JPH0710277A - Method for laminating ceramic green sheet - Google Patents

Method for laminating ceramic green sheet

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JPH0710277A
JPH0710277A JP17997993A JP17997993A JPH0710277A JP H0710277 A JPH0710277 A JP H0710277A JP 17997993 A JP17997993 A JP 17997993A JP 17997993 A JP17997993 A JP 17997993A JP H0710277 A JPH0710277 A JP H0710277A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic green
positioning
green sheet
carrier film
laminating
Prior art date
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Pending
Application number
JP17997993A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masayuki Inai
雅之 稲井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH0710277A publication Critical patent/JPH0710277A/en
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Abstract

PURPOSE:To easily position a carrier-film-equipped ceramic green sheet. CONSTITUTION:A carrier-film-equipped ceramic green sheet is conveyed onto the positioning block 30 of a manipulator. An attracting head 22 takes the carrier-film-equipped ceramic green sheet (a) out of a magazine and conveys the sheet onto the positioning block 30 and the positioning holes (d) of the sheet are fitted over positioning pins 31 to position the sheet; the four positioning holes (d) are not simultaneously adjusted to the positioning pins 31, but first two or three of the holes are adjusted to and fitted over the corresponding positioning pins 31. The other one or two positioning holes (d) are therefore automatically adjusted to and can be fitted over the positioning pins 31. The carrier-film-equipped ceramic green sheet (a) is thus disposed in position on the positioning block 30.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、積層セラミックコンデ
ンサや積層セラミックインダクタ等の積層セラミック電
子部品を製造するに当り、セラミックグリーンシートを
積層する方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of laminating ceramic green sheets in manufacturing a monolithic ceramic electronic component such as a monolithic ceramic capacitor or a monolithic ceramic inductor.

【0002】[0002]

【従来の技術】積層セラミック電子部品の最も代表的な
例である積層セラミックコンデンサは、内部電極を有す
る誘電体セラミック層が多数積み重ねられ、内部電極が
積層体の端面に交互に引き出されている。そして、これ
らの内部電極が引き出された積層体の端面に外部電極が
形成されている。
2. Description of the Related Art In a monolithic ceramic capacitor, which is the most typical example of monolithic ceramic electronic components, a large number of dielectric ceramic layers having internal electrodes are stacked, and the internal electrodes are alternately drawn out to the end faces of the laminated body. Then, external electrodes are formed on the end faces of the stacked body from which these internal electrodes are drawn out.

【0003】このような積層セラミックコンデンサは、
例えば、図8に示すような層構造を有する。すなわち、
内部電極65、66を有する誘電体層63、63…が図
8で示す順序に積層され、さらにその両側に内部電極が
形成されてない誘電体層67、68が複数層積み重ねら
れる。そして、このような積層体の内部電極65、66
が露出した端面に図示されてない外部電極が形成され
る。
Such a monolithic ceramic capacitor is
For example, it has a layer structure as shown in FIG. That is,
The dielectric layers 63, 63, ... Having the internal electrodes 65, 66 are laminated in the order shown in FIG. 8, and a plurality of dielectric layers 67, 68 without the internal electrodes are further laminated on both sides thereof. Then, the internal electrodes 65, 66 of such a laminated body are
External electrodes (not shown) are formed on the exposed end faces.

【0004】このような積層セラミック電子部品は、通
常、図8に示すような部品1個単位が個々に製造される
訳ではなく、実際は次に示すような製造方法がとられ
る。すなわち、まず微細化したセラミック粉末と有機バ
インダとを混練してスラリを作り、これをドクターブレ
ード法によって長尺なテープ状のキャリアフィルム上に
薄く展開し、乾燥し、長尺なセラミックグリーンシート
を作る。次に、このキャリアフィルムの上に載ったセラ
ミックグリーンシートの上にスクリーン印刷法によって
導電ペーストを印刷し、乾燥し、第7図で示すような内
部電極パターン2a、2bが交互に印刷される。この印
刷済みの二層のテープは、一旦ロールに巻き取られる。
そして、この二層のテープのロールを、供給ロールとし
て裁断積層装置にセットし、この供給ロールから二層の
テープを繰り出し、途中で上記キャリアテープからグリ
ーンシートを剥離する。キャリアテープから分離された
セラミックグリーンシートは、キャリアベルトの上に載
せられ、ここで裁断吸着ユニットにより、図9に示すよ
うなセラミックグリーンシート1a、1bの如く所定の
寸法に裁断される。その後、この裁断されたセラミック
グリーンシート1a、1bは、別の積層位置に搬送され
て、交互に積層される。
Such a monolithic ceramic electronic component is not normally manufactured individually as a unit as shown in FIG. 8, but the following manufacturing method is actually used. That is, first, finely pulverized ceramic powder and an organic binder are kneaded to form a slurry, which is thinly spread on a long tape-shaped carrier film by a doctor blade method and dried to form a long ceramic green sheet. create. Next, a conductive paste is printed on the ceramic green sheet placed on the carrier film by a screen printing method and dried, and internal electrode patterns 2a and 2b as shown in FIG. 7 are alternately printed. The printed double-layered tape is once wound into a roll.
Then, this two-layer tape roll is set as a supply roll in a cutting and laminating apparatus, the two-layer tape is unwound from this supply roll, and the green sheet is peeled off from the carrier tape on the way. The ceramic green sheet separated from the carrier tape is placed on a carrier belt and cut into a predetermined size by a cutting and adsorbing unit like ceramic green sheets 1a and 1b as shown in FIG. Then, the cut ceramic green sheets 1a and 1b are conveyed to another stacking position and stacked alternately.

