィルムに押し付けら
れながら略水平方向に移動することにより、前記キャリ
アフィルムを介して被積層シートをグリーンシートに押
し付けて、被積層シートとグリーンシートの間の空気を
追い出しつつ、前記被積層シートを前記グリーンシート
に予備的に圧着する一次プレス(予備プレス)手段と、 前記二次プレス工程で用いられ、垂直方向に動作するこ
とにより、前記一次プレス工程で形成された被積層シー
トとグリーンシートの予備圧着体を、キャリアフィルム
を介して二次プレスすることにより、被積層シートをグ
リーンシートに圧着する二次プレス手段とを具備するこ
とを特徴とする積層体の製造装置。
4. A manufacturing apparatus of a laminated body used for carrying out the method according to claim 1, 2 or 3 laminate, wherein used in the primary press (pre-press) process, loading not
By moving in a substantially horizontal direction while being pressed against the carrier film to the extent that this does not occur, the laminated sheet is pressed against the green sheet via the carrier film, and the air between the laminated sheet and the green sheet is expelled. Meanwhile, a primary press (preliminary press) means for preliminarily press-bonding the laminated sheet to the green sheet, and a vertical press used in the secondary pressing step .
The secondary press means for press-bonding the laminated sheet to the green sheet by secondary pressing the pre-pressed body of the laminated sheet and the green sheet formed in the primary pressing step via the carrier film. An apparatus for manufacturing a laminated body, comprising:
【請求項5】前記一次プレス(予備プレス)工程で用い
られる一次プレス(予備プレス)手段が、回転させなが
らキャリアフィルム上を所定の方向に移動させることが
可能なローラであることを特徴とする請求項4記載の積
層体の製造装置。
5. The primary pressing (preliminary pressing) means used in the primary pressing (preliminary pressing) step is a roller capable of moving in a predetermined direction on a carrier film while rotating. The manufacturing apparatus of the laminated body according to claim 4.
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