JP3106253B2 - スパッタリング蒸発源装置 - Google Patents
スパッタリング蒸発源装置Info
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- JP3106253B2 JP3106253B2 JP03076298A JP7629891A JP3106253B2 JP 3106253 B2 JP3106253 B2 JP 3106253B2 JP 03076298 A JP03076298 A JP 03076298A JP 7629891 A JP7629891 A JP 7629891A JP 3106253 B2 JP3106253 B2 JP 3106253B2
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- Japan
- Prior art keywords
- evaporation source
- flange
- attached
- backing plate
- sputtering evaporation
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空室に着脱自在に設
ける形式のスパッタリング蒸発源装置に関する。
ける形式のスパッタリング蒸発源装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、スパッタリング蒸発源は蒸発材の
補充や保守点検のために真空室から取り外せるように構
成されており、例えば図４に示すように、真空室ａの壁
面ｂに開口部ｃを形成し、該真空室ａの外部から該開口
部ｃに気密に当接されるフランジｄを設け、該フランジ
ｄの外側にスパッタリング蒸発源ｅのベースｆを絶縁材
ｇを介してボルトｈで着脱自在に取り付け、その内側に
アースシールドｉをボルトｊで着脱自在に取り付けるよ
うにし、防着板ｋを該開口部ｃの側方の内壁にボルトｌ
で取り付けるように構成されている。該蒸発源ｅの前面
には蒸発材ｍをボンディングしたバッキングプレートｎ
がボルトｏで着脱自在に取り付けられ、該バッキングプ
レートｎの背後には永久磁石等の磁気発生手段ｐが設け
られる。ｑはバッキングプレートｎを気密に該蒸発源ｅ
の本体に取り付けるためのＯリングである。該アースシ
ールドｉ及び防着板ｋを固定するボルトｊ及びｌは数本
であるが、バッキングプレートｎを固定するボルトｏは
Ｏリングｑを潰す方向に力を加える必要があり、しか
も、その方向は真空力に対して逆方向になるために数十
本と数多く必要になる。尚、該フランジｄは例えば扉状
に構成され、レバー等により気密に壁面ｂに固定され
る。
補充や保守点検のために真空室から取り外せるように構
成されており、例えば図４に示すように、真空室ａの壁
面ｂに開口部ｃを形成し、該真空室ａの外部から該開口
部ｃに気密に当接されるフランジｄを設け、該フランジ
ｄの外側にスパッタリング蒸発源ｅのベースｆを絶縁材
ｇを介してボルトｈで着脱自在に取り付け、その内側に
アースシールドｉをボルトｊで着脱自在に取り付けるよ
うにし、防着板ｋを該開口部ｃの側方の内壁にボルトｌ
で取り付けるように構成されている。該蒸発源ｅの前面
には蒸発材ｍをボンディングしたバッキングプレートｎ
がボルトｏで着脱自在に取り付けられ、該バッキングプ
レートｎの背後には永久磁石等の磁気発生手段ｐが設け
られる。ｑはバッキングプレートｎを気密に該蒸発源ｅ
の本体に取り付けるためのＯリングである。該アースシ
ールドｉ及び防着板ｋを固定するボルトｊ及びｌは数本
であるが、バッキングプレートｎを固定するボルトｏは
Ｏリングｑを潰す方向に力を加える必要があり、しか
も、その方向は真空力に対して逆方向になるために数十
本と数多く必要になる。尚、該フランジｄは例えば扉状
に構成され、レバー等により気密に壁面ｂに固定され
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のスパッタリング
蒸発源をその点検保守等のために取り外す場合、各ボル
トｊ，ｌ，ｏを取り外し、アースシールドｉ、防着板
ｋ、蒸発材ｍ及びバッキングプレートｎの保守交換を行
なう。この場合、バッキングプレートｎは数十本のボル
トｏで固定されているため、ボルトの取り外しと締め付
けに時間が掛り、作業性が悪い欠点があった。また、防
着板ｋを真空室ａの室壁ｂにボルトｌで取り付けている
ために、蒸発源ｅの取り外しと同時に該防着板ｋを取り
外すことができず、保守交換に時間が掛って好ましくな
い。
蒸発源をその点検保守等のために取り外す場合、各ボル
トｊ，ｌ，ｏを取り外し、アースシールドｉ、防着板
ｋ、蒸発材ｍ及びバッキングプレートｎの保守交換を行
なう。この場合、バッキングプレートｎは数十本のボル
トｏで固定されているため、ボルトの取り外しと締め付
けに時間が掛り、作業性が悪い欠点があった。また、防
着板ｋを真空室ａの室壁ｂにボルトｌで取り付けている
ために、蒸発源ｅの取り外しと同時に該防着板ｋを取り