【0005】次に、図9に示すように、前記内部電極パ
ターン2a、2bを有する複数枚のセラミックグリーン
シート1a、1bを積層し、さらに、内部電極パターン
2a、2bを有しない何枚かのセラミックグリーンシー
ト1、1を上下に積み重ね、さらにこれらを圧着し、積
層体を作る。ここで、前記セラミックグリーンシート1
a、1bは、内部電極パターン2a、2bが長手方向に
半分の長さ分だけずれたもの1a、1bを交互に積み重
ね、圧着する。その後、この積層体を所望のサイズに切
断して、積層生チップを製作し、この生チップを焼成す
る。こうして得られた積層チップは、両端面に交互に露
出した電極2a、2bを有する立方体形の積層体であ
る。次に、この焼成済みの積層チップの両端に導電ペー
ストを塗布し、焼付けることにより、両端に電極端子が
形成され、積層セラミックコンデンサが完成する。
Next, as shown in FIG. 9, a plurality of ceramic green sheets 1a and 1b having the internal electrode patterns 2a and 2b are laminated, and further some ceramic green sheets 1a and 1b having no internal electrode patterns 2a and 2b are laminated. The ceramic green sheets 1 and 1 are stacked on top of each other, and these are pressure-bonded to each other to form a laminated body. Here, the ceramic green sheet 1
For a and 1b, the internal electrode patterns 2a and 2b, which are displaced by half the length in the longitudinal direction, are alternately stacked and crimped. After that, the laminated body is cut into a desired size to produce a laminated raw chip, and the raw chip is fired. The laminated chip thus obtained is a cube-shaped laminated body having electrodes 2a and 2b alternately exposed on both end faces. Next, conductive paste is applied to both ends of the fired multilayer chip, and baked to form electrode terminals on both ends, thus completing the multilayer ceramic capacitor.

【0006】このような積層セラミックコンデンサに代
表される積層セラミック電子部品は、前記のような内部
電極パターン等の内部電極パターンが精度よく積み重ね
られていることが必要であり、さもなくば所望の電気特
性が得られない。ところが、積層セラミック電子部品の
小形化が進み、セラミックグリーンシートの厚さが益々
薄くなっているため、裁断したセラミックグリーンシー
トを搬送し、積層し、さらに加圧して仮圧着する工程
で、セラミックグリーンシートの伸びや位置ずれが起こ
りやすく、充分な積層精度が確保しにくい。
The monolithic ceramic electronic component typified by such a monolithic ceramic capacitor requires that the internal electrode patterns such as the above-mentioned internal electrode patterns are accurately stacked, or else the desired electrical electrical characteristics are obtained. The characteristics cannot be obtained. However, as the size of multilayer ceramic electronic components has become smaller and smaller, the thickness of ceramic green sheets has become thinner and thinner.Thus, in the process of transporting the cut ceramic green sheets, stacking them, and further applying pressure to temporarily bond them, It is difficult to secure sufficient stacking accuracy because the sheets are likely to stretch and misalign.

【0007】そこで、従来ではキャリアフィルムの上に
セラミックグリーンシートを載せたままの状態でキャリ
アフィルムごとセラミックグリーンシートを所定の形状
に裁断し、キャリアフィルム付セラミックグリーンシー
トを位置決めしながら順次積層すると共に、キャリアフ
ィルムを剥離するという方法が提案されている。
Therefore, conventionally, while the ceramic green sheet is placed on the carrier film, the ceramic green sheet is cut into a predetermined shape together with the carrier film, and the ceramic green sheets with the carrier film are sequentially laminated while being positioned. A method of peeling the carrier film has been proposed.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、こ
のセラミックグリーンシートの積層方法では、セラミッ
クグリーンシートの内部電極パターンが印刷された側を
下にして積層されるため、内部電極パターンと共に印刷
された位置決めパターンにより、セラミックグリーンシ
ートの位置決めを行うことができない。そこで、キャリ
アフィルム付セラミックグリーンシートの四隅の所定の
位置に位置決め孔を設けておき、この位置決め孔に対応
して位置決めピンを突設した積層台上で位置決めピンに
位置決め孔を位置合わせして差込みながら、セラミック
グリーンシートの位置合わせをし、その後この位置決め
台と対応する位置決め手段を有する積層ステージの上に
キャリアフィルム付セラミックグリーンシートを搬送
し、そこでセラミックグリーンシートを積層し、キャリ
アフィルムを剥離するという方法が提案されている。
However, in this ceramic green sheet laminating method, since the side of the ceramic green sheet on which the internal electrode pattern is printed is laminated downward, the positioning pattern printed together with the internal electrode pattern is laminated. Therefore, the ceramic green sheet cannot be positioned. Therefore, positioning holes are provided at predetermined positions at the four corners of the ceramic green sheet with carrier film, and the positioning holes are aligned and inserted into the positioning pins on the stacking table on which the positioning pins are projected so as to correspond to the positioning holes. While aligning the ceramic green sheets, the ceramic green sheet with a carrier film is then conveyed onto a stacking stage having positioning means corresponding to this positioning table, the ceramic green sheets are stacked there, and the carrier film is peeled off. That method has been proposed.

