JP3106454B2 - IC tester - Google Patents

IC tester

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JP3106454B2 JP06103649A JP10364994A JP3106454B2 JP 3106454 B2 JP3106454 B2 JP 3106454B2 JP 06103649 A JP06103649 A JP 06103649A JP 10364994 A JP10364994 A JP 10364994A JP 3106454 B2 JP3106454 B2 JP 3106454B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、被試験IC、例えば、
液晶ディスプレイの液晶ドライバなどの試験を行うIC
テスタに関し、特に容量補正をする必要がなく、高精度
に試験が行えるICテスタに関するものである。
The present invention relates to an IC under test, for example,
IC for testing liquid crystal drivers for liquid crystal displays
The present invention relates to an IC tester that can perform a test with high accuracy without requiring a capacitance correction.

【0002】[0002]

【従来の技術】高電圧,高速,高出力インピーダンスで
あるSTN方式の液晶ディスプレイの液晶ドライバなど
の被試験IC(以下DUTと略す)の試験を行う場合、
1つのDUTのピンからの出力をうけるICテスタの入
力段には、DC精度を得るため、高抵抗の分圧抵抗を配
し、分圧後、バッファアンプまたはコンパレータを介し
て、デジタルファンクションモジュールまたはウェーブ
フォームデジタイザに入力されている。
2. Description of the Related Art When testing an IC under test (hereinafter abbreviated as DUT) such as a liquid crystal driver of an STN type liquid crystal display having high voltage, high speed and high output impedance,
An input stage of the IC tester receiving an output from a pin of one DUT is provided with a high-resistance dividing resistor in order to obtain DC accuracy. After dividing the voltage, a digital function module or a digital function module is connected via a buffer amplifier or a comparator. Input to the waveform digitizer.

【0003】このような従来のICテスタの構成を図3
に示す。図において、1はDUT、2はアッテネータ
で、DUT1からの信号を入力し、入力した信号の減衰
を行う。3はバッファアンプで、アッテネータ2で減衰
した信号を入力する。4は計測演算部で、バッファアン
プ3からの信号を計測し、計測結果に基づいて演算処理
を行い、DUT1の良否の判定を行う。アッテネータ2
において、抵抗R1,R2は数MΩ〜数十MΩの抵抗で
ある。そして、抵抗R1は、一端がDUT1に接続さ
れ、他端がバッファアンプ3に接続される。抵抗R2
は、一端が抵抗R1の他端に接続され、他端が接地され
る。コンデンサC1は、抵抗R1と並列に接続される。
可変コンデンサC2は、一端が抵抗R1の他端に接続さ
れ、他端が接地される。上記において、DUT1の1つ
のピンに対する構成を示したが、DUT1のピンごとに
アッテネータ2,バッファアンプ3が設けられ、計測演
算部4によりDUT1の試験が行われる。
FIG. 3 shows the configuration of such a conventional IC tester.
Shown in In the figure, 1 is a DUT, 2 is an attenuator, which inputs a signal from the DUT 1 and attenuates the input signal. Reference numeral 3 denotes a buffer amplifier to which a signal attenuated by the attenuator 2 is input. Reference numeral 4 denotes a measurement calculation unit that measures a signal from the buffer amplifier 3, performs calculation processing based on the measurement result, and determines whether the DUT 1 is good or not. Attenuator 2
, The resistors R1 and R2 are resistances of several MΩ to several tens MΩ. The resistor R 1 has one end connected to the DUT 1 and the other end connected to the buffer amplifier 3. Resistance R2
Has one end connected to the other end of the resistor R1 and the other end grounded. The capacitor C1 is connected in parallel with the resistor R1.
One end of the variable capacitor C2 is connected to the other end of the resistor R1, and the other end is grounded. Although the configuration for one pin of the DUT 1 has been described above, the attenuator 2 and the buffer amplifier 3 are provided for each pin of the DUT 1, and the DUT 1 is tested by the measurement calculation unit 4.