外すことができず、保守交換に時間が掛って好ましくな
い。
【０００４】本発明は、こうした不都合を解決して容易
にしかも短時間で蒸発源の保守交換を実施できるスパッ
タリング蒸発源装置を提供することを目的とするもので
ある。
にしかも短時間で蒸発源の保守交換を実施できるスパッ
タリング蒸発源装置を提供することを目的とするもので
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明では、真空室を構
成する壁面に開口部を形成し、該開口部に該真空室の外
部からフランジを着脱自在に気密に当接して設け、該フ
ランジには、その外側から蒸発物を取り付けたバッキン
グプレートを前面に有するスパッタリング蒸発源のベー
スをボルトで取り付けると共にその内側からボルトでア
ースシールドを取り付け、更に該本体の前面の前方に環
状の防着板を設けたものに於いて、該バッキングプレー
トの周縁部を該フランジとベースの間に絶縁材を介して
介在させ、該防着板を該フランジの内側にボルトで取り
付けることにより、上記の目的を達成するようにした。
成する壁面に開口部を形成し、該開口部に該真空室の外
部からフランジを着脱自在に気密に当接して設け、該フ
ランジには、その外側から蒸発物を取り付けたバッキン
グプレートを前面に有するスパッタリング蒸発源のベー
スをボルトで取り付けると共にその内側からボルトでア
ースシールドを取り付け、更に該本体の前面の前方に環
状の防着板を設けたものに於いて、該バッキングプレー
トの周縁部を該フランジとベースの間に絶縁材を介して
介在させ、該防着板を該フランジの内側にボルトで取り
付けることにより、上記の目的を達成するようにした。
【０００６】
【作用】スパッタリング蒸発源を保守交換する場合、真
空室の開口部に当接されたフランジが取り外されるが、
該フランジには防着板を始めとしてアースシールドやバ
ッキングプレート等の蒸発源を構成する部材のすべてが
取り付けられているので、一挙に真空室から蒸発源を取
り外せ、バッキングプレートは該フランジと蒸発源のベ
ースとの間に挟み込まれているので、該ベースをフラン
ジから取り外すと自動的にバッキングプレートが外れ、
蒸発源の分解を簡単に行なえる。またその保守交換の完
了後、該バッキングプレートはベースとフランジの間に
挟むだけで取り付けできるので、組み立てが短時間に行
なえる。該バッキングプレートは真空力に逆らうことな
く組み込まれるため、ベースとフランジを強固に締め付
けする必要がなく、少ない本数のボルトで取り付けでき
る。
空室の開口部に当接されたフランジが取り外されるが、
該フランジには防着板を始めとしてアースシールドやバ
ッキングプレート等の蒸発源を構成する部材のすべてが
取り付けられているので、一挙に真空室から蒸発源を取
り外せ、バッキングプレートは該フランジと蒸発源のベ
ースとの間に挟み込まれているので、該ベースをフラン
ジから取り外すと自動的にバッキングプレートが外れ、
蒸発源の分解を簡単に行なえる。またその保守交換の完
了後、該バッキングプレートはベースとフランジの間に
挟むだけで取り付けできるので、組み立てが短時間に行
なえる。該バッキングプレートは真空力に逆らうことな
く組み込まれるため、ベースとフランジを強固に締め付
けする必要がなく、少ない本数のボルトで取り付けでき
る。
【０００７】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づき説明すると、
図１に於いて符号１は真空室、２は該真空室１の壁面３
に形成した開口部を示し、該開口部２には該真空室１の
外部から例えば扉状に構成されたフランジ４がクランク
レバーやボルトで気密に当接される。該フランジ４の外
側には、スパッタリング蒸発源５のベース６が取り付け
られ、該フランジ４の内側にはアースシールド７がボル
ト８で取り付けられる。該スパッタリング蒸発源５は、
真空室１の内方へ向かう前面に、蒸発材９をボンディン
グ等で取り付けたバッキングプレート１０を備えてお
り、該バッキングプレート１０の背後には永久磁石等の
磁気発生手段１１が設けられる。１２は防着板を示す。
図１に於いて符号１は真空室、２は該真空室１の壁面３
に形成した開口部を示し、該開口部２には該真空室１の
外部から例えば扉状に構成されたフランジ４がクランク
レバーやボルトで気密に当接される。該フランジ４の外
側には、スパッタリング蒸発源５のベース６が取り付け
られ、該フランジ４の内側にはアースシールド７がボル
ト８で取り付けられる。該スパッタリング蒸発源５は、
真空室１の内方へ向かう前面に、蒸発材９をボンディン
グ等で取り付けたバッキングプレート１０を備えてお
り、該バッキングプレート１０の背後には永久磁石等の
磁気発生手段１１が設けられる。１２は防着板を示す。
【０００８】こうした構成は従来のものと変わりがない
が、本発明に於いては該バッキングプレート１０を延長
し、その周縁部１４を絶縁材１５、１５を介してフラン
ジ４とベース６との間に挟み込み、該ベース６をフラン
ジ４にボルト１６で取り付けする時に共締めするように