【0009】ところが、キャリアフィルム付セラミック
グリーンシートの四隅に設けた4つの位置決め孔を、位
置決め台上の4つの位置決めピンに同時に位置合わせし
て差し込むのはかなり困難である。そのため、マニプレ
ータを用いたロボットで位置決めし、積層するに当たっ
ても、位置決め台上におけるキャリアフィルム付セラミ
ックグリーンシートの位置決めに時間がかかり、サイク
ルタイムが長くなってしまうという課題があった。そこ
で本発明は、キャリアフィルム付セラミックグリーンシ
ートの位置決めを容易に行うことができるセラミックグ
リーンシート積層方法を提供することを目的とする。
However, it is quite difficult to insert the four positioning holes provided at the four corners of the ceramic green sheet with a carrier film into the four positioning pins on the positioning base at the same time. Therefore, even when the robot using the manipulator is used for positioning and stacking, it takes time to position the ceramic green sheet with the carrier film on the positioning stand, and the cycle time becomes long. Therefore, an object of the present invention is to provide a ceramic green sheet laminating method capable of easily positioning a ceramic green sheet with a carrier film.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】すなわち本発明では、前
記の目的を達成するため、一定形状に打ち抜かれると共
に、四隅に位置決め孔を設けたキャリアフィルム付セラ
ミックグリーンシートを、前記位置決め孔に対応して位
置決めピンが突設された位置決め台上に移動し、キャリ
アフィルム付セラミックグリーンシートの2つまたは3
つの位置決め孔を位置決め台上の対応する位置決めピン
に位置合わせして差込みながら同キャリアフィルム付セ
ラミックグリーンシートを位置決め台上に載せ、続いて
他の位置決め孔もそれと対応する位置決めピンに差込
み、その後この位置決め台と対応する位置決め手段を有
する積層ステージの上でキャリアフィルム付セラミック
グリーンシートを他のセラミックグリーンシート上に重
ねた後、重ねたセラミックグリーンシート上のキャリア
フィルムを剥離し、以下前記工程を所定の回数だけ繰り
返して所定の枚数のセラミックグリーンシートを積層す
ることを特徴とするセラミックグリーンシート積層方法
を提供する。
That is, in the present invention, in order to achieve the above-mentioned object, a ceramic green sheet with a carrier film, which is punched into a certain shape and has positioning holes at four corners, corresponds to the positioning holes. Move to a positioning table on which a positioning pin is projecting, and place two or three of the ceramic green sheets with carrier film.
While positioning and inserting one positioning hole to the corresponding positioning pin on the positioning base, place the ceramic green sheet with the carrier film on the positioning base, then insert the other positioning holes into the corresponding positioning pin, and then After stacking a ceramic green sheet with a carrier film on another ceramic green sheet on a stacking stage having a positioning table and corresponding positioning means, the carrier film on the stacked ceramic green sheet is peeled off, and then the above-mentioned steps are prescribed. The ceramic green sheet laminating method is characterized in that a predetermined number of ceramic green sheets are laminated by repeating the number of times.

【0011】[0011]

【作用】本発明によるセラミックグリーンシートの積層
方法では、キャリアフィルム付セラミックグリーンシー
トの四隅に設けた位置決め孔の全てを同時に積層台上の
位置決めピンに位置合わせすることなく、最初にその2
つまたは3つを位置合わせする。このため、位置決め孔
と位置決めピンとの位置合わせが容易に行える。しか
も、2つまたは3つの位置決め孔を位置決めピンに位置
合わせし、差し込んでしまえば、キャリアフィルム付セ
ラミックグリーンシートを位置決め台と平行にすること
で残りの2つまたは1つの位置決め孔は自ずとそれに対
応する位置決めピンに位置決めされ、容易に差し込むこ
とができる。これにより、キャリアフィルム付セラミッ
クグリーンシートを位置決め台上の所定の位置に正確に
載せることができる。
In the method of laminating a ceramic green sheet according to the present invention, first, the positioning holes provided at the four corners of the ceramic green sheet with a carrier film are not aligned with the positioning pins on the stacking table at the same time, but the second
Align one or three. Therefore, the positioning hole and the positioning pin can be easily aligned. Moreover, after aligning the two or three positioning holes with the positioning pins and inserting them, the ceramic green sheet with carrier film is made parallel to the positioning base so that the remaining two or one positioning holes naturally correspond to it. It is positioned on the positioning pin and can be easily inserted. This allows the ceramic green sheet with the carrier film to be accurately placed at a predetermined position on the positioning table.