【0004】このような装置の動作を以下に示す。信号
発生部(図示せず)からDUT1に信号を与えて、信号
に対応してDUT1が信号を出力する。そして、アッテ
ネータ2とバッファアンプ3とを介して、計測演算部4
でDUT1からの信号を計測し、計測結果に基づいて演
算処理を行い、DUT1の良否の判定を行う。
[0004] The operation of such a device is described below. A signal is supplied from a signal generator (not shown) to the DUT 1, and the DUT 1 outputs a signal corresponding to the signal. Then, the measurement calculation unit 4 is connected via the attenuator 2 and the buffer amplifier 3.
To measure the signal from the DUT 1 and perform arithmetic processing based on the measurement result to determine whether the DUT 1 is good or not.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ここで、DUT1に
は、0〜+20Vを出力する液晶ドライバ,−20〜0
Vを出力する液晶ドライバなど異なる電圧範囲を出力す
るものがある。そして、バッファアンプ3は±15Vの
電源電圧で駆動するものであるため、アッテネータ2に
より、DUT1からの信号を±15Vの範囲に入るよう
に減衰してからバッファアンプ3に入力する必要があ
る。しかし、アッテネータ2を構成する抵抗はDUT1
に影響を与えないため、高抵抗にする必要があり、DU
T1の各ピンに接続する配線などの浮遊容量により、数
十μsの時定数を有するCR回路が構成され、入力信号
の立ち上がり特性を悪化させる。その補正のため、可変
コンデンサC2により、浮遊容量の影響をキャンセルし
なければならない。そして、液晶ドライバは一般に数十
ピンないし百数十ピンのピン数を有しており、その試験
に対応するピン分だけ、容量補正をしなければならない
という問題点があった。
Here, the DUT 1 has a liquid crystal driver for outputting 0 to +20 V, and -20 to 0.
Some output different voltage ranges, such as a liquid crystal driver that outputs V. Since the buffer amplifier 3 is driven by a power supply voltage of ± 15 V, the signal from the DUT 1 needs to be attenuated by the attenuator 2 so as to fall within the range of ± 15 V before being input to the buffer amplifier 3. However, the resistance constituting the attenuator 2 is DUT1
It is necessary to make the resistance high because it does not affect
A stray capacitance such as a wiring connected to each pin of T1 forms a CR circuit having a time constant of several tens of μs, and deteriorates a rising characteristic of an input signal. For the correction, the effect of the stray capacitance must be canceled by the variable capacitor C2. In addition, the liquid crystal driver generally has a pin number of several tens to one hundred and several tens pins, and there is a problem that the capacitance must be corrected for the pins corresponding to the test.

【0006】本発明の目的は、容量補正を行う必要がな
く、高精度の試験が行えるICテスタを実現することに
ある。
An object of the present invention is to realize an IC tester which can perform a high-accuracy test without performing capacitance correction.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、被試験ICの
試験を行うICテスタにおいて、前記被試験ICが出力
する信号を入力するバッファアンプと、低抵抗で構成さ
れ、前記バッファアンプからの信号を減衰するアッテネ
ータと、このアッテネータからの信号により前記被試験
ICの試験を行う試験部と、前記被試験ICが出力する
信号の出力電圧範囲に応じて電圧を変更し、前記バッフ
ァアンプに与える電源部と、を有することを特徴とする
ものである。
According to the present invention, there is provided an IC tester for testing an IC under test, which comprises a buffer amplifier for inputting a signal output from the IC under test, and a low resistance. An attenuator for attenuating a signal, a test section for testing the IC under test with a signal from the attenuator, and changing the voltage in accordance with an output voltage range of a signal output from the IC under test and providing the voltage to the buffer amplifier And a power supply unit.