し、更に該フランジ４の内側に防着板１２を数本のボル
ト１７で取付け、該スパッタリング蒸発源５の保守交換
を簡単に行なえるようにした。１８はバッキングプレー
ト１０の周縁部１４のフランジ４側の面に設けたＯリン
グである。
が、本発明に於いては該バッキングプレート１０を延長
し、その周縁部１４を絶縁材１５、１５を介してフラン
ジ４とベース６との間に挟み込み、該ベース６をフラン
ジ４にボルト１６で取り付けする時に共締めするように
し、更に該フランジ４の内側に防着板１２を数本のボル
ト１７で取付け、該スパッタリング蒸発源５の保守交換
を簡単に行なえるようにした。１８はバッキングプレー
ト１０の周縁部１４のフランジ４側の面に設けたＯリン
グである。
【０００９】図示の例では、バッキングプレート１０の
周縁部１４をカップ状の筒形に形成し、その筒形の中空
部に磁気発生手段１１を収容するようにした。また、フ
ランジ４に、図２に見られるような略コ字状のアーム１
９の数個をボルト２０で固定し、各アーム１９に蝶ボル
ト１６でベース６を取付けるようにした。２１はＯリン
グ、２２はバッキングプレート１０に形成した位置決め
穴で、該位置決め穴２２にはベース６に突設したピン２
３が嵌合する。
周縁部１４をカップ状の筒形に形成し、その筒形の中空
部に磁気発生手段１１を収容するようにした。また、フ
ランジ４に、図２に見られるような略コ字状のアーム１
９の数個をボルト２０で固定し、各アーム１９に蝶ボル
ト１６でベース６を取付けるようにした。２１はＯリン
グ、２２はバッキングプレート１０に形成した位置決め
穴で、該位置決め穴２２にはベース６に突設したピン２
３が嵌合する。
【００１０】スパッタリング蒸発源５の使用により蒸発
材９が消耗し或いは防着板１２が汚れると、該蒸発源５
を真空室１から取外し、蒸発材９の交換や蒸発源５の清
掃等のために分解されるが、その場合、クランクレバー
等を解除して該フランジ４を真空室１からまず取外す。
該フランジ４には分解すべき防着板１２と蒸発源５が取
付けられているので、一挙に必要物を真空室１から取り
外せ、ボルト８、１６、１７を外すと、アースシールド
７、ベース６及び防着板１２が図３に示すように分解さ
れる。バッキングプレート９は、フランジ４とベース６
の間に挟まれているだけであるので、該ベース６を外せ
ば自動的に外れ、その交換が簡単に行なえる。保守交換
が済むと、バッキングプレート９の周縁部１４を間に挟
んでベース６を取付け、アースシールド７及び防着板１
２を取付けたのち、フランジ４を真空室１に当接固定し
てその作業が終わる。該バッキングプレート９は真空力
で真空室１の方向への力を受け、その力に逆らわない方
向へＯリング１８を押し潰すようにボルト１６で締め付
けるので、バッキングプレート９のみを気密に固定する
必要がなく、作業性が向上する。
材９が消耗し或いは防着板１２が汚れると、該蒸発源５
を真空室１から取外し、蒸発材９の交換や蒸発源５の清
掃等のために分解されるが、その場合、クランクレバー
等を解除して該フランジ４を真空室１からまず取外す。
該フランジ４には分解すべき防着板１２と蒸発源５が取
付けられているので、一挙に必要物を真空室１から取り
外せ、ボルト８、１６、１７を外すと、アースシールド
７、ベース６及び防着板１２が図３に示すように分解さ
れる。バッキングプレート９は、フランジ４とベース６
の間に挟まれているだけであるので、該ベース６を外せ
ば自動的に外れ、その交換が簡単に行なえる。保守交換
が済むと、バッキングプレート９の周縁部１４を間に挟
んでベース６を取付け、アースシールド７及び防着板１
２を取付けたのち、フランジ４を真空室１に当接固定し
てその作業が終わる。該バッキングプレート９は真空力
で真空室１の方向への力を受け、その力に逆らわない方
向へＯリング１８を押し潰すようにボルト１６で締め付
けるので、バッキングプレート９のみを気密に固定する
必要がなく、作業性が向上する。
【００１１】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、スパッタ
リング蒸発源のバッキングプレートの周縁部を真空室へ
の取付けフランジと該蒸発源のベースの間に絶縁材を介
して介在させ、防着板を該フランジの内側にボルトで取
り付けたので、該フランジを真空室に着脱するときは、
蒸発源と防着板を同時に着脱でき、またバッキングプレ
ートの固定にボルトが不要であるので、その保守交換作
業が短時間で簡単に行なえる等の効果がある。
リング蒸発源のバッキングプレートの周縁部を真空室へ
の取付けフランジと該蒸発源のベースの間に絶縁材を介
して介在させ、防着板を該フランジの内側にボルトで取
り付けたので、該フランジを真空室に着脱するときは、
蒸発源と防着板を同時に着脱でき、またバッキングプレ
ートの固定にボルトが不要であるので、その保守交換作
業が短時間で簡単に行なえる等の効果がある。
【図１】本発明の実施例の截断側面図
【図２】図１のＡ−Ａ線部分の側面図
【図３】図１の要部の分解状態の斜視図
【図４】従来例の截断側面図