【0012】[0012]

【実施例】以下、図面を参照しながら、本発明の実施例
について詳細に説明する。図1は、本発明によるセラミ
ックグリーンシートの積層方法を実施するのに用いられ
る積層装置の全体を示す平面図である。この装置では、
予めキャリアフィルムごと所定の形状に裁断されたキャ
リアフィルム付セラミックグリーンシートaを上下に重
ねて収納するマガジン11が用いられ、このマガジン1
1は、マガジン置場10に置かれる。このマガジン11
は、図2に示すように、垂直に立設した支柱12の間に
裁断された矩形のキャリアフィルム付セラミックグリー
ンシートaを上下に積み重ねて収納するもので、キャリ
アフィルム付セラミックグリーンシートaの対向する各
辺が前記支柱12により両側から挟まれた状態で位置決
めされ、且つ保持される。また、キャリアフィルム付セ
ラミックグリーンシートaは、キャリアフィルム側が上
になるようマガジン11に収納される。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view showing an entire laminating apparatus used for carrying out the method for laminating ceramic green sheets according to the present invention. With this device,
A magazine 11 is used in which ceramic green sheets a with carrier films, which have been cut into a predetermined shape together with the carrier film, are vertically stacked and housed.
1 is placed in the magazine storage 10. This magazine 11
As shown in FIG. 2, the rectangular ceramic green sheets a with carrier film, which are cut between vertical columns 12, are vertically stacked and housed. The ceramic green sheets a with carrier film are opposed to each other. Each side to be positioned is positioned and held in a state of being sandwiched from both sides by the pillar 12. The ceramic green sheet a with a carrier film is stored in the magazine 11 with the carrier film side facing up.

【0013】図1に示すように、マガジン置場10に
は、複数のマガジン11が置かれるが、各マガジン11
には、同じ内部電極パターンを有するセラミックグリー
ンシートが各々まとめて収納されており、さらに内部電
極パターンを有しないセラミックグリーンシートもまと
めて別のマガジン11に収納されている。
As shown in FIG. 1, a plurality of magazines 11 are placed in the magazine storage space 10.
, The ceramic green sheets having the same internal electrode pattern are collectively stored, and the ceramic green sheets having no internal electrode pattern are also collectively stored in another magazine 11.

【0014】これらマガジン11に収納されたキャリア
フィルム付セラミックグリーンシートaには、その四隅
の所定の位置に4つの位置決め孔bが穿孔されている。
図4は、このキャリアフィルム付セラミックグリーンシ
ートaに穿孔された位置決め孔bの穿孔位置の例を示し
おり、この例では、後述するマニプレータ20の吸着ヘ
ッド22の吸盤25で吸着保持される吸着位置eの外側
に位置決め孔bが各々穿孔されている。図1に示すよう
に、前記マガジン置場10の脇に別のマガジン置場70
が配置されているが、このマガジン置場70は、積層済
みのセラミックグリーンシートdを収納したマガジン1
1を置くものである。
The ceramic green sheet a with a carrier film stored in these magazines 11 has four positioning holes b at predetermined positions at its four corners.
FIG. 4 shows an example of the perforation positions of the positioning holes b perforated in the ceramic green sheet with carrier film a. In this example, the suction position where the suction cups 25 of the suction head 22 of the manipulator 20 described later suction-holds. Positioning holes b are formed on the outside of e. As shown in FIG. 1, another magazine storage 70 is provided beside the magazine storage 10.
Are arranged in the magazine storage area 70. The magazine storage area 70 is a magazine 1 in which stacked ceramic green sheets d are stored.
1 is put.

【0015】このマガジン置場70の反対側に、図2、
図3及び図5に示す位置決め台30が配置されており、
この位置決め台30の上には、前記キャリアフィルム付
セラミックグリーンシートaに穿孔された位置決め孔b
に対応して4つの位置決めピン31が突設されている。
また、この位置決め台30はその台上を負圧としてその
上に載せたキャリアフィルム付セラミックグリーンシー
トaを保持するための空気通路32(図5参照)を有し
ており、この空気通路32を通して吸引される空気によ
り、キャリアフィルム付セラミックグリーンシートaが
位置決め台30上に吸着、保持される。図1に示すよう
に、前記マガジン置場10、70及び位置決め台30に
わたってキャリアフィルム付セラミックグリーンシート
aを搬送する第一の搬送手段であるマニプレータ20が
備えられている。図2に示すように、このマニプレータ
20は、回転機構23により回転されるアーム21を有
し、このアーム21は伸縮し、その先端に上下シリーン
ダー24を有する。
On the opposite side of the magazine storage 70, as shown in FIG.
The positioning table 30 shown in FIGS. 3 and 5 is arranged,
Positioning holes b formed in the ceramic green sheet with carrier film a are formed on the positioning table 30.
Corresponding to, four positioning pins 31 are provided in a protruding manner.
Further, the positioning table 30 has an air passage 32 (see FIG. 5) for holding the ceramic green sheet a with a carrier film placed on the positioning table 30 with a negative pressure on the table, and through the air passage 32. The sucked air attracts and holds the ceramic green sheet a with the carrier film on the positioning table 30. As shown in FIG. 1, a manipulator 20 is provided as a first conveying means for conveying the ceramic green sheet a with a carrier film over the magazine storages 10, 70 and the positioning table 30. As shown in FIG. 2, the manipulator 20 has an arm 21 that is rotated by a rotating mechanism 23. The arm 21 extends and contracts, and has an upper and lower cylinder 24 at its tip.