【0008】[0008]

【作用】このような本発明では、電源部が被試験ICが
出力する信号の出力電圧範囲に対応する電圧をバッファ
アンプに与える。そして、試験部が、バッファアンプと
アッテネータとを介した被試験ICが出力する信号によ
り被試験ICの試験を行う。
According to the present invention, the power supply unit supplies the buffer amplifier with a voltage corresponding to the output voltage range of the signal output from the IC under test. Then, the test unit tests the IC under test using a signal output from the IC under test via the buffer amplifier and the attenuator.

【0009】[0009]

【実施例】以下図面を用いて本発明を説明する。図1は
本発明の実施例を示した構成図である。図において、1
はDUT、5はバッファアンプで、DUT1が出力する
信号を入力する。6はアッテネータで、低抵抗で構成さ
れ、バッファアンプ5からの信号を減衰する。7は試験
部である計測演算部で、アッテネータ6からの信号によ
りDUT1の試験を行う。8は電源部で、DUT1が出
力する信号の出力電圧範囲に対応する電圧をバッファア
ンプ5に与える。9は制御部で、DUT1に対応して、
電源部8に電圧を出力させる。そして、電源部8がバッ
ファアンプ5に与える電位の中点電位値を計測演算部7
に与える。アッテネータ6において、抵抗R3,R4は
数百Ωの抵抗である。抵抗R3は、一端がバッファアン
プ5に接続し、他端が計測演算部7に接続する。抵抗R
4は、一端が抵抗R3の他端に接続し、他端を接地す
る。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of the present invention. In the figure, 1
Is a DUT, and 5 is a buffer amplifier, to which a signal output from the DUT 1 is input. Reference numeral 6 denotes an attenuator, which has a low resistance and attenuates a signal from the buffer amplifier 5. Reference numeral 7 denotes a measurement operation unit which is a test unit, and tests the DUT 1 based on a signal from the attenuator 6. Reference numeral 8 denotes a power supply unit that supplies a voltage corresponding to an output voltage range of a signal output from the DUT 1 to the buffer amplifier 5. 9 is a control unit, corresponding to DUT1,
The power supply unit 8 outputs a voltage. Then, the mid-point potential value supplied from the power supply unit 8 to the buffer amplifier 5 is measured and calculated by the measurement unit
Give to. In the attenuator 6, the resistors R3 and R4 are resistors of several hundred Ω. The resistor R3 has one end connected to the buffer amplifier 5 and the other end connected to the measurement calculation unit 7. Resistance R
4 has one end connected to the other end of the resistor R3 and the other end grounded.

【0010】このような装置の動作を以下で説明する。
図2は制御部9の制御信号と電源部8が出力する電圧と
の関係を示した図である。ここで、DUT1として、出
力電圧が±10V,0〜+20V,−20〜0Vの3種
類の液晶ドライバを考える。
The operation of such a device will be described below.
FIG. 2 is a diagram illustrating a relationship between a control signal of the control unit 9 and a voltage output from the power supply unit 8. Here, three types of liquid crystal drivers having output voltages of ± 10 V, 0 to +20 V, and −20 to 0 V are considered as the DUT 1.

【0011】出力電圧が±10Vの場合。 制御部9は、制御信号CTRL2,CTRL1がそれぞ
れ”0”,”0”の信号を電源部8に与え、計測演算部
7に中点電位値”0V”を通知する。電源部8は−15
V,+15Vの電圧をバッファアンプ5に与える。これ
により、バッファアンプ5は、−15〜+15Vの範囲
の信号を入力することができる。実際には、約±12V
の電圧を入力することができる。そして、信号発生部
(図示せず)からDUT1に信号を与え、DUT1が入
力信号に対応した信号を出力する。計測演算部7がこの
信号をバッファアンプ5とアッテネータ6とを介して計
測し、計測結果と中点電位値とに基づいて演算を行い、
DUT1の良否の判定を行う。
When the output voltage is ± 10V. The control unit 9 supplies the power supply unit 8 with signals in which the control signals CTRL2 and CTRL1 are “0” and “0”, respectively, and notifies the measurement calculation unit 7 of the midpoint potential value “0V”. The power supply 8 is -15
V and +15 V are applied to the buffer amplifier 5. Thereby, the buffer amplifier 5 can input a signal in the range of -15 to + 15V. Actually, about ± 12V
Voltage can be input. Then, a signal is supplied from a signal generator (not shown) to the DUT 1, and the DUT 1 outputs a signal corresponding to the input signal. The measurement calculation unit 7 measures this signal via the buffer amplifier 5 and the attenuator 6, and performs calculation based on the measurement result and the midpoint potential value.
The quality of the DUT1 is determined.