１ 真空室 ２ 開口部 ３ 壁面 ４ フランジ ５ スパッタリング蒸発源
６ ベース ７ アースシールド ８、１６、１７ ボルト ９ 蒸発材 １０ バッキングプレート
１２ 防着板 １４ 周縁部 １５ 絶縁材
６ ベース ７ アースシールド ８、１６、１７ ボルト ９ 蒸発材 １０ バッキングプレート
１２ 防着板 １４ 周縁部 １５ 絶縁材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−36265（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−312070（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−254162（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−165770（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C23C 14/00 - 14/58 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (2)
- 【請求項１】 真空室を構成する壁面に開口部を形成
し、該開口部に該真空室の外部からフランジを着脱自在
に気密に当接して設け、該フランジには、その外側から
蒸発物を取り付けたバッキングプレートを前面に有する
スパッタリング蒸発源のベースをボルトで取り付けると
共にその内側からボルトでアースシールドを取り付け、
更に該本体の前面の前方に環状の防着板を設けたものに
於いて、該バッキングプレートの周縁部を該フランジと
ベースの間に絶縁材を介して介在させ、該防着板を該フ
ランジの内側にボルトで取り付けたことを特徴とするス
パッタリング蒸発源装置。 - 【請求項２】 上記フランジとスパッタリング蒸発源の
ベースは、フランジに固定されたアームに蝶ボルトで取
り付けることを特徴とする請求項１に記載のスパッタリ
ング蒸発源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03076298A JP3106253B2 (ja) | 1991-04-09 | 1991-04-09 | スパッタリング蒸発源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03076298A JP3106253B2 (ja) | 1991-04-09 | 1991-04-09 | スパッタリング蒸発源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04311568A JPH04311568A (ja) | 1992-11-04 |
| JP3106253B2 true JP3106253B2 (ja) | 2000-11-06 |
Family
ID=13601461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03076298A Expired - Lifetime JP3106253B2 (ja) | 1991-04-09 | 1991-04-09 | スパッタリング蒸発源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3106253B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007069291A1 (ja) * | 2005-12-12 | 2007-06-21 | Shimadzu Corporation | 真空蒸着装置及びそのクリーニング方法 |
| WO2013088623A1 (ja) * | 2011-12-15 | 2013-06-20 | キヤノンアネルバ株式会社 | 処理装置およびシールド |
| JP2019178367A (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-17 | 株式会社アルバック | スパッタリング装置 |
| DE102022002669A1 (de) * | 2022-07-21 | 2024-02-01 | Singulus Technologies Aktiengesellschaft | Beschichtungsanlage und Verfahren zum Target-Austausch |
-
1991
- 1991-04-09 JP JP03076298A patent/JP3106253B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04311568A (ja) | 1992-11-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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