【0016】さらに、この上下シリンダー24の上下す
るプランジャーの先端にキャリアフィルム付セラミック
グリーンシートaのキャリアフィルム表面に吸着し、同
フィルムを保持する吸着ヘッド22が設けられている。
この吸着ヘッド22の下面からは、エアシリンダ等のア
クチュエータ26を介して4つの吸盤25が設けられて
おり、この吸盤25は、その先端を負圧として、そこに
キャリアフィルム付セラミックグリーンシートaを吸着
し、保持する。図示の例では、前記アクチュエータ26
により、4つの吸盤25は各々個別に上下可能となって
いる。
Further, a suction head 22 for adsorbing to the surface of the carrier film of the ceramic green sheet a with a carrier film and holding the film is provided at the tip of the up and down plunger of the up and down cylinder 24.
From the lower surface of the suction head 22, four suction cups 25 are provided via an actuator 26 such as an air cylinder. The suction cups 25 have a negative pressure at the tip thereof, and the ceramic green sheet a with a carrier film is attached thereto. Adsorb and hold. In the illustrated example, the actuator 26
Thus, the four suction cups 25 can be individually moved up and down.

【0017】このマニプレータ20の吸着ヘッド22
は、マガジン置場10、70及び位置決め台30の全範
囲にわたって移動可能であり、このマニプレータ20が
例えばコンピューターで駆動制御されることにより、マ
ガジン置場10上のマガジン11から予め定めれた順序
でキャリアフィルム付セラミックグリーンシートaを取
り出し、前記位置決め台30上に搬送する。
The suction head 22 of this manipulator 20
Is movable over the entire range of the magazine storages 10, 70 and the positioning table 30, and the manipulator 20 is driven and controlled by, for example, a computer, so that the carrier films are moved from the magazines 11 on the magazine storage 10 in a predetermined order. The attached ceramic green sheet a is taken out and conveyed onto the positioning table 30.

【0018】図1及び図3に示されたように、位置決め
台30の近くには、積層ステージ40が配置されてい
る。この積層ステージ40は、ガイドレール43に沿っ
て図1の左右方向に移動自在に配置され、ボールネジと
モーター等からなる移動機構41により移動される。こ
の積層ステージ40上には、前記積層ステージ30上の
位置決めピン31に対応して位置決めピン47が突設さ
れている。
As shown in FIGS. 1 and 3, a stacking stage 40 is arranged near the positioning table 30. The stacking stage 40 is movably arranged in the left-right direction in FIG. 1 along a guide rail 43, and is moved by a moving mechanism 41 including a ball screw and a motor. Positioning pins 47 are provided on the stacking stage 40 so as to correspond to the positioning pins 31 on the stacking stage 30.

【0019】さらに、この積層ステージ40が位置決め
台30の近くに停止したとき、位置決め台30上から積
層ステージ40へキャリアフィルム付セラミックグリー
ンシートaを搬送する第二の搬送手段である積層用マニ
プレータ44が備えられている。図3に示すように、こ
の積層用マニプレータ44は、水平シリンダー46によ
り図3において左右に移動される上下シリンダー42
と、この上下シリンダー42により上下動される吸着ヘ
ッド45とを有している。図5(c)に示されたよう
に、この吸着ヘッド45は、その下面である吸着面を負
圧としてそこにキャリアフィルム付セラミックグリーン
シートaを保持するための空気通路48を有しており、
この空気通路48を通して吸引される空気により、キャ
リアフィルム付セラミックグリーンシートaがその吸着
面に吸着、保持され、位置決め台30上から積層ステー
ジ40上にキャリアフィルム付セラミックグリーンシー
トaが搬送される。また、吸着ヘッド45の吸着面に
は、位置決めピン31に対応して凹部49が設けられて
おり、吸着ヘッド45が下降したとき、位置決め台30
の位置決めピン31は、この凹部に嵌合される。
Further, when the stacking stage 40 stops near the positioning table 30, the stacking manipulator 44 which is the second carrying means for carrying the ceramic green sheet a with a carrier film from the positioning table 30 to the stacking stage 40. Is provided. As shown in FIG. 3, the stacking manipulator 44 is composed of a vertical cylinder 42 which is horizontally moved by a horizontal cylinder 46 in FIG.
And a suction head 45 that is vertically moved by the upper and lower cylinders 42. As shown in FIG. 5C, this suction head 45 has an air passage 48 for holding the ceramic green sheet a with a carrier film therein by using the suction surface, which is the lower surface, as a negative pressure. ,
By the air sucked through the air passage 48, the ceramic green sheet a with a carrier film is adsorbed and held on its adsorption surface, and the ceramic green sheet a with a carrier film is conveyed from the positioning table 30 to the laminated stage 40. Further, the suction surface of the suction head 45 is provided with a recess 49 corresponding to the positioning pin 31, and when the suction head 45 descends, the positioning table 30 is provided.
The positioning pin 31 of is fitted into this recess.