【0012】出力電圧が0〜+20Vの場合。 制御部9は、制御信号CTRL2,CTRL1がそれぞ
れ”0”,”1”の信号を電源部8に与え、計測演算部
7に中点電位値”+10V”を通知する。電源部8は−
5V,+25Vの電圧をバッファアンプ5に与える。こ
れにより、バッファアンプ5は、−5〜+25Vの範囲
の信号を入力することができる。実際には、約−2〜2
2Vの電圧を入力することができる。同様に、信号発生
部からDUT1に信号を与え、DUT1が入力信号に対
応した信号を出力する。計測演算部7がこの信号をバッ
ファアンプ5とアッテネータ6とを介して計測し、計測
結果と中点電位値とに基づいて演算を行い、DUT1の
良否の判定を行う。
When the output voltage is 0 to + 20V. The control unit 9 supplies the power supply unit 8 with signals in which the control signals CTRL2 and CTRL1 are “0” and “1”, and notifies the measurement calculation unit 7 of the midpoint potential value “+10 V”. The power supply unit 8
Voltages of 5V and + 25V are applied to the buffer amplifier 5. Thereby, the buffer amplifier 5 can input a signal in the range of −5 to + 25V. In practice, about -2 to 2
A voltage of 2V can be input. Similarly, a signal is supplied from the signal generator to DUT1, and DUT1 outputs a signal corresponding to the input signal. The measurement calculation unit 7 measures this signal via the buffer amplifier 5 and the attenuator 6, performs calculation based on the measurement result and the midpoint potential value, and determines whether the DUT 1 is good or not.

【0013】出力電圧が−20〜0Vの場合。 制御部9は、制御信号CTRL2,CTRL1がそれぞ
れ”1”,”0”の信号を電源部8に与え、中点電位
値”−10V”を通知する。電源部8は−25V,+5
Vの電圧をバッファアンプ5に与える。これにより、バ
ッファアンプ5は、−25〜+5Vの範囲の信号を入力
することができる。実際には、約−22〜2Vの電圧を
入力することができる。同様に、信号発生部からDUT
1に信号を与え、DUT1が入力信号に対応した信号を
出力する。計測演算部7がこの信号をバッファアンプ5
とアッテネータ6とを介して計測し、計測結果と中点電
位値とに基づいて演算を行い、DUT1の良否の判定を
行う。
When the output voltage is -20 to 0V. The control unit 9 supplies the power supply unit 8 with signals in which the control signals CTRL2 and CTRL1 are "1" and "0", respectively, and notifies the power supply unit 8 of the midpoint potential value "-10V". Power supply unit 8 is -25V, +5
A voltage of V is applied to the buffer amplifier 5. Thereby, the buffer amplifier 5 can input a signal in the range of −25 to + 5V. In practice, a voltage of about −22 to 2 V can be input. Similarly, from the signal generator to the DUT
1 and the DUT 1 outputs a signal corresponding to the input signal. The measurement calculation unit 7 converts this signal into a buffer amplifier 5
And the attenuator 6, calculate based on the measurement result and the midpoint potential value, and determine the quality of the DUT 1.