【0020】前記ガイドレール43の図1において右端
側にプレス機60が配置されている。図6に示すよう
に、このプレス機60は、ヒーター(図示せず)を内蔵
する押型板61を上下させて、その下に積層ステージ4
0が挿入されたとき、同積層ステージ40上に積層され
たセラミックグリーンシートaを上から加熱しながら加
圧するものである。
A pressing machine 60 is arranged on the right end side of the guide rail 43 in FIG. As shown in FIG. 6, in this press machine 60, a pressing plate 61 containing a heater (not shown) is moved up and down, and the laminated stage 4 is placed under the pressing plate 61.
When 0 is inserted, the ceramic green sheets a stacked on the stacking stage 40 are pressed from above while heating.

【0021】さらに図1に示すように、このプレス機6
0と前記積層用マニプレータ44との間に、積層された
セラミックグリーンシートからキャリアフィルムを剥離
する手段として剥離ローラ50が配置されている。図7
に示すように、この剥離ローラ50は、周面が負圧とさ
れると共に、回転される円筒形のローラーヘッド52を
有しており、ガイド51に沿って図1において上下に移
動されるものである。図2に示すように、ローラーヘッ
ド52は、その周面の一部に平坦部53を有している。
Further, as shown in FIG.
0 and the laminating manipulator 44, a peeling roller 50 is arranged as a means for peeling the carrier film from the laminated ceramic green sheets. Figure 7
As shown in FIG. 1, the peeling roller 50 has a cylindrical roller head 52 that is rotated while the peripheral surface is negative pressure, and is moved up and down along the guide 51 in FIG. Is. As shown in FIG. 2, the roller head 52 has a flat portion 53 on a part of its peripheral surface.

【0022】次に、この装置を用いた本発明によるセラ
ミックグリーンシートの積層方法について説明する。図
1に示すように、マガジン置場10の所定の位置に各々
マガジン11が置かれる。これら各マガジン11には、
各々所定の内部電極パターンを有するセラミックグリー
ンシートと内部電極パターンを有しないキャリアフィル
ム付セラミックグリーンシートとが収納されている。
Next, a method for laminating ceramic green sheets according to the present invention using this apparatus will be described. As shown in FIG. 1, each magazine 11 is placed at a predetermined position in the magazine storage space 10. In each of these magazines 11,
A ceramic green sheet each having a predetermined internal electrode pattern and a ceramic green sheet with a carrier film having no internal electrode pattern are housed.

【0023】この状態で、図2に実線で示すように、ま
ずマニプレータ20の吸着ヘッド22がマガジン置場1
0に置かれた所定のマガジン11の上に移動し、そこか
らキャリアフィルム付セラミックグリーンシートaを取
り出し、二点鎖線で示すように、位置決め台30上に搬
送する。そして図5(a)に示すように、吸着ヘッド2
2は、キャリアフィルム側を吸着して位置決め台30上
にキャリアフィルム付セラミックグリーンシートaを搬
送し、その位置決め孔bを位置決め台30上の位置決め
ピン31に通して位置決めする。
In this state, as shown by the solid line in FIG. 2, first, the suction head 22 of the manipulator 20 is moved to the magazine storage area 1 by the suction head 22.
The ceramic green sheet a with a carrier film is taken out from the predetermined magazine 11 placed at 0, and is conveyed onto the positioning table 30 as indicated by the chain double-dashed line. Then, as shown in FIG.
In No. 2, the carrier film side is adsorbed and the ceramic green sheet a with a carrier film is conveyed onto the positioning base 30, and the positioning holes b are passed through the positioning pins 31 on the positioning base 30 for positioning.

【0024】ここで、4つの位置決め孔bの全てが同時
に位置決めピン31に位置決めされず、そのうちの2つ
または3つが対応する位置決めピン31に位置決めされ
る。2つの位置決め孔bを位置決めする場合は、キャリ
アフィルム付セラミックグリーンシートaの同じ辺側に
ある2つの位置決め孔bよりも、互いに対角線上にある
2つの位置決め孔bをそれと対応する位置決めピン31
に位置決めするのがよい。
Here, not all of the four positioning holes b are positioned on the positioning pin 31 at the same time, but two or three of them are positioned on the corresponding positioning pin 31. When positioning the two positioning holes b, two positioning holes b located on diagonal lines relative to the two positioning holes b located on the same side of the ceramic green sheet with a carrier film a are positioned corresponding to the positioning pins 31.
It is better to position it at.

【0025】次に、図5(b)に示すように、吸着ヘッ
ド22を下降させて一部の吸盤25によるキャリアフィ
ルム付セラミックグリーンシートaの吸着を解除し、ま
ず位置決めされた位置決め孔bを位置決め台30上の位
置決めピン31に差し込む。これにより、他の2つまた
は1つの位置決め孔bも対応する位置決めピン31に自
ずと位置合わせされ、それらを位置決めピン31に差し
込むことができる。これにより、キャリアフィルム付セ
ラミックグリーンシートaは、位置決め台30上の所定
の位置に配置される。位置決め台30上に載せたキャリ
アフィルム付セラミックグリーンシートaは、空気通路
32を通して吸引される空気により位置決め台30上に
吸着、保持される。
Next, as shown in FIG. 5B, the suction head 22 is lowered to release the suction of the ceramic green sheet a with a carrier film by a part of the suction cups 25, and first, the positioned positioning holes b are formed. Insert into the positioning pin 31 on the positioning table 30. As a result, the other two or one positioning holes b are naturally aligned with the corresponding positioning pins 31 and can be inserted into the positioning pins 31. As a result, the ceramic green sheet a with the carrier film is arranged at a predetermined position on the positioning table 30. The ceramic green sheet a with a carrier film placed on the positioning table 30 is adsorbed and held on the positioning table 30 by the air sucked through the air passage 32.

【0026】次に、図3に示す積層用マニプレータ44
の吸着ヘッド45が、図5(c)で示すように位置決め
台30の上に移動し、そこで位置決めされたキャリアフ
ィルム付セラミックグリーンシートaを吸着、保持す
る。このとき、位置決め台30上の位置決めピン31
は、吸着ヘッド45が下降したとき、この凹部49に嵌
合される。
Next, the stacking manipulator 44 shown in FIG.
The suction head 45 moves to a position above the positioning table 30 as shown in FIG. 5C, and sucks and holds the ceramic green sheet a with the carrier film positioned therein. At this time, the positioning pin 31 on the positioning base 30
Is fitted into the recess 49 when the suction head 45 descends.

【0027】その後、図5(c)に示すように、位置決
め台30上からキャリアフィルム付セラミックグリーン
シートaを引き上げ、図3に示すように、これを積層ス
テージ40へ搬送してそこに置く。ここでは、位置決め
ピン47がキャリアフィルム付セラミックグリーンシー
トaの位置決め孔bに嵌合し、同セラミックグリーンシ
ートaが位置決めされる。
Thereafter, as shown in FIG. 5 (c), the ceramic green sheet a with a carrier film is pulled up from the positioning base 30 and, as shown in FIG. 3, this is conveyed to the laminating stage 40 and placed there. Here, the positioning pin 47 is fitted into the positioning hole b of the ceramic green sheet a with a carrier film, and the ceramic green sheet a is positioned.

【0028】その後、駆動機構41により、積層ステー
ジ40が剥離ローラ50の下に移動される。ここで、図
7(a)に示されたように、剥離ローラ50のローラー
ヘッド52の周面の平坦部53がキャリアフィルムcの
端縁に吸着する。その後、図7(b)に示されたよう
に、ローラーヘッド52が矢印で示す方向に回転すると
共に、矢印で示すように、剥離ローラ50全体がローラ
ーヘッド52の周速と等速度で図7(b)において右方
向に移動し、キャリアフィルムcをセラミックグリーン
シートdから剥離する。その後、ローラーヘッド52の
周面の負圧が解除され、キャリアフィルムcが廃棄され
る。
Then, the driving mechanism 41 moves the laminating stage 40 to below the peeling roller 50. Here, as shown in FIG. 7A, the flat portion 53 of the peripheral surface of the roller head 52 of the peeling roller 50 is attracted to the edge of the carrier film c. After that, as shown in FIG. 7B, the roller head 52 rotates in the direction shown by the arrow, and as shown by the arrow, the entire peeling roller 50 moves at the same speed as the peripheral speed of the roller head 52. In (b), it moves to the right and peels the carrier film c from the ceramic green sheet d. Then, the negative pressure on the peripheral surface of the roller head 52 is released, and the carrier film c is discarded.

【0029】次に、積層ステージ40が積層用マニプレ
ータ44の位置に戻り、前記の動作と同様にしてその上
に別のキャリアフィルム付セラミックグリーンシートa
が乗せられる。次いで、駆動機構41により、積層ステ
ージ40がプレス機60に移動され、ここで押型板61
が下降し、積層ステージ40上に積層されたセラミック
グリーンシートaを上から加熱しながら加圧する。
Next, the laminating stage 40 is returned to the position of the laminating manipulator 44, and another ceramic green sheet a with a carrier film is formed on the laminating stage 40 in the same manner as described above.
Can be placed. Next, the driving mechanism 41 moves the stacking stage 40 to the pressing machine 60, where the stamping plate 61 is moved.
Is lowered and the ceramic green sheets a stacked on the stacking stage 40 are pressed from above while heating.

【0030】次に、駆動機構41により、積層ステージ
40が剥離ローラ50の下に移動され、ここで前記と同
様にしてキャリアフィルムcがセラミックグリーンシー
トdから剥離される。以下、同様にしてキャリアフィル
ム付セラミックグリーンシートaの積層ステージ40上
への重ね合わせ、加熱・加圧及びキャリアフィルムcの
剥離が所定の順序で繰り返され、定められた順序でセラ
ミックグリーンシートが積層された積層体dが完成す
る。その後、マニプレータ20が積層体dをマガジン置
場70上のマガジン11に収納する。
Next, the driving mechanism 41 moves the laminating stage 40 to below the peeling roller 50, where the carrier film c is peeled from the ceramic green sheet d in the same manner as described above. Thereafter, similarly, the ceramic green sheet a with a carrier film is overlaid on the laminating stage 40, and the heating / pressurization and the peeling of the carrier film c are repeated in a predetermined order, and the ceramic green sheets are laminated in a predetermined order. The laminated body d thus completed is completed. Then, the manipulator 20 stores the stacked body d in the magazine 11 on the magazine storage area 70.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、キ
ャリアフィルム付セラミックグリーンシートを位置決め
台上の所定の位置に載せて、容易に位置決めすることが
できるため、正確な積層が短いサイクルタイムで行うこ
とが可能となり、生産性の向上を図ることができる。
As described above, according to the present invention, a ceramic green sheet with a carrier film can be easily positioned by placing it on a predetermined position on a positioning stand, so that accurate stacking can be performed with a short cycle time. Can be carried out, and productivity can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例によるセラミックグリーンシー
ト積層方法を実施するための装置の例の全体を示す平面
図である。
FIG. 1 is a plan view showing an overall example of an apparatus for carrying out a ceramic green sheet laminating method according to an embodiment of the present invention.