【0014】このように、DUT1の種類に応じて、電
源部9がバッファアンプ5に電圧を与えるので、バッフ
ァアンプ5の能力をフルに活用することができ、アッテ
ネータ6をバッファアンプ5の後段に設けることができ
る。すなわち、数百Ω程度の低抵抗でアッテネータ6を
構成することができるので、アッテネータ6の周囲に浮
遊容量が数pFあっても、アッテネータ6の抵抗と浮遊
容量で構成されるCR回路の時定数は数百nsとなり、
DUT1からの信号のセトリングタイムや周波数特性に
実用上の影響を与えない。従って、容量補正が不要とな
り、高精度の試験を行うことができる。
As described above, since the power supply unit 9 applies a voltage to the buffer amplifier 5 in accordance with the type of the DUT 1, the capability of the buffer amplifier 5 can be fully utilized. Can be provided. That is, since the attenuator 6 can be formed with a low resistance of about several hundred Ω, even if the stray capacitance is several pF around the attenuator 6, the time constant of the CR circuit constituted by the resistance of the attenuator 6 and the stray capacitance Is several hundred ns,
There is no practical effect on the settling time and frequency characteristics of the signal from the DUT 1. Therefore, capacitance correction is not required, and a highly accurate test can be performed.

【0015】なお、本発明はこれに限定されるものでは
なく、実施例において、測定演算部7は、A/D変換器
でDUT1からの信号を取り込み、A/D変換器からの
データと中点電位値とに基づいて、DUT1が所望の電
圧を出力しているか判定を行う構成であるが、コンパレ
ータにより所望の電圧と比較し、判定する試験部の構成
でもよい。
Note that the present invention is not limited to this. In the embodiment, the measurement calculation unit 7 takes in a signal from the DUT 1 with an A / D converter, and stores the data from the A / D converter. Although it is configured to determine whether or not the DUT 1 outputs a desired voltage based on the point potential value, a configuration of a test unit that determines by comparing with a desired voltage by a comparator may be used.

【0016】[0016]

【発明の効果】本発明によれば、以下のような効果があ
る。被試験ICの種類に応じて、電源部がバッファアン
プに電圧を与え、バッファアンプの後段に低抵抗で構成
されるアッテネータを設けたので、容量補正が不要で、
高精度の試験を行うことができる。
According to the present invention, the following effects can be obtained. According to the type of the IC under test, the power supply unit applies a voltage to the buffer amplifier, and an attenuator having a low resistance is provided at the subsequent stage of the buffer amplifier.
High precision testing can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例を示した構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of the present invention.

【図2】制御部9の制御信号と電源部8が出力する電圧
との関係を示した図である。
FIG. 2 is a diagram showing a relationship between a control signal of a control unit 9 and a voltage output by a power supply unit 8;

【図3】従来のICテスタの構成を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a conventional IC tester.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 DUT 5 バッファアンプ 6 アッテネータ 7 計測演算部 8 電源部 R3,R4 抵抗 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 DUT 5 Buffer amplifier 6 Attenuator 7 Measurement operation part 8 Power supply part R3, R4 Resistance

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−122866(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 31/28 G01R 31/26 Continuation of front page (56) References JP-A-4-122866 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01R 31/28 G01R 31/26

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 被試験ICの試験を行うICテスタにお
いて、 前記被試験ICが出力する信号を入力するバッファアン
プと、 低抵抗で構成され、前記バッファアンプからの信号を減
衰するアッテネータと、 このアッテネータからの信号により前記被試験ICの試
験を行う試験部と、 前記被試験ICが出力する信号の出力電圧範囲に応じて
電圧を変更し、前記バッファアンプに与える電源部と、 を有することを特徴とするICテスタ。
1. An IC tester for testing an IC under test, comprising: a buffer amplifier for inputting a signal output from the IC under test; an attenuator configured with low resistance and attenuating a signal from the buffer amplifier; A test unit for testing the IC under test by a signal from an attenuator; and a test unit according to an output voltage range of a signal output from the IC under test.
An IC tester comprising: a power supply unit for changing a voltage and supplying the voltage to the buffer amplifier.
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