【図2】同装置例のマガジン置場と位置決め台付近の要
部側面図である。
FIG. 2 is a side view of essential parts near a magazine storage and a positioning table in the apparatus example.

【図3】同装置例の位置決め台と積層ステージ付近の要
部側面図である。
FIG. 3 is a side view of a main part in the vicinity of a positioning base and a stacking stage of the apparatus example.

【図4】同実施例によるセラミックグリーンシート積層
方法で使用されるキャリアフィルム付セラミックグリー
ンシートの例を示す平面図である。
FIG. 4 is a plan view showing an example of a ceramic green sheet with a carrier film used in the ceramic green sheet laminating method according to the example.

【図5】同実施例によるセラミックグリーンシート方法
における積層台上での位置決め工程を示す側面図であ
る。
FIG. 5 is a side view showing a positioning process on the stacking table in the ceramic green sheet method according to the embodiment.

【図6】同装置例のプレス機の要部側面図である。FIG. 6 is a side view of a main part of a press machine of the same device example.

【図7】同装置例のキャリアフィルム剥離機構の要部側
面図である。
FIG. 7 is a side view of a main part of a carrier film peeling mechanism of the apparatus example.

【図8】積層セラミックコンデンサの層構造の例を示す
分解斜視図である。
FIG. 8 is an exploded perspective view showing an example of a layer structure of a laminated ceramic capacitor.

【図9】セラミックコンデンサを製造するときのセラミ
ックグリーンシートの積層順序を示す斜視図である。
FIG. 9 is a perspective view showing a stacking order of ceramic green sheets when manufacturing a ceramic capacitor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

c キャリアフィルム a キャリアフィルム付セラミックグリーンシート b キャリアフィルム付セラミックグリーンシートの
位置決め孔 11 マガジン 10 マガジン置場 30 位置決め台 20 マニプレータ 31 位置決め台上の位置決めピン 40 積層ステージ 44 積層用マニプレータ 60 プレス機 50 剥離ローラ
c Carrier film a Ceramic green sheet with carrier film b Positioning holes for ceramic green sheet with carrier film 11 Magazine 10 Magazine storage 30 Positioning table 20 Manipulator 31 Positioning pin on positioning table 40 Laminating stage 44 Laminating manipulator 60 Press 50 Peeling roller

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 // H01G 4/12 364 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Office reference number FI technical display location // H01G 4/12 364

Claims (1)

【整理番号】 0050151−01 【特許請求の範囲】[Reference number] 0050151-01 [Claims] 【請求項1】 セラミックグリーンシートを積層する方
法において、一定形状に打ち抜かれると共に、四隅に位
置決め孔を設けたキャリアフィルム付セラミックグリー
ンシートを、前記位置決め孔に対応して位置決めピンが
突設された位置決め台上に移動し、キャリアフィルム付
セラミックグリーンシートの2つまたは3つの位置決め
孔を位置決め台上の対応する位置決めピンに位置合わせ
して差込みながら同キャリアフィルム付セラミックグリ
ーンシートを位置決め台上に載せ、続いて他の位置決め
孔もそれと対応する位置決めピンに差込み、その後この
位置決め台と対応する位置決め手段を有する積層ステー
ジの上でキャリアフィルム付セラミックグリーンシート
を他のセラミックグリーンシート上に重ねた後、重ねた
セラミックグリーンシート上のキャリアフィルムを剥離
し、以下前記工程を所定の回数だけ繰り返して所定の枚
数のセラミックグリーンシートを積層することを特徴と
するセラミックグリーンシート積層方法。
1. A method of laminating ceramic green sheets, wherein a ceramic green sheet with a carrier film, which is punched into a certain shape and has positioning holes at four corners, has positioning pins protruding corresponding to the positioning holes. Move to the positioning table and place the ceramic green sheet with carrier film on the positioning table while aligning and inserting the two or three positioning holes of the ceramic green sheet with carrier film to the corresponding positioning pins on the positioning table. , Then, other positioning holes are also inserted into the corresponding positioning pins, and then the ceramic green sheet with a carrier film is overlaid on the other ceramic green sheet on a laminated stage having positioning means corresponding to this positioning base, Stacked ceramic greens A method for laminating a ceramic green sheet, characterized in that the carrier film on the sheet is peeled off, and the above steps are repeated a predetermined number of times to laminate a predetermined number of ceramic green sheets.
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